TWI422521B - 玻璃基板傳送裝置 - Google Patents
玻璃基板傳送裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI422521B TWI422521B TW100106977A TW100106977A TWI422521B TW I422521 B TWI422521 B TW I422521B TW 100106977 A TW100106977 A TW 100106977A TW 100106977 A TW100106977 A TW 100106977A TW I422521 B TWI422521 B TW I422521B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- bearing surface
- rollers
- glass substrate
- connecting rod
- carrier
- Prior art date
Links
Description
本發明係一種傳送裝置,特別是一種用於玻璃基板的傳送裝置。
近年來,桌上型電腦與筆記型電腦的顯示器已由傳統陰極射線管螢幕逐漸地被液晶顯示器取代。簡單來說,液晶顯示器的結構即是在兩塊玻璃基板間填入液晶。然而,為了讓液晶顯示器於成像時不會因玻璃基板表面的髒物而形成黑影或暗點,玻璃基板與液晶接觸的一側在製作過程中必需保持乾淨。因此,在玻璃基板的搬運過程中,製造商會避免傳送裝置碰觸到玻璃基板與液晶接觸的一側,以免污染到玻璃基板與液晶接觸的一側。如果製造商於製造過程中發現受污染的玻璃基板,製造商則需額外花時間清洗受污染的玻璃基板,或是重新製造玻璃基板。如果製造商於製造過程中未發現玻璃基板的污染處,則會導致使用受污染之玻璃基板的液晶顯示器產成黑影或暗點。
一般而言,玻璃基板的搬運過程包括利用固定裝置固定玻璃基板與利用傳送裝置移動玻璃基板兩個部份。因此,習知技術中製造玻璃基板的生產機器需增設固定裝置與傳送裝置兩個裝置。如此一來,必需增加擺放固定裝置與傳送裝置的空間。然而,因生產機器佔據廠房的面積
增加,廠房所能擺放生產機器的數量就會減少,進而使製造商所能生產玻璃基板的速率下降並導致製造商的競爭力降低。
另一方面,製造商在搬運玻璃基板的過程中需分別操作固定裝置與傳送裝置,而固定裝置與傳送裝置皆需耗費時間移動至所需擷取之玻璃基板的位置。如此一來,將會額外耗費生產玻璃基板的時間。
鑒於以上的問題,本發明是關於一種玻璃基板傳送裝置,藉以解決先前技術所存在生產機器佔據廠房空間及耗費生產時間的問題。
依據本發明所揭露之玻璃基板傳送裝置,其包括一承載件、多個基板吸取單元、多個滾輪及一伸縮單元。其中,承載件具有一承載面、一底面及多個自承載面延伸至底面的貫穿孔。這些基板吸取單元配置於承載面上,每一基板吸取單元具有一吸氣口,這些吸氣口與承載面均面向承載件的同一側。這些滾輪分別自底面插入這些貫穿孔而處於一第一位置,其中位於第一位置之這些滾輪係凸出於承載面,並且每一滾輪凸出於承載面的高度大於每一吸氣口與承載面之間的距離,並且這些滾輪之轉動軸均朝向同一方向。伸縮單元,將承載件連接於這些滾輪,伸縮單元經由長度的伸展而驅動這些滾輪相對於承載件移動,以使這些滾輪移動至一第二位置,其中位於第二位置的這些滾輪之凸出於承載面的高度小於每一吸氣口與承載面之間的距離。
依據本發明所揭露之玻璃基板傳送裝置,其包括一承載件、多個滾輪、多個基板吸取單元及一伸縮單元。其中,承載件具有一承載面、一底面及多個自承載面延伸至底面的貫穿孔。這些滾輪配置於承載
面上,這些滾輪之轉動軸均朝向同一方向。這些基板吸取單元,每一基板吸取單元具有一吸氣口,這些吸氣口與承載面均面向承載件的同一側,這些基板吸取單元分別自底面貫穿這些貫穿孔而處於一第一位置,其中位於第一位置之這些基板吸取單元係凸出於承載面,並且每一吸氣口與承載面之間的距離大於每一滾輪凸出於承載面的高度。伸縮單元將承載件連接於這些基板吸取單元,伸縮單元經由長度的伸展而驅動這些基板吸取單元朝自承載面指向底面的方向移動,以使這些基板吸取單元移動至一第二位置,其中位於第二位置之每一基板吸取單元之吸氣口與承載面間的距離小於這些滾輪之凸出於承載面的高度。
依據上述本發明所揭露之玻璃基板傳送裝置,係利用伸縮單元使基板吸取單元與這些滾輪可以相對移動。當滾輪移動至超出基板吸取單元的高度時,則玻璃基板傳送裝置得以輸送玻璃基板。當滾輪移動至低於基板吸取單元的高度時,則玻璃基板傳送裝置得以吸住玻璃基板並移動玻璃基板。是以玻璃基板傳送裝置可利用伸縮單元的伸展空間而於固定玻璃基板與輸送玻璃基板兩功能間自由切換。
另外,本發明所揭露之玻璃基板傳送裝置係整合習知技術中固定裝置與輸送裝置。如此一來,玻璃基板傳送裝置具有兩個優點,其一是減少周邊裝置的數量,進而減少周邊裝置佔據廠房的空間。其二是解決傳送裝置與固定裝置需重覆花費時間移動至玻璃基板處的問題。
