CN101273448A - 工件存放装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于当利用空气使工件成为漂浮状态时使工件更加稳定地漂浮。本发明的工件存放装置利用由升降机构产生的升降动作使空气喷出机构进入存放盒内，利用空气喷出机构使从存放盒向外部搬出的工件漂浮，其特征在于，设有从空气喷出机构的上面突出且与处于漂浮状态的工件的下面抵接的衬垫。

Description

工件存放装置

技术领域

本发明涉及在存放盒中存放玻璃基板等工件的工件存放装置。

背景技术

用于薄型显示器制造的玻璃基板等方形板状的工件以多层的方式存放在存放盒内。而且，在工件处理时由移载装置将工件从存放盒一张张取出并搬运向处理装置等，另外，由移载装置将处理完的工件再次搬入存放盒中。在这样的设备中，需要在存放盒和移载装置之间进行工件交接的装置。

作为该种装置，例如有在(日本)特开2005-75643号公报中公开的装置，其在存放盒的下方配置空气喷出装置和辊式输送机，从存放盒的下层侧起按顺序把工件向存放盒外搬出。在该装置中，通过使存放盒下降并从空气喷出装置喷出空气，使存放盒内的工件漂浮离开各层的放置部，并推压工件的端缘对其进行定位。在工件定位之后，通过空气喷出装置下降，工件被放置到辊式输送机上，由辊式输送机向存放盒外搬出工件。

可是，由于漂浮状态的工件是不稳定的状态，所以，当外力作用在工件上时，工件趋于滑动地与周围的部件冲突，有可能会损伤工件。例如像在(日本)特开2005-75643号公报中记载的装置那样，如果工件在漂浮状态下进行其定位的话，则在利用定位装置推压工件端缘时，工件趋于滑动而与周围的部件冲突，有可能会损伤工件。另外，虽然在(日本)特开2005-75643号公报中并没有记载，但即使在采用由移载装置保持处于漂浮状态的工件的端部并向存放盒外进行排出的结构的情况下，在移载装置保持工件的端部时，也可能发生工件的滑动。

发明内容

因此，本发明的目的在于在利用空气使工件成为漂浮状态时使工件更加稳定地漂浮。

根据本发明，提供一种工件存放装置，所述工件存放装置包括：空气喷出机构，该空气喷出机构具有形成了多个空气的喷出口的大致水平的上面，通过从所述喷出口喷出空气，使方形板状的工件以大致水平的姿势在所述上面上漂浮；存放盒，该存放盒具备多个放置部、侧部和底部，该多个放置部在上下方向上形成多层并具有所述空气喷出机构能通过的开口部且以大致水平的姿势放置所述工件，该侧部形成所述工件的搬出口，该底部形成所述空气喷出机构能通过的进入口，所述存放盒配置在所述空气喷出机构的上方；以及，升降机构，该升降机构使所述存放盒和所述空气喷出机构相对上下升降；利用由所述升降机构产生的升降动作使所述空气喷出机构进入所述存放盒内，利用所述空气喷出机构使从所述存放盒向外部搬出的所述工件漂浮离开所述放置部；其特征在于，设有衬垫，该衬垫从所述空气喷出机构的所述上面突出，与处于漂浮状态的所述工件的下面抵接。

在该工件存放装置中，所述衬垫抵抗处于漂浮状态的工件的急剧移动。因而，即使对处于漂浮状态的工件作用外力，也可以减低工件的滑动，使工件更稳定地漂浮。

在本发明中，也可以进一步设置使所述衬垫在从所述空气喷出机构的所述上面突出的突出位置和非突出位置之间升降的升降机构。在搬出工件时，通过使所述衬垫下降，可以防止衬垫与工件的下面摩擦而导致工件受损。

另外，在本发明中，希望所述衬垫是吸附衬垫，利用空气的吸引而吸附在处于漂浮状态的所述工件的下面。由于利用所述吸附衬垫来支承工件，故可以进一步减低工件的滑动，使工件更稳定地漂浮。

另外，在本发明中，希望进一步设置使所述吸附衬垫向所述工件的搬出方向移动的移动机构。通过由所述移动机构产生的所述吸附衬垫的移动，能够把工件从所述存放盒搬出规定量，可以顺利地进行工件向移载装置的交接。

另外，在本发明中，也可以进一步设置辅助辊，其从所述空气喷出机构的所述上面突出，与随着由所述移动机构产生的所述吸附衬垫的移动而移动的所述工件的下面抵接。能够把工件更稳定地搬出规定量。

