JP2007005599A - シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハ収納容器2に設置される、底部に開口部12、内部に円筒状フィルター7を備えたブレスフィルター装置において、円筒状フィルター7の内周面に周接する如く、該円筒状フィルター7より高さの低い筒状ガイド15を立設固定し、且つ筒状ガイド15内に開口部12より径大なシャッター11を装入する一方、シャッター11を、半導体ウエハ収納容器2下面に設置された空気循環N2ガス供給用装置13に立設された押上げロッド14により押圧して上昇して、開口部12を開放し、更に、空気循環N2ガス供給用装置13を半導体ウエハ収納容器2より取去ることにより、シャッター11が自重で降下して、開口部12を閉鎖する。
【選択図】図4
Description
半導体ウエハ収納容器に設置される、底部に呼吸用の開口部と、内部に円筒状フィルターを備えたブレスフィルター装置において、前記円筒状フィルターと同高に形成されると共に、周壁に複数個の通気孔を開口して形成された筒状ガイドを、該円筒状フィルターの内周に周接する如く立設固定し、且つ該筒状ガイド内に前記開口部より径大な球体より成るシャッターを装入する一方、該シャッターを、前記半導体ウエハ収納容器下面に設置された空気循環N2ガス供給用装置に立設された押上げロッドにより押圧して上昇して、前記開口部を開放し、且つ前記空気循環N2ガス供給用装置を前記半導体ウエハ収納容器より取去ることにより、前記シャッターが自重で降下して、前記開口部を閉鎖するという手段、
を採用することにより、上記課題を解決した。
請求項2の発明によれば、円筒状フィルターの内周面に周接する如く筒状ガイドを配設して固定されているため、円筒状フィルターの変形を防止することができると共に、部品点数の削減、ブレスフィルターの洗浄が容易にできる。
請求項3の発明によれば、開口部の開放が、押上げロッドによるシャッターの押上げという機械的操作でなされるため、低圧力の空気、N2ガスでも運転ができる。
請求項4の発明によれば、押しばねによりクッション性をもたせてあるため、押上げロッドによるシャッターの押上げ時の衝撃が緩和され、前記押上げロッドの破損が防止される。
2 半導体ウエハ収納容器
6 通気中空部
7 円筒状フィルター
11 シャッター
12 開口部
13 空気循環N2ガス供給用装置
14 押上げロッド
15 筒状ガイド
60 通気孔
70 他の実施の形態のシャッター付きブレスフィルター装置
71 筒状ガイド
80 押上げロッド
81 押しばね
Claims (4)
- 半導体ウエハ収納容器に設置される、底部に呼吸用の開口部と、内部に円筒状フィルターを備えたブレスフィルター装置において、前記円筒状フィルターの内周に周接する如く、該円筒状フィルターより高さの低い筒状ガイドを立設固定し、且つ該筒状ガイド内に前記開口部より径大な球体より成るシャッターを装入する一方、該シャッターを、前記半導体ウエハ収納容器下面に設置された空気循環N2ガス供給用装置に立設された押上げロッドにより押圧して上昇して、前記開口部を開放し、且つ前記空気循環N2ガス供給用装置を前記半導体ウエハ収納容器より取去ることにより、前記シャッターが自重で降下して、前記開口部を閉鎖するようにしたことを特徴とするシャッター付きブレスフィルター装置。
- 半導体ウエハ収納容器に設置される、底部に呼吸用の開口部と、内部に円筒状フィルターを備えたブレスフィルター装置において、前記円筒状フィルターと同高に形成されると共に、周壁に複数個の通気孔を開口して形成された筒状ガイドを、該円筒状フィルターの内周に周接する如く立設固定し、且つ該筒状ガイド内に前記開口部より径大な球体より成るシャッターを装入する一方、該シャッターを、前記半導体ウエハ収納容器下面に設置された空気循環N2ガス供給用装置に立設された押上げロッドにより押圧して上昇して、前記開口部を開放し、且つ前記空気循環N2ガス供給用装置を前記半導体ウエハ収納容器より取去ることにより、前記シャッターが自重で降下して、前記開口部を閉鎖するようにしたことを特徴とするシャッター付きブレスフィルター装置。
- 請求項1または2記載のシャッター付きブレスフィルター装置を装着した半導体ウエハ収納容器の下面に設置される空気循環N2ガス供給用装置において、ノズルの中央部に押上げロッドが突設され、前記半導体ウエハ収納容器下面に設置された空気循環N2ガス供給用装置を設置したとき、前記ブレスフィルター部がノズルに密着し、前記押上げロッドが開口部を通してシャッターを押上げ、開口部を開放するようにしたことを特徴とするシャッター付ブレスフィルター装置に使用する押上げロッド。
- 請求項1または2記載のシャッター付きブレスフィルター装置を装着した半導体ウエハ収納容器の下面に設置される空気循環N2ガス供給用装置のノズルにおいて、押上げロッドの取付板とノズル間に押しばねを配設し、半導体ウエハ収納容器下面に空気循環N2ガス供給用装置を配置したとき、前記半導体ウエハ収納容器の重量でノズルが下に沈み、前記押上げロッドは相対的に上昇し、開口部から挿入されてシャッターを押上げるようにしたことを特徴とするシャッター付ブレスフィルター装置に使用する押上げロッド付きノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005184676A JP4558594B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005184676A JP4558594B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007005599A true JP2007005599A (ja) | 2007-01-11 |
JP2007005599A5 JP2007005599A5 (ja) | 2008-08-07 |
JP4558594B2 JP4558594B2 (ja) | 2010-10-06 |
Family
ID=37690902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005184676A Expired - Fee Related JP4558594B2 (ja) | 2005-06-24 | 2005-06-24 | シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4558594B2 (ja) |
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JP4558594B2 (ja) | 2010-10-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080530 |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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