JP2011181560A - 清浄ガスの置換機能を備えた基板収納ポッド - Google Patents
清浄ガスの置換機能を備えた基板収納ポッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011181560A JP2011181560A JP2010041766A JP2010041766A JP2011181560A JP 2011181560 A JP2011181560 A JP 2011181560A JP 2010041766 A JP2010041766 A JP 2010041766A JP 2010041766 A JP2010041766 A JP 2010041766A JP 2011181560 A JP2011181560 A JP 2011181560A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- exhaust space
- main body
- storage pod
- substrate storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
- H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
Abstract
【解決手段】 基板を収納するためポッドであって、基板を収納する中空部と開口とを有する本体容器と、その開口を密閉可能な蓋部材と、その本体容器の中空部の置換ガスを排気する排気ポートと、その排気ポートに連通し、その中空部内に画定される排気空間を有する基板収納ポッドにより解決する。排気空間は、複数の孔を有する多孔仕切部材と本体容器の内面とによって中空部内に画定される。
【選択図】 図1A
Description
続いて、以下、本発明のポッド1が使用される処理装置20について、図1を参照して、従来の処理装置と異なる点について説明する。
処理装置20は、置換ガスが充填されている置換ガス源に流体的に接続されている給気配管を備えている。給気配管は、図1の給気ポート6に流体的に接続可能に配置されて、給気ポート6を介して置換ガスをポッド1の蓋部材2のバッファ空間8内に供給する。一方、処理装置20は、排気ポンプ(不図示)に接続される排気配管(不図示)をポッド1の下部にあたるロードポート側に有している。排気配管は、ポッド1の排気ポート7aおよび7bに流体的に接続可能であって、排気ポート7aおよび7bを介して置換ガスをポッド1の内空部3bから排気できる。また排気配管の径は大きめにして、置換ガスの管路の流路抵抗を小さく抑えると効果的である。
2 蓋部材
3 本体容器
7a,7b 排気ポート
12 多孔仕切部材
15 排気空間
16 蛇行流路
17,18,19 仕切板
Claims (9)
- 基板を収納するための中空部と開口とを有する本体容器と、
該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材と、
該本体容器に配置され、該中空部内部のガスを排気する排気ポートと、
複数の孔を有する多孔仕切部材と該本体容器の内面とによって該中空部内に画定される排気空間であって、該中空部との間で該複数の孔を介して流体的に連通する排気空間とを備える基板収納ポッドであって、
該排気ポートは、該排気空間を介してのみ該中空部と流体的に連通し、該中空部の置換ガスを排気し、
該排気空間は、該排気空間を画定する該本体容器の内面の領域の面積が、該排気空間に連通する箇所の排気ポートの流路断面積よりも大きいことを特徴とする基板収納ポッド。 - 請求項1に記載の基板収納ポッドであって、
前記複数の孔を有する多孔仕切部材は、メッシュ材であることを特徴とする基板収納ポッド。 - 請求項1または2に記載の基板収納ポッドであって、該排気空間は、該中空部から該排気空間に流入して該排気ポートへと流れる置換ガスの流れを、該排気空間内で蛇行させる蛇行流路を内部に備えることを特徴とする基板収納ポッド。
- 請求項3に記載の基板収納ポッドであって、該蛇行流路は、該排気空間内に配置される複数の仕切板を組み合わせて、複数の仕切板のそれぞれの隙間に形成されていることを特徴とする基板収納ポッド。
- 請求項1から4に記載の基板収納ポッドであって、
該排気空間は、該給気部から該排気空間へのガスの流れに対して角度をもった方向に延在するように該中空部内に画定されることを特徴とする基板収納ポッド。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の基板収納ポッドであって、該排気ポートは本体容器に複数個が配置され、該排気空間を画定する該本体容器の内面の領域の面積は、該排気空間に連通する箇所のそれぞれの排気ポートの流路断面積の総和よりも大きいことを特徴とする基板収納ポッド。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の基板収納ポッドであって、該排気空間は、該中空部よりも低圧であることを特徴とする基板収納ポッド。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の基板収納ポッドであって、
該基板収納ポッドは、該中空部に置換ガスを供給する給気部を備え、
該排気空間は、該給気部から該排気空間に前記置換ガスが至るまでに、該置換ガスが基板に沿って流れるような位置に画定されることを特徴とする基板収納ポッド。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の基板収納ポッドであって、
該蓋部材は、内部にガスを収容するバッファ空間を有し、
該給気部は、該バッファ空間と連通し、該蓋部材の内板に穿設された孔であって、
該排気空間は、該本体容器の開口と反対側である該本体容器の中空部の奥側の下部に配置されることを特徴とする基板収納ポッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010041766A JP5041348B2 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 清浄ガスの置換機能を備えた基板収納ポッド |
US13/035,335 US8522836B2 (en) | 2010-02-26 | 2011-02-25 | Substrate storage pod with replacement function of clean gas |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010041766A JP5041348B2 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 清浄ガスの置換機能を備えた基板収納ポッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011181560A true JP2011181560A (ja) | 2011-09-15 |
JP5041348B2 JP5041348B2 (ja) | 2012-10-03 |
Family
ID=44504735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010041766A Active JP5041348B2 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 清浄ガスの置換機能を備えた基板収納ポッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8522836B2 (ja) |
