JP4606388B2 - 基板移載装置の搬送系ユニット - Google Patents

Description

本発明は、基板処理設備のうちで基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部に関し、特に半導体処理設備における基板移載装置であるＥＦＥＭ（Equipment Front End
Module）に関する。

図３１は、従来技術の半導体処理設備１の一部を切断して示す断面図である。半導体処理設備１は、ウェハ処理装置２とウェハ移載装置３とを含んで構成される。半導体処理設備１内の空間は、予め定めるクリーン度に保たれる雰囲気気体で満たされる。これによって処理されるウェハ４は、大気中に浮遊する異物の付着が防がれる。半導体ウェハ４は、基板容器であるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod、略称フープ）５に収容された状態で、半導体処理設備１に搬送される。

ウェハ移載装置３は、処理前のウェハ４をＦＯＵＰ５から取り出して、取り出したウェハ４を準備空間９で移動させて、ウェハ処理装置２に供給する。また処理後のウェハ４をウェハ処理装置２から取り出して、取り出したウェハ４を準備空間９で移動させて、ＦＯＵＰ５に再収容する。具体的には、ウェハ移載装置３は、ＦＯＵＰオープナ６（以下、オープナ６と称する）と、ロボット７と、準備空間９を形成する準備空間形成壁とを含む。ＦＯＵＰ内の空間１２と準備空間９とは、外方空間１３に対して密閉された空間であって、塵埃粒子が極めて少ない状態に維持される。

準備空間形成壁の一部であるメインフレーム８には、ウェハ４が通過可能なウェハ側開口が形成される。オープナ６は、メインフレーム８に固定され、外方空間１３でＦＯＵＰ５を支持するＦＯＵＰ支持部１１が形成される。またオープナ６は、ウェハ側開口を塞ぐオープナ側ドアを有し、準備空間９を外方空間に対して密閉することができる。

オープナ６は、外気の侵入を塞いだ状態で、ＦＯＵＰ５のＦＯＵＰ側ドアと、オープナ６のオープナ側ドアとを開放して、ＦＯＵＰ内の空間１２と、準備空間９とを連通する。この状態で、ロボット７がＦＯＵＰ５からウェハ処理装置２へウェハ４を搬送するとともに、ウェハ処理装置２からＦＯＵＰ５へウェハ４を搬送する。またオープナ６が、ＦＯＵＰ側ドアと、オープナ側ドアとを閉鎖することによって、ＦＯＵＰ５内の空間１２と準備空間９とが外気から密閉され、半導体処理装置１からＦＯＵＰ５を分離可能な状態となる。

特許文献１に開示される従来技術では、メインフレーム８は、表の面となるフロントフェース８ａにオープナ６を構成する部品が固定される。またメインフレーム８は、裏の面となるリアフェース８ｂにロボット７を構成する部品が固定される。

このような従来技術のウェハ移載装置３のロボット７は、ウェハ移載時にロボットハンドを動作させるために発生する力の反力が、ウェハ移載装置３のメインフレーム８に伝わることを防ぐために、ロボットハンドを支持する基部１０の剛性が大きくなるように構成される。これによってロボットハンドで発生する力の反力が、メインフレーム８に伝わることを防ぐ。

特表２００５−５２５６８８号公報

上述した従来技術ではロボット７の基部１０は、メインフレーム８への固定状態にかかわらずに、ロボット７による基板移載動作を行わせるために、固定されるであろう任意の方向に対する剛性が高く設計される。この結果、ロボット７の基部１０を構成する部品が増加するとともにロボット７の基部１０の形状が大きくなるという問題がある。また複数の方向に対する剛性を高くするために、ロボット７の生産コストが増大してしまうという問題がある。

またロボット７の基部１０の剛性を高くしても、メインフレーム８の剛性が低い場合には、ロボット７から与えられる力によってメインフレーム８が変形する変形量が許容変形量を超えてしまい、ロボットハンドが不所望に変位して、ウェハの搬送に不具合が生じるおそれがある。逆にメインフレーム８の剛性が高い場合には、ロボット７の基部１０の剛性が必要以上に高くなってしまう。この場合、ウェハ移載装置３の振動抑制に関する品質が過剰となり、構造の簡易化、軽量化および低コスト化を阻害する要因となってしまう。このような問題は、ウェハ移載装置以外、たとえばガラス基板を搬送するガラス基板移載装置であっても同様に生じる。

したがって本発明の目的は、基板搬送に不具合が生じることを防いで、基板移載装置の構造を簡単化するウェハ移載装置を提供することである。

本発明は、予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板処理装置に対して、基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部を構成し、基板移載装置の残余の部分となる本体構成体に対して着脱可能に形成される基板移載装置の搬送系ユニットであって、
（ａ）前記本体構成体に対して着脱可能に形成され、基板移載装置のフレーム体の一部となるフレーム分割体と、
（ｂ）基板を搬送可能なロボットであって、ロボット本体と、ロボット本体を前記フレーム分割体に固定するロボット基部とを有するロボットと、
（ｃ）フレーム分割体に固定される基板容器オープナであって、オープナ本体と、オープナ本体をフレーム分割体に固定するオープナ基部とを有するオープナとを含み、
前記フレーム分割体は、立方体箱状に形成されるフレーム本体部を有し、本体構成体に装着された場合に、固定されるロボットおよび基板容器オープナが基板移載装置の一部として位置すべき配置位置にそれぞれ配置されるように形成され、
前記フレーム本体部は、フレーム本体部の上下方向に延びる側壁部分に形成され、前記ロボット基部が固定されるロボット固定部と、フレーム本体部の上面部分に形成され、前記オープナ基部が固定されるオープナ固定部とを含み、ロボット基部が固定された状態では、ロボット基部を介してロボット本体から力が与えられる場合に、基板を移載するのに許容されるロボット許容変形量を超えてロボット基部が変形することを防ぐ剛性を有し、オープナ基部が固定された状態では、オープナ基部を介してオープナ本体から力が与えられる場合に、基板を移載するのに許容されるオープナ許容変形量を超えてオープナ基部が変形することを防ぐ剛性を有し、
前記ロボット基部は、ロボット固定部の上下方向一端部から他端部にわたって延び、ロボット固定部に固定され、ロボット固定部に固定されない状態では、ロボット本体から力が与えられる場合に、前記ロボット許容変形量を超える変形を許容する剛性を有し、
前記オープナ基部は、オープナ本体から与えられる力がフレーム分割体へ伝わることを許容し、オープナ固定部に固定されない状態では、オープナ本体から力が与えられる場合に、前記オープナ許容変形量を超える変形を許容する剛性を有することを特徴とする基板移載装置の搬送系ユニットである。

本発明に従えば、ロボットと基板容器オープナとは、フレーム体に固定された状態で、搬送系ユニットを構成する。ロボット本体が基板を搬送するために必要な力を生じることによって、ロボット基部はロボット本体から反力が与えられる。ロボット基部は、ロボット本体から与えられた反力をフレーム体に与える。フレーム体は、ロボット基部を介してロボット本体から力が与えられる場合に、ロボット基部の剛性を肩代わりして、ロボット基部がロボット許容変形量を超えて変形することを防ぐ剛性を有する。

これによってロボット基部がロボット本体から与えられる力をフレーム体へ伝えたとしても、基板の移載時にロボット本体が、不所望に変位することを防いで、基板を移載することができる。またロボット基部は、フレーム体に固定されない状態では、ロボット本体から力が与えられる場合に、前記ロボット許容変形量を超える変形を許容する剛性を有する。したがってロボット基部は、ロボット本体とフレーム体とを連結するのに必要な剛性を有すれば充分であり、ロボット基部の剛性を低減させることが可能となる。

また、オープナ本体が基板移載時に必要な力を生じることによって、オープナ基部はオープナ本体から反力が与えられる。オープナ基部は、オープナ本体から与えられた反力をフレーム体に与える。フレーム体は、オープナ基部を介してオープナ本体から力が与えられる場合に、オープナ基部の剛性を肩代わりして、オープナ基部が、オープナ許容変形量を超えて変形することを防ぐ剛性を有する。

これによってオープナ基部がオープナ本体から与えられる力をフレーム体へ伝えたとしても、基板の移載時にオープナ本体が、不所望に変位することを防いで、基板を移載することができる。またオープナ基部は、フレーム体に固定されない状態では、オープナ本体から力が与えられる場合に、前記オープナ許容変形量を超える変形を許容する剛性を有する。したがってオープナ基部は、オープナ本体とフレーム体とを連結するのに必要な剛性を有すれば充分であり、オープナ基部の剛性を低減させることが可能となる。
また、ロボットが水平方向に基板を搬送する場合、ロボット基部は、ロボット本体から主に水平方向に力を受け、その受けた力をフレーム体に与える。ロボット基部がフレーム体の鉛直な平面に固定されることによって、ロボットとフレーム体とを強固に連結することができ、ロボットの動作が不安定となることを防ぐことができる。

本発明は、前記オープナ本体は、基板が収容される基板容器を支持する容器支持部を有し、
前記フレーム分割体は、容器支持部のうちで基板移載装置の外方空間に露出する側面に対して、略面一な側面を有することを特徴とする。

本発明に従えば、フレーム分割体が、容器支持部のうちで基板移載装置の外方空間に露出する側面に対して、略面一な側面を有することで、フレーム分割体を内部空間に対して外方空間に突出させて、フレーム体を大形化させることができ、フレーム体として必要な剛性を容易に確保することができる。またフレーム体に内部空間が形成される場合、その内部空間を大きくすることができ、内部空間に収容可能な部品および装置を増やすことができる。

本発明は、ロボットおよび基板容器オープナは、フレーム分割体から着脱可能に構成されることを特徴とする。

本発明に従えば、ロボットおよび基板容器オープナなどのモジュールが着脱可能に構成されるので、それらが損傷した場合には、損傷したモジュールのみを交換することができ、搬送系ユニット全体を交換する必要がないので利便性を向上することができる。

本発明は、前記フレーム体が本体構成体に装着された場合に、ロボットのうちフレーム体に対して可動する可動部分が配置される可動空間と、ロボットのうちフレーム体に対して固定される基部が配置される固定空間とを仕切る仕切り体をさらに含むことを特徴とする。

本発明に従えば、仕切り体によって、可動空間と固定空間とを仕切ることによって、固定空間から可動空間に、塵埃粒子が移動することが防がれ、可動空間をクリーンな状態に保つことができる。また固定空間から可動空間に塵埃粒子が移動することを防ぐことができるので、固定空間に配置される構成部品について、塵埃粒子の発生を防止するための塵埃飛散防止カバーなどを省くことができる。

本発明は、前記フレーム体にはアクセス用ドアが形成され、本体構成体に装着された状態でアクセス用ドアが開放状態となることで、基板処理装置の外方空間と前記固定空間とを直接連通することを特徴とする。

本発明に従えば、アクセス用ドアを開放することで、作業者は、可動空間に侵入することなく、外方空間から固定空間に直接進入して、固定空間に配置される各部品をメンテナンスすることができ、利便性を向上することができる。また仕切り体によって、メンテナンス時に固定空間で発生した塵埃粒子が、可動空間に移動することを防ぐことで、可動空間のクリーン度の悪化を抑えることができる。これによってメンテナンス後に、短時間で可動空間のクリーン度を回復することができ、作業効率を向上することができる。

本発明は、固定空間には、基板移載装置を調整するための調整手段が、アクセス用ドアの開口部近傍に配置されることを特徴とする。

本発明に従えば、アクセス用ドアを開放することで、作業者が固定空間の手前側で調整手段を操作することができ、固定空間における作業を容易に行うことができる。また作業者は、固定空間の奥側に進入することを防ぐことができるので、固定空間で発生する塵埃粒子を抑えることができ、結果として固定空間から可動空間に移動する塵埃粒子を抑えることができる。

本発明は、本体構成体から分離された状態で、基板移載装置として動作するときと同じ動作が可能であることを特徴とする。

本発明に従えば、搬送系ユニットを完成させた状態で、基板移載装置として組立てる前に、基板の搬送についての動作検査を行うことができる。

本発明は、ロボットは、前記可動空間に露出する可動空間露出部分のほうが、前記固定空間に露出する固定空間露出部分よりも、低発塵処理が施されることを特徴とする。

本発明に従えば、ロボットの可動空間露出部分は、基板を搬送する可動空間に露出する部分であり、低発塵処理が施されることによって、ロボットの可動空間露出部分で発生した塵埃粒子が基板に付着することを防ぐことができる。またロボットの固定空間露出部分は、低発塵処理が施されていなくても、可動空間に対して仕切られた固定空間に配置されることで、ロボットの固定空間露出部分で発生した塵埃粒子が基板に付着することを防ぐことができる。このように本発明では、固定空間露出部分の低発塵処理を施す度合いを、可動空間露出部分に比べて高くする必要がないので、基板に塵埃が付着することを防いで、ロボットを簡素化して製造コストを低減することができる。

本発明は、前記基板移載装置の搬送系ユニットを備える基板移載装置である。
本発明に従えば、上述した搬送系ユニットを基板移載装置が備えることによって、ロボット基部の剛性を低減させることが可能となる。またフレーム体の剛性を高くすることは、ロボットの剛性を高くするよりも、単純な構成で容易に実現することができ、またその剛性向上効果も大きい。

請求項１記載の本発明によれば、ロボットの基部に、剛性を必要とすることがないので、ロボットの基部を構成する部品を簡素化するとともに、ロボットの基部の構造を簡単化することができ、ロボットの生産コストを低減することができる。またフレーム体の剛性を高くすることは、ロボットの剛性を高くするよりも、単純な構成で容易に実現することができ、またその剛性向上効果も大きい。またフレーム体の剛性を高くすることで、ロボットが不所望に変位することが防がれ、基板移載時にロボットによる不具合が生じることを防ぐことができる。したがってロボットの基部の剛性を低下させても、基板移載装置の振動抑制に関する品質の低下が防がれ、品質を維持したうえで、構造の簡素化、軽量化および低コスト化を図ることができる。

また、基板容器オープナ基部に、剛性を必要とすることがないので、オープナ基部を構成する部品を簡素化するとともに、オープナ基部の構造を簡単化することができ、オープナの生産コストを低減することができる。またフレーム体の剛性を高くすることは、オープナの剛性を高くするよりも、単純な構成で容易に実現することができ、またその剛性向上効果も大きい。またフレーム体の剛性を高くすることで、オープナが不所望に変位することが防がれ、基板移載時にオープナによる不具合が生じることを防ぐことができる。したがってオープナ基部の剛性を低下させても、基板移載装置の振動抑制に関する品質の低下が防がれ、品質を維持したうえで、構造の簡素化、軽量化および低コスト化を図ることができる。
また、ロボット基部がフレーム体の鉛直な平面に固定され、いわゆるロボットの側面でフレーム体に固定されることによって、ロボットとフレーム体とを強固に連結することができ、ロボットの動作が不安定となることを防ぐことができる。またロボット本体で発生した力をフレーム体によって充分に支えることができる。

請求項２記載の本発明によれば、フレーム体が、基板容器オープナの容器支持部のうちで基板移載装置の外方空間に露出する側面に対して、略面一な側面を有する。これによって基板移載装置の内部空間を大きくすることなく、フレーム体を大形化させることができ、フレーム体として必要な剛性を容易に確保することができる。またオープナ本体からフレーム体に与えられる力で、ロボットが不所望に変位することをより確実に防ぐことができ、ロボットによる基板移載をより確実に行うことができる。

請求項３記載の本発明によれば、ロボットおよび基板容器オープナなどのモジュールが着脱可能に構成されるので、それらが損傷した場合には、損傷したモジュールのみを交換することができ、搬送系ユニット全体を交換する必要がないので利便性を向上することができる。

請求項４記載の本発明によれば、仕切り体によって、可動空間と固定空間とを仕切ることによって、固定空間から可動空間に、塵埃粒子が移動することが防がれ、可動空間をクリーンな状態に保つことができる。固定空間に配置されるロボット基部などには、塵埃粒子が発生することを防止するような表面処理およびカバーを不必要とすることができ、製造コストを抑えることができる。

請求項５記載の本発明によれば、アクセス用ドアを開放することで、可動空間に進入することなく、外方空間から固定空間に直接進入して、固定空間に配置される各部品をメンテナンスすることができ、利便性を向上することができる。また仕切り体によって可動空間と固定空間とを仕切ることで、メンテナンス時に固定空間で発生した塵埃粒子が、可動空間に移動することを防ぐことができ、可動空間のクリーン度の悪化を抑えることができる。これによってメンテナンス後に、短時間で可動空間のクリーン度を回復することができ、作業効率を向上することができる。

請求項６記載の本発明によれば、アクセス用ドアを開放すると、固定空間の手前側に調整手段が配置される。したがって固定空間の奥側に進入することなく、手前側で作業者が調整手段を操作することができ、固定空間における作業を容易に行うことができる。また作業者は、固定空間の奥側に進入することなく、調整手段を操作することができるので、固定空間で発生する塵埃粒子を抑えることができ、結果として固定空間から可動空間に移動する塵埃粒子を抑えることができる。

請求項７記載の本発明によれば、搬送系ユニットを完成させた状態で、基板移載装置として組立てる前に、基板の搬送についての動作検査を行うことができる。動作検査が完了した搬送系ユニットを本体構成体に装着して基板移載装置を完成させることで、基板移載装置として組立てた後での動作検査を簡略化することができる。これによって基板移載装置として組立ててから基板移載装置として可動可能な状態となるまでの時間を短縮することができるとともに、品質を向上することができる。

請求項８記載の本発明によれば、固定空間露出部分の低発塵処理を施す度合いを、可動空間露出部分に比べて高くする必要がないので、基板に塵埃が付着することを防いで、ロボットの製造コストを低減することができる。

請求項９記載の本発明によれば、上述した搬送系ユニットを基板移載装置が備えることによって、ロボット基部の剛性を低減させることが可能となる。またフレーム体の剛性を高くすることは、ロボットの剛性を高くするよりも、単純な構成で容易に実現することができ、またその剛性向上効果も大きい。

