JP2023062460A

JP2023062460A - 搬送設備

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Publication number: JP2023062460A
Application number: JP2021172456A
Authority: JP
Inventors: 裕貴滝本; Yuki Takimoto
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2021-10-21
Filing date: 2021-10-21
Publication date: 2023-05-08
Anticipated expiration: 2041-10-21
Also published as: JP7517304B2

Abstract

【課題】検査装置の軽量化を図るために搬送車から検査装置に電力を供給できると共に、当該電力供給のための接続部に過大な負荷が作用することを回避する。【解決手段】検査装置２は、電源部１４から供給された電力により動作して検査を行う検査部と、給電部１５に対して着脱自在であると共に電源部１４と検査部とを電気的に接続する接続部２５０と、を備え、搬送制御部Ｈ１は、接続部２５０が給電部１５に接続されている接続状態では把持部１２が把持状態から解除状態に状態変更することを禁止し、接続部２５０が給電部１５に接続されていない非接続状態では把持部１２の状態変更を許容する。【選択図】図５

Description

本発明は、搬送物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に前記搬送物に代えて前記搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備に関する。

このような搬送設備の一例が、特開２０１６-１９９３４８号公報（特許文献１）に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示される符号は、特許文献１のものである。

特許文献１に開示された設備では、搬送車（１）が、搬送物としての容器（Ｗ）の代わりに検査装置（Ｊ）を把持可能に構成されており、当該検査装置（Ｊ）によって、搬送車（１）による搬送動作に係る各方向の位置ずれを検査する（特許文献１の図１０及び図１１等参照）。

特開２０１６-１９９３４８号公報

ところで、特許文献１には、検査装置（Ｊ）の動力について特に記載がない。通常、検査装置（Ｊ）にはバッテリなどの蓄電装置が搭載されており、検査装置（Ｊ）の動力は、このような蓄電装置の電力によって賄われる。しかしながら、検査装置（Ｊ）の軽量化の観点からは、検査装置（Ｊ）には蓄電装置が搭載されていないことが好ましい。例えば、搬送車（１）側の電源部と検査装置（Ｊ）とを電気的に接続し、搬送車（１）側の電源部から検査装置（Ｊ）に電力を供給することで、検査装置（Ｊ）の蓄電装置を無くすことも可能である。ここで、搬送車（１）が検査装置（Ｊ）を搬送している際に、搬送車（１）側の電源部と検査装置（Ｊ）とが配線等の接続部によって繋がれた状態では、搬送車（１）は検査装置（Ｊ）を把持している必要がある。仮に、搬送車（１）による検査装置（Ｊ）の把持が解除された場合には、搬送車（１）と検査装置（Ｊ）とが接続部のみによって物理的に繋がっている状態となり、当該接続部に過大な負担が掛かり得る。そこで、このような事態が発生しないようにする必要がある。

上記実状に鑑みて、検査装置の軽量化を図るために搬送車から検査装置に電力を供給できると共に、当該電力供給のための接続部に過大な負荷が作用することを回避できる搬送設備が望まれている。

搬送物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に前記搬送物に代えて前記搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備であって、
前記搬送車は、本体部と、前記本体部を走行させる走行部と、前記本体部に搭載された把持部と、前記走行部及び前記把持部に電力を供給する電源部と、前記電源部に接続された給電部と、前記搬送車の各部を制御する搬送制御部と、を備え、
前記把持部は、前記搬送物及び前記検査装置のそれぞれが備える被把持部を把持する把持状態と、前記被把持部の把持を解除する解除状態と、に状態変更可能に構成され、
前記検査装置は、前記被把持部と、前記電源部から供給された電力により動作して前記検査を行う検査部と、前記給電部に対して着脱自在であると共に前記電源部と前記検査部とを電気的に接続する接続部と、を備え、
前記搬送制御部は、前記接続部が前記給電部に接続されている接続状態では前記把持部が前記把持状態から前記解除状態に状態変更することを禁止し、前記接続部が前記給電部に接続されていない非接続状態では前記把持部の状態変更を許容する。

本構成によれば、検査装置の検査部が、搬送車の電源部から供給された電力により動作するように構成されている。そのため、検査装置にバッテリなどの蓄電装置を搭載する必要が無く、検査装置の軽量化を図ることができる。また、本構成によれば、検査装置の接続部が搬送車の給電部に接続されている接続状態では、把持部が把持状態から解除状態に状態変更することが搬送制御部によって禁止される。すなわち、検査装置の重量が把持部によって支持された状態が維持される。これにより、接続部に対して過大な負荷が作用しないようにすることができる。一方、接続部が給電部に接続されていない非接続状態では、把持部の状態変更が許容されるので、検査装置の着脱や搬送物の搬送を適切に行うことができる。以上のように、本構成によれば、検査装置の軽量化を図るために搬送車から検査装置に電力を供給できると共に、当該電力供給のための接続部に過大な負荷が作用することを回避できる。

