JP2004179449A - 基板収納容器 - Google Patents

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Abstract

【課題】パージの効果を長時間維持することができるともに、簡単な構造で取り付け取り外しができ、比較的短時間で効率よくガスパージを行えるガスパージ用バルブを備えた基板収納容器を提供する
【解決手段】基板収納容器1の貫通孔4に取り付け可能なバルブ体20であって、バルブ体20は貫通孔4の一方から嵌められる固定筒21と、貫通孔4の他方から嵌められ固定筒21に組み合わされる保持筒25と、これら固定筒21と保持筒25に隙間を介して内蔵される逆止弁31と逆止弁31を移動可能に支持する弾性支持部材33から構成し、中蓋筒34の内面には第一の係合部39が形成され、逆止弁31には前記第一の係合部39と係合する第二の係合部40を設け、逆止弁31の外側に気体の通路を形成した。
【選択図】 図3

Description

【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板を収納し、ガスパージ可能な基板収納容器に関し、特には基板収納容器の内外に対する気体の通過を制御するガスパージ用のバルブ体を備えた基板収納容器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体業界では、DRAM(Dynamic Random Access Memory)に代表されるように、半導体部品のコスト削減によるシェア争いが激化しており、これに伴い半導体製造のコストを削減するための生産システムの見直し、あるいは半導体部品の製造に使用される基板の大口径化(例えば、半導体ウェーハの場合300mmあるいはそれ以上)が実施されるようになってきている。
【0003】
半導体生産システムは、半導体製造工場全体を高度にクリーンな状態(例えば、クリーン度10以下)に維持して半導体部品を製造するという従来の方法から、基板の複数の処理工程を別々に区画して、こうして小さく区画された各内部空間を高度にクリーンな環境とし、各処理工程間の基板の受け渡しを基板収納容器を使用して行う方法に移行してきている。このような方法によれば、クリーンルーム建設の為の設備コストや設備維持の為のランニングコストを著しく削減することができ、しかも半導体の部品製造の歩留向上も可能である。
【0004】
こうした局所にクリーンな環境に区画されて分離されている半導体工場で使用される基板収納容器には、SEMI規格(E19、E47.1、E62、E63等)で定められていて、半導体製造工場内を自動機で搬送可能な搬送手段や自動機での蓋体の取り付け取り外しが可能なFIMS対応のものが備え付けられている。また、収納する基板を汚染しないように、高い密封性が求められたり、容器内部を清浄な状態にするため、容器内部からの揮発性ガスの発生の少ないクリーンな原材料を使用して形成することが求められている。
【0005】
しかしながら、昨今の半導体部品に形成される電子回路の最小線幅は益々低ピッチ化(0.10μm以下)の方向にあり、一部又は複数の半導体製造工程において収納容器に収納された基板表面の自然酸化膜の形成や有機汚染を防止するため、基板収納容器の内部空間を窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去したドライエアで置換(ガスパージ)しておくことが有効であることが解ってきた。
この点に鑑み、基板収納容器の一部を開口させてフィルタを取り付けたり、開口の周縁部にチェックバルブ等のバルブを取り付けてガスパージする技術が提案されている。(特許文献1、2参照)
【0006】
【特許文献1】
特開平11−191587号公報(頁3−頁4、図1)
【特許文献2】
特表2002−521189号公報(頁11−18、図2)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来の基板収納容器は、以上のように構成されているので、以下のような問題点がある。ガスパージ用の開口にバルブを取り付ける場合、バルブを取り付ける係止構造が実に複雑になるという問題がある。さらに、通常のバルブの場合、中空部に狭い開口が設けられこれを閉鎖する開閉弁が開口部に設けられるテーパー部と接触してシールを行う構造になっているが、繰り返し使用するときに位置ずれし易く、シールが不完全になり易く漏れが生じやすいといった問題があった。
