JP2009105205A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一端に開口部を有し基板を収納する容器本体1と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、容器本体1の内部と外部とを連通する連通部3が少なくとも1ヶ設けられている基板収納容器であって、前記連通部3には、フィルタ保持部材5が取り付けられていて、フィルタ保持部材5の向き合う開口部の両端に第一のフィルタ6と第二のフィルタ7が向き合うように配設されていることを特徴とする。フィルタ保持部材には、逆止弁を備えた開閉バルブが内蔵されること、第一のフィルタ6の圧力損失が、フィルタ保持部材の他端部に設けられる第二のフィルタ7の圧力損失以上であること、等がそれぞれ好ましい。
【選択図】図4
Description
こうした基板収納容器は、一定期間の使用後に洗浄されて、繰り返して使用される。
このように内部に水分が残った状態で使用すると、収納した基板を汚染してしまう恐れがあった。そのため、開閉バルブ内を完全に乾燥させるために長時間を要していた。
また、こうした連通部の部品を取り外すことで、上記した問題点を解決することも可能であったが、こうした取り外し作業に手間がかかるし、取り外した部品を再度取り付ける際に、間違って取り付けてしまう恐れもあった。
前記フィルタ保持部材の一端部に設けられる前記第一のフィルタ6、46の圧力損失が、前記フィルタ保持部材の他端部に設けられる前記第二のフィルタ7、47の圧力損失以上であることが好ましい。
また、上記した樹脂繊維の表面をセルロース等でコーティングしたり、アクリル樹脂やポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂等をバインダーとして用いて異なる樹脂繊維やガラス繊維を積層したもの、あるいは繊維状活性炭などの化学物質吸着フィルタも使用できる。さらに、これらを複数枚組み合わせて使用することもできる。
図1は、本発明の一実施の形態のフィルタ保持部材の構造を示す斜視説明図、図2は、上記したフィルタ保持部材が取り付けられる基板収納容器の斜視図、図3は、上記した基板収納容器の底面図、図4は、本発明の、開閉バルブを用いる第一の実施の形態のフィルタ保持部材の詳細説明図であって、(a)はフィルタ保持部材の断面図、(b)はフィルタ保持部材の作動形態を説明する図、図5は、本発明の第一の実施の形態のフィルタ保持部材において、図4の場合の開閉バルブに内蔵される弁体28の天地を逆にした場合の詳細説明図であって、(a)はフィルタ保持部材の断面図、(b)はフィルタ保持部材の作動形態を説明する図、図6は、本発明の、開閉バルブを用いない第二の実施の形態のフィルタ保持部材の断面図である。
ここで、本発明の対象である基板収納容器の基本的構造を示しておく。図2において、基板収納容器4は、容器本体1と、その開口部を閉鎖する蓋体2から構成され、底部にボトムプレート8を備えている。ボトムプレートは、容器本体の底面にボルト止め等適宜の手段で固定されて取り付けられている。
容器本体1の向き合う側壁の内側には、基板を水平に一定間隔で支持する棚(図示省略)が、通常複数対、備えられている。
フィルタ保持部材5の詳細を、図4に基づいて説明する。
図4(a)において、容器本体1に設けられた連通部3(図3)には、貫通部13を有し、つば部一14を備える内側固定部材17が嵌合され、内側固定部材17には、螺刻部二23が形成され、外側固定部材16に螺刻された螺刻部一22と螺合する。外側固定部材16は、容器本体1の円筒リブ24に嵌合され、つば部二15が円筒リブ24に衝接して位置決めされる。
狭持部材25は、係止凸部26が内側固定部材17に形成された係止凹部27に係止することによって、位置決め固定される。
外側固定部材16に形成された貫通孔9は、第二のフィルタ7で被覆される。
開閉バルブ11は、円筒形をした中空な第一のフィルタの狭持部材25の内部に内蔵設置され、外側固定部材16との間で、スプリング部材(弾性部材)29の段発力によって外側固定部材16の貫通孔9を閉鎖している(図4(b))。32、33(図5(b)は、シーリング部材である。
弁体28は、スプリング部材(弾性部材)29の段発力に抗する圧力が作動すると、スプリング部材(弾性部材)29が圧縮され、貫通孔9が解放される(図4(a))ことによって、基板収納容器内外の圧力差が解消され、また、基板収納容器内の雰囲気の置換がなされる。なお、30はOリング1、31はOリング2であり、それによって気密・水密性が保たれている。
図6には、開閉バルブを用いない本発明の第二の実施の形態の例が示される。
この場合のフィルタ保持部材45は、前述の本発明の第一の実施の形態の例と同様、容器本体又は蓋体に設けられて、基板収納容器の内部にろ過した気体を流通させるためのものである。この実施の形態も、フィルタ保持部材45の嵌合部に洗浄水が入らないように、内側固定部材57の一端側に(交換可能とすることも可)配設される第一のフィルタ46、他端側の、外側固定部材56の開口に第二のフィルタ47を取り付ける。この場合も、洗浄時に連通部43を防水できるので、先述と同様の防水効果が得られる。
本洗浄では、適量の界面活性剤を使用したり、超音波洗浄を行う。このような洗浄が終了後、洗浄槽から取り出されて乾燥工程へと移動される。乾燥工程では、50℃〜100℃の温風にて所定時間乾燥する。乾燥終了後、室温まで冷却される。その後、容器本体に蓋体が取り付けられて再び基板収納容器として使用できるようになる。
なお、洗浄方法は上記したものに限らず、種々の方法が利用できる。たとえば、洗浄槽に投入することに替えて、シャワー洗浄を利用しても良い。
また、界面活性剤のほか、必要に応じて溶剤を利用することもできる。
また、第二のフィルタに、第一のフィルタと圧力損失が等しいかこれよりも少ないフィルタを使用することで、ここから内部への洗浄水の浸入を防止できると共に、エアーを不活性ガス等と置換するときの圧力等の条件を従来のフィルタを片側だけに設けた場合と、同等の条件で行うことができるので好ましい。
第二のフィルタの圧力損失が第一のフィルタの圧力損失よりも大きいと、フィルタ保持部材全体の圧力損失が大きくなり過ぎて、不活性ガス等の置換時間が長くなり、効率が悪くなるし、不活性ガス等の供給圧力を高くしないといけなくなり、設備面での対応が必要になるといった問題が生じる。
なお、ここでいう、圧力損失は、フィルタを使用する前の初期値とする。
基板収納容器の外側に位置する第二のフィルタを上記したように平均口径が大きく圧力損失の小さなフィルタを用いて0.3μm以上のパーティクルを捕獲し、内部側に設けられる第一のフィルタを平均口径が小さい、圧力損失を第二のフィルタ以上とすることで、ここで0.1μm以上のパーティクルを捕獲するようにすることで、フィルタの目詰まりを防止して、フィルタの寿命を長くできる。
また、内側固定部材17と固定部材とを係止するための螺刻部は、内側固定部材17の内側、外側のどちらに設けても良く、これに合わせて固定するための部品=狭持部材の螺刻部を形成すると良い。さらに、フィルタ保持部材の基板収納容器への固定方法は、ネジ止めや摩擦係合など、周知の種々の方法が利用できる。
2:蓋体
3:連通部
4:基板収納容器
5:フィルタ保持部材
6:第一のフィルタ
7:第二のフィルタ
8:ボトムプレート
9:貫通孔
10:開閉バルブ(供給側開閉バルブ)
11:開閉パルプ(排気側開閉パルプ)
13:貫通部
14:つば部一
15:つば部二
16:外側固定部材
17:内側固定部材
18:補強部材(格子状リブ)
19、20:位置確認部材
21:位置決め部材
22:螺刻部一
23:螺刻部二
24:円筒リブ
25:(第一のフィルタの)狭持部材
26:係止凸部
27:係止凹部
28:弁体
29:スプリング部材(弾性部材)
30:Oリング1
31:Oリング2
32:シーリング部材
33:シーリング部材
43:連通部
45:フィルタ保持部材
46:第一のフィルタ
47:第二のフィルタ
56:外側固定部材
57:内側固定部材
65:フィルタ狭持部材
Claims (4)
- 一端に開口部を有し基板を収納する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記容器本体の内部と外部とを連通する連通部が少なくとも1ヶ設けられている基板収納容器であって、前記連通部には、フィルタ保持部材が取り付けられていて、前記フィルタ保持部材の向き合う開口部の両端に第一のフィルタと第二のフィルタが向き合うように配設されていることを特徴とする基板収納容器。
- 前記基板収納容器が、底部にボトムプレートを備え、前記ボトムプレートには、前記連通部と重なるような貫通孔が設けられていて、前記貫通孔を通して前記連通部に前記フィルタ保持部材が嵌合され、前記フィルタ保持部材には基板収納容器の内部気体を置換するための逆止弁を備えた開閉バルブ(供給側開閉バルブ、排気側開閉パルプ)が内蔵されている請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記フィルタ保持部材の一端部に設けられる前記第一のフィルタの圧力損失が、前記フィルタ保持部材の他端部に設けられる前記第二のフィルタの圧力損失以上である請求項1又は請求項2に記載の基板収納容器。
- 前記フィルタ保持部材が、円筒形をした内側固定部材と、これと向き合うように取り付けられるリング状の外側固定部材を有し、前記内側固定部材は一端に格子状の貫通部と外周方向に張り出すつば部一を有し、かつ、空洞に形成される内部と、他端部の開口と、前記固定部材との係合部とを有し、前記外側固定部材は、一端部に開口と前記内側固定部材との係合部とを有し、他端部には、連通部を有する端壁と、外周方向に張り出すつば部二を有し、内側固定部材の空洞内部には、格子状の貫通部との間にフィルタを保持するフィルタ保持部材が取り付けられ、他端部の端壁の貫通部は、第二のフィルタで被覆されている請求項1〜3記載の何れかに記載の基板収納容器。
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