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

搬送設備の平面図搬送車が移載対象箇所との間で搬送物を移載している様子を示す図検査装置が検査を行っている様子を示す図接続部が接続状態で、把持部が解除状態になった場合を示す図搬送設備の制御構成図であり、接続部の接続状態を示す図搬送設備の制御構成図であり、接続部の非接続状態を示す図

搬送設備は、搬送物を搬送する搬送車と、搬送車による搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に搬送物に代えて搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた設備である。以下、搬送設備が、半導体製造工場に用いられる場合を例示して、搬送設備の実施形態について説明する。

図１及び図２に示すように、搬送設備１００は、搬送物９を搬送する搬送車１と、搬送物９の移載元または移載先となる移載対象箇所８と、を備えている。本実施形態では、複数の搬送車１と複数の移載対象箇所８とが、搬送設備１００に設けられている。

本実施形態では、搬送設備１００は、設備の天井近くに設置されて搬送車１の搬送経路Ｒの一部を構成する走行レールＲａを備えている。すなわち、本例において搬送車１は、天井近くで搬送物９を搬送する天井搬送車として構成されている。なお、「搬送経路Ｒ」とは、搬送車１が搬送物９を移動させる経路である。本例では、搬送経路Ｒは、走行レールＲａに沿って設定されていると共に、各移載対象箇所８と走行レールＲａとを上下方向に結ぶ仮想的な経路に沿って設定されている。

図２に示すように、走行レールＲａは、設備の天井から吊下げ支持されている。本例では、走行レールＲａに沿って、給電線Ｒｂが設けられている。搬送車１は、給電線Ｒｂから非接触で電力の供給を受けることにより動力源を確保するように構成されている。

図１及び図２に示すように、本実施形態では、移載対象箇所８は、搬送物９に対する処理を行う処理装置８１と、処理装置８１に隣接して配置されると共に搬送物９が載置される載置台８２と、を備えている。載置台８２は、いわゆるロードポートである。処理装置８１は、載置台８２に載置された搬送物９に対して処理を行う。載置台８２には、当該載置台８２に載置された搬送物９の位置決めを行う位置決め部８２ａが設けられている。位置決め部８２ａは、載置台８２の上面に設けられており、載置台８２に載置された搬送物９の底面に設けられた被係合部９０ａに係合するように構成されている。本例では、位置決め部８２ａは、載置台８２の上面から上側に突出するように設けられた複数の位置決めピンである。

本実施形態では、搬送車１は、処理装置８１による処理が行われる前の搬送物９を載置台８２に搬送すると共に、処理装置８１による処理が行われた後の搬送物９を載置台８２から指定された搬送先へ搬送する。例えば、搬送物９は、処理装置８１による処理の対象となる処理対象物を収容する容器であり、上述の「搬送物９に対する処理」とは、搬送物９に収容された処理対象物に対する処理を意味する。搬送物９としては、ウェハを収容するウェハ収容容器（いわゆるＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）であっても良いし、レチクルを収容するレチクル収容容器（いわゆるレチクルポッド）であっても良い。搬送物９がＦＯＵＰである場合、処理対象物はウェハとされる。搬送物９がレチクルポッドである場合、処理対象物はレチクルとされる。ここで例示する半導体製造工場においては、処理装置８１は、半導体基板に対して、例えば、薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの種々の処理を行う。

図２に示すように、容器としての搬送物９は、容器本体部９０と、被把持部９１と、を備えている。容器本体部９０は、処理対象物を収容する部分である。被把持部９１は、後述する搬送車１の把持部１２によって把持される部分である。本実施形態では、被把持部９１は、容器本体部９０の上面から上方に突出するように形成されている。本例では、被把持部９１は、水平方向に沿って延在するフランジ状に形成されている。容器本体部９０の底面には、載置台８２に設けられた位置決め部８２ａに係合する被係合部９０ａが設けられている。上記のとおり、本例では、位置決め部８２ａは、複数の位置決めピンである。そこで、被係合部９０ａは、複数の位置決めピンのそれぞれに係合するように、容器本体部９０の底面から上方に凹んで形成された凹部である。。本例では、複数の位置決めピンのそれぞれに対応する容器本体部９０の底面の複数箇所に、被係合部９０ａとしての凹部が設けられている。よって、搬送物９が載置台８２に載置された状態で、被係合部９０ａとしての複数の凹部は、載置台８２の位置決め部８２ａとしての複数の位置決めピンのそれぞれに係合する。

搬送車１は、本体部１０と、本体部１０を走行させる走行部１１と、本体部１０に搭載された把持部１２と、走行部１１及び把持部１２に電力を供給する電源部１４と、を備えている。また、搬送車１は、電源部１４に接続された給電部１５と、搬送車１の各部を制御する搬送制御部Ｈ１と、を備えている（図５等参照）。

本実施形態では、搬送車１は、把持部１２を移動させる移動機構部１３を備え、把持部１２を移動させて把持部１２と移載対象箇所８との間で搬送物９を移載するように構成されている。移動機構部１３は、少なくとも、把持部１２を昇降させるように構成されている。すなわち本実施形態では、搬送車１は、把持部１２を昇降させる昇降部を備えている。ここでは、移動機構部１３が、「昇降部」としての機能を備えている。

本実施形態では、移動機構部１３は、把持部１２に連結された昇降ベルト１３ａを備えている。昇降ベルト１３ａは、昇降モータにより駆動されて、把持部１２を昇降させる。本例では、移動機構部１３は、上方位置と、当該上方位置よりも下方に設定された下方位置との間で、把持部１２を昇降させるように構成されている。把持部１２が上方位置に配置された状態で、走行部１１が走行レールＲａに沿って走行し、本体部１０及び把持部１２を移動させる。また、把持部１２が下方位置に配置された状態で、搬送車１と移載対象箇所８との間で搬送物９の移載が行われる。

走行部１１は、走行レールＲａ上を転動する複数の走行輪１１ａを備えている。複数の走行輪１１ａのうちの少なくとも１つは、走行モータにより駆動される。これにより、走行部１１が走行レールＲａに沿って走行するための推進力が発生する。

本体部１０は、走行部１１に吊り下げ支持され、走行レールＲａよりも下方に配置されている。本実施形態では、本体部１０は、把持部１２を収容可能なカバー部１０ａを備えている。具体的には、カバー部１０ａは、上方位置に配置された把持部１２を収容するように構成されている。

把持部１２は、搬送物９及び検査装置２（図３参照）のそれぞれが備える被把持部（９１，２１）を把持する把持状態と、被把持部（９１，２１）の把持を解除する解除状態と、に状態変更可能に構成されている。本実施形態では、把持部１２は、互いに接近または離間するように動作する一対の把持爪１２ａを備えている。一対の把持爪１２ａが、互いに接近するように動作することで、一対の把持爪１２ａが被把持部（９１，２１）に接触して、把持部１２が把持状態となる。反対に、一対の把持爪１２ａが、互いに離間するように動作することで、一対の把持爪１２ａが被把持部（９１，２１）から離間して、把持部１２が解除状態となる。

電源部１４は、走行部１１、把持部１２、及び移動機構部１３に電力を供給するように構成されている。本実施形態では、電源部１４は、走行レールＲａに配設された給電線Ｒｂから非接触で電力の供給を受ける受電装置として構成されている。電源部１４は、給電線Ｒｂから得た電力を搬送車１の各部に供給する。

搬送経路Ｒに関する検査が行われる場合には、搬送車１は、搬送物９に代えて検査装置２を搬送する（図３参照）。搬送車１が搬送経路Ｒに沿って検査装置２を搬送している間に、検査装置２は、搬送経路Ｒに関する検査を行う。ここで、「搬送経路Ｒに関する検査」には、搬送経路Ｒを移動中の搬送車１の検査、走行レールＲａの検査、移載対象箇所８の検査、搬送経路Ｒの周辺の空気の清浄度の検査、搬送経路Ｒやその周辺の状況や環境の検査などが含まれる。

図３に示すように、検査装置２は、搬送車１の把持部１２によって把持される被把持部２１と、搬送車１の電源部１４（図５等参照）から供給された電力により動作して検査を行う検査部２２と、搬送車１の給電部１５に対して着脱自在であると共に電源部１４と検査部２２とを電気的に接続する接続部２５０と、を備えている。このような構成により、検査装置２の検査部２２が、搬送車１の電源部１４から供給された電力により動作することができる。そのため、検査装置２にバッテリなどの蓄電装置を搭載する必要が無く、検査装置２の軽量化を図ることができる。

本実施形態では、検査装置２は、ユニット本体部２０を備えている。検査部２２及び接続部２５０は、ユニット本体部２０によって支持されている。被把持部２１は、ユニット本体部２０の上面から上方に突出するように形成されている。本例では、搬送物９の被把持部９１と検査装置２の被把持部２１とは、少なくとも、搬送車１の把持部１２によって把持される部分が共通の形状となっている。

