JP2019021717A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄時に水や洗浄液などの液体又はミストが内部に浸入することを抑制できる制御体を備える基板収納容器を提供する。【解決手段】基板収納容器１に取り付けられる制御体４０は、貫通孔１８に嵌められる固定筒４１と、固定筒４１に組み合わされる保持筒４２と、を有する。固定筒４１は、容器本体１０の外部に連通する環状開口部４１３ａと、環状開口部４１３ａの内縁を形成する第１壁部４１４と、環状開口部４１３ａの外縁に、固定筒４１の内部で環状開口部４１３ａの領域を覆うように設けられる第２壁部４１５と、を有する。保持筒４２には、容器本体１０の内部に連通する通気口４２３が形成される。【選択図】図３

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御する制御体を備えた基板収納容器に関する。

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御する制御体を備えている。この制御体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と弁体を開閉させる金属製の弾性部材とを有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

制御体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて、制御体自体が取り替えられたり、弁体及び弾性部材が組み替えられたりしている。

特開２００８−０６６３３０号公報 特開２００４−１７９４４９号公報

ところで、基板から発生する汚染物質やパーティクルが基板収納容器に付着するため、定期的に洗浄装置を用いて基板収納容器の洗浄を行う必要がある。しかしながら、洗浄時に水や洗浄液などの液体又はミストが制御体の円形状の開口部から制御体の内部に浸入してしまい、これによって、制御体を乾燥させるための時間が多く掛かってしまうことがある。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、洗浄時に水や洗浄液などの液体又はミストが内部に浸入することを抑制できる制御体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）上記目的を達成するために、本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を開閉する蓋体と、前記容器本体に形成された貫通孔に取り付けられ、前記容器本体に対する気体の流通を制御する制御体と、を備える基板収納容器であって、前記制御体は、固定筒と、前記固定筒に組み合わされる保持筒と、を有し、前記固定筒は、前記容器本体の外部に連通する環状開口部と、前記環状開口部の内縁を形成する第１壁部と、前記固定筒の内部で前記環状開口部の領域を覆うように、前記環状開口部の外縁に設けられる第２壁部と、を有し、前記貫通孔には、前記固定筒及び前記保持筒のいずれか一方が嵌められ、前記保持筒には、前記容器本体の内部に連通する通気口が形成されることを特徴とする。
（２）上記（１）の態様において、前記第２壁部は、中央開口部を有するケーキ用エンゼル型枠の形状であり、前記中央開口部には、前記第２壁部との間に第２通路が形成されるように中心壁部が挿入されてもよい。
（３）上記（２）の態様において、前記第１壁部は、前記中央開口部よりも径方向の外側に前記第２壁部に向かって突出する環状突起部を有してもよい。
（４）上記（２）又は（３）の態様において、前記第１壁部と前記第２壁部との間には、前記環状開口部から前記中央開口部まで延在する第１通路が形成され、前記第１通路と前記第２通路とは、前記中央開口部を介して連通されてもよい。
（５）上記（４）の態様において、前記第１通路は、前記環状開口部から内部に向かうにつれて、前記環状開口部の中心軸に沿った断面視で、幅が大きくなるように形成される第１領域と、前記第１領域に隣接して前記中央開口部に向かうにつれて、前記中心軸に沿った断面視で、幅が小さくなるように形成される第２領域と、を有してもよい。
（６）上記（１）の態様において、前記第２壁部は、中央開口部を有するケーキ用エンゼル型枠の形状であるとともに、内部空間に環状の案内壁部が設けられ、前記中央開口部には、前記第２壁部との間に第２通路が形成されるように中心壁部が挿入されてもよい。
（７）上記（６）の態様において、前記第１壁部と前記第２壁部の最も径方向の内側に位置する先端との間に環状の連通路が形成され、前記連通路は、前記環状開口部と前記中央開口部とを連通してもよい。
（８）上記（７）の態様において、前記案内壁部と前記第２壁部との間には、第３通路が形成され、前記第３通路は、前記環状開口部の外縁に向いている前記案内壁部の面とこれに対向する前記第２壁部との間に、前記環状開口部から内部に向かうにつれて、前記環状開口部の中心軸に沿った断面視で、幅が小さくなるように形成される第３領域と、一端及び他端がそれぞれ前記第３領域及び前記環状開口部に連通するとともに、前記中心軸に沿った断面視で、幅が均一であるように形成される第４領域と、を有してもよい。
（９）上記（２）から（８）までのいずれか１つの態様において、前記中央開口部は、前記第１壁部側に向かって拡大する形状の拡大部を含み、前記第１壁部に対向する前記中心壁部の先端は、前記環状開口部の中心軸に沿った断面視で、前記拡大部が拡大を開始する位置と等しい高さに位置してもよい。
（１０）上記（２）から（９）までのいずれか１つの態様において、前記中心壁部は、前記固定筒又は前記保持筒に設けられてもよい。
（１１）上記（２）から（９）までのいずれか１つの態様において、前記保持筒は、内部に中蓋筒が連結されており、前記中心壁部は、前記固定筒、前記保持筒又は前記中蓋筒のいずれか１つに設けられてもよい。
（１２）上記（１）から（１１）までのいずれか１つの態様において、前記制御体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。