JP (1) | JP5041348B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011181561A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Tdk Corp | 基板収納ポッドおよびその蓋部材並びに基板の処理装置 |
JP2011258624A (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP2013247319A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Tdk Corp | ロードポート装置 |
JP2020088279A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP2020088278A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8528947B2 (en) * | 2008-09-08 | 2013-09-10 | Tdk Corporation | Closed container and lid opening/closing system therefor |
JP4624458B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2011-02-02 | Tdk株式会社 | 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム |
JP5794497B2 (ja) * | 2010-06-08 | 2015-10-14 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 連結システム |
JP5617708B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2014-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 蓋体開閉装置 |
US8544651B2 (en) * | 2012-01-20 | 2013-10-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wafer transfer pod for reducing wafer particulate contamination |
WO2014081825A1 (en) * | 2012-11-20 | 2014-05-30 | Entegris, Inc. | Substrate container with purge ports |
US10580674B2 (en) * | 2013-08-22 | 2020-03-03 | Miraial Co., Ltd. | Substrate storing container |
JP6226190B2 (ja) * | 2014-02-20 | 2017-11-08 | Tdk株式会社 | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 |
TWM489155U (en) * | 2014-06-09 | 2014-11-01 | Gudeng Precision Industrial Co Ltd | Gas diffusion device of wafer pod |
JP6311579B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-04-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP2017108049A (ja) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Tdk株式会社 | Efemにおけるウエハ搬送部及びロードポート部の制御方法 |
JP6679906B2 (ja) * | 2015-12-11 | 2020-04-15 | Tdk株式会社 | Efem |
JP6679907B2 (ja) * | 2015-12-11 | 2020-04-15 | Tdk株式会社 | ロードポート装置及びロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法 |
JP6632403B2 (ja) * | 2016-02-02 | 2020-01-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板収納容器の連結機構および連結方法 |
US11355371B2 (en) * | 2018-04-02 | 2022-06-07 | Bum Je WOO | Wafer storage container |
JP7183567B2 (ja) | 2018-05-02 | 2022-12-06 | Tdk株式会社 | 循環式efem |
JP7234527B2 (ja) * | 2018-07-30 | 2023-03-08 | Tdk株式会社 | センサー内蔵フィルタ構造体及びウエハ収容容器 |
KR20220150352A (ko) * | 2020-03-06 | 2022-11-10 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 기판 컨테이너용 매니폴드 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11307623A (ja) * | 1998-04-16 | 1999-11-05 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の収納装置及び搬出入ステージ |
JP2009088437A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の導入ポート機構及び処理システム |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5879458A (en) * | 1996-09-13 | 1999-03-09 | Semifab Incorporated | Molecular contamination control system |
US6641349B1 (en) | 1999-04-30 | 2003-11-04 | Tdk Corporation | Clean box, clean transfer method and system |
JP3226511B2 (ja) | 1999-06-23 | 2001-11-05 | ティーディーケイ株式会社 | 容器および容器の封止方法 |
JP2003017553A (ja) | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板収納容器、基板搬送システム及びガス置換方法 |
JP2003092345A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-03-28 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板収納容器、基板搬送システム、保管装置及びガス置換方法 |
EP1555689B1 (en) * | 2002-10-25 | 2010-05-19 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