本実施形態では、給電部１５は、接続部２５０に接続される被接続部１５０を備えている。接続部２５０は、検査装置２側のコネクタである。被接続部１５０は、搬送車１側のコネクタである。これら接続部２５０と被接続部１５０とが接続されることで、搬送車１の電源部１４と検査装置２の検査部２２とが電気的に接続される。本例では、給電部１５は、被接続部１５０（コネクタ）と電源部１４とを電気的に接続する電気配線を更に備えている。また、検査装置２は、接続部２５０（コネクタ）と検査部２２とを電気的に接続する電気配線を更に備えている。

本実施形態では、検査部２２は、移載対象箇所８を撮影するように構成されている。検査装置２は、検査部２２により撮影された画像に基づいて、把持部１２と移載対象箇所８との位置関係を検査する。本例では、検査部２２は、カメラ２２ａを備えている。検査装置２は、カメラ２２ａによって移載対象箇所８を撮影する。また本例では、検査部２２は、移載対象箇所８との距離を検出する距離センサ２２ｂを備えている。距離センサ２２ｂは、下方を向くように配置され、移載対象箇所８との上下方向の距離を検出するように構成されている。

図１に示すように、本実施形態では、移載対象箇所８は、処理装置８１に隣接されて配置された載置台８２の他、検査を行う際に用いる検査用載置台８３を備えている。本例では、搬送車１が検査用載置台８３に検査装置２を搬送することで、検査装置２が検査を行う。

図３に示すように、検査用載置台８３には、載置台８２と同様の位置決め部材８３ａが設けられている。本実施形態では、検査用載置台８３には、検査部２２により撮影される対象となるマークＭが設けられている。マークＭは、検査用載置台８３における上面に設けられ、上方を向くように配置されている。

本実施形態では、検査装置２は、マークＭの位置を基準として、把持部１２と移載対象箇所８との位置関係を検査する。具体的には、検査装置２は、カメラ２２ａによりマークＭを撮影し、撮影された画像中におけるマークＭの位置に基づいて、移載対象箇所８と把持部１２との水平方向の位置関係を検査する。また、検査装置２は、距離センサ２２ｂによりマークＭ（検査用載置台８３の上面）との上下方向の距離を検出し、移載対象箇所８と把持部１２との上下方向の位置関係を検査する。なお、検査装置２は、距離センサ２２ｂを備えていなくても良い。この場合であっても、検査装置２は、カメラ２２ａにより撮影された画像中のマークＭの大きさに基づいて、マークＭ（検査用載置台８３の上面）との上下方向の距離を検出することができる。

上記検査により、搬送車１が移載対象箇所８に対して搬送物９を搬送する際の搬送動作に係る各方向の位置ずれを検査することができる。但し、このような検査は、検査装置２が行う検査の一例に過ぎない。上述のように、検査装置２は、搬送経路Ｒに関する各種の検査を行っても良い。

ここで、上述したように、検査装置２側の接続部２５０と搬送車１側の被接続部１５０とが接続されることで、搬送車１の電源部１４と検査装置２の検査部２２とが電気的に接続される。これにより、搬送車１の電源部１４から検査装置２に電力を供給することができるため、検査装置２にバッテリなどの蓄電装置を搭載する必要が無く、検査装置２の軽量化を実現することができる。しかしながら、搬送車１が検査装置２を搬送している際に、接続部２５０と被接続部１５０とが接続された状態では、把持部１２が把持状態、すなわち搬送車１が検査装置２を把持している必要がある。仮に、把持部１２が解除状態となった場合には、搬送車１と検査装置２とが、給電部１５と接続部２５０との接続のみによって物理的に繋がっている状態となり、当該接続部２５０（或いは給電部１５）に過大な負担が掛かり得る（図４参照）。より具体的には、例えば図４に示すように、給電部１５と接続部２５０との接続のみによって検査装置２が把持部１２に吊下げられた状態となり得る。そこで、このような事態が発生しないようにする必要がある。本開示に係る搬送設備１００は、検査装置２の軽量化を図るために搬送車１から検査装置２に電力を供給できると共に、当該電力供給のための接続部２５０に過大な負荷が作用することを回避できる。以下、これらの作用効果を実現可能な搬送設備１００の構成について詳細に説明する。

図５及び図６は、搬送設備１００の制御構成図である。図５は、接続部２５０が被接続部１５０と接続された状態を示している。図６は、接続部２５０が被接続部１５０と接続されていない状態を示している。

