JP2000072226A - 無軌道移動装置の位置決め機構 - Google Patents
無軌道移動装置の位置決め機構Info
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- JP2000072226A JP2000072226A JP10244783A JP24478398A JP2000072226A JP 2000072226 A JP2000072226 A JP 2000072226A JP 10244783 A JP10244783 A JP 10244783A JP 24478398 A JP24478398 A JP 24478398A JP 2000072226 A JP2000072226 A JP 2000072226A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造装置の間隔が大きくなるのを防止し、製
造装置の正面に広いスペースを要しないようにする。 【解決手段】 装置本体１にテーブル２を取り付け、装
置本体１に把手３を固定し、ローラ１１を装置本体１に
設け、バネ１３によりローラ１１を前方に付勢し、ロー
ラ１６を装置本体１に設け、バネ１８によりローラ１６
を外方に付勢し、フック２０を装置本体１に回動可能に
支持し、製造装置５１にプレート４１を取り付け、プレ
ート４１にローラ１１を受けるべきＶ型案内ブロック４
２を固定し、プレート４１にローラ１６と接触すべき位
置決めブロック４３を固定し、プレート４１にフック２
０と係合すべきピン４４を固定する。
造装置の正面に広いスペースを要しないようにする。 【解決手段】 装置本体１にテーブル２を取り付け、装
置本体１に把手３を固定し、ローラ１１を装置本体１に
設け、バネ１３によりローラ１１を前方に付勢し、ロー
ラ１６を装置本体１に設け、バネ１８によりローラ１６
を外方に付勢し、フック２０を装置本体１に回動可能に
支持し、製造装置５１にプレート４１を取り付け、プレ
ート４１にローラ１１を受けるべきＶ型案内ブロック４
２を固定し、プレート４１にローラ１６と接触すべき位
置決めブロック４３を固定し、プレート４１にフック２
０と係合すべきピン４４を固定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板、半導体
ウェハ等を搬送するために使用する無軌道移動装置の位
置決め機構に関するものである。
ウェハ等を搬送するために使用する無軌道移動装置の位
置決め機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】スイッチング素子としてＴＦＴ（薄膜ト
ランジスタ）を有する液晶表示装置、半導体装置等の製
造においては、ガラス基板、半導体ウェハ等をある製造
装置から他の製造装置に搬送する必要がある。この場
合、製造装置が多数並んでおり、製造装置間の通路の幅
が狭いときには、無人誘導自走車（ＡＧＶ）に代わって
無軌道移動装置が使用されている。そして、無軌道移動
装置により製造装置間にガラス基板、半導体ウェハ等を
搬送するときには、無軌道移動装置と製造装置との間で
ガラス基板、半導体ウェハ等を確実に授受するために、
無軌道移動装置を製造装置に対して正確に位置決めする
必要がある。
ランジスタ）を有する液晶表示装置、半導体装置等の製
造においては、ガラス基板、半導体ウェハ等をある製造
装置から他の製造装置に搬送する必要がある。この場
合、製造装置が多数並んでおり、製造装置間の通路の幅
が狭いときには、無人誘導自走車（ＡＧＶ）に代わって
無軌道移動装置が使用されている。そして、無軌道移動
装置により製造装置間にガラス基板、半導体ウェハ等を
搬送するときには、無軌道移動装置と製造装置との間で
ガラス基板、半導体ウェハ等を確実に授受するために、
無軌道移動装置を製造装置に対して正確に位置決めする
必要がある。
【０００３】従来、無軌道移動装置を製造装置に対して
正確に位置決めするためには、製造装置の前面と平行に
レールまたは溝を有するガイドを設け、無軌道移動装置
の車輪をレールに入れるか、無軌道移動装置に設けたロ
ーラをガイドの溝に入れて、無軌道移動装置を製造装置
の前面と平行に移動させて、ストッパおよびピンで無軌
道移動装置の位置決めを行なうか、または製造装置の前
面と直角にガイドを設け、ガイドに沿って無軌道移動装
置を移動し、ピン等を利用して無軌道移動装置の位置決
