KR20180067656A

KR20180067656A - 이송 유닛, 이동 탑재 장치 및 이동 탑재 방법

Info

Publication number: KR20180067656A
Application number: KR1020187013747A
Authority: KR
Inventors: 요이치 히라사와; 슈이치 고무로
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2015-10-27
Filing date: 2015-10-27
Publication date: 2018-06-20
Also published as: CN108137248B; US10919710B2; JP6629876B2; WO2017072858A1; TWI615915B; US20180244480A1; TW201715637A; JPWO2017072858A1; KR102052667B1; CN108137248A

Abstract

변형된 기판을 소정의 위치에 자리매김시킴과 아울러 교정하여 기판의 이동 탑재 효율을 향상시킨다. 기판을 이송함과 아울러 위치 결정 가능한 이송 유닛으로서, 상기 기판을 취출 위치로 이송하는 이송 기구와, 상기 기판을 상기 취출 위치에 위치 결정하는 위치 결정 기구를 구비하고, 상기 위치 결정 기구는, 상기 기판의 대향하는 단면에 접촉 가능하게 설치된 적어도 2쌍의 규정부를 포함한 규정 부재와, 적어도 2쌍의 상기 규정부 각각에서 한쪽의 규정부를 다른 쪽의 규정부로 향하는 방향으로 이동시키는 접촉 이동 기구와, 상기 규정 부재를 상기 기판이 압압되는 방향으로 이동 가능한 규정 이동 기구를 구비한다.

Description

이송 유닛, 이동 탑재 장치 및 이동 탑재 방법

본 발명은, 변형된 판재의 반송을 행함과 아울러 변형된 판재를 수평으로 교정하면서 위치를 규정하여 이동 탑재를 행하는 이송 유닛, 이동 탑재 장치 및 이동 탑재 방법에 관한 것이다.

종래 변형된(또는 휜) 직사각형상의 판재(예를 들어, 수지제 기판)의 반송을 행할 때에는, 변형되어 만곡된 판재를 수평으로(평판으로 또는 곧게) 교정하여 이동 탑재를 행하는 경우가 있다. 직사각형상의 판재로서는, 예를 들어 전자 부품이 장착되는 전자 기판이 있다. 제조 공정에 있어서, 이러한 전자 기판은 부품과 기판의 접속을 행하기 위해 납땜 처리 등의 열처리 공정으로 이송된다. 열처리 공정을 거친 기판은, 열의 영향을 받아 기판의 면방향으로 휘거나 왜곡 변형되는 경우가 있다. 그리고, 이와 같이 변형된 기판은 이송 장치(예를 들어 컨베이어)에 의해 다른 공정으로 이송되어 추가적인 처리가 이루어진다. 다른 공정으로의 이송에서는, 기판 자체가 직접 지지되어 이송되거나 기판이 수용 부재에 수용되어 이송되거나 한다. 이송처의 처리 공정 등에서 소정의 처리를 행하기 위해, 기판은 다시 전용 처리 장치로 이동 탑재되거나 다른 이송로로 이동 탑재된다. 이러한 이동 탑재 작업에서 기판이 변형된 채로 있으면 이동 탑재 장치가 기판을 보유지지하는 것이 어렵기 때문에, 기판의 변형을 교정하여 보유지지하기 쉬운 상태로 한다.

기판의 변형으로서는 여러 가지 변형 형태가 있지만, 예를 들어 직사각형상의 기판의 경우, 대향하는 한 쌍의 변이 가까워져 전체길이가 짧아지도록 면방향으로 만곡되어 변형되는 경우가 있다. 이러한 변형에 의해, 예를 들어 작업자가 기판을 부주의하게 취급함으로써 과대한 응력이 기판에 부여되거나, 기판에 장착한 부품의 중량에 의해 기판이 더욱 변형되는 경우가 있다. 또한, 기판에 대해 열처리를 행한 후 냉각시에 기판의 면의 방열에 의한 속도 차이로부터 면방향으로 변형이 발생하는 경우가 있다(특허문헌 1 참조).

또한, 이와 같이 변형된 기판을 확실히 보유지지하고 이동 탑재 장치에 의해 이동 탑재하는 경우는, 변형된 기판의 변형을 교정하면서 이동 탑재 장치에 의한 기판의 취출 위치에 기판을 자리매김시킬 필요가 있다. 이러한 장치로서는, 예를 들어 이동 탑재 장치의 보유지지부가 변형된 기판의 상방으로부터 기판에 접근하여 완전히 눌러붙임이 완료되지 않은 위치에서 일단 정지하고, 변형된 기판의 한쪽을 기준이 되는 기준 부재에 접촉시키는 것이 있다. 구체적으로는, 변형된 기판의 다른 쪽으로부터 바이어스 기능을 포함한 이동 부재가 기판에 접촉함으로써 기판을 기준 부재 측으로 이동하고, 기판의 한쪽을 기준 부재에 접촉시킨다. 그 후, 이동 탑재 장치의 보유지지부가 변형된 기판의 상방으로부터 더욱 기판을 하방으로 눌러붙임으로써, 기판의 한쪽으로부터 다른 쪽으로 서서히 이동 부재의 바이어스 기구에 의해 기판의 신장분이 흡수되어 교정된다. 그리고, 보유지지부가 기판을 흡착 보유지지한다(특허문헌 2 참조).

특허문헌 1: 일본공개특허 평09-199848호 공보 특허문헌 2: 일본특허 3421713호 공보

그런데, 변형된 기판의 교정 후 교정한 상태로 기판을 보유지지하여 이동 탑재하는데, 이동 탑재하는 장치 전체적으로는 작업 효율을 향상시키기 위해 효율이 좋은 이동 탑재 동작이 필요하다. 또한, 이동 탑재처에 기판을 올려놓을 때에 높은 이동 탑재 정밀도가 필요한 경우가 있다.

특허문헌 1에 기재된 장치는, 변형된 기판을 원래의 상태(변형이 없는 상태)로 변화시키기(되돌리기) 위해 특정의 처리(냉각 처리)를 행하도록 하고 있다. 그러나, 그 처리 공정의 시간과 그 처리 공정으로의 이동 탑재 시간이 필요하여 장치 전체의 작업 효율이 저하될 우려가 있다. 또한, 특허문헌 2에 기재된 장치는, 위치 결정 기구와 보유지지 유닛의 단계적인 협력 작업에 의해 변형 기판의 교정을 행하고 있고, 각각의 작업을 수회 확인하면서 행할 시간이 필요하다. 또한, 보유지지 유닛이 교정한 기판을 보유지지한 후 기판을 이동 탑재하기 위해서는, 위치 결정 기구의 위치 결정 해제가 완료되지 않으면 행할 수 없다. 이 때문에, 이동 탑재 작업 전체의 작업 효율이 저하될 우려가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 변형된 기판을 소정의 위치에 자리매김시킴과 아울러 교정하여 기판의 이동 탑재 효율을 향상시키는 것에 있다.

본 발명은, 기판을 이송함과 아울러 위치 결정 가능한 이송 유닛으로서, 상기 기판을 취출 위치로 이송하는 이송 기구와, 상기 기판을 상기 취출 위치에 위치 결정하는 위치 결정 기구를 구비하고, 상기 위치 결정 기구는, 상기 기판의 대향하는 단면에 접촉 가능하게 설치된 적어도 2쌍의 규정부를 포함한 규정 부재와, 적어도 2쌍의 상기 규정부 각각에서 한쪽의 규정부를 다른 쪽의 규정부로 향하는 방향으로 이동시키는 접촉 이동 기구와, 상기 규정 부재를 상기 기판이 압압되는 방향으로 이동 가능한 규정 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은, 만곡된 기판을 이송함과 아울러 위치 결정하고, 상기 기판의 기판면을 압압하여 기판을 곧게 교정하며, 그 교정 기판을 이동 탑재하는 이동 탑재 방법으로서, 상기 만곡 전의 곧은 상태일 때의 상기 기판의 윤곽을 기초로 기판에 대한 작업 범위를 설정하는 설정 공정과, 상기 작업 범위 내의 상기 기판의 기판면에 압압 부재를 눌러붙여 기판을 곧게 교정하는 교정 공정과, 교정 후의 상기 교정 기판의 위치 결정을 행하는 위치 결정 공정과, 위치 결정된 상기 교정 기판을 흡착 보유지지하는 흡착 보유지지 공정과, 흡착 보유지지된 상기 교정 기판을 이동 탑재하는 이동 탑재 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 변형된 기판을 소정의 위치에 자리매김시킴과 아울러 교정하여 기판의 이동 탑재 효율을 향상시킬 수 있다.

