JP5083278B2 - 装置前自動倉庫 - Google Patents

Description

本発明は、自動倉庫、特に、搬送装置と処理装置との間で物品を保管する装置前自動倉庫に関する。

半導体や液晶の製造工場では、シリコンウェハやガラスプレート等の基板上に薄膜形成、酸化、エッチング等の種々の処理構成を経て基板上に半導体デバイスや液晶デバイスが形成される。この種の処理装置の間では、カセット（物品の一例）に基板が収納されてカセット単位で自動搬送台車により搬送される。処理装置と搬送装置との受け渡し場所には、搬送装置と処理装置との間の処理時間を調整するために装置前自動倉庫と呼ばれるバッファが設けられている（例えば、特許文献１参照）。

従来の装置前自動倉庫は、上下に間隔を隔てて配置されたカセット保管用の複数の棚と、各棚の間で物品を受け渡し可能な移載装置と、を備えている。棚は上下に間隔を隔てて配置されており、最も上の棚が搬送装置である自動搬送台車とのカセット受け渡し場所になっている。そして、最も下の棚の下方に処理装置とのカセット受け渡しポートが配置されている。この受け渡しポートで処理装置によりカセット内から基板が取り出され、処理装置で基板が処理される。

移載装置は、棚の処理装置と逆側に面して配置され、各棚間及び各棚と受け渡しポートとの間でカセットを移載する。このような装置前自動倉庫を設けることにより、処理装置や搬送装置のトラブルによりカセットの供給又は搬出が滞ってもシステムダウンすることなく連続して物品を搬入及び搬出することができる。

特開２００１−２９８０６９号公報

このような構成の装置前自動倉庫では、処理装置及びその受け渡しポートのメンテナンス時に、装置前自動倉庫がじゃまになることがある。この場合、メンテナンス中は、装置前自動倉庫を取り外す必要が生じる。従来の装置前自動倉庫では、このような場合、取り外しや取り付けに手間がかかり処理装置の稼働停止時間が長くなるおれがある。

本発明の課題は、装置前自動倉庫において、処理装置のメンテナンス時の稼働停止時間を可及的に短縮できるようにすることにある。

本発明に係る装置前自動倉庫は、処理装置の物品受け渡し部に近接して設けられた自動倉庫である。装置前自動倉庫は、複数の棚と、移載装置と、移動体と、を備えている。複数の棚は、物品受け渡し部に対して平面視で重なる上方の位置に設けられている。移載装置は、複数の棚間で移動可能であり、複数の棚と物品受け渡し部との間で物品を移載する。移動体は、移載装置及び複数の棚を移動可能な移動体であり、複数の棚が物品受け渡し部に対して平面視で重なる上方の位置に配置される第１位置と、物品受け渡し部から第１水平方向に離れた第２位置との間で移動可能である。複数の棚が第２位置にあるときは、物品受け渡し部の上方には複数の棚が配置されておらず、前記物品受け渡し部から又は前記物品受け渡し部への物品の移載が可能になる。
この装置前自動倉庫では、複数の棚に物品が供給され、棚の間及び棚と物品受け渡し部との間で移載装置により物品が移載される。そして、処理装置のメンテナンスの際には、移動体を第１位置から第２位置に移動させる。すると、複数の棚と移載装置が移動体とともに移動する。メンテナンスが終わると、移動体を第２位置から第１位置に戻す。
ここでは、複数の棚及び移載装置をメンテナンスするときに、複数の棚及び移載装置を第１位置から第２位置に移動させるだけで、処理装置から取り外すことができる。
装置前自動倉庫のメンテナンス中に、処理が必要な物品が例えば自動搬送装置によって搬入されたり、物品受け渡し部に処理済みの物品が搬入されることがある。この場合、物品は、物品受け渡し部と自動搬送装置との間で直接移載される。このように、物品受け渡し部と自動搬送装置とで物品を直接移載できるので、装置前自動倉庫のメンテナンス中に、処理装置の稼働を停止させる必要がない。