図１は、本発明の第１実施形態である半導体処理設備２０を切断して示す断面図である。図２は、半導体処理設備２０を簡略化して示す斜視図であり、オープナ側開口３５を開放した状態を示す。図３は、図１に示す矢符Ａ３−Ａ３切断面線から切断して半導体処理設備２０を示す断面図である。図３には、理解を容易にするために、仕切り板５２の一部を切断した状態を示す。図４は、ＦＯＵＰ２５を示す斜視図である。

半導体処理設備２０は、処理対象基板となる半導体ウェハ２４に対して予め定める処理を行う。たとえば半導体ウェハ２４に施される処理として、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理または平坦化処理などの様々なプロセス処理が想定される。また半導体処理設備は、上述した基板処理以外の基板処理が行われてもよい。

半導体処理設備２０は、クリーン度の高い雰囲気気体で満たされた処理空間３０内で、上述した基板処理を行う。ウェハ２４は、ＦＯＵＰ２５（Front Opening Unified Pod、略称フープ）と称される基板容器に複数枚収容された状態で、半導体処理設備２０に搬送される。

図４に示すように、ＦＯＵＰ２５は、ウェハ２４が収容される容器本体となるＦＯＵＰ本体６０と、ＦＯＵＰ本体６０に対して着脱可能に形成される容器側ドアとなるＦＯＵＰ側ドア６１とを含んで構成される。ＦＯＵＰ本体６０は、予め設定される正面方向Ｗに開放する略箱状に形成され、ウェハ収容空間としてＦＯＵＰ内空間３４が形成される。ＦＯＵＰ本体６０は、正面方向Ｗ側に露出するＦＯＵＰ側開口部６２が形成され、ＦＯＵＰ側開口部６２によって、ＦＯＵＰ内空間３４のうちで正面方向Ｗの領域となるＦＯＵＰ側開口６３が形成される。ＦＯＵＰ側ドア６１は、板状に形成され、ＦＯＵＰ本体６０に対して着脱可能に構成される。ＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０に装着されることによって、ＦＯＵＰ側開口部６２に当接してＦＯＵＰ側開口部６２を塞ぐ。またＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０から取外されることで、ＦＯＵＰ側開口部６２から離間してＦＯＵＰ側開口部６２を開く。

ＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０に装着されることによって、ＦＯＵＰ本体６０に形成されるＦＯＵＰ内空間３４が、外方空間３３に対して密閉されて、外方空間３３から塵埃粒子などの汚染物質がＦＯＵＰ内空間３４に侵入することを防ぐ。したがってＦＯＵＰ内空間３４がクリーン度の高い状態で、ＦＯＵＰ側ドア６１が装着されることで、ＦＯＵＰ内空間３４は、クリーン度の高い状態に保たれる。またＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０を開放することで、ＦＯＵＰ内空間３４にウェハ２４を収容可能となるとともに、ＦＯＵＰ内空間３４からウェハ２４を取り出し可能となる。

図１および図２に示すように、半導体処理設備２０は、ウェハ処理装置２２と、ウェハ移載装置２３とを含んで構成される。ウェハ処理装置２２は、前記処理空間３０でウェハ２４に予め定める処理を施す。ウェハ処理装置２２は、ウェハ２４に処理を施す処理装置本体のほか、処理空間３０を形成する複数の処理空間形成壁、処理空間３０でウェハ２４を搬送する搬送装置、処理空間３０に満たされる雰囲気気体を制御する調整装置などを有する。

ウェハ移載装置２３は、処理前のウェハ２４をＦＯＵＰ２５から取り出してウェハ処理装置２２に供給するとともに、処理後のウェハ２４をウェハ処理装置２２から取り出してＦＯＵＰ２５に再収容する。ウェハ移載装置２３は、装置フロントエンドモジュール（
Equipment Front End Module、略称ＥＦＥＭ）と称され、半導体処理設備２０のうちで、ＦＯＵＰ２５とウェハ処理装置２２との間でのウェハ２４の受渡しを担うインターフェース部となる。ウェハ２４は、ＦＯＵＰ内空間３４と、ウェハ処理装置２２の処理空間３０との間を移動する間に、予め定められる雰囲気気体で満たされるクリーン度の高い準備空間２９を通過する。

ウェハ移載装置２３は、前記準備空間２９を形成する複数の準備空間形成壁２８と、フレーム６４と、準備空間２９に配置されてウェハ搬送可能なロボット２７と、ＦＯＵＰ２５を開閉するＦＯＵＰオープナ２６（以下、オープナ２６と称する）と、準備空間２９に満たされる雰囲気気体を制御する調整装置とを含む。また本実施の形態では、ウェハ移載装置２３は、予め定める保持位置に保持されるウェハ２４の向きを整えるアライナ５６をさらに含む。

準備空間形成壁２８は、準備空間２９を囲み、外方空間３３から外気が準備空間２９に侵入することを防ぐ。フレーム６４には、ウェハ２４を搬送するのに必要な各搬送系要素がそれぞれ固定される。本実施の形態ではフレーム６４は、２つのオープナ２６と、１つのロボット２７と、１つのアライナ５６がそれぞれ固定される。

このようにＦＯＵＰ２５は、極所クリーン化技術に関し、クリーン環境におけるミニエンバイロメント用基板容器である。オープナ２６は、ＦＯＵＰ２５を開閉する開閉装置となり、いわゆるＦＯＵＰオープナと称される。ＦＯＵＰ２５およびオープナ２６の構成の一部については、たとえばＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials
International）規格によって、予め規定される。この場合、たとえばＦＯＵＰ２５およびオープナ２６は、ＳＥＭＩ規格のＥ４７．１、Ｅ１５．１、Ｅ５７、Ｅ６２、Ｅ６３、Ｅ８４などの仕様に従う。ただし、ＦＯＵＰ２５およびオープナ２６の構成がＳＥＭＩ規格外の構成であっても、本実施の形態に含まれる。

各オープナ２６は、正面壁２８ａの一部と、オープナ側ドア６５と、ＦＯＵＰ支持部３１と、オープナ側ドア駆動機構６６と、基部６７とを含んで構成される。ＦＯＵＰ支持部３１は、準備空間２９および処理空間３０の外となる外方空間３３に配置されて、搬送されるＦＯＵＰ２５を支持する。本実施の形態では、ＦＯＵＰ支持部３１は、支持するＦＯＵＰ２５の正面方向Ｗが水平となるように、ＦＯＵＰ２５を下方から支持する。ＦＯＵＰ支持部３１は、ＦＯＵＰ２５を支持した状態で、ＦＯＵＰ２５をその正面方向Ｗに変位駆動して、予め定めるウェハ移載位置にＦＯＵＰ２５を位置決め支持可能に構成される。各オープナ２６の基部６７は、フレーム６４に固定される。各オープナ２６のうちで、基部６７以外をオープナ本体とすると、オープナ本体は、基部６７を介してフレーム６４に固定される。

以下、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５に設定される正面方向となる方向を前方Ｘ１とし、前方Ｘ１と向きが反対の方向を後方Ｘ２と称する。また前方Ｘ１および後方Ｘ２を含む方向を前後方向Ｘと称する。また上下方向をＺとし、前後方向Ｘおよび上下方向Ｚにともに垂直な方向を左右方向Ｙと称する。

正面壁２８ａは、準備空間形成壁２８の一部を構成する板状部材である。正面壁２８ａを挟んで前方Ｘ１の空間が準備空間２９となり、正面壁２８ａを挟んで後方Ｘ２の空間が外方空間３３となる。正面壁２８ａは、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５に対して前方Ｘ１に配置され、ＦＯＵＰ側開口部６２に対向する。本実施の形態では、正面壁２８ａは、ＦＯＵＰ支持部３１がＦＯＵＰ２５を乗載する乗載面から鉛直方向上方Ｚ１に延びるとともに、前後方向Ｘに垂直に延びる。

ロボット２７は、本実施の形態では水平多関節ロボットによって実現される。ロボット２７は、準備空間２９に配置され、ウェハ２４を把持可能なロボットハンド４０と、ロボットハンド４０を変位移動させるためのロボットアーム４１と、ロボットアーム４１を上下方向Ｚに変位駆動させる上下駆動体４２と、上下駆動体４２をフレーム６４に固定する基部４３と、ロボットアーム４１および上下駆動体４２を制御するコントローラ４４とを含んで構成される。

コントローラ４４によって、ロボットアーム４１および上下駆動体４２を制御することによって、ロボットハンド４０に把持させたウェハ２４を移動させることができる。基部４３以外をロボット本体とすると、ロボット本体は、基部４３を介してフレーム６４に固定される。

ロボットハンド４０は、オープナ２６がＦＯＵＰ２５を開いた状態で、ＦＯＵＰ２５のＦＯＵＰ内空間３４に侵入して、ＦＯＵＰ２５に収容されるウェハ２４を把持する。次に、ロボットハンド４０は、準備空間２９を通過して、半導体処理装置２２の処理空間３０に侵入して、把持したウェハ２４を、予め設定されるウェハ配置位置に移載する。またロボットハンド４０は、処理空間３０に侵入してウェハ配置位置に把持されるウェハ２４を把持する。次にロボットハンド４０は、準備空間２９を通過して、ＦＯＵＰ内空間３４に侵入して、把持したウェハ２４を、ＦＯＵＰ２５の収容位置に移載する。

本実施の形態では、２つのオープナ２６がそれぞれ設けられるので、ロボットハンド４０は、各オープナ２６のそれぞれのＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５それぞれに対して、ウェハ２４の出し入れ可能に設定される。またロボットハンド４０は、ＦＯＵＰ２５から取り出したウェハ２４を、アライナ５６に設定される保持位置に配置可能であるとともに、アライナ５６の保持位置から取り出したウェハ２４を、処理装置２２に配置可能である。また上下駆動体４２は、フレーム６４に固定された状態で、鉛直方向に延びる。

アライナ５６は、ウェハ２４を支持する保持部を有し、保持部に保持されたウェハ２４を回転させて、ウェハ２４に形成されるノッチまたはオリフラが予め定める方向に向くように位置合わせする。位置合わせされたウェハ２４をロボットハンド４０が把持することで、ウェハ２４の向きを整えて、処理装置２２に配置することができる。これによって処理装置２２は、ウェハ２４の向きがそろえられた状態で、予め定める処理を行うことができる。

図５は、ウェハ移載装置２３を示す側面図であり、図６は、ウェハ移載装置２３の一部を残余の部分から分離させた状態を示す側面図である。図５および図６には、ＦＯＵＰ２５が装着されていない状態を示す。本実施の形態では、ウェハ移載装置２３は、搬送系ユニット２１と、残余の部分である本体構成体５１とに分割可能に形成される。具体的には、搬送系ユニット２１は、ウェハ移載装置２３の本体構成体５１に対して、着脱可能に形成され、搬送系ユニット２１が本体構成体５１に装着されることによって、ウェハ移載装置２３として完成する。

本体構成体５１は、準備空間形成壁２８の一部を構成するとともに、ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）および表示灯などによって構成される。本体構成体５１は、搬送系ユニット２１に比べて要求される組立て精度が低い。これに対して、搬送系ユニット２１は、機械的な搬送系要素が全て組み込まれており、要求される組立精度が高い。

搬送系ユニット２１は、ウェハ移載装置２３のフレーム６４の一部となるフレーム分割体５０と、ウェハ２４の搬送に必要な搬送系要素とを備える。搬送系要素は、フレーム分割体５０に固定される。本実施の形態では、搬送系要素は、ロボット２７、オープナ２６およびアライナ５６となる。各搬送系要素は、コントローラ４４によってそれぞれ制御される。コントローラ４４は、必要に応じて機能を追加することで、ロボット２７を制御するロボットコントローラと、オープナ２６を制御するオープナ駆動用制御コントローラと、アライナ５６を制御するアライナ駆動用コントローラと、ウェハ移載装置全体を制御するＥＦＥＭ用コントローラと、ＥＦＥＭ用インターロックとの役割を兼ねるように拡張可能としてもよい。

図５および図６に示すように、搬送系ユニット２１は、ウェハ移載装置２３として完成した後であっても、本体構成体５１から分離することができる。具体的には、ウェハ移載装置２３の正面壁の一部がフレーム分割体５０となり、フレーム分割体５０が本体構成体５１に形成される正面側開口６９を塞ぐ。正面側開口６９は、ウェハ移動方向Ｘに垂直な投影面におけるロボット２７の最小外形形状よりも大きく形成される。

搬送系ユニット２１を本体構成体５１から分離させて、ウェハ移動方向Ｘにスライドさせると、ロボット２７およびオープナ２６が正面側開口６９を通過して、ロボット２７およびオープナ２６が準備空間２９から外部空間３３に移動する。これによってウェハ移載装置２３が故障した場合などに、各搬送系要素２６，２７，５６を外部空間３３に移動させた状態で、各搬送系要素２６，２７，５６の動作を確認することができる。すなわち準備空間２９に比べて十分広い外部空間３３に搬送系ユニット２１を引き出した状態で、ロボット２７とオープナ２６との動作確認を行うことができる。これによって故障箇所の発見と、故障個所の修理とを容易に行うことができる。また準備空間２９から取り出した状態で組立て、メンテナンスすることができるので、搬送系ユニット２１に含まれる各搬送系要素２６，２７，５６を密に集約配置することができ、準備空間２９を小形に構成することができる。

また各構成要素２６，２７，５６は、フレーム分割体５０から着脱可能に構成される。これによってロボット２７およびＦＯＵＰオープナ２６が損傷した場合には、損傷したモジュールのみを交換することができ、搬送系ユニット全体を交換する必要がないので利便性を向上することができる。

図７は、図３に示す矢符Ａ７−Ａ７切断面線から切断して搬送系ユニット２１を示す断面図である。本実施の形態では、フレーム分割体５０は、複数の板状部材によって囲まれる立方体箱状に形成されるフレーム本体部５０ａと、正面壁２８ａの一部を形成する正面壁形成部５０ｂとを含む。フレーム分割体５０のうちの正面壁形成部５０ｂは、オープナ２６に形成される正面壁２８ａの一部を支えるとともに、正面壁２８ａを構成する。正面壁形成部５０ｂは、フレーム本体部５０ａから上方に突出して形成され、ＦＯＵＰ側ドア６１が挿通するオープナ側開口３５を形成するオープナ側開口部６８を有する。

フレーム本体部５０ａは、立体形状に形成される。本実施の形態では、上下方向Ｚに垂直な平面で切断した断面形状が四角枠を形成する４つの側壁部分と、各側壁部分によって形成される四角枠の上端部を塞ぐ上面部分と、四角枠の下端部を塞ぐ下面部分とを含んで構成される。４つの側壁部分のうち対向する一対の側壁部分は、互いに間隔をあけて、左右方向Ｙに垂直にそれぞれ延び、他の一対の側壁部分は、互いに間隔をあけて前後方向Ｘに垂直にそれぞれ延びる。またフレーム本体部５０ａは、各側壁部分と、上面部分と、下面部分とによって規定される内部空間５７を形成する。また上面部分には、オープナ側ドア６５を内部空間５７に対して出し入れするための開口が形成される。

内部空間５７は、ウェハ移載装置２３に形成される準備空間２９のうちの固定空間７８の一部を構成する。また内部空間５７は、少なくとも、オープナ２６の下方の領域に形成される。またフレーム本体部５０ａは、搬送系ユニット２１が本体構成体５１に装着された状態で、ＦＯＵＰ支持部３１のうちでウェハ移載装置２３の外方空間３３に露出する側面３００に対して、略面一な側面を有する。このように本実施の形態では、フレーム本体部５０ａは、Ｈ型鋼を用いたボックス構造に形成される。

４つの側壁部分のうちで、前方Ｘ１側の側壁部分は、ロボット２７の基部４３が固定されるロボット固定部５３ａとなる。また上面部分は、各オープナ２６の基部６７が固定されるオープナ固定部５３ｂとなる。このようにフレーム分割体５０は、ロボット２７および各オープナ２６などの搬送系要素をそれぞれ固定する固定部５３ａ，５３ｂを有する。

ロボット２７の基部４３は、ロボット２７の上下駆動体４２が鉛直方向に延びて、上下駆動体４２とフレーム本体部５０ａとが対向した状態で、上下駆動体４２の固定部分とロボット固定部５３ａとを連結する。したがってロボット２７は、その側方部分で固定されるサイドマウント固定方式で、フレーム分割体５０に固定される。

本実施の形態では、ロボット２７の基部４３は、ロボット固定部５３ａの左右方向Ｙ中央部分に固定される。またロボット２７の基部４３は、ロボット固定部５３ａの上下方向Ｚ一端部から上下方向Ｚ他端部にわたって延びる。またロボット２７の基部４３は、フレーム本体部５０ａのうちの上面部分の前方Ｘ１側端部にも固定される。これによってロボットハンド４０を移動させたときに基部４３に与えられる反力を、フレーム本体５０ａで受けることができる。

オープナ２６の基部６７は、オープナ２６のＦＯＵＰ支持部３１の下面が、フレーム本体部５０ａの上面に対向した状態で、ＦＯＵＰ支持部３１の下面とオープナ固定部５３ｂとを連結する。したがってオープナ２７は、下方部分で固定されるボトムマウント固定方式で、フレーム分割体５０に固定される。本実施の形態では、フレーム本体部５０ａのオープナ固定部５３ｂは、オープナ２７の基部６７を介して、ＦＯＵＰ支持部３１を乗載する。オープナ固定部３５ｂは、ＦＯＵＰ支持部３１の下面全体を支持する。

本実施の形態では、ロボット２７の基部４３は、ロボット本体から与えられる力をロボット固定部５３ａへ伝える。同様にオープナ２６の基部６７は、オープナ本体から与えられる力をオープナ固定部５３ｂへ伝える。これに対して、フレーム本体部５０ａは、ロボット２７およびオープナ２６などから与えられる外力に対して充分な剛性を有する。言い換えれば、ロボット２７およびオープナ２６などから与えられる外力に対する変形が充分に小さくなるように設計される。さらに言い換えると、フレーム本体部５０ａは、ロボット２７の基部４３とオープナ２６の基部６７とをそれぞれ固定する状態では、各基部４３，６７を介してロボット２７およびオープナ２６から力が与えられる場合に、基板を移載するのに許容されるロボット許容変形量を超えてロボット基部が変形することを防ぐ剛性を有する。