図５及び図６に示すように、本実施形態では、搬送設備１００は、設備全体を統括して管理する統括制御装置Ｈｔと、作業者Ｗが操作可能な操作部７と、を備えている。統括制御装置Ｈｔは、搬送設備１００に備えらえた各装置と通信可能に構成されており、各装置の動作状況に関する情報を取得可能であると共に各装置に対して各種指令を出力する。本実施形態では、統括制御装置Ｈｔは、搬送車１を制御する搬送制御部Ｈ１に対して、搬送指令や検査指令などの各種指令を出力する。また、統括制御装置Ｈｔは、作業者Ｗが操作部７に入力した指令を、搬送制御部Ｈ１に対して出力する。搬送指令を受けた搬送車１は、例えば、指定の搬送元から指定の搬送先へ搬送物９を搬送する。検査指令を受けた搬送車１は、例えば、指定の搬送元から指定の搬送先へ検査装置２を搬送する。統括制御装置Ｈｔ及び搬送制御部Ｈ１は、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアとコンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムとの協働により、各機能が実現される。

搬送制御部Ｈ１は、走行部１１、把持部１２、及び移動機構部１３の動作を制御するように構成されている。搬送制御部Ｈ１は、接続部２５０が給電部１５に接続されている接続状態では把持部１２が把持状態から解除状態に状態変更することを禁止し、接続部２５０が給電部１５に接続されていない非接続状態では把持部１２の状態変更を許容する。これにより、検査装置２の接続部２５０が搬送車１の給電部１５に接続されている接続状態では、把持部１２が把持状態から解除状態に状態変更することが搬送制御部Ｈ１によって禁止されるため、検査装置２の重量が把持部１２によって支持された状態が維持される。従って、図４に示された状態を回避でき、接続部２５０に対して過大な負荷が作用しないようにすることができる。

本実施形態では、搬送車１は、把持部１２の開閉動作を実行するための信号（以下特定信号ＧＯという）が伝達される伝達経路ＴＲを備えている。ここでは、伝達経路ＴＲは、特定信号ＧＯの発生源と搬送制御部Ｈ１とを接続する信号線とされている。搬送制御部Ｈ１は、伝達経路ＴＲが導通状態で、把持部１２の開閉動作を制御可能となっている。本例では、伝達経路ＴＲには、移動機構部１３の動作（ここでは昇降動作）を実行するための信号も伝達される。搬送制御部Ｈ１は、伝達経路ＴＲが導通状態で、移動機構部１３の動作を制御可能となっている。

本実施形態では、伝達経路ＴＲにスイッチＳが設けられている。スイッチＳは、例えばリレーである。本例では、スイッチＳは、電源部１４の正極Ｐ側に接続される正極電源端子Ｓｐと、電源部１４の負極Ｎ側に接続される負極電源端子Ｓｎと、を備えている。スイッチＳは、正極電源端子Ｓｐ及び負極電源端子Ｓｎに電源部１４の電圧が入力された状態で、伝達経路ＴＲを遮断する（図５参照）。また、スイッチＳは、正極電源端子Ｓｐ及び負極電源端子Ｓｎの少なくとも一方に電源部１４の電圧が入力されていない状態で、伝達経路ＴＲを導通させる（図６参照）。例えば、スイッチＳは、回路を閉じる方向にバネ等によって機械的に付勢されており、電圧の入力により、回路を開く方向に電気的に駆動されるように構成されている。これにより、スイッチＳは、電圧が入力されていない状態で伝達経路ＴＲを導通させ、電圧が入力されている状態で伝達経路ＴＲを遮断する。

図５に示すように、本実施形態では、接続部２５０が接続状態では、電源部１４の正極Ｐ又は負極Ｎの電圧がスイッチＳに入力されて、スイッチＳにより伝達経路ＴＲが遮断状態となる。本例では、電源部１４の正極Ｐの電圧が常にスイッチＳに入力された状態であり、スイッチＳに対する電源部１４の負極Ｎの電圧の入力の有無に応じてスイッチＳの状態が変化する。後述するように、スイッチＳに対する負極Ｎの電圧の入力の有無は、接続部２５０の接続状態と非接続状態とに応じて切り替わるように構成されている。

本実施形態では、給電部１５の被接続部１５０は、電源部１４の正極Ｐ側に接続された被接続部第１端子１５１と、電源部１４の負極Ｎ側に接続された被接続部第２端子１５２と、スイッチＳの負極電源端子Ｓｎに接続された被接続部第３端子１５３と、を備えている。図示の例では、電源部１４における正極Ｐの端子と被接続部第１端子１５１とを繋ぐ経路に、当該経路の導通状態を切り替え可能に構成されたパワースイッチＰＳが設けられている。本例では、パワースイッチＰＳは、手動により操作される。例えば、接続部２５０を被接続部１５０に対して着脱する作業を行う場合には、パワースイッチＰＳをオフにして電圧が流れない状態にしておくと、安全に着脱作業を行うことができる（図６参照）。

