1374109 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於將玻璃基板等的工件收納於收納匣的工 件收納位置》 【先前技術】 被使用於薄型顯示器的製造的玻璃基板等的方形板狀 的工件，是多段地被收納在收納匣。又，在處理工件時從 收納匣藉由移載裝置一枚一枚地取出工件而被搬運到處理 裝置等’又’已處理的工件是藉由移載裝置再被搬入到收 納匣。在此種設備中，在收納匣與移載裝置間進行工件交 接的裝置成爲需要。 作爲此種裝置，例如在日本特開2005-75643號公報 揭示著在收納匣的下方配設空氣噴出裝置與滾輪運送機， 從收納匣的下段側將工件依次搬出到收納匣外的裝置。在 該裝置中’下降收納匣而從空氣噴出裝置噴出空氣，就可 從各段載置部浮游收納匣，按壓工件端緣而進行著其定位 。工件的定位之後’下降空氣噴出裝置，令工件被載置於 滾輪運送機上，而藉由滾輪運送機，工件被搬出到收納匣 外。 【發明內容】 但是’浮游狀態的工件是處於不穩定的狀態之故，因 而若外力作用於工件，則工件滑動似地撞到周圍的構件， -4- (3) (3)1374109 急遽移動上有阻力。因此對於處於浮游狀態的工件用著外 力，也可減低工件的滑動，而更穩定地可浮游工件。 在本發明中，也可再設置將上述墊昇降在從上述空氣 噴出手段的上述上面所突出的突出位置，及非突出位置之 間的墊昇降手段。工件被搬出之際，下降上述墊，就可防 止墊摩擦到工件下面而傷及工件。 又，在本發明中，上述墊爲吸附於藉由空氣吸引處於 浮游狀態的上述工件下面的吸附墊較佳。藉由上述吸附墊 ，令工件被支持之故，因而可更減低工件的滑動，而可更 穩定地浮游工件。 又，在本發明中，又設置將上述吸附墊朝上述工件的 搬出方向移動的移動手段較佳。藉由上述移動手段所致的 上述吸附墊的移動，可將工件從上述收納匣搬出一定量， 而順利地進行工件對於移載裝置的交接。 又，在本發明中，也可再設置從上述空氣噴出手段的 上述上面突出，而抵接於隨著上述移動手段所致的上述吸 附墊的移動進行移動的上述工件下面的補助滾輪。可將工 件更穩定地搬出一定量。 又，在本發明中，上述吸附墊與上述補助滾輪是朝上 述工件的搬出方向離開地設置；又，具備：將上述吸附墊 昇降在從上述空氣噴出手段的上述上面所突出的突出位置 ，及非突出位置之間的吸附墊昇降手段，及將上述補助滾 輪昇降在從上述空氣噴出手段的上述上面所突出的突出位 置，及非突出位置之間的補助滾輪昇降手段；上述吸附墊 -6- (4) (4)1374109 與上述補助滾輪是也可同步地昇降，上述吸附墊與上述補 助滾輪是朝工件的搬出方向離開地設置，可將工件更穩定 地搬出一定量》又’同步地昇降上述吸附墊與上述補助滾 輪，而僅在需要上述補助滾輪時，作成可位於上述突出位 置。 又’在本發明中’具備將位於浮游狀態的上述工件的 端緣朝大致水平方向按壓而將上述工件予以定位的定位手 段較佳。在本發明中’藉由設置上述墊，按壓工件的端緣 也可減低工件的滑動’不會傷及工件就可進行其定位。 本發明的其他特徵及優點，是參照所附圖式，藉由以 下說明會更明瞭。又，在所附圖式中，在相同或同樣的構 成，賦予相同參照號碼。 【實施方式】 以下’參照圖式說明適用本發明的基板搬出入裝置的 實施形態。 <設備的整體構成> 第1圖是表示使用本發明的一實施形態的工件收納裝 置A的工作處理設備100的佈置的俯視圖。又，在各圖 中’ X、Y是表示互相正交的水平方向，而z是表示垂直 方向。工件處理裝置100是作爲工件處理方形板狀的玻璃 基板的設備，具備：工件收納裝置A，及處理裝置B，及 移載裝置C。 (5) (5)1374109 移載裝置c是可移動朝Y方向延伸的軌1上。又， 移載裝置c是在第1圖中以箭號所示地，對於工件收納裝 置Α及處理裝置Β可將玻璃基板朝X方向搬出入。在第 1圖中，雖未圖示複數處理裝置B，惟各處理裝置B的處 理內容是作成不同內容也可以，或是相同內容也可以。