JP2002060055A - 搬送台車の固定装置 - Google Patents

搬送台車の固定装置

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JP2002060055A
JP2002060055A JP2000248926A JP2000248926A JP2002060055A JP 2002060055 A JP2002060055 A JP 2002060055A JP 2000248926 A JP2000248926 A JP 2000248926A JP 2000248926 A JP2000248926 A JP 2000248926A JP 2002060055 A JP2002060055 A JP 2002060055A
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fixing device
fixed
flange
hook
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JP2000248926A
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Yukio Takayama
幸生 高山
Akihiro Yasuda
昭洋 安田
Tsukasa Adachi
司 安立
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は半導体基板を処理装置間で搬送する
のに用いる搬送台車を被固定装置となる処理装置に固定
する搬送台車の固定装置に関し、簡単かつ確実に搬送台
車を被固定装置に固定することを課題とする。 【解決手段】 搬送台車１１を半導体製造装置１２に固
定する搬送台車の固定装置において、搬送台車１１に固
定機構１５を設けると共に半導体製造装置１２にフラン
ジ２５を設ける。フランジ２５は、本体部２６に立設さ
れたピン２７と、本体部２６に形成された係合孔２８と
を具備した構成とする。また、固定機構１５は、フラン
ジ２５に形成されたピン２７と係合することにより半導
体製造装置１２に対する搬送台車１１の位置決めを行な
う位置決めフック３６と、フランジ２５に形成された係
合孔２８と係合することにより搬送台車１１を半導体製
造装置１２（フランジ２５）に固定する位置決めフック
３６とを具備する構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搬送台車の固定装置
に係り、特に半導体基板を処理装置間で搬送するのに用
いる搬送台車を被固定装置となる処理装置に固定する搬
送台車の固定装置に関する。
【０００２】一般に、半導体製造工場には多数の半導体
製造装置が設置されており、この半導体製造装置間を半
導体基板が搬送される過程において半導体装置が製造さ
れる。この半導体基板の搬送処理は極力自動化が図られ
ているが、設備の関係上自動搬送が困難な場合がある。
このような半導体基板の自動搬送化が困難な場合には、
半導体基板を搬送台車に搭載した上で人手により搬送処
理されることが行なわれている。
【０００３】また、半導体製造装置の所定位置まで搬送
されると、搬送台車は半導体製造装置に固定される。そ
して、搬送台車に搭載されている半導体基板は、半導体
製造装置或いは搬送台車に設けられているアクチュエー
タを用いて半導体製造装置に授受される。
【０００４】この際、搬送台車を被固定装置となる半導
体製造装置に精度よく固定しないと、アクチュエータに
よる半導体基板の授受が適正に行なえなくなるおそれが
ある。また、搬送台車を半導体製造装置に固定する処理
に時間を要すると、半導体製造の効率が低下してしま
う。よって、搬送台車を被固定装置に容易かつ確実に固
定することが望まれている。
【０００５】
【従来の技術】従来、被固定装置となる半導体製造装置
に対し搬送台車を固定する搬送台車の固定装置は、特定
の規格は無く、よって半導体製造設備毎に独自の固定装
置を採用していた。その一例としては，例えば特開２０
００−７２２２６号公報に開示されたものがある。
【０００６】同公報に開示された固定装置は、被固定装
置側にＶ型案内ブロック，位置決めブロック，及びピン
が設けられたプレートが配設されており、搬送台車側に
第１及び第２のローラ及びフックが配設されている。そ
して、搬送台車を被固定装置に固定するには、第１のロ
ーラをＶ型案内ブロックに位置決めした上で係合させ、
続いてこの、第１のローラとＶ型案内ブロックとの係合
位置を中心として搬送台車を被固定装置に向け回動さ
せ、フックをピンに係合させる。
【０００７】この状態において第２のローラは位置決め
ブロックと係合し、第１のローラをＶ型案内ブロックに
向け付勢する。これにより、搬送台車は被固定装置に固
定される構成とされていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
搬送台車の固定装置は、被固定装置側にＶ型案内ブロッ
ク，位置決めブロック，及びピンが設けられた複雑な構
成を有したプレートを設ける必要があり、固定装置の構
成が複雑化してしまうという問題点があった。