以上之關於本發明內容之說明及以下之實施方式之說明係用以示範與解釋本發明之原理,並且提供本發明之專利申請範圍更進一步之解釋。
100‧‧‧玻璃基板傳送裝置
110‧‧‧承載件
112‧‧‧承載面
114‧‧‧底面
116‧‧‧貫穿孔
120‧‧‧基板吸取單元
121‧‧‧頂面
122‧‧‧吸氣口
130‧‧‧滾輪
132‧‧‧轉動軸
140‧‧‧伸縮單元
142‧‧‧汽缸
144‧‧‧連桿
146‧‧‧座體
150‧‧‧驅動機構
152‧‧‧馬達
154‧‧‧皮帶
200‧‧‧玻璃基板
「第1A圖」為根據本發明所揭露一實施例之玻璃基板傳送裝置承載玻璃基板的立體示意圖。
「第1B圖」為「第1A圖」的側面示意圖。
「第2圖」為「第1A圖」的分解示意圖。
「第3A圖」為「第1A圖」之滾輪插入貫穿孔的立體示意圖。
「第3B圖」為「第3A圖」的側面示意圖。
「第4A圖」為本發明所揭露又一實施例之玻璃傳送裝置的立體示意圖。
「第4B圖」為「第4A圖」的分解示意圖。
「第5A圖」為「第4A圖」之伸縮單元升起座體的側面示意圖。
「第5B圖」為「第4A圖」之伸縮單元降下座體的側面示意圖。
「第6圖」為根據本發明所揭露另一實施例之玻璃基板傳送裝置的立體示意圖。
「第7圖」為根據本發明所揭露再一實施例之玻璃基板傳送裝置的立體示意圖。
請參閱「第1A圖」至「第2圖」,「第1A圖」為根據本發明所揭露一實施例之玻璃基板傳送裝置承載玻璃基板的立體示意圖,「第1B圖」為「第1A圖」的側面示意圖,「第2圖」為「第1A圖」的分解示意圖。
本發明一實施例之玻璃基板傳送裝置100,其包括承載件110、基板吸取單元120、伸縮單元140、滾輪130及驅動機構150。其中,
承載件110具有承載面112、底面114及多個自承載面112延伸至底面114的貫穿孔116。貫穿孔116的形狀約呈長條狀,且貫穿孔116之尺寸的大小足以容納滾輪130並使滾輪130超出承載面112。然而,承載面112與底面114的形狀約略呈英文字母之「E」字形,但不以此為限,熟知此技術者可依實際需求設計任何形狀,例如:長方形或圓形等。
這些基板吸取單元120配置於承載面112上,每一基板吸取單元120具有頂面121及位於頂面121的吸氣口122,這些吸氣口122與承載面112均面向承載件110的同一側。換句話說,吸氣口122與承載面112均是面向箭頭a所指之方向。其中基板吸取單元120豎立於承載面112上,並且基板吸取單元120的頂面121與承載面112間具有距離d1。
請繼續參閱「第2圖」,在本實施例中,伸縮單元140包括連桿144及分別設置於連桿144兩端的汽缸142與座體146。其中,汽缸142是如「第2圖」所示設置於承載件110上,且連桿144藉由伸出或埋入汽缸142調整裸露於汽缸142外的長度並驅動座體146靠近或遠離承載件110。
請參閱「第1A圖」這些滾輪130係設置於座體146上,且這些滾輪130之轉動軸132均朝向同一方向。這些滾輪130係經由驅動機構150驅動而轉動。其中驅動機構150包括馬達152及由馬達152驅動的皮帶154,這些滾輪130之至少其中之一連接皮帶154,以便於帶動滾輪130轉動。
以下將敘述玻璃基板傳送裝置100的作動方式,請同時參閱「第1A圖」、「第1B圖」、「第3A圖」及「第3B圖」,「第3A圖」為「第1A圖」之滾輪插入貫穿孔的立體示意圖,「第3B圖」為「第3A圖」的側面示意圖。首先,如「第1A圖」及「第1B圖」所示,這些滾輪130未超
出基板吸取單元120的頂面121。換句話說,這些滾輪130係未超出承載面112或是這些滾輪130超出承載面112的高度小於基板吸取單元120之頂面121與承載面112間的距離d1。於此一狀態,滾輪130位於第二位置,並由基板吸取單元120與玻璃基板200接觸,以便於玻璃基板傳送裝置100移動玻璃基板200。當玻璃基板傳送裝置100移動玻璃基板200至預定位置時,本實施例得以利用伸縮單元140經由長度的伸展而驅動這些滾輪130朝向玻璃基板200的方向移動,以使這些滾輪130自第二位置移動至第一位置,於此一狀態,這些滾輪130係分別自底面114插入這些貫穿孔116,並且每一滾輪130超出於承載面112的高度h1大於基板吸取單元120之頂面121與承載面112間的距離d1。此時,玻璃基板傳送裝置100可藉由驅動機構150驅動這些滾輪130,並使玻璃基板200相對玻璃基板傳送裝置100移動並輸送至預定位置。
當然這些滾輪130也可以設置於承載面112,而基板吸取單元120設置於座體146,以下將以又一實施例來敘述。請參閱「第4A圖」及「第4B圖」所示,「第4A圖」為本發明所揭露又一實施例之玻璃傳送裝置的立體示意圖,「第4B圖」為「第4A圖」的分解示意圖。本實施例之玻璃基板傳送裝置100包括承載件110、基板吸取單元120、伸縮單元140、滾輪130及驅動機構150。由於伸縮單元140及驅動機構150的結構皆與上述實施例相同,故在此僅說明與上述實施例差異之處。
