CN108137248A - 移送单元、移载装置及移载方法 - Google Patents

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Abstract

一种移送单元、移载装置及移载方法，其可移送基板并且将基板定位，将翘棱了的基板放在规定的位置并且矫正，使基板的移载效率提高。具备将前述基板朝取出位置移送的移送机构；和将前述基板定位在前述取出位置的定位机构，前述定位机构具备：包含可与前述基板的相向的端面抵接地设置的至少两对规定部的规定构件；在至少两对前述规定部的各自中使一方的规定部在朝向另一方的规定部的方向移动的抵接移动机构；和可使前述规定构件在推压前述基板的方向移动的规定移动机构。

Description

移送单元、移载装置及移载方法
技术领域
本发明是关于进行翘棱的板材的搬运并且将翘棱的板材水平矫正且规定位置进行移载的移送单元、移载装置及移载方法。
背景技术
以往，在进行翘棱(或挠曲)的矩形状的板材(例如树脂制基板)的搬运时，存在将翘棱而弯曲了的板材水平(平板或平直)矫正地进行移载的情况。矩形状的板材，例如，有安装电子零件的电子基板。在制造工序中，这样的电子基板为了进行零件及基板的连接而朝焊接处理等的热处理工序移送。经过了热处理工序的基板，受到热的影响，朝基板的面方向翘曲，或翘棱地变形。另外，这样变形了的基板，由移送装置(例如输送带)朝不同的其他的工序移送，进行进一步的处理。在朝其他的工序的移送中，将基板本身直接支承地移送，或将基板收容在收容构件内地移送。为了在移送目的地的处理工序等中进行规定的处理，基板被再次朝专用的处理装置移载，或被移载至不同的移送路。在这样的移载作业中，因为如果基板是翘棱的状态不变，则移载装置保持基板困难，所以将基板的翘棱矫正使之成为容易保持的状态。
作为基板的翘棱，有各式各样的翘棱方式，但例如在矩形状的基板的情况下，相向的一对边靠近，以全长缩短的方式朝面方向弯曲地翘棱。由这样的翘棱，例如通过作业者不小心地操作基板，对基板赋予了过大的应力，或基板因安装在基板上的零件的重量而进一步变形。另外，在对基板进行了热处理之后，因为在冷却时由基板的面的放热产生的速度的不同，所以存在发生朝面方向的翘棱(专利文献1参照)的情况。
另外，在确实地保持这样变形了的基板并由移载装置进行移载的情况下，需要一边将变形了的基板的翘棱矫正一边将基板放在由移载装置进行的基板的取出位置。作为这样的装置，有如下的装置，即，例如，移载装置的保持部从变形了的基板的上方接近基板，在完全地压住未结束的位置一旦停止，使变形了的基板的一方与成为基准的基准构件抵接。具体而言，包含加载功能的移动构件从变形了的基板的另一方与基板抵接，由此将基板朝基准构件侧移动，使基板的一方与基准构件抵接。然后，移载装置的保持部由从变形了的基板的上方进一步将基板朝下方压住，由此，从基板的一方朝另一方侧渐渐地由移动构件的加载机构吸收基板的伸长量地进行矫正。而且保持部吸附保持基板(专利文献2参照)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平09-199848号公报
专利文献2：日本专利3421713号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是在变形了的基板的矫正后，虽在矫正的状态下保持基板地进行移载，但作为移载的装置整体，为了提高作业效率，需要效率良好的移载动作。另外，在将基板载置至移载目的地时，存在需要高的移载精度的情况。
专利文献1的装置，为了将变形了的基板朝原来的状态(无变形的状态)变化(返回)，进行特定的处理(冷却处理)。但是，其需要处理工序的时间及朝该处理工序的移载时间，存在装置整体的作业效率低的担心。另外专利文献2的装置，由定位机构和保持单元的阶段性的协作作业进行变形基板的矫正，需要对各个作业一边进行数次确认一边进行的时间。另外在保持单元将矫正了的基板保持之后，为了移载基板，如果不是在定位机构的定位的解除结束后则不能进行。因此，存在移载作业整体的作业效率低的担心。
因此，本发明的目的是将翘棱了的基板放在规定的位置并且矫正，使基板的移载效率提高。
为了解决课题的手段
本发明是一种移送单元，其是可移送基板并且将该基板定位的移送单元，其特征在于，具备：将前述基板朝取出位置移送的移送机构；和将前述基板定位在前述取出位置的定位机构，前述定位机构具备：包含可与前述基板的相向的端面抵接地设置的至少两对规定部的规定构件；在至少两对前述规定部的各自中使一方的规定部在朝向另一方的规定部的方向移动的抵接移动机构；和可使前述规定构件在推压前述基板的方向移动的规定移动机构。
另外，本发明是一种移载方法，其移送弯曲了的基板并且将该弯曲了的基板定位，推压前述基板的基板面而将基板平直地矫正，移载该矫正基板，其特征在于，具备：以前述弯曲前的平直状态时的前述基板的轮廓为基础，设定对基板的作业范围的设定工序；将推压构件向前述作业范围内的前述基板的基板面上压住，将基板平直地矫正的矫正工序；进行矫正后的前述矫正基板的定位的定位工序；对被定位了的前述矫正基板进行吸附保持的吸附保持工序；和移载被进行吸附保持的前述矫正基板的移载工序。
发明的效果
根据本发明，能将翘棱了的基板放在规定的位置并且矫正，使基板的移载效率提高。
附图说明
图1A是本发明的一实施方式中的移载装置的立体图。
图1B是保持构件的立体图。
图1C是托盘T的立体图。
图2是移送单元的立体图。
图3是移送单元的立体图。
图4是图2移送单元中的侧部规定构件的立体图。
图5是图4的侧部规定构件的移送机构的立体图。
图6是从图4的侧部规定构件除去了移送机构的立体图。
图7是图2的移送单元中的端部规定构件及规定移动机构的作为一部分剖面的立体图。
图8是控制单元的方块图