移動体は、複数の車輪を有し、移載装置及び複数の棚全部を移動可能であってもよい。
この場合には、装置前自動倉庫全体を取り外すことができるので、メンテナンスを行いやすくなる。

移動体を第２位置で停止可能でありかつ停止解除可能なストッパ部をさらに備えてもよい。
この場合に、移動体の移動範囲が第１位置と第２位置との間に設定されるので、電気配線を外さなくてもよい位置を第２位置に設定することにより、メンテナンス時に移動体を移動させるだけでよい。このため、移動体の取り付けがさらに容易になり、メンテナンス終了後に迅速に処理装置を稼働できる。

第１位置から第２位置の間の少なくとも第１位置を含む部分的な領域で、移動体を水平方向に案内する案内機構をさらに備えてもよい。
この場合には、移動体が案内機構により第１位置を含む部分的な領域で案内されるので、移動体を第１位置に容易に取り付けることができる。

移動体と移動体が移動する床面とを連結して移動体の転倒を防止する転倒防止部をさらに備えてもよい。
この場合には、取り外し及び取り付け時に移動体が転倒しにくくなるので、移動体の取り外し及び取り付け作業の作業性を向上させることができる。

移動体を第１位置で第１水平方向及び第１水平方向と直交する第２水平方向に位置決めする位置決め機構をさらに備えてもよい。
この場合には、移動体が第１位置で設置面の直交する第１水平方向及び第２水平ほ方向に位置決めされるので、メンテナンス後に移動体を第１位置に戻すときに、移動体の位置の調整が不要になり、移動体を迅速に精度良く第１位置に配置できる。このため、メンテナンス終了後にさらに迅速に処理装置を稼働できる。

本発明によれば、受け渡し部の上方の棚及び移載装置を、メンテナンス時に第１位置から移動させるだけで、取り外すことができる。また、メンテナンスが終わると、移動体を第１位置に戻すことにより棚と移載装置とを取り付けることができる。このため、棚と移載装置との取り外し時間及び取り付け時間を短縮できる。この結果、装置前自動倉庫において、処理装置のメンテナンス時の稼働停止時間を可及的に短縮できるようになる。

本発明の一実施形態による装置前自動倉庫の正面斜視図。 第２位置に移動したときの装置前自動倉庫の背面斜視図。 その外壁パネルを除いた正面図。 その側面断面図。 フレーム下部の拡大一部断面図。 位置決め機構周辺の正面拡大図。 位置決め機構周辺の側面一部断面拡大図。 案内機構周辺の正面一部断面拡大図。 案内機構の案内レールの平面部分図。 第２位置に移動したときの装置前自動倉庫の平面図。

（１）自動倉庫の全体構成
図１から図４において、本発明の一実施形態による装置前自動倉庫１０は、例えば、図示しない天井走行の自動搬送台車と処理装置の一例である半導体処理装置１２（図３）との間に配置されるものである。装置前自動倉庫１０は、半導体処理装置１２の外周に配置された受け渡しポート１４に重なるように配置されている。受け渡しポート１４は、例えば、４個のカセット載置台１４ａを有している。

装置前自動倉庫１０は、図示しない自動搬送台車から搬入され半導体処理装置１２で処理される処理前の複数枚の基板を収納するカセット（物品の一例）Ｃを保管する。自動搬送台車は、昇降台を昇降させてカセットＣを移載する。自動搬送台車は、装置前自動倉庫１０の上方で停止して昇降台を下降させ、後述する棚２４又は受け渡しポート１４との間でカセットＣを移載する。
装置前自動倉庫１０は、半導体処理装置１２で処理され自動搬送台車で搬出される処理済みの基板が収納されたカセットＣも保管する。装置前自動倉庫１０は、フレーム２０と、フレーム２０の外側面を囲むように配置された外壁パネル２２と、カセットＣ載置用の棚２４と、移載装置２６と、を備えている。フレーム２０は、移動体の一例であり、棚２４が受け渡しポート１４の上方に配置される、図１及び図３に示す第１位置から受け渡しポート１４に対して接近及び離反する第１水平方向であるＸ方向に棚２４とともに移動可能かつ第１位置で固定可能である。なお、受け渡しポート１４の上方又は下方は、平面視で棚２４が受け渡しポート１４と重なるように配置された状態をいう。移載装置２６は、カセットＣを、複数の棚２４と、複数のカセット載置台１４ａとの間で搬送する。また、装置前自動倉庫１０は、フレーム２０を第１位置で位置決めする位置決め機構２５と、フレーム２０をＸ方向に案内する案内機構２７と、フレーム２０を第１位置から離反した図２に示す第２位置に停止可能かつ停止解除可能なストッパ機構２９と、フレーム２０の転倒を防止する転倒防止機構３１と、をさらに備えている。

（２）フレーム及び外壁パネルの構成
フレーム２０は、図２及び図３に示すように、四隅に配置された４本の柱部材２０ａと、柱部材２０ａを前後左右に連結する連結部材２０ｂと、柱部材２０ａの下端に配置された２つの底板部材２０ｃと、を有している。なお、左右をつなぐ連結部材２０ｂは、主に半導体処理装置１２側である背面に配置されており、正面には配置されていない。２つの底板部材２０ｃは、それぞれＸ方向に沿って配置され、フレーム２０のＸ方向と直交する第２水平方向であるＹ方向の両端に配置されたそれぞれ２本の柱部材２０ａの下端を連結している。底板部材２０ｃの両端の下面には、Ｘ方向に間隔を隔てて２つの車輪２１がそれぞれ取り付けられている。これにより、フレーム２０は、Ｘ方向に移動可能である。

フレーム２０には、図１０に示すように、制御盤３３が設けられている。制御盤３３と床面との間には、電気配線がケーブルベア３５内を通って配線されている。ケーブルベア３５の移動可能距離は、後述する所定ストロークＳＴである。この所定ストロークＳＴは、例えば、９５０ｍｍである。なお、ケーブルベア３５は、第１位置にフレーム２０があるときには、受け渡しポート１４の前方にコンパクトに収納されている。

フレーム２０の下部に半導体処理装置１２の受け渡しポート１４が配置されている。受け渡しポート１４は、カセットＣを載置可能である。半導体処理装置１２では、カセットＣを開けて、内部に収納された、例えば円形の基板に処理を施し、処理済みの基板をカセットＣに収納する。
外壁パネル２２は、装置前自動倉庫１０の正面及び左右の側面を覆うとともに、背面の上部を覆うように形成されている。

（３）棚の構成
棚２４は、上下方向及び左右方向に配置されている。この実施形態では、左右に３列、上下に３段の合計９個設けられている。棚２４は、上面にカセットＣを位置決めして載置可能である。棚２４は、フレーム２０のＹ方向に配置された連結部材２０ｂに固定されている。Ｙ方向において、棚２４の間に移載装置２６が上下に通過可能な鉛直通路３０ａが設けられている。この実施形形態では、棚２４は、Ｙ方向において、棚２４、鉛直通路３０ａ、棚２４、鉛直通路３０ａ、棚２４の順に並んでおり、すべての棚２４が鉛直通路３０ａに面している。これにより、移載装置２６がすべての棚２４及び受け渡しポート１４との間でカセットＣを移載できる。棚２４には、カセットＣを識別するカセット読み取り器（図示せず）が設けられている。最上段の棚２４は、自動搬送台車とのカセットＣの受け渡しに使用される。最下段の棚２４と受け渡しポート１４との間は、水平通路３０ｂとなっている。

（４）移載装置の構成
移載装置２６は、水平レール３２と、水平レール３２に沿って移動する鉛直レールと、鉛直レール３４に沿って各別に移動する移載ヘッド３６と、を備えている。水平レール３２は、棚２４の正面側に棚２４と隙間を空けて水平方向に配置されている。移載装置２６は、左右方向に沿った水平軸及び鉛直軸の二軸を有する装置であり、カセットＣを水平軸方向の移動で保持可能である。

