KR101226733B1

KR101226733B1 - 기판 반송 장치

Info

Publication number: KR101226733B1
Application number: KR1020077005442A
Authority: KR
Inventors: 겐스케 히라타; 스스무 무라야마
Original assignee: 가부시키가이샤 아이에이치아이
Priority date: 2005-06-02
Filing date: 2005-10-17
Publication date: 2013-01-25
Also published as: TWI307675B; CN101035725B; JP2006335518A; KR20080016518A; CN101035725A; JP4904722B2; WO2006129385A1; TW200642933A

Abstract

본 발명은 기판 반송(搬送) 장치에 관한 것으로서, 카세트 CS로부터 기판 W를 반출 가능한 카세트 측 컨베이어(3)와, 상기 기판 W에 가공을 행하는 장치로 상기 기판 W를 공급 가능한 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)와, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5) 사이에서 상기 기판 W를 받아건네는 것이 가능한 기판 받아건넴 수단(7)을 구비한다.

기판 반송 장치, 컨베이어, 카세트, 이송탑재 핸드, 기판 받아건넴 수단

Description

기판 반송 장치 {SUBSTRATE CARRYING DEVICE}

본 발명은, 기판 반송(搬送) 장치에 관한 것이며, 특히, 컨베이어와 이송탑재 핸드(transfer hand)를 사용하고, 기판을 적층하여 수납할 수 있는 카세트와 기판에 처리를 행하는 프로세스 장치 사이에서 기판을 반송하는 장치에 관한 것이다.

종래, 플라즈마 디스플레이 패널 등에 사용되는 유리 기판이 적층되어 수납되어 있는 카세트로서 로딩 스테이션의 소정 위치에 로딩된 카세트로부터, 이송탑재 핸드를 사용하여(상기 카세트 내에 이송탑재 핸드를 삽입하여) 상기 카세트의 임의 위치에 존재하고 있는 유리 기판을 1개씩 인출하고, 이 인출한 유리 기판을 롤러 컨베이어에 탑재하고, 상기 유리 기판에 인쇄 등의 처리를 행하는 프로세스 장치에 투입하는 구성의 기판 반송 장치가 알려져 있다(예를 들면, 일본국 특개 2002-167039호 공보 참조).

그런데, 상기 종래의 기판 반송 장치에서는, 이송탑재 핸드를 사용하여 카세트로부터 유리 기판을 인출할 때, 유리 기판의 사이에 이송탑재 핸드를 삽입하고, 이 삽입 후 상기 이송탑재 핸드를 상기 유리 기판(카세트)에 대하여 상대적으로 상승시켜 반송 대상인 유리 기판을 약간 들어 올려 상기 유리 기판을 지지하고 있는 상기 카세트의 지지부로부터 상기 유리 기판을 이반(離反)시켜 상기 이송탑재 핸드 에 상기 기판을 탑재하고, 이 탑재 후, 상기 이송탑재 핸드를 상기 카세트 밖으로 이동시켜, 상기 카세트로부터 유리 기판을 인출하고 있다.

따라서, 상기 이송탑재 핸드를 유리 기판의 사이에 삽입하는 동시에 반송 대상인 유리 기판을 약간 들어 올리기 위한 스페이스가 필요해지고, 카세트 내에 적층되어 있는 각 유리 기판 사이의 상하 방향의 간격을 어느 정도 두지 않으면 안되어, 카세트 내에 적층하는 각 유리 기판의 상하 방향의 피치가 커지게 되는 경우가 있으므로, 유리 기판의 수납 개수가 감소하고, 카세트에 있어서의 유리 기판의 수납 효율이 저하되는 문제가 있다.

그리고, 유리 기판이 대형화되어 이송탑재 핸드로부터 오버행하는 부분이 커지면 유리 기판을 카세트로부터 반출하기 위해 약간 들어 올렸을 때 상기 유리 기판의 휨(상기 이송탑재 핸드로부터 오버행하고 있는 동시에 상기 카세트의 지지부와 접촉되어 있던 부위의 휨)이 커지고, 상기 유리 기판을 상기 카세트의 상기 지지부로부터 이반시키기 위해 보다 들어 올릴 필요가 있으므로, 상기 문제는 한층 현저하게 된다.

한편, 상기 종래의 기판 반송 장치에서는, 롤러 컨베이어를 사용하여 유리 기판을 프로세스 장치에 반입(搬入)하고 있지만, 프로세스 장치 측에서는 이송탑재 핸드에 의한 이송탑재를 요구하는 경우가 많다. 즉, 기판에 처리를 행하는 프로세스 장치의 부위는, 외부와 커버로 나누어져 있고, 상기 기판을 반입하는 경우, 개폐 가능하게 되어 있는 상기 커버의 일부를 열어 두고, 상기 기판을 반입할 필요가 있으므로, 롤러 컨베이어에서는, 프로세스 장치로의 유리 기판의 반입이 곤란한 경 우가 있다는 문제점이 있었다.

상기 문제점을 해결하기 위해서, 상기 롤러 컨베이어와 상기 프로세스 장치 사이에, 다관절 로봇 등을 설치하면, 기판 반송 장치의 구성이 복잡하게 되는 동시에, 기판 반송 장치의 설치 면적이 넓어지는 문제가 있다.

그리고, 상기 문제는, 유리 이외의 재질로 구성된 기판에 있어서도 마찬가지로 발생하는 문제이다.

본 발명은, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 기판을 수납할 수 있는 카세트와 기판에 처리를 행하는 프로세스 장치 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 상기 카세트에 있어서의 기판의 수납 효율을 높일 수 있고, 구성이 간단한 동시에, 설치 면적을 작게 할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 태양에 따른 발명은, 기판을 수평으로 하여 다단(多段)으로 수납할 수 있는 카세트로부터 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 반출 가능한, 또는 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 카세트로 반입 가능한 카세트 측 컨베이어와, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜, 상기 기판에 가공을 행하는 프로세스 장치로 공급 가능한, 또는 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 프로세스 장치로부터 반출 가능한 프로세스 측 이송탑재 핸드와, 상기 기판을 상기 카세트 측 컨베이어와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 받아건네는 것이 가능한 기판 받아건넴(delivery) 수단을 가지고, 상기 카세트 측 컨베이어, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 및 상기 기판 받아건넴 수단은, 평행 이동하는 것만에 의해, 상기 기판을 이동시키도록 구성되어 있는 기판 반송 장치이다.

제1 태양에 따른 발명에, 카세트 측 컨베이어를 사용하여 카세트로부터 기판을 반출하거나 또는 카세트에 기판을 반입하므로, 이 반출입 시에 기판을 상하 방향으로 이동시킬 필요가 없고, 또, 이송탑재 핸드를 기판의 사이에 삽입할 필요가 없고, 따라서, 와이어 카세트 내에 적층되어 있는 각 기판 사이의 간격(상하 방향의 간격)을 작게 할 수 있어, 상기 카세트에 있어서의 기판의 수납 효율을 높일 수 있다.

또한, 프로세스 측 이송탑재 핸드를 사용하여 프로세스 장치에 기판을 반입하거나 또는 프로세스 장치로부터 기판을 반출하므로, 프로세스 장치 측의 요구에 답할 수 있어, 상기 프로세스 장치에 별도의 다관절 로봇 등을 설치할 필요가 없기 때문에, 기판 반송 장치의 구성을 간소화할 수 있는 동시에, 설치 면적을 작게 할 수 있다.

또, 카세트 측 컨베이어, 프로세스 측 이송탑재 핸드 및 상기 기판 받아건넴 수단에 의한 기판의 이동은, 기판의 자세를 바꾸는 회전이동을 수반하지 않는 평행이동하도록만 되어 있으므로, 기판을 회전(선회(旋回))시키기 위한 스페이스가 불필요하게 되어, 기판 반송 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다.

본 발명의 제2 태양에 따른 발명은, 기판을 수평으로 하여 다단으로 수납할 수 있는 카세트로부터, 상기 기판의 단면 또는 단면 근방을 지지하고 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 반출 가능한, 또는 상기 기판의 단면 또는 단면 근방을 지지하고 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 카세트로 반입 가능한 카세트 측 이송탑재 핸드와, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 기판에 가공을 행하는 프로세스 장치로 공급 가능한, 또는 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 프로세스 장치로부터 반출 가능한 프로세스 측 이송탑재 핸드와, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건네는 것이 가능한 기판 받아건넴 수단을 가지고, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 및 상기 기판 받아건넴 수단은, 평행 이동하는 것만에 의해, 상기 기판을 이동시키도록 구성되어 있는 기판 반송 장치이다.