したがってフレーム分割体５０は、各固定部５３ａ，５３ｂを介して、ロボット２７およびオープナ２６から力が与えられたとしても、ロボットおよびオープナを強固に支持可能な剛性を有する。フレーム本体部５０ａは、ロボットハンド４０の先端部が、ウェハ２４を移載するのに許容されるロボット許容変形量を超えてロボット２７が変形することを防ぐ剛性を有する。同様に、フレーム本体部５０ａは、オープナ２６が、ＦＯＵＰ側ドア６１を移載するのに許容されるオープナ許容変形量を超えてオープナ２６が変形することを防ぐ剛性を有する。本実施の形態では、ロボット許容変形量およびオープナ許容変形量は、約１０μｍに設定される。たとえばロボット２７およびオープナ２６から与えられる反力に対してフレーム本体部５０ａの変形量は、数ミクロン以下となる剛性に設定される。またロボット許容変形量およびオープナ許容変形量は、基板移載装置ごとに異なり、上述した値以外であってもよい。本実施の形態では、フレーム本体部５０ａは、前後方向寸法Ｗは約７５０ｍｍであり、左右方向寸法Ｂは約９８０ｍｍであり、上下方向Ｚ寸法Ｈは約５８０ｍｍである。

このようなフレーム本体部５０ａの寸法および板厚は、本実施の一例であって、これに限定されるものではない。たとえば左右方向寸法Ｂは、フレーム本体部５０ａに固定されるオープナ２６の個数によって変更可能である。またフレーム本体部５０ａの剛性を向上するために、内部空間５７に桟などの補強部材が設けられてもよい。またフレーム本体部５０ａは、複数の棒状部材によって剛性を有する枠状の骨組みが形成されて、その骨組みに板状部材が固定されて内部空間５７を形成する構成であってもよい。

また本実施の形態では、フレーム本体部５０ａの後方Ｘ２端面は、オープナ２６のＦＯＵＰ支持部３１の後方Ｘ２端面と略面一に形成される。またフレーム本体部５０ａが、ＦＯＵＰ支持部３１の下面全体を支持する。これによってウェハ移載装置２３の準備空間２９を大きくすることなく、フレーム本体部５０ａを準備空間２９に対して外方空間３３に突出させて、フレーム本体部５０ａを大形化させることができ、フレーム本体部５０ａとして必要な剛性を容易に確保することができる。またフレーム本体部５０ａの内部空間５７を大きくすることができ、内部空間５７に配置可能な機器を増やすことができる。

またフレーム本体部５０ａの下面部分には、車輪５８が設けられる。これによってフレーム分割体５０の移動を容易に行うことができる。またフレーム本体部５０ａは、自立姿勢を安定して保つための脚部が設けられる。またフレーム本体部５０ａは、本体構成体５０に着脱可能に連結される装着部が形成される。装着部は、フレーム本体部５０ａと本体構成体とに互いに形成されるねじ結合部または凹凸結合などによって実現される。これによってフレーム分割体５０が本体構成体５１に装着された状態で、不所望にフレーム分割体５０が本体構成体５１から分離することを防ぐことができる。

またフレーム本体部５０ａは、ロボット２７のうちでフレーム分割体５０に対して固定した固定部分を覆う仕切り体５２が設けられる。図１に示すように、仕切り体５２は、フレーム分割体５０が本体構成体５１に装着された状態で、ロボット２７のうちフレーム体に対して可動する可動部分が配置される可動空間と、ロボット２７のうちフレーム体に対して固定される固定部分が配置される固定空間とを仕切る。本実施の形態では、ロボットハンド４０、ロボットアーム４１および上下駆動体４２の可動部分の動作領域領域が、過動空間となる。また基部４３および上下駆動体４２の固定部分が配置される領域が固定部分となる。本実施の形態では、仕切り体５２は、フレーム本体部５０ａの上面よりも上方Ｚ２の位置をウェハ移載方向Ｘに延びて、フレーム本体部５０ａに対して上方となる可動空間と、フレーム本体部５０ａに対してウェハ移載方向に隣接する空間となる固定空間とを仕切る。可動空間は、ウェハが移動する空間となる。

図８は、図３に示す矢符Ａ８−Ａ８切断面線から切断して搬送系ユニット２１を示す断面図である。本実施の形態では、フレーム本体部５０ａは、アライナ５６が固定されるアライナ固定部５９が設けられる。アライナ固定部５９は、アライナ５６の動作時にアライナ５６から力が与えられたとしても、本体構成体５１に伝わることを防ぐことが可能な剛性を有する。

以上のように本実施の形態によれば、フレーム分割体５０は、ロボット２７を固定する状態で、ロボット２７から力が与えられたとしても、ウェハ２４を移載するのに許容されるロボット許容変形量を超えてロボットが変形することを防ぐ剛性を有する。またロボット２７のうちでフレーム分割体５０に固定するための基部４３は、低い剛性を有し、フレーム分割体５０に固定されない状態では、ロボットアームから力が与えられる場合に、前記ロボット許容変形量を超える変形を許容する剛性を有する。これによってロボット２７の基部４３がロボット本体から与えられる力をフレーム分割体５０へ力が伝わることを許容したとしても、フレーム分割体５０に固定されるロボット２７が不所望に変位することを防ぐことができる。したがってロボット２７の基部４３は、ロボット本体とロボット固定体５３ａとを連結する機能を有すれば充分であり、基部４３の剛性および質量を低減させることが可能となる。またロボット固定部５３ａの剛性を高くすることは、ロボット２７の基部４３の剛性を高くするよりも、単純な構成で容易に実現することができ、またその剛性向上効果も大きい。またロボット２７の基部４３を簡素化および軽量化することができる。ロボット２７の基部４３を簡素化および軽量化することで、準備空間２９を小形化することができるとともに、ロボット２７と他の装置との干渉を防ぐことができる。

同様に本実施の形態によれば、フレーム分割体５０は、オープナ２６を固定する状態で、オープナ２６から力が与えられたとしても、ＦＯＵＰ側ドアを開閉するのに許容されるオープナ許容変形量を超えてオープナ２６が変形することを防ぐ剛性を有する。またオープナ２６のうちでフレーム分割体５０に固定するための基部６７は、低い剛性を有し、フレーム分割体５０に固定されない状態では、オープナ本体から力が与えられる場合に、前記オープナ許容変形量を超える変形を許容する剛性を有する。これによってオープナ２６の基部６７がオープナ本体から与えられる力をフレーム分割体５０へ力が伝わることを許容したとしても、フレーム分割体５０に固定されるオープナ２６が不所望に変位することを防ぐことができる。したがってオープナ２６の基部６７は、オープナ本体とオープナ固定体５３ｂとを連結する機能を有すれば充分であり、基部６７の剛性および質量を低減させることが可能となる。またオープナ固定部５３ｂの剛性を高くすることは、オープナ２６の基部６７の剛性を高くするよりも、単純な構成で容易に実現することができ、またその剛性向上効果も大きい。

このように本実施の形態では、ロボット２７を含む搬送系要素２６，２７，５６をそれぞれ固定するフレーム本体部５０ａについて、充分な剛性を与えて、個々の搬送系要素２６，２７，５６に必要とされていた機械剛性をフレーム本体部５０ａに集約させる。言い換えると、ロボット２７およびオープナ２６の剛性を、フレーム分割体５０ａに肩代わりさせる。このようにフレーム本体部５０ａを充分に支持可能に個々の搬送系要素２６，２７，５６を剛に固定することによって、搬送系ユニット２１の品質および信頼性を維持しつつ、個々の搬送系要素２６，２７，５６の剛性を低減させることが可能となる。このように本実施の形態では、搬送系ユニット２１の品質を維持しつつ、個々の搬送系要素２６，２７，５６の構成を低剛性化することによって、搬送系ユニット２１を安価に構成することができ、製造コストを低減することができる。また個々の搬送系要素２６，２７，５６は、独立してフレーム本体部５０ａから取外すことができるので、個々の搬送系要素２６，２７，５６を独立してフレーム本体部５０ａから交換可能となる。これによってメンテナンス性および組立容易性を向上することができる。

たとえばロボット２７は、予め定められる周波数範囲において、予め定められる設定振幅量の振動が伝わると、ウェハ２４の搬送に不具合が生じる。本実施の形態では、ロボットハンド４１がウェハ２４を水平方向に搬送した場合に発生する反力がロボット固定部５３ａに与えられても、フレーム本体部５０ａは、ロボット２７の振動が、上述した周波数範囲で設定振幅量の振動が伝わらないように、その剛性および質量が選択される。このように各固定部５３ａ，５３ｂは、ロボット２７およびオープナ２６から力が与えられても、ウェハ処理装置２２に設定される許容値未満の振動量に抑えるような、剛性に選択されることで、ウェハ処理装置２２の処理に不具合が生じることを防ぐことができる。

またロボット固定部５３ａは、本実施例ではサイドマウント方式によってロボット２７を固定する。これによってロボット２７を安定して固定することができるとともに、水平方向にロボットハンド４０を動作させた場合に、モーメント力としてロボット固定部５３ａに力が伝わることを抑えることができる。これによってより確実に力がウェハ処理装置２２に伝わることを防ぐことができる。

また本実施の形態では、オープナ２６の下方にフレーム本体５０ａを配置することで、フレーム本体部５０ａを大形化することができ、フレーム本体部５０ａの剛性の向上を容易に実現することができる。具体的には、ウェハ移載方向Ｘのフレーム本体部５０ａの寸法を大きくすることができ、ウェハ移載方向Ｘに関する断面２次モーメントを大きくすることができ、ウェハ移載方向Ｘにかかる力に対する変形量を抑えることができる。たとえばフレーム本体部５０ａが直方形状であるとすると、ウェハ移載方向Ｘの寸法Ｂを２倍にすると、ウェハ移載方向Ｘに関する変形量を１／８（＝１／Ｂ^３）とすることができる。またフレーム本体部５０ａを大形化することができ、フレーム本体部５０ａの内部空間５７を大きくすることができ、内部空間５７に収容可能な部品を増やすことができる。

また図１に示すように、仕切り体５２は、フレーム分割体５０が本体構成体５１に装着された場合に、ロボット２７のうちフレーム分割体５０に対して可動する可動部分が配置される可動空間７９と、ロボット２７のうちフレーム分割体５０に対して固定される固定部分が配置される固定空間７８とを仕切る。仕切り体５２は、開口が形成され、その開口からロボット２７の可動部分が突出する。固定空間７８に充満する気体が、可動空間７７に侵入することを防ぐために、固定空間７８と、可動空間７９とは、互いに密閉されることが好ましい。また準備空間７８に配置されるＦＦＵ等によって、ダウンフローを発生させたり、可動空間７９よりも固定空間７８のほうが、圧力が低く調整させたりしてもよい。これによっても固定空間７８から可動空間７９に気体が侵入することをより確実に防ぐことができる。

このようにクリーン環境またはその他の環境対応が必要なウェハ移載装置２３において、仕切り体５２を設けて可動空間７９と固定空間７８とを仕切ることによって、固定空間７８から可動空間７９に、塵埃粒子が移動することが防がれ、可動空間７９をクリーンな状態に保つことができる。また固定空間７８に配置されるロボットの基部４３などには、塵埃が発生することを防止するような表面処理およびカバーを不必要とすることができ、製造コストを抑えることができる。この場合、ロボット２７は、可動空間７９に露出する可動空間露出部分のほうが、固定空間７８に露出する固定空間露出部分よりも、低発塵処理が施される。言い換えると、ロボット２７は、固定空間７８に露出する固定空間露出部分のほうが、可動空間７９に露出する可動空間露出部分よりも、低発塵処理が施され度合いが低い。

たとえば、ロボット２７の胴部およびアライナ２６の大部分が、固定空間７８に配置されるので、ロボット２７およびアライナ２６の表面のクリーン仕上げや塵埃の飛散を防ぐカバーなどが不要となることで、加工時の仕上げ面からさらに塵埃防止加工を施す必要がなくなり、製造コストをさらに低減することができる。またロボット２７およびオープナ２６のうちで、固定空間７８に配置される部分で発生する発塵粒子が、ウェハに影響を与えることが少ないので、固定空間７８に配置される部分の配置上の自由度を向上することができ、固定空間７９に配置される各構成部品を密集して配置する必要がない。

また仕切り板によって可動空間７９と固定空間７８とを仕切ることで、作業者が固定空間７８で作業を行った場合についても、作業時に発生した塵埃粒子が可動空間７９に移動することを防ぐことができるので、仕切り板５２が存在しない場合に比べて、作業後に短時間に、ウェハ移載可能なクリーン度に可動空間２９を清浄化することができる。上述したように、固定空間７８に配置される各構成部品については、発生する発塵粒子がウェハに影響を与えることが少ないので、メンテナンスが容易な位置および構造することができ、さらにメンテナンスを容易にすることができる。

また上述したように、固定空間７８と、フレーム本体部５０ａの内部空間とを合わせて大きな空間を形成することができる。さらに上述したようにフレーム本体部５０ａの上面部にオープナを配置し、オープナの側面３００と略面一となるようにフレーム本体部５０ａを形成することで、さらに大きな空間を形成することができ、発生する発塵粒子がウェハに影響を与えることが少ない空間に、配置可能な部品を増やすことができる。

またフレーム分割体５０は、本体構成体５１に装着された場合に、フレーム分割体５０に固定されるロボット２７、オープナ２６およびアライナ５６などの搬送系要素がウェハ移載装置２３の一部として位置すべき配置位置および姿勢にそれぞれ配置されるよう形成される。すなわちウェハ移載装置２３として実際に動作するときに、各搬送系要素２６，２７，５６の相対位置関係が予め設定される場合、フレーム分割体５０は、各搬送系要素２６，２７，５６が前記予め設定されている相対位置関係となるように、各搬送系要素２６，２７，５６をそれぞれ固定する。

またウェハ移載装置２３として実際に動作するときに、ロボット２７および各オープナ２６に設定される基準点の位置および基準面の姿勢が予め設定される場合、フレーム分割体５０は、ウェハ移載装置２３の本体構成体５１に装着された状態で、それら基準点の位置および基準面の姿勢が予め設定される状態となるように、各搬送系要素２６，２７，５６をフレーム分割体５０に固定する。フレーム分割体５０に各搬送系要素２６，２７，５６がそれぞれ固定されることで、各搬送系要素２６，２７，５６の位置および姿勢が調整された状態となる。これによって、搬送系ユニット２１が本体構成体５１に装着されたあとで、ロボット２７、各オープナ２６およびアライナ５６の相対位置の調整や、ロボットの移動位置の再教示をする手間を少なくすることができる。

また各搬送系要素２６，２７，５６のウェハ移載装置２３に対する取付けについては、高い取付け精度が要求される。本実施の形態では、搬送系ユニット２１ととして組立てるときに、それら各搬送系要素２６，２７，５６の位置、姿勢および相対位置関係を調整することができる。したがって本体構成体５１に搬送系ユニット２１を装着したあとでは、各搬送系要素２６，２７，５６の位置および姿勢を調整する手間を少なくすることができ、ウェハ移載装置２３の組立てを短時間で行うことができる。また十分に広い空間で各搬送系要素２６，２７，５６の取付けを行うことができ、ウェハ移載装置２３の準備空間２９内で各搬送系要素２６，２７，５６を据え付けるよりも、容易に位置調整作業を行うことができる。

またフレーム分割体５０は、各搬送系要素２６，２７，５６がフレーム本体部５０ａにそれぞれ固定された場合に、各搬送系要素２６，２７，５６は、ウェハ移載装置２３として動作するときと同じ動作が可能に形成される。すなわちフレーム分割体５０は、オープナ側開口３５が形成される領域、オープナ２６がＦＯＵＰ側ドア６１およびオープナ側ドア６５を移動させるのに必要な可動領域、ロボット２７のウェハ搬送に必要な動作領域を除いた領域に形成される。これによって各搬送系要素２６，２７，５６は、本体構成体５１に装着される前に、互いに協働して動作することができる。

したがってフレーム分割体５０にロボット２７、各オープナ２６およびアライナ５６を固定した状態で、ロボット２７、各オープナ２６およびアライナ５６の動作確認をそれぞれ個別に行うことができる。さらにロボット２７とオープナ２６とアライナ５６の協働動作についての動作確認も行うことができる。

具体的には、オープナ２６のＦＯＵＰ保持部３１に保持されるＦＯＵＰ２５に収容されるウェハ２４を、ロボットハンド４０に保持させる動作と、ロボットハンド４０が保持したウェハ２４を、オープナ２６のＦＯＵＰ保持部３１に収用する動作とを確認することができる。またロボットハンド４０に保持させたウェハ２４を、アライナ５６に配置する動作と、アライナ５６に配置されるウェハ２４を、ロボットハンド４０に保持させる動作とを確認することができる。

したがって搬送系ユニット２１が本体構成体５１に装着されたあとで、ロボット２７および各オープナ２６の動作確認の手間を少なくすることができる。またウェハ移載装置２３を組立てたあとで、ウェハ移載装置２３を可動可能な状態とするまでに費やす準備時間を短縮させることができる。また本体構成体５１の準備空間２９内にロボット２７およびオープナ２６を据え付けるよりも、十分に広い空間でロボット２７およびオープナ２６の動作確認を行うことができ、動作確認作業を容易に行うことができる。

また搬送系ユニット２１が自立姿勢を保つことによって、搬送系ユニット２１を出荷するにあたって、別途出荷用架台に乗せる必要がない。したがってウェハ移載装置２３の設置場所とは異なる場所で組立て、位置調整および動作確認を行ったとしても、架台に載せることなく、搬送系ユニット２１をウェハ移載装置２３の設置場所に出荷することができる。

また搬送系ユニット２１が自立姿勢を保った状態で、ロボット２７およびオープナ２６の姿勢が、ウェハ移載装置２３として実際に動作するときの姿勢と同じに保たれる。具体的には、ウェハ移載装置として組立てられたときに、水平に保たれる基準水平面がロボット２７およびオープナ２６に設定される場合、搬送系ユニット２１が自立姿勢を保った状態で、ロボット２７およびオープナ２６に設定される基準水平面が水平に保たれる。