【０００９】また、従来の固定装置では、上記のように
第１のローラをＶ型案内ブロックに位置決めし、その上
で第１のローラをＶ型案内ブロックに係合させる必要が
あった。通常、第１のローラは搬送台車の底面に設けら
れており、搬送台車を操作する操作者からは見え難い位
置にある。よって、操作者は見にくい位置にある第１の
ローラをＶ型案内ブロックに位置決めし係合させる必要
があり、固定操作が面倒であるという問題点があった。
【００１０】また、従来の固定装置は、上記したように
半導体製造設備毎に独自の固定装置を採用していたた
め、搬送台車及び固定装置は他の製造設備と互換性がな
く、設備コストが上昇してしまうと共に、複数の設備に
搬送台車を共用することができず利便性が悪いという問
題点があった。
【００１１】また、搬送台車側にアクチュエータ等の電
気により駆動する装置が配設されている場合には、従来
の構成では固定装置とは別個に、被固定装置側から搬送
台車に電力供給するための給電装置を設ける必要があ
り、搬送台車と被固定装置の固定位置における構成が複
雑化してしまうという問題点があった。
【００１２】また、固定時には、搬送台車と被固定装置
とを機械的に固定する操作と、搬送台車と被固定装置と
を電気的に接続する操作の二つの操作を行なう必要があ
り、これによっても固定時における操作が面倒になると
いう問題点があった。
【００１３】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、簡単かつ確実に搬送台車を被固定装置に固定しう
る搬送台車の固定装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴と
するものである。
【００１５】請求項１記載の発明は、搬送台車を被固定
装置に固定する搬送台車の固定装置において、前記被固
定装置側に配設されており、本体部に立設されたピン
と、前記本体部に形成された凹部とを具備するフランジ
と、前記搬送台車側に配設されており、前記フランジに
形成されたピンと係合することにより前記被固定装置に
対する前記搬送台車の位置決めを行なう第１のフック部
材と、前記フランジに形成された凹部と係合することに
より前記搬送台車を前記被固定装置に固定する第２のフ
ック部材とを具備する固定機構とを設けたことを特徴と
するものである。
【００１６】上記発明によれば、被固定装置側にフラン
ジを配設すると共に搬送台車側に固定機構を設け、フラ
ンジに形成されたピンに固定機構の第１のフック部材が
係合し、かつフランジに形成された凹部に固定機構の第
２のフック部材が係合することにより搬送台車は被固定
装置に固定される。よって、簡単な構成で確実に搬送台
車を被固定装置に固定することができる。
【００１７】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の搬送台車の固定装置において、前記フランジは、本
体部と、該本体部の長手方向に対する中央位置に立設す
るピンと、前記本体部の長手方向に立設された低背リブ
及び高背リブとを備えることを特徴とするものである。
【００１８】上記構成とされたフランジは、SEMI(Semic
onductor Equipment and MaterialsInternational)規格
のＥ８３に準拠したものである。よって、本発明によれ
ば、３００mmウエハに対応した半導体製造設備（被固定
装置）において搬送台車を確実に被固定装置に固定する
ことができる。
【００１９】即ち、近年では半導体ウエハは大型化し、
３００mmウエハが用いられるようになってきている。こ
の３００mmウエハを用いる半導体製造設備は、ＳＥＭＩ
規格に準拠させる必要がある。フランジに関するＳＥＭ
Ｉ規格はＥ８３に規定されており、よってフランジをＳ
ＥＭＩ規格のＥ８３に準拠させ、これに搬送台車が固定
されるよう構成することにより、ＳＥＭＩ規格に準拠し
た半導体製造設備で搬送台車を用いることが可能とな
り、よって搬送台車に３００mmウエハの搬送処理を行な
わせることができる。
【００２０】また、請求項３記載の発明は、請求項１ま
たは２記載の搬送台車の固定装置において、前記凹部に
給電ユニットを設けると共に、前記第２のフック部材に
受電ユニットを設け、前記凹部と前記第２のフック部材
が係合することにより、前記給電ユニットと前記受電ユ
ニットとが電気的に接続されるよう構成したことを特徴
とするものである。
【００２１】上記発明によれば、搬送台車が被固定装置
に固定された状態において、給電ユニットと受電ユニッ
トとは電気的に接続された状態となる。よって、搬送台
車を被固定装置に固定する処理と、搬送台車と被固定装
置とを電気的に接続する処理を同時に行なうことがで
き、固定時における処理を簡単化することができる。ま
た、搬送台車は被固定装置から給電が行なわれるため、
搬送台車に電源を設ける必要がなくなり、よって搬送台
車の構成の簡単化を図ることができる。
【００２２】また、請求項４記載の発明は、請求項３記
載の搬送台車の固定装置において、前記搬送台車または
前記被固定装置の内少なくとも一方に制御装置を設ける
と共に、前記給電ユニットと前記受電ユニットとが電気