【0008】
本発明は、上記した問題に鑑みてなされたものであり、繰り返し使用してもバルブが安定的に作動可能で、パージの効果を長時間維持することができるともに、簡単な構造で取り付け取り外しができ、比較的短時間で効率よくガスパージを行えるガスパージ用バルブを備えた基板収納容器を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、容器本体と、容器本体の開口を開閉する蓋体と、これらの容器本体と蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体とを含む基板収納容器であって、バルブ体は貫通孔の一方から嵌められる固定筒と、貫通孔の他方から嵌められ固定筒に組み合わされる保持筒と、保持筒の内側壁に保持される中蓋筒と、前記固定筒と前記保持筒に隙間を介して内蔵されると逆止弁と、前記逆止弁を移動可能に支持する弾性支持部材とを有し、中蓋筒の内面には第一の係合部が形成され、逆止弁には前記第一の係合部と係合する第二の係合部が設けられていて、前記固定筒の内側壁と前記逆止弁の外側壁との間に気体の通路となる隙間を形成したことを特徴とする基板収納容器である。
【0010】
また、逆止弁の作動時に位置ずれを防止する為に逆止弁に設けられる第二の係合部と、逆止弁に相対する中蓋筒の内面に設けられる第一の係合部とは、互いに係合可能な形状で有れば良く、円筒形の突起とこれが嵌り込む円筒形状の凹部とか、傾斜側面を有する円錐状や角錐状の突起とこれらが嵌り込む傾斜側壁を有する凹部などの組合わせとして設けることができる。
【0011】
ここで、特許請求の範囲における容器本体には、単数複数の半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板が適宜収納される。この容器本体の開口は、正面、上面、底面、側面の何れでも良い。気体は、窒素などの不活性ガスやドライエアーが主であるが、何らこれに限定されるものではない。また、バルブ体は、単数複数何れでも良いし、容器本体と蓋体の貫通孔にそれぞれ設けても良く、蓋体の貫通孔に設けても良い。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を使って本発明の好ましい実施形態を説明する。本発明の実施形態の基板収納容器は、図1〜図7に示すように、一端に開口を有し1又は複数枚の基板Wを水平状態の向きで垂直方向に整列させて、収納する容器本体と、容器本体の開口を着脱自在に閉鎖する蓋体10と、容器本体1の底部に配置されて容器本体1に対する気体の流通を制御する少なくとも1対のバルブ体20とを備え、この複数のバルブ体20のうち一方をガス導入バルブ20A、他方をガス排気バルブ20Bとして設けている。このとき導入バルブと排出バルブは、収納する基板が容器本体1底面に投影される領域の外側に設けるのが好ましい。
【0013】
容器本体1としては、図1に示すように、例えば炭素繊維や導電性ポリマーなどが添加され導電性が付与されたポリカーボネート樹脂を使用して一端が開口したフロントオープンボックスタイプとして形成される。容器本体1内部の相対する側壁には、基板Wの側部周縁を支持する支持部材が垂直方向に一定間隔で設けられている。この容器本体1の底部には、基板収納容器の種類を外部から検知したり、加工装置に搭載されるときの位置決めと固定を行う部材を備え略Y字形に形成されるボトムプレート2が取り付け部材を介して装着されている。ボトムプレート2には、識別用の部材を取り付ける複数の貫通孔と、位置決め部材3、容器本体1を固定するためのクランプ穴が形成されている。
【0014】
容器本体1の天井には略正方形をした天板部と天板部と垂直方向に延びる支柱部及びその先端の取り付け部とを有するロボティックハンドル6が着脱自在に装着され、このハンドル6がOHT(オーバーヘッドホイストトランスファー)と呼ばれる自動の天井搬送機に保持され、工程内及び工程間の搬送に使用される。また、容器本体1の開口正面には、蓋体10嵌合用のリム部7が一体に形成され、このリム部7内面の上下面には、蓋体10係止用の係止溝8が複数形成されている。容器本体1の外側壁には、手動にてハンドリングするときに使用される把持ハンドル9が着脱自在に装着される。
【0015】