これによってウェハ移載装置２３として組立てるまでに、搬送系ユニット２１の動作テストを行う場合に、ウェハ移載装置２３と同じ姿勢にロボット２７およびオープナ２６の姿勢を保つことができ、別途テスト用架台に乗せる必要がない。また上述したロボット２７およびオープナ２６の動作テスト時にロボット２７に教示した教示位置、すなわちロボット２７の基準位置に対するＦＯＵＰ２５の位置などを、ウェハ移載装置３４の実際の動作における移動位置として登録することができ、ウェハ移載装置２３を組立てた後に行うロボット移動位置の教示動作の手間を少なくすることができる。

図９は、フレーム分割体５０の装着部を拡大して示す図であり、図１０は、フレーム分割体５０の装着部を拡大して示す断面図である。図９（１）および図１０（１）は、搬送系ユニット２１が本体構成体５１から分離した状態を示し、図９（２）および図１０（２）は、搬送系ユニット２１が本体構成体５１の装着位置に装着された状態を示す。

本実施の形態では、フレーム分割体５０は、本体構成体５１に形成される装着位置に装着される装着部２５４と、装着部２５４を本体構成体５１の装着位置に案内する案内部２５６とを有する。本体構成体５１には、被装着部２５８が形成され、被装着部２５８に装着部２５４が嵌合する。本実施の形態では、装着部２５４は、脚部２５５の先端部からウェハ移動方向Ｘに突出する第１装着部２５４ａと、オープナ固定部２５３からウェハ移動方向Ｘに突出する第２装着部２５４ｂとを有する。本体構成体５１には、第１装着部２５４ａおよび第２装着部２５４ｂが嵌合する各被装着部２５８ａ，２５８ｂが形成される。被装着部２５８ａ，２５８ｂには、各装着部２５４ａ，２５４ｂが嵌合する嵌合孔２５７ａ，２５７ｂがそれぞれ形成される。各被装着部２５８に装着部２５４がそれぞれ嵌合することによって、本体構成体５１に対する搬送系ユニット２１の位置および姿勢が調整される。本実施の形態では、搬送系ユニット２１のうちウェハ搬送方向Ｘ一方の端部に、第１装着部２５４ａが設けられる。また搬送系ユニット２１のうちウェハ搬送方向Ｘ他方の端部に第２装着部２５４ｂが設けられる。第１装着部２５４ａおよび第２装着部２５４ｂが幅方向Ｙ両側にそれぞれ一対設けられることによって、搬送系ユニット２１の下方の四角で位置合わせすることができ、搬送系ユニット２１を本体構成体５１に安定して装着することができる。

装着部２５４および嵌合孔２５７とはその軸線に垂直な断面形状がほぼ等しく形成される。本実施の形態では、装着部２５４は、円柱状に形成され、被装着部２５８に装着される嵌合孔２５７の内径とほぼ等しく形成される。各装着部２５４の先端には、装着部２５４と同軸に形成され、略円錐台状に形成される案内部２５６が形成される。案内部２５６は装着部２５４に連なる箇所の直径が装着部２５４の直径と等しく形成され、装着部２５４から離反するにつれて先細に形成される。案内部２５６から嵌合孔２５７に嵌合されることで、嵌合孔２５７と案内部２５６とが少々ずれた場合でも装着部２５４を嵌合孔２５７に挿入することができる。このように案内部２５６が形成されることによって、案内部２５６によって案内することができ、装着部２５４を装着位置に容易に移動させることができる。

また図１０に示すように、搬送系ユニット２１の２つの脚部２５５には、それぞれ車輪２６４が設けられる。これによって搬送系ユニット２１の搬送を容易に行うことができる。たとえばメンテナンス時に、本体構成体５１に対して、搬送系ユニット２１をスライドさせて分離させることが可能である。

また図１０（１）に示すように、搬送系ユニット２１が本体構成体５１から分離した自然状態で、嵌合孔２５７の軸線Ｌ２よりも、装着部２５４の軸線Ｌ３は予め定める距離ｄぶん下方に配置される。したがって図１０（２）に示すように、搬送系ユニット２１が本体構成体５１に装着された状態で、嵌合孔２５７の軸線Ｌ２と装着部２５４の軸線Ｌ３とが一致すると、自然状態に比べて予め定める距離ｄぶん浮いた状態となる。これによって車輪２６４の影響をなくして搬送系ユニット２１を位置合わせすることができる。また本実施の形態では、フレーム分割体５０および本体構成体５１とには、作業者による搬送系ユニット２１の装着作業を支援する装着支援部材２６０が設けられる。

図１１は、装着支援部材２６０を示す正面図である。図１１（１）は、搬送系ユニット２１が本体構成体５１から分離した状態を示す。また図１１（２）は、搬送系ユニット２１が本体構成体５１に装着された状態を示す。装着支援部材２６０は、フレーム分割体５０に対して角変位軸線Ｌ１まわりに角変位可能に設けられるレバー部２６１と、レバー部２６１に固定されてレバー部２６１ともに角変位軸線Ｌ１まわりに角変位する角変位部２６２と、本体構成体５１に設けられるピン部２５９とを含んで構成される。角変位部２６２は、角変位軸線Ｌ１まわりに角変位するとともに角変位軸線Ｌ１からの距離が小さく変化する係止部分２６４が形成される。係止部分２６４は、角変位軸線Ｌ１に臨み、角変位軸線Ｌ１まわりに進むことによって、角変位軸線Ｌ１からの距離が滑らかに変化する係止案内面２６３を有する。

図１１（１）に示すように、案内部２５６ｂを嵌合孔２５７に挿入することによって、係止部分２６４の内側にピン部２５９が配置される。この状態で図１１（２）に示すように、レバー部２６１を角変位することによって、係止部分２６４の係止案内面２６３にピン部２５９が摺動し、角変位部２６２がピン部５９に力を与える。角変位部２６２は、ピン部２５９から反力を受けることによって、本体構成体５１に向かう力が与えられ、搬送系ユニット２１が変位して装着部２５４が嵌合孔２５７に嵌合する。

レバー部２６１によって角変位部２６１を角変位させることによって、てこの原理を利用することができ、小さい力で搬送系ユニット２１を本体構成体５１に装着させることができる。これによって本実施の形態のように、搬送系ユニット２１を本体構成体５１に装着するには、搬送系ユニット２１を浮かさないといけない場合であっても、作業者によって搬送系ユニット２１を容易に浮かすことができ、搬送系ユニット２１と本体構成体５１とを容易に装着させることができる。

またピン部２５９が係止案内面２６３に当接することによって、装着支援部材２６０は、本体構成体５１に対する搬送系ユニット２１の変位を機械的に阻止する変位阻止手段となる。これによって搬送系ユニット２１が本体構成体５１から不所望にずれることを防ぐことができる。なお、このような装着部２５４、案内部２５６、装着支援部材２６０および車輪２６４は、本実施の形態の構成であり、適宜変更が可能である。たとえば装着部２５４に凹所が形成され、被装着部２５８に凸部が形成されてもよい。また脚部２５５には、本体構成体５１に形成されるレールに嵌り込む嵌合部が形成されてもよい。これによって本体構成体５１に対して、位置合わせされた状態でスライド変位することができる。またボルトとナットによって搬送系ユニット２１と本体構成体５１とを着脱可能に固定してもよい。

図１２は、本発明の実施の一形態である搬送系ユニット２１の製造から出荷までの作業手順を示すフローチャートである。搬送系ユニット２１は、ウェハ移載装置２３の設置場所と異なる場所で製造可能である。本実施の形態では、搬送系ユニット２１は、ロボット製造業者によって組立てられる。まずロボット製造業者は、フレーム分割体５０およびロボット２７などを構成する複数の構成部品の用意が完了すると、ステップｃ１に進み、作業を開始する。ステップｃ１では、フレーム分割体５０にロボット２７の基部４３を固定し、フレーム分割体５０とロボット２７とを一体に組立て、組立てが完了するとステップｃ２に進む。ステップｃ２では、ロボット２７が固定されたフレーム分割体５０にオープナ２６およびアライナ５６を固定する。このように搬送系ユニット２１を組立てると、ステップｃ３に進む。

ステップｃ３では、フレーム分割体５０に対するロボット２７とオープナ２６とアライナ５６との位置、姿勢を調整するとともに、ロボット２７とオープナ２６とアライナ５６との相対位置関係を調整する。具体的には、水準器、位置合わせのための治具などを用いて、ロボット２７、オープナ２６およびアライナ５６の相対位置関係および姿勢が、ウェハ移載装置２３として可動する場合と同じ状態となるように、ロボット２７、オープナ２６およびアライナ５６の位置を調整する。このように調整が完了すると、ステップｃ４に進む。

ステップｃ４では、ロボット２７、オープナ２６およびアライナ５６が動作可能となるように、各配線を接続する。具体的には、ロボット２７、オープナ２６およびアライナ５６に対して、動作指令ケーブルをコントローラ４２に接続し、動力伝達ケーブルを電源装置に接続する。そしてステップｃ５に進む。ステップｃ５では、ウェハ移載装置２３として動作するロボット２７の動作を模擬した模擬動作をロボット２７に行わせる。したがってロボット２７の動作検査と搬送系ユニット２１の動作確認作業を兼用して行う。具体的には、実際にオープナ２６のＦＯＵＰ保持部３１にＦＯＵＰ２５を配置して、ロボット２７にＦＯＵＰ位置を教示する。そしてＦＯＵＰ２５に収容されるウェハ２４をロボット２７によって搬送させる動作を行わせ、ステップｃ６に進む。ステップｃ５の動作検査として、ロボット２７の速度、精度、および機能など、他の検査が同時に行われてもよい。ステップｃ６では、ロボット２７によってウェハ２４の搬送動作が可能かどうかを確認し、搬送動作を可能であることが確認されると搬送系ユニット２１をウェハ移載装置２３の設置場所に出荷し、ロボット作業業者は組立てから出荷までの手順を終了する。

仮に、搬送ユニット２１の製造工程において、実際にウェハ移載装置２３に用いられるオープナ２６が供給されない場合がある。この場合には、実際にウェハ移載装置２３として用いられるオープナ２６に相当するダミーオープナがフレーム分割体５０に装着された状態で、ステップｃ５およびステップｃ６における作業を行う。この場合、ウェハ移載装置２３として用いられるオープナ２６をフレーム分割体５０に固定する場合に比べて作業効率は低下するものの、従来技術に比べて全体としての作業効率を向上することができる。

図１３は、本発明の第１実施形態であるウェハ移載装置２３の組立て手順を示すフローチャートである。ウェハ移載装置２３は、大形であるので、ウェハ移載装置２３の設置場所で組立てられる。まずウェハ移載装置２３の組立て業者は、ウェハ移載装置２３の本体構成体５１を構成する複数の構成部品の用意が完了すると、ステップｄ１に進み、作業を開始する。ステップｄ１では、本体構成体５１を組立て、組立てが完了すると、ステップｄ２に進む。ウェハ移載装置２３の本体構成体５１は、ウェハ処理装置２２と一体に組立ててもよい。そして本体構成体５１の組立てが完了するとステップｄ２に進む。

ステップｄ２では、ロボット製造業者などで予め組立てられた搬送系ユニット２１を、本体構成体５１に装着する。そしてロボット製造業者で行われた動作が正常に行われるか否かを確認し、ウェハ移載装置２３の組立てを完了する。半導体処理設備２０として動作させる場合には、ウェハ移載装置２３およびウェハ処理装置２２の組立てが完了した段階で、ロボット２７にウェハ処理装置２２のウェハ配置位置を教示する必要があり、ロボット２７によって保持されるウェハ２４がウェハ配置位置に配置可能となるように、またウェハ配置位置に配置されるウェハ２４をロボット２７によって保持可能となるように、動作を確認する必要がある。

以上のように本実施の形態によれば、ステップｃ３でフレーム分割体５０に対して、ロボット２７およびオープナ２６の位置および姿勢を調整する。またステップｃ５でオープナ２６に保持されるＦＯＵＰ２５へのアクセスに関するロボットの動作検査を行うことができる。このようにして、ロボット２７およびオープナ２６の位置調整と動作検査とを、ウェハ移載装置２３の組立て前に完了させることができる。これによってステップｄ２において、搬送系ユニット２１を本体構成体５１に装着したあとにおける、ロボット２７およびオープナ２６の位置調整および動作検査の手間を少なくすることができる。このように位置調整および動作検査が行われた搬送系ユニット２１を準備することで、ウェハ移載装置２３の設置場所での組立て作業を簡略化することができ、ウェハ移載装置２３を短時間で組立てることができる。

またウェハ移載装置２３のうちで、ウェハ２４を搬送するための装置であるロボット２７とＦＯＵＰオープナ２６とは、高い組立て精度が要求されるとともに、厳しい動作検査が行われる。本実施の形態では、ウェハ移載装置２３の組立て前にウェハ搬送系部分について必要とする組立て精度、動作品質を得ることができるので、熟練者および専用の治具を、ウェハ移載装置２３の設置場所毎にそれぞれ用意する必要がない。また本実施の形態では、配線接続を行った状態で、ロボットコントローラごと搬送系ユニット２１として、ウェハ移載装置２３の設置場所に出荷するので、配線作業も簡略化することができる。

またステップｃ５の動作検査工程で、オープナ２６に保持されるＦＯＵＰ２５の位置などをロボット２７に教示して、その教示位置にロボット２７を移動させて、ロボット２７によるウェハ搬送に関する模擬動作を行わせて検査を行う。そしてステップｃ５の動作検査で用いていたロボットの教示位置を、ウェハ移載装置２３として動作するときのロボット２７の位置として決定することができる。これによってウェハ移載装置２３を組立てたあとで、ロボット２７の教示動作作業を簡略化することができ、ウェハ移載装置２３を組立ててから短時間でウェハ移載装置２３を可動可能な状態とすることができる。

また本実施形態では、ステップｃ１〜ｃ５に示すように、搬送系ユニット２１の形成作業と動作検査作業とを、ロボット製造場所で行う。これによってロボット製造場所において搬送系ユニット２１の品質を確保することができる。したがって従来、ロボット製造場所でロボット２７の品質を確保するために行っていた模擬動作による検査と、ウェハ移載装置２３の設置場所で行われていた動作検査とを１つに兼ねることができ、全体的な作業時間を短縮することができ、作業性を向上することができる。またウェハ移載装置２３の設置場所では、要求される組立て精度が低い本体構成体５１を組立てたあとで、本体構成体５１に精度が保証されている搬送系ユニット２１を装着することで、非常に容易にウェハ移載装置２３を組立てることができる。

また本実施の形態では、搬送系ユニット２１が自立安定姿勢を保持するとともに、本体構成体に装着される時と同じ姿勢を保つ。これによってロボット製造業者は、搬送系ユニット２１を安定姿勢に保つ出荷用架台、ロボットの動作テストを行うためのテスト架台、ロボットを組立てる時に用いる組立て架台を、１つの分割フレームで兼用することができる。したがってロボット２７を複数の架台に順番に載せかえる必要がないので、それらの架台が不要となり、コストダウンを図ることができる。また上述したように、また架台に乗せかえるのに費やす時間を省くことができるとともに、載せ換え時に発生するトラブルを防ぐことができる。

またロボット製造場所で、搬送系ユニット２１の形成作業と動作検査作業とを行うことで、ロボット２７に関して熟練した作業者が、フレーム分割体５０に対するロボット２７の固定、位置合わせ、ロボット２７の動作位置の教示動作および動作検査を行うことができる。したがってそれらの各作業が不完全となることを防ぐことができる。また各作業で発生した不具合に対しても早期に解決することができる。

またウェハ移載装置２３は、半導体製造設備２０のうちで共通化されやすい部分である。したがって異なる処理を行う複数の半導体処理設備２０であっても、共通のウェハ移載装置２３が設けられることが多い。このような場合、搬送系ユニット２１を予め形成しておくことによるメリットが大きい。たとえばロボット製造場所で、位置調整および動作確認が行われた複数の搬送系ユニット２１を製造しておき、搬送系ユニット２１の出荷要求があるまで製造した搬送系ユニット２１を保管しておいてもよい。これによって出荷要求が与えられてから搬送系ユニット２１を組立てるのに比べて、短期間で搬送系ユニット２１を出荷することができる。

このようにウェハ移載装置２３のうちで、ウェハを搬送するための搬送系要素を剛なフレームに固定し、調整、配管、配線および教示、搬送テストを実施し、完成状態のまま分解せずに搬送することによって、ウェハ移載装置２３の設置場所において、搬送系ユニット２１の組立調整、教示作業を少なくすることができ、コストダウンとともに製造品質を向上することができる。

また他の実施の形態として、ウェハ移載装置２３は、搬送系要素として、オープナ２６、ロボット２７およびアライナ５６を有するとしたが、アライナ５６を有しなくてもよい。また他の搬送系要素として、ウェハ２４の板厚を測定する板厚測定装置、作業効率化を図るためのバッファ位置を有してもよい。

このように搬送系ユニット２１には、ウェハ２４の搬送に必要な構成機器のうちの少なくとも２つがフレーム分割体５０に固定されていればよい。たとえばロボット２７とアライナ５６とがフレーム分割体５０に固定される場合であってもよい。また本実施の形態では、１つのロボットコントローラ４４によって、ロボット２７、オープナ２６およびアライナ５６が統括制御されることによって、各構成機器ごとにコントローラが設けられる場合に比べて、コントローラ４４の数を減らすことができ、さらに製造コストを低減することができる。また搬送系ユニット２１を組立てた状態で、一連の基板搬送動作をテストすることができ、利便性を向上することができる。コントローラ４４もまた、フレーム分割体５０に固定されることが好ましい。

上述した本実施の形態は、本発明の例示に過ぎず発明の範囲内で構成を変更することができる。たとえば本実施の形態として、ウェハ移載装置２３のフレームの一部が分割体となるとしたが、フレーム以外の部分によって分割体が形成されてもよい。具体的には、分割体として、ロボット２７およびオープナ２６などの搬送系要素が固定可能であって、本体構成体５１から着脱可能に構成されればよい。またフレーム分割体の形状については、主にロボット２７から与えられる外力に対して十分な剛性を有していればよく、その形状については任意の形状であってよい。

