JP4474672B2

JP4474672B2 - 基板移載装置

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Publication number: JP4474672B2
Application number: JP2000122034A
Authority: JP
Inventors: 孝久鈴木; 国彰飯塚; 弘記村上; 浩鈴岡; 佳均冨波
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2000-04-24
Filing date: 2000-04-24
Publication date: 2010-06-09
Anticipated expiration: 2020-04-24
Also published as: JP2001301962A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイ用基板又はガラス基板を移載する基板移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造プロセスでは、プラズマディスプレイ用基板の洗浄、印刷、焼成工程を経て、リブの形成や電極の形成が完了する。これらの工程の装置は、ほとんどが１枚ずつの枚葉毎に加工される。一方、各工程への基板の搬送は、搬送時間の関係から複数枚をまとめてカセットによる搬送が行われる。
従って、各工程への投入及び完了後は図７に示すカセットステーションが設置され、カセットから基板を取り出し、カセットに基板を格納する基板移載機が使用される。
【０００３】
カセット７は、図８に模式的に示すように、取出し側を除く外縁部で基板１を水平に支持し、上下方向に間隔を隔てて複数（例えば１５〜２０枚）を収納するようになっている。基板１の表面はドーピングその他の処理を行うため、異物との接触を完全に回避する必要がある。そのため、従来は、図９に示すような関節アームロボットを基板移載装置として用い、薄いハンド６ａを基板の間に水平に挿入し、裏面から支持して基板を僅かに持ち上げてカセットから取り出し、自動移載していた。
【０００４】
しかし、上述した従来の基板移載装置には、以下の問題点があった。
（１）近年のプラズマディスプレイの製造では、従来の液晶ディスプレイに比べ、基板寸法も大型化（例えば１０００ｍｍ×１４００ｍｍ）し、その重量も倍加している。そのため、従来の液晶ディスプレイの製造で使用されていた関節アームロボットでは、この大型基板のハンドリングは出来ない。また、従来の関節アームロボットを大型化した場合でも、アームが長くなり、アームの揺動等に要するスペースが大きくなり、クリーンルームを大型化する必要が生じ、設備費及び運転費が大幅に増大する。
（２）また、関節アームロボットで基板を移載する場合には、アーム先端部のハンドで基板を抜き出し、ハンドを水平に旋回又は反転させて所望の位置まで移動させる必要がある。そのため、アームの作動が複雑化するばかりでなく、アーム等の重量が大きいため高速作動が困難となり、動作速度が遅くなりかつ位置決め精度が低下する。また、これを無理に高速化・高精度化しようとすると、装置動力が大幅に増大する。
【０００５】
これらの問題点を解決するために、本発明の発明者等は先に、図１０に示す基板移載装置を創案し出願した（特開平１１−２２７９４３号）。この基板移載装置は、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる搬入ハンド１０と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる搬出ハンド１２とを備え、この搬入ハンド及び搬出ハンドが、搬入位置の基板の取出方向Ｘにそれぞれ水平移動可能かつ上下動可能であり、かつ中間位置で互いに上下に交叉可能であり、更にその一方が下降している際に、他方が上昇してＸ方向に水平移動可能に構成されたものである。なお、この図で、１６は水平移動装置、１７は上下動装置である。
【０００６】
この構成により、可動部分が小さくシンプルな構造で大型の基板を高速で移載でき、必要設置スペースが小さく、移載距離が大きい場合でも高精度で移載でき、かつ必要動力が小さい基板移載装置とすることが可能となった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開平１１−２２７９４３号の基板移載装置には、以下の問題点があった。
（１）搬入ハンド１０と搬出ハンド１２の相互の干渉を避けるために、中間位置で互いに上下に交叉可能なフィンガー部１０ａ，１２ａをＸ方向外方端部で片持ち支持する支持部１０ｂ，１２ｂを必要とし、その分余分なデッドスペースが必要となる。
（２）また、大きな基板１の外側に基板を取り回すための支持部１０ｂ，１２ｂや水平移動装置１６等を必要とする。