蓋体10は図1に示すように、四隅が丸く湾曲した略矩形に形成され、内部には図示しない係止機構が配置されていて、この係止機構の先端の係止爪が蓋体10の周壁に設けられた出没穴から突出されてリム部7の係止溝8に嵌入し、容器本体1と蓋体10とを嵌合させて開口部を閉鎖する。蓋体10の周壁には容器本体1との間にシールを形成するエンドレス形状のガスケット部材13が取り付けられている。また、蓋体10の裏面には容器本体1に収納された基板Wを所定のピッチで上下方向に水平に整列させて接触し支持するフロントリテーナ12が装着される。
【0016】
なお、容器本体1、ボトムプレート2、ロボティックハンドル6、1対の把持ハンドル9、蓋体10は、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、環状オレフィン樹脂(COP)などの熱可塑性樹脂、あるいはこれらの熱可塑性樹脂に導電性を付与したものから形成される。
【0017】
各バルブ体20は、図3に示すように、貫通孔4及びその周縁のリブ5に下方から嵌入されて気体を流通させる固定筒21と、貫通孔4にシール用のシール部材30を介して上方から嵌入されて固定筒21に上方から着脱自在に螺嵌される保持筒25と、保持筒25の内周壁に取り付けられ、保持筒25との間にフィルタ36を保持する中蓋筒34とこれら固定筒21と保持筒25との間に内蔵され中蓋部材の開口一端と接触する逆止弁31と、この逆止弁31を一方から押圧して変形させる弾性部材33とからなる。
逆止弁31は、固定筒21から保持筒25にかけて気体が一方向に流れるように制御している。
【0018】
固定筒21は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して基本的には、一端に開口を有する有底円筒形に形成され、内周面には取り付け用の螺子溝22が螺刻形成されている。この固定筒21の底部中心には、気体流通用の丸い通気口23が形成され、底部の外周面には半径外方向に伸びるリング状のフランジ24が周設されており、リブ5の開口周縁部に接触する。
【0019】
保持筒25は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して基本的には、一端(底部側)に開口を有する円筒形に形成され、開口と相対する他端(上面側)には、気体流通用の複数の通気口23を区画する区画リブ26が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ26の裏面には、フィルタ36を収納する収納部が形成される。また、保持筒25の上部外周面には、半径外方向に伸びるリング状のフランジ28が周設され、このフランジ28が貫通孔4の開口周縁に接触する。
【0020】
保持筒25の外周面には、取付用の螺子溝29が螺刻形成され、この螺子溝29が固定筒21の螺子溝22と螺合する。保持筒25の外周面と貫通孔4の周面との間に介在されるシール部材30は、容器本体1に対する外気の侵入や容器本体1からの気体の漏れを有効に防止する。
【0021】
逆止弁31は、熱可塑性樹脂を使用して断面コの字形の平面略円形に形成され、固定筒21の内底面に嵌入搭載されて、丸い通気口23を被覆し、保持筒25の内周面との間に気体の流路となる僅かな隙間32を形成している。逆止弁31の中央部には、位置ずれ防止用の第二の係合部となる凹部又は、円周状リブが形成されている。この逆止弁31の材料としては、ポリエチレンやポリプロピレン、ポリカーボネート、環状ポリオレフィン樹脂あるいは熱可塑性ポリエステル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマー材料があげあれる。逆止弁31の固定筒21の開口周縁部あるいは中蓋の開口端部と接触する部分には、これらによって押圧可能なシール部材37、38が装着されている。シール部材37、38は、フッ素ゴム、NBRゴム、ウレタンゴム、EPDMゴム、シリコーンゴム等の材料から形成される。またこれらの材料からなる芯材部の表面にフッ素シリコーンを被覆したり、コーティングしたりしても良い。
【0022】
逆止弁31は、バルブ体20がガス導入バルブ20Aとして利用されるときには、固定筒21の通気口23を被覆するように弾性部材33に押圧されるが、バルブ体20がガス排気バルブ20Bとして利用される場合には、弾性変形部材と上下逆に配置され、弾性変形部材によって中蓋部材の開口端部に接触するように押圧されている。
【0023】