图9A是表示状态ST1的移载装置的动作的说明图。
图9B是表示状态ST1的移载装置的动作的说明图。
图9C是表示状态ST2的移载装置的动作的说明图。
图9D是表示状态ST2的移载装置的动作的说明图。
图9E是表示状态ST3的移载装置的动作的说明图。
图9F是表示状态ST3的移载装置的动作的说明图。
图9G是表示状态ST4的移载装置的动作的说明图。
图9H是表示状态ST4的移载装置的动作的说明图。
图9I是表示状态ST5的移载装置的动作的说明图。
图9J是表示状态ST5的移载装置的动作的说明图。
图9K是表示状态ST6的移载装置的动作的说明图。
图9L是表示状态ST6的移载装置的动作的说明图。
图9M是表示状态ST7的移载装置的动作的说明图。
图9N是表示状态ST7的移载装置的动作的说明图。
图9O是表示状态ST8的移载装置的动作的说明图。
图9P是表示状态ST8的移载装置的动作的说明图。
具体实施方式
为了实施发明的方式
以下，对于本发明的例示的实施方式参照图面进行说明。另外，在各图中，相同参照符号表示同样的要素，将对纸面而言的上下左右方向作为本实施方式中的装置或构件的上下左右方向，使用在本文中的说明中。另外在图1～图7、图9A～图9P中，箭头Z表示上下方向(垂直方向)，箭头X及Y表示互相正交的水平方向。
图1A是本发明的一实施方式的移载装置A的立体图。移载装置A将从Y方向的上游侧Y1(在图1A中是左上侧)搬运来的基板W朝Y方向的下游侧Y2(在图1A中上右下侧)搬运。基板W，例如可举出FPC(挠性印刷基板)所代表的具有挠性的薄膜状基板，或具有挠性的膜体，具有挠性的薄片体，及具有挠性的箔体等。本实施方式中的基板W，是从上向下看为长方形状的薄板构件，在由后述的理由朝移载装置A搬入之前，作为长度方向的端部朝上面方向翘曲了的基板W1，在从移载装置A搬出时作为被矫正成平板状的基板W2。
移载装置A具备被固定于基座B的第一输送带10、第二输送带20和移载单元30。搬运基板W的第一输送带10及第二输送带20，相对于基板W的搬运方向(在图中上Y方向)互相平行地离开地配置。第一输送带10及第二输送带20的各自将基板W从Y方向上游侧朝下游侧搬运。
<移载单元30>
移载单元30具备跨过第一输送带10及第二输送带20的门型的基部31；朝基部31的水平部分31a可移动地构成的移动部32；和被安装于移动部32的保持单元40。水平部分31a被支承在被设置在基座B上的两腿部上。另外，在图1A中基部31的水平部分31a，为了第一输送带10的说明而省略了一部分进行图示。移动部32可由未图标的驱动机构相对于基部31(水平部分31a)在水平方向(X方向)及垂直方(Z方向)移动。作为驱动机构，可以采用公知的机构，例如，可以由马达等驱动源和传递驱动源的驱动力的传递机构(例如皮带传递机构、滚珠螺杆机构、齿条-小齿轮机构等)构成。被安装于移动部32的保持单元40，可由移动部32在水平方向(X方向)及垂直方(Z方向)移动。
图1B表示从Z方向下方看保持单元40的立体图。保持单元40在Z方向下面具备平坦的下侧面(推压构件)40a，在下侧面40a的规定部位具备多个吸附部41(在本实施方式中是8个)。吸附部41，在矩形状的下侧面40a的长度方向两端部附近各配置4个。吸附部41，因为被配置于矩形状的至少4个部位的角部，所以在吸附保持基板W时能在水平方向保持稳定的姿势不变地进行吸附保持。各吸附部41，与被配置于保持单元40的上侧面上的正压和负压控制部42连接。正压和负压控制部42，与设置在工场或设备上的未图示的压缩机、真空泵、压缩空气容器等正压和负压发生源连接，从各吸附部41吹空气，或使各吸附部41的内部成为负压地进行控制。
如后述的那样，各吸附部41，在接近翘曲起来的基板W1时吹空气，将空气吹到朝上翘曲了的基板W1的被吸附部，使吸附部41和翘曲了的基板W1接触时的阻力减轻，在与翘曲了的基板W1接触后使内部成为负压地吸附翘曲了的基板W1。例如，吸附部41，可以例示开口部朝向下方扩大的漏斗状的挠性构件。各吸附部41，也可以如下的那样构成，即，以容易与翘曲了的基板W1接触的方式，将一部分从保持单元40的下侧面40a突出地配置，在吸附于翘曲了的基板W1之后从下侧面40a向保持单元40内部移动(拉入)。通过这样做，后述的保持单元40的下侧面40a与翘曲了的基板W1的面抵接，由此能矫正翘曲了的基板W1的变形。另外，能将被保持在吸附部41的翘曲了的基板W1的面在与下侧面40a的面抵接的状态下保持。
<移载装置A的动作的概略>
以下参照图1A，对移载装置A搬运基板W时的概略进行说明。在本实施方式中，在移载装置A的图中Y方向的上游侧(在图中是左上方向)，配置未图示的基板供给装置。作为基板供给装置，例如例示在将基板洗净后进行加热处理(干燥)的装置。因此，例如从基板供给装置供给的基坂，可以例示遍及基板的长度方向地相向的一对边由加热处理分别朝上方变形了的形状的翘曲了的基板W1。另外翘曲了的基板W1，不限定于由加热处理产生的翘曲了的基板，只要是由化学性的处理产生的翘棱等的由规定的处理变得不再平直的弯曲了的基板等，则也可以采用任意的形态。
翘曲了的基板W1，从基板供给装置在箭头Y1方向朝第一输送带10移送来。在本实施方式中第一输送带10具备上游侧的输送带单元CU11和下游侧的移送单元11。如果翘曲了的基板W1朝第一输送带10供给，则输送带单元CU11朝与其下游侧连接的移送单元11移送基板W1。朝移送单元11移送的翘曲了的基板W1，由后述的处理放在规定的取出位置进行定位。
由移送单元11放置的翘曲了的基板W1，由从上方降下来的保持单元40朝箭头Z1方向下方推压，由移送单元11定位，并且由保持单元40的吸附部41进行吸附保持。通过由保持单元40推压，翘曲了的基板W1的翘曲被矫正，成为具备水平的平面的被矫正了的基板W2。接着，被定位并被矫正了的基板W2，在被矫正了的状态下被保持在保持单元40上不变地朝上方(箭头Z2方向)移动，并伴随移动部32的移动，朝第二输送带20侧(箭头X1方向下游侧)及下方(箭头Z3方向)移动，被载置保持于在第二输送带20上待机的托盘T的载置部TS。
如图1C所示，托盘T设置了对被矫正了的基板W2进行面承接载置的载置部TS，在载置部TS，具备将被矫正了的基板W2保持被矫正了的状态不变地的保持机构T10。保持机构T10，在本实施方式的情况下，具备使被矫正了的基板W2的短边方向的一方的边抵接并规定载置部TS中的被矫正了的基板W2的载置位置的基准的规定构件；和与相向的另一方的边抵接并将被矫正了的基板W2一边朝基准构件侧加载一边保持的加载机构。进而，通过将未图示的板状的盖构件覆盖在与被矫正了的基板W2的载置面相反侧的面(保持单元40侧的面)上，将被矫正了的基板W2保持平直不变。
第二输送带20，是由与第一输送带10具备的输送带单元CU11相同的结构将宽度不同的输送带单元CU21及输送带单元CU22串联地连接了的输送带，其下游侧(箭头Y2方向下游侧)与未图示的基板收容装置连接。第二输送带20，将载置被矫正了的基板W2的托盘T朝箭头Y2方向搬运，供给至未图示的基板收容装置。如以上的那样，本实施方式的移载装置A将翘曲了的基板W1由移送单元11放在规定的位置并且矫正，经移载单元30及第二输送带20将被矫正了的基板W2载置保持在托盘T上进行搬运。以下，详细说明移载装置A的第一输送带10及移送单元11。
<第一输送带10>
第一输送带10，具备被配置于基板W的搬运方向上游侧的输送带单元CU11及被配置于下游侧的移送单元11。在本实施方式中，第一输送带10具备一个输送带单元CU11，但不限定于此，也可以与移载装置A的大小相应地适宜地将其数量增减。另外，第一输送带10，也可以不具备输送带单元CU11，从基板供给装置直接朝移送单元11搬运基板W。
<输送带单元CU11>
输送带单元CU11，从被配置于其上游侧(箭头Y1方向上游侧)的未图示的基板供给装置收取翘曲了的基板W1，朝移送单元11(朝箭头Y1方向下游侧)搬运。输送带单元CU11，具备一对互相离开配置的环形皮带EB；被架设于各个环形皮带EB中的两对皮带轮P；和朝环形皮带EB赋予驱动力的驱动源211a、211b(参照图2)。一对环形皮带EB，以与基板W的宽度对应的间隔互相离开配置。即，一对环形皮带EB，以分别支承基板W的宽度方向(短边方向)的各个端边部的方式配置。
一方的一对皮带轮P，相对于基板W的搬运方向(Y方向)互相离开配置。被绕挂在此一对皮带轮P上的环形皮带EB，通过在翘曲了的基板W1的搬运方向延伸的直线部分伴随皮带轮P的旋转进行移动，将被载置于环形皮带EB上的翘曲了的基板W1朝搬运方向搬运。另外，在本实施方式中，环形皮带EB采用剖面为圆形状的环形的圆皮带，但不限定于此，例如也可以采用剖面为矩形状的环形皮带，在被卷绕在皮带轮上的环形皮带的内周面侧形成了突起、槽的带槽皮带(例如树脂制)、树脂制或金属制的链条等。另外，皮带轮P，在环形皮带EB为圆皮带时，也可以采用形成了圆弧状的槽的皮带轮。
<移送单元11>
移送单元11与输送带单元CU11的下游侧连接，将被搬运来的翘曲了的基板W1放在规定的取出位置，并且与保持单元40协作将翘曲了的基板W1平直地矫正。取出位置，是指保持单元40从移送单元11将基板W取出时的移送单元11中的位置。将翘曲了的基板W1放在取出位置，与保持单元40协作将翘曲了的基板W1的变形矫正，作为矫正了的基板W2进行定位，由保持单元40保持，经保持单元40将被移载的被矫正了的基板W2精度良好地载置于在第二输送带20上待机的托盘T的载置部TS。参照图2～图7，说明移送单元11的详细情况。
如图2所示，移送单元11具备将翘曲了的基板W1定位在取出位置的定位机构100；和将翘曲了的基板W1朝取出位置移送的移送机构200。另外，图2所示的移送单元11，表示取下了将图1A所示的移送单元11的外侧覆盖的盖11a的状态。
<定位机构100>
定位机构100，具备包含侧面规定构件110及端面规定构件120在内的规定构件。侧面规定构件110及端面规定构件120，包含可分别与翘曲了的基板W1的相向的侧面及端面抵接地设置的后述的一对规定部。因此，在本实施方式中，规定构件包含两对规定部。另外，定位机构100，与侧面规定构件110及端面规定构件120的各自对应地具备可将规定部在推压基板W的方向移动的后述的规定移动机构130；和使一方的规定部在朝向另一方的规定部的方向移动的后述的抵接移动机构140。
<侧面规定构件110>
侧面规定构件110具备第一规定部110a和第二规定部110b，第一规定部110a和在与翘曲了的基板W1的移送方向正交的宽度方向(X方向)的两侧面相向，可与其抵接地配置，被配置于翘曲了的基板W1的一方的侧面侧(X方向一方侧，在图2中是右上侧)；第二规定部110b被配置于另一方的侧面侧(X方向另一方侧，在图2中是左下侧)。另外，侧面规定构件110具备使第二规定部110b在朝向第一规定部110a的方向移动的侧面移动机构(抵接移动机构)141。另外，在第一规定部110a及第二规定部110b的各自中，邻接配置第一移送机构200a及第二移送机构200b。第一移送机构200a及第二移送机构200b，分别构成侧面规定构件110中的移送机构。进而在第一规定部110a及第二规定部110b的各自中，邻接配置第一规定移动机构130a及第二规定移动机构130b。第一规定移动机构130a及第二规定移动机构130b，构成侧面规定构件110中的规定移动机构。
<第一规定部110a>
如图3所示，第一规定部110a从翘曲了的基板W1的搬运方向Y1的上游侧看朝向被配置于左侧，经固定构件FM固定于基座B。在此参照图4～图6说明第一规定部110a的详细情况。图4是将第一规定部110a从第二规定部110b侧看的立体图。图4所示的第一规定部110a，具备第一移送机构200a及第一规定移动机构130a，其一部分比由图中点划线表示的基板W的移送面TS可向上方突出地配置。而且，翘曲了的基板W1，由第一规定部110a的突出部分规定其一方的侧面。
<第一移送机构200a>
第一移送机构200a具备支承翘曲了的基板W1的下面并搬运翘曲了的基板W1的搬运机构210a；和支承搬运机构210a的搬运支承构件220a。搬运机构210a具备环形皮带EB；与伺服马达等驱动源211a连接的驱动构件212a；和多个从动构件213a-1、213a-2、213a-3、213a-4(在本实施方式中为四个)。在本实施方式中，环形皮带EB采用剖面为圆形状的环形的圆皮带，但不限定于此，例如也可以采用剖面为矩形状的环形皮带，在环形皮带的内周面上形成了突起、槽的树脂制皮带，树脂制或金属制的链条等。另外，驱动构件212a及从动构件213a，在环形皮带EB为圆皮带时，也可以采用形成了圆弧状的槽的皮带轮。
图5省略第一规定部110a及第一规定移动机构130a，表示被安装于固定构件FM上的状态的第一移动机构200a的立体图。如图5所示，遍及搬运方向(Y1方向)地支承翘曲了的基板W1的侧部下面的环形皮带EB，其支承翘曲了的基板W1的直线部以形成于最远离地配置的一对从动构件213a-1、213a-2之间的方式绕挂。此时驱动构件212a滑动接触地配置在环形皮带EB的长度方向中央部的内周侧且上下方向的下侧的环形皮带EB的内周面上。而且，以从环状的环形皮带EB的下方的外侧夹着驱动构件212a的方式邻接地配置一对从动构件213a-3、213a-4。
驱动构件212a的中心，相对于相邻接的一对从动构件213a-3、213a-4的中心，朝图中上下方向的下方向偏移。通过这样做，环形皮带EB在向驱动构件212a和从动构件213a的双方施加张力的状态下卷绕。因此，由驱动源211a驱动的驱动构件212a朝图中箭头R1方向(逆时针方向)旋转，环形皮带EB，其上侧的直线部分朝图中Y1方向移动。另外，驱动源211a、驱动构件212a及多个从动构件213a被支承于搬运支承构件220a。驱动构件212a及多个从动构件213a相对于搬运支承构件220a旋转自如地被支承。另外，搬运支承构件220a具备支承环形皮带EB的上侧的直线部分的支承引导部221a。支承引导部221a，是在一对从动构件213a-1及213a-2之间以在搬运方向延伸的方式配置的长条构件，由其上面支承环形皮带EB。另外，支承引导部221a在将翘曲了的基板W1朝保持单元40推压时，经环形皮带EB支承翘曲了的基板W1，起将翘曲了的基板W1的矫正中的复原力挡住的作用。
<第一规定移动机构>
如图4所示，第一规定移动机构130a被配置于第一搬运机构200a的搬运支承构件220a及环形皮带EB之间。图6表示省略第一搬运机构200a的驱动源211a、驱动构件212a、多个从动构件213a及环形皮带EB的状态的第一规定部110a的立体图。
第一规定移动机构130a具备对侧面规定构件110的第一规定部110a进行加载支承的加载构件131a；支承加载构件131a并且被安装于搬运支承构件220a上的加载支承构件132a；和对第一规定部110a(侧面规定构件)的加载方向的移动进行引导的引导机构133a。在本实施方式中，加载构件131a、加载支承构件132a、引导机构133a分别设置了一对。加载支承构件132a及引导机构133a被安装于搬运支承构件220a上。
第一规定部110a具备在朝搬运方向(Y方向)延伸的主体部111a；从主体部111a朝上下方向(Z方向)的下方延伸的一对垂直部112a；和与一对加载构件131a对应地抵接的一对抵接部113a。主体部111a设定得比在搬运方向的矫正了的基板W2的长度长。主体部111a的上面114a，是在后述的翘曲了的基板W1的推压(矫正)时与保持单元40的下面40a抵接的平坦面。另外，与第二规定部110b相向的主体部111a的内侧侧面115a，成为对由搬运机构200a搬运的翘曲了的基板W1的侧面进行引导的引导部。进而，内侧侧面115a成为定位部，该定位部在后述的第二规定部110b朝向第一规定部110a进行了移动时，与翘曲了的基板W1的侧面抵接而进行翘曲了的基板W1的定位。另外，内侧侧面115a，适宜设定为与翘曲了的基板W1的翘曲高度(在翘曲方向的翘曲尺寸)相应的尺寸。
搬运支承构件220a，在与第二规定部110b相向的侧面上具备引导机构133a。引导机构133a，例如能例示与第一规定部110a的垂直部112a协作地对第一规定部110a在垂直方向(上下方向)进行引导的轨道。例如引导机构133a，可以例示如下的轨道，该轨道包含与形成于第一规定部110a的垂直部112a的凸形状对应的凹状槽，在上下方向延伸。第一规定部110a，通过由引导机构133a引导，可相对于搬运支承构件220a朝图中Z4方向(上下方向)移动。
第一规定部110a，通过由加载构件131a加载，在无负荷的状态下，被朝上下方向的上侧加载，被维持在规定的位置。此时，也可以在引导机构133a中设置了未图示的止动部，使得第一规定部110a不移动到规定量以上的上方或下方。支承加载构件131a的加载支承构件132a，是在侧面看为L字形状的板状构件，其一边被固定于搬运支承构件220a上，并由另一边支承加载构件131a的一端部。加载支承构件132a的一部分与第一规定部110a的抵接部113a相向地配置。加载构件131a，通过其端部是由与第一规定部110a的抵接部113a抵接，收容于抵接部113a和加载支承构件132a之间。因此，规定移动机构130具备加载构件(加载机构)131a，该加载构件(加载机构)131a具备相对于由保持单元40推压第一规定部110a的方向朝相反方向(一方的方向)加载的加载力。另外，作为加载构件131a，例如可以例示螺旋弹簧，但不限定于此，也可采用板弹簧、即使压缩规定量也返回原来的状态的弹性的树脂构件等。
如以上的那样，第一规定部110a成为将从输送带单元CU11搬运来的翘曲了的基板W1朝移送单元11内的规定位置搬运时的引导部。此时第一规定部110a的内侧侧面115a对由搬运机构200a的环形皮带EB搬运的翘曲了的基板W1的侧面进行引导。而且，如果保持单元40朝向翘曲了的基板W1下降，则保持单元40的下侧面40a与第一规定部110a的主体部111a的上面114a抵接。如果这样不变地保持单元40持续下降，则规定移动机构130的引导机构133a可使第一规定部110a(规定构件)在推压翘曲了的基板W1的方向移动。保持单元40推压第一规定部110a地下降，并且推压翘曲了的基板W1进行上述翘曲了的基板W1的矫正。如果翘曲了的基板W1的矫正结束，则保持单元40在保持被矫正了的基板W2的状态下开始上升。此时，因为第一规定部110a由加载构件131a加载，所以如果解除由保持单元40的上升进行的第一规定部110a的推压，则第一规定部110a能由加载构件131a的加载力以再次返回原来的状态的方式开始上升。
<第二规定部110b>
参照图2及图3说明第二规定部110b。第一规定部110a经固定构件FM固定于基座B上，与此相对，第二规定部110b经抵接移动机构140的侧面移动机构141相对于基座B可相对移动地设置。第二规定部110b是与第一规定部110a相对于移送单元11的中心对称的配置，具备定位机构100b及搬运机构200b。另外，第二规定部110b的定位机构100b及搬运机构200b，使用了与第一规定部110a的定位机构100a及搬运机构200a相同形状的构件。因此，在图2及图3中，第二规定部110b中的与第一规定部110a相同的构件，作为其参照符号，在末尾附加了b代替a。
侧面移动机构141具备安装第二规定部110b的移动体142和滑动自如地支承移动体142的宽度移动机构141a。作为宽度移动机构141a可以采用公知的机构，例如，由马达等驱动源及传递驱动源的驱动力的传递机构(例如皮带传递机构、滚珠螺杆机构、齿条-小齿轮机构等)构成。宽度移动机构141a被固定于基座B上，能在与图2所示的X方向平行的S1方向往复移动移动体142。因此，第二规定部110b，通过被固定于移动体142上，可伴随移动体142的移动地朝相对于第一规定部110a接近或离开的方向(X方向)移动。
由以上那样的结构，可以以与输送带单元CU11的搬运宽度相同的方式设定第二规定部110b，对翘曲了的基板W1的两侧面进行引导，并可从输送带单元CU11朝移送单元11进行翘曲了的基板W1的搬运。另外，使向移送单元11内搬运、推压并被矫正了的基板W2由第二规定部110b的宽度方向移动朝第一规定部110a压住移动。于是，通过被矫正了的基板W2的侧面与第一规定部110a及第二规定部110b的各个内侧侧面115a、115b抵接，实现被矫正了的基板W2的X方向的定位及Y方向的确定姿势(基板W的侧面成为与Y方向平行的姿势)。
<端面规定构件120>
如图2及图3所示，在第一规定部110a及第二规定部110b之间，配置端面规定构件120。端面规定构件120，具备可与翘曲了的基板W1的在移送方向(图2的Y方向)的两端面相向地抵接的第三规定部120a及第四规定部120b。在本实施方式中，第三规定部120a被配置在翘曲了的基板W1的搬运方向下游侧，第四规定部120b配置在上游侧。第四规定部120b可由端面移动机构143在翘曲了的基板W1的搬运方向移动。
端面规定构件120的第三规定部120a，经被安装于固定构件FMB上的引导机构131c、将第三规定部120a朝上方加载的加载构件133c，由固定构件FMB设置于搬运支承构件220a上。引导机构131c，例如由两个构件构成，可以例示如下的方式：一方的构件被固定于第三规定部120a，另一方的构件被固定于固定构件FM，互相可以在Z方向(上下方向)滑动自如。具体而言，也可以采用与上述第一规定部110a的引导机构133a同样的结构。
加载构件133c，例如可以例示螺旋弹簧，该螺旋弹簧配置于第三规定部120a与固定构件FMB之间，将一端固定于第三规定部120a，将另一端固定于固定构件FMB。因此，第三规定部120a通常由加载构件133c在无负荷的状态下朝Z方向(上下方向)的上方加载并维持，由引导机构131c的未图示的止动器使得其不突出规定量以上。另外，第三规定部120a的上端面，以成为与第一规定部110a及第二规定部110b的上面114a及114b相同的高度(比翘曲了的基板W1的移送方向的前方侧的端面抵接的高度高的高度)的方式设定了高度尺寸，并由引导机构131c设定了突出量。
如图3所示，第四规定部120b在将翘曲了的基板W1朝移送单元11搬入时与搬运面TS相比在下方待机。另外，如果翘曲了的基板W1与第三规定部120a抵接，则通过由后述的升降驱动部144进行的升降体145的上升，第四规定部120b与搬运面TS相比向上方移动。图7表示将具备升降驱动部144的第四规定部120b在第四规定部120b的X方向中央与图2中的Y方向平行地切断了的A-A剖面的立体图。
第四规定部120b具备被安装于端面移动机构143的可动部143a的引导机构133d，和将第四规定部120b朝上方加载的加载构件131d。作为端面移动机构143，可以采用公知的机构，例如，由马达等驱动源和传递驱动源的驱动力的传递机构(例如皮带传递机构、滚珠螺杆机构、齿条-小齿轮机构等)构成。引导机构133d，例如由两个构件构成，可以例示如下的形态：将一方的构件固定于第四规定部120b，将另一方的构件固定于可动部143，互相可以在Z方向(上下方向)滑动自如。具体而言，也可以采用与上述第一规定部110a的引导机构133a同样的结构。
加载构件131d，例如可以例示螺旋弹簧，该螺旋弹簧被配置于第四规定部120b与可动部143a之间，将一端固定于第四规定部120b，将另一端固定于可动部143a。因此，第四规定部120b通常由加载构件131d在无负荷的状态下朝Z方向(上下方向)的上方加载并维持，由引导机构133d的未图示的止动器使得其不突出规定量以上。另外，第四规定部120b的上端面，在与搬运面TS相比朝上方突出时，以成为与第一规定部110a及第二规定部110b的上面114a及114b相同的高度(比翘曲了的基板W1的移送方向的后方侧的端面抵接的高度高的高度)的方式设定了高度尺寸，由引导机构133d设定了突出量。
端面移动机构143被固定于第四主体部121，该第四主体部121被固定于升降体145。因此，通过端面移动机构143的可动部143a相对于第四主体部121在与Y方向平行的搬运方向(图中Y3方向)进行相对移动，第四规定部120b可相对于第四主体部121进行相对移动。在此，升降体145由被固定于基座B上的升降驱动部144及引导机构133e相对于基座B在上下方向可升降地支承。作为升降驱动部144例如可以例示具备小齿轮的伺服马达，作为升降体145可以例示具备与小齿轮卡合的齿条的构件。引导机构133e以相对于上下方向平行地延伸的方式配置。
引导机构133e，例如由两个构件构成，可以例示如下的形态：将一方的构件固定于升降体145上，将另一方的构件固定于基座B上，互相可以在Z方向(上下方向)滑动自如。具体而言，也可以采用与上述第一规定部110a的引导机构133a同样的结构。而且，通过升降驱动部144的小齿轮进行转动，具备与小齿轮卡合的齿条的升降体145能在基座B的上下方向由引导机构133e引导地移动。
另外，第四主体部121具备被配置于第三规定部120a及第四规定部120b之间，对翘曲了的基板W1的下面进行支承的支承构件146。支承构件146是沿着基板W的搬运方向(Y方向)大致延伸到与基板W的Y方向长度相同的长度的长条构件。在支承构件146的搬运方向的下游侧的上面端部，配置与翘曲了的基板W1的搬运方向的下游侧的端部下面抵接的第一端部支承部147。另外，在第四规定部120b及支承构件146之间，配置与翘曲了的基板W1的搬运方向的上游侧的端部下面抵接的第二端部支承部148。支承构件146，通过由升降驱动部144的驱动进行的升降体145的上下方向的移动，在对翘曲了的基板W1进行支承的支承位置和与支承位置相比在下方且作为从翘曲了的基板W1离开了的位置的非支承位置之间移动。另外，通过第一端部支承部147及第二端部支承部148分别与翘曲了的基板W1的搬运方向的两端部下面抵接，有助于翘曲了的基板W1的定位。
<控制单元>
图8是移载装置A的控制单元5的方块图。控制单元5进行移载装置A整体的控制。控制单元5，包含CPU等处理部51；RAM、ROM等存储部52；和将外部装置及处理部51接合的接口部53。作为接口部53，除了I/O接口以外，也包含进行与主计算机的通信的通信接口。主计算机，例如也可以是对基板供给装置、基板收容装置整体进行控制的计算机。
处理部51执行被存储在存储部52的程序，对各种传感器55的检出结果、各种动作执行器54进行控制。作为各种的传感器55，例如，包含检出驱动源211a、211b、升降驱动部144的位置的传感器；检出后述的翘曲了的基板W1的在移送单元11内的位置的传感器等。作为各种动作执行器54，例如，包含驱动源211a、211b、升降驱动部144的各驱动源、进行在正压和负压发生部42中的吹的空气量的控制、负压吸引的泵、控制阀等。另外，控制单元5，对后述的例如移送单元11进行控制，并对抵接移动机构进行使规定构件朝规定作业范围的第一位置移动的第一动作控制和使规定构件朝基板的定位位置移动的第二动作控制。
<控制例>
对移送单元11的动作控制例，参照图9A～图9P进行说明。在此，说明翘曲了的基板W1的定位及矫正动作。具体而言，对将被搬入朝移送单元11的翘曲了的基板W1由移送单元11定位，并将由保持单元40推压进行了矫正的基板W2从移送单元11搬出的例进行说明。另外，图9A、图9C、图9E、图9G、图9I、图9K、图9M、图9O表示从上方看移送单元11的俯视图。图9B、图9D、图9F、图9H、图9J、图9L、图9N、图9P表示将移送单元11由在搬运方向延伸的平面切断了的概略剖视图。
图9A及图9B的ST1所示的状态，表示从图1所示的输送带单元CU11将翘曲了的基板W1朝移送单元11搬入的样子。此时如图9B所示，第四规定部120b处于待机位置，该待机位置与搬运面TS相比位于下方。另外，在以下说明的各图中，将图中右侧作为搬运方向上游侧，将左侧作为搬运方向下游侧进行说明。
如图9A所示，如果将翘曲了的基板W1搬入移送单元11，则在与基板W的宽度尺寸相应的位置使第二规定部110b向朝向第一规定部110a的箭头S1方向移动。此时第一规定部110a及第二规定部110b之间的距离，以与比基板W的宽度尺寸稍微大的尺寸(将翘曲了的基板W1支承于一对环形皮带EB上并可移送的程度的尺寸)对应的方式设定。
图9C及图9D的ST2所示的状态，表示将翘曲了的基板W1搬运至与第三规定部120a抵接为止的状态。在第三规定部120a附近，配置未图示的基板检出传感器，对翘曲了的基板W1到达第三规定部120a进行检测。此后，如图9D所示，为了确定规定作业范围的各规定部的第一位置，第四规定部120b朝箭头Z5方向上升(第一动作控制)。作业范围是表示将直到矫正结束为止的基板W的移动范围划定了的范围。因此，矫正作业中的翘曲了的基板W1，由各规定部可在规定的移动范围内在与搬运面平行的方向移动地矫正。由于能够这样进行翘曲了的基板W1的矫正，所以可减轻在矫正作业时发生的朝翘曲了的基板W1的移动负荷。
如图9D所示，从搬运面TS突出的第一规定部110a及第二规定部110b(规定构件)的高度尺寸D1，设定成比翘曲了的基板W1的最大变形尺寸(翘曲尺寸)D2大的尺寸。另外，从在翘曲了的基板W1被矫正了的状态下的搬运面TS突出的第一规定部110a及第二规定部110b(规定构件)的高度尺寸D1，成为在保持单元40的下面40a矫正了基板W1的状态(推压结束了的状态)时与下面40a抵接的程度的尺寸。即，从基板W1被矫正了的情况下的搬运面TS突出的第一规定部110a及第二规定部110b(规定构件)的高度尺寸D1，成为比基板W1的厚度稍微高(大致相等)的尺寸。这些尺寸D1及D2，与作为对象的基板W相应地适宜设定。另外，在本实施方式的情况下，因为基板W1的平面形状是在搬运方向延伸的长方形状，所以基板W1的变形以基板W1的长度方向的两端部接近的方式发生，因此，基板W1的短边方向的变形几乎不发生。
图9E及图9F的ST3所示的状态，表示将翘曲了的基板W1朝取出位置移送，并在由第一规定部110a及第二规定部110b规定的作业范围内移送的状态。此时第四规定部120b(一方规定构件)使第三规定部120a(另一方规定构件)的上面从搬运面TS向比第一规定部110a及第二规定部110b的上面低一些的位置突出地待机，从搬运方向的上游侧以接近第三规定部120a(另一方规定构件)的方式朝箭头Y3方向移动，设定在搬运方向的矫正的作业范围(设定工序)。在本实施方式中，以弯曲前的平直状态时的基板W的轮廓为基础设定对翘曲了的基板W1的作业范围(比平直状态时的基板W的轮廓稍微大的作业范围)。第三规定部120a及第四规定部120b之间的距离，在翘曲了的基板W1被矫正之后，考虑到在搬运方向伸长的长度量D3，设定成比翘曲了的基板W1伸长了的长度长的距离。
另外，在ST3所示的状态下，从ST2所示的状态上升来的第一端部支承部147及第二端部支承部148与翘曲了的基板W1的底面相比在下方的位置(比搬运面TS稍微下方的位置)待机。即，在此状态下，第一端部支承部147及第二端部支承部148不会与翘曲了的基板W1的底面抵接。
图9G及图9H的ST4所示的状态，表示在第一规定部110a、第二规定部110b、第三规定部120a、第四规定部120b分别朝作业范围移动后，保持单元40向基板取出位置移动的状态。此时，通过第一规定部110a、第二规定部110b、第三规定部120a、第四规定部120b位于在与搬运面TS平行的水平面内的规定位置来划定对翘曲了的基板W1的矫正的作业范围。如图9H所示，朝向翘曲了的基板W1地朝Z1方向降下来的保持单元40，首先，与第一规定部110a及第二规定部110b、第三规定部120a的各个上面抵接。
图9I及图9J的ST5所示的状态，表示与保持单元40的降下一起，第一端部支承部147及第二端部支承部148进一步上升，上升至与翘曲了的基板W1抵接的位置为止的状态。另外，第四规定部120b的上面也上升至与第一规定部110a、第二规定部110b及第三规定部120a的上面大致相同高度位置(齐平面)为止。因为第一端部支承部147及第二端部支承部148可从下方支承翘曲了的基板W1的搬运方向端部，所以可进行翘曲了的基板W1的短边方向的矫正。如图9J所示，第一规定部110a、第二规定部110b、第三规定部120a及第四规定部120b由保持单元40的推压反抗加载构件(131a、133c、131d)的加载力，由保持单元40朝箭头Z1方向移动。此时保持单元40一边从吸附部41吹空气一边降下。通过这样做，在保持单元40压住翘曲了的基板W1进行矫正时，可减轻由保持单元40的吸附部41和翘曲了的基板W1的抵接面产生的接触阻力(摩擦)(防止吸附部41的变形)，容许在矫正作业中的作业范围内的翘曲了的基板W1的移动。而且，保持单元40开始翘曲了的基板W1的矫正及取出。
图9K及图9L的ST6所示的状态，表示由保持单元40的下侧面40a的压住动作将翘曲了的基板W1的翘曲矫正了的状态。如图9L所示，被矫正了的基板W2成为大致被夹在保持单元40的下侧面40a和第一端部支承部147、第二端部支承部148及一对环形皮带EB之间的状态(没有被完全地夹着的状态)。
在将保持单元40的上下方向(Z方向)的移动停止之后，进一步朝使各规定部向定位的位置移动，进行基板W的最终的定位(第二动作控制)。即，在保持单元40推压被矫正了的基板W2的状态下，在作业范围内，由各规定部的移动(相向的规定部彼此接近的动作)使被矫正了的基板W2朝与基板面平行的方向移动(在本实施方式的情况下，使分别相向地配置的第二规定部110b及第四规定部120b朝成为定位基准的第一规定部110a及第三规定部120a侧移动)，将被矫正了的基板W2定位在规定的位置(定位移动工序)。此时保持单元40保持从吸附部41吹空气不变地进行作业。
图9M及图9N的ST7所示的状态，表示保持单元40开始吸附保持基板W并将其取出的状态。通过使保持单元40的吸附部41内成为负压，将基板W2在被矫正的被矫正的状态下吸附保持在吸附部41。吸附部41，通过吸附被矫正了的基板W2进行弹性变形，从下侧面40a向保持单元40的内部侧进行收缩移动(拉入)。通过吸附部41从下侧面40a向保持单元40的内部侧移动，将被矫正了的基板W2的上方的面密合保持在下侧面40a上。如果由设置在保持单元40上的未图标的保持检出传感器确认到基板W的保持，则保持单元40可与被矫正了的基板W2一起移动。另外，如果由保持检出传感器确认到被矫正的基板W2的保持，则解除由各规定部进行的被矫正了的基板W2的定位。因此，在定位解除后，保持单元40能开始上升，开始基板W的移载。