的に接続されたことを検出するセンサを設け、前記セン
サが給電ユニットと前記受電ユニットとが電気的に接続
されたことを検出した後、前記制御装置は前記給電ユニ
ットから前記受電ユニットに向け電力供給する構成とし
たことを特徴とするものである。
【００２３】上記発明によれば、センサの出力に基づき
制御装置は、給電ユニットと受電ユニットとが電気的に
接続されたことを確認した上で給電ユニットから受電ユ
ニットに向け電力供給し、給電ユニットと受電ユニット
とが電気的に接続されない間は上記電力供給は行なわな
い。このため、不完全な接続状態において上記電力供給
が開始されることを防止でき、安全性の向上を図ること
ができる。
【００２４】また、請求項５記載の発明は、請求項１乃
至４のいずれかに記載の搬送台車の固定装置において、
前記凹部と前記第２のフック部材との係合を解除する係
合解除機構を設けたことを特徴とするものである。
【００２５】上記発明によれば、係合解除機構により凹
部と第２のフック部材との係合解除を容易に行なうこと
ができる。
【００２６】また、請求項６記載の発明は、請求項５記
載の搬送台車の固定装置において、前記係合解除機構
を、操作者により操作される操作レバーと、該操作レバ
ーと前記第２のフック部材との間に介装されたワイヤと
により構成し、前記操作レバーの操作により前記凹部と
前記第２のフック部材との係合を解除する構成としたこ
とを特徴とするものである。
【００２７】上記発明によれば、被固定装置と搬送台車
の固定を解除する際、係合解除機構に設けられた操作レ
バーを操作すると、ワイヤを介して第２のフック部材は
凹部から離間するよう操作される。このため、被固定装
置と搬送台車の固定解除を操作レバーの操作だけで行な
うことが可能となり、固定解除操作の容易化を図ること
ができる。
【００２８】また、請求項７記載の発明は、請求項１乃
至６のいずれかに記載の搬送台車の固定装置において、
前記固定機構に、前記本体部の側面と当接することによ
り前記被固定装置に対する前記搬送台車の位置決めを行
なうローラを設けたことを特徴とするものである。
【００２９】上記発明によれば、搬送台車の被固定装置
に対する位置決めは、第１のフック部材に加え、ローラ
が本体部の側面と当接することによっても行なわれるた
め、固定処理時における搬送台車と被固定装置との位置
決めを容易に行なうことが可能となる。
【００３０】また、請求項８記載の発明は、請求項１乃
至６のいずれかに記載の搬送台車の固定装置において、
前記固定機構に、前記本体部の側面を押圧することによ
り前記被固定装置と前記固定機構との間に抗力を発生さ
せる抗力発生機構を設けたことを特徴とするものであ
る。
【００３１】上記発明によれば、搬送台車が被固定装置
に固定された際、抗力発生機構は本体部の側面を押圧す
るため、被固定装置と固定機構との間、具体的には第２
のフックと凹部との係合位置に抗力が発生する。この抗
力は第２のフックが凹部から離脱するのを防止する力と
して作用するため、搬送台車と被固定装置との固定を確
実に行なうことが可能となる。
【００３２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。
【００３３】図１及び図２は、本発明の一実施例である
固定装置１０を適用した搬送台車１１を示しており、特
に図１は搬送台車１１が半導体製造装置１２に固定され
た状態を示している。
【００３４】搬送台車１１は、台車本体１３の下部に車
輪１４及び固定装置１０を構成する固定機構１５が配設
されている。台車本体１３の下部に車輪１４を設けるこ
とにより、搬送台車１１は人手により移動することが可
能な構成とされている。また、台車本体１３の上部には
アクチュエータ部１７が設けらており、このアクチュエ
ータ部１７から延出したアクチュエータアーム１８の先
端部にはワーク１９が着脱可能に取り付けられている。
【００３５】アクチュエータアーム１８は、アクチュエ
ータ部１７により三次元的に移動可能な構成とされてい
る。また、アクチュエータアーム１８に取り付けられた
ワーク１９には、複数の半導体基板（例えば３００mmウ
エハ）が収納されている。よって、ワーク１９はアクチ
ュエータ部１７により三次元的に移動可能な構成となっ
ている。
【００３６】ところで、前記したように半導体製造装置
１２等が設置された半導体製造工場では、半導体基板を
各半導体製造装置間で極力自動搬送するよう構成してい
るが、設備の関係上自動搬送が困難な場合がある。この
ような場合には、図１及び図２に示したような搬送台車
１１を用い、半導体基板をこの搬送台車１１のワーク１
９に搭載した上で人手により搬送処理されることが行な
われている。
【００３７】また、半導体製造装置１２まで搬送される
と、図１に示されるように搬送台車１１は固定装置１０
を用いて半導体製造装置１２に固定される。そして搬送
台車１１が半導体製造装置１２に固定されると、搬送台
車１１に搭載されているワーク１９は半導体製造装置１
２に装着される。
【００３８】図１に示される半導体製造装置１２は、ワ
ーク１９が装着されるワーク装着室２０を有しており、
搬送台車１１が半導体製造装置１２に固定された状態に