本実施形態では、検査装置２の接続部２５０は、検査装置２の正極Ｐ側に接続された接続部第１端子２５１と、検査装置２の負極Ｎ側に接続された接続部第２端子２５２と、当該接続部第２端子２５２と接続された接続部第３端子２５３と、を備えている。

本実施形態では、接続部２５０が接続状態で、被接続部第１端子１５１と接続部第１端子２５１とが電気的に接続され、被接続部第２端子１５２と接続部第２端子２５２とが電気的に接続される。これにより、電源部１４の正極Ｐ及び負極Ｎの電圧が検査装置２に供給され、検査装置２が動作可能となる。

また、本実施形態では、接続部２５０が接続状態で、被接続部第３端子１５３と接続部第３端子２５３とが電気的に接続される。ここで、接続部第２端子２５２と接続部第３端子２５３とは、電気的に繋がっている。従って、接続部２５０が接続状態では、被接続部第２端子１５２と、接続部第２端子２５２と、接続部第３端子２５３と、被接続部第３端子１５３とが、電気的に接続された状態となり、電源部１４の負極Ｎの電圧が、被接続部第２端子１５２、接続部第２端子２５２、接続部第３端子２５３、被接続部第３端子１５３を介して、スイッチＳの負極電源端子Ｓｎに入力される。すなわち、接続部２５０が接続状態で、スイッチＳの正極電源端子Ｓｐ及び負極電源端子Ｓｎに電源部１４の電圧が入力され、スイッチＳが作動して伝達経路ＴＲが遮断される。これにより、搬送制御部Ｈ１は、把持部１２の状態変更を禁止する。すなわち本例では、搬送制御部Ｈ１は、接続部２５０が接続状態では、把持部１２が把持状態から解除状態に状態変更することを禁止すると共に、把持部１２が解除状態から把持状態に状態変更することも禁止する。

更に、本実施形態では、搬送制御部Ｈ１は、接続部２５０が接続状態かつ把持部１２が解除状態では、移動機構部１３（昇降部）による把持部１２の昇降を禁止する。接続部２５０が接続状態で、かつ、把持部１２が解除状態であっても、移動機構部１３が把持部１２を昇降させなければ、把持部１２と検査装置２との位置関係が変化しないようにできる。これにより、把持部１２の状態に関わらず、例えば図４に示すように、給電部１５と接続部２５０との接続のみによって検査装置２が把持部１２に吊下げられた状態となることを回避できるそのため、接続部２５０に過大な負荷が作用することを回避できる。

上述のように、本実施形態では、伝達経路ＴＲには、移動機構部１３の動作（ここでは昇降動作）を実行するための信号も伝達される。そして、搬送制御部Ｈ１は、伝達経路ＴＲが導通状態で、移動機構部１３の動作を制御可能となっている。従って、接続部２５０が接続状態では、伝達経路ＴＲは遮断状態となるため、搬送制御部Ｈ１は、把持部１２の状態変更を禁止することに加えて、移動機構部１３による把持部１２の昇降をも禁止する。但し、搬送制御部Ｈ１は、接続部２５０が接続状態であっても、把持部１２が把持状態であれば、移動機構部１３（昇降部）による把持部１２の昇降を許容する構成であっても良い。この場合、例えば、搬送制御部Ｈ１が、伝達経路ＴＲの状態に関わらず、把持部１２が把持状態である場合に搬送制御部Ｈ１に入力される信号に基づいて、移動機構部１３による把持部１２の昇降を許容する構成とすることができる。

図６に示すように、接続部２５０が非接続状態では、スイッチＳにより伝達経路ＴＲが導通状態となる。上述のように、電源部１４の負極Ｎの電圧がスイッチＳの負極電源端子Ｓｎに入力される経路は、被接続部第２端子１５２、接続部第２端子２５２、接続部第３端子２５３、被接続部第３端子１５３を介した経路である。接続部２５０が非接続状態では、被接続部第２端子１５２と接続部第２端子２５２との電気的接続、及び、接続部第３端子２５３と被接続部第３端子１５３との電気的接続が解除されるため、電源部１４の負極Ｎの電圧はスイッチＳの負極電源端子Ｓｎに入力されなくなる。従って、図６に示すように、伝達経路ＴＲが導通状態となる。