承載件110具有承載面112、底面114及多個自承載面112延伸至底面114的貫穿孔116。此時,貫穿孔116的形狀可呈現與基板吸取單元120之上視形狀相匹配的圓孔狀。另外,這些滾輪130配置於承載面
112上,且每一滾輪130的頂端與承載面間具有距離d2(請參照「第5B圖」)。以及,驅動機構150設置於承載件110上,使驅動機構150驅動這些滾輪130。
這些基板吸取單元120豎立於座體146,每一基板吸取單元120具有頂面121及位於頂面121的吸氣口122,這些吸氣口122面向承載件110。
以下將針對此實施例之玻璃基板傳送裝置100的作動原理進行說明。請參閱「第5A圖」與「第5B圖」所示,「第5A圖」為「第4A圖」之伸縮單元升起座體的側面示意圖,「第5B圖」為「第4A圖」之伸縮單元降下座體的側面示意圖。
首先,如「第5A圖」所示,這些滾輪130未超出基板吸取單元120的頂面121。換句話說,這些滾輪130之頂端與承載面112間的距離d2係小於基板吸取單元120超出於承載面112的高度h2,於此一狀態,這些基板吸取單元120分別自底面114貫穿這些貫穿孔116而處於第一位置,並且與玻璃基板200接觸,以便於玻璃基板傳送裝置100移動玻璃基板200。當玻璃基板傳送裝置100移動玻璃基板200於預定位置時,得以利用伸縮單元140經由長度的伸展而驅動這些基板吸取單元120背向玻璃基板200的方向移動,以使這些滾輪130自第一位置移動至第二位置(如「第5B圖」所示)。於此一狀態,這些基板吸取單元120超出承載面112的高度小於滾輪130之頂端與承載面112間的距離d2,使這些滾輪130接觸到玻璃基板200。此時,玻璃基板傳送裝置100可藉由驅動機構150驅動這些滾輪130,並將玻璃基板200輸送至預定位置。
然而,伸縮單元140中的汽缸142除了可設置於承載件110,也可設置於座體上,以下將由另一實施例進行解說。請參閱「第6圖」,「第6圖」為根據本發明所揭露另一實施例之玻璃基板傳送裝置的立體示意圖。本實施例之伸縮單元140包括連桿144及分別設置於連桿144兩端的汽缸142與座體146。其中,汽缸係如「第6圖」所示設置於座體146上,且連桿144藉由伸出或埋入汽缸142調整裸露於汽缸142外的長度並驅動座體146靠近或遠離承載件110。而「第2圖」與「第6圖」的差異在於汽缸142設於座體146時,連桿144的兩端分別連接汽缸142與承載件110。
然而,驅動機構150除了可設置於玻璃基板傳送裝置100內,也可設置於玻璃基板傳送裝置100外,以下將由再一實施例進行敘述。請參閱「第7圖」,「第7圖」為根據本發明所揭露再一實施例之玻璃基板傳送裝置的立體示意圖。本實施例之驅動機構150可以如「第3圖」所示的設置於玻璃基板傳送裝置100外,由玻璃基板傳送裝置100外部的驅動機構150驅動玻璃基板傳送裝置100的滾輪130以輸送玻璃基板200。
依據上述本發明所揭露之玻璃基板傳送裝置,係利用伸縮單元使基板吸取單元與這些滾輪可以相對移動。當滾輪移動至超出基板吸取單元的高度時,則玻璃基板傳送裝置得以輸送玻璃基板。當滾輪移動至低於基板吸取單元的高度時,則玻璃基板傳送裝置得以吸住玻璃基板並移動玻璃基板。是以玻璃基板傳送裝置可利用伸縮單元的伸展空間而於固定玻璃基板與輸送玻璃基板兩功能間自由切換。
另外,本發明所揭露之玻璃基板傳送裝置係整合習知技術中固定裝置與輸送裝置。如此一來,玻璃基板傳送裝置具有兩個優點,其
一是減少周邊裝置的數量,進而減少周邊裝置佔據廠房的空間。其二是節省傳送裝置與固定裝置需重覆花費時間移動至玻璃基板處的問題。
雖然本發明之實施例揭露如上所述,然並非用以限定本發明,任何熟習相關技藝者,在不脫離本發明之精神和範圍內,舉凡依本發明申請範圍所述之形狀、構造、特徵及數量當可做些許之變更,因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
100‧‧‧玻璃基板傳送裝置
110‧‧‧承載件
112‧‧‧承載面
114‧‧‧底面
116‧‧‧貫穿孔
120‧‧‧基板吸取單元
121‧‧‧頂面
122‧‧‧吸氣口
130‧‧‧滾輪
132‧‧‧轉動軸
140‧‧‧伸縮單元
142‧‧‧汽缸
144‧‧‧連桿
146‧‧‧座體
150‧‧‧驅動機構
152‧‧‧馬達
154‧‧‧皮帶
200‧‧‧玻璃基板
Claims (8)