另外，在本发明中，还可以如此设置，即，所述吸附衬垫和所述辅助辊在所述工件的搬出方向分开设置，进而，具备使所述吸附衬垫在从所述空气喷出机构的所述上面突出的突出位置和非突出位置之间升降的吸附衬垫升降机构、和使所述辅助辊在从所述空气喷出机构的所述上面突出的突出位置和非突出位置之间升降的辅助辊升降机构，所述吸附衬垫和所述辅助辊同步升降。由于所述吸附衬垫和所述辅助辊在工件的搬出方向分开设置，故可以把工件更稳定地搬出规定量。另外，由于使所述吸附衬垫和所述辅助辊同步升降，故可以只在需要时才使所述辅助辊向所述突出位置定位。

另外，在本发明中，希望具备向大致水平方向推压处于漂浮状态的所述工件的端缘、使所述工件定位的定位机构。在本发明中，通过设置所述衬垫，即使推压工件的端缘也可以减低工件的滑动，不会损伤工件对其进行定位。

本发明的其它特征和优点将通过以附图为参照的以下说明变得明了。另外，在附图中对相同或一样的结构赋予相同的附图标记。

附图说明

附图包含在说明书中，构成其一部分，表示本发明的实施方式，与其记载一起用于说明本发明的原理。

图1是表示使用本发明的一个实施方式的工件存放装置A的工件处理设备100的布局的平面图。

图2是移载装置C的外观立体图。

图3是工件存放装置A的外观立体图。

图4是存放盒20的外观立体图。

图5是表示一层部分的放置部的图。

图6是升降装置30的外观立体图。

图7是升降单元31的分解立体图。

图8是空气喷出装置10的外观立体图。

图9是定位装置40的外观立体图。

图10是表示工件存放装置A的控制部50的结构的方框图。

图11是工件存放装置A的动作说明图。

图12是工件存放装置A的动作说明图。

图13是工件存放装置A的动作说明图。

图14是工件存放装置A的动作说明图。

图15是工件存放装置A的动作说明图。

图16是工件存放装置A的动作说明图。

图17是工件存放装置A的动作说明图。

图18是工件存放装置A的动作说明图。

图19是工件存放装置A的动作说明图。

图20是存放盒20′的外观立体图。

图21是搬入搬出口24侧的梳齿26a附近的放大剖面图。

图22是搬入搬出口24侧的梳齿26a附近的放大剖面图。

具体实施方式

下面，参照附图说明适用了本发明的基板搬入搬出装置的实施方式。

<设备的整体结构>

图1是表示使用了本发明的一个实施方式的工件存放装置A的工件处理设备100的布置的平面图。另外，在各图中，X、Y表示相互正交的水平方向，Z表示铅直方向。工件处理设备100是处理作为工件的方形板状的玻璃基板的设备，包括工件存放装置A、处理装置B、移载装置C。

移载装置C能在沿Y方向延伸的导轨1上移动。另外，移载装置C如图1中的箭头所示那样，能相对于工件存放装置A及处理装置B在X方向上搬入搬出玻璃基板。在图1中图示了多个处理装置B，各处理装置B的处理内容即可以为不同的内容，也可以是相同的内容。在由该结构组成的工件处理设备100中，未处理的玻璃基板从工件存放装置A经由移载装置C向处理装置B搬运，而处理完的玻璃基板从处理装置B经由移载装置C向工件存放装置A返回。

<移载装置C的结构>

图2是本实施方式中的移载装置C的外观立体图。图2所示的移载装置C是一个例子，作为与工件存放装置A一起使用的移载装置C可以采用各种产品。移载装置C包括支承台2、分别设在支承台2左右侧部的一对线性引导件3、沿着线性引导件3移动的一对的手单元(ハンドユニツト)4、和在支承支承台2同时使移载装置C整体沿导轨1在Y方向往复移动的行进单元5。

在支承台2的上面形成了进行空气喷出的多个喷出口2a，喷出从没有图示的空气供给装置(例如压气机)供给的空气。线性引导件3以线性马达形式使手单元4在X方向往复移动。手单元4在其前端部的上面形成空气的吸引口4a，利用没有图示的空气吸引装置(例如压气机)吸引空气。行进单元5包括使移载装置C整体沿导轨1移动的驱动轮5a以及使该驱动轮转动的马达等驱动机构。

对由该结构组成的移载装置C的动作进行说明。首先，在从工件存放装置A接收玻璃基板向处理装置B搬运时，利用行进单元5向与工件存放装置A面对的位置移动移载装置C。接着，向+X方向的端部移动手单元4，从吸引口4a吸引空气，保持存放在工件存放装置A中的玻璃基板的端部。其次，从喷出口2a喷出空气，使保持有玻璃基板的手单元4向-X方向移动，使玻璃基板在支承台2上移动。通过从喷出口2a喷出空气，玻璃基板在支承台2上成为漂浮状态。

其次，利用行进单元5向与玻璃基板搬运地的处理装置B面对的位置移动移载装置C。接着，再向+X方向的端部移动手单元4，向处理装置B交接玻璃基板。之后，停止从喷出口2a喷出空气以及停止从吸引口4a吸引空气，一个单位的处理结束。从处理装置B接收玻璃基板、向工件存放装置A搬运时为其相反的顺序。

<工件存放装置A的构成>

图3是工件存放装置A的外观立体图。工件存放装置A包括空气喷出装置10、配置在空气喷出装置10的上方的存放盒20、升降装置30和定位装置40。

<存放盒>

图4是存放盒20的外观立体图。存放盒20是能在上下方向(Z方向)上以多层的方式存放玻璃基板的盒。另外，图3及图4表示未存放玻璃基板的状态。在该实施方式的情况下，存放盒20由多个柱构件21a、21b和梁构件22a至22g构成大致立方体形的构架体。

柱构件21b沿X方向配置多个，同时，沿Y方向分开设置相同个数，在Y方向的各柱构件21b之间及各柱构件21a之间沿上下方向(Z方向)按规定的间距张设多个丝构件23。利用该丝构件23在上下方向上形成多层以大致水平的姿势放置玻璃基板的放置部。图5是表示一个层部分的放置部的图。各层的放置部按相同高度沿X方向分开设置多个的丝构件23形成，玻璃基板W放置在丝构件23上。各丝构件23之间和X方向两端的丝构件23的外方分别形成后述的空气喷出装置10能通过的开口部23a。在该实施方式中，由丝构件形成放置部，当然也可以采用其它方式。但是，通过使用丝构件可以使所存放的基板间的间隔变小，可以提高存放盒200的存放效率。

返回至图4，存放盒20的相互相向的X方向的两侧部分别由梁构件22a和柱构件21a开放成门形，-X方向的侧部形成玻璃基板的搬入搬出口24。存放盒20的底部由一对梁构件22d、多个梁构件22b及一个梁构件22f构成，在它们之间或梁构件22d的两端部附近形成后述的空气喷出装置10能通过的进入口25。

<升降装置>

图6是升降装置30的外观立体图，图7是升降单元31的分解立体图。升降装置30是使存放盒20和空气喷出装置10相对上下升降的装置。在该实施方式中，把空气喷出装置10固定，使存放盒20升降，但也可以采用固定存放盒20而使空气喷出装置10升降的结构。

在该实施方式的情况下，升降装置30以夹着存放盒20的方式分别配置在存放盒20相互相向的Y方向的两侧部上，由以悬臂方式支承存放盒20的一对升降单元31构成。根据该结构，可以使升降单元31更薄型化，并能使工件存放装置A整体的设置空间更小。另外，可以确保玻璃基板的搬入搬出口和空气喷出装置10的空间更宽阔。

升降单元31具备放置存放盒20底部的梁构件22d的横梁部件311。各升降单元31的各横梁部件311通过同步地在上下方向(Z方向)上移动而使存放盒20升降。升降单元31具备沿上下方向延伸的支柱312，在支柱312的内侧表面上固定有沿上下方向延伸的一对轨道部件313及齿轨314。在各升降单元31之间，梁构件32架设在支柱312的上端。

横梁部件311经由托架315a被固定支承在支承板315的一个侧面上。在支承板315的另一个侧面上固定能沿着轨道部件313移动的四个滑动部件316，横梁部件311及支承板315通过轨道部件313的引导而上下移动。驱动单元317由马达317a和减速机317b构成，固定支承在支承板318的一个侧面上。减速机317b的输出轴贯通支承板318与配置在支承板318的另一侧面上的小齿轮319a连接。

支承板315和支承板318隔开规定间隔地相互固定，在支承板315和支承板318的空隙中配置小齿轮319b至319d。小齿轮319b至319d可转动地轴支承在支承板315和支承板318之间，小齿轮319b及小齿轮319d跟随小齿轮319a的转动而进行转动。小齿轮319c跟随小齿轮319b的转动而转动。小齿轮319b至319d是彼此规格相同的小齿轮，两个小齿轮319c及319d与各齿轨314啮合。

于是，当驱动单元317驱动时，小齿轮319a转动，利用其驱动力，驱动单元317、支承板315及318、滑动部件316及横梁部件311就会形成一体向上方或下方移动，可以使放在横梁部件311上的存放盒20升降。在各升降单元31上，检测横梁部件311的升降高度相互偏离的传感器311a设在横梁部件311的端部。

传感器311a例如是装有发光部和受光部的光传感器，如图6所示，判定是否互相向Y方向照射光并接收了光。在接收了光时，横梁部件311的升降高度会互相没有偏离，在没有接收光时，升降高度会存在偏离。当用传感器311a检测出升降高度的偏离时，可以利用马达317a的控制进行控制以消除偏离。通过设置传感器311a来控制横梁部件311的升降高度的偏离，可以防止在升降时存放盒20倾斜，使存放盒20更稳定地升降。

另外，设在各横梁部件311上的两个传感器311a也可以做成其中一个具有发光部和受光部的任一方，其中另一个具有发光部和受光部的另一方的结构。另外，不限于光传感器，也可以采用其它的传感器。

<空气喷出装置>

图8是空气喷出装置10的外观立体图。在本实施方式的情况下，空气喷出装置10由多个空气喷出单元11构成，各空气喷出单元11设定成能通过进入口25、开口部23a的大小、位置，以使得在存放盒20升降时不与存放盒20干涉。各空气喷出单元11具有形成有多个空气的喷出口111a的大致水平的上面111。各空气喷出单元11的各上面111位于大致同一水平面上。喷出口111a喷出由没有图示的空气供给装置(例如压气机)供给的空气，使存放在存放盒20中的玻璃基板以大致水平的姿势在上面111上漂浮。

在各空气喷出单元11中，在位于-X方向侧的最端部的两个空气喷出单元11的各底部内方侧设有线性引导件12。各线性引导件12按线性马达形式使配置在空气喷出单元11侧部的空气促动器13在X方向往复。空气促动器13是通过使杆部上下移动而沿上下方向(Z方向)伸缩的促动器，在其杆部上安装有吸附衬垫14。在吸附衬垫14的上面设有多个空气的吸引口14a，用没有图示的空气吸引装置(例如压气机)吸引空气。

吸附衬垫14在其上面从空气喷出单元11的上面111突出的突出位置和其上面与上面111大致为同一个面或比上面111更低的非突出位置之间，通过空气促动器13升降。突出位置上的吸附衬垫14的上面从上面111突出的突出量设定为与玻璃基板离开上面111的漂浮量大致相同，在吸附衬垫14位于突出位置时，吸附衬垫14的上面在空气喷出单元11的上面111以上与处于漂浮状态的玻璃基板的下面抵接。

另外，作为升降吸附衬垫14的升降机构，并不限于空气促动器13，也可以采用其它的升降机构。另外，线性引导件12作为使吸附衬垫14向玻璃基板的搬运方向(-X方向)移动的移动机构发挥功能，但作为这样的移动机构也可以采用线性引导件12以外的机构。

其次，在各空气喷出单元11中，在从+X方向侧的最端部起位于第二位的两个空气喷出单元11的各底部内方侧分别设置托架15，在各托架15上安装空气促动器16。空气促动器16是通过使杆部上下移动而在上下方向(Z方向)伸缩的促动器，在其杆部上安装有辅助辊17。辅助辊17是不具有驱动力的自由辊。在该实施方式中，吸附衬垫14和辅助辊17分别位于在玻璃基板的搬出方向上分开的位置上。

辅助辊17在其上端从空气喷出单元11的上面111突出的突出位置和其上端与上面111大致为同一个面或比上面111更低的非突出位置之间，通过空气促动器16升降。突出位置上的辅助辊17的上端的从上面111突出的突出量设定为与玻璃基板离开上面111的漂浮量大致相同，在辅助辊17位于突出位置时，辅助辊17的上端在空气喷出单元11的上面111以上与处于漂浮状态的玻璃基板的下面抵接。在该实施方式的情况下，辅助辊17与吸附衬垫14的升降同步升降。另外，作为升降辅助辊17的升降机构并不限于空气促动器16，也可以采用其它的升降机构。