弾性部材33は、SUSなどの金属スプリングや樹脂製のスプリングを用いることができる。また、弾性部材33は各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂等から形成される板バネを使用することもできる。その他、弾力性を有する合成樹脂の発泡体、各種ゴムや熱可塑性エラストマーからなる支柱部材を用いることもできる。ここで金属部品を使用するときには、表面を樹脂でコーティングする事が好ましい。
【0024】
中蓋筒34は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して基本的には、一端(底部側)に開口を有する円筒形に形成され、開口と相対する他端(上面側)には、気体流通用の複数の通気口23を区画する区画リブ26が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ26の上面には、フィルタ36が搭載保持される。中蓋筒34は、保持筒25の内部上方との間にシールを確保するシール部材30を備えている。中蓋筒34の内面中央には、逆止弁31を組み立てるときや逆止弁31が可動するときの位置ずれを防止する第一の係合部39となる円筒状の突起が突出形成されていて、バルブ体20表面に設けられる第二の係合部40である凹部と嵌合する。このように、逆止弁31の可動時の位置を制御する機構を設けたので、繰り返し使用しても逆止弁31の作動が安定化して、逆止弁31が作動の途中で引っかかったりしてバルブが開き放しになったり、気体の流路を塞いで気体の置換が上手くできないという事故を防止できる。
【0025】
フィルタ36は、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂等からなる多孔質膜、ガラス繊維等からなる分子濾過フィルタ36、活性炭繊維等の濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタ36から選択されてなり、これらが保持筒25の段差27と中蓋筒34の区画リブ26との間に狭持された状態で、単数、複数枚挿入され、中蓋筒34の通気口23を被覆する。これらのフィルタ36の表面と裏面には、ポリエチレンやポリプロピレン等からなり、円周状の枠体とを連結する格子状のリブとして形成される。同種類のフィルタ36を使用しても良いが、異なる性質のフィルタ36を組み合わせるとパーティクルの他有機物汚染を防止できて好ましい。
【0026】
上記構成において、バルブ体20をガス導入バルブ20Aとして利用する場合、不活性ガスやドライエアからなる気体が外部から供給されないときは、中蓋筒34の開口周端部に保持されている弾性部材33が弾性力によって略平板状の逆止弁31を固定筒21の内定面に押しつけるようになるが、逆止弁31の固定筒21の内底面と相対する表面には、シール部材37としてOリングが突出するように備えられていて、これらの接触部でシールを形成している。ここで、Oリングを接触する平面で潰しているので、確実にシール可能である。
【0027】
これに対し、加工装置の気体導入部からバルブ体20に不活性ガスやドライエアからなる気体が供給されるときには、噴出する気体の圧力によって逆止弁31が保持筒25の方向に押し圧されるので、固定筒21の開口のシールが解除されて気体をバルブ体20内部を通って基板収納容器内部へ流通可能となる。すなわち、気体は、固定筒21の通気口23と逆止弁31との隙間32、逆止弁31と保持筒25との隙間32を介して、中蓋筒34の中空部へ侵入し中蓋筒34と保持筒25に狭持されたフィルタ36を介して基板収納容器内部へと流入する。
【0028】
また、バルブ体20がガス排気バルブ20Bとして利用される場合には、弾性部材33が弾性力によって逆止弁31を中蓋筒34の開口端部に押しつけられる。このとき、バルブ体20の開口端部と相対する側の側壁に断面L字状をしたシール部材38が備えられていて、中蓋筒34の開口端部と面接触してシールを安定的に形成する。したがって、基板収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、基板収納容器の内部から外部へ気体が漏れるのが有効に防止される。
【0029】
これに対し、基板収納容器の内部に気体が充満してくると、充満する気体の圧力によって逆止弁31が固定筒21の方向に押圧されるので、中蓋筒34と逆止弁31との間のシールが解除されて気体をバルブ体20内部を通って基板収納容器外部へ排気可能となる。すなわち、気体は、基板収納容器内部から中蓋筒34と保持筒25に狭持されたフィルタ36を介して中蓋筒34の中空部へ侵入し、逆止弁31と保持筒25との隙間32Aを通って、逆止弁31との隙間32を通って固定筒21の通気口23から基板収納容器の外部(加工装置の排気ノズル部)へと排気される。この時、排気用のノズル部を減圧しておくとより効率よく気体の置換が可能となる。