本発明によれば、洗浄時に水や洗浄液などの液体又はミストが内部に浸入することを抑制できる制御体を備える基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す概略分解斜視図である。 制御体を示す断面斜視図である。 基板収納容器に取り付けられた制御体を示す断面図である。 容器本体の開口を下に向けた状態で基板収納容器を洗浄するときの制御体を示す断面図である。 制御体を構成する固定筒の変形例を示す断面斜視図である。 制御体を構成する固定筒の変形例を示す断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を開閉する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。

容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。

基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。

容器本体１０の上部の外面には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、清浄な状態で基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述する制御体４０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。

さらに、排気部１７から排出された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の内部の底面の四隅部に位置していてもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に設けられてもよい。

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されているが、フロントリテーナが、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けられてもよい。

このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、基板Ｗが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。

そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。

つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。

パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。

ここで、制御体４０について説明する。図２は、制御体４０を示す断面斜視図である。図３は、容器本体１０に取り付けられた制御体４０を示す断面図である。図４は、容器本体１０の開口１１を下に向けた状態で基板収納容器１を洗浄するときの制御体４０を示す断面図である。

制御体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない流路を介して給気部１６又は排気部１７と連通している。

制御体４０は、図２及び図３に示すように、容器本体１０のリブ１８０によって形成された貫通孔１８に下方から嵌められる固定筒４１と、貫通孔１８にシール部材４４を介して上方から嵌入されて、固定筒４１に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒４２と、を有している。

固定筒４１は、容器本体１０の内部側に開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒４１の内周面には、保持筒４２を取り付けるための取り付け用の螺子溝４１１が螺刻形成されている。また、固定筒４１の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４１２が周設されており、リブ１８０の開口周縁部に接触するようになっている。さらに、固定筒４１の一端側には、底部４１３が設けられている。なお、固定筒４１の詳細については、後述する。

一方、保持筒４２は、容器本体１０の外部側に開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒４２の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４２１が周設されており、貫通孔１８の開口周縁に接触している。さらに、保持筒４２の外周面には、固定筒４１へ取り付けるための螺子溝４２２が螺刻形成され、この螺子溝４２２が固定筒４１の螺子溝４１１と螺合する。ただし、固定筒４１及び保持筒４２は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。

また、保持筒４２は、容器本体１０（底面）の内部側に、気体流通用の複数の通気口４２３を区画する区画リブ４２４が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ４２４の裏面には、後述するフィルタ４５を収納する収納空間が形成されている。

なお、保持筒４２は、外周面にシール部材４４が装着されており、保持筒４２と貫通孔１８の内周面との間から、容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。

ところで、制御体４０は、保持筒４２の内周壁にシール部材４６を介して取り付けられ、保持筒４２との間にフィルタ４５を保持する中蓋筒４３も有している。

中蓋筒４３は、容器本体１０の外部側に開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体１０の内部側に、フィルタ４５が載置されるようになっている。また、中蓋筒４３の外周面には突起が形成されており、保持筒４２の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒４３は、保持筒４２に連結され取り付けられている。