- 一種玻璃基板傳送裝置,其包括:一承載件,具有一承載面、一底面以及多個自該承載面延伸至該底面的貫穿孔;多個基板吸取單元,配置於該承載面上,每一該基板吸取單元具有一吸氣口,該些吸氣口與該承載面均面向該承載件的同一側;多個滾輪,分別自該底面插入該些貫穿孔而處於一第一位置,其中位於該第一位置之該些滾輪係凸出於該承載面,並且每一該滾輪凸出於該承載面的高度大於每一該吸氣口與該承載面之間的距離,並且該些滾輪之轉動軸均朝向同一方向;及一伸縮單元,將該承載件連接於該些滾輪,該伸縮單元經由長度的伸展而驅動該些滾輪相對於該承載件移動,以使該些滾輪移動至一第二位置,其中位於該第二位置的該些滾輪之凸出於該承載面的高度小於每一該吸氣口與該承載面之間的距離,該伸縮單元包含:一座體,該些滾輪樞設於該座體;一汽缸,固定於該承載件;及一連桿,該連桿之一端與該汽缸連接,該連桿之另一端與該座體連接,該連桿受該汽缸的驅動而使該座體相對於該承載件移動,並且該些滾輪受該座體的 帶動而由該第一位置移動至該第二位置。
- 一種玻璃基板傳送裝置,其包括:一承載件,具有一承載面、一底面以及多個自該承載面延伸至該底面的貫穿孔;多個基板吸取單元,配置於該承載面上,每一該基板吸取單元具有一吸氣口,該些吸氣口與該承載面均面向該承載件的同一側;多個滾輪,分別自該底面插入該些貫穿孔而處於一第一位置,其中位於該第一位置之該些滾輪係凸出於該承載面,並且每一該滾輪凸出於該承載面的高度大於每一該吸氣口與該承載面之間的距離,並且該些滾輪之轉動軸均朝向同一方向;及一伸縮單元,將該承載件連接於該些滾輪,該伸縮單元經由長度的伸展而驅動該些滾輪相對於該承載件移動,以使該些滾輪移動至一第二位置,其中位於該第二位置的該些滾輪之凸出於該承載面的高度小於每一該吸氣口與該承載面之間的距離,該伸縮單元包含:一座體,該些滾輪樞設於該座體;一汽缸,固定於該座體;及一連桿,該連桿之一端與該汽缸連接,該連桿之另一端與該座體連接,該連桿受該汽缸的驅動而使該座體相對於該承載件移動,並且該些滾輪受該座體的 帶動而由該第一位置移動至該第二位置。
- 如請求項第1或2項所述之玻璃基板傳送裝置,更包括一驅動機構,驅動該些滾輪之至少其中之一滾動。
- 如請求項第3項所述之玻璃基板傳送裝置,該驅動機構包括:一馬達;及一皮帶,將該些滾輪之至少其中之一連接至該馬達。
- 一種玻璃基板傳送裝置,其包括:一承載件,具有一承載面、一底面以及多個自該承載面延伸至該底面的貫穿孔;多個滾輪,配置於該承載面上,該些滾輪之轉動軸均朝向同一方向;多個基板吸取單元,每一該基板吸取單元具有一吸氣口,該些吸氣口與該承載面均面向該承載件的同一側,該些基板吸取單元分別自該底面貫穿該些貫穿孔而處於一第一位置,其中位於該第一位置之該些基板吸取單元係凸出於該承載面,並且每一該吸氣口與該承載面之間的距離大於每一該滾輪凸出於該承載面的高度;及一伸縮單元,將該承載件連接於該些基板吸取單元,該伸縮單元經由長度的伸展而驅動該些基板吸取單元朝自該承載面指向該底面的方向移動,以使該些基板吸取單元移動至一第二位置,其中位於該第二位置之每一該基板吸 取單元之該吸氣口與該承載面間的距離小於該些滾輪之凸出於該承載面的高度,該伸縮單元包含:一座體,該些基板吸取單元位於該座體上;一汽缸,固定於該承載件;及一連桿,該連桿之一端與該汽缸連接,該連桿之另一端與該座體連接,該連桿受該汽缸的驅動而使該座體相對於該承載件移動,並且該些基板吸取單元受該座體的帶動而由該第一位置移動至該第二位置。
- 一種玻璃基板傳送裝置,其包括:一承載件,具有一承載面、一底面以及多個自該承載面延伸至該底面的貫穿孔;多個滾輪,配置於該承載面上,該些滾輪之轉動軸均朝向同一方向;多個基板吸取單元,每一該基板吸取單元具有一吸氣口,該些吸氣口與該承載面均面向該承載件的同一側,該些基板吸取單元分別自該底面貫穿該些貫穿孔而處於一第一位置,其中位於該第一位置之該些基板吸取單元係凸出於該承載面,並且每一該吸氣口與該承載面之間的距離大於每一該滾輪凸出於該承載面的高度;及一伸縮單元,將該承載件連接於該些基板吸取單元,該伸縮單元經由長度的伸展而驅動該些基板吸取單元朝自該承載面指向該底面的方向移動,以使該些基板吸取單元 移動至一第二位置,其中位於該第二位置之每一該基板吸取單元之該吸氣口與該承載面間的距離小於該些滾輪之凸出於該承載面的高度,該伸縮單元包含:一座體,該些基板吸取單元位於該座體上;一汽缸,固定於該座體;及一連桿,該連桿之一端與該汽缸連接,該連桿之另一端與該座體連接,該連桿受該汽缸的驅動而使該座體相對於該承載件移動,並且該些基板吸取單元受該座體的帶動而由該第一位置移動至該第二位置。
- 如請求項第5或6項所述之玻璃基板傳送裝置,更包括一驅動機構,驅動該些滾輪之至少其中之一滾動。
- 如請求項第7所述之玻璃基板傳送裝置,該驅動機構包括:一馬達;及一皮帶,將該些滾輪之至少其中之一連接至該馬達。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW100106977A TWI422521B (zh) | 2011-03-02 | 2011-03-02 | 玻璃基板傳送裝置 |