これらの理由から、必要設置スペースを更に小さくすることが困難であり、装置全体の占めるスペースが大きく、これを収納するクリーンルームが大型化しそのコストが過大となる問題点があった。
（３）更に、基板１の搬出位置（受取り側）に、フィンガー部１０ａ，１２ａとの干渉を避けるために、プッシュアップ機構などの特殊装置を必要とし、通常のローラコンベアの使用ができない問題点があった。
（４）また、搬入位置から基板を取り出し、中間位置で乗せ替え、搬出位置に移載するまで、次の基板の取り出しを開始できず、移載のハンドリング時間が長く、サイクルタイムが長い問題点があった。
【０００８】
本発明はかかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち本発明の目的は、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能な基板移載装置を提供することにある。
【０００９】
また、基板を支持して搬送するための把持部材（以下、基板搬送用ハンド）として、本発明の発明者等は、図１１に例示する基板搬送用ハンドを創案し出願した（特願平１０−１７８２１５号、未公開）。この基板搬送用ハンドは、先端にＶ字上の切欠き部１８ａを有する４角形状をしており、先端の切欠き部の両側と切欠き部の底部近傍から中心線に沿った複数個所に基板を支持する突起１８ｂを設けるとともに、切欠き部の両側の突起の手前側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤１８ｃを有するものである。
【００１０】
この基板搬送用ハンドは、基板サイズの適用範囲が広く、例えば、最小５６０×７２０〜最大１０００×１４００の、各辺の寸法で２倍程度までを同一の基板搬送用ハンドで取り扱うことができる。
しかし、更に、基板サイズの適用範囲を広くしようとすると、基板搬送用ハンドを大きくすると小さい基板のカセットの支持部と干渉して小さい基板に適用できず、逆に基板搬送用ハンドを大きくせずに大きい基板を支持すると、ハンドの基板支持点（突起１８）からオーバハングする部分が大きくなって、その部分がたわみ、全体が大きく凸状にたわんでしまう。
そのため、従来の基板搬送用ハンドでは、より広い範囲の基板サイズを同一の基板搬送用ハンドで取り扱えない問題点があった。
【００１１】
後述の参考例の移載ハンドでは、小基板から大基板までの各辺の寸法で２倍以上のサイズの異なる基板を取り扱うことができ、これにより、異なるサイズの基板に対応するカセットから同一のハンドで基板をハンドリングすることができる。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明によれば、水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（２０）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（２２）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、
前記中間水平コンベア（２２）は、１対の水平ローラ群を有し、各水平ローラ群は、中間水平コンベアによる前記水平移動の方向に互いに間隔を隔てた複数の水平ローラ（２２ａ）を有し、前記１対の水平ローラ群は、中間水平コンベアによる前記水平移動の方向と直交する水平方向に互いに間隔Ｂを隔てて設けられ、
前記移載ハンド（２０）は、前記間隔Ｂよりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材に設けられ、前記水平ローラと同一レベルで干渉しない位置に、中間水平コンベアによる前記水平移動の方向に間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなり、
該各水平支持部は、前記水平移動の方向と直交する前記水平方向に関する位置が前記水平ローラと重複する部分を有する、ことを特徴とする基板移載装置が提供される。
【００１３】
また、本発明によれば、水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（２０）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（２２）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、
前記中間水平コンベア（２２）は、基板取出方向Ｘに互いに間隔を隔て、幅方向両側から片持ち支持された複数の水平ローラ（２２ａ）を有し、該水平ローラの幅中心側は幅方向に一定の間隔Ｂを隔てており、
前記移載ハンド（２０）は、前記間隔Ｂよりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材の上面に設けられ、前記水平ローラと同一レベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなる、ことを特徴とする基板移載装置が提供される。
【００１４】
上記本発明の構成によれば、中間位置で幅方向両側から片持ち支持された複数の水平ローラ（２２ａ）と、移載ハンド（２０）の中央支持部材（２０ａ）と水平支持部（２０ｂ）とが、上下に交叉できるので、（Ａ）移載ハンド（２０）の水平支持部（２０ｂ）で基板を支持して搬入位置の基板を中間位置まで移動させ、（Ｂ）中間位置で移載ハンドを中間水平コンベアの下まで下降させて、水平ローラ（２２ａ）の上に基板を載せ替え、（Ｃ）水平ローラで基板を支持しこれを回転駆動して搬出位置まで水平移動させることができる。
従って、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能となる。
【００１５】
また、本発明によれば、水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（２０）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる中間水平コンベア（２２）と、中間位置で中間水平コンベアの上下まで昇降可能な中間移載装置（２４）とを備え、該中間移載装置は移載ハンド及び中間水平コンベアと、移載ハンドは中間水平コンベアと、上下に交叉可能に構成されている、ことを特徴とする基板移載装置が提供される。
【００１６】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記中間水平コンベア（２２）は、基板取出方向Ｘに互いに間隔を隔て、幅方向両側から片持ち支持された複数の水平ローラ（２２ａ）を有し、該水平ローラの幅中心側は幅方向に一定の間隔Ｂを隔てており、前記中間移載装置（２４）は、中間水平コンベア（１２）の幅方向外側から片持ち支持された複数の水平支持部（２４ａ）を有し、該水平支持部は、前記水平ローラと同一レベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔て、かつその幅中心側は前記間隔Ｂを隔てており、前記移載ハンド（２０）は、前記間隔Ｂよりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材の上面に設けられ、前記水平支持部（２４ａ）と同一レベルで干渉しない位置で、水平ローラとも同じレベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなる。
【００１７】
上記本発明の構成によれば、中間位置で幅方向外側から片持ち支持された中間移載装置の水平支持部（２４ａ）は、移載ハンドの中央支持部材（２０ａ）及び水平支持部（２０ｂ）と上下に交叉でき、かつ中間水平コンベアの水平ローラ（２２ａ）とも上下に交叉できるので、（Ａ）移載ハンド（２０）の水平支持部（２０ｂ）で基板を支持して搬入位置の基板を中間位置まで移動させ、（Ｂ）中間位置で移載ハンドを中間移載装置の下まで下降させて、水平支持部（２４ａ）の上に基板を載せ替え、（Ｃ）次いで、中間移載装置を中間水平コンベアの下まで下降させて、水平ローラ（２２ａ）の上に基板を載せ替え、（Ｄ）最後に水平ローラで基板を支持しこれを回転駆動して搬出位置まで水平移動させることができる。カセットから最後の基板を取り出した時は、図７に示すように移載ハンドがコンベア下面にもぐることにより移載を完了する。
従って、この構成によっても、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能となる。
【００１８】
更に、参考例によれば、最小基板の幅よりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材の上面に設けられ、基板取出方向Ｘに間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなり、前記水平支持部（２０ｂ）は最大基板の幅よりも狭く、かつその上面に最小基板から最大基板まで支持可能な支持部材（２６）が取付けられている、ことを特徴とする基板移載装置に用いる移載ハンドが提供される。
【００１９】
上記構成の移載ハンドによれば、異なるサイズの基板に対応するカセットを、最小基板の幅よりも狭い中央支持部材（２０ａ）が挿入できるように構成しておくだけで、水平支持部（２０ｂ）の上に小基板から大基板までのサイズの異なる基板を載せて、同一のハンドで基板をハンドリングすることができる。なお、本ハンドはこの移載装置に限らず、他の移載装置でも使用可能である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
図１は、本発明の第１実施形態の基板移載装置の全体構成を示す側面図であり、図２は、図１の平面図である。図１及び図２に示すように、本発明の基板移載装置は、水平に支持された平板状の基板１を、搬入位置から搬出位置まで、基板１の下面を支持して移載する装置である。