제2 태양에 따른 발명에 의하면, 카세트 측 이송탑재 핸드를 사용하여 카세트로부터 기판을 반출하거나 또는 카세트에 기판을 반입하므로, 이 반출입 시에 기판을 상하 방향으로 이동시킬 필요가 없고, 카세트 측 이송탑재 핸드로 기판의 단부를 지지하여 기판을 반출입하므로, 이 반출입 시에 기판을 상하 방향으로 이동시킬 필요가 없고, 또, 카세트 측 이송탑재 핸드를 기판의 사이에 깊게 삽입할 필요가 없다. 따라서, 와이어 카세트 내에 적층되어 있는 각 기판 사이의 간격(상하 방향의 간격)을 작게 할 수 있어, 상기 카세트에 있어서의 기판의 수납 효율을 높일 수 있다.

또한, 카세트로부터 기판을 반출하거나 또는 카세트로 기판을 반입할 때, 상기 기판의 단부를 지지하여 반출입을 행하므로, 상기 기판에 상처가 나거나 상기 기판이 오염될 우려를 한층 회피할 수 있다. 또, 프로세스 측 이송탑재 핸드를 사용하여 프로세스 장치에 기판을 반입하거나 또는 프로세스 장치로부터 기판을 반출하므로, 프로세스 장치 측의 요구에 답할 수 있어 상기 프로세스 장치에 별도의 다관절 로봇 등을 설치할 필요가 없기 때문에, 기판 반송 장치의 구성을 간소화할 수 있는 동시에, 설치 면적을 작게 할 수 있다.

또, 카세트 측 컨베이어, 프로세스 측 이송탑재 핸드 및 상기 기판 받아건넴 수단에 의한 기판의 이동은, 기판의 자세를 바꾸는 회전이동을 수반하지 않는 평행이동하도록만 되어 있으므로, 기판을 회전(선회)시키기 위한 스페이스가 불필요하게 되어, 기판 반송 장치의 설치 면적을 작게 할 수 있다.

본 발명의 제3 태양에 따른 발명은, 제2 태양에 기재된 기판 반송 장치에 있어서, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드는, 상기 기판의 반출입 방향으로 길게 연장된 슬라이드 베이스와, 상기 슬라이드 베이스에 대하여 상기 기판의 반출입 방향으로 이동 가능한 이동 부재와, 상기 기판을 지지할 수 있는 동시에, 상기 이동 부재에 대하여 상기 기판의 반출입 방향으로 이동 가능한 지지 부재를 구비하고, 상기 슬라이드 베이스에 대하여 상기 지지 부재가 이동 위치를 결정할 수 있도록 구성되어 있는 기판 반송 장치이다.

제3 태양에 따른 발명에 의하면, 카세트 측 이송탑재 핸드의 지지 부재가, 베이스 부재에 대하여 이동 가능한 이동 부재에 대하여 이동 가능하게 설치되어 있으므로, 상기 지지 부재의 이동 스트로크(기판의 반송 스트로크)를 크게 한 것에 의한 기판 반송 장치의 설치 면적의 증대를 회피할 수 있다.

본 발명의 제4 태양에 따른 발명은, 제1 태양~ 제3 태양 중 어느 하나의 태양에 기재된 기판 반송 장치에 있어서, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향과, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향은, 서로 일치하고 있는 동시에, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드에 의해 상기 카세트로부터 반출된 기판을, 또는 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 의해 프로세스 장치로부터 반출된 기판을, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향에 대하여 교차하는 수평 방향으로 이동시킬 위치를 결정할 수 있는 기판 이동 위치 결정 수단을 가지는 기판 반송 장치이다.

제4 태양에 기재된 발명에 의하면, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향(X축 방향)과 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향(X축 방향)이 서로 일치하고 있는 동시에, 기판을 Y축 방향으로 이동시킬 위치를 결정할 수 있는 기판 이동 위치 결정 수단을 구비하고 있으므로, 기판 반송 장치 전체의 구성이 한층 간소하게 되어 있는 동시에, 카세트와 프로세스 장치가 Y축 방향에 있어서 어긋난 위치에 존재하고 있어도, 카세트와 프로세스 장치 사이에서 기판을 반송할 수 있다.

또, 기판 반송 장치를 사이로 하여, X축 방향의 일단부 측에서 Y축 방향으로 배열된 복수개의 카세트와, X축 방향의 타단부 측에서 Y축 방향으로 배열된 복수개의 프로세스 장치 사이에서, 기판을 반송할 수 있다.

본 발명의 제5 태양에 따른 발명은, 제1 태양~ 제4 태양 중 어느 하나의 태양에 기재된 기판 반송 장치에 있어서, 상기 기판 받아건넴 수단은, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 컨베이어를 구비하고 있는 동시에, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 형성되어 있는 각 노치 또는 각 관통공을, 상기 받아건넴용 컨베이어에 있어서의 상기 기판을 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판과 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있고, 또는 상기 기판 받아건넴 수단은, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 에어 플로트(float) 수단 또는 받아건넴용 초음파 플로트 수단을 구비하고 있는 동시에, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 형성되어 있는 각 노치 또는 각 관통공을, 상기 받아건넴용 에어 플로트 수단 또는 상기 받아건넴용 초음파 플로트 수단에서의 상기 기판을 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있는 기판 반송 장치이다.

제5 태양에 기재된 발명에 의하면, 상기 기판 받아건넴 수단이, 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 컨베이어를 구비하고 있는 동시에, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 형성되어 있는 각 노치 또는 각 관통공을, 상기 받아건넴용 컨베이어에 있어서의 기판을 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 컨베이어와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있으므로, 간소한 구성으로, 또한, 상하 방향으로 이동하는 것만으로 기판을 받아건넬 수 있어, 기판에 상처가 날 우려를 회피할 수 있다.

또, 제5 태양에 기재된 발명에 의하면, 상기 받아건넴 수단이, 받아건넴용 에어 플로트 수단이나 받아건넴용 초음파 플로트 수단에 의해 구성되어 있으므로, 간소한 구성으로 하여 상하 방향으로 이동하는 것만으로 기판을 받아건넬 수 있는 동시에, 기판을 이송할 때, 상기 기판에 상처가 나거나 상기 기판이 오염될 우려를 한층 회피할 수 있다.

본 발명의 제6 태양에 따른 발명은, 제1 태양~ 제5 태양 중 어느 하나의 태양에 기재된 기판 반송 장치에 있어서, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드의 기단부(基端部) 측에는, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이를 수평 방향으로 이동하는 상기 기판의 중량을 지지하기 위한 중간 컨베이어, 또는 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이를 수평 방향으로 이동하는 기판의 중량을 지지하기 위한 중간 에어 플로트 수단도 또는 중간 초음파 플로트 수단이 설치되어 있는 기판 반송 장치이다.

제6 태양에 기재된 발명에 의하면, 중간 컨베이어가 설치되어 있으므로, 이 중간 컨베이어를 사용하여 기판을 지지하면서, 상기 카세트 측 컨베이어와 상기 받아건넴용 컨베이어와의 사이에서 상기 기판을 받아건네는 것이 가능하게 되어 있어 확실하게 기판을 받아건넬 수 있다.

또, 제6 태양에 기재된 발명에 의하면, 중간 에어 플로트 수단 또는 중간 초음파 플로트 수단이 설치되어 있으므로, 마찬가지로 하여 확실하게 기판을 받아건넬 수 있고, 또한 기판을 이송할 때, 상기 기판에 상처가 나거나 상기 기판이 오염될 우려를 한층 회피할 수 있다.

본 발명의 제7 태양에 따른 발명은, 제1 태양~ 제6 태양 중 어느 하나의 태양에 기재된 기판 반송 장치에 있어서, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드가 상하 방향으로 나란히 복수개 설치되어 있는 기판 반송 장치이다.

제7 태양에 기재된 발명에 의하면, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드가 상하 방향으로 나란히 복수개 형성되어 있으므로, 프로세스 장치로부터의 기판의 반출, 프로세스 장치로의 기판의 반입을 단시간에 행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.

도 2는 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 측면도이다.

도 3은 기판 반송 장치의 동작을 나타낸 측면도이다.

도 4는 기판 반송 장치의 동작을 나타낸 측면도이다.

도 5는 기판 반송 장치의 동작을 나타낸 측면도이다.

도 6은 기판 반송 장치의 동작을 나타낸 측면도이다.

도 7은 기판 반송 장치의 동작을 나타낸 측면도이다.

도 8은 기판 반송 핸드를 복수개 설치한 상태를 나타낸 도면이다.

