TWI829427B - 氣體過濾裝置及具有氣體過濾裝置的光罩載具 - Google Patents

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Abstract

本發明揭露一種氣體過濾裝置，可拆卸地安裝至一光罩載具。該氣體過濾裝置包含至少一多孔擴散元件及複數個連接部。該多孔擴散元件由該複數個連接部可拆卸地連接至光罩載具，而使該多孔擴散元件被限制在光罩載具上提供過濾功能。

Description

氣體過濾裝置及具有氣體過濾裝置的光罩載具
本發明關於一種用於存放及運輸光罩的光罩載具，特別是一種提供有氣體過濾裝置的光罩載具，讓空氣可經由氣體過濾裝置進入光罩載具中。
為了保持基板的潔淨度，如光罩一般存放於所謂的光罩載具中，像是光罩盒(Mask Package)或光罩傳送盒(Reticle SMIF Pod)，避免製程環境的微粒附著至光罩的表面。
第一圖例示已知的一種光罩載具，而且是一種雙層盒(dual pod)，其通常是作為光罩傳送盒。該雙層盒，包含一外盒(10)和收容於外盒(10)中的內盒(20)。外盒(10)具有一蓋(11)和一基座(12)，內盒(20)也具有一蓋(22)和一基座(21)。光罩(R)存放於內盒(20)的基座(21)上，並由蓋(22)封閉，形成一密閉容置。內盒(20)容置於外盒(10)中後，可由天車系統(OHT)運輸。儘管未顯示，但外盒(10)和內盒(20)還可具備其他元件，像是密封元件、鎖定裝置及結構限位元件。
已知內盒(20)的蓋(22)的上表面設置有一多孔蓋(perforated cover)以及位於該上表面與該多孔蓋之間的一過濾膜。過濾膜通常是由PTFE製 成或不織布製成的可撓性片體。因此空氣可經由過濾膜進入內盒外部進入蓋(22)和基座(21)界定的容置空間，過濾膜會過濾空氣中的微粒，讓純淨的空氣進入容置空間中進行氣體交換或具潔淨功能。
半導體製程中常會因應不同目的而使雙層盒需要進行抽真空、氣體交換或氣體回填等處理。在內盒(20)具有一內外壓力差的情況中，通入外盒中的乾燥氣體會經由內盒(20)的過濾膜流入內盒(20)的光罩容置空間中。或者，在內盒具有一內外壓力差的情況中，光罩容置空間中的氣體會經由過濾膜排出。因此，過濾膜主要將可能汙染光罩的粒子阻擋在內盒(20)之外。
然而，這種習知過濾膜存在某些問題。由於這種過濾膜的厚度很輕薄且具有可撓性的結構特性，當內盒(20)的內外壓力差發生變化時，如氣流經由過濾裝置進入或離開內盒的光罩容置空間的過程中，或是內外氣體反覆交換時，過濾膜因結構特性而於多孔蓋與蓋(22)之間產生拍震。震動之過濾膜與周圍金屬部件(如槽的底面、支撐件或多孔蓋)摩擦，容易導致破損，進而生成微粒掉入光罩容置空間。再者，進入半導體製程設備後一定時間之雙層盒需要清洗。過濾膜在沖洗作業中亦容易破損及剝落，進而產生微粒掉入光罩容置空間。
就此，習知過濾膜成為污染光罩的潛在風險因子之一。有必要發展一種降低汙染風險的過濾裝置但不犧牲過濾裝置的過濾能力，以提高光罩載具的保護力。
本發明之目的在於提供一種氣體過濾裝置，可拆卸地安裝至一光罩載具，該氣體過濾裝置包含：一框，具有至少一鏤空，該框可拆卸地連接至該光罩載具；及至少一多孔擴散元件，具有與該框的該至少一鏤空匹配的形狀，藉此使該至少一多孔擴散元件穩固結合至該框，而當該框連接至該光罩載具時，該至少一多孔擴散元件藉由該框而定位於該光罩載具上，使該光罩載具的內部容置空間經由該至少一多孔擴散元件與該光罩載具的外部連通。