在 該構成的工件處理設備100中，未處理的玻璃基板從工件 收納裝置A經由移載裝置C而被搬運至處理裝置B，又 ’成爲已處理的玻璃基板從處理裝置B經由移載裝置回到 工件收納裝置A。 <移載裝置C的構成> 第2圖是表示本實施形態的移載裝置C的外觀立體圖 。表示於第2圖的移載裝置C是一例子，作爲與工件收納 裝置A—起使用的移載裝置C可採用各種者。移載裝置 C是具備：支撐台2，及分別設置於支撐台2左右側的一 對線性導件3，及沿著線性導件3移動的一對手動單元4 ’及支撐著支撐台2，而且將整體移載裝置C沿著軌道1 朝Y方向往復移動的行走單元5。 在支撐台2的上面，形成有進行噴出空氣的複數噴出 口 2a，而噴出從未圖示空氣供給裝置（例如壓縮機）所 供給的空氣。線性導件3是以線性馬達形式朝X方向往 復移動的手動單元4，是空氣的吸引口 4a形成於其前端 部的上面，藉由未圖示的空氣吸引裝置（例如壓縮機）吸 引空氣。行走單元5是具備沿著軌1移動著整體移載裝置 -8- (6) 1374109 c的驅動輪5a及旋轉該驅動輪馬達等的驅動手段。 針對於該構成所成的移載裝置C的動作加以說 先，從工件收納裝置A接受玻璃基板，搬運到處理 時，藉由行走單元5，將移載裝置C移動至與工件 置A面對面的位置。之後將手動單元4朝+X方向 移動，從吸引口 4a吸引空氣，保持被收納於工件 置A的玻璃基板的端部。之後，從噴出口 2a噴出 將保持玻璃基板的手動單元4朝-X方向移動，而 台2上移動玻璃基板。藉由來自噴出口 2a的空氣 玻璃基板是在支撐台2上處於浮游狀態。 然後，藉由行走單元5，將移載裝置C移動至 基板的搬運處的處理裝置B面對面的位置。之後， 單元4朝+X方向的端部再移動，俾將玻璃基板交 理裝置B。之後，停止來自噴出口 2a的空氣噴出 止來自吸引口 4a的空氣吸引，結束一單位的處理 理裝置B接受玻璃基板，搬運到工件收納裝置A 成爲該相反的順序。 <工件收納裝置A的構成> 第3圖是表示工件收納裝置A的外觀立體圖 收納裝置A是具備：空氣噴出裝置10，及配設在 出位置10上方的收納匣20，及昇降裝置30，及定 40 » 明。首 裝置B 收納裝 的端部 收納裝 空氣， 在支撐 噴出， 與玻璃 將手動 接到處 ，並停 。從處 時，則 。工件 空氣噴 位裝置 -9- (7) (7)1374109 <收納匣> 第4圖是表示收納匣20的外觀立體圖。收納匣20是 朝上下方向（Z方向）多段地可收納玻璃基板的匣。又， 第3及第4圖是表示未收納玻璃基板的狀態。在本實施形 態的情形，收納匣20是藉由複數柱構件21a、21b，及樑 構件22a〜22g形成大約長方體形狀的框體。 柱構件21b是朝X方向配設複數，而且朝Y方向隔 離配設複數，而在Y方向的各柱構件21b間及各柱構件 2 1 a間朝上下方向（Z方向）以所定間距掛設複數金屬線 23。藉由該金屬線23會使玻璃基板以大約水平姿勢被載 置的載置部朝上下方向形成複數段。第5圖是表示一段分 量的載置部的圖式。各段的載置部是藉由在相同高度朝X 方向隔離而配設複數的金屬線23所形成。玻璃基板W是 被載置在金屬線23上，各金屬線23間，及X方向兩端 的金屬線23的外方，是形成可通過各該後述的空氣噴出 裝置10的開口部23 a。在本實施形態中，藉由金屬線來 形成載置部，惟當然也可採用其他方式。但是，藉由使用 金屬線，可減小被收納的基板間的間隔，而可提高收納匣 2 0的收納效率。 回到第4圖，收納匣2 0的互相相對的X方向兩側部 ，且分別藉由樑構件22a與柱構件21a門型地開放，X方 向的側部是形成玻璃基板的搬出入口 24。收納匣20的底 部，是藉由一對樑構件22d，複數樑構件22b及一件樑構 f 22f所構成，此些之間或樑構件22d的兩端部近旁形成 -10- (8) 1374109 可通過後述的空氣噴出裝置10的進入口 25» <昇降裝置> 弟6圖是表不昇降裝置30的外纽丘體圖，第7圖是 表示昇降單元31的分解立體圖。