도 9는 기판 반송 장치의 변형예를 나타낸 평면도이다.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 사시도이다.

도 11은 도 13에 있어서의 ⅩⅠ에서 본 도면이다.

도 12는 도 10에 있어서의 ⅩⅡ에서 본 도면이다.

도 13은 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 사시도이다.

도 14는 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 사시도이다.

도 15는 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 사시도이다.

도 16은 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 사시도이다.

[제1 실시예]

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)의 개략 구성을 나타낸 평면도이며, 도 2는, 기판 반송 장치(1)의 개략 구성을 나타낸 측면도이다.

그리고, 보기 쉽게 하기 위하여, 도 2에서는, 한쪽(도 1의 아래쪽)의 측방 부재(35), 이송탑재 핸드 지지 부재(39), 중간 부재(41)의 표시를 생략하고 있다. 또, 본 명세서에서는, 설명의 편의를 위하여, 수평 방향의 일방향을 X축 방향이라 하고, 수평 방향의 다른 일방향으로서 상기 X축 방향에 직각인 방향을 Y축 방향이 라 하고, 연직(鉛直) 방향을 Z축 방향이라고 한다.

기판 반송 장치(1)는, 유리 기판(예를 들면, 플라즈마 디스플레이 패널이나 액정 디스플레이 패널 등에 사용되는 직사각형으로 판형의 유리 기판) W를 수납할 수 있는 카세트 CS와, 상기 유리 기판(이하 단지 「기판」이라 하는 경우가 있음) W에 처리(가공)를 행하는 프로세스 장치(도 1, 도 2에 있어서는 도시하지 않음)와의 사이에서 상기 기판 W를 반송하는 장치이며, 카세트 측 컨베이어(3)와 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)를 구비하고 있다.

상기 카세트 CS는, 수평으로 되어 있는 기판 W 끼리를 서로 약간 멀리하여 상하 방향으로 적층함으로써, 상기 기판 W를 다단으로 수납할 수 있도록 되어 있다.

상기 카세트 측 컨베이어(3)는, 카세트 CS 내에 수납되어 있는 기판 W를, 가장 아래쪽에 존재하고 있는 것으로부터 차례로 수평 방향으로(X축 방향으로만) 직선적으로 이동시켜, 1개씩 반출할 수 있도록 되어 있다. 또, 상기 카세트 측 컨베이어(3)는, 상기 기판 W를 수평 방향으로(X축 방향으로만) 직선적으로 이동시켜, 상기 기판 W를 1개씩 상기 카세트 CS로 반입할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 상기 카세트 CS 내에서는, 먼저 반입된 것으로부터 차례로 상기 기판 W가 위에서 밑으로 정렬되게 된다.

상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)는, 상기 기판 W를 1개씩 수평 방향으로(X축 방향으로만) 직선적으로 이동시켜 상기 프로세스 장치에 공급할 수 있는 동시에, 상기 기판 W를 1개씩 수평 방향으로(X축 방향으로만) 직선적으로 이동시켜 상기 프로세스 장치로부터 반출하는 것이 가능하도록 되어 있다. 그리고, 이미 이해할 수 있는 바와 같이, 상기 카세트 측 컨베이어(3)에 의한 기판 W의 반송 방향과 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 의한 기판 W의 반송 방향은 서로 일치하고 있다.

또, 상기 기판 반송 장치(1)에는, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5) 사이에서 상기 기판 W를 Z축 방향으로만 이동시킴으로써 상기 기판 W를 받아건네는 것이 가능한 기판 받아건넴 수단(7)이 설치되어 있다.

상기 카세트 측 컨베이어(3), 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5), 상기 기판 받아건넴 수단(7)은, 상기 기판 W를 평행 이동만시킴으로써, 환언하면, 상기 기판 W의 자세를 바꾸는 일 없이, 상기 기판 W를 평행으로만 이동시킴으로써, 상기 기판 W를 이동시키도록 구성되어 있다.

상기 카세트 측 컨베이어(3)는, 자세한 것은 후술하지만, 상기 기판 W를 반출하거나 또는 반입할 때, 상기 기판 W를 상기 카세트 CS나 기판 받아건넴 수단(7)의 방해가 되지 않는 위치에서, 상하 방향으로부터 끼워넣어 이동하도록 구성되어 있다.

상기 기판 받아건넴 수단(7)은, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 컨베이어(9)를 구비하고 있는 동시에, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 설치되어 있는 각 노치(11)를, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)에 있어서의 기판을 탑재하는 부위(13)가 통과함으로써, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5) 사이에서 상기 기판 W를 Z축 방향으로만 직선적으로 이동시켜 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 노치(11) 대신에, 관통공이 형성되어 있어도 된다.

상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 기단부 측(카세트 CS측; 프로세스 장치와는 반대측)에는, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5) 사이를 수평 방향으로 이동하는 상기 기판 W의 중량을, 상기 기판 W의 아래쪽으로부터 지지하기 위한 중간 컨베이어(19)가 설치되어 있다.

또, 상기 기판 받아건넴 수단(7)은, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 받아건넴용 컨베이어(9) 사이에서 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)(보다 상세하게는, 후술하는 이송탑재 핸드 지지 부재(39))에 설치되어 있는 동시에 상기 기판 W를 탑재하는 부위(15)가 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 기판 탑재 부위(17)(패스 라인; 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 의해 상기 기판 W를 반송할 때의 상기 기판 W의 하면)보다 높은 곳에 설치되어 있는 중간 컨베이어(19)를 사용하여, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 받아건넴용 컨베이어(9) 사이에서 상기 기판 W를 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있다.

즉, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 기판 탑재 부위(상기 받아건넴용 컨베이어(9)로 상기 기판 W를 탑재하고 있을 때의 상기 기판 W의 하면; 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 패스 라인)(13)가, 적어도, 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(상기 카세트 측 컨베이어(3)로 상기 기판 W를 탑재하고 있을 때의 상기 기판 W의 하면)(21)과 같은 높이의 위치와, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 패스 라인(17)보다 아래쪽의 위치 사이에서, 상하 방향으로 이동 가능하도록 되어 있다.

예를 들면, 롤러 컨베이어로 구성되어 있는 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 각 롤러(23)가, 상기 노치(11)를 통하여 상기 범위를 상하 방향으로 이동 가능하도록 되어 있다.

그리고, 상기 카세트 측 컨베이어(3)가 기판 W를 탑재하고 있고 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 패스 라인(17)이 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)보다 낮은 위치에 존재하고, 또한 상기 중간 컨베이어(19)의 공작물 탑재 부위(상기 중간 컨베이어(19)로 상기 기판 W를 탑재하고 있을 때의 상기 기판 W의 하면; 상기 중간 컨베이어(19)의 패스 라인)(15)가 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)과 같은 높이로 되어 있을 때, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 기판 탑재 부위(13)를 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)과 같은 높이로 되도록 하여 두고, 상기 중간 컨베이어(19)와 중계하여 상기 카세트 측 컨베이어(3)로부터 상기 받아건넴용 컨베이어(9)로 기판 W를 이송하고, 이 이송 후, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 패스 라인(13)을 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 패스 라인(17)보다 낮은 위치까지 내리는 것에 의해, 상기 카세트 측 컨베이어(3)로부터 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 상기 기판 W를 받아건네는 것이 가능하도록 되어 있다.

한편, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)가 기판 W를 탑재하고 있고 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 패스 라인(17)이 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)보다 낮은 위치에 존재하고, 또한 상기 중간 컨베이어(19)의 패스 라 인(15)이 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)과 같은 높이로 되어 있을 때, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 패스 라인(17)보다 낮은 위치에 존재하고 있는 상기 받아건넴용 컨베이어(9)를, 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)과 같은 높이가 될 때까지 상승시켜, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)가 탑재하고 있던 기판 W를 상기 받아건넴용 컨베이어(9)에 의해 탑재하고, 이 받아건넴용 컨베이어(9)가 탑재한 기판 W를, 상기 중간 컨베이어(19)에 의해 중계하여 상기 카세트 측 컨베이어(3)에 이송함으로써, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)로부터 상기 카세트 측 컨베이어(3)로 상기 기판 W를 받아건네는 것이 가능하도록 되어 있다.

여기서, 상기 기판 반송 장치(1)에 대하여 보다 상세하게 설명한다.

상기 카세트 CS는, 대략 외관이 직육면체형으로 구성되어 있고, Y축 방향의 양 단부에 측 부재 CS1을 구비하고 있다. 상기 각 측 부재 CS1의 사이에는, 복수개의 기판 W를 상기 카세트 CS 내에서 탑재하고 수납하기 위해 선형의 부재(예를 들면; 도시하지 않음)가 설치되어 있다.

Z축 방향에 있어서 같은 위치에서(같은 높이로) X축 방향으로 소정 간격을 두고 Y축 방향으로 연장되어 상기 와이어가 복수개 설치되어 있는 것에 의해, 1개의 기판 W를 지지(탑재)할 수 있는 1개의 와이어군을 형성하고 있다.

상기 와이어군이 Z축 방향으로 소정의 작은 간격을 두고 복수개 설치되어 있는 것에 의해, 상기 카세트 CS는, 기판 W를 수평으로 하여 다단으로 수납할 수 있다. 이와 같이 구성된 카세트 CS를 와이어 카세트라고 하는 경우가 있다.

또, 상기 카세트 CS의 X축 방향의 일측면(상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)가 설치되어 있는 측의 면)에는, 상기 기판 W가 출입 가능하도록 한 개구부가 형성되어 있다.

그리고, 상기 와이어 카세트 CS에 대신하여 통상의 카세트(Y축 방향의 양 단부에 설치된 지지 부재에 의해 상기 기판 W를 지지하는 구성의 카세트)를 채용해도 된다.

상기 와이어 카세트 CS는, 도시하지 않은 스태커 크레인이나 천정 크레인을 사용하여 도시하지 않은 카세트 탑재 장치에 탑재되고, Z축 방향으로 이동 위치 결정되도록 되어 있는 상기 카세트 측 컨베이어(3)는, 예를 들면, 롤러 컨베이어로 구성되어 있고, 바닥면 상에 설치된 베이스 부재(24)에 직립된 복수개의 롤러 지지 부재(25)의 상단부에 회전 가능하게 설치된 복수개의 롤러(27)를 구비하고 있다.

상기 각 롤러 지지 부재(25)는, X축 방향으로 소정 간격을 두고 세워설치되어 있다. 그리고, 상기 와이어 카세트 CS를 상기 카세트 탑재 장치에 탑재하고, 상기 와이어 카세트 CS를 상하로 이동하면, 기판 W가 수납되어 있지 않은 상태에서는, 상기 와이어 카세트 CS의 각 와이어의 사이에 상기 각 롤러(27)와 상기 각 롤러 지지 부재(25)가 비집고 들어갈 수 있게 되어 있다. 즉, 상기 각 롤러(27)와 상기 각 롤러 지지 부재(25)가, 상기 와이어 카세트 CS나 상기 카세트 이송탑재 장치와 간섭하지 않고, 상기 와이어 카세트 CS 내에 깊숙히 삽입되도록 되어 있다.

상기 카세트 측 컨베이어(3)의 각 롤러(27)는, Y축 방향으로 연장된 중심축을 회전 중심으로 하여, 벨트나 체인 등의 동력 전달 부재를 통하여 모터 등의 액 츄에이터에 의해 회전하여 기판 W를 반송하도록 되어 있다. 상기 각 롤러(27)의 상단부가 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)을 형성하고 있게 된다.

그리고, 상기 각 롤러(27) 중에서 가장 일측부 측(중간 컨베이어(19) 측)에 위치하고 있는 롤러(27A)는, 상기 카세트 CS 내에는, 비집고 들어가지 않는 위치에 설치되어 있다. 또, 상기 롤러(27A)의 상부에는, 롤러(26)가 설치되어 있다. 이 롤러(26)는, 모터(도시하지 않음) 등의 액츄에이터로 회전 가능하게 되어 있는 동시에, 도시하지 않은 유체압 실린더 등의 액츄에이터에 의해, 롤러(27A)에 대하여 접근ㆍ이반되는 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.

그리고, 상기 기판 W를 반출하거나 또는 반입할 때, 상기 기판 W를, 롤러(27A)와 롤러(26)에 의해 상하 방향으로부터 끼워넣어 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 롤러(26)를 회전 구동시키기 위한 액츄에이터를 없이하고, 롤러(26)가 자유롭게 회전하도록 구성해도 된다.

상기 카세트 측 컨베이어(3)의 X축 방향의 일측부에는, 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)가 설치되어 있다. 이 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)는, 대략 외관이 직사각형상으로 얇은 판형으로 형성되어 있는 동시에, 두께 방향이 Z축 방향으로 되도록 설치되어 있다. 또, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 X축 방향의 선단부(카세트 측 컨베이어(3)가 설치되어 있는 측과는 반대측의 단부)로부터 X축 방향의 기단부 측에 있어서는, Y축 방향으로 소정 간격을 두고 복수개의 직사각형의 노치(11)가 형성되어 있다. 이와 같이 노치(11)가 형성되어 있으므로, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)는 빗살형으로 형성되어 있다고 할 수 있다.

또, 기판 반송 장치(1)에는, 상기 카세트 측 컨베이어(3)에 의해 상기 카세트 CS로부터 반출된 기판 W를, 또는 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 의해 프로세스 장치로부터 반출된 기판 W를, 상기 카세트 측 컨베이어(3), 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 의한 기판의 반출입 방향(X축 방향)에 대하여 교차하는 수평 방향(예를 들면 직교하는 Y축 방향)으로 이동 위치를 결정할 수 있는 기판 이동 위치 결정 수단(30)이 설치되어 있다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 베이스 부재(24) 가까이(X축 방향의 일측부 측)의 바닥면에는 베이스 부재(29)가 설치되어 있고, 이 베이스 부재(29)에 설치된 가이드 레일(31)을 통하여, 기대(3)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 상기 기대(33)는, 볼나사(도시하지 않음) 등의 동력 전달 수단을 통하여 모터(도시하지 않음) 등의 액츄에이터에 의해 Y축 방향으로 위치 결정 가능하게 되어 있다.

상기 기대(33) 상의 Y축 방향의 양 단부에는, 각 측방 부재(35)가 일체적으로 세워설치되어 있다. 상기 각 측방 부재(35)의 내측에는, 상기 각 측방 부재(35)에 일체적으로 설치된 가이드 레일(37)을 통하여, 이송탑재 핸드 지지 부재(39)가 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)는, 볼나사(도시하지 않음) 등의 동력 전달 수단을 통하여 모터(도시하지 않음) 등의 액츄에이터로 Z축 방향으로 위치 결정 가능하게 되어 있다.

상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)의 내측에는, 중간 부재(41)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한, 상기 중간 부재(41)의 내측에는, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)는, 볼나사(도시하지 않음) 등의 동력 전달 수단을 통하여 모터(도시하지 않음) 등의 액츄에이터에 의해 X축 방향(상기 카세트 측 컨베이어(3)와는 반대측의 방향)으로, 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)로부터, 도 1이나 도 2에 2점 쇄선으로 나타낸 위치까지 돌출하도록 하여 이동 위치 결정 가능하도록 되어 있다.

또, 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 X축 방향의 일측부 측에는, 받아건넴용 컨베이어(9)가 설치되어 있다. 이 받아건넴용 컨베이어(9)는, 전술한 바와 같이 예를 들면 롤러 컨베이어로 구성되어 있고, 이 롤러 컨베이어의 패스 라인(13)은, Z축 방향으로 이동 위치를 결정할 수 있도록 되어 있다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39), 상기 중간 부재(41), 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 아래쪽에는, 상기 각 측방 부재(35)에 일체적으로 설치된 가이드 레일(37)을 통하여, 받아건넴용 컨베이어 베이스 부재(43)가 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 받아건넴용 컨베이어 베이스 부재(43)는, 볼나사(도시하지 않음) 등의 동력 전달 수단을 통하여 모터(도시하지 않음) 등의 액츄에이터(상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)를 구동하는 액츄에이터와는 상이한 액츄에이터)에 의해 Z축 방향으로 위치 결정 가능하게 되어 있다.

상기 받아건넴용 컨베이어 베이스 부재(43) 상에는, Y축 방향으로 소정 간격을 두고 복수개의 롤러 지지 부재(45)가 설치되어 있고, 이 롤러 지지 부재(45)의 상단부에는, 복수개의 롤러(23)가 회전 가능하게 설치되어 있다.

그리고, 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)에 대하여, 상기 받아건넴용 컨베이어 베이스 부재(43)를 상대적으로 상하 방향으로 이동시키면, 상기 롤러 지지 부재(45)나 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 롤러(23)가, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 노치(11)를 통과하여 이동하도록 되어 있다.

즉, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 패스 라인(13)이, 적어도, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)로부터 아래쪽으로 이반된 소정 위치와 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21) 사이에서 이동하도록 되어 있다.

