JP7247440B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、基板収納容器に基板を気密状態で収納するために、供給された気体を容器本体に流通させたり、また、容器本体から外部に気体を排出させたりしている。

具体的には、このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と、弁体を開閉させる弾性部材と、を少なくとも含み、これらを組み付けるための多数の部品で構成されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

特開２００８－０６６３３０号公報 特開２００４－１７９４４９号公報

ところで、バルブ体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて設けるために、バルブ体自体を取り替えたり、弁体及び弾性部材を組み替えたりするが、上述の特許文献１及び２にみられるバルブ体は、多数の部品を組み合わせて組み立てる必要があり、組立作業性がよくなかった。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、弁体を開閉させる部材と、バルブ体を構成する部品のいずれか一つと、を一体化して部品点数を削減するとともに、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、前記バルブ体は、弁体と、前記弁体を格納するブロック体と、前記弁体を付勢する弁付勢体と、を有するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記弁付勢体は、付勢本体部と、前記弁体を付勢する弾性部と、前記弁体をガイドする軸部と、前記気体が通過する連通開口と、を含んでもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記ブロック体は、前記弁体を格納する弁格納空間と、前記弁体が着座する弁座面と、前記付勢本体部が嵌合される嵌合溝と、前記軸部が嵌合される嵌合孔と、前記容器本体の外部と内部とを連通させる連通孔と、を含んでもよい。
（４）上記（３）の態様において、前記弁体は、前記弁座面に着座する弁本体と、前記弾性部で付勢されるリブと、前記軸部に対して移動可能に挿通されるガイド孔と、を含んでもよい。
（５）上記（４）の態様において、前記弁本体は、前記弁座面に着座する面が湾曲してもよい。
（６）上記（１）から（５）までのいずれか１つの態様において、前記ブロック体は、弾性材料で形成され、前記弁付勢体は、樹脂材料で形成されてもよい。

本発明によれば、弁体を開閉させる部材と、バルブ体を構成する部品のいずれか一つと、を一体化して部品点数を削減するとともに、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す概略分解斜視図である。 実施形態のバルブ体を示す断面斜視図である。 実施形態のブロック体を示す（ａ）平面図、（ｂ）断面図である。 実施形態の弁体を示す（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。 実施形態の弁付勢体を示す（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。 実施形態のバルブ体の閉弁状態を示す断面図である。 実施形態のバルブ体の開弁状態を示す断面図である。 回り止め手段を有する弁体及び弁付勢体を示す（ａ）変形例１の拡大断面図、（ｂ）変形例２の拡大断面図である。 回り止め手段を有する弁体及び弁付勢体を示す（ｃ）変形例３の断面斜視図、（ｄ）変形例４の断面斜視図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉鎖する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。

容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。

容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０，５０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉鎖された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。

さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置していてもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。

このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。

そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたとき、開口１１の段差部より奥に入り込む。

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。

つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

パッキン３０は、蓋体２０に取り付けられるとともに、容器本体１０と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０で容器本体１０の開口１１を閉鎖した際に、容器本体１０のシール面１２に密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。なお、逆に、パッキン３０を容器本体１０側に取り付け、蓋体２０側にシール面１２を形成してもよい。

パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。

ここで、第１実施形態のバルブ体４０について説明する。図２は、実施形態のバルブ体４０を示す断面斜視図である。図３は、実施形態のブロック体４１を示す（ａ）平面図、（ｂ）断面図である。図４は、実施形態の弁体４２を示す（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。図５は、実施形態の弁付勢体４３を示す（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。

バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流路を介して給気部１６と連通している。

このバルブ体４０は、図２に示すように、容器本体１０の底面などの壁面に、リブ１８０などによって形成された取付孔１８（図６参照）に下方から嵌められる略円柱状又は円錐台状のブロック体４１と、気体の流通を制御する弁体４２及び弁付勢体４３とを、有している。

まず、ブロック体４１は、図３に示すように、上方に広がった円錐台状の周壁４１１と、円錐形状の突部４１２とで、弁格納空間４１１ａを画定している。周壁４１１の上部には、後述する弁付勢体４３を嵌合して固定する嵌合溝４１３が形成されている。

一方、突部４１２は、周壁に複数（例えば、４個）の連通孔４１４が形成されており、中心には嵌合孔４１５が形成されている。連通孔４１４は、容器本体１０の外部と内部とを連通させるものである。また、嵌合孔４１５は、貫通孔であり、洗浄時の洗浄水が残り難くなっているが、基板収納容器１の内力が高く設定されるときは、下方側（弁格納空間４１１ａの反対側）が閉じた凹部（突き止め孔）であってもよい。