【0030】
本発明の実施形態では、バルブ体20のシール形成シール部材37、38を保持する面と垂直方向に押圧しているので、導入バルブとして用いても排気バルブとして用いてもそれぞれ確実にシールを形成することができる。したがって基板収納容器内部に置換された気体の保持時間が長くなり、ガスパージの効果がより長く持続される。また、バルブ体20に収納される逆止弁31の外周側の複数の通気用の隙間32を通って気体が置換されるので、従来例のように中央1箇所の狭い内部空間を通って置換される場合に比べて、より効率よく気体の置換が行えるので、生産性が向上する。
【0031】
本発明のバルブ体20付き基板収納容器は、蓋体10開閉装置(ロードポート又は蓋体オープナ)に載置されたときに気体の置換が行う事もできるし、ストッカでの保管中や工程内やストッカへの搬送途中に行うこともできる。このとき装置側には図8、図9に示したような給気ノズル部と排気ノズル部とそれぞれの気体の流路を備えた気体パージ用治具72を設けておき、その上に基板収納容器をセットすることで気体の置換を行うことができる。前記治具72の表面には、基板収納容器を位置決めピン73がY字状に3箇所設けられておくことが好ましい。バルブ体20と対面する位置には少なくとも1対の給気ノズル部70と排気ノズル部71が円筒形状の突起としてバルブ体20と相対する位置に形成されていて、治具72の内部には給気流路74と排気流路75とが形成されていて、それぞれ気体供給源や排気装置へと連通している。なお、給気ノズル部70と排気ノズル部71は、移動可動に設けておき、治具の表面を使用前は平面状にしておき、基板収納容器が載置され後に、給気ノズル部70と排気ノズル部71のそれぞれを、バルブ体20A、20Bに接近させるようにしても良い。また、給気ノズル部70と排気ノズル部71の突起周辺には、パージする気体の漏れを防止するシール形成手段を設けておくことが好ましい。
【0032】
図10、図11は、本発明のバルブ体20の別の実施形態を表す断面図であり、この場合はガス導入側の逆止弁31とガス排気側の逆止弁31とを兼用化可能な構造としてたものである。バルブ体20は、中央の円板部分と周縁部のシール部材37、38保持部とからなり、中央部には、中蓋筒34の中央に設けられる第一の係合部39と嵌合可能な第二の係合部40が形成されている。シール部材保持部41及び/又は第二の係合部40である凹部は、円板部分の両面に設けておき、導入バルブとして使用するときと、排気バルブとして使用するときとで、バルブ体20組立時の挿入方向を変えて、シールが必要な箇所にシール部材37、38を挿入することが可能となる。この場合使用する部品の共通化を行ったので、組み立て作業や管理の効率化が可能となる。
【0033】
次に兼用化についてさらに詳細を説明する。図10は本実施形態のバルブ体20をガス導入バルブ20Aとして使用する場合を表す断面図であり、図11は、本実施形態のバルブ体20をガス排気バルブ20Bとして使用する場合を表す断面図である。この場合、逆止弁20の上下を逆さまにして固定筒21と中蓋筒34の間に組み込み、これに合わせて弾性部材33の設置位置すなわち逆止弁のシール方向を変えることで、ガス導入バルブとガス排気バルブとを兼用化することができる。逆止弁の兼用化は本実施形態に止まらず、逆止弁31の上下両面にシール部材保持部41を設けておき、そこに必要に応じてシール部材を取り付けても良いし、逆止弁31の上下両面に中蓋筒34の第一の係合部39と嵌合可能な第二の係合部40となる凹部と弾性部材33収納部を設けて於いても良い。この場合、逆止弁31を兼用化しても逆止弁31の向きは変えずに、弾性部材の取り付け位置を替えるだけでそのまま使用できる。
【0034】
本発明のバルブ体20を設ける位置及び個数は、特に限定されるものでなく、開口側とリア側にそれぞれ2個のバルブ体20を設けても良いし、開口部に1対のバルブ体20を設けたり、リア側に1対のバルブ体20を設けたりしても良い。
【0035】
中蓋筒に設けられる第一の係合部39は、上記実施形態で示した突起の他、溝部や周囲をリブで囲まれた凹部として形成しても良く、この場合逆止弁には、前記溝部や凹部と係合する突起部を第二の係合部40として形成してこれらを係合させると良い。
【0036】
【発明の効果】