그리고, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 각 롤러(23)는, Y축 방향으로 연장된 중심축을 회전 중심으로 하여, 벨트나 체인 등의 동력 전달 부재를 통하여 모터 등의 액츄에이터에 의해 회전하여 기판 W를 반송하도록 되어 있다.

상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 타단부 측(기단부 측; 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 각 노치(11) 사이)에는, 전술한 중간 컨베이어(예를 들면, 롤러 컨베이어)(19)가 설치되어 있다.

상기 중간 컨베이어(19)의 각 롤러(47)는, 두께 방향이 상하 방향으로 되도록 설치된 직사각형 판형의 롤러 지지 부재(48)에 대하여 회전 가능하게 되어 있고, 상기 롤러 지지 부재(48)는, 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)와 일체로 설치되어 있다. 따라서, 상기 중간 컨베이어(19)의 각 롤러(47)는, 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)에 대하여 회전 가능하게 되어 있다.

상기 중간 컨베이어(19)의 각 롤러(47)는, Y축 방향으로 연장된 중심축을 회전 중심으로 하여, 벨트나 체인 등의 동력 전달 부재를 통하여 모터 등의 액츄에이 터에 의해 회전하여 기판 W를 반송하도록 되어 있다. 그리고, 상기 중간 컨베이어(19)의 각 롤러(47)를 회전 구동시키기 위한 장치(상기 벨트나 액츄에이터 등)가 생략되어도 된다.

상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)는, 상기 롤러 지지 부재(48)의 아래쪽에서 상기 롤러 지지 부재(48)로부터 이격되어 설치되어 있다. 또, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 노치(11)가 형성되어 있지 않은 부위가, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)가 프로세스 장치 측으로 연장되어 있지 않은 상태(도 2에 나타낸 상태)에서는, 상기 롤러 지지 부재(48)의 아래쪽에 위치하고 있다.

전술한 바와 같이 중간 컨베이어(19)가 설치되어 있는 것에 의해, 카세트 측 컨베이어(3)와 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)(받아건넴용 컨베이어(9)) 사이에서 이동하는 W의 중량을 지지할 수 있도록 되어 있다.

다음에, 기판 반송 장치(1)의 동작에 대하여 설명한다.

도 3~도 7은, 기판 반송 장치(1)의 동작을 나타낸 측면도이다. 그리고, 도 6은 도 7에 나타낸 상태 아래에 있어서의 평면도이다.

기판 W를 카세트 CS로부터 프로세스 장치(처리 장치)에 반송하는 경우에 대하여 설명한다.

먼저, 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 W를 수납하고 있는 카세트 CS가 카세트 측 컨베이어(3)의 위쪽에 위치하고, 카세트 측 컨베이어(3)의 패스 라인(21)과 중간 컨베이어(19)의 패스 라인(15)이 같은 높이에 위치하고, 받아건넴용 컨베이어(9)의 패스 라인(13)이, 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 패스 라인(17)보다 아 래쪽에 위치하고 있는 것으로 한다.

이 상태에서, 상기 카세트 CS가 탑재하고 있는 기판 W 중 가장 아래쪽에 존재하고 있는 기판 W가, 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 롤러(27)에 접촉되기까지, 상기 카세트 CS가 하방향으로 이동하는 동시에, 상기 중간 컨베이어(19)의 패스 라인(15)과 상기 받아건넴용 컨베이어(9)의 패스 라인(13)이 서로 일치할 때까지, 상기 받아건넴용 컨베이어 베이스 부재(43)가 상승한다(도 3 참조)

이어서, 상기 가장 아래쪽에 존재하고 있는 기판 W가, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)에 탑재되기까지, 상기 각 컨베이어(3, 19, 9)를 구동하여 기판 W를 이동시킨다(도 4 참조). 이와 같이 기판 W를 이동하는데 있어서, 상기 롤러(27A)와 상기 롤러(26)에 의해 기판 W를 협지한다.

이어서, 받아건넴용 컨베이어 베이스 부재(43)를 하강시키고, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)가 탑재하고 있던 기판 W를 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 의해 탑재한다(도 5 참조).

이어서, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)나 상기 중간 부재(41)를 연장하여, 기판 W를 프로세스 장치에 반입한다(도 6, 도 7 참조).

그리고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)나 상기 중간 부재(41)가 연장되어도, 회전 가능한 상기 중간 컨베이어(19)는, 이동하지 않게 되어 있지만, 상기 중간 컨베이어(19)를 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 설치하여 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)나 상기 중간 부재(41)가 연장되었을 때, 상기 중간 컨베이어(19)도 동시에 이동하도록 해도 된다.

상기 반입 후, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)나 상기 중간 부재(41)를 인입시키는 동시에, 상기 카세트 측 컨베이어(3)의 롤러(27)가 상기 카세트 CS에 탑재되어 있는 다음의 기판(상기 카세트 CS가 탑재하고 있는 기판 W 중 가장 아래쪽에 존재하고 있는 기판 W)에 접촉되기까지, 상기 카세트 CS를 하강시키고, 상기 다음의 기판 W의 반출을 행한다.

상기 프로세스 장치로부터 상기 카세트 CS에 기판 W를 반송하는 경우에는, 상기 동작과 역의 동작으로 기판 W의 반송을 행한다.

기판 반송 장치(1)에 의하면, 카세트 측 컨베이어(3)를 사용하여 카세트 CS로부터 기판 W를 반출하거나 또는 카세트 CS에 기판 W를 반입하므로, 이 반출입 시에 기판 W를 상하 방향으로 이동시킬 필요가 없고, 또, 이송탑재 핸드를 기판의 사이에 삽입할 필요가 없고, 따라서, 와이어 카세트 CS 내에 적층되어 있는 각 기판 W 간의 간격(상하 방향의 간격)을 작게 할 수 있어, 상기 카세트 CS에 있어서의 기판의 수납 효율을 높일 수 있다.

또, 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)를 사용하여 프로세스 장치에 기판 W를 반입하거나 또는 프로세스 장치로부터 기판 W를 반출하므로, 프로세스 장치 측의 요구에 답할 수 있어, 상기 프로세스 장치에 별도의 다관절 로봇 등을 설치할 필요가 없기 때문에, 기판 반송 장치(1)의 구성을 간소화할 수 있는 동시에, 설치 면적을 작게 할 수 있다.

또한, 카세트 측 컨베이어(3), 프로세스 측 이송탑재 핸드(5) 및 기판 받아건넴 수단(7)에 의한 기판 W의 이동(반송)이, 기판 W의 자세를 바꾸는 회전이동을 수반하지 않는 평행이동하도록만 되어 있으므로, 기판 W를 회전(선회)시키기 위한 스페이스가 불필요하게 되어, 기판 반송 장치(1)의 설치 면적을 작게 할 수 있다.

보다 상세하게 설명하면, 직사각형의 기판 W를 이 중심(중심을 통하여 Z축 방향으로 연장된 축)을 선회 중심으로 하여 선회시키면, 이 선회에 필요한 스페이스는, 적어도 기판 W의 대각선을 직경으로 하는 원의 분만큼 필요해진다. 또한, 선회 중심을 기판 W의 중심으로부터 어긋나게 하면, 선회에 필요한 스페이스는 한층 커지는 동시에, 선회에 의해 생기는 각 가속도(접선 가속도)나 향심(向心) 가속도(법선 가속도)에 의해, 기판 W의 위치가 어긋날 우려가 생긴다.

이에 대하여 평행 이동하는 것만으로 기판 W를 이동시키도록 하면, 기판 W를 선회할 때 필요한 것과 같은 스페이스는 불필요하게 되고, 따라서, 기판 반송 장치(1)의 설치 면적을 작게 할 수 있다. 또한, 선회에 의해 기판 W가 위치 어긋날 우려를 회피할 수 있다.

전술한 바와 같이, 기판 반송 장치(1)의 설치 면적을 작게 할 수 있으면, 기판 반송 장치(1)를 클린룸 내에서 사용할 때, 고가의 설비인 클린룸 그 자체의 크기를 작게 할 수 있다. 또, 기판 W를 선회할 필요가 없기 때문에, 전술한 바와 같이 기판 W를 선회시키기 위한 기구가 불필요하게 된다.

그런데, 큰 기판 W를 선회시키는 기구는, 일반적으로는, 기어 등으로 구성된 감속기를 통하여 모터 등의 액츄에이터에 의해 기판을 탑재하고 있는 탑재대를 선회시키도록 구성되어 있다. 이 구성에서는 기어의 백래시가 존재하므로, 상기 탑재대를 정확하게 인덱스 위치결정하기 위해 위치 결정핀 등을 사용한 위치 결정 기 구가 필요해지고, 기판 반송 장치의 구성이 복잡하게 된다. 또한, 기판 W의 선회에 의한 기판 W의 위치 어긋남이나 상기 위치결정핀에서의 탑재대의 위치 결정 시에 발생하는 쇼크에 의한 기판 W의 위치 어긋남을 방지하기 위하여, 상기 탑재대나 상기 위치결정핀을 천천히 작동시킬 필요가 생겨, 기판 W의 반송 효율이 저하된다.

본 발명에 관한 기판 반송 장치(1)는, 기판 W의 선회 기구가 불필요하므로 구성이 간단하게 되고, 또, 기판 W를 선회시키지 않으므로, 기판 선회시에 있어서의 기판 W의 어긋남이 없어져, 기판 W의 반송 속도를 빠르게 할 수 있어, 기판 W의 반송 효율을 높일 수 있다.

또, 기판 반송 장치(1)에 의하면, 기판 W를 반출하거나 또는 반입할 때, 롤러(26)와 롤러(27A)에 의해 기판 W를 상하 방향으로부터 끼워넣어 이동하도록 구성되어 있으므로, 기판 W에 큰 힘을 가하여 반송해도(기판 W에 가해지는 가속도(마이너스의 가속도를 포함함)가 커도) 기판 W와 카세트 측 컨베이어(3) 사이에 미끄럼이 발생할 우려를 억제할 수 있어, 기판 W를 빠르게 반송할 수 있다.

또, 기판 반송 장치(1)에 의하면, 기판 받아건넴 수단(7)이, 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 컨베이어(9)를 구비하고 있는 동시에, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 형성되어 있는 각 노치(11)를, 상기 받아건넴용 컨베이어(9)에 있어서의 기판 W를 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5) 사이에서 기판 W를 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있으므로, 간소한 구성으로 또한 상하 방향으로 이동하는 것만으로 기판 W를 받아건넬 수 있어 기판 W에 상처가 날 우려를 회피할 수 있다.

또, 기판 반송 장치(1)에 의하면, 중간 컨베이어(19)가 설치되어 있으므로, 이 중간 컨베이어(19)를 사용하여 기판 W를 지지하면서, 상기 카세트 측 컨베이어(3)와 상기 받아건넴용 컨베이어(9) 사이에서 기판 W를 받아건네는 것이 가능하게 되어 있어, 확실하게 기판 W을 받아건넬 수 있다.

그리고, 이미 이해할 수 있는 바와 같이, 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 있어서의 노치(11)가 형성되어 있지 않은 노치 비형성 부위는, 서로 간격을 두고 설치되어 있는 각 탑재 부위(노치(11)가 형성되어 있는 부위)를 일체적으로 연결하기 위해서 필요 불가결하다.

한편, 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 있어서의 상기 노치 비형성 부위에서는, 받아건넴 수단(7)을 구성하고 있는 각 롤러(47)가 통과할 수 있으므로, 상기 절결 비형성 부위에는, 받아건넴 수단(7)이 설치되어 있지 않은 것으로 된다.

따라서, 만약, 중간 컨베이어(19)가 설치되어 있지 않은 것으로 하면, 카세트 CS와 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)의 탑재 부위 사이에 존재하고 하고 있는 상기 노치 비형성 부위에는, 카세트 CS와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5) 사이를 이동하는 기판 W를 하방으로부터 지지하는 수단이 설치되어 있지 않은 것으로 되어, 반송되는 기판 W가 중력에 의해 휨 등, 기판이 스무스하게 반송되지 않을 우려가 있다.

그러나, 기판 반송 장치(1)에서는, 중간 컨베이어(19)가 설치되어 있으므로, 상기 노치 비형성 부위에 있어서도, 기판 W를 하방으로부터 지지할 수 있고, 기판 반송시에 있어서의 중력에 의한 기판 W의 휨을 회피할 수 있어, 기판 W를 스무스하 게 반송할 수 있다.

또, 기판 반송 장치(1)에 의하면, 카세트 측 컨베이어(3)에 의한 기판 W의 반출입 방향(X축 방향)과 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 의한 기판 W의 반출입 방향(X축 방향)이 서로 일치하고 있는 동시에, 기판 W를 Y축 방향으로 이동시켜 위치 결정 가능한 기판 이동 위치 결정 수단(30)을 구비하고 있으므로, 기판 반송 장치(1)전체의 구성이 한층 간단하게 되어 있는 동시에, 카세트 CS와 프로세스 장치와 Y축 방향에 있어서 어긋난 위치에 존재하고 있어도, 카세트 CS와 프로세스 장치 사이에서 기판을 반송할 수 있다.

또, 기판 반송 장치(1)를 사이로 하여, X축 방향의 일단부 측에서 Y축 방향으로 배열된 복수개의 카세트 CS와 X축 방향의 타단부 측에서 Y축 방향으로 배열된 복수개의 프로세스 장치 사이에서, 기판 W를 반송할 수 있다.

그런데, 도 8(프로세스 측 이송탑재 핸드(5)를 복수개 설치한 상태를 나타낸 도면)에 나타낸 바와 같이, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)가, 상하 방향으로 나란히 복수개(예를 들면, 2개) 설치되어 있어도 된다.

이와 같이 구성된 기판 반송 장치에, 프로세스 장치로부터의 기판 W의 반출, 프로세스 장치로의 기판 W의 반입을 단시간에 행할 수 있다.

예를 들면, 아래쪽에 존재하고 있는 프로세스 측 이송탑재 핸드(5B)에, 처리되지 않은 기판 W를 탑재한 상태에서, 상기 각 프로세스 측 이송탑재 핸드(5A, 5B)를 프로세스 장치까지 이동시키고, 상기 프로세스 장치에 의해 처리된 기판 W를 위쪽에 존재하고 있는 프로세스 측 이송탑재 핸드(5A)에 탑재시킨 후, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5B)가 탑재하고 있는 기판을 상기 프로세스 장치에 반입하고, 이 반입 후, 상기 각 프로세스 측 이송탑재 핸드(5A, 5B)를 상기 프로세스 장치로부터 떼어 놓도록 하면, 프로세스 장치로부터의 기판 W의 반출, 프로세스 장치로의 기판 W의 반입을 단시간에 행할 수 있는 것이다.

그리고, 상기 제1 실시예에 있어서, 도 9(기판 반송 장치의 변형예를 나타낸 평면도)에 나타낸 바와 같이, 상기 각 컨베이어(3, 9, 19)에 의한 상기 기판 W의 반송 방향(X축 방향)에 대하여, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)에 의한 상기 기판 W의 반송 방향(Y축 방향)을 바꾸어도 된다.

[제2 실시예]

도 10, 도 11~도 16은, 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 반송 장치(101)의 개략 구성을 나타낸 사시도이며, 도 11은, 도 13에 있어서의 ⅩⅠ에서 본 것을 나타낸 도면이며, 도 12는, 도 10에 있어서의 ⅩⅡ에서 본 것을 나타낸 도면이다.

제2 실시예에 관한 기판 반송 장치(101)는, 컨베이어 대신에 이송탑재 핸드를 사용하여, 카세트로부터 기판을 반출하거나 또는 카세트로 기판을 반입하고, 또, 받아건넴용 컨베이어, 중간 컨베이어가 에어 플로트로 구성되어 있는 점을 제외하고는, 상기 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)과 대략 마찬가지로 구성되고, 대략 마찬가지의 효과를 상주하는 동시에, 기판이 컨베이어에 접하지 않기 때문에, 기판의 클린도 등을 한층 높일 수 있는 것이다.

상세하게 설명하면, 기판 반송 장치(101)는, 카세트 측 이송탑재 핸드(102)를 구비하고 있다. 이 카세트 측 이송탑재 핸드(102)는, 기판 W를 수평으로 하여 다단으로 수납할 수 있는 카세트로부터, 상기 기판 W의 단면 또는 단면 근방을 지지하여, 상기 기판 W를(도 14에 나타낸 위치; 제1 소정의 위치 PS1)까지 반출 가능하도록 구성되어 있다.

또, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드(102)는, 상기 기판 W의 단면 또는 단면 근방을 지지하여 도 14에 나타낸 위치 PS1에 존재하고 있는 상기 기판 W를 상기 카세트로 반입 가능하도록 구성되어 있다.

상기 카세트 측 이송탑재 핸드(102)는, L자형의 이동 부재(106)를 구비하고 있다. 이 이동 부재(106)는, 기판 W의 반출입 방향(X축 방향)으로 길게 연장되어 있는 동시에, 슬라이드 베이스(베이스 부재)에 대하여 기판 W의 반출입 방향으로 이동 위치를 결정할 수 있도록 되어 있다. 이 슬라이드 베이스는, 기판 W의 반출입 방향(X축 방향)으로 길게 연장되어 있는 동시에, 베이스 부재(104)와 일체적으로 설치되어 있다.