また、突部４１２の連通孔４１４より頂上側部分は、周壁４１１とともに、弁体４２が着座する弁座面４１６の一部を構成しており、弁体４２及び弁座面４１６は、内周側及び外周側の２か所で（二重に）接触することで、連通孔４１４からの気体の流通を遮断する。

さらに、ブロック体４１は、凸リング状のシール部４７が外周面に形成されており、ブロック体４１の外周面と取付孔１８の内周面との間から容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。なお、ブロック体４１が後述するゴム系材料で形成されている場合には、一体形成されたシール部４７も弾性変形するが、シール部４７のみをゴム系材料で二色成形したり、シール部４７に替えてＯリングを用いたりしてもよい。また、ブロック体４１の上面には、後述するフィルタ４６が装着されてもよい（図６参照）。

つぎに、弁体４２は、図４に示すように、ケーキ用エンゼル型枠のような凹形状あるいは中空ドーナッツを半分に切断したような凹形状の弁本体４２１と、凹形状の内側から上方に延びた複数（例えば、４本）のリブ４２２と、で形成されている（図２も参照）。

この弁本体４２１は、上述のような形状であるため、中心に孔が形成されるが、この孔は、弁体４２の弁開閉動作をガイドするガイド孔４２３として使用される。また、弁本体４２１の湾曲した環状の外周面（外縁側及びガイド孔４２３側）が、弁閉時に周壁４１１及び突部４１２の弁座面４１６に着座するようになっている（図６参照）。

弁本体４２１における弁座面４１６との接触部が、湾曲した形状（断面視でＲ形状）であると、弁本体４２１と弁座面４１６との隙間を通過する気体は、弁体４２の表面から抵抗を受けることなくスムーズに流れることができる。なお、弁本体４２１の接触部の形状は、ブロック体４１の周壁４１１及び突部４１２の周壁と同様に円錐状にすることや、単に円盤状にすることも可能である。ただし、接触部に角張った部分があると、気体が隙間を通過する際に、乱流を引き起こすことがあり、また、弁本体４２１と弁座面４１６とがリング状に線接触することで、接触位置のズレが発生し易くなったり、接触部の面圧が高まり、周壁４１１に食込み痕が残ったりすることがあるため、弁本体４２１の接触部分の形状は、湾曲した形状であることが好ましい。

そして、弁付勢体４３は、図５に示すように、リング状の付勢本体部４３１と、付勢本体部４３１から複数の補強リブ４３４，４３５を介して、中心に軸部４３３が垂下されている。付勢本体部４３１は、ブロック体４１の嵌合溝４１３に取り付けられている（図２参照）。

軸部４３３は、ブロック体４１の嵌合孔４１５に挿入・嵌合されて、固定されており、後述する弾性部４３２で弁体４２を付勢する際、弁体４２が傾いて弁座面４１６に片辺りしないように、弁体４２のガイド孔４２３に挿入され、弁体４２の上下動をガイドするようになっている。このとき、軸部４３３と嵌合孔４１５との間は、気体が漏れることがない程度にシールされているが、軸部４３３とガイド孔４２３との間は、非接触状態であり、摺動抵抗とならないことが好ましい。

また、弁付勢体４３は、付勢本体部４３１と補強リブ４３４，４３５との間に、連通開口４３６が形成される。この連通開口４３６は、弁開時に連通孔４１４を通過してきた気体が通過する部分で、さらに、容器本体１０の内部に向かって流れることができるようになっている。

さらに、弁付勢体４３は、中央の補強リブ４３５から、弁体４２のリブ４２２と同数の複数の弾性部４３２が放射状に延出されている。この弾性部４３２は、弁体４２を弁座面４１６に向けて付勢するもので、ブロック体４１に取り付けられた際に、弾性変形することで、復元力を付勢力としているため（図７参照）、その厚みは０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下であるとよく、その幅は１ｍｍ以上５ｍｍ以下程度であるとよい。なお、弾性部４３２は、補強リブ４３５から延出されているが、付勢本体部４３１側から中心に向かって延出されてもよく、また、片持ち形状でなく、付勢本体部４３１と補強リブ４３５とに接続された両持ち形状であってもよい。