また図１２および図１３に示す手順は、本実施形態の一例であって、他の手順で行ってもよい。たとえばステップｃ３における位置調整作業が行われるまでに、搬送系ユニット２１が組立てられていればよく、フレーム分割体５０にオープナ２６が固定されたあとに、ロボット２７が固定されてもよい。またロボット製造現場で、搬送系ユニット２１が組立てられるとしたが、ウェハ移載装置２３の設置場所近傍で搬送系ユニット２１が組立てられてもよい。この場合であっても、本体構成体５１と搬送系ユニット２１とを並列して組立てることができ、上述した効果を得ることができる。また本実施の形態のフレーム分割体５０を用いることによって、上述する手順を行わなくともメンテナンスを容易に行うことができるという特有の効果を達成することができる。

また本実施の形態では、ロボット製造場所で、フレーム分割体５０に固定されたオープナ２６、実際にウェハ移載装置２３の一部として用いられるとしたが、オープナ２６の取付精度が許容範囲内であれば、ロボット製造場所で取付けられて動作検査が行われたオープナ２６とは異なるオープナ２６が、ウェハ移載装置２３の設置現場で、フレーム分割体５０に取付けられてもよい。

図１４は、一部を切断して示すオープナ２６を示す側面図であり、図１５は、オープナ２６を示す正面図である。また図１６は、オープナ側ドア駆動機構６６を模式的に示す斜視図である。また図１７は、図１５の矢符Ａ１７−Ａ１７から見たオープナ２６を示す図であり、図１８は、図１５の矢符Ａ１８−Ａ１８から見たオープナ２６を示す図である。また図１９は、図１４の矢符Ａ１９から見たオープナ２６を示す図である。

図１４に示すように、正面壁２８ａは、板状に形成され、ウェハ２４が前後方向Ｘに通過可能なオープナ側開口３５が形成される。正面壁２８ａのうち厚み方向一方側の空間が準備空間２９となり、厚み方向他方側の空間が外方空間３３となる。オープナ側ドア６５は、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８を閉鎖可能に構成される。オープナ側開口部６８は、ウェハ移載位置に位置決め支持されるＦＯＵＰ２５のＦＯＵＰ側開口部６２に周方向にわたって接触する。これによってウェハ移載位置にＦＯＵＰ２５が位置決めされた状態で、正面壁２８ａとＦＯＵＰ側開口部６２との間から、ＦＯＵＰ内空間３４および準備空間２９に外気が侵入することを防ぐ。

またオープナ側開口３５は、前後方向Ｘに垂直な方向の断面形状が、ＦＯＵＰ側ドア６１とほぼ同じ形状で、ＦＯＵＰ側ドア６１よりも大きく形成される。これによってＦＯＵＰ本体６０から取外されたＦＯＵＰ側ドア６１は、オープナ側開口部６８と干渉することが防がれて、オープナ側開口３５を前後方向Ｘに通過可能となる。

オープナ側ドア６５は、ＦＯＵＰ本体６０に対してＦＯＵＰ側ドア６１を取付けおよび取外し可能に構成されるとともに、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を把持可能に構成される。またオープナ側ドア６５は、略板状に形成されて、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８を周方向にわたって当接することで、オープナ側開口３５を塞ぐ。またオープナ側ドア６５は、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８から離反することによって、オープナ側開口３５を開放する。

オープナ側ドア駆動機構６６は、オープナ側ドア６５を前後方向Ｘおよび前後方向Ｘに垂直な方向となる上下方向Ｚに変位駆動する。オープナ側ドア駆動機構６６がオープナ側ドア６５を変位駆動することによって、オープナ側ドア６５とともに、オープナ側ドア６５が把持するＦＯＵＰ側ドア６１を変位駆動することができる。これによってＦＯＵＰ側ドア６１をＦＯＵＰ本体６０から近接離反させることができ、ウェハ移載位置に位置決めされるＦＯＵＰ２５を開閉させることができる。各オープナ２６の基部６７は、フレーム６４に固定される。オープナ２６のうちで、基部６７以外をオープナ本体とすると、オープナ本体は、基部６７を介してフレーム６４に固定される。このようにオープナ側ドア駆動機構６６は、ＦＯＵＰ２５を開閉するための機構である。

オープナ２６は、オープナ側開口部６８がＦＯＵＰ２５を載置して位置決めするテーブル部分６９と、テーブル部分６９を前後方向Ｘに移動させてテーブル部分６９に載置されるＦＯＵＰ２５をウェハ移載位置に位置決め移動させるＦＯＵＰ駆動手段７０とをさらに含む。ＦＯＵＰ駆動手段７０は、ＦＯＵＰ７０を前後方向Ｘに変位駆動するための基板容器駆動手段となる。ＦＯＵＰ駆動手段７０が、ＦＯＵＰ２５を乗載したテーブル部分６９を移動させることで、ＦＯＵＰ２５を正面壁２８ａに密着させたウェハ移載位置に位置決めした状態と、正面壁２８ａから離反させたＦＯＵＰ着脱位置に位置決めした状態とに切換え可能となる。

またオープナ側ドア６５は、ＦＯＵＰ側ドア６１をＦＯＵＰ本体６０に対して着脱可能に装着するラッチ機構を動作させたり、解除したりするための着脱機構を有する。着脱機構は、たとえば着脱用ラッチキーによって実現される。またオープナ側ドア６５は、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を把持するための把持機構を有する。把持機構は、たとえば吸着パッドまたはＦＯＵＰ側ドア６１に嵌合する嵌合部によって実現される。

ＦＯＵＰ支持部３１は、正面壁２８ａに対して外方空間３３側に配置され、正面壁２８ａに隣接して形成される。ＦＯＵＰ支持部３１は、水平延びるテーブル部分６９を有し、テーブル部分６９にＦＯＵＰ２５を乗載することでＦＯＵＰ２５を支持する。ＦＯＵＰ支持部３１は、内部空間が形成され、内部空間にテーブル部分６９を変位駆動するＦＯＵＰ駆動手段７０が配置される。ＦＯＵＰ支持部３１は、ＦＯＵＰ駆動手段７０によって、テーブル部分６９を前後方向Ｘに移動させることで、テーブル部分６９に乗載されるＦＯＵＰ２５をウェハ移載位置およびＦＯＵＰ着脱位置に位置合わせすることができる。ここで、前後方向Ｘとは、正面壁２８ａの厚み方向であって、ウェハ２４を搬入および搬出する方向となり、水平または略水平な方向となる。

ウェハ移載位置に位置合わせされるＦＯＵＰ２５は、ＦＯＵＰ２５に形成されるＦＯＵＰ側開口部６２が正面壁２８ａに密着して、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８に臨む位置に配置される。またＦＯＵＰ着脱位置に位置合わせされるＦＯＵＰ２５は、正面壁２８ａから後方方Ｘ２に離反して、ウェハ移載装置２３から着脱可能となる。

オープナ側ドア駆動機構６６は、オープナ側開口部６８を開放させる場合、オープナ側開口部６８を塞いだオープナ側ドア６５を、オープナ側開口３５から前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに離反した開放位置に移動させる。またＦＯＵＰ２５が正面壁２８ａのウェハ移載位置に位置決めされた状態で、ＦＯＵＰ側ドア６１を把持したオープナ側ドア６５を開放位置に移動させることで、外方空間３３に対して密閉された状態に保って、ＦＯＵＰ内空間３４と準備空間２９とを連通させることができる。

またオープナ側ドア駆動機構６６は、オープナ側開口部６８を閉塞させる場合、開放位置に配置されるオープナ側ドア６５を、オープナ側開口部６８に対して前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに近接させて、オープナ側開口部６８を塞ぐ閉鎖位置に移動させる。ＦＯＵＰ２５が正面壁２８ａのウェハ移載位置に位置決めされた状態で、ＦＯＵＰ側ドア６１を把持したオープナ側ドア６５を閉鎖位置に移動させることで、外方空間３３に対して密閉された状態に保って、ＦＯＵＰ内空間３４と準備空間２９との連通を解除させることができる。

ＦＯＵＰ内空間３４と準備空間２９との連通を解除すると、ＦＯＵＰ２５をＦＯＵＰ支持部３１から分離可能となる。このようにして半導体処理設備２０にウェハ２４を搬入するときと、半導体処理設備２０からウェハ２４を搬出するときに、ウェハ２４が外気に触れることを防ぐことができる。したがって処理されるウェハ２４は、大気中の塵埃粒子の付着が防がれる。

オープナ駆動機構６６は、可動体９５と、可動体駆動手段９４と、接続体９３と、リンク部材９２と、リンク部材角変位手段９１とを含んで構成される。可動体９５は、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５の近傍を通過し、かつ前後方向Ｘに移動可能に構成される。本実施の形態では、可動体９５は、ＦＯＵＰ支持部３１のうちで、テーブル部分６９よりも下方の空間で前後方向Ｘに移動可能に構成される。またオープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ状態で、可動体９５、可動体駆動手段９４、リンク部材９２およびリンク部材角変位手段９１は、ＦＯＵＰ支持部３１のテーブル部分６９よりも下方の空間となる内部空間に配置される。

図１６および図１７に示すように、ＦＯＵＰ支持部３１には、前後方向Ｘに延びるレール状の２つの案内部９０が間隔をあけて形成される。可動体９５は、各案内部９０に嵌合する嵌合部分８９が形成される。可動体９５の嵌合部分８９が各案内部９０に嵌合することで、可動体９５は、前後方向Ｘ以外に変位することが阻止されて、前後方向Ｘに移動可能に案内される。このように可動体９５は、ＦＯＵＰ支持部３１に支持される。

可動体駆動手段９４は、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されて、可動体９５を前後方向Ｘに往復変位駆動する。本実施の形態では、可動体駆動手段９４は、前後方向Ｘに延びてＦＯＵＰ支持部３１に回転可能に支持されるねじ軸８８と、ねじ軸８８に螺合して可動体９５に固定される螺合部８７と、ねじ軸８８を回転駆動するためのモータ８６と、モータ８６の動力をねじ軸８８に伝達して、ねじ軸を回転させる動力伝達要素９９とを含んで構成される。本実施の形態では、螺合部８７とねじ軸とでボールねじ機構が構成される。また動力伝達機構９９は、モータの出力軸に固定される第１プーリと、ねじ軸８８に固定される第２プーリと、第１プーリと第２プーリとに巻回されるベルトとを含んでベルト動力伝達機構が実現される。モータ８６によってねじ軸８８を回転させることによって、ねじ軸８８に螺合する螺合部８７が前後方向Ｘに移動し、螺合部８７とともに可動部９５が前後方向Ｘに移動する。

本実施の形態では、ねじ軸８８を用いて可動体９５を移動させたが、可動体９５を前後方向Ｘに変位する構成は、他の構成であってもよい。たとえばエアシリンダ機構およびラックアンドピニオン機構などによって、可動体９５を前後方向Ｘに移動させてもよい。

図１４、図１８および図１９に示すように、接続体９３は、オープナ側ドア６５に固定される。接続体９３は、オープナ側ドア６５から前後方向Ｘに垂直な方向である下方Ｚ２に延びる。具体的には、接続体９３の上端部は、オープナ側ドア６５に接続され、接続体９３の下端部は、ＦＯＵＰ支持部３１の上面よりも下方に配置される。

図１４および図１７に示すように、リンク部材９２は複数設けられ、それら各リンク部材９２は、可動体９５と接続体９３とを連結して平行リンク機構を構成する。このように各リンク部材９２と、可動体９５と接続体９３とによって平行リンク機構が構成されるので、可動体９５に連結される接続体９３は、姿勢を維持した状態で可動体９５の角変位軸線Ｌ１まわりに回転可能となる。

本実施の形態では、角変位軸線Ｌは、前後方向Ｘに垂直な水平方向となる左右方向Ｙに延びる。またリンク部材９２は、２つ設けられる。２つのリンク部材９２は、平行に延びて、一端部に可動体９５が回転自在にピン結合され、他端部に接続体９３が回転自在にピン結合される。各リンク部材９２は、長さが等しく形成される。本実施の形態では、各リンク部材９２は、オープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ状態で、水平に延びる。この場合、各リンク部材９２は、長手方向が前後方向Ｘとなり、幅方向が左右方向Ｙに延びる板状に形成される。

リンク部材角変位手段９１は、可動体９５の前後方向位置に応じて、予め定められる角度位置に、可動体９５に対する各リンク部材９２の角変位を規制する。図１４および図１６に示すように、リンク部材角変位手段９１は、係合部８５と規制部８４とを含んで構成される。係合部８５は、各リンク部材９２の少なくともいずれかに設けられる。また規制部８４は、係合部８５が係合し、可動体９５の前後方向位置に応じて係合部８５の角度位置を規制する。

係合部８５は、リンク部材９２の長手方向中間部分から角変位軸線Ｌ１と平行な方向に突出するピン部材によって実現される。規制部８４は、ＦＯＵＰ支持部３１に形成されて、係合部８５が嵌合するスリット溝である凹所が形成されることによって実現される。規制部８４の凹所は、長孔形状に形成されて前後方向Ｘに進むにつれて上下方向位置が変化する。また規制部８４の凹所は、係合部８５のうちで規制部８４に嵌合する嵌合部分よりもやや大きい寸法に設定される。係合部８５は、角変位軸線Ｌと平行に延びる。また規制部８４の凹所に嵌合した係合部８５は、規制部８４の凹所の延びる方向に移動可能に形成される。これによって可動体９５の移動を停止した状態では、規制部８４に係合部８５が嵌合することで、係合部８５が角変位軸線Ｌ１まわりに角変位することが阻止され、リンク部材９２の角変位量が予め定められる値に維持される。

規制部８４の凹所は、正面壁２８ａから最も離反した位置から、正面壁２８ａに近づくにつれて、予め定める設定距離Ａ進むまでは、前後方向Ｘに平行に延びる。凹所８４は、設定距離Ａを到達してからさらに前方Ｘ１に近づくにつれて下方Ｚ２に進む。本実施の形態では、設定距離Ａは、たとえば２５ｍｍに設定される。本実施の形態では、係合部８５は、リンク部材９２の両側にそれぞれ突出する。また規制部８４の凹所は、リンク部材９２の両側にそれぞれ形成され、２つの係合部８５がそれぞれ嵌合する。

図２０は、可動体９５の前後方向移動に連動したリンク部材９２の角変位状態を示す図である。図２０は、理解を容易にするために、オープナ２６の構成の一部を省略して示す。また図２０は、可動体９５とリンク部材９２とが連結される連結点８０の移動位置８０ａ〜８０ｄに応じた、各要素の位置を添え字ａ〜ｄによって表わす。添え字ａから添え字ｄに進むにつれて、可動体９５が前方Ｘ１に進む。上述したように接続体９３は、前後方向Ｘに移動可能な可動体９５に連結されるとともに、可動体９５に対して角変位軸線Ｌ１まわりに角変位可能に構成される。したがって可動体９５の前後方向位置と、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位軸線Ｌ１まわりの角度を決定することによって前後方向Ｘおよび上下方向Ｚの任意の位置に、接続部９３を配置することができる。本実施の形態では、可動体９５の前後方向移動に応じて、接続体９３が予め定める移動軌跡を移動するように、リンク部材角変位手段９１によって、可動体９５の前後方向移動に連動させて、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を位置決めする。

可動体９５とリンク部材９２とが連結される連結点８０を、可動体９５の基準位置とする。オープナ側ドア６５の把持するＦＯＵＰ側ドア６１が、ＦＯＵＰ本体６０を塞いだ閉鎖状態において、可動体９５が位置する閉鎖位置Ｐ１と、閉鎖位置Ｐ１から可動体９５が前方Ｘ１に予め定める設定距離Ａ移動した離間位置Ｐ２との間Ｃ１を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３が前後方向Ｘに移動するように、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を規制する。また前記離間位置Ｐ２よりも前方Ｘ１となる退避領域Ｃ２を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３が上下方向Ｚに移動するように、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を決定する。

本実施の形態では、可動体９５が位置する閉鎖位置Ｐ１と、閉鎖位置Ｐ１から可動体９５が前方Ｘ１に予め定める距離Ａ移動した離間位置Ｐ２との間Ｃ１では、リンク部材角変位手段９１は、可動体９５に対するリンク部材９２の角度θを一定または略一定に保つ。これによって接続体９３を前後方向Ｘに移動させることができる。また退避領域Ｃでは、リンク部材角変位手段９１は、可動体９５が前方Ｘ１に移動するのに応じて、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を大きくし、可動体９５が後方Ｘ２に移動するのに応じて、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を小さくする。

たとえば閉鎖位置Ｐ１から前後方向移動を停止すべき接続体９３の位置までの前後方向距離をＥ１とする。閉鎖位置Ｐ１から可動体９５の位置までの前後方向距離をＥ２とし、リンク部材９２の長さをＦとする。この場合、可動体９５に対するリンク部材９２の角度θが、ｃｏｓ^−１（（Ｅ１−Ｅ２）／Ｆ）となるように、リンク部材９２の角度を位置決めする。これによって可動体９５を前後方向Ｘに移動させた場合に、接続体９３をＥ２の前後方向位置に維持した状態で、接続体９３を上下方向Ｚに移動させることができる。ここでｃｏｓ^−１は、逆コサイン三角関数であってアークコサインを示す。また角度は、水平面からリンク部材９２が下方Ｚ２に角変位する方向を正とする。たとえば図２０において、可動体９５の連結点８０がＥ２ｃ位置に存在する場合における可動体９５に対するリンク部材９２の角度θｃは、ｃｏｓ^−１（（Ｅ１−Ｅ２ｃ）／Ｆ）となるように、リンク部材９２の角度を位置決めする。