US20040237244A1 (en) * | 2003-05-26 | 2004-12-02 | Tdk Corporation | Purge system for product container and interface seal used in the system |
JP2004345715A (ja) | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Tdk Corp | 製品収容容器用パージシステム |
JP5048352B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2012-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
EP2122014A4 (en) * | 2007-02-28 | 2014-09-17 | Entegris Inc | CLEANING SYSTEM FOR A SUBSTRATE CONTAINER |
US8528947B2 (en) | 2008-09-08 | 2013-09-10 | Tdk Corporation | Closed container and lid opening/closing system therefor |
JP4624458B2 (ja) | 2008-11-11 | 2011-02-02 | Tdk株式会社 | 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム |
JP4748816B2 (ja) | 2008-11-28 | 2011-08-17 | Tdk株式会社 | 密閉容器の蓋開閉システム |
JP5015280B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2012-08-29 | Tdk株式会社 | 基板収納ポッドおよびその蓋部材並びに基板の処理装置 |
-
2010
- 2010-02-26 JP JP2010041766A patent/JP5041348B2/ja active Active
-
2011
- 2011-02-25 US US13/035,335 patent/US8522836B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11307623A (ja) * | 1998-04-16 | 1999-11-05 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の収納装置及び搬出入ステージ |
JP2009088437A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の導入ポート機構及び処理システム |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011181561A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Tdk Corp | 基板収納ポッドおよびその蓋部材並びに基板の処理装置 |
JP2011258624A (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP2013247319A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Tdk Corp | ロードポート装置 |
JP2020088279A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP2020088278A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP7247439B2 (ja) | 2018-11-29 | 2023-03-29 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP7247440B2 (ja) | 2018-11-29 | 2023-03-29 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110210041A1 (en) | 2011-09-01 |
US8522836B2 (en) | 2013-09-03 |
JP5041348B2 (ja) | 2012-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5041348B2 (ja) | 清浄ガスの置換機能を備えた基板収納ポッド | |
JP4251580B1 (ja) | 被収容物搬送システム | |
KR100799415B1 (ko) | 제품 컨테이너용 퍼지 시스템 및 퍼지 시스템에 사용하기위한 테이블 | |
JP4343253B1 (ja) | 密閉容器の蓋開閉装置及び該開閉装置を用いたガス置換装置 | |
KR101030884B1 (ko) | 닫힘 용기용 덮개 개폐 시스템 및 이를 이용한 기재 처리방법 | |
KR102355512B1 (ko) | 개선된 로드 포트를 위한 시스템들, 장치, 및 방법들 | |
JP5015280B2 (ja) | 基板収納ポッドおよびその蓋部材並びに基板の処理装置 | |
JP5093621B2 (ja) | ロードポート装置及び該ロードポート装置の排塵方法 | |
JP6287515B2 (ja) | Efemシステム及び蓋開閉方法 | |
JP5370785B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP2015146349A (ja) | Efem | |
KR20190122161A (ko) | 배기 노즐 유닛, 로드 포트 및 efem | |
JP2015142008A (ja) | ロードポート装置 | |
JP6226190B2 (ja) | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 | |
JP5190279B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP6206126B2 (ja) | 密閉容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法 | |
JP6583482B2 (ja) | Efem | |
JP5511444B2 (ja) | 処理基板収納ポッド | |
KR101517623B1 (ko) | 로드 포트 | |
JP7081119B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP5998640B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP6769134B2 (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 | |
TWI830825B (zh) | 晶圓儲存器 | |
JP2008294248A (ja) | 基板搬送システム | |
JP2020150283A (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120618 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5041348 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120701 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150720 Year of fee payment: 3 |