めを行なっている。
正確に位置決めするためには、製造装置の前面と平行に
レールまたは溝を有するガイドを設け、無軌道移動装置
の車輪をレールに入れるか、無軌道移動装置に設けたロ
ーラをガイドの溝に入れて、無軌道移動装置を製造装置
の前面と平行に移動させて、ストッパおよびピンで無軌
道移動装置の位置決めを行なうか、または製造装置の前
面と直角にガイドを設け、ガイドに沿って無軌道移動装
置を移動し、ピン等を利用して無軌道移動装置の位置決
めを行なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、製造装置の前
面と平行にレールまたは溝を有するガイドを設けたとき
には、レールまたはガイドが長くなり、製造装置の間隔
が大きくなる。また、製造装置の前面と直角にガイドを
設けたときには、製造装置の前面前方すなわち正面に広
いスペースを要する。
面と平行にレールまたは溝を有するガイドを設けたとき
には、レールまたはガイドが長くなり、製造装置の間隔
が大きくなる。また、製造装置の前面と直角にガイドを
設けたときには、製造装置の前面前方すなわち正面に広
いスペースを要する。
【０００５】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたもので、製造装置の間隔が大きくなることがなく、
製造装置の正面に広いスペースを要しない無軌道移動装
置の位置決め機構を提供することを目的とする。
れたもので、製造装置の間隔が大きくなることがなく、
製造装置の正面に広いスペースを要しない無軌道移動装
置の位置決め機構を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明においては、無軌道移動装置の装置本体に設
けられかつ前方に付勢された第１のローラと、上記装置
本体に設けられかつ外方に付勢された第２のローラと、
上記装置本体に回動可能に支持されたフックと、プレー
トと、上記プレートに固定されかつ上記第１のローラを
受けるべきＶ型案内ブロックと、上記プレートに固定さ
れかつ上記第２のローラと接触すべき位置決めブロック
と、上記プレートに固定されかつ上記フックと係合すべ
き係合部材とを設ける。
め、本発明においては、無軌道移動装置の装置本体に設
けられかつ前方に付勢された第１のローラと、上記装置
本体に設けられかつ外方に付勢された第２のローラと、
上記装置本体に回動可能に支持されたフックと、プレー
トと、上記プレートに固定されかつ上記第１のローラを
受けるべきＶ型案内ブロックと、上記プレートに固定さ
れかつ上記第２のローラと接触すべき位置決めブロック
と、上記プレートに固定されかつ上記フックと係合すべ
き係合部材とを設ける。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る無軌道移動装
置の位置決め機構の一部を示す平断面図、図２は図１に
示した無軌道移動装置の位置決め機構の一部を示す一部
切断正面図である。図に示すように、無軌道移動装置の
装置本体１にガラス基板、半導体ウェハ等を載置すべき
テーブル２が取り付けられ、装置本体１に把手３が固定
され、装置本体１に車輪４が取り付けられ、装置本体１
に突出部５が設けられ、突出部５に垂直軸すなわち図１
紙面直角方向の軸を中心に回転可能に車輪支持具６が取
り付けられ、車輪支持具６に車輪７が取り付けられてい
る。また、装置本体１の前後方向すなわち図１紙面左右
方向の中心軸を有するロッド８が装置本体１に固定さ
れ、ロッド８に装置本体１の前後方向に移動可能に移動
体９が支持され、移動体９にアーム１０が取り付けら
れ、アーム１０に第１のローラ１１が回転可能に取り付
けられ、ローラ１１の回転軸は垂直方向であり、装置本
体１にバネ受け１２が固定され、アーム１０とバネ受け
１２との間にバネ１３が設けられ、ローラ１１は装置本
体１に設けられかつ前方すなわち図１紙面左方に付勢さ
れている。また、装置本体１の左右方向すなわち図１紙
面上下方向の中心軸を有する孔を持つ支持体１４が装置
本体１に固定され、支持体１４の孔に装置本体１の左右
方向に移動可能にロッド１５が支持され、ロッド１５に
第２のローラ１６が回転可能に取り付けられ、ローラ１
６の回転軸は垂直方向であり、ロッド１５にバネ受け１
７が固定され、支持体１４とバネ受け１７との間にバネ
１８が設けられ、ローラ１６は装置本体１に設けられか