図３に示すように、水平レール３２は、左右方向に沿って配置されている。水平レール３２は、図３及び４に示すように、上レール部材４０ａ及び下レール部材４０ｂと、を有している。上レール部材４０ａ及び下レール部材４０ｂには、図示しない歯付きベルトがそれぞれ巻回されている。歯付き部ベルトは、上レール部材４０ａに固定された水平駆動モータ４４により駆動される。なお、水平駆動モータ４４の回転力は、連結軸５４を介して下レール部材４０ｂにも伝達される。上下の歯付きベルトに鉛直レール３４が固定されている。

鉛直レール３４は、図３に示すように、鉛直レール３４と、移載ヘッド３６を鉛直方向に駆動するための鉛直駆動モータ５０と、を有している。これらの構造は、水平レール３２の上レール部材４０ａと同様である。移載ヘッド３６は、図示しない歯付きベルトに固定されている。

移載ヘッド３６には、図４に示すように、カセットＣの上面に突出して形成された突起部Ｃ１を保持可能な１対の保持部３６ａが左右方向（図４紙面直交方向）に開閉可能に配置されている。また、移載ヘッド３６のカセットＣに対向可能な位置には、カセットＣを識別するためのカセット識別センサ３６ｂが設けられている。移載ヘッド３６は、保持部３６ａを開閉する図示しないヘッドモータを有している。移載ヘッド３６は、棚２４に対する搬入時及び搬出時には、保持部３６ａを開閉して突起部Ｃ１を保持解除及び保持する。移載ヘッド３６は、水平レール３２及び鉛直レール３４に案内されて、２つの鉛直通路３０ａ及び水平通路３０ｂを移動する。

（５）位置決め機構の構成
位置決め機構２５は、図５に示すように、フレーム２０のＹ方向の両端に配置された底板部材２０ｃの下面と床面との間に配置されている。位置決め機構２５は、第１位置で底板部材２０ｃの下方で床面に固定された２つの固定板６０と、固定板６０の正面側の端部上面に配置された第１位置決めブロック６２と、底板部材２０ｃの正面側の端部下面に配置された第２位置決めブロック６４と、を備えている。第２位置決めブロック６４は、第１位置決めブロック６２に正面側から当接する。第２位置決めブロック６４は、正面から挿入される固定ボルト６６により第１位置決めブロック６２に固定される。第２位置決めブロック６４の固定ボルト６６貫通部分には、円形の凹部６４ａが形成されている。この凹部６４ａ内において、固定ボルト６６には、例えば弾性体製の抜け止めリング６８が装着されている。これにより、フレーム２０を移動させる際に固定ボルト６６を緩めて第１位置決めブロック６２から外れても落ちないようになっている。この第１位置決めブロック６２に第２位置決めブロック６４を当接させることにより、フレーム２０を第１位置でＸ方向に位置決めできる。なお、第１位置決めブロック６２には、フレーム２０が第１位置に戻ったときにオンするリミットスイッチ６９が接触する検出部６２ａが凹んで形成されている。リミットスイッチ６９は、底板部材２０ｃに固定されている。なお、Ｙ方向の位置決めについては、後述する案内機構２７の一部の構成を利用して行う。したがって、案内機構２７の一部の構成も位置決め機構２５を構成する。

案内機構２７は、図８から図１０に示すように、第１位置を含む部分的な領域でフレーム２０をＸ方向に案内する。固定板６０に立設された案内ローラ７０と、案内ローラ７０に係合して案内される案内レール７２と、を有している。案内ローラ７０は、２つの固定板６０の一方に設けられている。この実施形態では、図１０右側の固定板６０の第１位置決めブロック６２の奥側の上面に立設されている。案内ローラ７０は、図１０に示すように、固定板６０に立設された案内軸７０ａと、案内軸７０ａにねじ込まれたカムフォロア７０ｂと、を有している。

案内レール７２は、案内ローラ７０が立設された底板部材２０ｃの下面にＸ方向に沿って配置されている。案内レール７２のＸ方向の全長は所定距離ＳＴより短い。案内レール７２は、図９に示すように、第１レール部材７４と、第１レール部材７４とＸ方向に並べて配置された第２レール部材７６と、を有している。第１レール部材７４は、カムフォロア７０ｂの外周面を挟んで対向して配置された１対の第１案内部７４ａと、第１案内部７４ａの下面にカムフォロア７０ｂの下面に対向するように配置された１対の第１対向部７４ｂと、を有している。第１案内部７４ａと第１対向部７４ｂとで、断面がＬ字形に形成され、カムフォロア７０ｂを覆うように形成されている。第１案内部７４ａは、案内ローラ７０によりフレーム２０をＸ方向に案内するものである。第１対向部７４ｂは、案内中のフレーム２０の転倒を防止するものである。これらは、ボルトにより底板部材２０ｃに固定されている。第１案内部７４ａは、カムフォロア７０ｂの外周面との隙間が、例えば１ｍｍ程度になるように配置されている。第１案内部７４ａの入り口（図９上側）は、第２位置から第１位置に戻るときに隙間が徐々に狭くなるように正面側に向かって広がっている。

第２レール部材７６は、Ｙ方向の位置決めを行うために設けられている。このため、第２レール部材７６は、案内機構２７だけではなく位置決め機構２５としても機能する。第２レール部材７６は、概ね正方形の部材であり、第２案内部７６ａと第２対向部７６ｂとを有している。第２案内部７６ａは、カムフォロア７０ｂの外周面との隙間が、例えば０．３ｍｍ程度になるように配置されている。これにより、フレーム２０がＹ方向に位置決めされる。第２案内部７６ａと第２対向部７６ｂは、第１案内部７４ａ及び第１対向部７４ｂと同様な機能を有しており、ボルトにより底板部材２０ｃの下面に固定されている。第２案内部７６ａは、一端が開口しているが他端は閉じている。第１レール部材７４と第２レール部材７６との連結部分には僅かな隙間が形成されている。この連結部分では、第１案内部７４ａは僅かに末広がりに形成され、第２案内部７６ａは僅かに先細りに形成されている。

（６）ストッパ機構の構成
ストッパ機構２９は、案内機構２７から外れた位置でのフレーム２０の転倒を防止する機能も有している。ストッパ機構２９は、スコットラッセルリンクと呼ばれる左右１対のリンク機構７８で構成されている。リンク機構７８は、第１リンク８２と、第１リンク８２の中間部に一端が連結された第２リンク８４と、を有している。第１リンク８２は、固定板６０の背面側の端部に回動自在に一端が連結され、他端がフレーム２０の背面に上下方向に沿って配置されたスライドレール８０に上下に案内される。第２リンク８４は、他端が底板部材２０ｃの背面側の端部に回動自在に連結されている。このような構成のリンク機構７８では、フレーム２０が概ね平行移動する。また、スライドレール８０は、第１リンク８２の他端の下方への移動を途中で規制するように形成されている。これにより、フレーム２０の移動範囲が規制される。フレーム２０は、この実施形態では、メンテナンスに必要な最小限のストロークとして、第１位置と第２位置との間の所定ストロークＳＴは、前述したように、例えば９５０ｍｍである。すなわち、フレーム２０は、背面側から押圧して第１位置から９５０ｍｍだけ移動すると第２位置で停止する。第２位置にあるフレーム２０を正面側から押圧すると停止が解除して第１位置に向かって移動させることができる。
また、ストッパ機構２９は、その途中で案内機構２７に案内されるまでフレーム２０の転倒を防止する転倒防止機構３１としても機能する。なお、ストッパ機構２９で規制された移動範囲外にフレーム２０を移動させるときは、ケーブルベア３５及び電気配線とリンク機構７８とを外し、ストッパ機構２９による規制を解除する。

（７）装置前自動倉庫の動作及び移動動作
このように構成された装置前自動倉庫１０では、図示しない自動搬送台車がカセットＣを最上段の棚２４のいずれかに搬入する。搬入されたカセットＣは、搬入された最上段の棚２４が面する鉛直通路３０ａから下方の２列の２段の棚２４のいずれかに移載される。そして、半導体処理装置１２からの要求により、受け渡しポート１４にさらに移載される。この移載時には、移載ヘッド３６を、保持部３６ａを開けた状態で移載対象のカセットＣの中心の上方に移動させる。このとき、移載ヘッド３６を移載対象のカセットＣが面する鉛直通路３０ａに移動させ、鉛直レール３４に沿って昇降させる。そしてカセットＣの上方に到達すると、水平レール３２に沿って水平にカセットＣの中心に移動させる。そして、移載ヘッド３６を下降させ、ヘッドモータにより保持部３６ａを閉じて突起部Ｃ１を保持部３６ａで保持する。これにより突起部Ｃ１が保持され、カセットＣを移載することができる。そして、最上段の棚２４からその下方の２段の棚２４のいずれかにカセットＣを移載する。また、移載命令によっては、受け渡しポート１４のカセット載置台１４ａに直接移載する。

一方、半導体処理装置１２のメンテナンス又は装置前自動倉庫１０のメンテナンス等でフレーム２０を第１位置から取り外す場合、正面下部に配置された固定ボルト６６を緩めて第１位置決めブロック６２から第２位置決めブロック６４を外す。このとき、固定ボルト６６は、抜け止めリング６８により抜け止めされ、脱落しない。この状態でフレーム２０の背面側を人手により押圧してフレーム２０を第１位置から第２位置に向けて移動させる。すると、リンク機構７８の第１リンク８２の他端がフレーム２０の背面でスライドレール８０に沿って徐々に下降する。また、案内ローラ７０に案内レール７２に案内されフレーム２０がＸ方向に沿ってあまりがたつくことなく移動する。フレーム２０が第２位置に到達すると、リンク機構７８の第１リンク８２がスライドレール８０の下端で規制されそれ以上下降できなくなる。この結果、フレーム２０のＸ方向の移動が停止する。このとき、ケーブルベア３５により配線が案内されるので、配線を外す必要がない。
装置前自動倉庫１０のメンテナンス中に、処理が必要なカセットＣが自動搬送装置によって搬入されたり、受け渡しポート１４に処理済みのカセットＣが搬入されたりすることがある。この場合、カセットＣは、受け渡しポート１４と自動搬送装置との間で直接移載される。このように、受け渡しポート１４と自動搬送装置とでカセットＣを直接移載できるので、装置前自動倉庫１０のメンテナンス中に、半導体処理装置１２の稼働を停止させる必要がない。

半導体処理装置１２のメンテナンスが終わると、フレーム２０の正面側を人手により押圧する。このとき、案内ローラ７０に案内レール７２が係合するまでは、リンク機構７８が転倒を防止する。また、左右１対のリンク機構７８がフレーム２０を平行移動させる。案内ローラ７０に案内レール７２が係合すると、案内ローラ７０によりフレーム２０がＸ方向に案内される。また、案内ローラ７０によりフレーム２０の転倒を防止できる。そして、２つの第１位置決めブロック６２に２つの第２位置決めブロック６４が各別に当接すると、Ｘ方向の位置決めが完了する。また、このとき、案内ローラ７０が案内レール７２の第２レール部材７６に係合する。これにより、フレーム２０のＹ方向の位置決めも行われる。この状態で、２本の固定ボルト６６を締め付けて第１位置決めブロック６２に第２位置決めブロック６４を固定すると、取り付け作業が完了する。このとき、リミットスイッチ６９がオンして、取り付け作業が完了したことを半導体処理装置１２等に報知する。

（８）特徴
（Ａ）装置前自動倉庫１０は複数の棚２４と、移載装置２６と、移動可能なフレーム２０と、を備えている。複数の棚２４は、半導体処理装置１２の外周に面しかつ半導体処理装置１２との受け渡しポート１４の上方に少なくとも１つが設けられている。移載装置２６は、複数の棚２４に沿って移動して複数の棚２４と受け渡しポート１４との間でカセットＣを移載する。フレーム２０は、移載装置２６及び複数の棚２４のうち少なくとも１つの棚が設けられ、棚２４が受け渡しポート１４の上方に配置される第１位置から受け渡しポート１４に対して接近及び離反するするＸ方向に移動可能かつ第１位置で固定可能である。

この装置前自動倉庫１０では、複数の棚２４にカセットＣが供給され、棚２４の間及び棚２４と受け渡しポート１４との間で移載装置２６によりカセットＣが移載される。そして、半導体処理装置１２のメンテナンスの際には、フレーム２０を第１位置から離反する方向に移動させる。すると、受け渡しポート１４の上方に設けられた棚２４と移載装置２６がフレーム２０とともに移動する。メンテナンスが終わると、フレーム２０を第１位置に接近する方向に移動させて第１位置に戻す。

ここでは、受け渡しポート１４の上方の棚２４及び移載装置２６を、メンテナンス時にフレーム２０を第１位置から移動させるだけで、取り外すことができる。また、メンテナンスが終わると、フレーム２０を第１位置に戻すことにより、受け渡しポート１４の上方の棚２４と移載装置２６とを取り付けることができる。このため、少なくとも１つ棚２４と移載装置２６との取り外し時間及び取り付け時間を短縮できる。この結果、装置前自動倉庫１０において、半導体処理装置１２のメンテナンス時の稼働停止時間を可及的に短縮できるようになる。

（Ｂ）フレーム２０は、複数の車輪２１を有し、移載装置２６及び複数の棚２４全部を移動可能である。このため、装置前自動倉庫１０全体を取り外すことができるので、メンテナンスを行いやすくなる。

（Ｃ）フレーム２０を第１位置から離反した第２位置で停止可能でありかつ停止解除可能なストッパ機構２９をさらに備えている。このため、フレーム２０の移動範囲が第１位置と第２位置との間に設定されるので、電気配線を外さなくてもよい位置を第２位置に設定することにより、メンテナンス時にフレーム２０を移動させるだけでよい。このため、フレーム２０の取り付けがさらに容易になり、メンテナンス終了後に迅速に半導体処理装置１２を稼働できる。

（Ｄ）第１位置と第２位置との間の第１位置を含む部分的な領域で、フレーム２０をＸ方向に案内する案内機構２７をさらに備えている。このため、フレーム２０が案内機構２７により第１位置を含む部分的な領域で案内されるので、フレーム２０を第１位置に容易に取り付けることができる。

（Ｅ）フレーム２０とフレーム２０が移動する床面とを連結してフレーム２０の転倒を防止する転倒防止機構３１をさらに備えている。このため、取り外し及び取り付け時にフレーム２０が転倒しにくくなるので、フレーム２０の取り外し及び取り付け作業の作業性を向上させることができる。

（Ｆ）フレーム２０を第１位置でＸ方向及びＸ方向と直交するＹ方向に位置決めする位置決め機構２５をさらに備えている。このため、フレーム２０が第１位置で設置面の直交するＸ方向及びＹ方向に位置決めされるので、メンテナンス後にフレーム２０を第１位置に戻すときに、フレーム２０の位置の調整が不要になり、フレーム２０を迅速に精度良く第１位置に配置できる。このため、メンテナンス終了後にさらに迅速に処理装置を稼働できる。

（９）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（ａ）前記実施形態では、棚２４の前部を及び移載装置２６をフレームに固定し、すべて機棚を移動させたが、本発明はこれに限定されない。例えば、フレームを固定フレームと移動フレームに分け、受け渡しポートの上方に配置されていない棚を固定フレームに固定してもよい。この場合は、メンテナンス時に自動倉庫全体を移動させなくてもよいので、フレームの移動が容易である。
（ｂ）前記実施形態では、案内機構を左右の一方にのみ、設けたが左右の両方に設けてもよい。この場合には、左右の両側で案内できるので、Ｘ方向及びＹ方向の二方向の位置決めを案内機構で行える。
（ｃ）前記実施形態では、案内機構を案内ローラと案内レールとで構成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、伸縮するレールやパンタグラフにより案内機構及びストッパ機構を構成してもよい。
（ｄ）前記実施形態では、フレーム２０を車輪により移動可能に構成したが、車輪に代えて球面受け部材や低摩擦部材を用いてフレームを移動可能に構成してもよい。