CN 201110130967 CN102219117B (zh) | 2011-03-02 | 2011-05-16 | 玻璃基板传送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW100106977A TWI422521B (zh) | 2011-03-02 | 2011-03-02 | 玻璃基板傳送裝置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201236951A TW201236951A (en) | 2012-09-16 |
TWI422521B true TWI422521B (zh) | 2014-01-11 |
Family
ID=44775877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW100106977A TWI422521B (zh) | 2011-03-02 | 2011-03-02 | 玻璃基板傳送裝置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102219117B (zh) |
TW (1) | TWI422521B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103144963B (zh) * | 2013-03-26 | 2015-11-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于玻璃基板传输的滚轮及玻璃基板传输装置 |
CN105242414B (zh) * | 2015-09-09 | 2018-04-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种平面基台和基板不良修复机 |
CN109920748A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 一种大面积玻璃基板装载机 |
CN109835715A (zh) * | 2019-02-02 | 2019-06-04 | 威海瑞翼德机械制造有限公司 | 一种玻璃基板搬送装置 |
CN110901501B (zh) * | 2019-11-14 | 2020-12-22 | 安徽省华腾农业科技有限公司经开区分公司 | 一种具有液压举升系统的平板运输车 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200642933A (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-16 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Substrate carrying device |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4331273A (en) * | 1980-05-27 | 1982-05-25 | Ppg Industries, Inc. | Method of and apparatus for severing a glass sheet |
JPH1087290A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-07 | Suzutec Co Ltd | リフト装置 |
JP3316174B2 (ja) * | 1997-11-25 | 2002-08-19 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | ガラスパネルの冷却方法、及びその装置 |
JP4417221B2 (ja) * | 2004-10-18 | 2010-02-17 | 株式会社フューチャービジョン | 基板冷却装置 |
CN101291884B (zh) * | 2005-10-24 | 2013-10-16 | 玻璃技术公司 | 玻璃片的提升喷射嘴传送和作业转换 |
JP2008204996A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Toppan Printing Co Ltd | バッファ装置 |
KR100876616B1 (ko) * | 2007-10-18 | 2009-01-07 | 주식회사 태성기연 | 방향전환 롤러를 이용한 디버터 컨베이어 |
