201103845 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明，是有關於自動倉庫，特別是，在搬運裝置:¾ 處理裝置之間保管物品的自動倉庫。 【先前技術】 在半導體和液晶的製造工場中，在矽晶圓和玻璃托& 等的基板上經過薄膜形成、氧化、蝕刻等的各種的處理構 成而在基板上形成半導體裝置和液晶裝置。在這種的處理 裝置之間，基板是由被收納在卡匣（物品的一例）並以卡 匣單位藉由自動搬運台車被搬運。在處理裝置及搬運裝置 的交接場所中，爲了調整搬運裝置及處理裝置之間的處理 時間而設有被稱爲裝置前自動倉庫的暫存器（例如專利文 獻1參照）。 習知的裝置前自動倉庫，具備：在上下隔有間隔地被 配置的卡匣保管用的複數棚、及在各棚之間可將物品交接 的移載裝置。 棚是上下隔有間隔地被配置，最上的棚是成爲與搬運 裝置也就是自動搬運台車的卡匣交接場所。且，在最下的 棚的下方，配置有與處理裝置的卡匣交接埠。由此交接埠 藉由處理裝置從卡匣內將基板取出，由處理裝置進行基板 的處理。 移載裝置，是面向棚的處理裝置相反側被配置，在各 [S] 棚之間以及各棚及交接埠之間移載卡匣。 -5- 201103845 藉由設置這種裝置前自動倉庫，即使因爲處理裝置和 搬運裝置的問題而使卡匣的供給或是搬出滯塞，也不會系 統當機而可以連續地將物品搬入及搬出。 〔先行技術文獻〕 〔專利文獻〕 〔專利文獻1〕日本特開2001-298069號公報 【發明內容】 (本發明所欲解決的課題） 在這種構成的裝置前自動倉庫中，當處理裝置及其交 接埠的維修時，裝置前自動倉庫會成爲妨礙。此情況，在 維修中’需要將裝置前自動倉庫取下。在習知的裝置前自 動倉庫中’這種情況，在取下和安裝很耗費勞力和時間， 而有可能使處理裝置的運轉停止時間變長。 本發明的課題，是對於裝置前自動倉庫，可以將處理 裝置的維修時的運轉停止時間儘可能地短縮。 (用以解決課題的手段） 以下，對於解決課題用的手段雖說明複數態樣。但這 些態樣，可以依據需要任意地組合。 本發明的裝置前自動倉庫，是與具有至少1個交接部 的處理裝置一起使用的自動倉庫，具備：複數棚、及移載 裝置、及移動體。複數棚，是在處理裝置面向且在交接部 的上方設有至少1個。移載裝置，是在複數棚及交接部之 -6- - 201103845 間移載物品。移動體’是將移載裝置及複數棚之中交接部 的上方中的至少1個棚可移動，至少1個棚是接近被配置 於交接部的上方的第1位置及遠離第1位置的方式朝第1 水平方向可移動。 在此裝置前自動倉庫中’物品是被供給於複數棚，在 棚之間及棚與父接部之間藉由移載裝置使物品被移載。且 ’處理裝置的維修時’是將移動體朝遠離第1位置的第1 水平方向移動。如此的話’被配置於交接部的上方的棚及 移載裝置會與移動體一起移動》維修完成的話，將移動體 朝接近第1位置的第1水平方向移動並返回至第1位置。 在此，將交接部的上方的棚及移載裝置，在維修時只 從第1位置移動，就可以取下。且，維修完成的話，藉由 將移動體返回至第1位置就可以安裝棚及移載裝置。因此 ’可以短縮棚及移載裝置的取下時間及安裝時間。此結果 ’對於裝置前自動倉庫’可以將處理裝置的維修時的運轉 停止時間儘可能地短縮。 移動體，具有複數車輪也可以。 移動體’是可將移載裝置及複數棚全部移動也可以。 此情況’因爲可以將裝置前自動倉庫整體取下，所以 容易進行維修。 進一步具備可將移動體停止於從第1位置遠離的第2 位置且可將停止解除之停止器部也可以。 此情況時，移動體的移動範圍因爲被設定在第1位置 及第2位置之間’所以藉由將不取下電氣配線也可以的位 201103845 置設定於第2位置，在維修時只移動體移動即可。因此， 移動體的安裝更容易，在維修終了後可以迅速地使處理裝 置運轉》 進一步具備在從第1位置至第2位置之間的至少包含 第1位置的部分的領域將移動體朝水平方向導引之導引機 構也可以。 此情況’因爲移動體是藉由導引機構在包含第1位置 的部分的領域被導引，所以可以容易地移動體安裝在第1 位置。 進一步具備將移動體、及移動體所移動的地面連結來 防止移動體的倒下的倒下防止部也可以。 此情況，在取下及安裝時移動體因爲不易倒下，所以 可以提高移動體的取下及安裝作業的作業性。 進一步具備將移動體在第1位置定位於第1水平方向 及與第1水平方向垂直的第2水平方向之定位機構也可以 〇 此情況，因爲移動體是在第1位置被定位於與設置面 的垂直交叉的第1水平方向及第2水平方向，所以在維修 後將移動體返回至第1位置時，移動體的位置的調整成爲 不需要，可以將移動體迅速且精度佳地配置於第1位置。 因此，在維修終了後可以進一步迅速地使處理裝置運轉。 進一步具備將移動體、及移動體所移動的地面連結來 防止移動體的倒下之倒下防止部，倒下防止部，是在移動 體從導引機構脫落的位置防止移動體的倒下也可以。 -8 - 201103845 停止器部，具有由司羅雨式連桿所構成的連桿機構， 該連桿機構，具有：一端可與地面連結且另一端可上下滑 動地被導引至移動體的第1連桿、及一端與第1連桿的中 間部連結且另一端與移動體的下部連結的第2連桿，停止 器部，是將移動體、及移動體所移動的地面連結來防止移 動體的倒下也可以。 進一步具備定位機構，其具有：在第1位置被固定於 移動體所移動的地面之固定板、及被配置於固定板的第1 定位塊體、及被配置於移動體的底部且從第2位置側與第 1定位塊體接觸的第2定位塊體也可以。 該情況，導引機構，具有：被立設在固定板的導引滾 子、及卡合於導引滾子地被導引的導引軌道也可以。該情 況’導引軌道，具有：被配置於移動體的底部的第1軌道 構件、及被配置於第1軌道構件的第2位置側的第2軌道 構件也可以。該情況，定位機構及第2軌道構件，是將移 動體定位在第1位置也可以》 〔發明的效果〕 依據本發明，在維修時只從第1位置移動，就可以取 下交接部的上方的棚及移載裝置。且，維修完成的話，藉 由將移動體返回至第1位置就可以將棚及移載裝置安裝。 因此’棚及移載裝置的取下時間及安裝時間可以短縮。此 結果’對於裝置前自動倉庫，可以將處理裝置的維修時的 運轉停止時間儘可能地短縮。 -9- 201103845 【實施方式】 (1)自動倉庫的整體構成 在第1圖〜第4圖中’本發明的一實施例的裝置前自 動倉庫10，是例如被配置在無圖示的頂棚行走的自動搬運 台車及處理裝置的一例也就是半導體處理裝置12(第4圖 )之間。裝置前自動倉庫10’是與被配置於半導體處理裝 置12的外周的交接埠14重疊的方式被配置。交接埠14, 具有例如4個卡匣載置台14a。 裝置前自動倉庫10’是保管將從無圖示的自動搬運台 車被搬入且在半導體處理裝置12被處理的處理前的複數 枚的基板收納的卡匣（物品的一例）C。自動搬運台車， 是將昇降台昇降並移載卡匣C。自動搬運台車，是在裝置 前自動倉庫10的上方停止將昇降台下降，在後述的棚24 或是交接璋14之間移載卡匣C。 裝置前自動倉庫10，也保管將在半導體處理裝置12 被處理且在自動搬運台車被搬出的處理完成的基板收納的 卡匣C。裝置前自動倉庫10，具備：框架20、及將框架 20的外側面包圍的方式被配置的外壁板22'及卡匣C載 置用的棚24、及移載裝置26。 框架20，是移動體的一例’朝從第1位置對於交接埠 14接近及遠離的第1水平方向也就是X方向可與棚24 — 起移動且在第1位置可固定。第1位置，是棚24被配置 於交接埠14的上方的第1圖及第3圖所示的位置。又， -10- 201103845 交接埠14的上方或是下方，是指由平面視棚24與交接埠 14重疊的方式被配置的狀態。 移載裝置26，是將卡匣C，在複數棚24、及複數卡 匣載置台14a之間搬運。 且裝置前自動倉庫10，進一步具備：定位機構25、 及導引機構27'及停止器機構29、及倒下防止機構31。 定位機構25，是將框架20定位於第1位置。導引機構27 ，是將框架20朝X方向導引。停止器機構29，是可將框 架20停止於朝從第1位置遠離的第2圖所示的第2位置 且可解除停止。倒下防止機構3 1，是防止框架20的倒下 (2)框架及外壁板的結構 框架20，是如第2圖及第3圖所示，具有：被配置於 四隅的4根柱構件20a、及將柱構件20a前後左右連結的 連結構件20b、及被配置於柱構件20a的下端的2個底板 構件20c。又，將左右連繫的連結構件20b，主要是被配 置於半導體處理裝置12側也就是背面，在正面未被配置 。2個底板構件20c，是各別沿著X方向被配置，各別將 被配置於與框架20的X方向垂直的第2水平方向也就是 Y方向的兩端的2條柱構件20a的下端連結。在底板構件 20c的兩端的下面，各別安裝有在X方向隔有間隔的2個 車輪21。由此，框架20可朝X方向移動。 E S ] 在框架20中，如第10圖所示，設有控制盤33。在控 ~ -11 - 201103845 制盤33及地面之間，電氣配線是通過電纜載體35內地被 配線。電纜載體35的可移動距離，是後述的預定行程ST 。此預定行程ST，是例如950mm。又，電纜載體35，是 在第1位置具有框架20時，是輕小地被收納在交接埠14 的前方。 在框架20的下部配置有半導體處理裝置12的交接埠 14。交接埠14可載置卡匣C。在半導體處理裝置12中， 將卡匣C打開，對於被收納於內部的例如圓形的基板施加 處理，將處理完成的基板收納在卡匣C。 外壁板22，是將裝置前自動倉庫1〇的正面及左右的 側面覆蓋，並且將背面的上部覆蓋的方式形成。 (3 )棚的結構 棚24，是被配置成上下方向及左右方向。在此實施例 中’設有左右3列、上下3段的合計9個。棚24，是在上 面可定位地載置卡匣C。棚24，是被固定於被配置於框架 20的Y方向的連結構件2 0b。在Y方向，設有在棚24之 間移載裝置26可上下通過的鉛直通路30a。在此實施形形 態中’棚24，是在Y方向，依棚24 '鉛直通路30a、棚 24、鉛直通路30a、棚24的順序並列，全部的棚24是面 向鉛直通路3 0a。由此，移載裝置26是可以在全部的棚 24及交接埠！ 4之間移載卡匣c »在棚24中，設有供識別 卡匣C用的卡匣讀取器（無圖示）。最上段的棚24，是 在自動搬運台車及的卡匣C的交接時被使用。最下段的棚
-12- 201103845 24及交接埠14之間，是成爲水平通路30b。 (4)移載裝置的結構 移載裝置26，是具有沿著左右方向的水平軸及鉛直軸 的二軸的裝置’可由水平軸方向的移動來保持卡匣C。移 載裝置26，具備：水平軌道32、及沿著水平軌道32移動 的鉛直軌道34、及沿著鉛直軌道34各別地移動的移載頭 36。水平軌道32，是在棚24的正面側與棚24隔有間隙地 朝水平方向被配置。 如第3圖所示，水平軌道32，是沿著左右方向被配置 。水平軌道32’是如第3圖及4所示，具有上軌道構件 40a及下軌道構件40b。在上軌道構件40a及下軌道構件 4〇b中’各別捲繞有無圖示的附齒皮帶。附齒部皮帶，是 藉由被固定於上軌道構件40a的水平驅動馬達44被驅動 。又’水平驅動馬達44的旋轉力，是透過連結軸54也朝 下軌道構件40b被傳達。在上下的附齒皮帶固定有鉛直軌 道34。 鉛直軌道34，是如第3圖所示，具有：鉛直軌道34 、及將移載頭3 6朝鉛直方向驅動用的鉛直驅動馬達5 〇 .。 這些的構造，是與水平軌道32的上軌道構件40a同樣。 移載頭36’是被固定於無圖示的附齒皮帶。 