そして、ブロック体４１の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材料を用いることができる。

弁体４２の材料としては、例えば、ポリアセタール、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

弁付勢体４３の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。

そして、フィルタ４６は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。

フィルタ４６は、ブロック体４１の上面に、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４６を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４６は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４６の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。

つぎに、本実施形態のバルブ体４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。図６は、実施形態のバルブ体４０の閉弁状態を示す断面図である。図７は、実施形態のバルブ体４０の開弁状態を示す断面図である。

バルブ体４０において、連通孔４１４に陽圧が加わらないか、連通開口４３６側から陽圧が加わると、図６に示すように、弁体４２は、ブロック体４１の弁座面４１６に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、連通孔４１４に所定値以上の陽圧が加わると、図７に示すように、弁体４２が上方に押し上げられて、弾性部４３２が陽圧の大きさに応じて弾性変形し、弁体４２が弁座面４１６から離間し隙間を形成する。そして、連通孔４１４側からの気体は、この隙間を通過し、連通開口４３６側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

このように、本実施形態のバルブ体４０は、外部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性部４３２の材料、硬度、幅、厚み、また、弁本体４２１の外径などを変更することで調節可能である。

ところで、弁体４２は、ガイド孔４２３が弁付勢体４３の軸部４３３に挿入されており、開閉時に上下方向にガイドされているが、弁体４２の開閉動作によっては、弁体４２が軸部４３３回りに回転することがある。

そのため、弁体４２の回り止めを行う回り止め手段６０を付加してもよい。
図８は、回り止め手段６０を有する弁体４２及び弁付勢体４３を示す（ａ）変形例１の拡大断面図、（ｂ）変形例２の拡大断面図である。図９は、回り止め手段１６０，２６０を有する弁体４２及び弁付勢体４３を示す（ｃ）変形例３の断面斜視図、（ｄ）変形例４の断面斜視図である。

変形例１及び２の回り止め手段６０は、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、弁体４２のガイド孔４２３に形成された凹状の切欠部６２と、弁付勢体４３の軸部４３３に形成された凸部６３と、で構成されており、変形例１では、回り止め手段６０が１か所であり、変形例２では、回り止め手段６０が複数（例えば４か所）の箇所に設けられている。

変形例３の回り止め手段１６０は、図９（ｃ）に示すように、弁体４２のリブ４２２の先端に形成された２本のガイドピン１６２で、弁付勢体４３の弾性部４３２を挟持するように構成されている。なお、回り止め手段１６０は、複数のリブ４２２の少なくとも１か所に設けられるとよく、すべての弾性部４３２に対応して設けられてもよい。

変形例４の回り止め手段２６０は、図９（ｄ）に示すように、弁体４２のリブ４２２の先端に形成された１本のガイドピン１６２を、弁付勢体４３の弾性部４３２に形成されたガイド溝２６３に挿入して構成されている。なお、回り止め手段２６０は、複数のリブ４２２の少なくとも１か所に設けられるとよく、すべての弾性部４３２に対応して設けられてもよい。

最後に、排気用のバルブ体５０について説明すると、バルブ体５０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して排気部１７と連通している（図１参照）。そして、バルブ体５０では、給気用のバルブ体４０とは上下が逆で、容器本体１０の底面側に位置する、ブロック体４１の連通孔４１４を、弁体４２が弁付勢体４３により上方に付勢されて、閉弁状態になるように配置されており、容器本体１０の内部から外部への気体の排気は可能にするが、容器本体１０の内部への気体の供給は不能にするようになっている。

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉鎖する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０と、を備える基板収納容器１において、バルブ体４０は、弁体４２と、弁体４２を格納するブロック体４１と、弁体４２を付勢する弁付勢体４３と、を有するものである。

これにより、基板収納容器１のバルブ体４０，５０では、弁体４２を開閉させる部材にコイルばねを使用することなく、弁体４２を開閉させる部材と、バルブ体４０，５０を構成する部品のいずれか一つと、が一体化されているため（実施形態では、弁付勢体４３の弾性部４３２と、弁体４２をガイドする軸部４３３とが一体化さされている。）、バルブ体４０，５０の部品点数を削減できる（実施形態の部品点数は、ブロック体４１、弁体４２、弁付勢体４３の３点である。）。そのため、組立工数を削減することができ、組立不良及び部品不良などによる動作不全（不能）が起こり難い。

また、実施形態の基板収納容器１を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差は見られなかったので、気密性も良好であるといえる。