DE202008002363U1 (de) * | 2008-02-21 | 2008-04-17 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung zum Befördern und Drehen stoßempfindlicher Platten in Reinsträumen |
JP2010195571A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Toppan Printing Co Ltd | 搬送装置 |
JP2011086807A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Tokyo Electron Ltd | 減圧乾燥装置 |
-
2011
- 2011-03-02 TW TW100106977A patent/TWI422521B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-05-16 CN CN 201110130967 patent/CN102219117B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200642933A (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-16 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Substrate carrying device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201236951A (en) | 2012-09-16 |
CN102219117A (zh) | 2011-10-19 |
CN102219117B (zh) | 2013-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI422521B (zh) | 玻璃基板傳送裝置 | |
KR101800169B1 (ko) | 패널 상하 반전 장치 및 그 방법 | |
KR101586691B1 (ko) | 캐리어 회전 장치 | |
KR100618918B1 (ko) | 적층형 기판 이송장치 | |
KR101343227B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100871135B1 (ko) | 기판 세정장치 | |
TWI514502B (zh) | 方便維護用之基板對準裝置 | |
JP4394797B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP4016622B2 (ja) | 吸着保持器、搬送装置、基板の搬送方法、及び、電気光学装置の製造方法 | |
JP2000210630A (ja) | 基板用搬送除塵装置 | |
KR20080022377A (ko) | 기판이송장치 | |
KR101427281B1 (ko) | 기판 반송장치 및 기판처리방법 | |
CN100429561C (zh) | 容纳液晶显示器件的机箱 | |
KR101116654B1 (ko) | 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
KR101000494B1 (ko) | 이송장치 | |
US20200358039A1 (en) | Manufacturing apparatus and method of manufacturing display apparatus using the same | |
KR100951080B1 (ko) | 회전흡착방식의 패널세정장치 및 패널세정방법 | |
JP6331656B2 (ja) | 脆性材料基板の搬送方法及び搬送装置 | |
KR101254730B1 (ko) | 글라스 이송용 로봇 핸드 및 이를 이용한 글라스 이송방법 | |
CN110416128B (zh) | 一种蚀刻装置 | |
US8967369B2 (en) | Transferring apparatus | |
KR101060166B1 (ko) | 기판의 경사이송시스템과 경사이송 방향전환장치 | |
JP4474672B2 (ja) | 基板移載装置 | |
KR101908500B1 (ko) | 평판 표시패널의 정렬장치 | |
KR100801304B1 (ko) | 기판 이송 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |