JP2009246154A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板を収納する容器本体と、その開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記容器本体の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている基板収納容器1であって、貫通孔には、フィルタを備えた通気部材を収納保持するハウジング部材が、回転方向に回転されて基板収納容器に取り付けられていて、ハウジング部材が回転方向に緩むことを防止する手段が設けられている。
【選択図】 図3
Description
こうした基板収納容器は、一定期間の使用後に洗浄されて、繰り返して使用される。
しかしながら、基板収納容器は、工程内の高速搬送時や天井搬送の高さからLP装置へ下降される時、また、工場間で輸送する時、等に加速度や振動を受けるし、定期的に洗浄及ぴ乾燥がなされるので、熱履歴を定期的に受けることとなる。これらの外的要因により、連通部に設けられるハウジング部材の係止部が、回転方向に緩んでしまい、基板収納容器のシール性を損ねて、内部に収納した基板を汚染したり、ひどい場合は、ハウジング部品が抜け落ちたりする危険もあった。
前記ハウジング部材が、相互に係合する螺子溝を有する保持筒および固定筒からなること、前記保持筒が、一端部に格子状の窓とリング状のフランジを有し、他端に開口が形成された中空の円筒形をなしており、前記固定筒が、一端に開口が設けられ、他端にはリング状のフランジ部を有し、筒壁の中央に形成される貫通孔とを有する円筒形をなしており、前記保持筒と前記固定筒との内側には、フィルタを備えた通気部材が係止されているものであることが好ましい。
さらに、締め付け方向に相対する保持筒の第一の傾斜面の角度と固定筒の第一の傾斜面の角度とが異なる角度に形成されていて、面接触しないものであること、前記通気部材が一方向弁であること、ができる。
貫通孔(通気部)には、基板収納容器内外の圧力差を解消するためのフィルタや、一方向弁を備え基板収納容密内部の気体を不活性な気体やドライエアーで置換する開閉バルブが、取り付けられる。こうした貫通孔(通気部)は、容器本体及び/又は蓋体に1又は複数箇所に設けられる。
基板収納容器に収納される基板は、1又は複数枚であってよく、通常は、円板状の25枚又は26枚の基板を収納可能に形成される。
本発明の一実施の形態の基板収納容器1は、図1〜図2に示すように、一端に開口を有し、1又は複数枚の基板W(図示せず)を水平状態で垂直方向に整列させて収納する容器本体2と、容器本体2の開口を着脱自在に閉鎖する蓋体3とからなり、図示例では、容器本体2の底部に、容器本体2に対する気体の流通を制御する、一対のハウジング部材4が配置されている。このハウジング部材4には、開閉弁バルブが収納されている。この複数の開閉弁バルブのうち一方には、容器本体2の内部ヘガスを導入する一方向弁5(図3)が、他方には、容器本体2の内部のガスを排気する一方向弁6(図7)が設けられている。
このとき、ガス導入用の一方向弁5を備えたハウジング部材4とガス排出用の一方向弁6を備えたハウジング部材4は、収納する基板Wが容器本体2の底面に投影される領域の外側に設けるのが好ましい。
また、容器本体2の底部には、基板収納容器の種類を外部から検知したり、加工装置に搭載されるときの位置決めと固定を行う部材を備え略台形状に形成されるボトムプレート7が取り付け部材を介して装着されている。ボトムプレート7には、通例どおり、識別用の部材を取り付ける複数の貫通孔と、位置決め部材8、容器本体2を固定するためのクランプ穴が形成されている。
なお、容器本体2、ボトムプレート7、ロボティックハンドル、蓋体3は、ポリカーボネート・ポリエ一テルエ一テルケトン、ポリエーテルイミド、環状オレフィン樹脂(COP)などの熱可塑性樹脂、あるいはこれらの熱可塑性樹脂に導電性を付与したものから形成される。
保持筒14は、例えばポリカーボネート、ポリエ一テルイミド、ポリエ一テルエ一テルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して、基本的には、一端(底部側)に開口を有する円筒形に形成され、開口と相対する他端(上面側)には、気体流通用の区画リブ25(図5)が格子状又は放射状に配設された通気口26を備えている。この区画リブ25の裏面には、フィルタ15(図3)を収納する収納部が形成される。