그리고, 상기 베이스 부재(104)는, 상기 받아건넴용 컨베이어 베이스 부재(43)와 마찬가지로, X축 방향, Y축 방향으로 이동하여 위치 결정 가능하게 되어 있다.

상기 이동 부재(106)에는, 상기 기판 W를 지지하기 위한 지지 부재(108)가 설치되어 있다. 이 지지 부재(108)는, 상기 이동 부재(106)에 대하여 X축 방향으로 이동하여 위치 결정 가능하게 되어 있다.

이와 같이 구성되어 있는 것에 의해, 지지 부재(108)의 베이스 부재(104)에 대한 이동 스트로크를 크게 해도, 기판 반송 장치(101)의 X축 방향의 길이를 짧게 할 수 있어, 설치 면적의 증대를 매우 회피할 수 있다.

상기 지지 부재(108)는, 예를 들면, 흡착반(110)을 구비하고 있고, 도 11에 나타낸 바와 같이, 기판 W의 단면 근방의 하면을 흡착함으로써, 상기 기판 W를 지지할 수 있도록 되어 있다. 상기 흡착반(110)에 대신하여, 상기 기판 W의 단면 근방을 끼워넣어 상기 기판 W를 지지하도록 해도 된다.

그리고, 기판 W를 안정적으로 반송(이송)하기 위하여, 상기 이동 부재(106), 상기 지지 부재(108) 등은, Y축 방향으로 이격되어, 복수개(예를 들면, 2개) 설치되어 있다.

또, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드(102)에 의해 반출 또는 반입되는 상기 기판 W의 중량을 상기 카세트의 하부 측에서 지지하기 위한 카세트 측 에어 플로트 수단(도시하지 않음)이 설치되어 있다.

상기 카세트 측 에어 플로트 수단은, 예를 들면, 통기성을 구비한 세라믹스로 형성된 지지 부재를 구비하고 있고, 압축 공기 공급 수단에 의해 공급된 압축 공기가, 상기 지지 부재로부터 분출하여, 상기 기판 W와는 비접촉의 상태로 상기 기판 W의 중량을 지지할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 통기성의 세라믹스에 대신하여, 통기성의 소결(燒結) 금속 등으로 상기 지지 부재를 구성해도 된다. 또, 통기성을 구비하고 있지 않은 재질로 충전되어 있는 금속 등의 부재를 사용하고, 이 금속 등의 부재에 복수개의 구멍을 설치하고, 이들 구멍으로부터 압축 공기를 분출하게 하여 상기 기판 W를 지지하도록 해도 된다.

또, 기판 반송 장치(101)는, 상기 제1 소정의 위치의 아래에 위치하고 있는 제2 소정의 위치(도 15에 나타낸 위치 PS3)에 존재하고 있는 상기 기판 W를, 상기 기판 W에 가공을 행하는 프로세스 장치에 의해 공급 가능한, 또는 상기 프로세스 장치로부터 상기 기판 W를 상기 제2 소정의 위치로 반출 가능한 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)(상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)와 마찬가지로 구성되어 있는 이송탑재 핸드)를 구비하고 있다.

상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)는, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(5)와 마찬가지로, 중간 부재(115)(도 16 참조)를 통하여 이송탑재 핸드 지지 부재(114)(상기 이송탑재 핸드 지지 부재(39)와 마찬가지로, Y축, Z축 방향으로 이동 위치를 결정할 수 있는 이송탑재 핸드 지지 부재)에 설치되어 있고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)는, 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(114)대하여 X축 방향으로 돌출되어 이동 가능하도록 되어 있다.

또한, 기판 반송 장치(101)는, 상기 제1 소정의 위치와 상기 제2 소정의 위치와 사이에서 상기 기판 W를 받아건네는 것이 가능한 기판 받아건넴 수단(116)을 구비하고 있다.

상기 받아건넴 수단(116)은, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드(102)와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 에어 플로트 수단(118)을 구비하고 있고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)에 설치되어 있는 각 노치를, 상기 받아건넴용 에어 플로트 수단(118)의 상기 기판 W를 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 제1 소정의 위치와 상기 제2 소 정의 위치 사이에서 상기 기판 W를 받아건네는 것이 가능하도록 되어 있다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 받아건넴용 에어 플로트 수단(118)은, 지지 부재(120)를 구비하고 있고, 이 지지 부재(120)가, 상기 베이스 부재(104)의 윗쪽에서 X축 방향으로 뻗어 Y축 방향으로 간격을 두고 상기 베이스 부재(104)에 일체로 복수개 설치되어 있다.

상기 지지 부재(120)는, 상기 카세트 측 에어 플로트 수단의 지지부재와 마찬가지로 구성되어 있고, 에어를 분출하여 기판 W를 지지할 수 있도록 되어 있다.

또, 상기 제1 소정의 위치와 상기 카세트 사이에는, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드(102)에 의해 반송되고 있는 기판 W를 지지하기 위한 중간 에어 플로트 수단(122)이 설치되어 있다.

상기 중간 에어 플로트 수단(122)은, 지지 부재(124)를 구비하고 있고, 이 지지 부재(124)는, 상기 카세트 측에서 있어 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(114)의 내측에, Y축 방향으로 간격을 두고 상기 베이스 부재(104)와 일체로 복수개 설치되어 있다.

그리고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)나 상기 지지 부재(124)와의 간섭을 피하기 위하여, 상기 이동 부재(106)는, Y축 방향에 있어서, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)나 상기 지지 부재(124) 사이에 설치되어 있다.

여기서, 기판 반송 장치(101)의 동작에 대하여 설명한다.

도 10은, 초기 상태를 나타내고 있다. 이 초기 상태에서는, 상기 카세트의 가장 아래쪽에 위치하고 있는 기판 W의 하면과, 상기 흡착반(110)의 상단과, 상기 지지 부재(124)의 상면과, 상기 지지 부재(120)의 상면이 대략 같은 높이로 되어 있고, 또 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)의 상면은, 상기 각 지지 부재(120, 124)의 상면보다 아래쪽에 위치하고 있다. 또한, 상기 이동 부재(106)는, 카세트 측으로는 돌출되어 있지 않고, 평면에서 볼 때에 있어서 상기 베이스 부재(104)의 내측에 들어가 있다.

상기 초기 상태에 있어서, 상기 이동 부재(106)가 카세트 측으로 연장되는 동시에, 상기 지지 부재(108)도 카세트 측으로 이동하여, 상기 흡착반(110)으로, 상기 가장 아래쪽의 기판 W의 단면 근방의 하부를 흡착하여, 상기 기판 W를 지지한다(도 11, 도 13 참조)

이어서, 상기 각 지지 부재(120, 124)에서의 에어 플로트를 온하는 동시에, 상기 이동 부재(106)나 상기 지지 부재(108)를 상기 카세트로부터 이격되는 방향으로 이동시킴으로써, 상기 각 지지 부재(120, 124)에 의해 에어 부상하여 상기 기판 W의 중량을 지지하면서, 상기 기판 W를 제1 소정의 위치 PS1까지 반송한다(도 14 참조).

다음에, 상기 베이스 부재(104)를 하방향으로 이동시키면, 이 이동에 따라 상기 지지 부재(120)에 의해 지지하고 있는 기판 W도 아래쪽으로 이동하고, 이 이동의 도중에 상기 기판 W는, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)에 탑재되고, 이 탑재된 위치가 상기 제2 소정의 위치 PS3가 된다(도 15 참조).

상기 기판 W가 PS3의 위치에 존재한 상태에서, 각 지지 부재(120, 124)의 에어 플로트가 오프된다.

이어서, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)를 프로세스 장치 측으로 뻗어 기판 W를 상기 프로세스 장치에 반입하고(도 16 참조), 이 반입 후, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)를 인입하고, 상기 베이스 부재(104), 상기 이송탑재 핸드 지지 부재(114)의 높이 등을 적당히 조절하고, 상기 초기 상태로 되돌아온다.

상기 각 동작을 반복하고, 기판 W가 1개씩 상기 카세트로부터 상기 프로세스 장치에 반입된다.

그리고, 상기 프로세스 장치로부터 상기 카세트에 기판을 이송하는 경우에는, 상기 동작과 역의 동작을 행하게 된다.

또, 이미 이해할 수 있는 바와 같이, 상기 제1 실시예와 마찬가지로, 상기 각 이송탑재 핸드(102, 112)에 의한 상기 기판 W의 반송 방향은, 서로 일치하고 있다.

기판 반송 장치(101)에 의하면, 카세트 측 이송탑재 핸드(102)를 사용하여 카세트로부터 기판 W를 반출하거나 또는 카세트에 기판 W를 반입하므로, 이 반출입 시에 기판 W를 상하 방향으로 이동시킬 필요가 없고, 카세트 측 이송탑재 핸드(102)에 의해 기판 W의 단부를 지지하여 기판을 반출입하므로, 이 반출입 시에 기판 W를 상하 방향으로 이동시킬 필요가 없고, 또 카세트 측 이송탑재 핸드(102)를 기판 W의 사이에 깊게 삽입할 필요가 없다. 따라서, 카세트 내에 적층되어 있는 각 기판 W 사이의 간격(상하 방향의 간격)을 작게 할 수 있어, 상기 카세트에 있어서의 기판의 수납 효율을 높일 수 있다.

또한, 카세트로부터 기판 W를 반출하거나 또는 카세트로 기판 W를 반입할 때, 상기 기판 W의 단부를 지지하여 반출입을 행하므로, 상기 기판 W의 중앙부에 상처가 나거나 상기 기판 W가 오염될 우려를 한층 회피할 수 있다. 또, 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)를 사용하여 프로세스 장치에 기판 W를 반입하거나 또는 프로세스 장치로부터 기판 W를 반출하므로, 프로세스 장치 측의 요구에 답할 수 있어 상기 프로세스 장치에 별도의 다관절 로봇 등을 설치할 필요가 없기 때문에, 기판 반송 장치(101)의 구성을 간소화할 수 있는 동시에, 설치 면적을 작게 할 수 있다.

또, 카세트 측 컨베이어, 프로세스 측 이송탑재 핸드 및 상기 기판 받아건넴 수단에 의한 기판 W의 이동은, 기판 W의 자세를 바꾸는 회전이동을 수반하지 않는 평행이동하도록만 되어 있으므로, 기판 W를 회전(선회)시키기 위한 스페이스가 불필요하게 되어, 기판 반송 장치(101)의 설치 면적을 작게 할 수 있다.

그런데, 상기 제1 실시예와 마찬가지로, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드(112)를 상하 방향으로 배열하여 복수개 설치해도 된다.

또한, 상기 각 에어 플로트 수단에 대신하여, 초음파를 사용하여 기판 W를 부상시키는 초음파 플로트 수단을 채용해도 된다.

상기 초음파 플로트 수단은, 기판 지지 부재를 초음파 진동자로 진동시킴으로써, 기판 W와 상기 기판 지지부재 사이에 형성되는 얇은 공기막에 의해, 기판 W의 중량을 지지하도록 되어 있다.

예를 들어 상세하게 설명하면, 상기 초음파 플로트 수단은, 초음파 발생 소자(예를 들면, 피에조 소자)를 구비하고 있다.

상기 초음파 발생 소자의 위쪽에는, 이 초음파 발생 소자가 발생하는 진동을 증폭시키기 위한 혼이 설치되어 있다. 상기 기판 지지 부재가, 연결 부재를 통하여, 상기 혼의 상부에 설치되어 있다.

그리고, 상기 초음파 발생 소자가 발생한 진동이 상기 기판 지지 부재까지 전달되고, 이 기판 지지 부재가 상기 기판 W의 두께 방향으로 주로 진동함으로써, 기판 W와 상기 기판 지지부재 사이에, 공기를 매체로 한 방사압(공기의 조밀파에 의한 방사압)이 발생하고, 이 방사압에 의해, 상기 기판 W와 상기 기판 지지부재와의 사이에 얇은 공기막이 생성되고, 상기 기판 지지 부재로 상기 기판 W의 중량을 지지할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 일본국 특허 출원 제2005-162225호(2005년 6월 2일 출원)의 모든 내용이, 참조에 의해, 본원 명세서에 포함되어 있다.

또, 본 발명은 전술한 발명 실시예에 한정되지 않고, 적당한 변경을 행함으로써, 그 외의 태양으로 실시할 수 있는 것이다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 기판을 수납할 수 있는 카세트와 기판에 처리를 행하는 프로세스 장치 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 상기 카세트에 있어서의 기판의 수납 효율을 높일 수 있고, 구성이 간단한 동시에, 설치 면적을 작게 할 수 있는 기판 반송 장치를 제공할 수 있다.

Claims

기판을 수평으로 하여 다단(多段)으로 수납할 수 있는 카세트로부터 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 반출(搬出) 가능한, 또는 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 카세트로 반입(搬入) 가능한 카세트 측 컨베이어와,

상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 기판에 가공을 행하는 프로세스 장치에 공급 가능한, 또는 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 프로세스 장치로부터 반출 가능한 프로세스 측 이송탑재 핸드(transfer hand)와,

상기 기판을 상기 카세트 측 컨베이어와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 받아건네는 것이 가능한 기판 받아건넴(delivery) 수단

을 구비하고,

상기 카세트 측 컨베이어, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 및 상기 기판 받아건넴 수단은, 상기 기판의 자세를 바꾸지 않고 상기 기판을 이동시키도록 구성되어 있는 기판 반송 장치로서,

상기 기판 받아건넴 수단은,

상기 카세트 측 컨베이어와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 컨베이어를 구비하고 있고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 형성되어 있는 각 노치 또는 각 관통공을, 상기 받아건넴용 컨베이어에 있어서의 상기 기판을 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 컨베이어와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있고,

또는, 상기 카세트 측 컨베이어와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 에어 플로트(float) 수단 또는 받아건넴용 초음파 플로트 수단을 구비하고 있고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 형성되어 있는 각 노치 또는 각 관통공을, 상기 받아건넴용 에어 플로트 수단 또는 상기 받아건넴용 초음파 플로트 수단에 있어서의 상기 기판을 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 컨베이어와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건넬 수 있도록 구성되어 있는, 기판 반송 장치.
기판을 수평으로 하여 다단으로 수납할 수 있는 카세트로부터, 상기 기판의 단면(端面) 또는 단면 근방을 지지하고 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 반출 가능한, 또는 상기 기판의 단면 또는 단면 근방을 지지하고 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 카세트로 반입 가능한 카세트 측 이송탑재 핸드와,

상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 기판에 가공을 행하는 프로세스 장치로 공급 가능한, 또는 상기 기판을 수평 방향으로 이동시켜 상기 프로세스 장치로부터 반출 가능한 프로세스 측 이송탑재 핸드와,

상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건네는 것이 가능한 기판 받아건넴 수단

을 구비하고,

상기 카세트 측 이송탑재 핸드, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 및 상기 기판 받아건넴 수단은, 상기 기판의 자세를 바꾸지 않고 상기 기판을 이동시키도록 구성되어 있는 기판 반송 장치로서,

상기 기판 받아건넴 수단은,

상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 컨베이어를 구비하고 있고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 형성되어 있는 각 노치 또는 각 관통공을, 상기 받아건넴용 컨베이어에 있어서의 상기 기판을 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건네는 것이 가능하도록 구성되어 있고,

또는, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동 가능한 받아건넴용 에어 플로트(float) 수단 또는 받아건넴용 초음파 플로트 수단을 구비하고 있고, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 형성되어 있는 각 노치 또는 각 관통공을, 상기 받아건넴용 에어 플로트 수단 또는 상기 받아건넴용 초음파 플로트 수단에 있어서의 상기 기판을 탑재하는 부위가 통과함으로써, 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이에서 상기 기판을 받아건넬 수 있도록 구성되어 있는, 기판 반송 장치.
삭제
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향과 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향은 서로 일치하고 있고,

상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드에 의해 상기 카세트로부터 반출된 기판을, 또는 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 의해 프로세스 장치로부터 반출된 기판을, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드, 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드에 의한 기판의 반출입 방향에 대하여 교차하는 수평 방향으로 이동시킬 위치를 결정할 수 있는 기판 이동 위치 결정 수단을 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
삭제
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 프로세스 측 이송탑재 핸드의 기단부(基端部) 측에는, 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이를 수평 방향으로 이동하는 상기 기판의 중량을 지지하기 위한 중간 컨베이어, 또는 상기 카세트 측 컨베이어 또는 상기 카세트 측 이송탑재 핸드와 상기 프로세스 측 이송탑재 핸드 사이를 수평 방향으로 이동하는 기판의 중량을 지지하기 위한 중간 에어 플로트 수단 또는 중간 초음파 플로트 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 프로세스 측 이송탑재 핸드는 상하 방향으로 나란히 복수개 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.