도 1a는 본 발명의 일 실시형태에서의 이동 탑재 장치의 사시도.
도 1b는 보유지지 부재의 사시도.
도 1c는 트레이(T)의 사시도.
도 2는 이송 유닛의 사시도.
도 3은 이송 유닛의 사시도.
도 4는 도 2의 이송 유닛에서의 측부 규정 부재의 사시도.
도 5는 도 4의 측부 규정 부재의 이송 기구의 사시도.
도 6은 도 4의 측부 규정 부재로부터 이송 기구를 제외한 사시도.
도 7은 도 2의 이송 유닛에서의 단부 규정 부재 및 규정 이동 기구의 일부 단면으로 한 사시도.
도 8은 제어 유닛의 블록도.
도 9a는 상태 ST1의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9b는 상태 ST1의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9c는 상태 ST2의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9d는 상태 ST2의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9e는 상태 ST3의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9f는 상태 ST3의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9g는 상태 ST4의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9h는 상태 ST4의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9i는 상태 ST5의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9j는 상태 ST5의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9k는 상태 ST6의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9l은 상태 ST6의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9m은 상태 ST7의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9n은 상태 ST7의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9o는 상태 ST8의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.
도 9p는 상태 ST8의 이동 탑재 장치의 동작을 나타내는 설명도.

이하, 본 발명의 예시적인 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 또, 각 도면에서 동일한 참조 부호는 동일한 요소를 나타내고, 지면에 대한 상하좌우 방향을 본 실시형태에서의 장치 또는 부재의 상하좌우 방향으로 하여 본문 중의 설명에 이용하기로 한다. 또한, 도 1부터 도 7, 도 9a부터 도 9p에서 화살표 Z는 상하 방향(수직 방향)을 나타내고, 화살표 X 및 Y는 서로 직교하는 수평 방향을 나타낸다.

도 1a는, 본 발명의 일 실시형태에 관한 이동 탑재 장치(A)의 사시도이다. 이동 탑재 장치(A)는, Y방향의 상류측(Y1)(도 1a 중 왼쪽 상측)으로부터 반송되어 온 기판(W)을 Y방향의 하류측(Y2)(도 1a 중 오른쪽 하측)으로 반송한다. 기판(W)은, 예를 들어 FPC(플렉서블 프린트 기판)로 대표되는 가요성을 갖는 필름형상 기판, 혹은 가요성을 갖는 막체(膜體), 가요성을 갖는 시트체 및 가요성을 갖는 박체(箔體) 등을 들 수 있다. 본 실시형태에서의 기판(W)은 평면에서 보아 직사각형상의 박판 부재로서, 후술하는 이유에 의해 이동 탑재 장치(A)에 반입되기 전은 길이 방향(긴쪽 방향)의 단부가 상면 방향으로 휜 기판(W1)으로 하고, 이동 탑재 장치(A)로부터 반출될 때는 평판 형상으로 교정된 기판(W2)으로 한다.

이동 탑재 장치(A)는, 베이스(B)에 고정된 제1 컨베이어(10)와 제2 컨베이어(20)와 이동 탑재 유닛(30)을 구비한다. 기판(W)을 반송하는 제1 컨베이어(10)와 제2 컨베이어(20)는, 기판(W)의 반송 방향(도면 중 Y방향)에 대해 서로 평행하며 이격되어 배치된다. 제1 컨베이어(10) 및 제2 컨베이어(20) 각각은, 기판(W)을 Y방향 상류측으로부터 하류측으로 반송한다.

<이동 탑재 유닛(30)>

이동 탑재 유닛(30)은, 제1 컨베이어(10)와 제2 컨베이어(20)가 지나는 문형의 베이스부(31)와, 베이스부(31)의 수평 부분(31a)에 이동 가능하게 구성된 이동부(32)와, 이동부(32)에 장착된 보유지지 유닛(40)을 구비한다. 수평 부분(31a)은, 베이스(B)에 설치된 양 다리부 상에 지지되어 있다. 또, 도 1a에서 베이스부(31)의 수평 부분(31a)은, 제1 컨베이어(10)의 설명을 위해 일부를 생략하여 도시하고 있다. 이동부(32)는, 도시하지 않은 구동 기구에 의해 베이스부(31)(수평 부분(31a))에 대해 수평 방향(X방향) 및 수직 방향(Z방향)으로 이동 가능하다. 구동 기구로서는 공지의 기구를 채용할 수 있고, 예를 들어 모터 등의 구동원과, 구동원의 구동력을 전달하는 전달 기구(예를 들어 벨트 전달 기구, 볼 나사 기구, 랙-피니언 기구 등)로 구성할 수 있다. 이동부(32)에 장착된 보유지지 유닛(40)은, 이동부(32)에 의해 수평 방향(X방향) 및 수직 방향(Z방향)으로 이동 가능하다.

도 1b에 보유지지 유닛(40)을 Z방향 하방에서 본 사시도를 나타낸다. 보유지지 유닛(40)은, Z방향 하면에 평탄한 하측면(압압 부재)(40a)과, 하측면(40a)의 소정 개소에 복수의 흡착부(41)(본 실시형태에서는 8개)를 구비한다. 흡착부(41)는, 직사각형상의 하측면(40a)의 길이 방향 양단부 근방에 4개씩 배치된다. 흡착부(41)는 직사각형상의 적어도 4개소의 모서리부에 배치되기 때문에, 기판(W)을 흡착 보유지지하였을 때에 수평 방향으로 안정된 자세인 채로 흡착 보유지지할 수 있다. 각 흡착부(41)는, 보유지지 유닛(40)의 상측면에 배치된 정압(正壓)·부압(負壓) 제어부(42)에 접속된다. 정압·부압 제어부(42)는, 공장이나 설비에 설치된 도시하지 않은 컴프레서, 진공 펌프, 압축 공기 탱크 등 정압·부압 발생원에 접속되고, 각 흡착부(41)로부터 공기를 블로우하거나 각 흡착부(41)의 내부를 부압으로 하거나 하여 제어할 수 있다.

후술하는 바와 같이 각 흡착부(41)는, 휘어 올라간 기판(W1)에 가까워질 때에는 공기를 블로우하여 위로 휜 기판(W1)의 피흡착부에 공기를 분사하여, 흡착부(41)와 휜 기판(W1)이 접촉하였을 때의 저항을 저감하고, 휜 기판(W1)과 접촉 후는 내부를 부압으로 하여 휜 기판(W1)을 흡착한다. 예를 들어 흡착부(41)는, 하방으로 향하여 개구부가 넓어지는 깔때기 형상의 가요성 부재를 예시할 수 있다. 각 흡착부(41)는, 휜 기판(W1)과 접촉하기 쉽도록 보유지지 유닛(40)의 하측면(40a)으로부터 일부가 돌출되어 배치되고, 휜 기판(W1)에 흡착한 후에 하측면(40a)으로부터 보유지지 유닛(40) 내부로 이동하도록(끌려 들어가도록) 구성되어도 된다. 이렇게 함으로써, 후술하는 보유지지 유닛(40)의 하측면(40a)이 휜 기판(W1)의 면과 접촉함으로써 휜 기판(W1)의 변형을 교정할 수 있다. 또한, 흡착부(41)에 보유지지된 휜 기판(W1)의 면을 하측면(40a)의 면에 접촉시킨 상태로 보유지지할 수 있다.

<이동 탑재 장치(A)의 동작의 개략>

이하, 도 1a를 참조하여 이동 탑재 장치(A)가 기판(W)을 반송할 때의 개략에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 이동 탑재 장치(A)의 도면 중 Y방향의 상류측(도면 중 왼쪽 상측 방향)에는 도시하지 않은 기판 공급 장치가 배치된다. 기판 공급 장치로서는, 예를 들어 기판을 세정 후 가열 처리(건조)를 행하는 장치가 예시된다. 따라서, 예를 들어 기판 공급 장치로부터 공급되는 기판은, 가열 처리에 의해 기판의 길이 방향에 걸쳐, 대향하는 한 쌍의 변이 각각 상방으로 변형된 형상이 휜 기판(W1)을 예시할 수 있다. 또, 휜 기판(W1)은 가열 처리에 의한 휜 기판에 한정되지 않고, 화학적 처리에 의한 변형 등 소정의 처리에 의해 곧게 되지 않은 만곡된 기판 등이면 어떤 형태를 채용해도 된다.

휜 기판(W1)은, 기판 공급 장치로부터 화살표(Y1) 방향으로 제1 컨베이어(10)로 이송되어 온다. 본 실시형태에서 제1 컨베이어(10)는, 상류측 컨베이어 유닛(CU11)과 하류측 이송 유닛(11)을 구비한다. 휜 기판(W1)이 제1 컨베이어(10)에 공급되면, 컨베이어 유닛(CU11)은, 그 하류측에 접속된 이송 유닛(11)으로 기판(W1)을 이송한다. 이송 유닛(11)으로 이송된 휜 기판(W1)은, 후술하는 처리에 의해 소정의 취출 위치에 자리매김되고 위치 결정된다.

이송 유닛(11)에 의해 자리매김된 휜 기판(W1)은, 상방으로부터 강하해 온 보유지지 유닛(40)에 의해 화살표(Z1) 방향 하방으로 압압되어 이송 유닛(11)에 의해 위치 결정됨과 아울러, 보유지지 유닛(40)의 흡착부(41)에 의해 흡착 보유지지된다. 보유지지 유닛(40)에 의해 압압됨으로써, 휜 기판(W1)은 그 휨이 교정되어 수평한 평면을 구비하는 교정된 기판(W2)이 된다. 다음에, 위치 결정되고 교정된 기판(W2)은, 보유지지 유닛(40)에 교정된 상태로 보유지지된 채로 상방(화살표(Z2) 방향)으로 이동되고, 이동부(32)의 이동에 따라 제2 컨베이어(20) 측(화살표(X1) 방향 하류측) 및 하방(화살표(Z3) 방향)으로 이동되며, 제2 컨베이어(20) 상에 대기하는 트레이(T)의 안착부(TS)에 놓여 보유지지된다.

도 1c에 도시된 바와 같이, 트레이(T)는 교정된 기판(W2)의 면을 받아 올려놓는 안착부(TS)가 설치되고, 안착부(TS)에는 교정된 기판(W2)을 교정한 상태인 채로 보유지지하는 보유지지 기구(T10)를 구비한다. 보유지지 기구(T10)는, 본 실시예의 경우, 교정된 기판(W2)의 짧은쪽 방향의 한쪽 변을 접촉시켜 안착부(TS)에서의 교정된 기판(W2)의 안착 위치의 기준을 규정하는 규정 부재와, 대향하는 다른 쪽 변에 접촉하여 교정된 기판(W2)을 기준 부재 측으로 바이어스시키면서 보유지지하는 바이어스 기구를 구비한다. 나아가 교정된 기판(W2)의 안착면과 반대측 면(보유지지 유닛(40) 측의 면)에 도시하지 않은 판형의 커버 부재를 씌움으로써 교정된 기판(W2)이 곧은 상태로 보유지지된다.

제2 컨베이어(20)는, 제1 컨베이어(10)가 구비하는 컨베이어 유닛(CU11)과 동일한 구성이며 폭이 다른 컨베이어 유닛(CU21) 및 컨베이어 유닛(CU22)을 직렬로 접속한 것으로, 그 하류측(화살표(Y2) 방향 하류측)은 도시하지 않은 기판 수용 장치에 접속되어 있다. 제2 컨베이어(20)는, 교정된 기판(W2)을 올려놓는 트레이(T)를 화살표(Y2) 방향으로 반송하여 도시하지 않은 기판 수용 장치에 공급한다. 이상과 같이 본 실시형태의 이동 탑재 장치(A)는, 휜 기판(W1)을 이송 유닛(11)에서 소정의 위치에 자리매김시킴과 아울러 교정하고, 이동 탑재 유닛(30) 및 제2 컨베이어(20)를 개재하여 교정된 기판(W2)을 트레이(T)에 올려놓고 보유지지하여 반송한다. 이하, 이동 탑재 장치(A)의 제1 컨베이어(10) 및 이송 유닛(11)에 대해 상세하게 설명한다.

<제1 컨베이어(10)>

제1 컨베이어(10)는, 기판(W)의 반송 방향 상류측에 배치된 컨베이어 유닛(CU11)과 하류측에 배치된 이송 유닛(11)을 구비한다. 본 실시형태에 있어서, 제1 컨베이어(10)는 컨베이어 유닛(CU11)을 하나 구비하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 이동 탑재 장치(A)의 크기에 따라 적절히 그 수를 증감하도록 해도 된다. 또한, 제1 컨베이어(10)는, 컨베이어 유닛(CU11)을 구비하지 않고 기판 공급 장치로부터 직접 이송 유닛(11)으로 기판(W)을 반송해도 된다.

<컨베이어 유닛(CU11)>

컨베이어 유닛(CU11)은, 그 상류측(화살표(Y1) 방향 상류측)에 배치되는 도시하지 않은 기판 공급 장치로부터 휜 기판(W1)을 수취하여 이송 유닛(11)(화살표(Y1) 방향 하류측)으로 반송한다. 컨베이어 유닛(CU11)은, 한 쌍의 서로 이격되어 배치된 무단 벨트(EB)와, 각각의 무단 벨트(EB)가 걸쳐지는 2쌍의 풀리(P)와, 무단 벨트(EB)에 구동력을 부여하는 구동원(211a, 211b)(도 2를 참조)을 구비한다. 한 쌍의 무단 벨트(EB)는, 기판(W)의 폭에 대응한 간격으로 서로 이격되어 배치된다. 즉, 한 쌍의 무단 벨트(EB)는, 각각이 기판(W)의 폭방향(짧은쪽 방향) 각각의 단변부를 지지하도록 배치된다.

한쪽의 한 쌍의 풀리(P)는, 기판(W)의 반송 방향(Y방향)에 대해 서로 이격되어 배치된다. 이 한 쌍의 풀리(P)에 걸쳐 감긴 무단 벨트(EB)는, 휜 기판(W1)의 반송 방향으로 연장되는 직선 부분이 풀리(P)의 회전에 따라 이동함으로써, 무단 벨트(EB)에 놓인 휜 기판(W1)을 반송 방향으로 반송한다. 또, 본 실시형태에 있어서 무단 벨트(EB)는 단면이 원형상이고 무단인 둥근 벨트를 채용하지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들어 단면이 직사각형상인 무단 벨트, 풀리에 감긴 무단 벨트의 내주면 측에 돌기나 홈이 형성된 홈 부착 벨트(예를 들어, 수지제), 수지제 또는 금속제 체인 등을 채용해도 된다. 또한, 풀리(P)는, 무단 벨트(EB)가 둥근 벨트일 때에는 원호형상의 홈이 형성된 풀리를 채용해도 된다.

<이송 유닛(11)>

이송 유닛(11)은, 컨베이어 유닛(CU11)의 하류측에 접속되고, 반송되어 온 휜 기판(W1)을 소정의 취출 위치에 자리매김시킴과 아울러, 보유지지 유닛(40)과 협력하여 휜 기판(W1)을 곧게 교정한다. 취출 위치란, 보유지지 유닛(40)이 기판(W)을 이송 유닛(11)으로부터 꺼낼 때 이송 유닛(11)에서의 위치이다. 취출 위치에 휜 기판(W1)을 자리매김시키고, 보유지지 유닛(40)과 협력하여 휜 기판(W1)의 변형을 교정하며, 교정한 기판(W2)으로서 위치 결정하고 보유지지 유닛(40)에서 보유지지함으로써, 보유지지 유닛(40)을 개재하여 이동 탑재된 교정된 기판(W2)을 제2 컨베이어(20)에 대기하는 트레이(T)의 안착부(TS)에 정밀도 높게 올려놓을 수 있다. 도 2부터 도 7을 참조하여 이송 유닛(11)의 상세에 대해 설명한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 이송 유닛(11)은, 휜 기판(W1)을 취출 위치에 위치 결정하는 위치 결정 기구(100)와, 휜 기판(W1)을 취출 위치로 이송하는 이송 기구(200)를 구비한다. 또, 도 2에 도시된 이송 유닛(11)은, 도 1a에 도시된 이송 유닛(11)의 외측을 덮는 커버(11a)를 제외한 상태를 나타내고 있다.

<위치 결정 기구(100)>

위치 결정 기구(100)는, 측면 규정 부재(110) 및 단면 규정 부재(120)를 포함한 규정 부재를 구비한다. 측면 규정 부재(110) 및 단면 규정 부재(120)는, 각각 휜 기판(W1)의 대향하는 측면 및 단면에 접촉 가능하게 설치된 후술하는 한 쌍의 규정부를 포함한다. 따라서, 본 실시형태에 있어서, 규정 부재는 2쌍의 규정부를 포함한다. 또한, 위치 결정 기구(100)는, 측면 규정 부재(110) 및 단면 규정 부재(120) 각각에 대응하여, 규정부를 기판(W)이 압압되는 방향으로 이동 가능한 후술하는 규정 이동 기구(130)와, 한쪽의 규정부를 다른 쪽의 규정부로 향하는 방향으로 이동시키는 후술하는 접촉 이동 기구(140)를 구비한다.

<측면 규정 부재(110)>

측면 규정 부재(110)는, 휜 기판(W1)의 이송 방향과 직교하는 폭방향(X방향)에서의 양 측면과 대향하여 이와 접촉 가능하게 배치되고, 휜 기판(W1)의 한쪽 측면 측(X방향 한쪽, 도 2 중에서는 오른쪽 상측)에 배치되는 제1 규정부(110a)와, 다른 쪽 측면 측(X방향 다른 쪽, 도 2 중에서는 왼쪽 하측)에 배치되는 제2 규정부(110b)를 구비한다. 또한, 측면 규정 부재(110)는, 제2 규정부(110b)를 제1 규정부(110a)로 향하는 방향으로 이동시키는 측면 이동 기구(접촉 이동 기구)(141)를 구비한다. 또한, 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b) 각각에는, 제1 이송 기구(200a) 및 제2 이송 기구(200b)가 인접하여 배치된다. 제1 이송 기구(200a) 및 제2 이송 기구(200b)는, 측면 규정 부재(110)에서의 이송 기구를 각각 구성한다. 나아가 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b) 각각에는, 제1 규정 이동 기구(130a) 및 제2 규정 이동 기구(130b)가 인접하여 배치된다. 제1 규정 이동 기구(130a) 및 제2 규정 이동 기구(130b)는, 측면 규정 부재(110)에서의 규정 이동 기구를 구성한다.

<제1 규정부(110a)>

도 3에 도시된 바와 같이, 제1 규정부(110a)는 휜 기판(W1)의 반송 방향(Y1)의 상류측에서 보아 좌측에 배치되고, 고정 부재(FM)를 개재하여 베이스(B)에 고정된다. 여기서, 도 4부터 도 6을 참조하여 제1 규정부(110a)의 상세에 대해 설명한다. 도 4는 제1 규정부(110a)를 제2 규정부(110b) 측에서 본 사시도이다. 도 4에 도시된 제1 규정부(110a)는, 제1 이송 기구(200a) 및 제1 규정 이동 기구(130a)를 구비하고, 그 일부가 도면 중 쇄선으로 나타내는 기판(W)의 이송면(TS)보다 상방으로 돌출 가능하게 배치된다. 그리고, 제1 규정부(110a)의 돌출 부분에 의해, 휜 기판(W1)은 그 한쪽 측면이 규정된다.

<제1 이송 기구(200a)>

제1 이송 기구(200a)는, 휜 기판(W1)의 하면을 지지하여, 휜 기판(W1)을 반송하는 반송 기구(210a)와, 반송 기구(210a)를 지지하는 반송 지지 부재(220a)를 구비한다. 반송 기구(210a)는, 무단 벨트(EB)와, 서보 모터 등의 구동원(211a)에 접속된 구동 부재(212a)와, 복수의 종동 부재(213a-1, 213a-2, 213a-3, 213a-4)(본 실시형태에서는 4개)를 구비한다. 본 실시형태에 있어서, 무단 벨트(EB)는 단면이 원형상이고 무단인 둥근 벨트를 채용하지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들어 단면이 직사각형상인 무단 벨트, 무단 벨트의 내주면에 돌기나 홈이 형성된 수지제 벨트, 수지제 또는 금속제 체인 등을 채용해도 된다. 또한, 구동 부재(212a) 및 종동 부재(213a)는, 무단 벨트(EB)가 둥근 벨트일 때에는 원호형상의 홈이 형성된 풀리를 채용해도 된다.

도 5에 제1 규정부(110a) 및 제1 규정 이동 기구(130a)를 생략하고, 고정 부재(FM)에 장착된 상태의 제1 이동 기구(200a)의 사시도를 나타낸다. 도 5에 도시된 바와 같이, 휜 기판(W1)의 측부 하면을 반송 방향(Y1 방향)에 걸쳐 지지하는 무단 벨트(EB)는, 휜 기판(W1)을 지지하는 직선부가 가장 떨어져 배치된 한 쌍의 종동 부재(213a-1, 213a-2)의 사이에 형성되도록 걸쳐 감긴다. 이 때 무단 벨트(EB)의 길이 방향 중앙부의 내주측이며 상하 방향에서의 하측의 무단 벨트(EB)의 내주면에는, 구동 부재(212a)가 슬라이딩 접촉하여 배치된다. 그리고, 환상의 무단 벨트(EB)의 하방의 외측으로부터 구동 부재(212a)를 사이에 두도록 인접하여 한 쌍의 종동 부재(213a-3, 213a-4)가 배치된다.

구동 부재(212a)의 중심은, 인접하는 한 쌍의 종동 부재(213a-3, 213a-4)의 중심에 대해 도면 중 상하 방향의 아랫방향으로 오프셋되어 있다. 이렇게 함으로써, 무단 벨트(EB)는, 구동 부재(212a)와 종동 부재(213a) 양쪽에 장력이 걸린 상태로 감긴다. 따라서, 구동원(211a)에 의해 구동된 구동 부재(212a)는 도면 중 화살표(R1) 방향(반시계 방향)으로 회전되고, 무단 벨트(EB)는 그 상측의 직선 부분이 도면 중 Y1방향으로 이동된다. 또, 구동원(211a), 구동 부재(212a) 및 복수의 종동 부재(213a)는 반송 지지 부재(220a)에 지지된다. 구동 부재(212a) 및 복수의 종동 부재(213a)는, 반송 지지 부재(220a)에 대해 회전이 자유롭게 지지된다. 또한, 반송 지지 부재(220a)는, 무단 벨트(EB)의 상측의 직선 부분을 지지하는 지지 안내부(221a)를 구비한다. 지지 안내부(221a)는, 한 쌍의 종동 부재(213a-1 및 213a-2)의 사이에서 반송 방향으로 연장되도록 배치되는 긴 부재이며, 그 상면에서 무단 벨트(EB)를 지지한다. 또, 지지 안내부(221a)는, 휜 기판(W1)이 보유지지 유닛(40)에 압압되었을 때에 무단 벨트(EB)를 개재하여 휜 기판(W1)을 지지하고, 휜 기판(W1)의 교정에서의 복원력을 받아들이는 역할을 한다.

<제1 규정 이동 기구>

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 규정 이동 기구(130a)는, 제1 반송 기구(200a)의 반송 지지 부재(220a)와 무단 벨트(EB)의 사이에 배치된다. 도 6에 제1 반송 기구(200a)의 구동원(211a), 구동 부재(212a), 복수의 종동 부재(213a) 및 무단 벨트(EB)를 생략한 상태의 제1 규정부(110a)의 사시도를 나타낸다.

제1 규정 이동 기구(130a)는, 측면 규정 부재(110)의 제1 규정부(110a)를 바이어스 지지하는 바이어스 부재(131a)와, 바이어스 부재(131a)를 지지함과 아울러 반송 지지 부재(220a)에 장착된 바이어스 지지 부재(132a)와, 제1 규정부(110a)(측면 규정 부재)의 바이어스 방향의 이동을 가이드하는 가이드 기구(133a)를 구비한다. 본 실시형태에 있어서, 바이어스 부재(131a), 바이어스 지지 부재(132a), 가이드 기구(133a)는 각각 한 쌍 설치되어 있다. 바이어스 지지 부재(132a) 및 가이드 기구(133a)는 반송 지지 부재(220a)에 장착되어 있다.

제1 규정부(110a)는, 반송 방향(Y방향)으로 연장되는 본체부(111a)와, 본체부(111a)로부터 상하 방향(Z방향)의 하방으로 연장되는 한 쌍의 수직부(112a)와, 한 쌍의 바이어스 부재(131a)와 대응하여 접촉하는 한 쌍의 접촉부(113a)를 구비한다. 본체부(111a)는, 반송 방향에서의 교정한 기판(W2)의 길이보다 길게 설정된다. 본체부(111a)의 상면(114a)은, 후술하는 휜 기판(W1)의 압압(교정)시에 보유지지 유닛(40)의 하면(40a)과 접촉하는 평탄면이다. 또한, 제2 규정부(110b)와 대향하는 본체부(111a)의 내측 측면(115a)은, 반송 기구(200a)에 의해 반송된 휜 기판(W1)의 측면을 가이드하는 가이드부가 된다. 나아가 내측 측면(115a)은, 후술하는 제2 규정부(110b)가 제1 규정부(110a)로 향하여 이동하였을 때에는, 휜 기판(W1)의 측면과 접촉하여 휜 기판(W1)의 위치 결정을 행하는 위치 결정부가 된다. 또한, 내측 측면(115a)은, 휜 기판(W1)의 휨 높이(휨 방향에서의 휨 치수)에 따른 치수로 적절히 설정된다.

반송 지지 부재(220a)는, 제2 규정부(110b)와 대향하는 측면에 가이드 기구(133a)를 구비한다. 가이드 기구(133a)는, 예를 들어 제1 규정부(110a)의 수직부(112a)와 협력하여 제1 규정부(110a)를 수직 방향(상하 방향)으로 안내하는 레일을 예시할 수 있다. 예를 들어 가이드 기구(133a)는, 제1 규정부(110a)의 수직부(112a)에 형성된 볼록 형상과 대응하는 오목형상 홈을 포함하고, 상하 방향으로 연장되는 레일을 예시할 수 있다. 제1 규정부(110a)는, 가이드 기구(133a)에 가이드됨으로써 반송 지지 부재(220a)에 대해 도면 중 Z4방향(상하 방향)으로 이동 가능하다.

제1 규정부(110a)는, 바이어스 부재(131a)로 바이어스됨으로써, 무부하 상태에서는 상하 방향의 상측으로 바이어스되어 소정의 위치에 유지된다. 이 때, 가이드 기구(133a)에는 도시하지 않은 스토퍼부가 설치되어 있고, 제1 규정부(110a)는 소정량 이상 상방 또는 하방으로 이동하지 않도록 해도 된다. 바이어스 부재(131a)를 지지하는 바이어스 지지 부재(132a)는, 측면에서 보아 L자 형상의 판형 부재로서, 한 변이 반송 지지 부재(220a)에 고정되고 다른 변에서 바이어스 부재(131a)의 일단부를 지지한다. 바이어스 지지 부재(132a)의 일부는, 제1 규정부(110a)의 접촉부(113a)와 대향하여 배치된다. 바이어스 부재(131a)는 그 단부가 제1 규정부(110a)의 접촉부(113a)와 접촉함으로써, 접촉부(113a)와 바이어스 지지 부재(132a)의 사이에 수용된다. 따라서, 규정 이동 기구(130)는, 제1 규정부(110a)가 보유지지 유닛(40)에 의해 압압되는 방향에 대해 반대 방향(한쪽 방향)으로 바이어스시키는 바이어스력을 구비한 바이어스 부재(바이어스 기구)(131a)를 구비한다. 또, 바이어스 부재(131a)로서는, 예를 들어 코일 스프링을 예시할 수 있지만, 이에 한정되지 않고, 판 스프링, 소정량 압축되어도 원래의 상태로 되돌아오는 탄성의 수지 부재 등을 채용 가능하다.

이상과 같이, 제1 규정부(110a)는, 컨베이어 유닛(CU11)으로부터 반송되어 온 휜 기판(W1)을 이송 유닛(11) 내의 소정 위치로 반송할 때의 가이드부가 된다. 이 때, 제1 규정부(110a)의 내측 측면(115a)은, 반송 기구(200a)의 무단 벨트(EB)로 반송된 휜 기판(W1)의 측면을 가이드한다. 그리고, 보유지지 유닛(40)이 휜 기판(W1)으로 향하여 하강하면, 보유지지 유닛(40)의 하측면(40a)이 제1 규정부(110a)의 본체부(111a)의 상면(114a)과 접촉한다. 그 상태에서 보유지지 유닛(40)이 계속해서 하강하면, 규정 이동 기구(130)의 가이드 기구(133a)가 제1 규정부(110a)(규정 부재)를 휜 기판(W1)이 압압되는 방향으로 이동 가능하게 한다. 보유지지 유닛(40)은, 제1 규정부(110a)를 압압하여 하강시킴과 아울러, 휜 기판(W1)을 압압하여 상기 휜 기판(W1)의 교정을 행한다. 휜 기판(W1)의 교정이 완료되면, 보유지지 유닛(40)은 교정된 기판(W2)을 보유지지한 상태로 상승이 개시된다. 이 때, 제1 규정부(110a)는 바이어스 부재(131a)에 의해 바이어스되어 있기 때문에, 보유지지 유닛(40)의 상승에 의한 제1 규정부(110a)의 압압이 해제되면, 바이어스 부재(131a)의 바이어스력에 의해 제1 규정부(110a)는 다시 원래의 상태로 되돌아오도록 상승을 시작할 수 있다.

<제2 규정부(110b)>

도 2 및 도 3을 참조하여 제2 규정부(110b)에 대해 설명한다. 제1 규정부(110a)가 고정 부재(FM)를 개재하여 베이스(B)에 고정되어 있는 것에 반해, 제2 규정부(110b)는 접촉 이동 기구(140)의 측면 이동 기구(141)를 개재하여 베이스(B)에 대해 상대 이동 가능하게 설치된다. 제2 규정부(110b)는, 제1 규정부(110a)와 이송 유닛(11)의 중심에 대해 대칭인 배치로 위치 결정 기구(100b)와 반송 기구(200b)를 구비하고 있다. 또, 제2 규정부(110b)의 위치 결정 기구(100b) 및 반송 기구(200b)는, 제1 규정부(110a)의 위치 결정 기구(100a) 및 반송 기구(200a)와 동일한 형상의 부재를 사용하고 있다. 따라서, 도 2 및 도 3에서는, 제2 규정부(110b)에서의 제1 규정부(110a)와 동일한 부재는 그 참조 부호로서 말미에 a 대신에 b를 부여한다.

측면 이동 기구(141)는, 제2 규정부(110b)가 장착되는 이동체(142)와, 이동체(142)를 슬라이딩이 자유롭게 지지하는 폭 이동 기구(141a)를 구비한다. 폭 이동 기구(141a)로서는 공지의 기구를 채용할 수 있고, 예를 들어 모터 등의 구동원과, 구동원의 구동력을 전달하는 전달 기구(예를 들어 벨트 전달 기구, 볼 나사 기구, 랙-피니언 기구 등)로 구성할 수 있다. 폭 이동 기구(141a)는, 베이스(B)에 고정되고, 도 2에 도시된 X방향과 평행한 S1방향으로 이동체(142)를 왕복 이동할 수 있다. 따라서, 제2 규정부(110b)는 이동체(142)에 고정됨으로써, 이동체(142)의 이동에 따라 제1 규정부(110a)에 대해 근접 또는 이격되는 방향(X방향)으로 이동 가능하다.

이상과 같은 구성에 의해 컨베이어 유닛(CU11)의 반송 폭과 동일해지도록 제2 규정부(110b)가 설정되어 휜 기판(W1)의 양 측면을 가이드 가능하게 하고, 컨베이어 유닛(CU11)으로부터 이송 유닛(11)으로 휜 기판(W1)의 반송을 가능하게 한다. 또한, 이송 유닛(11) 내에 반송되고 압압되어 교정된 기판(W2)을 제2 규정부(110b)의 폭방향 이동에 의해 제1 규정부(110a) 쪽으로 눌러붙여 이동시킨다. 그러면, 교정된 기판(W2)의 측면이 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b) 각각의 내측 측면(115a, 115b)과 접촉함으로써, 교정된 기판(W2)의 X방향 위치 결정과 Y방향 자세 결정(기판(W)의 측면이 Y방향과 평행한 자세가 됨)이 달성된다.

<단면 규정 부재(120)>

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 규정부(110a)와 제2 규정부(110b)의 사이에는 단면 규정 부재(120)가 배치된다. 단면 규정 부재(120)는, 휜 기판(W1)의 이송 방향(도 2의 Y방향)에서의 양 단면과 대향하여 접촉 가능한 제3 규정부(120a)와 제4 규정부(120b)를 구비한다. 본 실시형태에서는, 휜 기판(W1)의 반송 방향 하류측에 제3 규정부(120a)가 배치되고, 상류측에 제4 규정부(120b)가 배치된다. 제4 규정부(120b)는, 단면 이동 기구(143)에 의해 휜 기판(W1)의 반송 방향으로 이동 가능하다.

단면 규정 부재(120)의 제3 규정부(120a)는, 고정 부재(FMB)에 장착된 가이드 기구(131c), 제3 규정부(120a)를 상방으로 바이어스시키는 바이어스 부재(133c)를 개재하여 고정 부재(FMB)에 의해 반송 지지 부재(220a)에 설치된다. 가이드 기구(131c)는, 예를 들어 2개의 부재로 구성되며, 한쪽 부재가 제3 규정부(120a)에 고정되고, 다른 쪽 부재가 고정 부재(FM)에 고정되며, 서로 Z방향(상하 방향)으로 슬라이딩이 자유로운 형태를 예시할 수 있다. 구체적으로는, 상기 제1 규정부(110a)의 가이드 기구(133a)와 마찬가지의 것을 채용해도 된다.

바이어스 부재(133c)는, 일단이 제3 규정부(120a)에 고정되고, 타단이 고정 부재(FMB)에 고정되며, 이들 사이에 배치되는 예를 들어 코일 스프링을 예시할 수 있다. 따라서, 제3 규정부(120a)는, 바이어스 부재(133c)에 의해 무부하 상태로 Z방향(상하 방향)의 상방으로 항상 바이어스되어 유지되어 있고, 가이드 기구(131c)의 도시하지 않은 스토퍼에 의해 소정량 이상 돌출되지 않도록 한다. 또, 제3 규정부(120a)의 상단면은, 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b)의 상면(114a 및 114b)과 동일한 높이(휜 기판(W1)의 이송 방향의 전방측 단면이 접촉하는 높이보다 높은 높이)가 되도록 높이 치수가 설정되고, 가이드 기구(131c)에 의해 돌출량이 설정되어 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 제4 규정부(120b)는, 휜 기판(W1)이 이송 유닛(11)으로 반입될 때에는 반송면(TS)보다 하방에 대기하고 있다. 그리고, 휜 기판(W1)이 제3 규정부(120a)에 접촉하면, 후술하는 승강 구동부(144)에 의한 승강체(145)의 상승에 따라 제4 규정부(120b)는 반송면(TS)보다 상방으로 이동한다. 도 7에, 승강 구동부(144)를 구비한 제4 규정부(120b)를 도 2 중 Y방향과 평행하게 제4 규정부(120b)의 X방향 중앙에서 절단한 A-A 단면의 사시도를 나타낸다.

제4 규정부(120b)는, 단면 이동 기구(143)의 가동부(143a)에 장착된 가이드 기구(133d)와, 제4 규정부(120b)를 상방으로 바이어스시키는 바이어스 부재(131d)를 구비한다. 단면 이동 기구(143)로서는 공지의 기구를 채용할 수 있고, 예를 들어 모터 등의 구동원과, 구동원의 구동력을 전달하는 전달 기구(예를 들어 벨트 전달 기구, 볼 나사 기구, 랙-피니언 기구 등)로 구성할 수 있다. 가이드 기구(133d)는, 예를 들어 2개의 부재로 구성되며, 한쪽 부재가 제4 규정부(120b)에 고정되고, 다른 쪽 부재가 가동부(143)에 고정되며, 서로 Z방향(상하 방향)으로 슬라이딩이 자유로운 형태를 예시할 수 있다. 구체적으로는, 상기 제1 규정부(110a)의 가이드 기구(133a)와 마찬가지의 것을 채용해도 된다.

바이어스 부재(131d)는, 일단이 제4 규정부(120b)에 고정되고, 타단이 가동부(143a)에 고정되며, 이들 사이에 배치되는 예를 들어 코일 스프링을 예시할 수 있다. 따라서, 제4 규정부(120b)는, 바이어스 부재(131d)에 의해 무부하 상태로 Z방향(상하 방향)의 상방으로 항상 바이어스되어 유지되어 있고, 가이드 기구(133d)의 도시하지 않은 스토퍼에 의해 소정량 이상 돌출되지 않도록 되어 있다. 또, 제4 규정부(120b)의 상단면은, 반송면(TS)보다 상방으로 돌출되었을 때에 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b)의 상면(114a 및 114b)과 동일한 높이(휜 기판(W1)의 이송 방향의 후방측 단면이 접촉하는 높이보다 높은 높이)가 되도록 높이 치수가 설정되고, 가이드 기구(133d)에 의해 돌출량이 설정되어 있다.

단면 이동 기구(143)는, 승강체(145)에 고정된 제4 본체부(121)에 고정된다. 따라서, 단면 이동 기구(143)의 가동부(143a)가 제4 본체부(121)에 대해 Y방향과 평행한 반송 방향(도면 중 Y3방향)으로 상대 이동함으로써, 제4 규정부(120b)는 제4 본체부(121)에 대해 상대 이동 가능하게 된다. 여기서, 승강체(145)는, 베이스(B)에 고정된 승강 구동부(144) 및 가이드 기구(133e)에 의해 베이스(B)에 대해 상하 방향으로 승강 가능하게 지지된다. 승강 구동부(144)로서 예를 들어 피니언을 구비한 서보 모터를 예시할 수 있고, 승강체(145)로서 피니언과 걸어맞춤된 랙을 구비한 부재를 예시할 수 있다. 가이드 기구(133e)는, 상하 방향에 대해 평행하게 연장되도록 배치된다.

가이드 기구(133e)는, 예를 들어 2개의 부재로 구성되며, 한쪽 부재가 승강체(145)에 고정되고, 다른 쪽 부재가 베이스(B)에 고정되며, 서로 Z방향(상하 방향)으로 슬라이딩이 자유로운 형태를 예시할 수 있다. 구체적으로는, 상기 제1 규정부(110a)의 가이드 기구(133a)와 마찬가지의 것을 채용해도 된다. 그리고, 승강 구동부(144)의 피니언이 회동함으로써, 피니언과 걸어맞춤되는 랙을 구비한 승강체(145)가 베이스(B)의 상하 방향으로 가이드 기구(133e)에 의해 가이드되어 이동할 수 있다.

또한, 제4 본체부(121)는, 제3 규정부(120a)와 제4 규정부(120b)의 사이에 배치되어, 휜 기판(W1)의 하면을 지지하는 지지 부재(146)를 구비한다. 지지 부재(146)는, 기판(W)의 반송 방향(Y방향)을 따라 대략 기판(W)의 Y방향 길이와 같은 길이로 연장되는 긴 부재이다. 지지 부재(146)의 반송 방향의 하류측에서의 상면 단부에는, 휜 기판(W1)의 반송 방향의 하류측 단부 하면과 접촉하는 제1 단부 지지부(147)가 배치된다. 또한, 제4 규정부(120b)와 지지 부재(146)의 사이에는, 휜 기판(W1)의 반송 방향의 상류측 단부 하면과 접촉하는 제2 단부 지지부(148)가 배치된다. 지지 부재(146)는, 승강 구동부(144)의 구동에 의한 승강체(145)의 상하 방향의 이동에 의해, 휜 기판(W1)을 지지하는 지지 위치와, 지지 위치보다 하방이며 휜 기판(W1)으로부터 이격된 위치인 비지지 위치 사이에서 이동된다. 또, 제1 단부 지지부(147) 및 제2 단부 지지부(148)가 휜 기판(W1)의 반송 방향의 양단부 하면과 각각 접촉함으로써, 휜 기판(W1)의 위치 결정에 기여한다.

<제어 유닛>

도 8은 이동 탑재 장치(A)의 제어 유닛(5)의 블록도이다. 제어 유닛(5)은 이동 탑재 장치(A) 전체의 제어를 행한다. 제어 유닛(5)은, CPU 등의 처리부(51)와, RAM, ROM 등의 기억부(52)와, 외부 디바이스와 처리부(51)를 인터페이스하는 인터페이스부(53)를 포함한다. 인터페이스부(53)에는, I/O 인터페이스 외에 호스트 컴퓨터와의 통신을 행하는 통신 인터페이스도 포함된다. 호스트 컴퓨터는, 예를 들어 기판 공급 장치, 기판 수용 장치 전체를 제어하는 컴퓨터이어도 된다.

처리부(51)는 기억부(52)에 기억된 프로그램을 실행하여 각종 센서(55)의 검출 결과나 각종 액추에이터(54)를 제어한다. 각종 센서(55)에는, 예를 들어 구동원(211a, 211b), 승강 구동부(144)의 위치를 검출하는 센서, 후술하는 휜 기판(W1)의 이송 유닛(11) 내에서의 위치를 검출하는 센서 등이 포함된다. 각종 액추에이터(54)에는, 예를 들어 구동원(211a, 211b), 승강 구동부(144)의 각 구동원이나, 정압·부압 발생부(42)에서의 블로우하는 공기량 제어, 부압 흡인을 행하는 펌프나 제어 밸브 등이 포함된다. 또한, 제어 유닛(5)은 후술하는 예를 들어 이송 유닛(11)을 제어하여, 접촉 이동 기구에, 작업 범위를 규정하는 제1 위치로 규정 부재를 이동시키는 제1 동작 제어와, 규정 부재를 기판의 위치 결정 위치로 이동시키는 제2 동작 제어를 행한다.

<제어예>

이송 유닛(11)의 동작 제어예에 대해 도 9a~도 9p를 참조하여 설명한다. 여기서는, 휜 기판(W1)의 위치 결정 및 교정 동작에 대해 설명한다. 구체적으로는, 이송 유닛(11)으로 반입된 휜 기판(W1)을 이송 유닛(11)에서 위치 결정하고, 보유지지 유닛(40)으로 압압하여 교정된 기판(W2)을 이송 유닛(11)으로부터 반출하는 예에 대해 설명한다. 또, 도 9a, 도 9c, 도 9e, 도 9g, 도 9i, 도 9k, 도 9m, 도 9o는 이송 유닛(11)을 상방에서 본 평면도를 나타낸다. 도 9b, 도 9d, 도 9f, 도 9h, 도 9j, 도 9l, 도 9n, 도 9p는, 이송 유닛(11)을 반송 방향으로 연장되는 평면에서 절단한 개략 단면도를 나타낸다.

도 9a 및 도 9b의 ST1에 나타내는 상태는, 도 1에 도시된 컨베이어 유닛(CU11)으로부터 휜 기판(W1)이 이송 유닛(11)으로 반입된 모습을 나타낸다. 이 때, 도 9b에 도시된 바와 같이, 제4 규정부(120b)는 반송면(TS)보다 하방에 위치하는 대기 위치에 있다. 또, 이하에 설명하는 각 도면에서, 도면 중 우측을 반송 방향 상류측, 좌측을 반송 방향 하류측으로 하여 설명에 이용하기로 한다.

도 9a에 도시된 바와 같이, 휜 기판(W1)이 이송 유닛(11)으로 반입되면, 기판(W)의 폭크기에 따른 위치로 제2 규정부(110b)를 제1 규정부(110a)로 향하는 화살표(S1) 방향으로 이동시킨다. 이 때, 제1 규정부(110a)와 제2 규정부(110b) 사이의 거리는, 기판(W)의 폭크기보다 약간 큰 치수(휜 기판(W1)이 한 쌍의 무단 벨트(EB)에 지지되어 이송 가능한 정도의 치수)에 대응하도록 설정된다.

도 9c 및 도 9d의 ST2에 나타내는 상태는, 휜 기판(W1)이 제3 규정부(120a)와 접촉할 때까지 반송된 상태를 나타낸다. 제3 규정부(120a) 근방에는 도시하지 않은 기판 검출 센서가 배치되고, 휜 기판(W1)이 제3 규정부(120a)까지 도달하였음을 검지한다. 이후, 도 9d에 도시된 바와 같이 작업 범위를 규정하는 각 규정부의 제1 위치를 확정하기 위해 제4 규정부(120b)가 화살표(Z5) 방향으로 상승한다(제1 동작 제어). 작업 범위란, 교정이 완료되기까지의 기판(W)의 이동 범위를 정한 범위를 나타낸다. 따라서, 교정 작업 중인 휜 기판(W1)은, 각 규정부에 의해 소정의 이동 범위 내에서 반송면과 평행한 방향으로 이동 가능하게 교정된다. 이와 같이 휜 기판(W1)의 교정을 행할 수 있으므로, 교정 작업시에 발생하는 휜 기판(W1)에의 이동 부하를 경감하는 것이 가능해진다.

도 9d에 도시된 바와 같이, 반송면(TS)으로부터 돌출되는 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b)(규정 부재)의 높이 치수(D1)는, 휜 기판(W1)의 최대 변형 치수(휨 치수)(D2)보다 큰 치수로 설정된다. 또한, 휜 기판(W1)이 교정된 상태로 반송면(TS)으로부터 돌출되는 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b)(규정 부재)의 높이 치수(D1)는, 보유지지 유닛(40)의 하면(40a)이 기판(W1)을 교정한 상태(압압이 완료된 상태)일 때에 하면(40a)에 접촉되어 있는 정도의 치수가 된다. 즉, 기판(W1)이 교정되어 있는 경우 반송면(TS)으로부터 돌출되는 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b)(규정 부재)의 높이 치수(D1)는, 기판(W1)의 두께보다 약간 높은(거의 같은) 치수가 된다. 이들 치수(D1 및 D2)는, 대상으로 하는 기판(W)에 따라 적절히 설정된다. 또, 본 실시형태의 경우, 기판(W1)의 평면 형상이 반송 방향으로 연장되는 직사각형상이므로, 기판(W1)의 변형은 기판(W1)의 길이 방향의 양단부가 가까워지도록 발생하기 때문에, 기판(W1)의 짧은쪽 방향의 변형은 거의 발생하지 않는다.

도 9e 및 도 9f의 ST3에 나타내는 상태는, 휜 기판(W1)이 취출 위치로 이송되고, 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b)에 의해 규정된 작업 범위 내로 이송된 상태를 나타낸다. 이 때, 제4 규정부(120b)(한쪽 규제 부재)는, 제3 규정부(120a)(다른 쪽 규정 부재)의 상면을 반송면(TS)으로부터 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b)의 상면보다 약간 낮은 위치로 돌출시켜 대기시키고, 반송 방향의 상류측으로부터 제3 규정부(120a)(다른 쪽 규정 부재)에 접근하도록 화살표(Y3) 방향으로 이동하여 반송 방향에서의 교정의 작업 범위를 설정한다(설정 공정). 본 실시형태에서는, 만곡 전의 곧은 상태일 때의 기판(W)의 윤곽을 기초로 휜 기판(W1)에 대한 작업 범위(곧은 상태일 때의 기판(W)의 윤곽보다 약간 큰 작업 범위)를 설정한다. 제3 규정부(120a)와 제4 규정부(120b) 사이의 거리는, 휜 기판(W1)이 교정된 후 반송 방향으로 신장하는 길이분(D3)을 고려하여 휜 기판(W1)이 신장한 길이보다 긴 거리로 설정된다.

또, ST3에 나타내는 상태에서는, ST2에 나타내는 상태로부터 상승해 온 제1 단부 지지부(147) 및 제2 단부 지지부(148)는 휜 기판(W1)의 바닥면보다 하방의 위치(반송면(TS)보다 약간 하방의 위치)에서 대기한다. 즉, 이 상태에서는, 제1 단부 지지부(147) 및 제2 단부 지지부(148)는 휜 기판(W1)의 바닥면과 접촉하는 일이 없다.

도 9g 및 도 9h의 ST4에 나타내는 상태는, 각각의 제1 규정부(110a), 제2 규정부(110b), 제3 규정부(120a), 제4 규정부(120b)가 작업 범위로 이동 후, 보유지지 유닛(40)이 기판 취출 위치로 이동하는 상태를 나타낸다. 이 때, 제1 규정부(110a), 제2 규정부(110b), 제3 규정부(120a), 제4 규정부(120b)가 반송면(TS)과 평행한 수평면 내에서의 규정 위치에 위치함으로써 휜 기판(W1)에 대한 교정의 작업 범위가 정해진다. 도 9h에 도시된 바와 같이, 휜 기판(W1)으로 향하여 Z1방향으로 강하해 온 보유지지 유닛(40)은, 우선 제1 규정부(110a) 및 제2 규정부(110b), 제3 규정부(120a) 각각의 상면과 접촉한다.

도 9i 및 도 9j의 ST5에 나타내는 상태는, 보유지지 유닛(40)의 강하와 함께 제1 단부 지지부(147) 및 제2 단부 지지부(148)가 더욱 상승하여 휜 기판(W1)과 접촉하는 위치까지 상승한 상태를 나타낸다. 또한, 제4 규정부(120b)의 상면도 제1 규정부(110a), 제2 규정부(110b) 및 제3 규정부(120a)의 상면과 거의 같은 높이 위치(동일한 면)까지 상승한다. 제1 단부 지지부(147) 및 제2 단부 지지부(148)가 휜 기판(W1)의 반송 방향 단부를 하방으로부터 지지 가능하게 함으로써 휜 기판(W1)의 짧은쪽 방향의 교정이 가능해진다. 도 9j에 도시된 바와 같이, 보유지지 유닛(40)의 압압에 의해 제1 규정부(110a), 제2 규정부(110b), 제3 규정부(120a) 및 제4 규정부(120b)는 바이어스 부재(131a, 133c, 131d)의 바이어스력에 반하여 보유지지 유닛(40)에 의해 화살표(Z1) 방향으로 이동된다. 이 때, 보유지지 유닛(40)은 흡착부(41)로부터 공기를 블로우하면서 강하한다. 이렇게 함으로써 보유지지 유닛(40)이 휜 기판(W1)을 눌러붙여 교정할 때에, 보유지지 유닛(40)의 흡착부(41)와 휜 기판(W1)의 접촉면에 의한 접촉 저항(마찰)을 경감(흡착부(41)의 변형을 방지)하여 교정 작업에서의 작업 범위 내에서 휜 기판(W1)의 이동을 허용한다. 그리고 보유지지 유닛(40)이 휜 기판(W1)의 교정 및 취출을 개시한다.

도 9k 및 도 9l의 ST6에 나타내는 상태는, 보유지지 유닛(40)의 하측면(40a)의 눌러붙임 동작에 의해 휜 기판(W1)의 휨을 교정한 상태를 나타낸다. 도 9l에 도시된 바와 같이, 교정된 기판(W2)은, 보유지지 유닛(40)의 하측면(40a)과, 제1 단부 지지부(147), 제2 단부 지지부(148) 및 한 쌍의 무단 벨트(EB)의 사이에 거의 끼워진 상태(완전히는 끼워지지 않은 상태)가 된다.

보유지지 유닛(40)의 상하 방향(Z방향)의 이동을 정지한 후, 각 규정부를 위치 결정 위치로 더욱 이동시켜 기판(W)의 최종적인 위치 결정을 행한다(제2 동작 제어). 즉, 보유지지 유닛(40)이 교정된 기판(W2)을 압압한 상태로 작업 범위 내에서 각 규정부의 이동(대향하는 규정부끼리 접근하는 동작)에 의해 교정된 기판(W2)을 기판면과 평행한 방향으로 이동(본 실시형태의 경우, 위치 결정 기준이 되는 제1 규정부(110a) 및 제3 규정부(120a) 측으로, 각각에 대향하여 배치되는 제2 규정부(110b) 및 제4 규정부(120b)를 이동)시켜, 교정된 기판(W2)을 소정의 위치에 위치 결정한다(위치 결정 이동 공정). 이 때, 보유지지 유닛(40)은 흡착부(41)로부터 공기를 블로우한 채로 작업을 한다.