【００２１】
この実施形態において、基板の搬入位置と搬入位置は、中間位置を挟んでＸ方向（搬入位置の基板の取出方向）に対峙して位置決めされている。また、搬入位置には、複数（例えば１５〜２０枚）の基板１を上下方向に間隔を隔てて収納するカセット１４が、精度よく固定されている。更に、搬出位置には、基板１枚をＸ方向に水平に移動するローラコンベア装置１５が設けられている。このローラコンベア装置１５は、基板１を支持して移動させる複数の駆動ローラ１５ａを備え、基板１の検査やスクリーン印刷、焼成などのプロセス装置へ搬入／搬出するために用いられる。
【００２２】
本発明の基板移載装置は、搬入位置の基板１を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド２０と、中間位置で基板１を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア２２とを備える。
中間水平コンベア２２は、基板取出方向Ｘに互いに間隔を隔てた複数（この図では２６）の水平ローラ２２ａを有する。各水平ローラ２２ａは、幅方向両側から片持ち支持された、図示しない駆動装置によりその軸心を中心に回転駆動される。また、各水平ローラ２２ａの幅中心側は幅方向に一定の間隔Ｂを隔てている。
【００２３】
一方、移載ハンド２０は、水平ローラ２２ａの幅中心側の間隔Ｂよりも狭い中央支持部材２０ａと、この中央支持部材２０ａの上面に設けられた複数（この例では９枚）の水平支持部２０ｂとからなる。
中央支持部材２０ａは、図示しない駆動装置により、基板の取出方向Ｘに中間位置で水平移動可能に構成され、かつ中間水平コンベア２２の水平ローラ２２ａの上下まで昇降可能に構成されている。
また、各水平支持部２０ｂは、基板取出方向Ｘに間隔を隔てており、水平ローラ２２ａと同一レベルで干渉しないように配置されている。
【００２４】
上述した構成により、移載ハンド２０は、搬入位置の基板１の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベア（具体的には水平ローラ２２ａ）の上下まで昇降可能であり、かつ中間位置で中間水平コンベア２２の水平ローラ２２ａと上下に干渉せずに交叉することができる。
【００２５】
図３は、上述した基板移載装置に用いる移載ハンドの構成図である。上述したように、移載ハンド２０は、中央支持部材２０ａと水平支持部２０ｂとからなる。この図に示すように、中央支持部材２０ａは、最小基板１Ａの幅よりも狭く構成され、水平支持部２０ｂは、最大基板１Ｂの幅よりも狭くている。また、水平支持部２０ｂは、基板取出方向Ｘに間隔を隔てて構成され、カセット１４内の基板支持部１４ａと上下に干渉しないようになっている。更に、この例では、水平支持部２０ｂの上面に最小基板Ａから最大基板Ｂまで支持可能な複数の支持部材２６が取付けられている。
【００２６】
この構成の移載ハンド２０によれば、異なるサイズの基板１に対応するカセット１４を、最小基板１Ａの幅よりも狭い中央支持部材２０ａが挿入できるように構成しておくだけで、水平支持部２０ｂの上に小基板１Ａから大基板１Ｂまでのサイズの異なる基板１を載せて、同一のハンドで基板をハンドリングすることができる。
【００２７】
図４は、上述した第１実施形態の基板移載装置の作動説明図である。上述した本発明の構成によれば、幅方向両側から片持ち支持された複数の水平ローラ２２ａと、移載ハンド２０の中央支持部材２０ａと水平支持部２０ｂとが、中間位置で上下に交叉できるので、（Ａ）移載ハンド２０をカセット１４内に水平に挿入し、次いで上昇させることにより、移載ハンド２０の水平支持部２０ｂで基板１を支持し、（Ｂ）次に、移載ハンド２０を後退させて搬入位置の基板１を中間位置まで水平に引き抜き、中間位置で移載ハンド２０を中間水平コンベア２２の下まで下降させて、水平ローラ２２ａの上に基板１を載せ替え、（Ｃ）最後に、水平ローラ２２ａで基板１を支持しこれを回転駆動して搬出位置まで水平移動させることができる。また、図に示すように最後のこの工程では、次の基板を移載するために、並行して移載ハンド２０をカセット１４内に水平に挿入することができる。
【００２８】
従って、上述した第１実施形態の基板移載装置により、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能となる。
【００２９】
図５は、本発明の第２実施形態の基板移載装置の全体構成を示す側面図である。この基板移載装置は、搬入位置の基板１を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド２０と、中間位置で基板１を支持して搬出位置まで移動させる中間水平コンベア２２と、中間位置で中間水平コンベア２２（水平ローラ２２ａ）の上下まで昇降可能な中間移載装置２４とを備える。
中間水平コンベア２２は、第１実施形態と同様に、基板取出方向Ｘに互いに間隔を隔て、幅方向両側から片持ち支持された複数の水平ローラ２２ａを有する。この水平ローラ２２ａの幅中心側は幅方向に一定の間隔Ｂを隔てている。
【００３０】
また、中間移載装置２４は、中間水平コンベア２２の幅方向外側から片持ち支持された複数（この例では５本）の水平支持部２４ａを有する。この水平支持部２４ａは、中間位置において上下動可能に構成され、かつ水平ローラ２２ａと同一レベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔てている。また、その幅中心側は中間水平コンベア２２と同様に間隔Ｂを隔てている。
【００３１】
移載ハンド２０は、間隔Ｂよりも狭い中央支持部材２０ａと、この中央支持部材２０ａの上面に設けられた複数（この例では５枚）の水平支持部２０ｂとからなる。この水平支持部２０ｂは、中間移載装置２４の水平支持部２４ａと水平ローラと同一レベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔てて配置されている。
この構成により、中間移載装置２４の水平支持部２４ａは、中間位置で移載ハンド２０及び中間水平コンベア２２と上下に干渉せずに交叉することができる。
【００３２】
上述した第２実施形態の構成によれば、中間位置で幅方向外側から片持ち支持された中間移載装置の水平支持部２４ａは、移載ハンドの中央支持部材２０ａ及び水平支持部２０ｂと上下に交叉でき、かつ中間水平コンベアの水平ローラ２２ａとも上下に交叉できるので、（Ａ）移載ハンド２０の水平支持部２０ｂで基板１を支持して搬入位置の基板を中間位置まで移動させ、（Ｂ）中間位置で移載ハンド２０を中間移載装置の下まで下降させて、水平支持部２４ａの上に基板１を載せ替え、（Ｃ）次いで、中間移載装置２４を中間水平コンベア２２の下まで下降させて、水平ローラ２２ａの上に基板を載せ替え、（Ｄ）最後に水平ローラで基板を支持しこれを回転駆動して搬出位置まで水平移動させることができる。カセットから最後の基板を取り出した時は、図７に示すように移載ハンドがコンベア下面にもぐることにより移載を完了する。
【００３３】
従って、上述した第２実施形態の基板移載装置によっても、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能となる。
【００３４】
なお、本発明は上述した実施形態及び実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できることは勿論である。
【００３５】
【発明の効果】
上述したように、本発明の基板移載装置とこれに用いる移載ハンドは、以下の特徴を有する。
（１）移載ハンドの水平直線動作と昇降動作の組合せで、カセットから基板を受け、コンベアに直接渡しができる。
（２）受けコンベアが搬送中に、次段の基板にアクセスができる。
（３）カセットへの基板搬送は、逆行程で実現できる。
（４）基板持ち替えがないため、防塵性能が高く、基板ダメージ（基板姿勢変化がない）が小さい。
（５）摺動部を装置下部に集中でき、防塵性能が高い。
（６）移載ハンドとカセットやコンベアの基板支持部材との干渉を回避できる。（７）移載ハンドに基板のたわみを最小にする基板支持部材を多様なサイズに対して対応できる位置に配置できる。
【００３６】
従って、本発明の基板移載装置とこれに用いる移載ハンドは、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能であり、更に、小基板から大基板までの各辺の寸法で２倍以上のサイズの異なる基板を取り扱うことができ、これにより、異なるサイズの基板に対応するカセットから同一のハンドで基板をハンドリングすることができる、等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の基板移載装置の全体構成を示す側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】本発明の基板移載装置に用いる移載ハンドの構成図である。
【図４】第１実施形態の作動説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態の基板移載装置の全体構成を示す側面図である。
【図６】第２実施形態の作動説明図である。
【図７】従来の基板移載装置の全体構成図である。
【図８】基板を収容するカセットの模式図である。
【図９】従来の基板移載装置の模式図である。
【図１０】先行出願にかかる基板移載装置の構成図である。
【図１１】先行出願にかかる移載ハンドの構成図である。
【符号の説明】
１基板（ガラス基板）、１Ａ小基板、１Ｂ大基板、７カセット、
１０搬入ハンド、１０ａフンガー部、１０ｂ支持部、
１２搬出ハンド、１２ａフンガー部、１２ｂ支持部、
１４カセット、１４ａ基板支持部、
１６水平移動装置、１７上下動装置、
１８ａ切欠き部、１８ｂ突起、１８ｃ吸盤、