つ外方すなわち図１紙面下方に付勢されている。また、
装置本体１に中心軸が垂直方向の軸１９が取り付けら
れ、軸１９に回動可能にフック２０が取り付けられ、フ
ック２０は装置本体１に回動可能に支持され、装置本体
１にフック２０の回動を停止するストッパ２１が固定さ
れ、装置本体１にバネ受け２２が固定され、フック２０
とバネ受け２２との間にバネ２３が設けられている。ま
た、装置本体１に中心軸が水平方向すなわち図２紙面直
角方向の軸２４が取り付けられ、軸２４に回動可能に回
動体２５が取り付けられ、回動体２５にペダル２６が取
り付けられている。また、装置本体１に垂直方向の円柱
体２７、２８、水平方向の円柱体２９が取り付けられ、
ワイヤ３０の一端がフック２０に固定され、ワイヤ３０
の他端が回動体２５に固定され、ワイヤ３０は円柱体２
７〜２９に掛け回されている。
置の位置決め機構の一部を示す平断面図、図２は図１に
示した無軌道移動装置の位置決め機構の一部を示す一部
切断正面図である。図に示すように、無軌道移動装置の
装置本体１にガラス基板、半導体ウェハ等を載置すべき
テーブル２が取り付けられ、装置本体１に把手３が固定
され、装置本体１に車輪４が取り付けられ、装置本体１
に突出部５が設けられ、突出部５に垂直軸すなわち図１
紙面直角方向の軸を中心に回転可能に車輪支持具６が取
り付けられ、車輪支持具６に車輪７が取り付けられてい
る。また、装置本体１の前後方向すなわち図１紙面左右
方向の中心軸を有するロッド８が装置本体１に固定さ
れ、ロッド８に装置本体１の前後方向に移動可能に移動
体９が支持され、移動体９にアーム１０が取り付けら
れ、アーム１０に第１のローラ１１が回転可能に取り付
けられ、ローラ１１の回転軸は垂直方向であり、装置本
体１にバネ受け１２が固定され、アーム１０とバネ受け
１２との間にバネ１３が設けられ、ローラ１１は装置本
体１に設けられかつ前方すなわち図１紙面左方に付勢さ
れている。また、装置本体１の左右方向すなわち図１紙
面上下方向の中心軸を有する孔を持つ支持体１４が装置
本体１に固定され、支持体１４の孔に装置本体１の左右
方向に移動可能にロッド１５が支持され、ロッド１５に
第２のローラ１６が回転可能に取り付けられ、ローラ１
６の回転軸は垂直方向であり、ロッド１５にバネ受け１
７が固定され、支持体１４とバネ受け１７との間にバネ
１８が設けられ、ローラ１６は装置本体１に設けられか
つ外方すなわち図１紙面下方に付勢されている。また、
装置本体１に中心軸が垂直方向の軸１９が取り付けら
れ、軸１９に回動可能にフック２０が取り付けられ、フ
ック２０は装置本体１に回動可能に支持され、装置本体
１にフック２０の回動を停止するストッパ２１が固定さ
れ、装置本体１にバネ受け２２が固定され、フック２０
とバネ受け２２との間にバネ２３が設けられている。ま
た、装置本体１に中心軸が水平方向すなわち図２紙面直
角方向の軸２４が取り付けられ、軸２４に回動可能に回
動体２５が取り付けられ、回動体２５にペダル２６が取
り付けられている。また、装置本体１に垂直方向の円柱
体２７、２８、水平方向の円柱体２９が取り付けられ、
ワイヤ３０の一端がフック２０に固定され、ワイヤ３０
の他端が回動体２５に固定され、ワイヤ３０は円柱体２
７〜２９に掛け回されている。
【０００８】図３は本発明に係る無軌道移動装置の位置
決め機構の一部を示す図である。図に示すように、プレ
ート４１にローラ１１を受けるべきＶ型案内ブロック４
２が固定され、プレート４１にローラ１６と接触すべき
位置決めブロック４３が固定され、プレート４１にフッ
ク２０と係合すべき係合部材であるピン４４が固定され
ている。
決め機構の一部を示す図である。図に示すように、プレ
ート４１にローラ１１を受けるべきＶ型案内ブロック４
２が固定され、プレート４１にローラ１６と接触すべき
位置決めブロック４３が固定され、プレート４１にフッ
ク２０と係合すべき係合部材であるピン４４が固定され
ている。
【０００９】つぎに、図１〜図３に示した無軌道移動装
置の位置決め機構の動作について説明する。まず、図４
に示すように、液晶表示装置、半導体装置等の製造装置
５１にプレート４１を取り付ける。この場合、ピン４４
の中心線が垂直方向となるようにする。そして、把手３
を持って装置本体１を移動し、Ｖ型案内ブロック４２の
受け部内にローラ１１を位置させる。つぎに、図５に示
すように、装置本体１を前方すなわち図５紙面上方に移
動して、Ｖ型案内ブロック４２の受け部にローラ１１を