この中蓋筒４３には、一端が容器本体１０の内部に連通する筒部４３０が形成されており、筒部４３０が複数の通気口４２３と連通している。

上述した固定筒４１、保持筒４２及び中蓋筒４３は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。また、シール部材４４，４６には、例えば、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴムなどの材料から形成された、Ｏリングなどが用いられている。

そして、フィルタ４５は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。

フィルタ４５は、保持筒４２と中蓋筒４３との間に、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４５を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４５は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４５の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。

ここで、固定筒４１の詳細を説明する。さらに、固定筒４１は、図２及び図３に示すように、底部４１３に設けられ容器本体１０の外部に連通する環状開口部４１３ａと、環状開口部４１３ａの内縁を形成する円形状の第１壁部４１４と、固定筒４１の内部で環状開口部４１３ａの領域を覆うように環状開口部４１３ａの外縁に設けられる第２壁部４１５と、を有している。

このように、環状開口部４１３ａの領域は、固定筒４１の内部で第２壁部４１５によって覆われるため、洗浄時に水や洗浄液などの液体又はミストが環状開口部４１３ａから制御体４０の内部に浸入することを有効に抑制することができ、これによって、制御体４０を乾燥させる時間を大幅に短縮するとともに、液体残りによる不具合を解消することができる。

第１壁部４１４は、円周上に相互に等間隔を空けて設けられた複数のブリッジ部（図示なし）を介して、底部４１３又は第２壁部４１５に支持されるようになっている。また、第１壁部４１４は、その外縁に第２壁部４１５に向かって突出する環状突起部４１４ａを有している。

環状突起部４１４ａは、第２壁部４１５に向かって突出するにつれてその肉厚が薄くなるように形成されている。すなわち、環状突起部４１４ａは、第１壁部４１４の外縁と接続される基端の肉厚が最も厚く、最も突出する先端の肉厚が最も薄くなるように形成されている。なお、環状突起部４１４ａの内縁は、環状突起部４１４ａの先端よりも環状開口部４１３ａの中心軸Ｏ（以下、中心軸Ｏという。）の径方向（以下、径方向という。）の内側に位置するように形成されている。

第２壁部４１５は、中央開口部４１６を有するケーキ用エンゼル型枠の形状であるように形成されるとともに、径方向の外側に位置する外殻部４１５ａと、外殻部４１５ａと隣接するとともに外殻部４１５ａよりも径方向の内側に位置する内殻部４１５ｂと、を有している。

外殻部４１５ａは、環状開口部４１３ａの外縁である底部４１３と接続される基端４１５ｃから基端４１５ｃよりも固定筒４１の他端側に位置する頂点４１５ｄまで径方向の内側に向かって延在している。内殻部４１５ｂは、頂点４１５ｄから頂点４１５ｄよりも固定筒４１の一端側に位置する先端４１５ｅまで径方向の内側に向かって延在している。なお、第２壁部４１５の先端４１５ｅは、環状突起部４１４ａの内縁よりも径方向の内側に位置するように形成されている。このため、環状突起部４１４ａは、中央開口部４１６よりも径方向の外側に位置するようになっている。

第１壁部４１４とこれに対向する第２壁部４１５の第１対向面４１５ｆとの間には、環状開口部４１３ａから中央開口部４１６まで延在する第１通路ｔ１が形成されている。この第１通路ｔ１は、気体流通用のものであり、図３に示すように、環状開口部４１３ａから内部へ向かうにつれて、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が大きくなるように形成される第１領域ｔ１１と、第１領域ｔ１１と隣接して中央開口部４１６へ向かうにつれて、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が小さくなるように形成される第２領域ｔ１２と、を有している。

なお、中心軸Ｏに沿った断面視で、第１通路ｔ１の一端の幅である第１幅ｄ１（すなわち、環状開口部４１３ａの内縁からその外縁までの幅）を、第１通路ｔ１の他端の幅である第２幅ｄ２（すなわち、第２壁部４１５の先端４１５ｅから第１壁部４１４までの幅）よりも大きく形成することが好ましい。

