JP6679907B2 - ロードポート装置及びロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法 - Google Patents
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Description
ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口を開閉するための開閉部と、
前記主開口から前記容器の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部と、
前記容器の底面のうち底面中央に比べて前記主開口から離間する位置に形成された底孔に連通可能なボトムノズルを有し、前記容器の内部の気体を前記容器の外部へ排出可能な気体排出部と、を有することを特徴とする。
前記主開口が閉じられた状態で、前記載置台に載置された前記容器の底面に形成された底孔に連通可能なボトムノズルの少なくとも1つから、前記容器の内部に清浄化ガスを導入する第1導入工程と、
前記主開口の開放および前記ボトムノズルからの清浄化ガスの導入の停止を行い、前記主開口から前記容器の内部に清浄化ガスを導入する第2導入工程と、を有し、
前記第2導入工程では、前記ボトムノズルのうち、前記容器の底面のうち底面中央に比べて前記主開口から離間する位置に形成された底孔に連通可能な少なくとも1つを介して、前記容器の内部の気体を前記容器の外部へ排出することを特徴とする。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10は、半導体処理装置のフロントエンドモジュールであるイーフェム(EFEM)50の一部を構成する。イーフェム50は、ロードポート装置10の他に、ウエハ1を搬送する容器としてのフープ(FOUP)2と処理室(不図示)とを連結する空間であるミニエンバイロメント52や、ミニエンバイロメント52内に配置される搬送ロボット54等を有する。
2… フープ
2f… 底面
4… 蓋
5… 第1の底孔
6… 第2の底孔
10、100…ロードポート装置
11…壁部材
14…載置台
17…フロントガス導入部
17a…放出ノズル
18…開閉部
18a…ドア
20…気体排出部
21…第1のボトムノズル
22…第1配管部
24…強制排出手段
30…ボトムガス導入部
31…第2のボトムノズル
32…第2配管部
140…整流板
142…弁
50、150…イーフェム
52、152…ミニエンバイロメント
C…底面中央
Claims (7)
- ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口を開閉するための開閉部と、
前記主開口から前記容器の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部と、
前記主開口が閉じられた状態で、前記載置台に載置された前記容器の底面に形成された底孔の少なくとも1つに連通可能なボトムノズルの少なくとも1つから前記容器の内部に清浄化ガスが導入可能なボトムガス導入部と、
前記容器の前記底面のうち底面中央に比べて前記主開口から離間する位置に形成された前記底孔の少なくとも1つに連通可能な前記ボトムノズルの少なくとも1つから前記容器の内部の気体を前記容器の外部へ排出可能な気体排出部と、を有し、
前記ボトムガス導入部からの清浄化ガスの導入を停止し、前記開閉部により前記主開口を開放させた状態で、前記ガス導入部により前記主開口から前記容器の内部に清浄化ガスを導入させつつ、前記気体排出部により前記ボトムノズルを介して前記容器の内部の気体を前記容器の外部へ排出するように、前記ボトムガス導入部、前記開閉部、前記ガス導入部および前記気体排出部を制御することを特徴とするロードポート装置。 - 前記気体排出部は、前記容器の内部の気体を強制的に排出する強制排出手段を有することを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記容器への清浄化ガスの導入時間、または、前記気体排出部によって前記容器の外部へ排出される気体の清浄度、を検出する手段を有する請求項1または請求項2に記載のロードポート装置。
- ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を、ロードポート装置の載置台に載置する工程と、
前記主開口が閉じられた状態で、前記載置台に載置された前記容器の底面に形成された底孔に連通可能なボトムノズルの少なくとも1つから、前記容器の内部に清浄化ガスを導入する第1導入工程と、
前記主開口の開放および前記ボトムノズルからの清浄化ガスの導入の停止を行い、前記主開口から前記容器の内部に清浄化ガスを導入する第2導入工程と、を有し、
前記第2導入工程では、前記ボトムノズルのうち、前記容器の底面のうち底面中央に比べて前記主開口から離間する位置に形成された底孔に連通可能な少なくとも1つを介して、前記容器の内部の気体を前記容器の外部へ排出することを特徴とするロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法。 - 前記第2導入工程において、前記容器の内部の気体を前記容器の外部へ排出する前記ボトムノズルは、前記容器の内部の気体を強制的に排出する強制排出手段に接続されており、前記強制排出手段は、前記容器の内部の気体を強制的に排出することを特徴とする請求項4に記載のロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法。
- 前記第1導入工程における前記清浄化ガスの導入と、前記第2導入工程における前記気体の排出は、同一の前記ボトムノズルを介して行われることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法。
- 前記第1導入工程による前記容器への清浄化ガスの導入時間が所定の時間に達したタイミング、または、前記第1導入工程において前記容器から排出される気体の清浄度が所定のレベルに達したことを検出したタイミングで、前記ボトムノズルからの清浄化ガスの導入の停止を行うことを特徴とする請求項4から請求項6までのいずれかに記載のロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法。
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