昇降裝置30是相對性地 上下昇降收納匣20與空氣噴出裝置10的裝置。在本實施 形態中，將空氣噴出裝置10作成固定，而將收納匣20作 | 成昇降，惟也可採用將收納匣20作成固定，而將空氣噴 出裝置10作成昇降的構成。 本實施形態的情形，昇降裝置30是夾持收納匣20的 方式分別配設於收納匣20的互相相對的Y方向的兩側部 ，由懸臂支持收納匣20的一對昇降單元31所構成。依照 該構成，可更薄型化昇降單元31，且可更減小工件收納 裝置A整體的設置空間。又，可更廣泛地確保玻璃基板 的搬出入口及空氣噴出裝置10的空間。 • 昇降單元3 1是具備收納匣20底部的樑構件22d所載 置的樑構件311。各昇降單元31各樑構件311同步地朝 上下方向（Z方向）移動就可昇降收納匣20。昇降單元 31是具備朝上下方向延伸的支柱312，而在支柱312的內 側表面固定有朝上下方向延伸的一對軌構件313及齒條 314»在各昇降單元31間，有樑構件32被架設在支柱 312的上端。 樑構件311是經由托架315a被固定在支撐板315的 —側面而被支撐著。在支撐板3 1 5的另一側面固定著沿著 -11 - (9) 1374109 t 軌構件313可移動的4件滑構件31 6，而樑構件3 撐板315是藉由軌構件313的引導朝上下方向移數 單元3 1 7是由.馬達3 1 7a與減速機3 1 7b所構成，而 在支撐板318的一側面並被支撐著。減速機317b 軸是被連接於貫通支撐板318而被配設於支撐板3 —側面的小齒輪3 1 9 a。 支撐板315與支撐板318是隔著所定間隔而互 固定，在支撐板315與支撐板318之空隙配設有 319b〜319d。小齒輪 319b〜319d是可旋轉地被軸 撐板315與支撐板318之間，而小齒輪319b及 3 19d是從動於小齒輪319a的旋轉而進行旋轉。 319c是從動於小齒輪319b的旋轉而進行旋轉。 3 1 9b〜3 1 9d是互相相同規格的小齒輪，而兩個 319c及319d是與各齒條314相嚙合。 而且，當將驅動單元317予以驅動，則會使 319a旋轉，而藉由其驅動力，驅動單元317，支撐 、318，滑動構件316，及樑構件311成爲一體而 上方或下方移動，因此可昇降被載置於樑構件311 納匣20。在各昇降單元31，有檢測出互相的樑構 的昇降高度之偏差的感測器311a設在樑構件311 〇 感測器3 1 1 a是例如具備發光部與受光部的光 ，如第6圖所示.地，將光線互相地朝Y方向照射 定是否受光該光線。若有受光，則成爲互相的樑構 1 1及支 I。驅動 被固定 的輸出 1 8的另 相地被 小齒輪 支於支 小齒輪 小齒輪 小齒輪 小齒輪 小齒輪 板315 形成朝 上的收 件311 的端部 感測器 而來判 件 3 11 -12- (10)1374109
的昇降高度沒有偏差，若未受光，則成爲在昇降ϋ 偏差。若昇降高度的偏差在感測器311a被檢測d 由控制馬達3 1 7a而被控制成解決偏差。設置感測 來控制樑構件311的昇降高度的偏差，就可防止泊 收納匣20有傾斜的情形，並可更穩定地昇降收納| 又，設於各樑構件311的兩具感測器311a， 其一方具有發光部與受光部之任一方，或另一方J 部與受光部的另一方的構成都可以。又，不被限笼 測器，也可採用其他感測器。 <空氣噴出裝置> 第8圖是表示空氣噴出裝置1〇的外觀立體0 噴出裝置10是由複數空氣噴出單元11所構成，毛 出單元11是昇降收納匣20時不會與收納匣20 ] ，被設定成可通過進入口 25、開口部23a的大 。各空氣噴出單元11是具有空氣噴出口 111a形技 大致水平的上面111。各空氣噴出單元11的各」 是位於大致同一水平面上。噴出口 111a是噴出杉 的空氣供給裝置（例如壓縮機）所供給的空氣， 平姿勢浮游被收納在收納匣20的玻璃基板在上面 各空氣噴出單元11中，在位於-X方向側的最 兩件空氣噴出單元11的各底部內方側設有線性導 各線性導件12是以線性馬達形式，朝X方向來回 丨度上有 丨，則藉 器 311a :昇降時 g 20 ° 是作成 .