在一具體實施例中，該框具有多個鏤空，且每一個鏤空為扇形，且該複數個鏤空是以中心對稱分布。
在一具體實施例中，該框具有一外框及連接該外框之至少一內框，該外框與該內框之間界定為該鏤空，該外框包含多個連接部，該多個連接部分別與一鎖固元件配合，使該外框可拆卸地連接至該光罩載具的一蓋，該內框用以結合該多孔擴散元件。
在一具體實施例中，該內框的內側提供有至少一耦合部，該耦合部限制該多孔擴散元件的邊緣，防止該多孔擴散元件脫離該鏤空。
在一具體實施例中，該內框的內側包括有連接該耦合部之至少一支撐部，該支撐部嵌入該多孔擴散元件之中，防止該多孔擴散元件脫離該鏤空。
在一具體實施例中，該至少一耦合部與該框的一上表面或一下表面呈一不連續之階梯結構，該多孔擴散元件是經由燒結而與該內框的耦合部結合。
在一具體實施例中，該至少一多孔擴散元件具有一上表面、一下表面及該上表面和該下表面之間延伸的一厚度，該厚度介於0.1mm至3.0mm之間。
在一具體實施例中，該至少一多孔擴散元件是由多孔性粉末材質燒結而成，所述燒結溫度介於210℃至240℃。
在一具體實施例中，該至少一多孔擴散元件的每一個孔洞或平均孔洞直徑介於0.1μm至10μm。
本發明另一目的在於提供一種光罩載具，包含一蓋、一基座及所述的氣體過濾裝置。該氣體過濾裝置可拆卸地連接至該蓋。
本發明再一目的在於提供一種氣體過濾裝置，可拆卸地安裝至一光罩載具，該氣體過濾裝置包含：一多孔擴散元件，具有一板體及位於該板體外緣的複數個連接部，該複數個連接部分別與多個鎖固元件配合，使該多孔擴散元件經由該複數個連接部可拆卸地連接至該光罩載具，該光罩載具的內部容置空間經由該多孔擴散元件與該光罩載具的外部連通，其中該多孔擴散元件的板體及該複數個連接部為一體成型。
本發明又一目的在於提供一種光罩載具，包含：一蓋及一基座，界定一容置空間，且該蓋貫穿有一氣體通道，該容置空間經由該氣體通道與該光罩載具的外部連通；及一多孔擴散元件，可拆卸地連接至該光罩載具的蓋，且該多孔擴散元件與該氣體通道相連通，使得經由該氣體通道進入該容置空間的空氣由該多孔擴散元件過濾。
10:外盒
11:蓋
12:基座
20:內盒
21:基座
22:蓋
222:槽
223:氣體通道
224:連接部
30:氣體過濾裝置
31:框
311:外框
312:內框
3121:支撐部
313:鏤空
314:連接部
315:耦合部
316、316’、316”:耦合部
32:多孔擴散元件
40:氣體過濾裝置
41:板體
42:連接部
50:待測光罩載具
51:外盒
52:進氣通道
53:測試腔
參照下列圖式與說明，可更進一步理解本發明。非限制性與非窮舉性實例系參照下列圖式而描述。在圖式中的部件並非必須為實際尺寸；重點在於說明結構及原理。
第一圖例示已知雙層盒的分解圖。
第二A圖顯示本發明氣體過濾裝置的第一實施例。
第二B圖顯示該第一實施例的分解圖。
第二C圖顯示蓋的局部放大圖。
第二D圖顯示該第一實施例的進一步分解圖。
第二E圖顯示框的連接部放大圖。
第二F圖顯示框頂部的局部放大圖。
第二G圖顯示框底部的局部放大圖。
第二H圖為根據第二D圖沿A-A線剖面的剖面圖。
第二I圖為根據第二D圖沿B-B線剖面的剖面圖。