一方、中央開口部４１６には、中心壁部４１７が挿入されている。この中心壁部４１７は、円周上に相互に等間隔を空けて設けられた複数のブリッジ部（図示なし）を介して、第２壁部４１５に支持されるようになっているが、これに限定されるものではなく、例えば、保持筒４２又は中蓋筒４３に設けられてもよい。

また、中心壁部４１７は、これに対向する第２壁部４１５の第２対向面４１５ｇと対応して湾曲するように形成される通路形成面４１７ａと、第１壁部４１４に対向する先端４１７ｂと、を有している。

第２壁部４１５の第２対向面４１５ｇと中心壁部４１７の通路形成面４１７ａとの間には、中心軸Ｏに沿った断面視で、第２幅ｄ２よりも小さい均一の幅である第４幅ｄ４を有する第２通路ｔ２が形成されている。この第２通路ｔ２は、気体流通用のものであり、第１通路ｔ１とは、中央開口部４１６を介して連通されている。

中心壁部４１７の先端４１７ｂは、中心軸Ｏに沿った断面視で、第２壁部４１５の先端４１５ｅよりも高い位置に形成されている。すなわち、中心壁部４１７の先端４１７ｂは、第２壁部４１５の先端４１５ｅよりも固定筒４１の他端側に位置するように形成されている。

中央開口部４１６は、第１壁部４１４側に向かって拡大する形状の拡大部４１６ａを含んでいる。さらに、中心壁部４１７の先端４１７ｂは、中心軸Ｏに沿った断面視で、拡大部４１６ａが拡大を開始する位置と等しい高さに位置するように形成されている。そして、中心軸Ｏに沿った断面視で、拡大部４１６ａが拡大を開始する位置の幅である第３幅ｄ３は、第１幅ｄ１及び第２幅ｄ２よりも大きく形成されている。

そして、容器本体１０の開口１１を下に向けた状態で基板収納容器１を洗浄する場合、図４に示すように、環状開口部４１３ａが横に向くようになっている。

環状開口部４１３ａが横に向いている状態で基板収納容器１を洗浄するとき、環状開口部４１３ａから浸入する水や洗浄液などの液体が、環状開口部４１３ａから内部へ向かうにつれて、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が大きくなる第１通路ｔ１の第１領域ｔ１１を通過することにより、液体の勢いが弱められるので、第１領域ｔ１１に隣接する第１通路ｔ１の第２領域ｔ１２への液体の浸入が抑制される。

つぎに、勢いが弱められた水や洗浄液などの液体が、第１通路ｔ１の第２領域ｔ１２を通過しようとすると、中心軸Ｏに沿った断面視で、この第２領域ｔ１２の幅が中央開口部４１６へ向かうにつれて小さくなるので、通過し難くなり、これによって、中央開口部４１６に浸入し難くなる。

さらに、万が一、水や洗浄液などの液体が中央開口部４１６の領域に浸入しても、中心軸Ｏに沿った断面視で、第２幅ｄ２よりも大きい幅を有する中央開口部４１６の拡大部４１６ａを通過することにより、液体の勢いが更に弱められるので、第２通路ｔ２への液体の浸入が確実に抑制される。

そして、中心軸Ｏに沿った断面視で、第２通路ｔ２の第４幅ｄ４が第２幅ｄ２よりも小さく形成されることにより、勢いが更に弱められた水や洗浄液などの液体がより第２通路ｔ２に浸入し難くなる。

また、環状開口部４１３ａの上方から浸入する水や洗浄液などの液体が、重力によって、頂点４１５ｄから先端４１５ｅまで径方向の内側に向かって延在する上方の第２壁部４１５の内殻部４１５ｂを通過して、中央開口部４１６の領域に入り込み、その後、第２通路ｔ２へ浸入することなく、中央開口部４１６の拡大部４１６ａを経由してから、下方の環状突起部４１４ａの内縁からその内縁よりも径方向の外側に位置する下方の環状突起部４１４ａの先端まで移動し、次に、頂点４１５ｄから基端４１５ｃまで径方向の外側に向かって延在する下方の第２壁部４１５の外殻部４１５ａを通過して、環状開口部４１３ａの下方から排出することができ、これによって、水や洗浄液などの液体が環状開口部４１３ａから制御体４０の内部に浸入することをより確実に抑制することができる。