可動体９５が、閉鎖位置Ｐ１から前方Ｘ１に移動することによって、接続体９３が前方Ｘ１に移動する。可動体９５が閉鎖位置Ｐ１から設定距離Ａ移動して離間位置Ｐ２に達したあと、さらに前方Ｘ１に移動することによって、接続体９３は、水平に移動しつつ徐々に垂直下方に移動した後、完全に垂直または垂直に近い軌跡を移動して、下方Ｚ２に移動する。また可動体９５が、退避領域Ｃ２から後方Ｘ２に移動することによって、接続体９３が上方Ｚ１に移動して、垂直上方に移動しつつ徐々に水平に移動する。そして完全に水平または水平に近い軌跡を移動して、可動体９５が離間位置Ｐ２に達したあと、さらに後方Ｘ２に移動することによって、接続体９３が後方Ｘ２に移動する。接続体９３と一体に固定されるオープナ側ドア６５もまた接続体９３と同じ形状の軌跡を移動する。図２０には、接続体９３の移動軌跡を９８ａで示し、オープナ側ドアの移動軌跡を９８ｂで示す。

図２１は、オープナ側ドア６５の開閉動作を示す図である。図２１（１）は、オープナ側ドア６５が、オープナ側開口部６８を閉鎖した状態を示す。図２１（２）は、オープナ側ドア６５が、オープナ側開口部６８から離間した状態を示す。図２１（３）は、オープナ側ドア６５が、オープナ側開口部６８を開放した状態を示す。

図２１（１）に示すように、オープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ状態から、可動体９５が前後方向Ｘに移動して予め定める設定距離Ａに移動するまでは、リンク部材角変位手段９１によって可動体９５に対するリンク部材９２の角変位が阻止される。各リンク部材９２の角変位が阻止されることで、接続体９３は、可動体９５の移動とともに前後方向Ｘに移動する。したがってオープナ側ドア６５もまた、接続体９３とともに前後方向Ｘに移動する。これによってオープナ側ドア６５は、正面壁２８ａから前方Ｘ１に平行に移動して、正面壁２８ａから離間する。

図２１（２）に示すように、可動体９５が正面壁２８ａに近接して予め前方Ｘ１に定める設定距離Ａに移動した離間位置から、可動体９５がさらに前方Ｘ１に移動すると、可動体９５の移動にともなって、リンク部材角変位手段９１によって可動体９５に対する各リンク部材９２の角度が徐々に大きくなる。各リンク部材９２の角変位が大きくなることで、接続体９３は、可動体９５の移動とともに、可動体９５に対して角変位軸線Ｌまわりに角変位移動する。本実施の形態では、リンク部材角変位手段９１による角度が調節されることで、接続体９３は、ＦＯＵＰ支持部３１に対して下方Ｚ２に移動する。これによってオープナ側ドア６５もまた、接続体９３とともに下方Ｚ２に移動する。したがって図２１（３）に示すように、オープナ側ドア６５は、正面壁２８ａから前方Ｘ１に離間した状態から、下方Ｚ２に移動して正面壁２８ａから離反する。オープナ側ドア６５がＦＯＵＰ側ドア６１を把持した状態で、上述したように開放動作を行うことによって、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を準備空間２９に引込み、ＦＯＵＰ側ドア６１を下方Ｚ２に移動させて、ＦＯＵＰ内空間４３と、準備空間２９とを連通して、ＦＯＵＰ本体６０を開くことができる。

同様にして、可動体９５が正面壁２８ａに最近接した位置から後方Ｘ２に離反する場合には、オープナ側ドア６５は、接続体９３とともに上方Ｚ１に進んで、正面壁２８ａに近接する。さらに可動体９５が正面壁２８ａから後方Ｘ２に離反すると、オープナ側ドア６５は、後方Ｘ２に移動して正面壁２８ａのオープナ開口部６８を塞ぐ。オープナ側ドア６５がＦＯＵＰ側ドア６１を把持した状態で、上述したように閉鎖動作を行うことによって、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を再びＦＯＵＰ本体６０に当接させることができ、ＦＯＵＰ本体６０を閉じることができる。

また可動体９５と接続体９３とは平行リンク機構を構成する複数のリンク部材９２に連結されることによって、接続体９３は、姿勢を一定に保ちながら進む。このような本実施の形態のオープナ側ドア駆動機構６６によって、オープナ側ドア６５は、姿勢を維持した状態で、前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに移動させることができる。

以上のようにリンク部材角変位手段９１は、オープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ閉鎖状態から、可動体９５が前方Ｘ１に予め定める設定距離Ａ移動するまで、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を一定に保つ。またリンク部材角変位手段９１は、可動体９５が設定距離Ａに達した離間位置から前方Ｘ１にさらに移動するにともなって可動体９５に対するリンク部材９２の角度を大きくする。これによって可動体９５を前後方向Ｘに移動させることで、オープナ側ドア６５を水平方向および鉛直方向に移動させることができ、オープナ側ドア６５が把持するＦＯＵＰ側ドア６１によってＦＯＵＰ本体６０を開閉することができる。ここで、設定距離Ａは、ＦＯＵＰ側ドア６１を把持するオープナ側ドア６５が、正面壁２８ａから下方Ｚ２に移動する場合に、ＦＯＵＰ側ドア６１等が正面壁２８ａなどと干渉することが防がれる距離に設定される。たとえば設定距離Ａは、正面壁２８ａの厚み方向寸法と、ＦＯＵＰ側ドア６１の厚み方向寸法とを加算した値よりも大きく設定される。

本実施の形態によれば、可動体９５と接続体９３とは平行リンク機構を構成する複数のリンク部材９２に連結されることによって、接続体９３に固定されるオープナ側ドア６５およびオープナ側ドア６５に把持されるＦＯＵＰ側ドア６１は、姿勢を一定に保ちながら移動する。また本実施の形態では、オープナ側ドア６５に把持されるＦＯＵＰ側ドア６１を、前後方向Ｘに変位移動させることができるとともに、可動体９５の角変位軸線Ｌまわりに角変位移動させることができ、角変位軸線Ｌに垂直な平面内で２方向に移動させて、容器本体を開閉することができる。

可動体駆動手段９４によって、可動体９５を前後方向Ｘに移動させることで、オープナ側ドア６５に把持されるＦＯＵＰ側ドア６１を、前後方向Ｘと上下方向Ｚとに移動させることができ、ＦＯＵＰ本体６０からＦＯＵＰ側ドア６１を近接および離反させて、ＦＯＵＰ本体６０の開閉動作を行わせることができる。可動体９５は、前後方向Ｘに移動させても、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５の近傍を移動させることができ、ＦＯＵＰ支持部３１から離反した位置に可動体９５を移動させる機構を設ける必要がない。このように本実施の形態では、ＦＯＵＰ支持部３１の近傍にオープナ側ドア駆動機構６６を配置することができ、オープナ２６を簡素化または軽量化することができる。またＦＯＵＰ支持部３１から離反した空間を有効利用することができる。

可動体９５が閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ２との間を移動する間Ｃ１には、ＦＯＵＰ側ドア６５は、移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。これによってＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０に対して前後方向Ｘに近接および離反するときに、ＦＯＵＰ本体６０の開口部６２および正面壁２８ａなどと、ＦＯＵＰ側ドア６１とが干渉することを防ぐことができ、ＦＯＵＰ側ドア６１をＦＯＵＰ本体６０から円滑に近接および離反させることができる。

また可動体９５が退避領域を前後方向Ｘに移動する間Ｃ２には、ＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０に対して上下方向Ｚに近接または離反する。これによってＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０から離間した状態で、前後方向Ｘに移動することを抑えることができ、ＦＯＵＰ側ドア６１の動作領域を前後方向Ｘに小さくすることができ、ＦＯＵＰ本体６０を開閉するために必要な可動空間の前後方向寸法を小さくすることができる。これによってＦＯＵＰ側ドア６１およびオープナ側ドア６５が、基板移載装置２３に配置される他の装置、たとえば基板搬送用のロボットなどに干渉することを防ぐことができる。

またＦＯＵＰ本体６０を開放する場合、ＦＯＵＰ側ドア６１は、水平または水平に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０から離間し、離間後、鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０から離反する。またＦＯＵＰ本体６０を閉鎖する場合、ＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０から離間した状態で、鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０に近接し、近接後、水平または水平に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０に当接する。このようにＦＯＵＰ側ドア６１を、ＦＯＵＰ本体６０よりも下方に移動させてＦＯＵＰ本体６０を開放することで、上方から下方に気体が流れることで、ＦＯＵＰ内空間３４または準備空間２９などに塵埃粒子が付着するおそれを少なくすることができ、基板搬入および搬出時に基板が汚染されることを防ぐことができる。

また本実施形態によれば、ＦＯＵＰ支持部３１が、可動体駆動手段９４、リンク部材角変位手段９１および可動体９５を支持することで、可動体駆動手段９４および可動体９５を支持する部分を別途形成する必要がなく、オープナ２６の部品点数を低減することができる。これによってさらにオープナ２６を簡素化または軽量化することができるとともに、構造を簡単化することができ、オープナ２６の製造コストを低下させることができる。たとえばＦＯＵＰ支持部３１にオープナ側ドア駆動機構６６を構成する各要素部品を支持させることによって、オープナ２６に形成される正面壁２８ａに、オープナ側ドア駆動機構６６の各要素部品を固定支持させる必要がなく、正面壁２８ａを小形化するとともに、正面壁２８ａの剛性を低下させることができ、オープナ２６の製造コストを低減することができる。

また本実施形態によれば、係合部８５と規制部８４とを含んでリンク部材角変位手段９１が構成されることによって、別途駆動源を必要とすることなく、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を規制することができる。これによって可動体駆動手段９４によって、可動体９５を前後方向Ｘに移動させるだけで、その可動体９５の移動に連動させてリンク部材９２を角変位させることができる。これによってオープナ２６の構成をさらに簡単化することができ、部品点数を低減することができる。

また本実施の形態では、ＦＯＵＰ支持部３１に形成される内部空間に、可動体駆動手段９４、リンク部材角変位手段９１および可動体９５が配置されることで、可動体駆動手段９４、リンク部材角変位手段９１および可動体９５を覆うカバー体を別途形成する必要がなく、部品点数を低減することができる。これによってさらにオープナ２６を小形化することができるとともに、構造を簡単化することができる。

図２２は、本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。図２２（１）は、本実施の形態のオープナ２６を示し、図２２（２）は、比較例のオープナ１２６を示す。比較例のオープナ１２６は、オープナ側ドア１６５に接続される接続体１９３を上下方向Ｚに移動させるねじ軸１８８が上下方向Ｚに延びる。比較例のオープナ１２６について、本実施の形態と対応する構成については、参照符号に１００を記載して説明を省略する。

本実施の形態のオープナ２６は、可動体９５がフープ支持部３１の内部空間に収容される。これによって図２１（２）に示す比較例のオープナ１２６に比べて、水平方向寸法を小形化することができる。また比較例のオープナ１２６のように、ねじ軸１８８および接続体１９３を案内する案内手段を正面壁１２８ａで支持する必要がないので、正面壁２８ａを小形化することができ、製造コストを極めて安価に構成することができる。またＦＯＵＰ支持部３１の下方に作業者が侵入可能なドアを設けることができ、このドアを設けることによってメンテナンスを容易に行うことができる。また可動体９３が閉鎖位置Ｐ１に移動した状態で、リンク部材９２が水平に延びるので、閉鎖状態でのオープナ２６をさらに小形化することができる。さらに本実施の形態では、ＦＯＵＰ側ドアを移動する機構が、上下方向Ｚに配置されないので、メンテナンス時に、作業者がウェハ移載装置の固定空間７８に侵入する場合に、オープナ２６が作業者の侵入を阻害することがなく、ドアからウェハ移載装置の固定空間に容易に侵入させることができる。

図２３は、本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。図２３（１）は、本実施の形態のオープナ２６を示し、図２３（２）は、比較例のオープナ１２６を示す。本実施の形態のオープナ２６は、ＦＯＵＰ支持部３１に対して上下方向に近接した位置にオープナ側ドア駆動機構６６を配置することができるので、ＦＯＵＰ支持部３１から離反した空間７５を有効利用することができる。これに対して、比較例のオープナ１２６では、移動体１９３を移動させる駆動手段と、移動体１９３を案内する案内手段とをＦＯＵＰ支持部１３１から離反した位置に配置する必要があり、ＦＯＵＰ支持部３１から離反した空間７６を有効利用することができない。本実施の形態では、たとえばＦＯＵＰ支持部３１から離反した位置にロボットコントローラ４４、ウェハ移載装置であるＥＦＥＭに必要なデバイス、メンテナンス材料９７などを配置することができる。

図２４は、オープナ２６の下方の空間にアクセス用ドア９６が形成される搬送系ユニット２１を示す図である。図２４（１）は、アクセス用ドア９６を閉じた状態を示す。また図２４（２）は、アクセス用ドア９６を開いた状態を示す。本実施の形態では、フレーム本体部５０ａは、アクセス用ドア９６が形成される。本体構成体５１に搬送系ユニット２１が装着された状態でアクセス用ドア９６は、開放状態で外方空間３３と、フレーム本体部５０ａの内部空間５７とを直接連通する。

本実施形態によれば、オープナ２６の下方の空間７６であって、フレーム本体部５０ａの内部空間５７に、ロボットコントローラ４４、ウェハ移載装置２３に必要なデバイスおよびメンテナンス材料９７などが配置される。作業者は、アクセス用ドア９６を開けることで、準備空間２９に深く侵入しなくとも、ウェハ移載装置の調整およびメンテナンスを行うことができる。また可動空間７９に進入することなく、外方空間３３から固定空間７９に直接進入して、固定空間７９に配置される各部品をメンテナンスすることができ、利便性を向上することができる。

また上述した仕切り体５２によって、メンテナンス時に固定空間７８で発生した塵埃粒子が、可動空間７９に移動することを防ぐことで、可動空間のクリーン度の悪化を抑えることができる。これによってメンテナンス後に、短時間で可動空間のクリーン度を回復することができ、作業効率を向上することができる。

このように作業者が準備空間２９に侵入することに起因する汚染を抑えることができ、準備空間２９のクリーン度を回復するのに必要な時間を短縮することができ、作業効率を向上することができる。またウェハ搬送装置を調整およびメンテナンスするために必要な操作機器などの調整手段が、アクセス用ドア９６の開口部近傍に配置される。たとえば調整手段は、エアバルブおよびセンサの調整つまみなどである。調整手段は、複数のボタンおよびつまみなど作業者が操作可能な操作部が形成され、操作部は、コントローラの後方Ｘ２端部に形成される。これによって作業者は、内部空間５７に深く侵入することなく、ウェハ移載装置２３の調整およびメンテナンス作業を容易に行うことができる。また調整手段は、コントローラ４４以外であってもよく、配線の接続コネクタおよび接続スイッチや、電気回路およびファンフィルタユニットのフィルタであってもよい。また本実施の形態では、上述した小形化したオープナ２６が設けられるので、内部空間５７を大形化することができ、内部空間５７に配置可能な調整手段を増やすことができる。またフレーム本体部５０ａが支持するオープナが上述した小形オープナであるので、フレーム本体部５０ａの高さ寸法を小さくすることができる。これによって準備空間２９を小形にすることができる。

図２５は、本発明の第２実施形態であるオープナ２２６を示す図である。他の実施の形態のオープナ２２６は、接続部９３の移動軌跡が異なるほかは、第１実施形態と同様である。同様の構成については、同様の参照符号を付して説明を省略する。

第１実施形態のオープナ２６は、ＦＯＵＰ開放時において、接続部９３を水平方向に移動させたあと、下方Ｚ２に移動させるとしたがこれに限定されない。第２実施形態では、リンク部材角変位手段９１は、可動体９３が閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ２との間を、可動体９３が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３を略水平な曲線軌跡を描くように、リンク部材９２の角度を規制する。また前記離間位置Ｐ１よりも前方Ｘ１となる退避領域を、可動体９３が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続部９３を略垂直な曲線軌跡を描くように、リンク部材９２の角度を規制する。

具体的には、可動体９５が閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ１との間Ｃ１を前方Ｘ１に移動する場合には、接続体９３は、前方Ｘ１に移動するとともに下方Ｚ２に移動する。その移動方向の成分のうちで、前方Ｘ１に移動する成分が多く、下方Ｚ２に移動する成分が少ない。また可動体９５が退避領域Ｃ２を前方Ｘ１に移動する場合には、接続体９３は、前方Ｘ１に移動するとともに下方Ｚ２に移動する。その移動方向の成分のうちで、前方Ｘ１に移動する成分が少なく、下方Ｚ２に移動する成分が多い。このように第２実施形態の接続部９３は、楕円弧に沿う軌跡に沿って移動する。規制部８４の凹所の形状を設定することによって、接続部９３の移動経路を容易に変更することができる。

図２６は、接続部９３の移動軌跡９８の一例を示す図である。図２６（１）は、第２実施形態での接続部９３の移動軌跡９８を示し、図２６（４）は、第１実施形態の接続部９３の移動軌跡９８を示す。接続部９３の移動軌跡は、このように曲線状に変化してもよく、折れ線状に変化してもよく、また図示していないが波線状に変化してもよい。

リンク角変位手段９１は、閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ１との間Ｃ１を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘ成分が存在するように、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を規制する。またリンク角変位手段９１は、離間位置Ｐ２よりも前方Ｘ１となる退避領域Ｃ２を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘに垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体９５の移動に連動して、リンク部材９２を可動体９５に対しての角変位させる。これによって各ドア６１，６５が正面壁２８ａなどに干渉することを防ぐとともに、正面壁２８ａから不所望に前方Ｘ１に離反することを防ぐことができ、各ドア６１，６５の可動範囲をコンパクトにして、準備空間２９に配置することができる。

図２７は、他の実施形態のリンク部材角変位手段９１の一部を示す図である。上述したリンク部材角変位手段９１は、ピン部材８５が凹所８４に嵌合することによって、リンク部材９２の角変位を阻止される構造としたが、本発明はこれに限定されない。たとえば図２７（１）に示すように、規制部１８５は、断面積が一様な柱状のレール部材で形成され、係合部１８４が前記レール部材を軸線まわりに一周するリング部材によって形成されてもよい。