第二J圖至第二K圖為結合多孔擴散元件與耦合部的其他變化例。
第三A圖顯示本發明氣體過濾裝置的第二實施例。
第三B圖顯示該第二實施例的分解圖。
第三C圖顯示該第二實施例的另一變化。
第四A圖例示氣體回填實驗的配置。
第四B圖為氣體回填實驗測試圖，顯示本發明光罩載具和習知光罩載具的溼度下降曲線。
第五A圖例示抽氣實驗的配置。
第五B圖為抽氣實驗測試圖，顯示本發明光罩載具和習知光罩載具的內外壓力差變化。
底下將參考圖式更完整說明本發明，並且藉由例示顯示特定範例具體實施例。不過，本主張主題可具體實施於許多不同形式，因此所涵蓋或申請主張主題的建構並不受限於本說明書所揭示的任何範例具體實施例；範例具體實施例僅為例示。同樣，本發明在於提供合理寬闊的範疇給所申請或涵蓋之主張主題。除此之外，例如主張主題可具體實施為方法、裝置或系統。因此，具體實施例可採用例如硬體、軟體、韌體或這些的任意組合(已知並非軟體)之形式。
本說明書內使用的詞彙「實施例」並不必要參照相同具體實施例，且本說明書內使用的「其他(一些/某些)實施例」並不必要參照不同的具體實施例。其目的在於例如主張的主題包括全部或部分範例具體實施例的組合。
第二A圖及第二B圖為本發明第一實施例之氣體過濾裝置(30)。氣體過濾裝置(30)可拆卸地連接至光罩載具的蓋(22)。儘管光罩載具的基座省略未示，但本領域技術者仍可根據第一圖的基座(21)來理解。
第二B圖顯示蓋(22)的上表面形成有用於匹配氣體過濾裝置(30)的槽(222)，槽(222)由低於蓋(22)上表面之一底面所界定，該底面形狀與氣體過濾裝置(30)的形狀相匹配，如第一實施例中的槽(222)為具有四個向外延伸角落(outward extending corners)之中心對稱形狀。四個連接部(224)分別位於底面的四個角落，用於連接氣體過濾裝置(30)。請同時參第二C圖，為連接部(224)放大圖，其顯示連接部(224)為自槽(222)的底面隆起的結構並形成有一螺孔供螺絲插入。該螺孔未貫穿蓋(22)的下表面，以確保蓋(22)的氣密性。
第二D圖顯示氣體過濾裝置(30)主要是由一框(31)和複數個多孔擴散元件(32)所構成。
框(31)主要包含一外框(311)和一內框(312)所構成。外框(311)基本上是一環形結構；內框(312)是由多個梁所構成的放射狀結構。為能提升整體的結構強度，內框(312)相鄰的梁與梁之間還橋接有一支撐部(3121)。外框(311)的內側與內框(312)的外側連接，界定出鏤空(313)的結構，鏤空(313)的數量會根據外框(311)與內框(312)的設計而變化。在第一實施例中，以複數個鏤空(313)為例，這些鏤空(313)的每一個形狀為扇形，且全部以中心對稱配置。鏤空(313)受到支撐部(3121)可再分成兩個鏤空部分。外框(311)的外側提供有多個連接部(314)，用於配合蓋(22)的連接部(224)，連接部(314)與連接部(224)可透過鎖固元件相配合拆卸或鎖固，鎖固元件如螺絲，但不侷限於此螺絲元件。由外框(311)和連接部(314)所界定框(31)的形狀，使框(31)可放置於蓋(22)的上表面的槽(222)。第二E圖為連接部(314)之底部視角，連接部(314)的底部形成有用於配合蓋(22)之連接部(224)的一凹部。如圖所示，當連接部(314)提供有螺絲，其末端自凹部向下凸出。連接部(314)底部的凹部與連接部(224)的隆起結構之設計有助於將氣體過濾裝置(30)定位於蓋(22)上，確保上連接部(314)的螺孔對準下連接部(224)的螺孔。