保持筒14の外周面には、取付用の螺子溝29が螺刻形成され、この螺子溝29が固定筒12の螺子溝18と螺合する。ここで、螺子溝29が形成される終端部には、螺子溝29が形成されている方向に突出する第二の緩み防止突起30(図5、図6)が1箇所以上に形成されていて、固定筒12を締め付けるときに、固定筒12の一端に形成された第一の緩み防止突起19の緩い傾斜面23と、相対向する側に、これと異なる角度の緩い傾斜面31(30°〜60°)が形成されている。また、保持筒14の外周面と貫通孔10の周面との間に介在されるシール部材33(図3)は、容器本体2に対する外気の侵入や容器本体2からの気体の漏れを有効に防止する。
この一方向弁5の材料としては、ポリエチレンやポリプロピレン、ポリカーボネート、環状ポリオレフィン樹脂あるいは熱可塑性ポリエステル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマー材料があげられる。
一方向弁5の、固定筒12の開口周縁部あるいは中筒蓋16の開口端部と接触する部分には、これらによって抑圧可能なシール部材13、36が装着されている。シール部材13、33、36は、フッ素ゴム、NBRゴム、ウレタンゴム、EPDMゴム、シリコーンゴム等の材料から形成される。また、これらの材料からなる芯材部の表面にフッ素シリコーンを被覆したり、コーティングしたりしても良い。
ガス導入バルブ(一方向弁5)は、供給される不活性ガスの圧力により、弾性部材が圧縮されることで、バルブ内部に流路が形成されて、基板収納容器の内部へ不活性ガスを供給する。
排気側の一方向弁6がガス排気バルブとして利用される場合には、図7に示すように、図3に示した弾性部材17と一方向弁5とを上下逆に配置して、固定筒12と一方向弁5の他方の画に設けられる弾性部材17によって、一方向弁6の一方のシール面が中蓋筒16の開口端部に接触するように押圧されている。排気バルプは、基板収納容器の内部に不活性ガスが供給されて内圧が高まるか、排気バルブの外側から負圧をかけることで、弾性部材17を圧縮することができるので、基板収納容器の外部への流路が形成されて、基板収納容器の内部の気体を排気できる。
弾性部材17は、SUSなどの金属スプリングや樹脂製のスプリングを用いることができる。また、弾性部材17は、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂等から形成される板バネを使用することもできる。その他、弾力性を有する合成樹脂の発泡体、各種ゴムや熱可塑性エラストマーからなる支柱部材を用いることもできる。ここで金属部品を使用するときには、表面を樹脂でコーティングすることが好ましい。
先ず、容器本体2の内側から保持筒14を貫通孔10に挿入し、保持筒14の内側壁に形成される凹部42と、フィルタを備えた中蓋筒16の外周壁に形成される係止爪9とを係合させて、保持筒と中蓋筒とを一体化させる。次に固定筒12に弾性部材17、一方向弁5、又は一方向弁6を所定の順番で配置する。容器の外側に露出する保持筒14の螺子溝29(図5)と固定筒12の内側面に形成される螺子溝18とを噛み合わせて、反時計回りに回転させていくと、保持筒の最後の螺子溝29に形成される第二の緩み防止突起30(図6)が、固定筒12の一端に形成される第一の緩み防止突起19と、それぞれの緩い傾斜面22と31とが接触し、これを乗り越えた状態となり、保持筒14の一端のフランジ27(図5)は、容器本体2の貫通孔10の上側外辺と、固定筒12の他端のフランジ21(図4)は、容器本体2の貫通孔10を下側に延長する筒状部の先端周縁リム11(図3)と接触するので、これらのハウジング部材4が容器本体2に固定される。
前記緩み防止突起のオーバーラップ量が0.2mm以上だと、緩み防止機能が十分に発揮できて好ましく、1mm以下では、擦れによる摩耗を防止できるし、締め付けの負荷を低減できる。
第一の緩み防止突起19と第二の緩み防止突起30の先端には、微少R(0.05〜0.8mm)を設けておくことが、摩耗を低減し、締め付け時の負荷を低減させるには、さらに好ましい。
図7は、図3に示す実施の形態において、一方向弁の向きを逆にして、気体の通過可能方向を逆にする実施の形態を示すもので、詳細な説明は省略する。
こうしたフィルタ内蔵のハウジング部材44は、基板収納容器の容器本体2及び/又は蓋体の複数箇所に設けられて使用できる。