<定位装置>

图9是定位装置40的外观立体图。在该实施方式的情况下，配置四台定位装置40。四台定位装置40每两个成为一组。一组的定位装置40互相面对地在Y方向分开配置。而且，两组的定位装置40在X方向分开配置。

各定位装置40具备沿大致水平方向推压玻璃基板的端缘(该实施方式的情况下是Y方向的两端边)的圆形的辊41、和使辊41沿Y方向往复移动的推杆42。推杆42在此是沿Y方向伸缩的空气促动器。辊41转动自由地轴支承在推杆42的前端部分上。

<控制部>

图10是表示工件存放装置A的控制部50的结构的方框图。控制部50具备：掌管工件存放装置A的整体控制的CPU51，在提供CPU51的工作区域的同时存储可变数据等的RAM52，和存储控制程序、控制数据等固定数据的ROM53。RAM52、ROM53也可以采用其它的存储机构。

输入接口(I/F)54是CPU51与传感器311a的接口，CPU51经由输入I/F54取得传感器311a的检测结果。输出接口(I/F)55是CPU51与马达317a、线性引导件12及控制阀的接口，CPU41经由输出I/F55控制马达317a、线性引导件12及控制阀。控制阀是切换来自各空气喷出单元11的喷出口111a的空气喷出的有无、吸附衬垫14的吸引口14a的空气吸引的有无、空气促动器13及16的作动、推杆42的作动的控制阀。

通信接口(I/F)56是控制工件处理设备100整体的主机6和CPU51的接口，CPU51根据来自主机6的指令控制工件存放装置A。

<工件存放装置A的动作>

对工件存放装置A的搬出玻璃基板时的动作进行说明。图11至图19是工件存放装置A的动作说明图。图11及图15是空气喷出装置10及存放盒20的平面视图，图12至图14及图16至图19是沿图11的线I-I的剖面图。在各图中仅图示出主要部分，丝构件23等被省略。

在该实施方式中，用升降装置30产生的升降动作使空气喷出装置10进入存放盒20内，由空气喷出装置10使放置部上(即各层的丝构件23上)的玻璃基板漂浮离开放置部。而且，移载装置C的手单元4将处于漂浮状态的玻璃基板取出地向存放盒20外搬出。

图12表示存放盒20位于空气喷出装置10的上方、空气喷出装置10尚未进入存放盒20内的状态。在图12所示的存放盒20的各层上放置着玻璃基板W。玻璃基板W从较下层被搬出。如图12那样，在存放盒20中装满玻璃基板W的状态下，最下层的玻璃基板W被最早搬出。

首先，如图13所示，从各空气喷出单元11的喷出口111a喷出空气。另外，利用空气促动器13及16分别使位于+X方向的端部的吸附衬垫14及辅助辊17向突出位置上升，进行来自吸引口14a的空气的吸引。在图13中，线L1表示各空气喷出单元11的各上面111的Z方向的位置(高度)，线L2表示吸附衬垫14的上面及辅助辊17的上端的Z方向的位置(高度)。

其次，如图14所示，利用升降装置30使存放盒20下降，使空气喷出装置10进入存放盒20内，各空气喷出单元11的上面111定位在与最下层的放置部大致相同的高度。这样，通过从喷出口111a喷出空气，放置在最下层的放置部上的玻璃基板W漂浮，形成漂浮状态。同时，吸附衬垫14的上面与玻璃基板W的下面抵接，通过来自吸引口14a的空气的吸引，玻璃基板W吸附在吸附衬垫14上。吸附衬垫14是用于吸附玻璃基板W的局部一部分的部件，所以并不是固定玻璃基板W那样的部件。另外，辅助辊17的上端与玻璃基板W的下面抵接。

其次，如图15所示，驱动定位装置40的推杆42，使辊41朝向存放盒20沿Y方向移动。辊41的Z方向的高度设定在比各空气喷出单元11的上面111的高度稍靠上方，辊41进入存放盒20内而对处于漂浮状态的玻璃基板W的端缘进行推压。由此，进行处于漂浮状态的玻璃基板W的定位。定位后，辊41返回原来的位置。