おいて、ワーク１９はこのワーク装着室２０内に位置す
るよう構成されている。そして、この状態においてアク
チュエータ部１７は駆動し、アクチュエータアーム１８
を移動させることによりワーク１９をワーク装着室２０
内の所定位置に装着する。
【００３９】また、半導体製造装置１２には図示しない
ハンドリング装置が設けられており、このハンドリング
装置によりワーク１９内に装着された半導体基板（３０
０mmウエハ）は半導体製造装置１２内の所定処理部に搬
送される。そして、半導体製造装置１２による半導体基
板への処理が終了すると、ハンドリング装置は半導体基
板を再びワーク１９内に装着する。
【００４０】そして、ワーク１９に収納された全ての半
導体基板に対し半導体製造装置１２により処理が終了す
ると、アクチュエータ部１７によりワーク１９は再び搬
送台車１１に装着される。そして、ワーク１９の装着が
終了すると、操作者は固定装置１０を解除し、搬送台車
１１を次の処理工程を実施する半導体製造装置に搬送す
る。
【００４１】次に、搬送台車１１を半導体製造装置１２
に固定する固定装置１０について詳述する。固定装置１
０は、大略すると固定機構１５とフランジ２５とにより
構成されている。固定機構１５は前記のように搬送台車
１１を構成する固定機構１５の下部に配設されている。
またフランジ２５は、図１に示されるように半導体製造
装置１２の下部に配設された下部段部２１内で床２２に
固定されている。
【００４２】フランジ２５は搬送台車１１が固定される
ものであり、SEMI(Semiconductor Equipment and Mater
ials International)規格のＥ８３に準拠した構成とさ
れている。即ち、フランジ２５は、図３に示すように、
本体部２６の長手方向に対する中央部に立設したピン２
７を有すると共に、低背リブ３０及び高背リブ３１が立
設された構成とされている。
【００４３】ところで、近年では半導体ウエハは大型化
し、本実施例のように３００mmウエハが用いられるよう
になってきている。この３００mmウエハを用いる半導体
製造設備は、SEMI規格に準拠させる必要がある。本実施
例では、フランジ２５をＳＥＭＩ規格のＥ８３に準拠さ
せ、これに搬送台車１１が固定されるよう構成したこと
により、SEMI規格に準拠した半導体製造設備で搬送台車
１１を用いることが可能となり、３００mmウエハの製造
設備において搬送台車１１を用いることが可能となる。
【００４４】また、本実施例に係るフランジ２５は、本
体部２６に係合孔２８（請求項に記載の凹部に相当す
る）が形成されている。この係合孔２８はピン２７の側
部位置に形成されており、その内部には給電ユニット２
９が配設されている。この給電ユニット２９は、搬送台
車１１に設けられている受電ユニット４２と接続するこ
とにより、搬送台車１１に対して電力供給を行なうもの
である。このため、図７に示すように、給電ユニット２
９は電源５５に接続されている。尚、給電ユニット２９
と電源５５との間には制御回路５２が配設されている
が、この制御回路５２の動作については説明の便宜上、
後述するものとする。
【００４５】続いて、図４乃至図６を用いて、固定機構
１５の構成について説明する。固定機構１５は、大略す
ると位置決めローラ３５，位置決めフック３６（請求項
記載の第１のフック部材に相当する），固定用フック３
７（請求項記載の第２のフック部材に相当する），及び
押圧ローラ３８等により構成されている。
【００４６】位置決めローラ３５は搬送台車１１の側部
に配設されており、搬送台車１１をフランジ２５に固定
する際に、フランジ２５の側面３２に当接するよう構成
されている。位置決めフック３６は、位置決めローラ３
５の右側位置（図４及び図５における矢印Ｙ２方向側の
位置）に配設されている。位置決めフック３６は搬送台
車１１をフランジ２５に固定する際、フランジ２５に設
けられたピン２７と係合することによりフランジ２５に
対する搬送台車１１の位置決めを行なうものである。こ
のため、位置決めフック３６の先端部は、ピン２７との
係合性を向上させるために鉤形状とされている。
【００４７】この位置決めフック３６は、搬送台車１１
に設けられたベース部材４５に回動可能に取り付けられ
ている。具体的には、ベース部材４５には支軸３９が立
設されており、位置決めフック３６はこの支軸３９に回
動可能に軸承されている。
【００４８】また、位置決めフック３６とベース部材４
５との間にはバネ４０が配設されており、よって位置決
めフック３６は図４及び図５において時計方向に回動付
勢されている。このため、搬送台車１１がフランジ２５
に固定される固定時以外の時（以下、この時を非固定時
という）において、位置決めフック３６は図４に破線で
示すように搬送台車１１の側部から斜めに突出した状態
となる。
【００４９】固定用フック３７は、フランジ２５に形成
されている係合孔２８と係合することにより、搬送台車
１１をフランジ２５に固定する機能を奏するものであ
る。この固定用フック３７は、図６に拡大して示すよう
に、側面視した状態において略Ｌ字形状を有している。
また、固定用フック３７には、係合爪４１，受電ユニッ