返參第二D圖，多孔擴散元件(32)是具有一上表面、一下表面及在上下表面之間延伸的一厚度，厚度介於0.1mm至3.0mm之間。多孔擴散元件(32)具有與鏤空(313)匹配的形狀，使多孔擴散元件(32)可被良好地限制在鏤空(313)中，沒有縫隙。多孔擴散元件(32)的邊緣與外框(311)和內框 (312)結合，多孔擴散元件(32)的下表面可至少由支撐部(3121)支撐，防止多孔擴散元件(32)脫離。在其他可能的實施例中，支撐部(3121)可被省略，使多孔擴散元件(32)僅受外框(311)和內框(312)之限制。多孔擴散元件(32)基本上是由多孔性粉末材質經高溫，如介於210℃至240℃之間燒結而成，且具有隨機分布之多孔結構，但本發明不以此為限制。所述多孔性粉末是指可經由高溫塑型而形成多孔燒結塊狀物體的一種粉末。在一較佳實施例中，多孔擴散元件(32)的厚度介於0.1mm至3.0mm之間，多孔擴散元件(32)的每一個孔洞或平均孔洞直徑介於0.1μm至10μm。
第二F圖及第二G圖分別以頂部和底部視角進一步放大鏤空(313)中的結構。一耦合部(315)是延伸於外框(311)內側以及內框(312)內側的一凸肋結構，意即耦合部(315)沿著鏤空(313)的邊緣延伸。如圖所示，耦合部(315)與框(31)的上表面均為不連續之階梯結構，而支撐部(3121)為自耦合部(315)所延伸的一橋接(bridge connection)結構。
返參第二B圖，槽(222)的底面可具有一或多個氣體通道(223)，其可具有對應鏤空(313)的形狀，但本發明不以此為限制。氣體通道(223)貫穿蓋(22)並使蓋(22)的內側和外側相連通。槽(222)的底面提供有多個對應的連接部(224)已如前述，框(31)的連接部(314)與槽(222)中的連接部(224)對準後可經由鎖固元件將框(31)固接至蓋(22)的槽(222)中。
第二H圖是根據第二D圖沿A-A線之一另實施例剖面，不同於前述實施例之多孔擴散元件(32)下表面坐落在耦合部(315)及支撐部(3121)上，該示意之變化例的耦合部(316)與內框(312)的上下表面形成階梯結構，耦合部(316)同樣具有如同支撐部(3121)之橋接結構。當多孔性粉末被填入鏤空 (313)進行燒結成型後，耦合部(316)及其橋接結構均嵌入多孔擴散元件(32)中，藉此防止多孔擴散元件(32)脫離。第二I圖是根據第二D圖沿B-B線之一另實施例剖面，其顯示未有橋接結構連接的耦合部(316)。在第二J圖之另一變化例中，耦合部(316’)可配置成貼近位於內框(312)的一表面，藉由多孔擴散元件(32)邊緣與耦合部(316’)之間的摩擦力此防止多孔擴散元件(32)脫離。在第二K圖之又一變化例中，耦合部(316”)可為具有斜面的凸肋。這些耦合部(315、316、316’、316”)可於多孔擴散元件(32)燒結成型時一併嵌入或結合至多孔擴散元件(32)。在其他可能的變化例中，多孔擴散元件(32)可以是單獨成型後組裝至框(31)。耦合部(316、316’、316”)可以是連續的結構，延伸於內框(312)和外框(311)的內側，即沿著鏤空(313)的輪廓延伸。當然，耦合部(315、316、316’、316”)也可以是不連續的結構，耦合部(315、316、316’、316”)的數量也可以有不同的組合。再者，耦合部的尺寸可適當的設計，使預先成型的多孔擴散元件能藉由適當施力而結合至鏤空中的耦合部，或自鏤空拆下。如此，容易更換多孔擴散元件。所述多孔擴散元件(32)與框(31)之間可提供密封元件，防止氣體從多孔擴散元件(32)的周圍洩漏。