本実施形態では、搬送制御部Ｈ１は、作業者Ｗが操作する操作部７からの指令に従って搬送車１の各部を制御する被操作モードを実行可能であり、被操作モードにおいて、接続部２５０が接続状態で、把持部１２を把持状態から解除状態に状態変更する指令を受けた場合には、当該状態変更を行わず、作業者Ｗに対する異常報知を行う。すなわち、被操作モードの実行中において、接続部２５０が接続状態であるにも関わらず把持部１２を把持状態から解除状態に状態変更する指令、すなわち不適切な指令がなされた場合であっても、搬送制御部Ｈ１は上記状態変更を行わない。これにより、検査装置２の重量が把持部１２によって支持された状態が維持され、接続部２５０に対して過大な負荷が作用しないようにすることができる。また、このような場合に搬送制御部Ｈ１が作業者Ｗに対して異常報知を行うため、不適切な指令がなされたことを作業者Ｗに知らせることができる。搬送制御部Ｈ１は、上記異常報知として、例えば、統括制御装置Ｈｔを介して操作部７の表示画面に警告を表示するようにしても良いし、操作部７において警告音を発するようにしても良い。或いは、搬送車１において警告音を発するようにしても良いし、搬送車１において警告灯等により警告表示を行っても良い。

〔その他の実施形態〕
次に、搬送設備のその他の実施形態について説明する。

（１）上記の実施形態では、電源部１４の正極Ｐの電圧が常にスイッチＳに入力された状態であり、スイッチＳに対する電源部１４の負極Ｎの電圧の入力の有無に応じてスイッチＳの状態が変化する例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、上記とは逆の構成であっても良い。すなわち、電源部１４の負極Ｎの電圧が常にスイッチＳに入力された状態であり、スイッチＳに対する電源部１４の正極Ｐの電圧の入力の有無に応じてスイッチＳの状態が変化する構成であっても良い。またこのような構成において、スイッチＳに対する電源部１４の正極Ｐの電圧の入力の有無が、接続部２５０の接続状態と非接続状態とに応じて切り替わるように構成されていると好適である。

（２）上記の実施形態では、電源部１４が、走行レールＲａに配設された給電線Ｒｂから非接触で電力の供給を受ける受電装置として構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、電源部１４は、搬送車１に搭載されたバッテリやキャパシタなどの蓄電装置を備えていても良い。このように電源部１４が蓄電装置を備える場合には、電源部１４は、給電線Ｒｂから受電する受電装置を備える必要はない。

（３）上記の実施形態では、移動機構部１３が、少なくとも、把持部１２を昇降させるように構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、移動機構部１３は、把持部１２を昇降させるだけでなく、把持部１２を水平方向に沿ってスライドさせる機能を有していても良い。また、移動機構部１３は、把持部１２を上下軸心まわりに旋回させる機能を有していても良い。すなわち、搬送車１は、把持部１２を水平方向に沿ってスライドさせるスライド部、及び、把持部１２を上下軸心周りに旋回させる旋回部の少なくとも一方を備えていても良い。昇降部、スライド部、及び旋回部は、任意に組み合わせて移動機構部１３を構成することができる。

（４）上記の実施形態では、搬送物９の被把持部９１と検査装置２の被把持部２１とは、少なくとも、把持部１２によって把持される部分が共通の形状となっている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送物９の被把持部９１と検査装置２の被把持部２１とは、それぞれが把持部１２によって把持されることが可能な形状であれば良く、互いに異なる形状であっても良い。

（５）上記の実施形態では、搬送車１が、天井近くで搬送物９を搬送する天井搬送車として構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車１は、床面を走行する有軌道式あるいは無軌道式の無人搬送車として構成されていても良い。

（６）なお、上述した実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した搬送設備について説明する。

前記搬送車は、前記把持部を昇降させる昇降部を備え、
前記搬送制御部は、前記接続部が前記接続状態かつ前記把持部が前記解除状態では、前記昇降部による前記把持部の昇降を禁止する、と好適である。

接続部が接続状態で、かつ、把持部が解除状態であっても、昇降部が把持部を昇降させなければ、把持部と検査装置との位置関係が変化しないようにできる。そのため、本構成によれば、上記のように接続部に過大な負荷が作用することを回避できる。

前記搬送制御部は、作業者が操作する操作部からの指令に従って前記搬送車の各部を制御する被操作モードを実行可能であり、前記被操作モードにおいて、前記接続部が前記接続状態で、前記把持部を前記把持状態から前記解除状態に状態変更する指令を受けた場合には、当該状態変更を行わず、前記作業者に対する異常報知を行う、と好適である。