本発明は、棚と移載装置とを有し、物品を保管する装置前自動倉庫に広く適用可能である。

１０ 装置前自動倉庫
１２ 半導体処理装置
１４ 受け渡しポート
１４ａ カセット載置台
２０ フレーム
２０ａ 柱部材
２０ｂ 連結部材
２０ｃ 底板部材
２１ 車輪
２２ 外壁パネル
２４ 棚
２５ 位置決め機構
２６ 移載装置
２７ 案内機構
２９ ストッパ機構
３０ａ 鉛直通路
３０ｂ 水平通路
３１ 転倒防止機構
３２ 水平レール
３３ 制御盤
３４ 鉛直レール
３５ ケーブルベア
３６ 移載ヘッド
３６ａ 保持部
３６ｂ カセット識別センサ
４０ａ 上レール部材
４０ｂ 下レール部材
４４ 水平駆動モータ
５０ 鉛直駆動モータ
５４ 連結軸
６０ 固定板
６２ 第１位置決めブロック
６２ａ 検出部
６４ 第２位置決めブロック
６４ａ 凹部
６６ 固定ボルト
６８ 抜け止めリング
６９ リミットスイッチ
７０ 案内ローラ
７０ａ 案内軸
７０ｂ カムフォロア
７２ 案内レール
７４ 第１レール部材
７４ａ 第１案内部
７４ｂ 第１対向部
７６ 第２レール部材
７６ａ 第２案内部
７６ｂ 第２対向部
７８ リンク機構
８０ スライドレール
８２ 第１リンク
８４ 第２リンク
Ｃ カセット
Ｃ１ 突起部

Claims (6)

1. 処理装置の物品受け渡し部に近接して設けられた自動倉庫であって、
   前記受け渡し部に対して平面視で重なる上方の位置に設けられた複数の棚と、
   前記複数の棚間で移動可能であり、前記複数の棚と前記物品受け渡し部との間で前記物品を移載する移載装置と、
   前記移載装置及び前記複数の棚を移動可能な移動体であり、前記複数の棚が前記物品受け渡し部に対して平面視で重なる上方の位置に配置される第１位置と、前記複数の棚が前記物品受け渡し部から第１水平方向に離れた第２位置との間で移動可能であり、前記第１位置で固定可能な移動体と、を備え、
   前記複数の棚が前記第２位置にあるときは、前記物品受け渡し部の上方には前記複数の棚が配置されておらず、前記物品受け渡し部から又は前記物品受け渡し部への物品の移載が可能になる、
   装置前自動倉庫。
2. 前記移動体は、複数の車輪を有し、前記移載装置および前記複数の棚全部を移動可能である、請求項１に記載の装置前自動倉庫。
3. 前記移動体を前記第２位置で停止可能かつ停止解除可能なストッパ部をさらに備える、請求項１又は２に記載の装置前自動倉庫。
4. 前記第１位置から前記第２位置の間の前記第１位置を含む部分的な領域で、前記移動体を前記第１水平方向に案内する案内機構をさらに備える、請求項３に記載の装置前自動倉庫。
5. 前記移動体と前記移動体が移動する床面とを連結して前記移動体の転倒を防止する転倒防止部をさらに備える、請求項２から４のいずれか１項に記載の装置前自動倉庫。
6. 前記移動体を前記第１位置で前記第１水平方向及び前記第１水平方向と直交する第２水平方向に位置決めする位置決め機構をさらに備える、請求項２から５のいずれか１項に記載の装置前自動倉庫。

Images