第三A圖及第三B圖為本發明第二實施例之氣體過濾裝置(40)。氣體過濾裝置(40)可拆卸地連接至光罩載具的蓋(22)。儘管光罩載具的基座省略未示，但本領域技術者仍可根據第一圖的基座(21)來理解。
氣體過濾裝置(40)主要由一板體(41)及多個連接部(42)所一體成型。板體(41)基本上具有一上表面、一下表面及一厚度。板體(41)可具有一致的厚度或一變化厚度。同樣地，該厚度介於0.1mm至3.0mm之間。板體 (41)基本上具有一形狀(如圓形)，其面積足以涵蓋所有的氣體通道(223)。本實施例的氣體通道(223)為貫穿光罩載具的內部容置空間之通孔，氣體通道(223)的結構設計可為自蓋(22)的中心位置向外等距環繞呈放射狀的複數個通孔，但本發明不侷限通孔的幾何設計態樣。如第三C圖之另一變化所提供的氣體通道(223)和第二B圖的配置同樣採用中心對稱分布。連接部(42)配置於板體(41)的周圍，且因為是作為承受應力的部分，故具有相對較大厚度。板體(41)和連接部(42)的連接處可提供加強筋(stiffener)結構，藉此避免承受應力的連接部(42)和板體(41)之間產生斷裂。同樣地，連接部(42)可配置成經由鎖固元件(如螺絲)固定至槽(222)的對應連接部(224)。
儘管圖中未顯示，適當的密封手段，如密封環或密封墊，可提供於多孔擴散元件(32)和氣體通道(223)之間，避免氣體經由空隙洩漏。儘管上述實施例僅展示單層多孔擴散元件，但本發明不限於單層配置。例如，至少兩層多孔擴散元件且這兩層之間可為空氣或習知過濾膜。本發明多孔擴散元件亦不限於使用鎖固元件進行安裝和拆解，其他像是插入或埋入，只要能將多孔擴散元件定位並與蓋的氣體通道相連通的連接方式均可行。例如，多孔擴散元件可位於氣體通道的頂側(如前述實施例)，亦可安裝於蓋的內側而位於氣體通道的底端。或者，多孔擴散元件可以特定型體填入氣體通道中。因此，無論氣體是從光罩載具的外部進入內部容置空間，或者氣體從內部容置空間釋放至光罩載具以外，氣體中的微粒通過多孔擴散元件能有效地被阻擋和過濾。
第四A圖例示氣體回填實驗的配置。在實驗中，待測光罩載具(如雙層盒的內盒)被放置在一氣體回填空間中，如雙層盒外盒界定的容置空間。如第四A圖，待測光罩載具(50)放置在外盒(51)中，即雙層盒的配置。外盒 (51)的基座具有一或多個進氣通道(52)，其可連接至氣體供應系統(未顯示)並接收一氣體源的氣體，如乾燥氣體，使外盒(51)的容置空間可填入乾燥氣體。在光罩地保存中，乾燥氣體可降低載具容置空間的溼度，避免光罩受到水氣汙染。因此，有效將乾燥氣體填充至光罩容置空間，有助於快速降低儲存環境的濕度。