当辊41推压玻璃基板W时，各辊41碰上玻璃基板W的一方立刻急剧地移动玻璃基板W，玻璃基板W可能会滑动。但是，由于在该实施方式中玻璃基板W由吸附衬垫14吸附，所以，利用吸附衬垫14支承玻璃基板W，抵抗玻璃基板W的急剧移动。从而，可以减少玻璃基板W的滑动，使玻璃基板W更稳定地漂浮。

玻璃基板W的定位完成时，如图16所示，驱动线性引导件13，向-X方向(玻璃基板W的排出方向)移动吸附衬垫14。由于玻璃基板14由吸附衬垫14吸附，且从各空气喷出单元11的喷出口111a的喷出空气，形成漂浮状态，故玻璃基板14随着吸附衬垫14的移动向-X方向移动。其结果，如图16中所示那样，玻璃基板14的一部分成为从存放盒20突出的状态。玻璃基板W移动时，由于相对于吸附衬垫14在搬出方向上分开设置的辅助辊17支承玻璃基板W的移动方向的后方部分，故可以使玻璃基板W更稳定地移动。

其次，如图17所示，移载装置C的手单元4接收玻璃基板W。手单元4通过从其吸引口4a吸引空气，从而吸附保持玻璃基板W的端部的下面。由于玻璃基板W吸附在吸附衬垫14上，故在手单元4接收玻璃基板W时可以防止玻璃基板W滑动。当手单元4保持玻璃基板W的端部时，停止从吸附衬垫14的吸引口14a的空气的吸引，解除通过吸附衬垫14对玻璃基板W的吸附。进而，使空气促动器13及16动作而使吸附衬垫14及辅助辊16分别移动到非突出位置。继续从各空气喷出单元11的喷出口111a的空气的喷出。

接着，如图18所示，使移载装置C的手单元4向-X方向移动，从存放盒20抽出玻璃基板W地搬出。另外，使线性引导件12动作，使吸附衬垫14向+X方向移动，返回原来的位置。这样，一张玻璃基板W的搬出结束。

在手单元4抽出玻璃基板W时，由于吸附衬垫14处于非突出位置，故可以防止吸附衬垫14刮擦玻璃基板W的下面致使玻璃基板W受损，同时，可以在初期使吸附衬垫14返回原来的位置，进行下一张玻璃基板W的搬出准备。

另外，在从存放盒20向移载装置C交接玻璃基板W时，由于在玻璃基板W如图17所示搬出存放盒20规定量的状态下，手单元4可以接收玻璃基板W，所以，手单元4不必进入存放盒20内，能顺利地进行工件向移载装置C的交接。即，该实施方式的吸附衬垫14通过吸附衬垫14的移动，不仅防止了玻璃基板W的滑动，还可以通过玻璃基板W搬出规定量而使工件向移载装置C的交接顺利地进行。

进而，由于同步进行吸附衬垫14和辅助辊17的升降，辅助辊17能够仅在需要辅助支承玻璃基板W时从空气喷出单元11的上面111突出。

以后，使存放盒20顺次下降，通过反复同样的顺序就会顺次搬出玻璃基板W。图19是表示到中层的放置部玻璃基板W搬出结束了的状态的图，随着存放盒20下降，空气喷出装置10就会更加进入存放盒20内。另外，在从移载装置C往存放盒20搬入玻璃基板W时，可以进行与上述搬出时大概相反的动作，就会使存放盒20顺次上升，从上层的放置部顺次搬入玻璃基板W。

<存放盒的其它例子>

存放盒20放置在叉式升降机等上被搬运，放置在升降装置30的横梁部件311上。在搬运存放盒20时，有时由于振动会导致存放盒20内所存放的玻璃基板从搬入搬出口24突出。图20是解决该问题的存放盒20′的外观立体图。在图20中，对与上述的存放盒20相同的结构赋予相同的附图标记而省略说明。

存放盒20′包括梁构件22d′及22e′，分别是存放盒20的梁构件22d及22e向±X方向延长的构件，在这些构件的两个端部上分别设置限制构件26。限制构件26例如由具有可挠性的树脂等构成，具有从方形框状的本体部分向Y方向突出的多个梳齿26a。梳齿26a在上下方向(Z方向)上按与存放盒20′的各放置部的配置间距相同的间距配置，其Z方向的宽度与玻璃基板W的厚度大致相同。