在移載頭36中，如第4圖所示，可將在卡匣C的上 面突出形成的突起部C1保持的1對保持部36a是朝左右 方向（第4圖紙面垂直交叉方向）可開閉地被配置。且， -13- 201103845 在可與移載頭36的卡匣C相面對的位置中，設有將卡 C識別用的卡匣識別感測器3 6b。移載頭3 6，具有將保 部36a開閉的無圖示的頭馬達。移載頭36，是在對於 24的搬入時及搬出時，將保持部36a開閉地將突起部 保持解除及保持。移載頭36，是朝水平軌道32及鉛直 道34被導引，在2個鉛直通路30a及水平通路30b移 (5 )定位機構的結構 定位機構25，是如第5圖所示，被配置在被配置於 架20的Y方向的兩端的底板構件20c的下面及地面之 。定位機構25，具備：在第1位置在底板構件20c的下 被固定於地面的2個固定板60、及被配置於固定板60 正面側的端部上面的第1定位塊體62、及被配置於底板 件20c的正面側的端部下面的第2定位塊體64。第2定 塊體64，是從正面側抵接於第1定位塊體62。第2定 塊體64，是藉由從正面被插入的固定螺栓66被固定於 1定位塊體62。如第8圖所示，在第2定位塊體64的 定螺栓66貫通部分中，形成有圓形的凹部64a。在此凹 64a內，在固定螺栓66中，裝設有例如彈性體製的止脫 68。由此，將框架20移動時即使將固定螺栓66鬆緩從 1定位塊體62脫落也不會落下。藉由將第2定位塊體 抵接在此第1定位塊體62，就可以將框架20在第1位 朝X方向定位。 匣 持 棚 C 1 軌 動 框 間 方 的 構 位 位 第 固 部 壞 第 64 置 -14- 201103845 又，在第1定位塊體62中，框架20回到第1位 導通（ON )的限位開關69所接觸的檢出部62a是凹 成。限位開關69，是被固定於底板構件20c。又，對 方向的定位，是利用後述的導引機構27的一部分的 進行。因此，導引機構27的一部分的結構也構成定 構25。 導引機構27，是如第8圖〜第10圖所示，由包 1位置的部分的領域將框架20朝X方向導引。導引 27，具有：被立設在固定板60的導引滾子70、及卡 導引滾子70地被導引的導引軌道72。導引滾子70， 在2個固定板60的一方。在此實施例中，導引滚子 是被立設在第10圖右側的固定板60的第1定位塊脣 的深側的上面。導引滾子70，是如第8圖所示，具有 立設在固定板60的導引軸70a、及被螺入導引軸70a 輪從動件70b。 導引軌道72，是在立設有導引滾子70的底板 2 0c的下面沿著X方向被配置。導引軌道72的X方 全長是比預定距離ST短。導引軌道72，是如第9圖 ，具有：第1軌道構件74、及朝第1軌道構件74及 向被並列配置的第2軌道構件76。第1軌道構件74 有：將凸輪從動件7〇b的外周面挾持相面對配置的1 1導引部74a、及在第1導引部74a的下面相面對於 從動件70b的下面的方式被配置的1對第1相面對部 。如第8圖所示，由第1導引部74a及第1相面對部 置時 陷形 於Y 結構 位機 含第 機構 合在 是設 70， I 62 :被 的凸 構件 向的 所示 X方 ，具 對第 凸輪 74b 74b -15- 201103845 ，形成剖面L字形，並將凸輪從動件70b覆蓋的方式形成 。第1導引部74a，是藉由導引滚子70將框架20朝X方 向導引。第1相面對部74b，是防止導引中的框架20的倒 下。這些，是藉由螺栓被固定於底板構件20c。第1導引 部74a’是被配置成使與凸輪從動件70b的外周面的間隙 成爲例如1mm程度。第1導引部74a的入口（第9圖上 側），當從第1位置返回至第1位置時使間隙漸漸地變窄 的方式朝向正面側擴大。 第2軌道構件76，是爲了進行Y方向的定位而被設 置。因此，第2軌道構件76，不只有作爲導引機構27也 有作爲定位機構25的功能。第2軌道構件76，是如第9 圖所示，大致正方形的構件，具有第2導引部76a及第2 相面對部76b。第2導引部76a，是被配置成使與凸輪從 動件7〇b的外周面的間隙成爲例如0.3mm程度。由此，框 架20是在Y方向被定位。第2導引部76a及第2相面對 部7 6b，是具有與第1導引部74a及第1相面對部74b同 樣的功能，藉由螺栓被固定於底板構件20c的下面。第2 導引部76a的一端開口，另一端關閉。在第1軌道構件74 及第2軌道構件76及的連結部分形成有些微的間隙。在 此連結部分中，第1導引部74a是些微末端漸廣地形成， 第2導引部76a是些微先端較細地形成。 (6)停止器機構的結構 停止器機構29’也具有在從導引機構27脫落的位置 -16- 201103845 防止框架2〇倒下的功能。停止器機構29，是如第2圖所 示，由被稱爲斯科特-拉塞爾式連桿（Scott-Russell link) 的左右1對連桿機構78所構成。連桿機構78，具有：第 1連桿82、及一端與第1連桿82的中間部連結的第2連 桿84。第1連桿82的一端是可轉動自如地與固定板60的 背面側的端部連結，另一端是在框架20的背面在沿著上 下方向被配置的滑動軌道80被上下導引。第2連桿84的 另一端是可轉動自如地與底板構件20c的背面側的端部連 結。在這種構成的連桿機構78中，框架20是大致平行移 動。且，滑動軌道80，是形成從途中限制朝第1連桿82 的另一端的下方的移動。由此，框架20的移動範圍被限 制。框架20，在此實施例中，在維修所需要的最小限度的 行程，即第1位置及第2位置之間的預定行程S T，是如 前述爲950mm。即，框架20，是從背面側被推壓且從第1 位置只有移動95 0mm的話會在第2位置停止。將第2位 置中的框架2 0從正面側推壓的話停止被解除就可朝向第1 位置移動。 且停止器機構29，也作爲從其途中直到被導引至導引 機構27爲止防止框架20倒下的倒下防止機構31的功能 。又，在由停止器機構29被限制的移動範圍外將框架20 移動時，是將電纜載體35及電氣配線及連桿機構78取下 ，來解除由停止器機構29所產生的限制。 (7)裝置前自動倉庫的動作及移動動作 -17- 201103845 在如此構成的裝置前自動倉庫10中，無圖示的自動 搬運台車是將卡匣C搬入最上段的棚24的任一。接著， 移載裝置26，是將被搬入的卡匣C，移載至被搬入最上段 的棚24所面向的鉛直通路30a下方2列的2段的棚24的 任一。且，移載裝置26，是依據來自半導體處理裝置12 的要求，進一步將卡匣C朝交接埠14移載。 在此移載時，移載頭36，是在將保持部36a打開的狀 態下朝移載對象的卡匣C的中心的上方移動。具體而言， 移載頭36，是朝移載對象的卡匣C所面向的鉛直通路3 0a 移動，沿著鉛直軌道34上昇。且到達卡匣C的上方的話 ，移載頭3 6，是沿著水平軌道3 2水平地朝卡匣C的中心 移動。接著，將移載頭36下降，最後藉由頭馬達將保持 部36a關閉將突起部C1保持。由此使突起部C1被保持， 可以移載卡匣C。且，從最上段的棚24朝其下方2段的 棚24的任一移載卡匣C。且，依據移載命令，朝交接埠 14的卡匣載置台14a直接移載。 另一方面，在半導體處理裝置12的維修或是裝置前 自動倉庫10的維修等將框架20從第1位置取下的情況， 將被配置於正面下部的固定螺栓66鬆緩從第1定位塊體 62將第2定位塊體64取下。此時，固定螺栓66，是藉由 止脫環68被止脫，而不會脫落。 在此狀態下藉由人手推壓框架20的背面側將框架20 從第1位置朝向第2位置移動。如此的話，連桿機構78 的第1連桿82的另一端是在框架20的背面沿著滑動軌道 -18 - 201103845 80漸漸地下降。且，在導引滾子70被導引軌道72 框架20沿著X方向不太遊動地移動。框架20到達 置的話，連桿機構78的第1連桿82是在滑動軌3 下端被限制而無法更下降。此結果，框架20的X 移動被停止。此時，因爲配線藉由電纜載體35被 所以不需要將配線取下。 在裝置前自動倉庫10的維修中，處理所需要 C是藉由自動搬運裝置被搬入，且處理完成的卡匣 搬入交接埠1 4。此情況，卡匣C，是在交接璋1 4 搬運裝置之間直接被移載。如此，因爲在交接埠1 動搬運裝置可以將卡匣C直接移載，所以在裝置前 庫10的維修中，不需要停止半導體處理裝置12的i 半導體處理裝置12的維修完成的話，藉由人 框架20的正面側。此時，直到導引軌道72卡合至 子70爲止，連桿機構78可防止倒下。且，左丨對 構78是將框架20平行移動。導引軌道72卡合在 子7〇的話，藉由導引滾子70使框架20朝X方向 。且，藉由導引滾子70可防止框架20的倒下。且 第2定位塊體64各別與2個第1定位塊體62抵接 完成X方向的定位。且，此時，導引滾子70是卡 引軌道72的第2軌道構件76。由此，也進行框架 方向的定位。在此狀態下，將2條固定螺栓66旋繁 定位塊體64固定於第1定位塊體62的話，安裝作 。此時，限位開關69導通（ON)，將安裝作業完 導引使 第2位 I 80的 方向的 導引， 的卡匣 c是被 及自動 4及自 自動倉 運轉。 手推壓 導引滾 連桿機 導引滾 被導引 .，2個 的話， 合於導 20的Y 【將第2 業完成 成的事 [S] -19- 201103845 朝半導體處理裝置12等報知。 (8 )特徵 (A)裝置前自動倉庫10具備：複數棚24、 裝置26、及可移動的框架20。複數棚24，是面向 處理裝置12且在與半導體處理裝置12的交接埠1 方設有至少1個。移載裝置26，是沿著複數棚24 在複數棚24及交接埠14之間移載卡匣C。框架20 移載裝置26及複數棚24之中設有至少1個棚，棚 從被配置於交接埠14的上方的第1位置朝對於交i 接近及遠離的X方向可移動且在第1位置可固定。 在此裝置前自動倉庫10中，卡匣C是被供給 棚24 ’在棚24之間以及棚24及交接埠14之間藉 裝置26使卡匣C被移載。且，半導體處理裝置12 時’是將框架20朝遠離第1位置的方向移動。如 ，設在交接埠14的上方的棚24及移載裝置26會 20 —起移動。維修完成的話，將框架2〇朝接近第 的方向移動並返回至第1位置。 在此，將交接埠14的上方的棚24及移載裝置 維修時只將框架20從第1位置移動，就可以取下 維修兀成的g舌’藉由將框架2〇返回至第1位置， 安裝父接淳I4的上方的棚24及移載裝置26。因此 1個棚24及移載裝置26的取下時間及安裝時間可 。此結果，在裝置前自動倉庫1Q中，可以將半導 及移載 半導體 4的上 移動且 ，是在 丨24是 妾埠14 至複數 由移載 的維修 此的話 與框架 1位置 26，在 。且， 就可以 ，至少 以短縮 體處理 -20- 201103845 裝置12的維修時的運轉停止時間儘’可能地短縮。 (B) 框架20，具有複數車輪21。且，框架20，可 將移載裝置26及複數棚24全部移動。因此，因爲可以將 裝置前自動倉庫10整體取下，所以容易進行維修》 (C) 進一步具備可將框架20停止於從第1位置遠離 的第2位置且可解除停止的停止器機構29»因此，框架 20的移動範圍因爲被設定在第1位置及第2位置之間，所 以藉由即使不將電氣配線取下也可以的位置設定於第2位 置’在維修時只將框架20移動即可。因此，框架20的安 裝更容易，在維修終了後可以迅速地使半導體處理裝置12 運轉。 (D) 進一步具備在第1位置及第2位置之間包含第 1位置的部分的領域將框架20朝X方向導引的導引機構 27。因此，框架20因爲是藉由導引機構27在包含第1位 置的部分的領域被導引，所以可以容易將框架20安裝在 第1位置。 (E) 進一步具備將框架20、及框架20所移動的地 面連結來防止框架20倒下的倒下防止機構31。