図11は、本実施形態のカートリッジを貫通穴に挿入した状態を示す説明的切断立面図であり、カートリッジ48をボトムプレート53の貫通穴54に挿入し、係止爪49をボトムプレート53の貫通穴54に設けられる切欠き52を通過させて、ハウジングを所定の方向に回転させて係止爪49がボトムプレート53の上面に接触させ、さらに回転させてボトムプレート53の上面に形成されている緩み防止突起56を超えさせて、固定させることができる。また、係止爪49下面に突起受容溝(図示省略)を形成し、これらを係合させることで固定しても良い。
緩み防止突起56は、カートリッジの回転方向に少なくとも一対が対角線上に配設される。また、回転されて係止されるカートリッジの係止爪を半径方向の両側から挟むようにさらなる緩み防止突起を係止爪の幅以上の間隔を空けて設けることができる。
なお、55はフィルタ保持部材である。
係止爪49とボトムプレート53とが接触する面の少なくとも一方には、傾斜面が形成されることができる。
2 容器本体
3 蓋体
4 ハウジング部材
5 一方向弁(導入側)
6 一方向弁(排気側)
7 ボトムプレート
8 位置決め部材
9 係止爪
10 貫通孔
11 周縁リム
12 固定筒
13 シール部材
14 保持筒
15 フィルタ
16 中蓋筒
17 弾性部材
18 (固定筒12の)螺子溝
19 第一の緩み防止突起
20 (丸い)通気口
21 (リング状の)フランジ
22 突起
23 緩やかな傾斜面
24 急な傾斜面
25 (気体流通用の)区画リブ
26 通気口
27 (リング状の)フランジ
28 (フランジ27の面から突出する)突起
29 (保持筒14の)(取付用の)螺子溝
30 第二の緩み防止突起
31 平行な傾斜面(緩やかな傾斜面)
32 角度の大きな傾斜面(急な傾斜面)
33 シール部材
34 (位置ずれ防止用の係合部となる)凸部
35 (位置ずれ防止用の係合部となる)円周状リブ
36 シール部材
37 (中蓋筒16の)区画リブ
38 (保持筒14の)円筒状の枠体
39 (円筒状の枠体38を連結する)格子状のリブ
40 (中蓋筒16の)円筒状の枠体
41 (円筒状の枠体40を連結する)格子状のリブ
42 (保持筒14の内側壁に形成される)凹部
43 フィルタ
44 ハウジング部材
45 固定筒
46 保持筒
47 中蓋筒
48 (さらに別の実施形態のハウジング部材としての)カートリッジ
49 係止爪
50 貫通孔
51 リブ
52 切欠き
53 ボトムプレート
54 貫通穴
55 フィルタ保持部材
56 緩み防止突起
Claims (6)
- 一端に開口部を有し基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記容器本体の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている基板収納容器であって、前記貫通孔には、フィルタを備えた通気部材を収納保持するハウジング部材が取り付けられていて、該ハウジング部材が、回転方向に回転されて基板収納容器に取り付けられていて、該ハウジング部材が回転方向に緩むことを防止する手段が設けられていることを特徴とする基板収納容器。
- 前記ハウジング部材が、相互に係合する螺子溝を有する保持筒および固定筒からなる請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記保持筒が、一端部に格子状の窓とリング状のフランジを有し、他端に開口が形成された中空の円筒形をなしており、前記固定筒が、一端に開口が設けられ、他端にはリング状のフランジ部を有し、筒壁の中央に形成される貫通孔とを有する円筒形をなしており、前記保持筒と前記固定筒との内側には、フィルタを備えた通気部材が係止されている請求項2に記載の基板収納容器。
- 前記緩み防止手段が、前記保持筒および前記固定筒のそれぞれの対向当接面に間隔を空けて設けられる複数の緩み防止突起が設けられ、該緩み防止突起が、締め付け方向に緩い第一の傾斜面をなし、逆の方向には前記第一の傾斜面よりも角度が大きい第二の傾斜面をなしており、これらの緩み防止突起が相互に噛み合うことにより緩み防止機能が発揮される請求項2記載の基板収納容器。
- 締め付け方向に相対する保持筒の第一の傾斜面の角度と固定筒の第一の傾斜面の角度とが異なる角度に形成されていて、面接触しないものである請求項4に記載の基板収納容器。
- 前記通気部材が一方向弁である請求項4ないし請求項5のいずれかに記載の基板収納容器。
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