图21及图22是-X侧的限制构件26的梳齿26a附近的放大剖面图。图21表示玻璃基板W在存放盒20′内处于放置在放置部上的状态的情况。如该图所示，在玻璃基板W的-X方向存在梳齿26a，如果玻璃基板W沿-X方向移动排出的话，就会受到梳齿26a干涉。由此，限制玻璃基板W由于搬运存放盒20′时的振动等产生的向搬出方向(-X方向)的移动。另外，图20的+X侧的限制构件26也一样，限制玻璃基板W由于搬运存放盒20′时的振动等产生的向+X方向的移动。

其次，图22表示玻璃基板W中的一个在存放盒20′内在放置部上漂浮的情况。即是该图最下层的玻璃基板W要被搬出的状态。通过玻璃基板W漂浮，玻璃基板W可以通过梳齿26a间的间隙，限制构件26不限制处于漂浮状态的玻璃基板W向搬出方向(-X方向)移动。

另外，在像上述的移载装置C的手单元4那样保持玻璃基板的端部而排出的方式的情况下，在现有技术中需要手单元稍微进入存放盒内地保持玻璃基板，但在如本实施方式那样设有限制构件26的结构中，手单元和限制构件26干涉，手单元4不会进入存放盒20′内。

可是，在该实施方式中，通过吸附衬垫14的移动，可以使玻璃基板W从存放盒20′突出规定量，手单元4不必进入存放盒20′内。因而，也可以与设有限制构件26的存放盒20′对应。

<其它实施方式>

在上述的实施方式中采用了具有吸附功能的吸附衬垫14，但为了防止玻璃基板的滑动未必需要具有吸附功能的衬垫，只要是抵抗玻璃基板W急剧移动(滑动)的衬垫就行。例如也可以是在上面具有橡胶或毛毡布等的衬垫。特别是像吸附衬垫14那样具有吸附功能的衬垫不用说在防止玻璃基板滑动方面是有效的。

本申请发明不限于上述实施方式，而且能够在不脱离本发明的构思的范围内进行各种变更及修正，故本申请发明的范围应由以下的权利要求书规定。

Claims (7)

1.一种工件存放装置，所述工件存放装置包括：

空气喷出机构，该空气喷出机构具有形成了多个空气的喷出口的大致水平的上面，通过从所述喷出口喷出空气，使方形板状的工件以大致水平的姿势在所述上面上漂浮；

存放盒，该存放盒具备多个放置部、侧部和底部；该多个放置部在上下方向上形成多层，具有所述空气喷出机构能通过的开口部，而且以大致水平的姿势放置所述工件；该侧部形成所述工件的搬出口；该底部形成所述空气喷出机构能通过的进入口；所述存放盒配置在所述空气喷出机构的上方；以及

升降机构，该升降机构使所述存放盒和所述空气喷出机构相对上下升降；

所述工件存放装置利用由所述升降机构产生的升降动作使所述空气喷出机构进入所述存放盒内，利用所述空气喷出机构使从所述存放盒向外部搬出的所述工件漂浮离开所述放置部；其特征在于，

设有衬垫，该衬垫从所述空气喷出机构的所述上面突出，与处于漂浮状态的所述工件的下面抵接。

2.如权利要求1所述的工件存放装置，其特征在于，进一步设有衬垫升降机构，该衬垫升降机构使所述衬垫在从所述空气喷出机构的所述上面突出的突出位置和非突出位置之间升降。

3.如权利要求1所述的工件存放装置，其特征在于，所述衬垫是利用空气的吸引而吸附在处于漂浮状态的所述工件的下面上的吸附衬垫。

4.如权利要求3所述的工件存放装置，其特征在于，进一步设有使所述吸附衬垫向所述工件的搬出方向移动的移动机构。

5.如权利要求4所述的工件存放装置，其特征在于，进一步设有辅助辊，该辅助辊从所述空气喷出机构的所述上面突出，与随着由所述移动机构产生的所述吸附衬垫的移动而移动的所述工件的下面抵接。

6.如权利要求5所述的工件存放装置，其特征在于，所述吸附衬垫和所述辅助辊在所述工件的搬出方向分开设置；进而，具备：

使所述吸附衬垫在从所述空气喷出机构的所述上面突出的突出位置和非突出位置之间升降的吸附衬垫升降机构，以及

使所述辅助辊在从所述空气喷出机构的所述上面突出的突出位置和非突出位置之间升降的辅助辊升降机构；

所述吸附衬垫和所述辅助辊同步地升降。

7.如权利要求1所述的工件存放装置，其特征在于，具备向大致水平方向推压处于漂浮状态的所述工件的端缘而对所述工件进行定位的定位机构。

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