また図２７（２）に示すように、規制部２８５がレール状に形成されて対向する２つの面にそれぞれレール溝が形成されるレール部材で形成され、係合部２８４が規制部２９５のレール溝を両側から挟む形状に２つの挟持体によって形成されてもよい。また図２７（３）に示すように、各ドア６１，６５が自重を有するので、規制部３８５が、上面が曲面に形成される形状であってもよい。このように係合部８４，１８４，２８４，３８５が、規制部８５，１８５，２８５，３８５に案内されて、前後方向Ｘに移動自在な状態で、前後方向Ｘに垂直な方向に対する変位が規制されることによって、リンク部材角変位手段９１を実現することができる。

また図２７（４）に示すように、リンク部材角変位手段９１は、リンク部材９２を角変位するためのモータと、モータの動力をリンク部材９２に伝達する動力伝達機構とを備えている構成でもよい。この場合、可動体９５の移動量に応じて、モータによってリンク部材９２を予め定める量だけ角変位することによって、同様の効果を得ることができる。またモータによってリンク部材９２を角変位することで、ドアを開放する場合と、ドアを閉鎖する場合とで、接続部９３の移動経路を異ならせることもできる。

図２８は、他の実施形態の可動体駆動手段９１を簡略化して示す図である。オープナ２６は、ＦＯＵＰ支持部３１が乗載されるテーブル部分６９を前後方向Ｘに移動するＦＯＵＰ駆動手段７０を有する。ＦＯＵＰ駆動手段７０は、ロボットまたは作業者などによってＦＯＵＰ２５がＦＯＵＰ支持部３１のテーブル部分６９に配置された状態で、テーブル部分６９を正面壁２８ａに向かって前後方向Ｘに移動し、ＦＯＵＰ２５と正面壁２８ａとを密着させる。またＦＯＵＰ２５と正面壁１８ａとが密着した状態から解除する。

テーブル部分６９と前記可動体９５とは、前後方向Ｘが同じ方向であるので、本実施の形態では、オープナ２６は、１つの駆動手段によって、テーブル部分６９と前記可動体９５とのいずれかを移動させるかを切換える切換手段７５を有する。これによって１つの駆動手段によって、テーブル部分６９と可動体９５を選択的に前後方向Ｘに移動させることができる。

たとえば駆動手段７０は、移動体７３を前後方向Ｘに移動させる。移動体７３には、前後方向Ｘに略垂直な方向にピン部７１を２方向に選択的に突出するデュアル式のエアシリンダ７５が搭載される。図２８（１）に示すように、エアシリンダ７５が、ピン部７１を第１方向に突出させて、ピン部７１を可動体９５に嵌合させることによって、移動体７３とともに可動体９５を前後方向Ｘに移動させることができる。また図２８（２）に示すように、エアシリンダ７５が、ピン部７１を第２方向に突出させて、テーブル部分６９に嵌合させることによって、移動体７３とともにテーブル部分６９を前後方向Ｘに移動させることができる。

本実施の形態では、可動体９５を移動させる駆動手段をＦＯＵＰ支持部３１近傍に設けることができるので、ＦＯＵＰ支持部３１に設けられる他の駆動手段と、可動体駆動手段を兼用した構成とすることができる。テーブル部分６９などを介してＦＯＵＰ２５を前後方向Ｘに移動させる基板容器駆動手段を用いて可動体駆動手段を実現することで、可動体を変位駆動させるための駆動源と、基板容器を変位駆動させるための駆動源との２つの駆動源を用いる必要がなく、１つの駆動源によって、基板容器駆動手段と可動体駆動手段とを実現することができ、基板容器オープナの駆動源の数を低減することができる。このようにＦＯＵＰ支持部３１に設けられる他の駆動手段で、可動体駆動手段を兼用することによって、駆動手段の数を減らすことができ、構造を簡単化することができるとともに、設計の自由度を高めることができる。またオープナ２６を小形化することができるとともに、構造を簡単化することができる。

図２９は、本発明のさらに他の実施の形態である第２の搬送系ユニット１２１を示す断面図である。第２の搬送系ユニット１２１は、第１実施形態の搬送系ユニット２１と類似した構成を有し、類似した構成については同様の参照符号を付する。第２の搬送系ユニット１２１は、オープナ１２６の構成が異なり、残余の構成については、第１実施形態の搬送系ユニット２１と同様である。第２の搬送系ユニット１２１は、図２３（２）に示す比較例のオープナ１２６を有する。このような第２の搬送系ユニット１２１であっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

図３０は、本発明のさらに他の実施の形態である第３の搬送系ユニット２２１を示す断面図である。第３の搬送系ユニット２２１は、第１実施形態の搬送系ユニット２１と類似した構成を有し、類似した構成については同様の参照符号を付する。第３の搬送系ユニット２２１は、フレーム分割体の構成が異なり、残余の構成については、第１実施形態の搬送系ユニット２１と同様である。フレーム分割体は、棒状の部材が枠状に複数連結されて充分な剛性を有する骨組みが形成されて、その骨組みに板状部材が固定されてもよい。この場合、棒状の部材に各搬送系要素２６，２７，５６が固定されることで、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。またＦＦＵによってダウンフローが発生される場合、仕切り体５２は、板状に形成されて、厚み方向に貫通する開口が等間隔に複数形成されていてもよい。この場合、準備空間２９のうちの可動空間７９から固定空間７８へ雰囲気気体が流れ、可動空間７９のクリーン度を保つことができる。

上述した本実施の形態は、本発明の例示に過ぎず発明の範囲内で構成を変更することができる。たとえば本実施の形態では、対象基板として半導体ウェハ２４について説明したが、半導体ウェハ以外の基板、たとえばＦＰＤ（Flat Panel Display）に用いられるガラス基板などであっても同様の効果を達成することができる。またフレーム構造体の形状については、充分な剛性を有する形状であればよく、本実施の形態に例示した形態に限定されない。また基板容器としてＦＯＵＰ２５を用いたが、オープンカセットであってもよく、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）であってもよい。また本実施の形態では、接続部９３を水平または略水平に動作させればよく、可動体９５は、水平に移動しなくてもよい。オープンカセットの場合、ＦＯＵＰオープナ２６に代えて、オープンカセットを位置合わせした状態で保持する保持部が、フレーム分割体５０の固定部に固定される。

また本発明は、以下の形態が適用可能である。
（１）予め設定される正面方向に開放して、基板が収容される収容空間が形成される容器本体と、容器本体に対して着脱可能に形成されて、容器本体に装着された状態で収容空間の開口を塞ぐ容器側ドアとを有する基板容器を開閉する基板容器オープナの一部を構成して、容器本体から取外される容器側ドアを把持可能なオープナ側ドアを変位駆動するオープナ側ドア駆動機構であって、
（ａ）基板容器オープナの一部を構成する容器支持部に位置決め支持される容器本体において正面方向となる前方Ｘ１と、前記前方Ｘ１と向きが反対の後方Ｘ２とを含む前後方向Ｘに移動可能な可動体と、
（ｂ）前記可動体を、前記前後方向Ｘに変位駆動する可動体駆動手段と、
（ｃ）オープナ側ドアに固定される接続体と、
（ｄ）可動体と接続体とを連結して平行リンク機構を構成し、可動体に対して接続体を、前記前後方向Ｘに垂直または略垂直に延びる角変位軸線Ｌまわりに相対角変位可能に連結する複数のリンク部材と、
（ｅ）可動体の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体に対して各リンク部材を角変位するリンク部材角変位手段であって、
（ｅ１）オープナ側ドアの把持する容器側ドアが容器本体の開口を塞いだ閉鎖状態で可動体が位置する閉鎖位置と、前記閉鎖位置から可動体が前方Ｘ１に予め定める設定距離Ａ移動した離間位置との間を、可動体が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘ成分が存在するように、可動体に対するリンク部材の角変位を規制し、
（ｅ２）前記離間位置よりも前方Ｘ１となる退避領域を、可動体が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘに垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体の移動に連動して、リンク部材を可動体に対しての角変位させるリンク部材角変位手段とを含むことを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。

可動体と接続体とは平行リンク機構を構成する複数のリンク部材に連結されることによって、接続体および接続体に固定されるオープナ側ドアは、姿勢を一定に保ちながら移動する。

また可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する状態では、可動体の前後方向Ｘ移動に連動して、リンク部材角変位手段が可動体に対してリンク部材の角変位を規制することで、接続体の移動方向には少なくとも前後方向Ｘ成分が含まれる。これによって接続体に固定されるオープナ側ドアは、把持した容器側ドアとともに前後方向Ｘに移動する。閉鎖位置から離間位置に可動体が前方Ｘ１に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体から前方Ｘ１に移動して、容器本体から離間する。また離間位置から閉鎖位置に可動体が後方Ｘ２に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体に向かって後方Ｘ２に移動して、容器本体の開口部を閉鎖する。

また可動体が退避領域を移動する状態では、可動体の前後方向Ｘ移動に連動して、リンク部材角変位手段が可動体に対してリンク部材を角変位させることで、接続体の移動方向には、少なくとも前後方向Ｘに垂直な垂直方向成分が含まれる。これによって接続体に固定されるオープナ側ドアは、把持した容器側ドアとともに垂直方向に移動する。退避領域を可動体が前方Ｘ１に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体から前後方向Ｘに垂直な垂直方向に離反移動して、容器本体を開放する。また退避領域を可動体が後方Ｘ２に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体から前後方向Ｘに垂直な垂直方向に近接移動して、容器本体に対向する。

このように、オープナ側ドアに把持される容器側ドアを、前後方向Ｘに変位移動させることができるとともに、可動体の角変位軸線Ｌまわりに角変位移動させることができ、角変位軸線Ｌに垂直な平面内で２方向に移動させて、容器本体を開閉することができる。

可動体駆動手段によって、可動体を前後方向Ｘに移動させることで、オープナ側ドアに把持される容器側ドアを、前後方向Ｘと、前後方向Ｘに垂直な方向とに移動させることができ、容器本体から容器側ドアを近接および離反させて、容器本体の開閉動作を行わせることができる。また可動体を移動させる前後方向Ｘは、容器支持部に支持される容器本体に対して、収容空間が開放する正面方向に平行な方向である。これによって可動体は、前後方向Ｘに移動させても、容器支持部に支持される基板容器の近傍を移動させることができ、容器支持部から離反した位置に可動体を移動させる機構を設ける必要がない。したがって容器支持部の近傍にオープナ側ドア駆動機構を配置することができ、基板容器オープナを小形化することができる。また基板容器オープナのうちで基板容器を支持する容器支持部から離反した空間を有効利用することができる。

（２）前記リンク部材角変位手段は、
可動体が前記閉鎖位置と前記離間位置との間を移動する間、可動体に対するリンク部材の角度を一定または略一定に保ち、
可動体が前記退避領域を移動する間、可動体の前方Ｘ１への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を大きくし、可動体の後方Ｘ２への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を小さくすることを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。

可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する間には、リンク部材角変位手段によって可動体に対するリンク部材の角変位が抑えられる。各リンク部材の角変位が抑えられることで、接続体が、可動体の移動に応じて移動する場合、その移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。したがってオープナ側ドアに把持される容器側ドアもまた、移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。

また可動体が退避領域を前方Ｘ１に移動する間には、可動体の移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を大きくすることで、容器側ドアの移動方向を分解した成分のうちの前後方向Ｘ成分を少なくすることができる。同様に、可動体が退避領域を後方Ｘ２に移動する間には、可動体の移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を小さくすることで、容器側ドアの移動方向を分解した成分のうちの前後方向Ｘ成分を少なくすることができる。これによって可動体が退避領域を前後方向Ｘに移動する間には、容器側ドアは、垂直方向または略垂直方向に、容器本体に対して近接または離反する。

可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する間には、容器側ドアは、移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。これによって容器側ドアが容器本体に対して前後方向Ｘに近接および離反するときに、容器本体の開口部および基板容器オープナに形成される正面壁などと、容器側ドアとが干渉することを防ぐことができ、容器側ドアを容器本体から円滑に近接および離反させることができる。

また可動体が退避領域を前後方向Ｘに移動する間には、容器側ドアは、容器本体に対して垂直方向または略垂直方向に近接または離反する。これによって容器側ドアが、前後方向Ｘに不所望に移動することを抑えることができ、容器側ドアの動作領域を前後方向Ｘに小さくすることができ、容器本体を開閉するために必要な可動空間の前後方向Ｘ寸法を小さくすることができる。これによって容器側ドアおよびオープナ側ドアが、基板移載装置に配置される他の装置、たとえば基板搬送用のロボットなどに干渉することを防ぐことができる。

（３）前記前後方向Ｘおよび前記角変位軸線Ｌは、水平または略水平に延び、
前記リンク部材角変位手段は、
可動体が前記退避領域を前方Ｘ１に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を下方に角変位し、可動体が前記退避領域を後方Ｘ２に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を上方に角変位することを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。

前後方向が水平または略水平に延びることによって、可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する間には、接続体が水平または略水平に延びる軌跡に沿って移動する。また可動体が前記退避領域を前方Ｘ１に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を下方に角変位することによって、可動体が前記退避領域を前方Ｘ１に移動する場合には、接続体が鉛直または略鉛直に延びる軌跡に沿って下方に移動する。また可動体が前記退避領域を後方Ｘ２に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を上方に角変位することによって、可動体が前記退避領域を後方Ｘ２に移動する場合には、接続体が鉛直または略鉛直に延びる軌跡に沿って上方に移動する。

このように、容器本体を開く場合には、容器側ドアは、水平または略水平な軌跡に沿って前方Ｘ１に移動したあと、鉛直または略鉛直な軌跡に沿って下方に移動する。また容器本体を閉じる場合には、容器側ドアは、鉛直または略鉛直な軌跡に沿って上方に移動したあと、水平または略水平な軌跡に沿って後方Ｘ２に移動する。

容器本体を開放する場合、容器側ドアは、水平または略水平に近い軌跡を描きながら容器本体から離間し、離間後鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながら容器本体から離反する。また容器本体を閉鎖する場合、容器側ドアは、容器本体から離間した状態で、鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながら容器本体に近接し、近接後、水平または略水平に近い軌跡を描きながら容器本体に当接する。このように容器側ドアを、容器本体よりも下方に移動させて容器本体を開放することで、容器開閉時に気流が乱れたとしても、気流が上方から下方に流れるように調整されることで、基板、容器本体およびロボットなどに塵埃粒子が付着するおそれを少なくすることができ、基板搬入および搬出時に基板が汚染されることを防ぐことができる。

（４）前記可動体駆動手段、前記リンク部材角変位手段および可動体は、前記容器支持部に支持されることを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。

基板容器オープナの一部を構成する容器支持部に、前記可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体が支持されることで、可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体を支持するためのオープナ側ドア駆動機構支持部を容器支持部と兼用することができ、オープナ側ドア駆動機構に構成される各構成要素を支持するための部分を別途形成する必要がなく、部品点数を低減することができる。

容器支持部が、可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体を支持することで、可動体駆動手段および可動体を支持する部分を別途形成する必要がなく、基板容器オープナの部品点数を低減することができる。これによってさらに基板容器オープナを小形化することができるとともに、構造を簡単化することができ、基板容器オープナの製造コストを低下させることができる。たとえば容器支持部にオープナ側ドア駆動機構を構成する各要素部品を支持させることによって、基板容器オープナに形成される正面壁に、オープナ側ドア駆動機構の各要素部品を固定支持させる必要がなく、正面壁を小形化するとともに、正面壁の剛性を低下させることができ、基板容器オープナの製造コストを低減することができる。

（５）前記リンク部材角変位手段は、各リンク部材の少なくともいずれかに設けられる係合部と、
係合部が係合し、可動体の前後方向位置に応じて可動体に対する係合部の角度位置を規制する規制部とを含んで構成されることを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。

係合部が規制部に係合することによって、可動体の前後方向位置毎に、各リンク部材は可動部に設定される角変位軸線Ｌまわりの角変位が阻止される。たとえば可動体が第１の前後方向位置にあるときは、係合部は規制部に案内された状態で、第１の前後方向位置に応じた角変位軸線まわりの角度位置で角変位が規制される。またたとえば可動体が第２の前後方向位置にあるときは、係合部は規制部に案内された状態で、第２の前後方向位置に応じた角変位軸線まわりの角度位置で角変位が規制される。このように係合部と規制部とを含んで、リンク部材角変位手段が構成されることによって、別途駆動源を必要とすることなく、可動体の前後方向移動に連動させて、可動体に対するリンク部材の角変位を所望の値にすることができる。

係合部と規制部とを含んでリンク部材角変位手段が構成されることによって、別途駆動源を必要とすることなく、可動体に対するリンク部材の角変位を規制することができる。これによって可動体駆動手段によって、可動体を前後方向Ｘに移動させるだけで、その可動体の移動に連動させてリンク部材を角変位させることができる。これによって基板容器オープナの構成をさらに簡単化することができる。

（６）前記可動体駆動手段は、基板容器オープナの一部を構成して、前記容器支持部に支持される基板容器を前記前後方向Ｘに変位駆動するための基板容器駆動手段の動力を用いて可動体を前後方向Ｘに変位駆動することを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。

基板容器駆動手段は、テーブル部分などを介して基板容器を前後方向Ｘに移動させる。また可動体駆動手段は、可動体を前後方向Ｘに移動させる。基板容器駆動手段と可動体駆動手段とは、ともに物体を前後方向Ｘに移動させる点で共通しており、テーブル部分と可動体とのいずれかに、前後方向Ｘに移動させる動力を伝えるかを切換える切換手段を設けることによって、基板容器駆動手段を用いて可動体駆動手段を実現することができる。

テーブル部分などを介して基板容器を前後方向Ｘに移動させる基板容器駆動手段を用いて可動体駆動手段を実現することで、可動体を変位駆動させるための駆動源と、基板容器を変位駆動させるための駆動源との２つの駆動源を用いる必要がなく、１つの駆動源によって、基板容器駆動手段と可動体駆動手段とを実現することができ、基板容器オープナの駆動源の数を低減することができる。これによって基板容器オープナを小形化することができるとともに、構造を簡単化することができる。

（７）厚み方向に貫通するオープナ開口が形成される正面壁と、
容器本体の開口部が、周方向にわたって前記正面壁のオープナ開口部と接触する装着位置に、容器本体を位置決め支持する容器支持部と、
容器支持部によって装着位置に位置決め支持される容器本体から、容器側ドアを着脱可能な着脱機構と、取外した容器側ドアを把持可能な把持機構とを有して、前記オープナ開口を塞ぐオープナ側ドアと、
前記容器側ドアを把持するオープナ側ドアを変位駆動可能であって前記オープナ側ドア駆動機構とを備える基板容器オープナ。