如图9N所示，如果保持单元40朝箭头Z2方向上升，则由保持单元40朝下方加载的各规定部由各加载构件的加载力朝箭头Z2方向上升，并在规定的位置进行加载支承。另外，第四规定部120b也可以在与保持单元40的上升同时朝箭头Z5方向降下，并且朝箭头Y4方向移动，朝离开第三规定部120a的方向移动。通过这样做，能接着效率良好地进行被搬入移送单元11的翘曲了的基板W1的搬入动作及作业范围的规定作业等。
图9O及图9P的ST8所示的状态，表示保持单元40朝箭头Z2方向上升了的状态。保持单元40将被吸附保持的被矫正了的基板W2朝规定的场所移载(移载工序)。第四规定部120b在保持单元40上升时(或上升后)，从搬运面TS朝下方及从第三规定部120a离开的方向移动，在规定的待机位置待机。另外，第二规定部110b也朝从第一规定部110a离开的方向稍微移动，在基板移送时的引导位置待机。通过将各个规定部朝待机位置移动并停止，接受下一个翘曲了的基板W1的准备结束。
如上所述，根据本实施方式，通过将翘棱了的基板放在规定的位置并且平直地矫正，进而进行矫正后的定位，能精度良好地保持基板，使基板的移载效率进一步提高。
本发明不限于上述实施方式，在不脱离本发明的精神及范围内可进行各式各样的变更及变形。因此，为了公开本发明的范围，添加以下的权利要求。

Claims (15)

1.一种移送单元，其是可移送基板并且将该基板定位的移送单元，其特征在于，具备：
将前述基板朝取出位置移送的移送机构；和
将前述基板定位在前述取出位置的定位机构，
前述定位机构具备：
包含可与前述基板的相向的端面抵接地设置的至少两对规定部的规定构件；
在至少两对前述规定部的各自中使一方的规定部在朝向另一方的规定部的方向移动的抵接移动机构；和
可使前述规定构件在推压前述基板的方向移动的规定移动机构。
2.如权利要求1所述的移送单元，其特征在于，
前述规定构件与前述基板的移送面相比可向上方突出地设置，
前述规定移动机构具备加载机构，该加载机构将各个前述规定部朝前述推压的方向中的一方的方向加载。
3.如权利要求1或2所述的移送单元，其特征在于，
前述规定构件包含可与前述基板的在移送方向的两端面相向地抵接的端面规定构件，
前述抵接移动机构包含使前述端面规定构件在前述移送方向移动的端面移动机构。
4.如权利要求1～3中的任一项所述的移送单元，其特征在于，
前述定位机构还具备支承构件和支承部移动机构，
该支承构件支承前述基板的下面，
该支承部移动机构使该支承构件在支承位置和非支承位置之间移动，该支承位置是支承前述基板的位置；该非支承位置是与该支承位置相比在下方，并从基板离开了的位置。
5.如权利要求1～4中的任一项所述的移送单元，其特征在于，
前述规定构件包含侧面规定构件，该侧面规定构件可与前述基板的在与移送方向正交的宽度方向的两侧面相向地抵接，
前述抵接移动机构还具备使前述侧面规定构件在前述宽度方向移动的侧面移动机构。
6.如权利要求5所述的移送单元，其特征在于，
前述移送机构具备搬运机构和搬运支承构件，该搬运机构支承前述基板的下面，搬运前述基板；该搬运支承构件支承前述搬运机构，
前述规定移动机构具备加载构件、加载支承构件和引导机构，该加载构件对前述侧面规定构件进行加载支承，该加载支承构件对加载构件进行支承并且被安装于前述搬运支承部；该引导机构对前述侧面规定构件的加载方向的移动进行引导。
7.如权利要求6所述的移送单元，其特征在于，前述侧面移动机构具备移动体和宽度移动机构，该移动体将安装一对前述侧面规定构件中的任一方的前述搬运支承构件在前述宽度方向移动；该宽度移动机构使前述移动体在前述宽度方向移动。
8.如权利要求1～7中的任一项所述的移送单元，其特征在于，
具备控制前述移送单元的控制组件，
该控制组件对前述抵接移动机构进行使前述规定构件朝规定作业范围的第一位置移动的第一动作控制；和使前述规定构件朝前述基板的定位位置移动的第二动作控制。
9.一种移载装置，其移送弯曲了的基板并且将该弯曲了的基板定位，推压前述基板的基板面而将基板平直地矫正，移载该矫正状态的基板，其特征在于，具备：
移送弯曲了的基板并且将该弯曲了的基板定位的如权利要求1～8中的任一项所述的移送单元；和
将由该移送单元移送并定位了的前述基板从前述移送单元移载的移载单元，
该移载单元具备保持被定位在前述取出位置的前述基板的保持单元，
为了推压被定位的前述基板的基板面将基板平直地矫正，该保持单元具备推压构件。
10.如权利要求9所述的移载装置，其特征在于，前述保持单元具备吸附组件，该吸附组件包含吸附被平直地矫正的前述矫正状态的基板的吸附构件。
11.如权利要求9或10所述的移载装置，其特征在于，前述保持单元具备从前述吸附构件朝前述基板的吸附面吹附空气的吹气组件。
12.一种移载方法，其移送弯曲了的基板并且将该弯曲了的基板定位，推压前述基板的基板面而将基板平直地矫正，移载该矫正基板，其特征在于，具备：
以前述弯曲前的平直状态时的前述基板的轮廓为基础，设定对基板的作业范围的设定工序；
将推压构件向前述作业范围内的前述基板的基板面上压住，将基板平直地矫正的矫正工序；
进行矫正后的前述矫正基板的定位的定位工序；
对被定位了的前述矫正基板进行吸附保持的吸附保持工序；和
移载被进行吸附保持的前述矫正基板的移载工序。
13.如权利要求12所述的移载方法，其特征在于，前述矫正工序包含：
对前述基板的基板面吹附空气的吹附工序；和
将前述推压构件向前述基板的基板面上压住的推压工序。
14.如权利要求12～13中的任一项所述的移载方法，其特征在于，
前述定位工序包含定位移动工序，该定位移动工序使前述矫正基板在推压状态下在前述作业范围内在与前述基板面平行的方向移动，并定位在规定的位置。
15.如权利要求12～14中的任一项所述的移载方法，其特征在于，
具备解除前述矫正基板的定位的定位解除工序，
在前述吸附保持工序之后，经前述定位解除工序，朝前述移载工序转移。
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