有發光 :於光感 。空氣 空氣噴 涉般地 、位置 複數的 面 "1 未圖示 大致水 1 1 1上 端部的 件12 ° 地被配 -13- (11) (11)1374109 設於空氣噴出單元11側部的氣動主動器13。氣動主動器 13是上下地移動桿部就可朝上下方向（Z方向）伸縮的主 動器，而在該桿部安裝有吸附墊14。在吸附墊14的上面 設有複數空氣吸引口 14a，而利用未圖示空氣吸引裝置（ 例如壓縮機）來吸引空氣。 吸附墊14是利用氣動主動器13被昇降在其上面從空 氣噴出單元11的上面111所突出的突出位置，與其上面 與上面111大致相同面或比上面111還低的非突出位置之 間。來自突出位置的吸附墊14上面的上面111的突出量 ，是被設定成與來自玻璃基板上面111的浮游量大致相同 ，當吸附墊14位於突出位置時，吸附墊14的上面抵接於 空氣噴出單元11的上面111上處在浮游狀態的玻璃基板 下面。 又，作爲昇降吸附墊14的手段，並不被限定於主動 器13，也可採用其他昇降手段。又，線性導件12是功能 作爲將吸附墊14朝玻璃基板的搬運方向（-X方向）移動 的移動手段，惟作爲此種移動手段也可採用線性導件12 以外的手段。 其次’在各空氣噴出單元11中，從+X方向側的最端 部位於第2位置的兩件空氣噴出單元π的各底部內方側 分別設有托架15，而在各托架15安裝有氣動主動器16。 氣動主動器16是朝上下地移動桿部就可朝上下方向（z 方向）伸縮的主動器’在該桿部安裝有I助滾輪1 7。補 助滾輪17是未具有驅動力的自由滾輪。在本實施形態中 -14- (12) 1374109 ，吸附墊14與補助滾輪17，是分別位於隔開在玻璃 的搬出方向的位置。 補助滚輪17是利用氣動主動器16被昇降在其上 空氣噴出單元11上面111所突出的突出位置，與其上 與上面111大致相同面或比上面111還低的非突出位置 間。來自突出位置的補助滾輪17上端的上面111的突 量，是被設定成與來自玻璃基板上面111的浮游量大致 同，當補助滾輪17位於突出位置時，補助滾輪17的上 抵接於空氣噴出單元11的上面111上處在浮游狀態的 璃基板下面。本實施形態的情形，補助滾輪17是與昇 吸附墊14同步地昇降。又，作爲昇降補助滾輪17的手 ，並不被限定於氣動主動器16，也可採用其他昇降手 <定位裝置> 第9圖是表示定位裝置40的外觀立體圖。本實施 態的情形，定位裝置40是配設4台。4台定位裝置40 分別2台成爲1組。1組定位裝置40是在Y方向隔離 配設成互相面對面。又，2組定位裝置40是在X方向 離被配設。 各定位裝置40是具備：朝大致水平方向推壓玻璃 板的端緣（本實施形態的情形，Y方向的兩端邊）的圓 滾輪41，及朝Y方向往復移動的壓機42。在此，壓機 是朝Y方向伸縮的氣動主動器。滾輪41是旋轉自如地 板 從 端 之 出 相 端 玻 降 段 段 形 是 被 隔 基 形 4 2 被 -15- (13)1374109
軸支於壓機42的前端部分。 <控制部> 第10圖是表示工件收納裝置A的控制奇 的方塊圖。控制部50是具備：掌理工件收納! 有控制的CPU 51，及提供CPU51的工作區域 著可變資料等的RAM52，及記憶著控制程式 等的固定性資料等的固定性資料的 ROM53 ROM 5 3是可採用其他的記憶手段。 輸入介面（I/F ) 54是CPU51與感測器： ，而CPU51是經由輸入I/F54取得感測器31 果。輸出介面（I/F) 55是CPU51與馬達317a 12及控制閥的介面，CPU41是經由輸出I/F55 3 1 7 a線性導件1 2及控制閥的介面。控制閥是 來自各空氣噴出單元11的噴出口 111a的空氣 有吸附墊14的吸引口 14a的空氣吸引，氣動： 16的動作，及壓機42的動作的控制閥。 通訊介面（I/F) 56是控制工件處理設備 主電腦6與CPU51的介面，CPU51是成爲因 電腦6的指令來控制工件收納裝置A。 <工件收納裝置A的動作〉 針對於工件收納裝置A的玻璃基板搬出 以說明。第11圖至第19圖是表示工件收納丨 ;50的構成 接置A的所 ，而且記憶 ，控制資料 ，RAM52 > | 1 1 a的介面 1 a的檢測結 ，線性導件 來控制馬達 切換有沒有 噴出，有沒 拉動器13， 1 〇〇全體的 應於來自主 時的動作加 专置A的動 -16- (14) 1374109 作說明圖。第11圖及第15圖是表示空氣噴出裝置1 收納匣20的俯視圖，第12圖至第14圖及第16圖 19圖是表示沿著第11圖的線I-Ι線的斷面圖。在各 僅圖示主要部分，而金屬線23等是被省略。 在本實施形態中，藉由依昇降裝置30的昇降動 將空氣噴出裝置10進入到收納匣20內，而藉由空氣 裝置10從載置部浮游載置部上（亦即，各段的金屬| 上）的玻璃基板。又，移載裝置C的手動單元4是拔 理浮游狀態的玻璃基板般地被搬出至收納匣20外面。 第12圖是表示收納匣20位於空氣噴出裝置10 ，而空氣噴出裝置10未進入到收納匣20內的態樣。 示於第12圖的收納匣20的各段載置有玻璃基板W。 基板W是由較下段者開始被搬出。如第12圖所示地 收納匣20滿載著玻璃基板W的狀態時，最初搬出最 的玻璃基板W。 • 首先，如第13圖所示地，從各空氣噴出單元11 出口 111a噴出空氣。又，藉由氣動主動器13及16 使處在+X方向端部的吸附墊14及補助滾輪17分別 到突出位置，俾進行來自吸引口 14a的空氣吸引。 13圖中，線L1是表示各空氣噴出單元11的各上面 的Z方向位置（高度），而L2是表示吸附墊14上 補助滾輪17上端的Z方向位置（高度）。 之後，利用昇降裝置30，如第14圖所示地下降 匣20來使空氣噴出裝置10進入到收納匣20內，使 〇及 至第 圖中 作俾 噴出 泉23 出處 上方 在表 玻璃 ，在 下段 的噴 ，來 上昇 在第 111 面及 收納 各 -17- (15) (15)1374109 空氣噴出單元11的上面111位於與最下段的載置部大致 相同的高度。就這樣，利用來自噴出口 111a的空氣噴出 ’浮游著被載置於最下段載置部的玻璃基板W而成爲浮 游狀態。同時地，吸附墊14上面抵接於玻璃基板W下面 ’利用來自吸引口 14a的空氣吸引，玻璃基板w是被吸 附於吸附墊14。吸附墊14是被吸附著玻璃基板W的極其 —部分之故，因而並不是能固定玻璃基板W。又，補助滾 輪17上端抵接於玻璃基板W下面。 之後，如第15圖所示地驅動定位裝置40的壓機42 ，令滾輪41朝收納匣20移動至Y方向。滾輪41的Z方 向商度是設定在比各空氣噴出單元11的上面111高度稍 上方，滾輪41進入到收納匣20內而推壓處於浮游狀態的 玻璃基板W端緣。藉由此，進行處於浮游狀態的玻璃基 板W的定位。定位之後，滾輪41是回到原來的位置。 當滾輪41推壓玻璃基板W，各滾輪41踫到玻璃基板 W的情況下，急激地移動玻璃基板W，有玻璃基板W滑 動之虞。但是，在本實施形態中，玻璃基板W被吸附在 吸附墊14之故，因而利用吸附墊14支撐著玻璃基板W， 抗拒玻璃基板W的急激移動。因此，可減低玻璃基板w 的滑動，可將玻璃基板W以作成更穩定使之浮游。 當完成玻璃基板W的位置，如第16圖所示地來驅動 線性導件13，朝-X方向（玻璃基板W的排出方向）移動 吸附墊14。吸附墊14是被吸附在吸附墊14，且從各空氣 噴出單元11的噴出111a噴出空氣而處在浮游狀態之故， -18 - (16) (16)1374109 ^因而玻璃基板w是^著吸附墊14之移動，朝-X方向移動 。結果，如第16圖所示地’玻璃基板w的一部分成爲從 收納匣20飛出的狀態。當玻璃基板w移動之際，對於吸 附墊14隔著搬出方向所設置的補助滾輪17支撐著玻璃基 板W的移動方向的後方部分之故，因而可將玻璃基板w 更穩定地移動。 之後，如第17圖所示地，移載裝置c的手動單元4 接受玻璃基板W。手動單元4是從其吸引口 4a吸引空氣 ，就可吸附保持玻璃基板W的端部下面。