基板容器オープナのオープナ側ドア駆動機構が上述した構成を備えることによって、可動体を前後方向Ｘに移動させることで、容器本体を開閉可能な基板容器オープナを実現することができる。

基板容器オープナが、上述したオープナ側ドア駆動機構を有することによって、小形化することができる。また容器支持部に対して、前後方向Ｘに垂直な方向に離反した空間を有効利用することができる。また基板容器オープナのうちで、位置決め支持される基板容器に密着する正面壁を小形化することができ、基板移載装置の製造コストを安価にすることができる。

（８）予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板製造装置に対して、基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部を構成する基板移載装置であって、前記基板容器オープナを備えることを特徴とする基板移載装置。

基板容器オープナのオープナ側ドア駆動機構が上述した構成を備えることによって、可動体を前後方向Ｘに移動させることで、容器本体を開閉可能な基板容器オープナを搭載した基板移載装置を実現することができる。

基板移載装置は、上述したオープナ側ドア駆動機構を有する基板容器オープナが搭載されることによって、基板容器オープナの小形化にともなう小形化を実現することができる。また容器支持部に対して、前後方向Ｘに垂直な方向に離反した空間を有効利用することができる。

また本発明は、以下の形態が適用可能である。
（９）ロボットおよび基板容器保持部を含んで構成され、予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板処理装置に対して基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の組立て方法であって、
基板移載装置の一部を構成し、基板移載装置の残余の部分となる本体構成体に対して分離可能に形成される分割体に、基板移載装置を構成するロボットと基板容器保持部とを一体に固定して、搬送系ユニットとして形成する搬送系ユニット形成工程と、
前記搬送系ユニットに固定されるロボットが基板移載装置の一部として動作可能かどうかを検査する動作検査工程と、
動作検査工程後に、搬送系ユニットを基板移載装置の本体構成体に装着する装着工程とを含むことを特徴とする基板移載装置の組立て方法。

搬送系ユニット形成工程で、本体構成体から分離された状態の分割体に対して、少なくともロボットと基板容器保持部とを一体に固定して、搬送系ユニットを形成する。そして基板移載装置として組立てる前に、動作検査工程で、搬送系ユニットに固定されるロボットが、基板移載装置の一部として動作可能かどうかを検査する。基板移載装置の一部として要求される能力が発揮されると、装着工程に進む。装着工程では、動作検査工程を通過した搬送系ユニットを、本体構成体に一体に装着して、基板移載装置を完成させる。

搬送系ユニットの形成工程で、分割体に対してロボットと基板容器保持部とを位置合わせすることで、基板移載装置として組立てる前に、ロボットと基板容器保持部との互いの位置関係を位置合わせすることができる。また基板移載装置として組立てる前に、基板容器保持部に保持される基板容器へのアクセスに関するロボットの動作検査を行うことができる。

基板移載装置のうちで基板搬送系を構成する構成機器、すなわちロボットと基板容器保持部とは、高い組立て精度が要求されるとともに、厳しい動作検査が行われる。上述したように、組立て前に、基板搬送系部分について必要とする組立て精度、基板搬送系の動作品質を得ることができるので、位置合わせおよび動作検査を行うための、熟練者および専用の治具を、基板移載装置の設置場所毎にそれぞれ用意する必要がない。また本体構成体にロボットおよび基板容器保持部を据え付けた状態で、位置合わせおよび動作検査を行う場合に比べて、広い空間でそれらの作業を行うことができる。

またロボットと基板容器保持部との位置調整および動作検査が既に行われた状態で、搬送系ユニットと本体構成体とを一体に組立てるので、組立て後に行う水平調整などの位置調整および動作検査を簡略化することができる。このように、位置調整および動作検査が行われた搬送系ユニットを準備することで、基板移載装置の設置場所での組立て作業を簡略化することができ、基板移載装置を短時間で完成させることができる。

（１０）搬送系ユニット形成工程では、ロボットによって基板が一時的に配置される基板待機部をさらに分割体に一体に固定して、搬送系ユニットを形成することを特徴とする基板移載装置の組立て方法。

分割体に基板待機部をさらに含むことで、ロボットと基板待機部との相対的な位置調整と、基板待機部に対する基板のアクセスに関するロボットの動作検査とを既に完了させたあとで、搬送系ユニットを本体構成体に一体に装着することができる。このように、分割体に基板待機部を固定することで、基板移載装置の設置場所での組立て作業をさらに簡略化することができ、基板移載装置を短時間で完成させることができる。たとえば基板待機部は、基板の向きを調整するアライナ装置、基板の厚さを測定する厚さ測定装置、基板搬送の効率化を高めるためのバッファ部などであってもよい。

（１１）動作検査工程では、基板移載装置として動作するロボットの動作を模擬した模擬動作をロボットに行わせることを特徴とする基板移載装置の組立て方法。

動作検査工程で、模擬動作を行うために、基板容器保持部に保持される基板容器の位置などをロボットに教示する。その各教示位置にロボットを移動させてロボットによる基板搬送に関する模擬動作を行わせて検査を行う。このように動作検査工程で模擬動作を行うことで、模擬動作で用いたロボットの教示位置を用いて、実際に動作するロボットの動作位置を設定することができ、ロボットの動作位置の教示作業を簡略化することができる。

（１２）搬送系ユニット形成工程と動作検査工程とを、ロボットが製造されるロボット製造場所で行い、
動作検査工程後の搬送系ユニットを、基板移載装置が設置される設置場所に搬送する搬送工程をさらに含むことを特徴とする基板移載装置の組立て方法。

搬送系ユニット形成工程と動作検査工程とを、ロボット製造場所で行うことによって、ロボット製造場所においてロボットの品質を確保することができる。これによって従来、ロボット製造場所でロボットの品質を確保するために行っていた模擬動作による検査と、基板移載装置の設置場所で行われていた動作検査とを１つに兼ねことができ、全体的な作業時間を短縮することができ、作業性を向上することができる。また基板移載装置の設置場所での作業時間を短縮することができる。

またロボット製造場所で搬送系ユニット形成工程と動作検査工程とを行うことで、ロボットに関して熟練した作業者が、分割体に対するロボットの固定、位置合わせ、ロボットの動作位置の教示動作および動作検査を行うことができる。したがってそれらの各作業が不完全となることを防ぐことができる。また各作業で発生した不具合に対しても解決しやすくすることができる。

（１３）予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板製造装置に対して基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部を構成し、基板移載装置の残余の部分となる本体構成体に対して着脱可能に形成される搬送系ユニットであって、
本体構成体に対して着脱可能に形成される分割体と、
分割体に固定されるロボットと、
分割体に固定される基板容器保持部とを含み、
本体構成体に分割体が装着された場合に、分割体に固定されるロボットおよび基板容器保持部が基板移載装置の一部としてそれぞれ位置すべき配置位置にそれぞれ配置されるよう形成されることを特徴とする搬送系ユニット。

ロボットおよび基板容器保持部が固定された分割体が、本体構成体に装着されると、ロボットおよび基板容器保持部は、基板移載装置として位置すべき配置位置に配置される。これによって基板移載装置の組立て作業よりも以前に、ロボットと基板容器保持部との互いの位置関係を位置合わせすることができる。

ロボットと基板容器保持部とは、基板移載装置のうちで基板搬送系を構成する搬送構成体であり、高い組立て精度が要求される。搬送系ユニットを形成した状態で、基板搬送系部分について必要とされる組立て精度が得られているか否かを把握することができるので、搬送系ユニットと本体構成体とを一体に組立てた後での位置調整作業を簡略化することができ、基板移載装置を短時間で完成させることができる。

また搬送系ユニットを基板移載装置から着脱可能とすることで、基板移載装置が故障した場合、搬送系ユニットを本体構成体から分離して、搬送系ユニットに固定されるロボットの動作を確認することができる。これによってロボットと基板容器保持部とを広い空間に配置した状態で、動作確認を行うことができ、故障箇所の発見と、故障個所の修理とを容易に行うことができる。

（１４）本体構成体から分離された状態で、自立姿勢を保つことを特徴とする搬送系ユニット。

搬送系ユニットが自立姿勢を保つことで、搬送系ユニットを安定的に支持するための架台を必要としない。したがって架台を用意したり、その架台に搬送系ユニットを乗せ下ろししたりする手間をなくすことができる。これによって架台を用意するための費用と、架台にフレームを乗せ下ろしするために必要な時間とを省くことができ、作業性をさらに向上することができる。

（１５）本体構成体から分離された状態で、基板移載装置として動作するときと同じ動作が可能であることを特徴とする搬送系ユニット。

搬送系ユニットは、基板移載装置として動作するときと同じ動作が可能である。したがって搬送系ユニットを完成させた状態で、基板移載装置として組立てる前に、基板容器保持部に保持される基板容器への基板のアクセスに関するロボットの動作検査を行うことができる。動作検査が完了した搬送系ユニットを本体構成体に装着して基板移載装置を完成させることで、基板移載装置として組立てた後での動作検査を簡略化することができる。これによって基板移載装置として組立ててから基板移載装置として可動可能な状態となるまでの時間を短縮することができる。

（１６）本体構成体から分離された状態で、ロボットおよび基板容器保持部が基板移載装置の一部として動作するときと同じ姿勢を保つことを特徴とする搬送系ユニット。

搬送系ユニットは、ロボットおよび基板容器保持部が基板移載装置として動作するときと同じ姿勢を保つ。ここで同じ姿勢とは、水平面および鉛直面に対するロボットおよび基板容器保持部の基準面の姿勢である。これによって動作検査を行う場合に、搬送系ユニットを基板移載装置として動作する時と同じ姿勢を保つための架台を必要としない。したがって動作検査のための架台を用意したり、その架台に搬送系ユニットを乗せ下ろししたりする手間をなくすことができ、架台を用意するための費用と架台にフレームを乗せ下ろしするために必要な時間とを省くことができ、作業性をさらに向上することができる。

（１７）分割体は、本体構成体に形成される装着位置に装着される装着部と、
装着部を装着位置に案内する案内部とが形成されることを特徴とする搬送系ユニット。

分割体を、本体構成体に装着するにあたって、案内部によって案内されて、装着部が装着位置に装着される。これによって分割体と本体構成体を容易に位置合わせして組立てることができる。

（１８）予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板処理装置に対する基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部を構成し、基板移載装置の残余の部分となる本体構成体に対して着脱可能に形成される基板移載装置の分割体であって、
基板移載装置を構成する複数の構成体のうちで、基板の搬送に関連する複数の搬送構成体が固定される固定部と、
本体構成体に着脱可能に装着される装着部とを有し、
装着部が本体構成体に装着された場合に、固定部に固定される各搬送構成体が基板移載装置として位置すべき配置位置にそれぞれ配置されることを特徴とする分割体。

本体構成体から、分割体が分離した状態で、分割体に搬送構成機器が固定可能である。また各搬送構成機器が固定された分割体が本体構成体に装着されると、それらの搬送構成機器は、基板移載装置として位置すべき配置位置に配置される。たとえば搬送構成機器は、ロボット、フープオープナ、アライナなどによって実現される。

分割体の固定部に各搬送構成機器を固定することで、基板移載装置として組立てる前に、各搬送構成機器の互いの位置関係を位置合わせすることができる。そして各搬送構成機器が位置合わせされた分割体を、本体構成体に装着して基板移載装置を組立てる。これによって、基板移載装置の組立て後に、各搬送構成機器の位置関係を調整する調整作業を簡略化することができ、基板移載装置を短時間で組立てることができる。

本発明の第１実施形態である半導体処理設備２０を切断して示す断面図である。 半導体処理設備２０を簡略化して示す斜視図である。 図１に示す矢符Ａ３−Ａ３切断面線から切断して半導体処理設備２０を示す断面図である。 ＦＯＵＰ２５を示す斜視図である。 ウェハ移載装置２３を示す側面図である。 ウェハ移載装置２３の一部を残余の部分から分離させた状態を示す側面図である。 図３に示す矢符Ａ７−Ａ７切断面線から切断して搬送系ユニット２１を示す断面図である。 図３に示す矢符Ａ８−Ａ８切断面線から切断して搬送系ユニット２１を示す断面図である。 フレーム分割体５０の装着部を拡大して示す図である。 フレーム分割体５０の装着部を拡大して示す断面図である。 装着支援部材２６０を示す正面図である。 本発明の実施の一形態である搬送系ユニット２１の製造から出荷までの作業手順を示すフローチャートである。 本発明の第１実施形態であるウェハ移載装置２３の組立て手順を示すフローチャートである。 一部を切断して示すオープナ２６を示す側面図である。 オープナ２６を示す正面図である。 オープナ側ドア駆動機構６６を模式的に示す斜視図である。 図１５の矢符Ａ１７−Ａ１７から見たオープナ２６を示す図である。 図１５の矢符Ａ１８−Ａ１８から見たオープナ２６を示す図である。 図１４の矢符Ａ１９から見たオープナ２６を示す図である。 可動体９５の前後方向移動に連動したリンク部材９２の角変位状態を示す図である。

オープナ側ドア６５の開閉動作を示す図である。 本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。 本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。 オープナ２６の下方の空間にアクセス用ドア９６が形成される搬送系ユニット２１を示す図である。 本発明の第２実施形態であるオープナ２２６を示す図である。 接続部９３の移動軌跡９８の一例を示す図である。 他の実施形態のリンク部材角変位手段９１の一部を示す図である。 他の実施形態の可動体駆動手段９１を簡略化して示す図である。 本発明のさらに他の実施の形態である第２の搬送系ユニット１２１を示す断面図である。 本発明のさらに他の実施の形態である第３の搬送系ユニット２２１を示す断面図である。 従来技術の半導体処理設備１の一部を切断して示す断面図である。

符号の説明

２０ 半導体処理設備
２１ 搬送系ユニット
２２ ウェハ処理装置
２３ ウェハ移載装置
２４ ウェハ
２５ ＦＯＵＰ
２６ オープナ
２７ ロボット
３１ ＦＯＵＰ支持部
４３ ロボットの基部
５０ フレーム分割体
５１ 本体構成体
５２ 仕切り体
５３ 固定部
８０ オープナの基部
９６ アクセス用ドア

Claims (9)

1. 予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板処理装置に対して、基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部を構成し、基板移載装置の残余の部分となる本体構成体に対して着脱可能に形成される基板移載装置の搬送系ユニットであって、
   （ａ）前記本体構成体に対して着脱可能に形成され、基板移載装置のフレーム体の一部となるフレーム分割体と、
   （ｂ）基板を搬送可能なロボットであって、ロボット本体と、ロボット本体を前記フレーム分割体に固定するロボット基部とを有するロボットと、
   （ｃ）フレーム分割体に固定される基板容器オープナであって、オープナ本体と、オープナ本体をフレーム分割体に固定するオープナ基部とを有するオープナとを含み、
   前記フレーム分割体は、立方体箱状に形成されるフレーム本体部を有し、本体構成体に装着された場合に、固定されるロボットおよび基板容器オープナが基板移載装置の一部として位置すべき配置位置にそれぞれ配置されるように形成され、
   前記フレーム本体部は、フレーム本体部の上下方向に延びる側壁部分に形成され、前記ロボット基部が固定されるロボット固定部と、フレーム本体部の上面部分に形成され、前記オープナ基部が固定されるオープナ固定部とを含み、ロボット基部が固定された状態では、ロボット基部を介してロボット本体から力が与えられる場合に、基板を移載するのに許容されるロボット許容変形量を超えてロボット基部が変形することを防ぐ剛性を有し、オープナ基部が固定された状態では、オープナ基部を介してオープナ本体から力が与えられる場合に、基板を移載するのに許容されるオープナ許容変形量を超えてオープナ基部が変形することを防ぐ剛性を有し、
   前記ロボット基部は、ロボット固定部の上下方向一端部から他端部にわたって延び、ロボット固定部に固定され、ロボット固定部に固定されない状態では、ロボット本体から力が与えられる場合に、前記ロボット許容変形量を超える変形を許容する剛性を有し、
   前記オープナ基部は、オープナ本体から与えられる力がフレーム分割体へ伝わることを許容し、オープナ固定部に固定されない状態では、オープナ本体から力が与えられる場合に、前記オープナ許容変形量を超える変形を許容する剛性を有することを特徴とする基板移載装置の搬送系ユニット。
2. 前記オープナ本体は、基板が収容される基板容器を支持する容器支持部を有し、
   前記フレーム分割体は、容器支持部のうちで基板移載装置の外方空間に露出する側面に対して、略面一な側面を有することを特徴とする請求項１記載の基板移載装置の搬送系ユニット。
3. ロボットおよび基板容器オープナは、前記フレーム分割体から着脱可能に構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の基板移載装置の搬送系ユニット。
4. 前記フレーム体が本体構成体に装着された場合に、ロボットのうちフレーム体に対して可動する可動部分が配置される可動空間と、ロボットのうちフレーム体に対して固定される基部が配置される固定空間とを仕切る仕切り体をさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の基板移載装置の搬送系ユニット。
5. 前記フレーム体にはアクセス用ドアが形成され、本体構成体に装着された状態でアクセス用ドアが開放状態となることで、基板処理装置の外方空間と前記固定空間とを直接連通することを特徴とする請求項４記載の基板移載装置の搬送系ユニット。
6. 固定空間には、基板移載装置を調整するための調整手段が、アクセス用ドアの開口部近傍に配置されることを特徴とする請求項５記載の基板移載装置の搬送系ユニット。
7. 本体構成体から分離された状態で、基板移載装置として動作するときと同じ動作が可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の基板移載装置の搬送系ユニット。
8. ロボットは、前記可動空間に露出する可動空間露出部分のほうが、前記固定空間に露出する固定空間露出部分よりも、低発塵処理が施されることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１つに記載の基板移載装置の搬送系ユニット。
9. 請求項１〜８のいずれか１つに記載の基板移載装置の搬送系ユニットを備える基板移載装置。

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