実施形態のブロック体４１は、弁体４２を格納する弁格納空間４１１ａと、弁体４２が着座する弁座面４１６と、付勢本体部４３１が嵌合される嵌合溝４１３と、軸部４３３が嵌合される嵌合孔４１５と、容器本体１０の外部と内部とを連通させる連通孔４１４と、を含み、弁体４２は、弁座面４１６に着座する弁本体４２１と、弾性部４３２で付勢されるリブ４２２と、軸部４３３に対して移動可能に挿通されるガイド孔４２３と、を含み、弁付勢体４３は、付勢本体部４３１と、弁体４２を付勢する弾性部４３２と、弁体４２をガイドする軸部４３３と、気体が通過する連通開口４３６と、を含んでいる。

これにより、バルブ体４０，５０の一方側から気体が導入され（陽圧になり）、所定の圧力値になると、弁体４２が気体に押圧されて弁付勢体４３の弾性部４３２が変形（屈曲）し、弁体４２が弁座面４１６から離間することで、連通孔４１４と連通開口４３６とを連通させるため、導入された気体は、バルブ体４０，５０を介して他方側へ流通されることになる。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

（変形例）
上記実施形態では、バルブ体４０は、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に形成された取付孔１８に取り付けられるように構成されたが、容器本体１０などに設けられた気体流路（配管）、例えば、給気部１６又は排気部１７の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１６ 給気部、１７ 排気部、１８ 取付孔、１８０ リブ
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 凸部
３０ パッキン
４０ バルブ体（給気用）
４１ ブロック体、４１１ 周壁、４１１ａ 弁格納空間、４１２ 突部、４１３ 嵌合溝、４１４ 連通孔、４１５ 嵌合孔、４１６ 弁座面
４２ 弁体、４２１ 弁本体、４２２ リブ、４２３ ガイド孔
４３ 弁付勢体、４３１ 付勢本体部、４３２ 弾性部、４３３ 軸部、４３４ 補強リブ、４３５ 補強リブ、４３６ 連通開口
４６ フィルタ
４７ シール部
５０ バルブ体（排気用）
６０ 回り止め手段、６２ 切欠部、６３ 凸部
１６０ 回り止め手段、１６２ ガイドピン
２６０ 回り止め手段、２６２ ガイドピン、２６３ ガイド溝
Ｗ 基板

Claims (6)

1. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、
   前記バルブ体は、
   弁体と、
   前記弁体を格納するブロック体と、
   前記弁体を付勢する弁付勢体と、を有し、
   前記弁付勢体は、
   付勢本体部と、
   前記弁体を付勢する弾性部と、
   前記弁体をガイドする軸部と、
   前記気体が通過する連通開口と、を含み、
   前記ブロック体は、
   前記弁体を格納する弁格納空間と、
   前記弁体が着座する弁座面と、
   前記付勢本体部が嵌合される嵌合溝と、
   前記軸部が嵌合される嵌合孔と、
   前記容器本体の外部と内部とを連通させる連通孔と、を含む、
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、
   前記バルブ体は、
   弁体と、
   前記弁体を格納するブロック体と、
   前記弁体を付勢する弁付勢体と、を有し、
   前記弁付勢体は、
   前記気体が通過するように、連通開口が形成されたリング状の付勢本体部と、
   前記付勢本体部の内周の補強リブを介して前記付勢本体部の中心から垂下し、前記弁体をガイドする軸部と、
   前記付勢本体部の中心から放射状に延出されるか、又は、前記付勢本体部の内周から中心に向かって延出され、前記弁体を付勢する弾性部と、を含み、
   前記弾性部は、前記軸部又は前記付勢本体部と一体化されている、
   ことを特徴とする基板収納容器。
3. 前記ブロック体は、
   前記弁体を格納する弁格納空間と、
   前記弁体が着座する弁座面と、
   前記付勢本体部が嵌合される嵌合溝と、
   前記軸部が嵌合される嵌合孔と、
   前記容器本体の外部と内部とを連通させる連通孔と、を含む、
   ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記弁体は、
   前記弁座面に着座する弁本体と、
   前記弾性部で付勢されるリブと、
   前記軸部に対して移動可能に挿通されるガイド孔と、を含む、
   ことを特徴とする請求項１又は３に記載の基板収納容器。
5. 前記弁体は、前記弁座面に着座する面が湾曲している、
   ことを特徴とする請求項１，３，４のいずれか１項に記載の基板収納容器。
6. 前記ブロック体は、弾性材料で形成され、
   前記弁付勢体は、樹脂材料で形成されている、
   ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

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