玻璃基板W被 吸附於吸附墊14之故，因而當手動單元4接受玻璃基板 W之際，防止玻璃基板W滑動。當手動單元4保持玻璃 基板W的端部，則停止來自吸附墊14的吸引口 14a的空 氣吸引，而解除吸附墊14所致玻璃基板W的吸附。又， 將氣動主動器13及16予以動作而分別將吸附墊14及補 助滾輪16移動至非突出位置。來自各空氣噴出單元11的 噴出口 111a的空氣噴出是仍繼續。 繼續如第18圖所示地，朝-X方向移動移載裝置C的 手動單元4,搬出成從收納匣20抽取玻璃基板W。又， 將線性導件12予以動作而朝+X方向移動吸附墊14，回 到原來位置。作成這樣，結束1枚玻璃基板W的搬出。 手動單元4抽取玻璃基板W之際，吸附墊14是處於 非突出位置之故，因而防止吸附墊14摩擦到玻璃基板W 下而傷及玻璃基板W的情形，而且可將吸附墊14早期地 回到原來位置而可進行準備下一玻璃基板W的搬出。 -19- (17) (17)1374109 又，將玻璃基板W從收納匣20交接給移載裝置C之 際，如第17圖所示地，在玻璃基板W搬出一定量收納匣 20之狀態下，手動單元4可接受玻璃基板W之故，因而 手動單元4不必進到收納匣20內，而順利地進行工件交 接給移載裝置C。亦即，本實施形態的吸附墊14，是移動 著吸附墊14，不僅可防止玻璃基板W的滑動，也可作成 工件對於搬出玻璃基板W的一定量所致的移載裝置C的 交接的順利化。 又，同時地進行吸附墊14與補助滾輪17的昇降，補 助滾輪1 7是僅在必須補助性地支撐玻璃基板W時，可從 空氣噴出單元11的上面111突出。 以後，依次降收納匣20，而利用重複同樣的順序成 爲依次搬出玻璃基板W。第19圖是表示完成玻璃基板W 搬出到中段載置部的狀態的圖式，隨著下降收納匣20， 使得空氣噴出裝置10成爲更進到收納匣20內。又，將玻 璃基板W從移載裝置C搬入到收納匣20時，則可進行與 上述搬出時大槪相反的動作，成爲依次上昇收納匣20而 從上段載置部依次地搬入玻璃基板W。 <收納匣的其他例> 收納匣20是被搭載於叉架昇降機等而被載送，被載 置於昇降裝置30的樑構件311上。搬運收納匣20之際， 有利用振動使得被收納在收納匣20內的玻璃基板從搬出 入口 24跳出的情形。第20圖是表示解決此種問題的收納 -20- (18) (18)1374109 匣20'的外觀立體圖。在第20圖中，針對與上述收納匣 20相同構成賦予相同符號，而省略說明。 收納匣20’是具備：收納匣20的樑構件22d及22e分 別朝±X方向地被延長的樑構件22d，及22e，，在此些兩端 部分別設有規制構件2 6。規制構件2 6是例如具撓性樹脂 等所構成，而具有從方形框狀的本體部分朝Y方向突出 的複數梳齒26a。梳齒26a是與收納匣2(Τ各載置部的配 設間距相同間距配設於上下方向（Ζ方向），而該Ζ方向 的寬度是與玻璃基板W的厚度大致相同。 第2 1圖及第22圖是表示-X側的規制構件26的梳齒 26a近旁的擴大斷面圖。第21圖是表示玻璃基板W在收 納匣20’內載置於載置部上的情形。如同圖所示地，在玻 璃基板W的-X方向存在著梳齒26a，當玻璃基板W朝-X 方向移動而被排出，會干擾到梳齒26a。藉由此，玻璃基 板W利南搬運收納匣20’時的振動等被規制朝搬出方向 (-X方向）移動之情形。又，第20圖的+X側的規制構 件26也同樣地，玻璃基板W利用搬運收納匣201時的振 動等被規制朝+X方向移動的情形。 以下，第22圖是表示玻璃基板W中的一枚在收納匣 2〇'內浮游在載置部上的情形。亦即，同圖的最下段玻璃 基板W是作成被搬出的狀態。利用玻璃基板W被浮游’ 玻璃基板W是成爲可通過梳齒26a間的間隙，規制構件 26是不會規制處於浮游狀態的玻璃基板W朝搬出方向（-X方向）移動的情形。 -21 - (19) (19)1374109 又，如上述移載裝置C的手動單元4地，保持玻璃基 板端部而被排出的方式的情形，在傳統上手動單元必須稍 進到收納匣內而保持玻璃基板，惟如本實施形態地，在設 置規制構件26的構成，使得手動單元與規制構件26不干 擾，而手動單元4不會進到收納匣20'內。 