（変形例の固定筒）
ここで、変形例の固定筒４１を説明する。図５は、制御体４０を構成する固定筒４１の変形例を示す断面斜視図である。図６は、制御体４０を構成する固定筒４１の変形例を示す断面図である。

変形例の固定筒４１については、図５及び図６を参照して上記説明した固定筒４１と相違する点を中心に説明し、上記説明した固定筒４１と一致する点の説明を省略する。

上記説明した固定筒４１では、第１壁部４１４が外縁に環状突起部４１４ａを有しているが、変形例の固定筒４１では、第１壁部４１４が外縁に環状突起部４１４ａを有しておらず、第１壁部４１４の外縁と第２壁部４１５の先端４１５ｅとの間には、環状開口部４１３ａと中央開口部４１６とを連通する環状の連通路４１８が形成されている。

また、変形例の固定筒４１では、第２壁部４１５が、中央開口部４１６を有するケーキ用エンゼル型枠の形状であるように形成されるとともに、内部空間に環状の案内壁部４１９が設けられている。この案内壁部４１９は、円周上に相互に等間隔を空けて設けられた複数のブリッジ部（図示なし）を介して、第２壁部４１５に支持されるようになっている。

案内壁部４１９とこれに対向する第２壁部４１５の第１対向面４１５ｆとの間には、第３通路ｔ３が形成されている。この第３通路ｔ３は、環状開口部４１３ａの外縁に向いている案内壁部４１９の面とこれに対向する第２壁部４１５の第１対向面４１５ｆの基端４１５ｃ側との間に、環状開口部４１３ａから内部に向かうにつれて、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が小さくなるように形成される第３領域ｔ３１と、一端及び他端がそれぞれ第３領域ｔ３１及び環状開口部４１３ａに連通するとともに、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が均一であるように形成される第４領域ｔ３２と、を有している。

そして、基板収納容器１を洗浄するとき、環状開口部４１３ａから浸入する水や洗浄液などの液体が、環状開口部４１３ａから内部に向かうにつれて、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が小さくなる第３通路ｔ３の第３領域ｔ３１を通過することで、液体の勢いが強められるので、液体を、第３通路ｔ３を形成する案内壁部４１９及びこれに対向する第２壁部４１５の第１対向面４１５ｆに張り付かせることができる。

つぎに、勢いが強められた液体が、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が均一である第３通路ｔ３の第４領域ｔ３２を通過して、環状開口部４１３ａから排出されると、中央開口部４１６にある気体がコアンダ効果によって引き出されるため、液体が連通路４１８に浸入し難くなり、これによって、液体が連通路４１８を介して中央開口部４１６に侵入することを確実に抑制することができる。

なお、基板収納容器１を洗浄するとき、環状開口部４１３ａから浸入する水や洗浄液などの液体が、中心軸Ｏに沿った断面視で、幅が均一である第３通路ｔ３の第４領域ｔ３２に向かうと、同様に中央開口部４１６にある気体がコアンダ効果によって引き出されるため、液体が連通路４１８に浸入し難くなり、その後、順次に第３通路ｔ３の第４領域ｔ３２及び第３通路ｔ３の第３領域ｔ３１を経由して環状開口部４１３ａから外部へ排出される。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１６ 給気部、１７ 排気部、１８ 貫通孔、１８０ リブ
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 凸部
３０ パッキン
４０ 制御体
４１ 固定筒、４１ 固定筒、４１１ 螺子溝、４１２ フランジ、４１３ 底部、４１３ａ 環状開口部、４１４ 第１壁部、４１４ａ 環状突起部、４１５ 第２壁部、４１５ａ 外殻部、４１５ｂ 内殻部、４１５ｃ 基端、４１５ｄ 頂点、４１５ｅ 先端（第２壁部）、４１５ｆ 第１対向面、４１５ｇ 第２対向面、４１６ 中央開口部、４１６ａ 拡大部、４１７ 中心壁部、４１７ａ 通路形成面、４１７ｂ 先端（中心壁部）、４１８ 連通路、４１９ 案内壁部
４２ 保持筒、４２１ フランジ、４２２ 螺子溝、４２３ 通気口、４２４ 区画リブ
４３ 中蓋筒、４３０ 筒部
４４ シール部材、４５ フィルタ、４６ シール部材
ｄ１ 第１幅、ｄ２ 第２幅、ｄ３ 第３幅、ｄ４ 第４幅
ｔ１ 第１通路、ｔ１１ 第１領域、ｔ１２ 第２領域
ｔ２ 第２通路
ｔ３ 第３通路、ｔ３１ 第３領域、ｔ３２ 第４領域
Ｗ 基板