２０移載ハンド、２０ｂ水平支持部、
２２中間水平コンベア、２２ａ水平ローラ、
２４中間移載装置、２４ａ水平支持部、２６支持部材

Claims

水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（２０）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（２２）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、
前記中間水平コンベア（２２）は、１対の水平ローラ群を有し、各水平ローラ群は、中間水平コンベアによる前記水平移動の方向に互いに間隔を隔てた複数の水平ローラ（２２ａ）を有し、前記１対の水平ローラ群は、中間水平コンベアによる前記水平移動の方向と直交する水平方向に互いに間隔Ｂを隔てて設けられ、
前記移載ハンド（２０）は、前記間隔Ｂよりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材に設けられ、前記水平ローラと同一レベルで干渉しない位置に、中間水平コンベアによる前記水平移動の方向に間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなり、
該各水平支持部は、前記水平移動の方向と直交する前記水平方向に関する位置が前記水平ローラと重複する部分を有する、ことを特徴とする基板移載装置。
水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（２０）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（２２）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、
前記中間水平コンベア（２２）は、基板取出方向Ｘに互いに間隔を隔て、幅方向両側から片持ち支持された複数の水平ローラ（２２ａ）を有し、該水平ローラの幅中心側は幅方向に一定の間隔Ｂを隔てており、
前記移載ハンド（２０）は、前記間隔Ｂよりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材の上面に設けられ、前記水平ローラと同一レベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなる、ことを特徴とする基板移載装置。
水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、
搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（２０）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる中間水平コンベア（２２）と、中間位置で中間水平コンベアの上下まで昇降可能な中間移載装置（２４）とを備え、該中間移載装置は移載ハンド及び中間水平コンベアと、移載ハンドは中間水平コンベアと、上下に交叉可能に構成されている、ことを特徴とする基板移載装置。
前記中間水平コンベア（２２）は、基板取出方向Ｘに互いに間隔を隔て、幅方向両側から片持ち支持された複数の水平ローラ（２２ａ）を有し、該水平ローラの幅中心側は幅方向に一定の間隔Ｂを隔てており、
前記中間移載装置（２４）は、中間水平コンベア（２２）の幅方向外側から片持ち支持された複数の水平支持部（２４ａ）を有し、該水平支持部は、前記水平ローラと同一レベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔て、かつその幅中心側は前記間隔Ｂを隔てており、前記移載ハンド（２０）は、前記間隔Ｂよりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材の上面に設けられ、前記水平支持部（２４ａ）と同一レベルで干渉しない位置で、水平ローラとも同じレベルで干渉しない位置に基板取出方向Ｘに間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなる、ことを特徴とする請求項３に記載の基板移載装置。
前記中央支持部材（２０ａ）は、最小基板の幅よりも狭く、
前記中央支持部材（２０ａ）の上面に取り付けられた前記水平支持部（２０ｂ）は、最大基板の幅よりも狭く、かつその上面に最小基板から最大基板まで支持可能な支持部材（２６）が取付けられている、ことを特徴とする請求項１、２または４に記載の基板移載装置。
前記移載ハンドは、最小基板の幅よりも狭い中央支持部材（２０ａ）と、該中央支持部材の上面に設けられ、基板取出方向Ｘに間隔を隔てた複数の水平支持部（２０ｂ）とからなり、前記水平支持部（２０ｂ）は最大基板の幅よりも狭く、かつその上面に最小基板から最大基板まで支持可能な支持部材（２６）が取付けられている、ことを特徴とする請求項３に記載の基板移載装置。