然而，在本實施形態中，利用吸附墊14的移動，可 將玻璃基板W從收納匣2 0’跳出一定量，而手動單元4不 必進到收納匣20’內。因此，也可對應於設置規制構件26 的收納匣20'。 <其他實施形態> 在上述實施形態中採用具有吸附功能的吸附墊1 4， 惟防止玻璃基板的滑動並不一定需要具有吸附功能的墊， 而是抗拒玻璃基板W的急激性移動（滑動）的墊也可以 。例如，在上面具有橡膠或氈布等的墊也可以。尤其是， 如吸附墊14所示地具有吸附功能的墊者，當然會有效果 地防止玻璃基板的滑動。 本案發明是並不被限定於上述實施形態者，又，在不 超出本案發明的宗旨的範圍內可做各種變更或修正之故， 因而本案發明的範圍是藉由以下的申請專利範圍所規定。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示使用本發明的一實施形態的工件收納裝 置A的工件處理設備100的佈置的俯視圖。 -22- (20) 1374109 第2圖是表示移載裝置C的外觀立體圖。 第3圖是表示工件收納裝置A的外觀立體圖。 第4圖是表示收納匣20的外觀立體圖。 第5圖是表示1段分量的載置部的圖式。 第6圖是表示昇降裝置30的外觀立體圖。 第7圖是表示昇降單元31的分解立體圖。 第8圖是表示空氣噴出裝置10的外觀立體圖。 φ 第9圖是表示定位裝置40的外觀立體圖。 第10圖是表示工件收納裝置A的控制部50的構成 的方塊圖。 第11圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第12圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第13圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第14圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第15圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 φ 第16圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第17圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第18圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第19圖是表示工件收納裝置A的動作說明圖。 第20圖是表示收納匣20’的外觀立體圖。 第21圖是表示搬出入口 24側的梳齒26a近旁的擴大 斷面圖。 第22圖是表示搬出入口 24側的梳齒26a近旁的擴大 斷面圖。 -23- (21) 1374109 【主要元件符號說明】 1 :軌道 2 :支撐台 3 :線性導件 4 :手動單元 5 :行走單元 φ 10:空氣噴出裝置 1 1 :空氣噴出單元 1 2 :線性導件 1 3，1 6 :氣動主動器 1 4 :吸附墊 15 :托架 17 :補助滾輪 2 0 :收納匣 # 2 1 a，2 1 b :柱構件 22a〜22g :樑構件 23 :金屬線 2 3 a :開口部 30 :昇降裝置 31 :昇降單元 3 1 2 :支柱 3 1 3 :軌道構件 315 :支撐板 -24- (22)1374109 3 1 7 a :馬達 317b :減速機 3 1 8 :支撐板 319a〜319d:小齒輪 40 :定位裝置 4 1 :滾輪 42 :壓機
5 0 :控制部 5 1: CPU
52 ： RAM
53 ： ROM 54 :輸入介面 5 5 :輸出介面 56 :通訊介面
1〇〇 :工件處理設備 A :工件收納裝置 B :處理裝置 C :移載裝置 -25-