Claims (12)

1. 基板を収納する容器本体と、
   容器本体の開口を開閉する蓋体と、
   前記容器本体に形成された貫通孔に取り付けられ、前記容器本体に対する気体の流通を制御する制御体と、を備える基板収納容器であって、
   前記制御体は、
   固定筒と、
   前記固定筒に組み合わされる保持筒と、を有し、
   前記固定筒は、
   前記容器本体の外部に連通する環状開口部と、
   前記環状開口部の内縁を形成する第１壁部と、
   前記固定筒の内部で前記環状開口部の領域を覆うように、前記環状開口部の外縁に設けられる第２壁部と、を有し、
   前記貫通孔には、前記固定筒及び前記保持筒のいずれか一方が嵌められ、
   前記保持筒には、前記容器本体の内部に連通する通気口が形成される
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記第２壁部は、中央開口部を有するケーキ用エンゼル型枠の形状であり、
   前記中央開口部には、前記第２壁部との間に第２通路が形成されるように中心壁部が挿入されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記第１壁部は、前記中央開口部よりも径方向の外側に前記第２壁部に向かって突出する環状突起部を有する
   ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記第１壁部と前記第２壁部との間には、前記環状開口部から前記中央開口部まで延在する第１通路が形成され、
   前記第１通路と前記第２通路とは、前記中央開口部を介して連通される
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載の基板収納容器。
5. 前記第１通路は、
   前記環状開口部から内部に向かうにつれて、前記環状開口部の中心軸に沿った断面視で、幅が大きくなるように形成される第１領域と、
   前記第１領域に隣接して前記中央開口部に向かうにつれて、前記中心軸に沿った断面視で、幅が小さくなるように形成される第２領域と、を有する
   ことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
6. 前記第２壁部は、中央開口部を有するケーキ用エンゼル型枠の形状であるとともに、内部空間に環状の案内壁部が設けられ、
   前記中央開口部には、前記第２壁部との間に第２通路が形成されるように中心壁部が挿入されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
7. 前記第１壁部と前記第２壁部の最も径方向の内側に位置する先端との間に環状の連通路が形成され、
   前記連通路は、前記環状開口部と前記中央開口部とを連通する
   ことを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。
8. 前記案内壁部と前記第２壁部との間には、第３通路が形成され、
   前記第３通路は、
   前記環状開口部の外縁に向いている前記案内壁部の面とこれに対向する前記第２壁部との間に、前記環状開口部から内部に向かうにつれて、前記環状開口部の中心軸に沿った断面視で、幅が小さくなるように形成される第３領域と、
   一端及び他端がそれぞれ前記第３領域及び前記環状開口部に連通するとともに、前記中心軸に沿った断面視で、幅が均一であるように形成される第４領域と、を有する
   ことを特徴とする請求項７に記載の基板収納容器。
9. 前記中央開口部は、前記第１壁部側に向かって拡大する形状の拡大部を含み、
   前記第１壁部に対向する前記中心壁部の先端は、前記環状開口部の中心軸に沿った断面視で、前記拡大部が拡大を開始する位置と等しい高さに位置する
   ことを特徴とする請求項２から８までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
10. 前記中心壁部は、前記固定筒又は前記保持筒に設けられている
    ことを特徴とする請求項２から９までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
11. 前記保持筒は、内部に中蓋筒が連結されており、
    前記中心壁部は、前記固定筒、前記保持筒又は前記中蓋筒のいずれか１つに設けられている
    ことを特徴とする請求項２から９までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
12. 前記制御体は、前記気体を濾過するフィルタを有する
    ことを特徴とする請求項１から１１までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

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