ト４２，スライド部４７，回動アーム４８，及びワイヤ
５１等が設けられた構成とされている。
【００５０】係合爪４１は、固定用フック３７の先端部
に受電ユニット４２を挟んで、その両側部に配設されて
いる。この係合爪４１は、フランジ２５に形成されてい
る係合孔２８に係合することにより、搬送台車１１をフ
ランジ２５（半導体製造装置１２）に固定する。また、
係合爪４１が係合孔２８と係合する際、係合爪４１はフ
ランジ２５の本体部２６を乗り越えて係合するため、係
合爪４１の下部外側位置にはテーパが形成されている。
【００５１】受電ユニット４２は、搬送台車１１が半導
体製造装置１２に固定された状態において、係合孔２８
内に配設された給電ユニット２９と電気的に接続するも
のである。具体的には、受電ユニット４２内には電極４
３が配設されており、この電極４３が給電ユニット２９
のコンタクト部（図に現れず）に電気的に接続すること
により、給電ユニット２９と受電ユニット４２は電気的
に接続される。
【００５２】この給電ユニット２９と受電ユニット４２
は、図７に示すように、協働してセンサ部５３及びコネ
クタ部５４を構成する。センサ部５３は、給電ユニット
２９とセンサ部５３との接続状態を検出するものであ
り、この検出信号は制御回路５２に送信される構成とさ
れている。また、コネクタ部５４は、半導体製造装置１
２側に設けられた電源５５と搬送台車１１に設けられた
アクチュエータ部１７とを電気的に接続するものであ
る。
【００５３】よって、搬送台車１１がフランジ２５（半
導体製造装置１２）に固定され、コネクタ部５４におい
て給電ユニット２９と受電ユニット４２が接続されるこ
とにより、アクチュエータ部１７は受電ユニット４２，
給電ユニット２９，及び制御回路５２を介して電源５５
に接続される。この際、アクチュエータ部１７に供給さ
れる電力は制御回路５２で制御されるため、これにより
アクチュエータ部１７の駆動制御が行なわれる。
【００５４】ここで、固定用フック３７が係合孔２８に
係合する際に実施される、制御回路５２及びセンサ部５
３の動作について説明する。本実施例では、固定用フッ
ク３７が係合孔２８に係合した時点で、直ちに電源５５
からアクチュエータ部１７に向け電源供給することは行
なわず、センサ部５３から出力される検出信号に基づ
き、電源５５からアクチュエータ部１７に向け電源供給
を行なう構成としている。即ち、給電ユニット２９と受
電ユニット４２とが電気的に接続されたことを示す信号
をセンサ部５３が出力した後、制御回路５２は電源５５
の電力を給電ユニット２９から受電ユニット４２に向け
供給する構成とされている。
【００５５】従って、給電ユニット２９と受電ユニット
４２とが電気的に接続されていない間は、電源５５から
アクチュエータ部１７に向けた電力供給は行なわれな
い。一方、センサ部５３の出力に基づき制御装置２０
が、給電ユニット２９と受電ユニット４２の電気的接続
を確認した上で、給電ユニット２９から受電ユニットに
向け電力供給する。このため、給電ユニット２９と受電
ユニット４２とが不完全な接続状態において電源５５か
ら電力供給が開始されることを防止でき、安全性の向上
を図ることができる。
【００５６】再び図４乃至図６に戻り、固定機構１５の
説明を続ける。固定用フック３７の立設部分には、スラ
イド部４７が配設されている。この回動アーム４８は、
ベース部材４５に設けられたガイド部４６にスライド可
能に取り付けられている。
【００５７】即ち、固定用フック３７はガイド部４６に
沿って、図６における上下方向に移動可能な構成とされ
ている。また、固定用フック３７は図示しない弾性手段
により、図６における下方向（図中、矢印Ｚ２方向）に
向け常に移動付勢された構成となっている。
【００５８】また、固定用フック３７の上端部（図知、
矢印Ｚ１方向端部）には、係合ピン５０が立設されてい
る。この係合ピン５０は、回動アーム４８の一端部に係
合した構成とされている。また、回動アーム４８は、ベ
ース部材４５に設けられた支軸４９に回動自在に軸承さ
れている。従って、回動アーム４８が支軸４９を中心に
回動することにより、固定用フック３７は図６に矢印Ｚ
１，Ｚ２方向に移動する構成となっている。
【００５９】更に、回動アーム４８は、ワイヤ５１によ
り回動付勢される構成とされている。このワイヤ５１
は、下端部が回動アーム４８に接続されると共に、上端
部が図示しない操作レバーに接続されている。この操作
レバーは、搬送台車１１上の操作者が操作しやすい位置
に配設されている。また、操作者が操作レバーを操作す
ることにより、操作レバーはワイヤ５１を引くよう構成
されている。
【００６０】従って、操作者が操作レバーを操作する
と、ワイヤ５１に接続されている回動アーム４８は、図
６に実線で示す位置から破線で示す位置に向け、図示し
ない弾性手段の弾性力に抗して回動する。これにより、
固定用フック３７は図６に矢印Ｚ１方向に移動し、係合
爪４１は係合孔２８から離脱して両者の係合は解除さ
れ、また受電ユニット４２は給電ユニット２９から離間
して両者の電気的接続も解除される。
【００６１】このように、固定用フック３７が係合孔２
８から離脱することにより、搬送台車１１のフランジ２
５に対する固定は解除される。よって、操作者は操作レ
バーの操作のみで搬送台車１１とフランジ２５との固定
を解除できるため、固定解除時の操作を容易に行なうこ
とができる。尚、上記した回動アーム４８，ワイヤ５
１，及び図示しない操作レバーは、請求項に記載した係
合解除機構を構成する。
【００６２】押圧ローラ３８は、図４及び図５に示され
るように、上記構成とされた固定用フック３７の右側位
置（図４及び図５における矢印Ｙ２方向側の位置）に配
設されている。この押圧ローラ３８は搬送台車１１の側
部から外側に突出しており、かつバネ４４により外側に
向け付勢されている。
【００６３】また、押圧ローラ３８は、搬送台車１１が
フランジ２５に固定された状態において、フランジ２５
の側面３２に当接するよう構成されている。前記のよう
に押圧ローラ３８はバネ４４により弾性付勢されている
ため、側面３２に当接した状態において、押圧ローラ３
８はこの側面３２を押圧する。尚、押圧ローラ３８及び
バネ４４は、請求項に記載した抗力発生機構を構成す
る。
【００６４】続いて、上記構成とされた固定装置１０に
よる、搬送台車１１を半導体製造装置１２（フランジ２
５）に固定する動作について説明する。図８乃至図１０
は、搬送台車１１を半導体製造装置１２（フランジ２
５）に固定する動作を動作手順に沿って示している。搬
送台車１１を半導体製造装置１２（フランジ２５）に固
定するには、図８示されるように、先ず操作者は搬送台
車１１の側部に配設されている位置決めローラ３５をフ
ランジ２５の側面３２に当接させる。この際、位置決め
フック３６はフランジ２５に設けられているピン２７に
対し、搬送台車１１の進行方向（図中、矢印Ｙ１方向）
に対し後方に位置するようにする。
【００６５】これにより、搬送台車１１の位置決めロー
ラ３５が配設された位置は、フランジ２５にガイドされ
て位置決めされた状態となる。しかしながら、ここでい
う位置決めは、搬送台車１１の位置を一義的に決めるも
のではなく、搬送台車１１はフランジ２５の側面３２に
沿って図中矢印Ｙ１，Ｙ２方向に移動可能な状態となっ
ている。
【００６６】続いて、操作者は搬送台車１１を半導体製
造装置１２（フランジ２５）に寄せつつ図中矢印Ｙ１方
向に移動させる。前記したように、搬送台車１１の側部
には位置決めフック３６が斜め後方に延出するよう構成
されている。よって、搬送台車１１をフランジ２５に寄
せることにより、位置決めフック３６はフランジ２５に
形成されている低背リブ３０と当接する。そして、搬送
台車１１を図中矢印Ｙ１方向に移動させることにより、
位置決めフック３６は低背リブ３０に沿って図中矢印Ｙ
１方向に移動する。
【００６７】そして、位置決めフック３６の先端部に形
成された鉤形状とされた部分がピン２７の形成位置に達
すると、図９に示すように、位置決めフック３６はピン
２７に係合する。よって搬送台車１１とフランジ２５
は、位置決めフック３６により移動が規制された状態と
なる。
【００６８】この状態において、更に搬送台車１１を矢
印Ｙ１方向に移動させると、位置決めフック３６は回動
し搬送台車１１はフランジ２５に近接する。これに伴
い、搬送台車１１に配設された固定用フック３７も、フ
ランジ２５に形成された係合孔２８に近接する。
【００６９】この際、搬送台車１１とフランジ２５との
移動案内（即ち、位置決め）は、位置決めローラ３５が
側面３２と当接している位置と、位置決めフック３６と
ピン２７との係合位置の二箇所で行なわれるため、位置
決めフック３６のみで案内を行なう構成に比べ、フラン
ジ２５に対する搬送台車１１の移動案内を精度良く、か
つ容易に行なうことができる。
【００７０】そして、更に搬送台車１１をフランジ２５
に近接させることにより、固定用フック３７はフランジ
２５の本体部２６に乗り上げ、そして固定用フック３７
の先端に形成されている係合爪４１は係合孔２８内に入
り込む。これにより、図１０に示されるように、固定用
フック３７は係合孔２８と係合する。
【００７１】この際、前記したように、固定用フック３
７は図示しない弾性手段により下方（図６における矢印
Ｚ２方向）に付勢されて固定用フック３７は係合孔２８
に確実に係合する。これにより、搬送台車１１は半導体
製造装置１２（フランジ２５）に固定された状態とな
る。
【００７２】この固定処理を行なう際、操作者は固定機
構１５とフランジ２５との係合状態を目視により確認す
る必要はなく、位置決めローラ３５を側面３２に当接さ
せつつ搬送台車１１を矢印Ｙ１方向に移動させ、位置決
めフック３６とピン２７とが係合した後は、搬送台車１
１をフランジ２５に近づくよう操作するだけで搬送台車
１１を半導体製造装置１２（フランジ２５）に固定する
ことができる。よって、本実施例に係る固定装置１０に
よれば、容易に搬送台車１１を半導体製造装置１２（フ
ランジ２５）に固定することができる。
【００７３】また、上記したように係合孔２８内には給
電ユニット２９が設けられており、固定用フック３７の
先端部には受電ユニット４２が設けられている。そし
て、固定用フック３７が係合孔２８に係合することによ
り、受電ユニット４２も給電ユニット２９に接続する構
成とされている。
【００７４】よって本実施例の構成によれば、搬送台車
１１を半導体製造装置１２（フランジ２５）に固定する
処理と、搬送台車１１を半導体製造装置１２とを電気的
に接続する処理を同時に行なうことができ、固定時にお
ける処理を簡単化することができる。また、搬送台車１
１は半導体製造装置１２側から給電が行なわれるため、
搬送台車１１に電源を設ける必要がなくなり、よって搬
送台車１１の構成の簡単化することができる。
【００７５】また、搬送台車１１が半導体製造装置１２
（フランジ２５）に固定された状態において、押圧ロー
ラ３８はフランジ２５の側面３２と当接する。この際、
押圧ローラ３８はバネ４４により外側に向け弾性付勢さ
れているため、押圧ローラ３８はフランジ２５の側面３
２を押圧する。
【００７６】このように、押圧ローラ３８がフランジ２
５の側面３２を押圧することにより、搬送台車１１には
フランジ２５から離間しようとする力（以下、この力を
抗力という）が作用する。この抗力は、係合孔２８と固
定用フック３７との係合位置にも印加される。
【００７７】ここで、係合孔２８と固定用フック３７と
の係合位置における抗力の作用方向に注目すると、この
抗力は固定用フック３７の係合爪４１を係合孔２８の内
壁に押圧させるよう作用する。
【００７８】即ち、抗力は固定用フック３７と係合孔２
８との係合力を増大させるよう作用する。従って、上記
構成とされた押圧ローラ３８を設けることにより、搬送
台車１１と半導体製造装置１２（フランジ２５）との固
定をより確実に行なうことが可能となる。
【００７９】尚、搬送台車１１と半導体製造装置１２
（フランジ２５）との固定を解除するには、前記したよ
うに、搬送台車１１に設けられている操作レバーを操作
することにより、固定用フック３７を係合孔２８から離
脱させることができ、容易に固定解除所を行なうことが
できる。
【００８０】また、上記した実施例では、搬送台車１１
により３００mmウエハを搬送する構成を例に挙げて説明
したが、本発明の適用は半導体基板を搬送する搬送台車
１１に限定されるものではなく、例えば液晶基板等の半
導体基板以外の搬送物を搬送する搬送台車についても適
用可能なものである。
【００８１】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を実現することができる。
【００８２】請求項１記載の発明によれば、フランジに
形成されたピンに固定機構の第１のフック部材が係合
し、かつフランジに形成された凹部に固定機構の第２の
フック部材が係合することにより搬送台車は被固定装置
に固定されるため、簡単な構成で確実に搬送台車を被固
定装置に固定することができる。
【００８３】また、請求項２記載の発明によれば、ＳＥ
ＭＩ規格に準拠した半導体製造設備で搬送台車を用いる
ことが可能となり、よって搬送台車に３００mmウエハの
搬送処理を行なわせることができる。
【００８４】また、請求項３記載の発明によれば、搬送
台車を被固定装置に固定する処理と、搬送台車と被固定
装置とを電気的に接続する処理を同時に行なうことがで
き、固定時における処理を簡単化することができる。ま
た、搬送台車は被固定装置から給電が行なわれるため、
搬送台車に電源を設ける必要がなくなり、搬送台車の構
成の簡単化を図ることができる。
【００８５】また、請求項４記載の発明によれば、不完
全な接続状態において上記電力供給が開始されることを
防止でき、安全性の向上を図ることができる。
【００８６】また、請求項５記載の発明によれば、係合
解除機構により凹部と第２のフック部材との係合解除を
容易に行なうことができる。
【００８７】また、請求項６記載の発明によれば、被固
定装置と搬送台車の固定解除を操作レバーの操作だけで
行なうことが可能となり、固定解除操作の容易化を図る
ことができる。
【００８８】また、請求項７記載の発明によれば、搬送
台車の被固定装置に対する位置決めは、第１のフック部
材に加え、ローラが本体部の側面と当接することによっ
ても行なわれるため、固定処理時における搬送台車と被
固定装置との位置決めを容易に行なうことが可能とな
る。
【００８９】また、請求項８記載の発明によれば、搬送
台車が被固定装置に固定された際、第２のフックと凹部
との係合位置に抗力が発生し、この抗力は第２のフック
が凹部から離脱するのを防止する力として作用するた
め、搬送台車と被固定装置との固定を確実に行なうこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である固定装置により搬送台
車が半導体製造装置に固定された状態を示す図である。
【図２】本発明の一実施例である固定装置を適用した搬
送台車を示す図である。
【図３】本発明の一実施例である固定装置を構成するフ
ランジを示す図である。
【図４】本発明の一実施例である固定装置を構成する固
定機構を説明するための図である。
【図５】図４におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図６】本発明の一実施例である固定装置を構成する固
定機構の固定用フックを拡大して示す図である。
【図７】本発明の一実施例である固定装置の電気回路構
成を説明するための図である。
【図８】本発明の一実施例である固定装置の動作を説明
するための図である（その１）。
【図９】本発明の一実施例である固定装置の動作を説明
するための図である（その２）。
【図１０】本発明の一実施例である固定装置の動作を説
明するための図である（その３）。
【符号の説明】
１０ 固定装置 １１ 搬送台車 １２ 半導体製造装置 １５ 固定機構 １７ アクチュエータ部 １８ アクチュエータアーム １９ ワーク ２５ フランジ ２６ 本体部 ２７ ピン ２８ 係合孔 ２９ 給電ユニット ３２ 側面 ３５ 位置決めローラ ３６ 位置決めフック ３７ 固定用フック ３８ 押圧ローラ ４２ 受電ユニット ４３ 電極 ５１ ワイヤ ５２ 制御回路 ５３ センサ部 ５４ コネクタ部 ５５ 電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安田 昭洋 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (72)発明者 安立 司 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 Ｆターム(参考） 3D050 AA13 BB04 BB08 BB21 DD01 EE15 HH07 KK02 5F031 CA02 CA05 FA01 FA03 FA09 GA58

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 搬送台車を被固定装置に固定する搬送台
    車の固定装置において、 前記被固定装置側に配設されており、本体部に立設され
    たピンと、前記本体部に形成された凹部とを具備するフ
    ランジと、 前記搬送台車側に配設されており、前記フランジに形成
    されたピンと係合することにより前記被固定装置に対す
    る前記搬送台車の位置決めを行なう第１のフック部材
    と、前記フランジに形成された凹部と係合することによ
    り前記搬送台車を前記被固定装置に固定する第２のフッ
    ク部材とを具備する固定機構と、を設けたことを特徴と
    する搬送台車の固定装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の搬送台車の固定装置にお
    いて、 前記フランジは、 本体部と、 該本体部の長手方向に対する中央位置に立設するピン
    と、 前記本体部の長手方向に立設された低背リブ及び高背リ
    ブとを備えることを特徴とする搬送台車の固定装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または２記載の搬送台車の固定
    装置において、 前記凹部に給電ユニットを設けると共に、前記第２のフ
    ック部材に受電ユニットを設け、前記凹部と前記第２の
    フック部材が係合することにより、前記給電ユニットと
    前記受電ユニットとが電気的に接続されるよう構成した
    ことを特徴とする搬送台車の固定装置。
  4. 【請求項４】 請求項３記載の搬送台車の固定装置にお
    いて、 前記搬送台車または前記被固定装置の内少なくとも一方
    に制御装置を設けると共に、前記給電ユニットと前記受
    電ユニットとが電気的に接続されたことを検出するセン
    サを設け、 前記センサが給電ユニットと前記受電ユニットとが電気
    的に接続されたことを検出した後、前記制御装置は前記
    給電ユニットから前記受電ユニットに向け電力供給する
    構成としたことを特徴とする搬送台車の固定装置。
  5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の搬送
    台車の固定装置において、 前記凹部と前記第２のフック部材との係合を解除する係
    合解除機構を設けたことを特徴とする搬送台車の固定装
    置。
  6. 【請求項６】 請求項５記載の搬送台車の固定装置にお
    いて、 前記係合解除機構を、操作者により操作される操作レバ
    ーと、該操作レバーと前記第２のフック部材との間に介
    装されたワイヤとにより構成し、前記操作レバーの操作
    により前記凹部と前記第２のフック部材との係合を解除
    する構成としたことを特徴とする搬送台車の固定装置。
  7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の搬送
    台車の固定装置において、 前記固定機構に、前記本体部の側面と当接することによ
    り前記被固定装置に対する前記搬送台車の位置決めを行
    なうローラを設けたことを特徴とする搬送台車の固定装
    置。
  8. 【請求項８】 請求項１乃至６のいずれかに記載の搬送
    台車の固定装置において、 前記固定機構に、前記本体部の側面を押圧することによ
    り前記被固定装置と前記固定機構との間に抗力を発生さ
    せる抗力発生機構を設けたことを特徴とする搬送台車の
    固定装置。
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