第四B圖為氣體回填實驗例，顯示本發明光罩載具和習知光罩載具的溼度下降情況，其中橫軸代表時間，縱軸代表標準化濕度(normalized humidity)。此實驗是將乾燥氣體以特定流速經由進氣通道(52)填入外盒(51)界定的氣體回填空間中，乾燥氣體於外盒(51)中擴散後經由待測光罩載具(50)的過濾機制進入容置空間，一或多個濕度感測器可配置於待測光罩載具(50)中以監測待測光罩載具(50)中容置空間的溼度變化。當第四A圖的待測光罩載具(50)採用習知過濾膜和採用本發明多孔擴散元件進行實驗時，可觀察到使用本發明厚度為1mm的多孔擴散元件比起使用習知過濾膜呈現更早的溼度下降起始時間，表示本發明多孔擴散元件對於乾燥氣體的流動而言具有更小的阻礙。
第五A圖例示抽氣實驗的配置。在實驗中，待測光罩載具(50)放置於一測試腔(53)中。測試腔(53)具有一起始氣壓，而待測光罩載具(50)中的容置空間也具有一致的氣壓。測試腔(53)可連接至一抽氣系統，使測試腔(53)內的氣體被抽出而趨近真空狀態，同時待測光罩載具(50)中容置空間的氣體也會經由載具的過濾介面被抽出。然而，實際上在抽氣過程，測試腔(53)和待測光罩載具(50)中的容置空間會呈現一壓力差，即待測光罩載具(50)的內外壓力差。實驗中，分別在測試腔(53)和待測光罩載具(50)的容置空間中配置一或多個氣壓感測器，藉此觀察抽氣過程的氣壓變化。壓力差的變化對於 光罩載具而言是常見的，這是因為光罩載具會在不同的製程氣壓環境中傳輸，而光罩載具有時需要在內外壓力平衡的狀態下進行操作。因此，達到光罩載具的內外壓力差平衡所需時間會影響到整體製程時間。
第五B圖為抽氣實驗例，顯示本發明光罩載具和習知光罩載具的內外壓力差變化，其中橫軸代表時間，縱軸代表標準化壓力差(normalized pressure difference)。使用具有本發明多孔擴散元件(厚度為1mm)之光罩載具與使用習知過濾膜之光罩載具進行實驗。使用本發明多孔擴散元件之載具的內外壓力差具有較小的變化，壓力差趨於穩定的時間也來得更早，表示氣體在測試腔(53)和待測光罩載具(50)容置空間之間經由本發明多孔擴散元件的流通阻礙較小，證明本發明多孔擴散元件的透氣效果較佳。
此外，本發明多孔擴散元件在厚度控制得宜的情況下，除了具有優於習知過濾膜的透氣性，也有相當優異的過濾表現。在一過濾實驗中，當多孔擴散元件的每一個孔洞或平均孔洞直徑尺寸大於0.1μm(但不超過10μm)，該多孔擴散元件的過濾效益可達99%以上。該實驗是以提供預定粒子源的方式在一氣體交換過程中進行測量，而從最終粒子通過「多孔擴散元件」的比例所獲得所述百分比數值作為過濾效益。
綜上所述，本發明氣體過濾裝置利用不可撓之多孔擴散元件作為過濾手段，使得具備本發明氣體過濾裝置之光罩載具於氣體交換過程不但可提供過濾功能，還能避免多孔擴散元件因震動摩擦而產生汙染微粒，解決習知過濾膜存在的技術缺失。此外，氣體過濾裝置可拆卸地連接光罩載具，多孔擴散元件亦可拆卸地連接氣體過濾裝置，所以氣體過濾裝置或多孔擴散元件可於使用一段時間後更換。
雖然為了清楚瞭解已經用某些細節來描述前述本發明，吾人將瞭解在申請專利範圍內可實施特定變更與修改。因此，以上實施例僅用於說明，並不設限，並且本發明並不受限於此處說明的細節，但是可在附加之申請專利範圍的領域及等同者下進行修改。
31:框
311:外框
3121:支撐部
312:內框
313:鏤空
314:連接部
32:多孔擴散元件

Claims (16)