因此，在 取下及安裝時因爲框架2〇不易倒下，所以可以提高框架 20的取下及安裝作業的作業性。 (F) 進一步具備將框架20在第1位置定位於X方向 及與X方向垂直的Y方向的定位機構25。因此，因爲框 架20是在第1位置被定位於與設置面垂直交叉的X方向 及Y方向，所以在維修後將框架20返回至第1位置時， -21 - 201103845 不需要調整框架20的位置，可以將框架20迅速且精度佳 地配匱於第1位置。因此，在維修終了後可以更迅速地使 處理裝置運轉。 (9 )其他的實施例 以上，雖說明了本發明的一實施例，但是本發明不限 定於上述實施例，在不脫離發明的實質範圍內可進行各種 變更》特別是，在本說明書中所記載的複數實施例及變形 例之間可依據需要任意組合。 (a) 在前述實施例中，雖將棚24的前部及將移載裝 置26固定在框架，將全部機棚移動，但是本發明不限定 於此。例如，將框架分成固定框架及移動框架，將未被配 置於交接埠的上方的棚固定在固定框架也可以》此情況時 ，在維修時因爲不將自動倉庫整體移動也可以，所以框架 的移動容易。 (b) 在前述實施例中，導引機構雖只有設在左右的 一方，但是設在左右的雙方也可以。此情況，因爲可以由 左右的兩側導引，所以X方向及Y方向的二方向的定位 可由導引機構進行。 (c) 在前述實施例中，導引機構雖由導引滾子及導 引軌道構成，但是本發明不限定於此。例如，藉由伸縮軌 道和伸縮架（pantograph )構成導引機構及停止器機構也 可以。 (d) 在前述實施例中，雖將框架20藉由車輪可移動 -22- 201103845 地構成，但是可取代車輪而使用球面承接構件和低摩擦構 件將框架可移動地構成也可以。 〔產業上的利用可能性〕 本發明，可廣泛適用於具有棚及移載裝置供保管物品 的裝置前自動倉庫》 【圖式簡單說明】 〔第1圖〕本發明的一實施例的裝置前自動倉庫的正 面立體圖。 〔第2圖〕朝第2位置移動時的裝置前自動倉庫的背 面立體圖。 〔第3圖〕將其外壁板移除的前視圖。 〔第4圖〕其側面剖面圖。 〔第5圖〕框架下部的擴大—部分剖面圖。 〔第6圖〕定位機構周邊的正面擴大圖。 〔第7圖〕定位機構周邊的側同一面部剖面擴大圖。 〔第8圖〕導引機構周邊的正同—面部剖面擴大圖。 〔第9圖〕導引機構的導引軌道的平面部分圖。 〔第10圖〕朝第2位置移動時的裝置前自動倉庫的 平面圖。 【主要元件符號說明】 10·裝置前自動倉庫 -23- 201103845 12:半導體處理裝置 1 4 :交接埠 1 4a :卡匣載置台 20 :框架 20a :柱構件 20b :連結構件 2 0 c :底板構件 2 1 :車輪 2 2 :外壁板 24 :棚 2 5 :定位機構 26 :移載裝置 27 :導引機構 29 :停止器機構 3 0 a :鉛直通路 3 0 b :水平通路 3 1 :倒下防止機構 3 2 :水平軌道 3 3 :控制盤 3 4 :鉛直軌道 35 :電纜載體 36 :移載頭 36a :保持部 3 6b :卡匣識別感測器 201103845 40a :上軌道構件 4〇b :下軌道構件 44 :水平驅動馬達 5 0 :鉛直驅動馬達 5 4 :連結軸 6 0 :固定板 62 :第1定位塊體 62a :檢出部 64 :第2定位塊體 64a :凹部 6 6 :固定螺栓 68 :止脫環 69 :限位開關 70 :導引滾子 70a :導引軸 7 0b :凸輪從動件 72 :導引軌道 74 :第1軌道構件 74a :第1導引部 74b :第1相面對部 76 :第2軌道構件 76a :第2導引部 7 6b :第2相面對部 78 :連桿機構 -25 201103845 80 :滑動軌道 82 :第1連桿 84 :第2連桿 C :卡匣 C1 :突起部 -26