押し付ける。このとき、アーム１０、ローラ１１はバネ
１３に抗して装置本体１に対して後方すなわち図５紙面
下方に移動する。この状態で、装置本体１の後部すなわ
ち図５紙面下部を製造装置５１側に移動すると、フック
２０の傾斜面２０ａがピン４４に接触し、フック２０が
図５紙面時計方向に回動し、傾斜面２０ａがピン４４か
ら離れると、フック２０が図５紙面反時計方向に回動し
て、フック２０がピン４４に係合するとともに、ロッド
１５、ローラ１６がバネ１８に抗して装置本体１に対し
て右方すなわち図５紙面右方に移動して、ローラ１６が
バネ１８によってプレート４１に押し付けられる。つぎ
に、図５に示すように、装置本体１を少し後方に移動す
ると、アーム１０、ローラ１１がバネ１３によって装置
本体１に対して前方に移動し、またローラ１１がバネ１
３によってＶ型案内ブロック４２の受け部に押し付けら
れ、さらにローラ１６がバネ１３によって位置決めブロ
ック４３に押し付けられる。この状態では、フック２０
がピン４４に係合しており、またローラ１６がバネ１８
によってプレート４１に押し付けられるから、製造装置
５１に対して装置本体１の左右方向の位置決めがなさ
れ、さらにローラ１１がバネ１３によってＶ型案内ブロ
ック４２の受け部に押し付けられ、またローラ１６がバ
ネ１３によって位置決めブロック４３に押し付けられる
から、製造装置５１に対して装置本体１の前後方向の位
置決めがなされる。この状態で、テーブル２から製造装
置５１へガラス基板、半導体ウェハ等が搬送され、また
製造装置５１からテーブル２へガラス基板、半導体ウェ
ハ等が搬送される。そして、図６に示す状態において、
足でペダル２６を踏むと、回動体２５が図２紙面時計方
向に回動し、ワイヤ３０が上方に引かれ、フック２０が
バネ２３に抗して図１紙面時計方向に回動するから、フ
ック２０がピン４４から外れる。この場合、ロッド１
５、ローラ１６がバネ１８によって装置本体１に対して
左方に移動するから、装置本体１の後部が右方に移動
し、装置本体１の後部をさらに右方に移動させると、ロ
ーラ１６が位置決めブロック４３と接触しなくなり、こ
のときアーム１０、ローラ１１がバネ１３によって装置
本体１に対して前方に移動するから、装置本体１が後方
に移動し、装置本体１をさらに後方に移動させると、ロ
ーラ１１がＶ型案内ブロック４２の受け部から離れ、装
置本体１は自由に走行することができるようになる。な
お、ペダル２６から足を離すと、フック２０がバネ２３
によって図１紙面反時計方向にストッパ２１に接触する
まで回動され、フック２０が元の状態に戻る。
置の位置決め機構の動作について説明する。まず、図４
に示すように、液晶表示装置、半導体装置等の製造装置
５１にプレート４１を取り付ける。この場合、ピン４４
の中心線が垂直方向となるようにする。そして、把手３
を持って装置本体１を移動し、Ｖ型案内ブロック４２の
受け部内にローラ１１を位置させる。つぎに、図５に示
すように、装置本体１を前方すなわち図５紙面上方に移
動して、Ｖ型案内ブロック４２の受け部にローラ１１を
押し付ける。このとき、アーム１０、ローラ１１はバネ
１３に抗して装置本体１に対して後方すなわち図５紙面
下方に移動する。この状態で、装置本体１の後部すなわ
ち図５紙面下部を製造装置５１側に移動すると、フック
２０の傾斜面２０ａがピン４４に接触し、フック２０が
図５紙面時計方向に回動し、傾斜面２０ａがピン４４か
ら離れると、フック２０が図５紙面反時計方向に回動し
て、フック２０がピン４４に係合するとともに、ロッド
１５、ローラ１６がバネ１８に抗して装置本体１に対し
て右方すなわち図５紙面右方に移動して、ローラ１６が
バネ１８によってプレート４１に押し付けられる。つぎ
に、図５に示すように、装置本体１を少し後方に移動す
ると、アーム１０、ローラ１１がバネ１３によって装置
本体１に対して前方に移動し、またローラ１１がバネ１
３によってＶ型案内ブロック４２の受け部に押し付けら
れ、さらにローラ１６がバネ１３によって位置決めブロ
ック４３に押し付けられる。この状態では、フック２０
がピン４４に係合しており、またローラ１６がバネ１８
によってプレート４１に押し付けられるから、製造装置
５１に対して装置本体１の左右方向の位置決めがなさ
れ、さらにローラ１１がバネ１３によってＶ型案内ブロ
ック４２の受け部に押し付けられ、またローラ１６がバ
ネ１３によって位置決めブロック４３に押し付けられる