도 9m 및 도 9n의 ST7에 나타내는 상태는, 보유지지 유닛(40)이 기판(W)을 흡착 보유지지하고 취출을 개시하는 상태를 나타낸다. 보유지지 유닛(40)의 흡착부(41) 안을 부압으로 함으로써, 흡착부(41)에 교정된 기판(W2)이 교정된 상태로 흡착 보유지지된다. 흡착부(41)는, 교정된 기판(W2)을 흡착함으로써 탄성 변형되고, 하측면(40a)으로부터 보유지지 유닛(40)의 내부 측으로 수축 이동한다(끌려 들어간다). 흡착부(41)가 하측면(40a)으로부터 보유지지 유닛(40)의 내부 측으로 이동함으로써, 교정된 기판(W2)의 상방 면이 하측면(40a)에 밀착 보유지지된다. 보유지지 유닛(40)에 설치된 도시하지 않은 보유지지 검출 센서에 의해 기판(W)의 보유지지가 확인되면, 보유지지 유닛(40)은 교정된 기판(W2)과 함께 이동 가능하게 된다. 또한, 보유지지 검출 센서에 의해 교정된 기판(W2)의 보유지지가 확인되면, 각 규제부에 의한 교정된 기판(W2)의 위치 결정이 해제된다. 따라서 위치 결정 해제 후, 보유지지 유닛(40)은 상승을 개시하고, 기판(W)의 이동 탑재를 개시할 수 있다.

도 9n에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(40)이 화살표(Z2) 방향으로 상승하면, 보유지지 유닛(40)에 의해 하방으로 바이어스되어 있던 각 규정부가 각 바이어스 부재의 바이러스력에 의해 화살표(Z2) 방향으로 상승하여 소정의 위치에서 바이어스 지지된다. 또, 제4 규정부(120b)는, 보유지지 유닛(40)의 상승과 동시에 화살표(Z5) 방향으로 강하시킴과 아울러 화살표(Y4) 방향으로 이동시켜 제3 규정부(120a)로부터 떨어지는 방향으로 이동시키도록 해도 된다. 이렇게 함으로써, 다음으로 이송 유닛(11)에 반입되는 휜 기판(W1)의 반입 동작 및 작업 범위의 규정 작업 등을 효율적으로 행할 수 있다.

도 9o 및 도 9p의 ST8에 나타내는 상태는, 보유지지 유닛(40)이 화살표(Z2) 방향으로 상승한 상태를 나타낸다. 보유지지 유닛(40)은, 흡착 보유지지된 교정된 기판(W2)을 소정의 장소로 이동 탑재한다(이동 탑재 공정). 제4 규정부(120b)는, 보유지지 유닛(40)이 상승할 때(혹은 상승 후), 반송면(TS)보다 하방 및 제3 규정부(120a)로부터 이격되는 쪽으로 이동하여 소정의 대기 위치에서 대기한다. 또한, 제2 규정부(110b)도 제1 규정부(110a)로부터 이격되는 방향으로 약간 이동하여 기판 이송시의 가이드 위치에서 대기한다. 각각의 규정부가 대기 위치로 이동하여 정지함으로써, 다음 휜 기판(W1)을 받아들일 준비가 완료된다.

이상과 같이 본 실시형태에 의하면, 변형된 기판을 소정의 위치에 자리매김시킴과 아울러 곧게 교정하고, 나아가 교정 후의 위치 결정을 행함으로써 정밀도 높게 기판을 보유지지하고 기판의 이동 탑재 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.

본 발명은 상기 실시형태에 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 정신 및 범위로부터 벗어나지 않고 여러 가지 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 범위를 공표하기 위해 이하의 청구항을 첨부한다.

Claims

기판을 이송함과 아울러 위치 결정 가능한 이송 유닛으로서,
상기 기판을 취출 위치로 이송하는 이송 기구와,
상기 기판을 상기 취출 위치에 위치 결정하는 위치 결정 기구를 구비하고,
상기 위치 결정 기구는,
상기 기판의 대향하는 단면(端面)에 접촉 가능하게 설치된 적어도 2쌍의 규정부를 포함한 규정 부재와,
적어도 2쌍의 상기 규정부 각각에서 한쪽의 규정부를 다른 쪽의 규정부로 향하는 방향으로 이동시키는 접촉 이동 기구와,
상기 규정 부재를 상기 기판이 압압되는 방향으로 이동 가능한 규정 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
청구항 1에 있어서,
상기 규정 부재는, 상기 기판의 이송면보다 상방으로 돌출 가능하게 설치되고,
상기 규정 이동 기구는, 각각의 상기 규정부를 상기 압압되는 방향에서의 한쪽 방향으로 바이어스시키는 바이어스 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 규정 부재는, 상기 기판의 이송 방향에서의 양 단면과 대향하여 접촉 가능한 단면 규정 부재를 포함하고,
상기 접촉 이동 기구는, 상기 단면 규정 부재를 상기 이송 방향으로 이동시키는 단면 이동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 위치 결정 기구는,
상기 기판의 하면을 지지하는 지지 부재와,
이 지지 부재를, 상기 기판을 지지하는 지지 위치와, 이 지지 위치보다 하방이며 기판으로부터 이격된 위치인 비지지 위치 사이에서 이동시키는 지지부 이동 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 규정 부재는, 상기 기판의 이송 방향과 직교하는 폭방향에서의 양 측면과 대향하여 접촉 가능한 측면 규정 부재를 포함하고,
상기 접촉 이동 기구는, 상기 측면 규정 부재를 상기 폭방향으로 이동시키는 측면 이동 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
청구항 5에 있어서,
상기 이송 기구는, 상기 기판의 하면을 지지하여, 상기 기판을 반송하는 반송 기구와, 상기 반송 기구를 지지하는 반송 지지 부재를 구비하고,
상기 규정 이동 기구는, 상기 측면 규정 부재를 바이어스 지지하는 바이어스 부재와, 바이어스 부재를 지지함과 아울러 상기 반송 지지부에 장착된 바이어스 지지 부재와, 상기 측면 규정 부재의 바이어스 방향의 이동을 가이드하는 가이드 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
청구항 6에 있어서,
상기 측면 이동 기구는, 한 쌍의 상기 측면 규정 부재 중 어느 한쪽이 장착되는 상기 반송 지지 부재를 상기 폭방향으로 이동하는 이동체와, 상기 이동체를 상기 폭방향으로 이동시키는 폭 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이송 유닛을 제어하는 제어 수단을 구비하고,
이 제어 수단은, 상기 접촉 이동 기구에, 작업 범위를 규정하는 제1 위치로 상기 규정 부재를 이동시키는 제1 동작 제어와, 상기 규정 부재를 상기 기판의 위치 결정 위치로 이동시키는 제2 동작 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 이송 유닛.
만곡된 기판을 이송함과 아울러 위치 결정하고, 상기 기판의 기판면을 압압하여 기판을 곧게 교정하며, 그 교정 상태의 기판을 이동 탑재하는 이동 탑재 장치로서,
만곡된 상기 기판을 이송함과 아울러 위치 결정하는 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 이송 유닛과,
이 이송 유닛에 의해 이송되고 위치 결정된 상기 기판을 상기 이송 유닛으로부터 이동 탑재하는 이동 탑재 유닛을 구비하고,
이 이동 탑재 유닛은, 상기 취출 위치에 위치 결정된 상기 기판을 보유지지하는 보유지지 유닛을 구비하며,
위치 결정된 상기 기판의 기판면을 압압하여 기판을 곧게 교정하기 위해, 상기 보유지지 유닛은 압압 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 이동 탑재 장치.
청구항 9에 있어서,
상기 보유지지 유닛은, 곧게 교정된 상기 교정 상태의 기판을 흡착하는 흡착 부재를 포함한 흡착 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 이동 탑재 장치.
청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
상기 보유지지 유닛은, 상기 흡착 부재로부터 상기 기판의 흡착면에 공기를 분사하는 블로우 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 이동 탑재 장치.
만곡된 기판을 이송함과 아울러 위치 결정하고, 상기 기판의 기판면을 압압하여 기판을 곧게 교정하며, 그 교정 기판을 이동 탑재하는 이동 탑재 방법으로서,
상기 만곡 전의 곧은 상태일 때의 상기 기판의 윤곽을 기초로 기판에 대한 작업 범위를 설정하는 설정 공정과,
상기 작업 범위 내의 상기 기판의 기판면에 압압 부재를 눌러붙여 기판을 곧게 교정하는 교정 공정과,
교정 후의 상기 교정 기판의 위치 결정을 행하는 위치 결정 공정과,
위치 결정된 상기 교정 기판을 흡착 보유지지하는 흡착 보유지지 공정과,
흡착 보유지지된 상기 교정 기판을 이동 탑재하는 이동 탑재 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 이동 탑재 방법.
청구항 12에 있어서,
상기 교정 공정은, 상기 기판의 기판면에 대해 공기를 분사하는 분사 공정과,
상기 기판의 기판면에 상기 압압 부재를 눌러붙이는 압압 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 탑재 방법.
청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
상기 위치 결정 공정은, 상기 교정 기판을 압압한 상태로 상기 작업 범위 내에서 상기 기판면과 평행한 방향으로 이동시켜 소정의 위치에 위치 결정하는 위치 결정 이동 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 탑재 방법.
청구항 12 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,
상기 교정 기판의 위치 결정을 해제하는 위치 결정 해제 공정을 구비하고,
상기 흡착 보유지지 공정 후, 상기 위치 결정 해제 공정을 거쳐 상기 이동 탑재 공정으로 이행하는 것을 특징으로 하는 이동 탑재 방법.