本構成によれば、被操作モードの実行中において、接続部が接続状態であるにも関わらず把持部を把持状態から解除状態に状態変更する指令、すなわち不適切な指令がなされた場合であっても、搬送制御部が上記状態変更を行わない。これにより、検査装置の重量が把持部によって支持された状態が維持され、接続部に対して過大な負荷が作用しないようにすることができる。また、このような場合に搬送制御部が作業者に対して異常報知を行うため、不適切な指令がなされたことを作業者に知らせることができる。

前記搬送車は、前記把持部を移動させる移動機構部を備え、前記把持部を移動させて前記把持部と移載対象箇所との間で前記搬送物を移載するように構成され、
前記検査部は、前記移載対象箇所を撮影するように構成され、
前記検査装置は、前記検査部により撮影された画像に基づいて、前記把持部と前記移載対象箇所との位置関係を検査する、と好適である。

本構成によれば、検査装置を用いて、把持部と移載対象箇所との位置関係を検査することができる。これにより、搬送車による搬送物の搬送動作を適切に行うことができるか否かについても検査することができる。

前記把持部の開閉動作を実行するための信号の伝達経路にスイッチが設けられ、
前記接続部が前記非接続状態では、前記スイッチにより前記伝達経路が導通状態となり、
前記接続部が前記接続状態では、前記電源部の正極又は負極の電圧が前記スイッチに入力されて、前記スイッチにより前記伝達経路が遮断状態となる、と好適である。

本構成によれば、給電部に対する接続部の着脱状態、すなわち、接続状態であるか非接続状態であるかの物理的な状態に応じて、把持部の開閉動作を実行するための信号の伝達経路を導通状態と遮断状態とに切り替えることができる。そのため、制御構成を簡略化することができる。

本開示に係る技術は、搬送物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に前記搬送物に代えて前記搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備に利用することができる。

１００：搬送設備
１：搬送車
１０：本体部
１１：走行部
１２：把持部
１３：移動機構部
１４：電源部
１５：給電部
２：検査装置
２１：検査装置の被把持部
２２：検査部
２５０：接続部
７：操作部
８：移載対象箇所
９：搬送物
９１：搬送物の被把持部
ＴＲ：伝達経路
Ｈ１：搬送制御部
Ｒ：搬送経路
Ｓ：スイッチ
Ｗ：作業者

Claims

搬送物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に前記搬送物に代えて前記搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備であって、
前記搬送車は、本体部と、前記本体部を走行させる走行部と、前記本体部に搭載された把持部と、前記走行部及び前記把持部に電力を供給する電源部と、前記電源部に接続された給電部と、前記搬送車の各部を制御する搬送制御部と、を備え、
前記把持部は、前記搬送物及び前記検査装置のそれぞれが備える被把持部を把持する把持状態と、前記被把持部の把持を解除する解除状態と、に状態変更可能に構成され、
前記検査装置は、前記被把持部と、前記電源部から供給された電力により動作して前記検査を行う検査部と、前記給電部に対して着脱自在であると共に前記電源部と前記検査部とを電気的に接続する接続部と、を備え、
前記搬送制御部は、前記接続部が前記給電部に接続されている接続状態では前記把持部が前記把持状態から前記解除状態に状態変更することを禁止し、前記接続部が前記給電部に接続されていない非接続状態では前記把持部の状態変更を許容する、搬送設備。
前記搬送車は、前記把持部を昇降させる昇降部を備え、
前記搬送制御部は、前記接続部が前記接続状態かつ前記把持部が前記解除状態では、前記昇降部による前記把持部の昇降を禁止する、請求項１に記載の搬送設備。
前記搬送制御部は、作業者が操作する操作部からの指令に従って前記搬送車の各部を制御する被操作モードを実行可能であり、前記被操作モードにおいて、前記接続部が前記接続状態で、前記把持部を前記把持状態から前記解除状態に状態変更する指令を受けた場合には、当該状態変更を行わず、前記作業者に対する異常報知を行う、請求項１又は２に記載の搬送設備。
前記搬送車は、前記把持部を移動させる移動機構部を備え、前記把持部を移動させて前記把持部と移載対象箇所との間で前記搬送物を移載するように構成され、
前記検査部は、前記移載対象箇所を撮影するように構成され、
前記検査装置は、前記検査部により撮影された画像に基づいて、前記把持部と前記移載対象箇所との位置関係を検査する、請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送設備。
前記把持部の開閉動作を実行するための信号の伝達経路にスイッチが設けられ、
前記接続部が前記非接続状態では、前記スイッチにより前記伝達経路が導通状態となり、
前記接続部が前記接続状態では、前記電源部の正極又は負極の電圧が前記スイッチに入力されて、前記スイッチにより前記伝達経路が遮断状態となる、請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送設備。