本発明は、逆止弁の可動時の位置ずれ防止用の係合部を設けたので、繰り返し使用しても安定的に気体の置換を行うことができる。また逆止弁の外側に気体の通路を設けたので、効率良く気体の置換が行える。さらにシールパッキンを面押圧で確実にシールを形成しているので、置換した気体の漏れを防いで長時間の維持ができる。
【0037】
【実施例】
上記した図4,図6に示した1対のバルブ体を取り付けた本発明の基板収納容器を窒素ガスで置換したときの酸素濃度と、このような低酸素の状態を維持できる保持時間の測定を行った。その結果は、窒素ガスを20L/分の割合で供給していくと、酸素濃度を10ppm以下に低下させるのに約15分で可能であった。また、この状態で窒素ガスの供給を止めて、基板収納容器を放置しておくときの酸素濃度の変化を調べると酸素濃度が1%まで上昇するのに約5時間を要しており、このように基板を加工途中で一時保管するときなど低酸素状態を一定の時間維持できるので、基板の汚染や表面の酸化を抑制することができる。
比較のため従来技術で取り上げたバルブ付きの基板収納容器を使用した場合、酸素濃度が10ppmから1%まで上昇するのに約70分しか要さなかった。なお、測定は基板収納容器に2箇所の貫通穴部を設けて、2箇所の貫通穴を結ぶように測定用の配管経路を作成し、配管経路の途中に酸素濃度計を設置して酸素濃度の測定を1分毎に行った。貫通穴の周囲を密閉したのち、基板収納容器内部に導入バルブを介して窒素ガスを一定速度で供給した。また、酸素濃度は東レエンジニアリング社製の酸素濃度計(測定レンジ0.1ppm〜100VOL%)を使用した。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる基板収納容器の実施形態を表す分解斜視図。
【図2】本発明に係わる基板収納容器の実施形態における容器本体を表す底面図。
【図3】本発明に係わる基板収納容器の実施形態におけるバルブ体を示す分解斜視図。
【図4】本発明に係わる基板収納容器の実施形態におけるガス導入バルブを表す断面説明図。
【図5】図4のガス導入バルブに気体が供給される状態を表す断面説明図。
【図6】本発明に係わる基板収納容器の実施形態におけるガス排気バルブを表す断面説明図。
【図7】図6のガス排気バルブから気体が排気される状態を表す断面説明図。
【図8】本発明に係わる基板収納容器にガス置換をするためのガス給排気治具を表す平面図。
【図9】図8に示した治具を表す側面図。
【図10】本発明に係わる基板収納容器の別の実施形態におけるガス導入バルブを表す断面説明図。
【図11】本発明に係わる基板収納容器の別の実施形態におけるガス排気バルブを表す断面説明図。
【符号の説明】
1 容器本体
4 貫通孔
5 リブ
10 蓋体
20 バルブ体
20A ガス導入バルブ
20B ガス排気バルブ
21 固定筒
22 螺子溝
23 通気口
24 フランジ
25 保持筒
28 フランジ
29 螺子溝
30 シール部材
31 逆止弁
32 隙間
32A 隙間
33 弾性部材
34 中蓋筒
36 フィルタ
37 シール部材
38 シール部材
39 第一の係合部
40 第一の係合部
41 シール部材保持部
70 給気ノズル部
71 排気ノズル部
W 基板

Claims (3)

  1. 容器本体と、容器本体の開口を開閉する蓋体と、これらの容器本体と蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体とを含む基板収納容器であって、バルブ体は貫通孔の一方から嵌められる固定筒と、貫通孔の他方から嵌められ固定筒に組み合わされる保持筒と、保持筒の内側壁に保持される中蓋筒と、前記固定筒と前記保持筒に隙間を介して内蔵されると逆止弁と、前記逆止弁を移動可能に支持する弾性支持部材とを有し、中蓋筒の内面には第一の係合部が形成され、逆止弁には前記第一の係合部と係合する第二の係合部が設けられていて、前記固定筒の内側壁と前記逆止弁の外側壁との間に気体の通路となる隙間を形成したことを特徴とする基板収納容器。
  2. 前記バルブ体が、フィルタ部材を備えていることを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。
  3. 前記逆止弁が、少なくとも1つのシール部材を有し、弾性支持部の押圧方向にシール部材を押し潰してシールを形成していることを特徴とする請求項1又は2の何れか1項に記載の基板収納容器。
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