  1. 一種氣體過濾裝置，可拆卸地安裝至一光罩載具，該氣體過濾裝置包含：一框，具有至少一鏤空，該框可拆卸地連接至該光罩載具；及至少一多孔擴散元件，具有與該框的該至少一鏤空匹配的形狀，藉此使該至少一多孔擴散元件穩固結合至該框，使該光罩載具的內部容置空間經由該至少一多孔擴散元件與該光罩載具的外部連通。
  2. 如請求項1所述的氣體過濾裝置，其中該框具有多個鏤空，且該複數個鏤空是以中心對稱分布。
  3. 如請求項1所述的氣體過濾裝置，其中該框具有一外框及連接該外框之至少一內框，該外框與該內框之間界定為該鏤空，該外框包含多個連接部，該多個連接部分別與一鎖固元件配合，使該外框可拆卸地連接至該光罩載具的一蓋，該內框用以結合該多孔擴散元件。
  4. 如請求項3所述的氣體過濾裝置，其中該內框的內側包括至少一耦合部，該耦合部限制該多孔擴散元件的邊緣，防止該多孔擴散元件脫離該鏤空。
  5. 如請求項4所述的氣體過濾裝置，其中該內框的內側包括有連接該耦合部之至少一支撐部，該支撐部嵌入該多孔擴散元件之中，防止該多孔擴散元件脫離該鏤空。
  6. 如請求項4所述的氣體過濾裝置，其中該至少一耦合部與該框的一上表面或一下表面呈一不連續之階梯結構，該多孔擴散元件是經由燒結而與該內框的該至少一耦合部結合。
  7. 如請求項1所述的氣體過濾裝置，其中該至少一多孔擴散元件具有一上表面、一下表面及該上表面和該下表面之間延伸的一厚度，該厚度介於0.1mm至3.0mm之間。
  8. 如請求項1所述的氣體過濾裝置，其中該至少一多孔擴散元件是由多孔性粉末材質燒結而成，所述燒結溫度介於210℃至240℃。
  9. 如請求項1所述的氣體過濾裝置，其中該至少一多孔擴散元件的每一個孔洞或平均孔洞直徑介於0.1μm至10μm。
  10. 一種光罩載具，包含一蓋、一基座及如請求項1所述的氣體過濾裝置，該氣體過濾裝置可拆卸地連接至該蓋。
  11. 一種氣體過濾裝置，可拆卸地安裝至一光罩載具，該氣體過濾裝置包含：一多孔擴散元件，具有一板體及位於該板體外緣的複數個連接部，該複數個連接部分別與多個鎖固元件配合，使該多孔擴散元件經由該複數個連接部可拆卸 地連接至該光罩載具，該光罩載具的內部容置空間經由該多孔擴散元件與該載具的外部連通，其中該多孔擴散元件的該板體及複數個連接部為一體成型。
  12. 如請求項11所述的氣體過濾裝置，其中該多孔擴散元件的板體具有一上表面、一下表面及該上表面和該下表面之間延伸的一厚度，該厚度介於0.1mm至3.0mm之間。
  13. 如請求項11所述的氣體過濾裝置，其中該多孔擴散元件的板體及該多個連接部是由多孔性粉末材質燒結而成，所述燒結溫度介於210℃至240℃。
  14. 如請求項11所述的氣體過濾裝置，其中該多孔擴散元件的每一個孔洞或平均孔洞直徑介於0.1μm至10μm。
  15. 一種光罩載具，包含：一蓋和一基座，界定一容置空間；及一氣體過濾裝置，可拆卸地安裝置該蓋上，該氣體過濾裝置包含：至少一多孔擴散元件，可拆卸地連接至該蓋上，使該容置空間經由該至少一多孔擴散元件與該光罩載具的外部連通其中，該至少一多孔擴散元件是由多孔性粉末材質燒結而成。
  16. 一種光罩載具，包含：一蓋和一基座，界定一容置空間；及 一框，可拆卸地安裝置該蓋上，該框包含：一外框和一內框，界定至少一鏤空，該鏤空用於填入由多孔性粉末燒結而成之一多孔擴散元件。
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