から、製造装置５１に対して装置本体１の前後方向の位
置決めがなされる。この状態で、テーブル２から製造装
置５１へガラス基板、半導体ウェハ等が搬送され、また
製造装置５１からテーブル２へガラス基板、半導体ウェ
ハ等が搬送される。そして、図６に示す状態において、
足でペダル２６を踏むと、回動体２５が図２紙面時計方
向に回動し、ワイヤ３０が上方に引かれ、フック２０が
バネ２３に抗して図１紙面時計方向に回動するから、フ
ック２０がピン４４から外れる。この場合、ロッド１
５、ローラ１６がバネ１８によって装置本体１に対して
左方に移動するから、装置本体１の後部が右方に移動
し、装置本体１の後部をさらに右方に移動させると、ロ
ーラ１６が位置決めブロック４３と接触しなくなり、こ
のときアーム１０、ローラ１１がバネ１３によって装置
本体１に対して前方に移動するから、装置本体１が後方
に移動し、装置本体１をさらに後方に移動させると、ロ
ーラ１１がＶ型案内ブロック４２の受け部から離れ、装
置本体１は自由に走行することができるようになる。な
お、ペダル２６から足を離すと、フック２０がバネ２３
によって図１紙面反時計方向にストッパ２１に接触する
まで回動され、フック２０が元の状態に戻る。
【００１０】このような無軌道移動装置の位置決め機構
においては、フック２０がピン４４に係合しており、ま
たローラ１６がバネ１８によってプレート４１に押し付
けられた状態では、製造装置５１に対して装置本体１の
左右方向の位置決めがなされ、さらにＶ型案内ブロック
４２の受け部にローラ１１がバネ１３によって押し付け
られ、またローラ１６が位置決めブロック４３にバネ１
３によって押し付けられた状態では、製造装置５１に対
して装置本体１の前後方向の位置決めがなされるから、
無軌道移動装置を製造装置５１に対して正確に位置決め
することができる。また、製造装置５１の前面と平行に
レールまたは溝を有するガイドを設ける必要がなく、ま
た製造装置５１の前面と直角にガイドを設ける必要がな
いから、製造装置５１の間隔が大きくなることがなく、
また製造装置５１の正面に広いスペースを要しない。
においては、フック２０がピン４４に係合しており、ま
たローラ１６がバネ１８によってプレート４１に押し付
けられた状態では、製造装置５１に対して装置本体１の
左右方向の位置決めがなされ、さらにＶ型案内ブロック
４２の受け部にローラ１１がバネ１３によって押し付け
られ、またローラ１６が位置決めブロック４３にバネ１
３によって押し付けられた状態では、製造装置５１に対
して装置本体１の前後方向の位置決めがなされるから、
無軌道移動装置を製造装置５１に対して正確に位置決め
することができる。また、製造装置５１の前面と平行に
レールまたは溝を有するガイドを設ける必要がなく、ま
た製造装置５１の前面と直角にガイドを設ける必要がな
いから、製造装置５１の間隔が大きくなることがなく、
また製造装置５１の正面に広いスペースを要しない。
【００１１】
【発明の効果】本発明に係る無軌道移動装置の位置決め
機構においては、製造装置の前面と平行にレールまたは
溝を有するガイドを設ける必要がなく、また製造装置の
前面と直角にガイドを設ける必要がないから、製造装置
の間隔が大きくなることがなく、また製造装置の正面に
広いスペースを要しない。
機構においては、製造装置の前面と平行にレールまたは
溝を有するガイドを設ける必要がなく、また製造装置の
前面と直角にガイドを設ける必要がないから、製造装置
の間隔が大きくなることがなく、また製造装置の正面に
広いスペースを要しない。
【図１】本発明に係る無軌道移動装置の位置決め機構の
一部を示す平断面図である。
一部を示す平断面図である。
【図２】図１に示した無軌道移動装置の位置決め機構の
一部を示す一部切断正面図である。
一部を示す一部切断正面図である。
【図３】本発明に係る無軌道移動装置の位置決め機構の
一部を示す図である。
一部を示す図である。
【図４】図１〜図３に示した無軌道移動装置の位置決め
機構の動作説明図である。
機構の動作説明図である。
【図５】図１〜図３に示した無軌道移動装置の位置決め
機構の動作説明図である。
機構の動作説明図である。
【図６】図１〜図３に示した無軌道移動装置の位置決め
機構の動作説明図である。
機構の動作説明図である。
【符号の説明】 １…装置本体 １１…第１のローラ １３…バネ １６…第２のローラ １８…バネ ２０…フック ４１…プレート ４２…Ｖ型案内ブロック ４３…位置決めブロック ４４…ピン
Claims (1)
- 【請求項１】無軌道移動装置の装置本体に設けられかつ
前方に付勢された第１のローラと、上記装置本体に設け
られかつ外方に付勢された第２のローラと、上記装置本
体に回動可能に支持されたフックと、プレートと、上記
プレートに固定されかつ上記第１のローラを受けるべき
Ｖ型案内ブロックと、上記プレートに固定されかつ上記
第２のローラと接触すべき位置決めブロックと、上記プ
レートに固定されかつ上記フックと係合すべき係合部材
とを具備することを特徴とする無軌道移動装置の位置決
め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10244783A JP2000072226A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 無軌道移動装置の位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10244783A JP2000072226A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 無軌道移動装置の位置決め機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000072226A true JP2000072226A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17123867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10244783A Pending JP2000072226A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 無軌道移動装置の位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000072226A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002060055A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-26 | Fujitsu Ltd | 搬送台車の固定装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53127460U (ja) * | 1977-03-18 | 1978-10-09 | ||
| JPH05190644A (ja) * | 1992-01-09 | 1993-07-30 | Nikon Corp | プレートキャリアの搬送車 |
| JPH06247547A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-06 | Central Glass Co Ltd | 支持台の位置決め方法およびその装置 |
| JPH0752096A (ja) * | 1993-08-19 | 1995-02-28 | Ibiden Co Ltd | プリント基板の加工方法 |
-
1998
- 1998-08-31 JP JP10244783A patent/JP2000072226A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS53127460U (ja) * | 1977-03-18 | 1978-10-09 | ||
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| JPH06247547A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-06 | Central Glass Co Ltd | 支持台の位置決め方法およびその装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002060055A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-26 | Fujitsu Ltd | 搬送台車の固定装置 |
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