JP4394797B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送装置に係り、特に大面積の基板を撓みなく搬送でき、省スペース化の可能な基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、フラットディスプレイとして液晶表示装置、プラズマ表示装置等が実用化されており、これらのフラットディスプレイは基板上に種々の加工を行うことにより作製される。そして、フラットディスプレイにおける大サイズ化、および、製造コスト低減を目的とした製造ラインの高生産化に対応するために、基板の大面積化が要求されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような基板の大面積化に対応して製造ラインを構築するとなると、各工程の装置が大型化されるとともに、従来の水平搬送方式による各工程間の基板搬送が問題となる。すなわち、フラットディスプレイを構成する基板は、例えば、ガラス基板等のように良好な光透過性を備えるものであるが、厚みの面から剛性が低く、周辺部を保持して水平状態で搬送する従来の水平搬送方式で搬送した場合、大面積のガラス基板ほど自重により撓みが生じて搬送が困難になるという問題がある。また、従来の水平搬送方式では、基板の大面積化が進むほど、搬送装置の大型化が必要となり、同時に、搬送に要するスペースも大きくなるという問題もある。
【0004】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、大面積の基板を撓ませることなく確実に安定して搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明の基板搬送装置は、ガラス基板の上端部より10mmの範囲の所定位置を吸引保持して垂直搬送する基板搬送装置において、基部と、該基部から垂設された複数の固定アームと、水平方向の一直線上に位置するように各固定アームに設けられ複数の吸引保持部と、前記基部から前記固定アームの吸引保持部配設面に対向するように垂設された複数の可動アームと、を備え、前記吸引保持部は前記固定アームから突出した吸引管と、該吸引管の先端部に配設された柔軟性を有する保持部材を有し、前記吸引管の中心から前記基部までの距離は、基板を吸引保持する位置から基板上端部までの距離よりも大きく、前記可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面の対向位置から、前記固定アームから離れるように水平位置まで回動可能であり、かつ、可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面と対向する面に押圧ピンを備え、対向位置における該押圧ピンの中心は前記固定アームから突出した前記吸引管の中心と一致しており、前記基部は水平軸を中心に回動可能であるような構成とした。
【0006】
また、本発明の基板搬送装置は、ガラス基板の上端部より10mmの範囲の所定位置を吸引保持して垂直搬送する基板搬送装置において、基部と、該基部から垂設された複数の固定アームと、水平方向の一直線上に位置するように各固定アームに設けられ複数の吸引保持部と、前記基部から前記固定アームの吸引保持部配設面に対向するように垂設された可動アームと、を備え、前記吸引保持部は前記固定アームから突出した吸引管と、該吸引管の先端部に配設された柔軟性を有する保持部材を有し、前記吸引管の中心から前記基部までの距離は、基板を吸引保持する位置から基板上端部までの距離よりも大きく、前記可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面の対向位置から、前記固定アームから離れるように水平位置まで回動可能であり、かつ、可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面と対向する面に吸引保持部を備え、該吸引保持部は前記可動アームから突出した吸引管と、該吸引管の先端部に配設された柔軟性を有する保持部材を有し、対向位置における前記吸引管の中心は前記固定アームから突出した前記吸引管の中心と一致しており、前記基部は水平軸を中心に回動可能であるような構成とした。
【0009】
上記のような本発明では、基部から垂設された複数の固定アームの吸引保持部によって基板を保持し、あるいは、固定アームの吸引保持部と可動アームの押圧ピンまたは吸引保持部とによって基板を挟持するように保持するので、基板は垂直状態で搬送され、自重による基板の撓みを生じることがない。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【0011】
第1の実施形態
図1は、本発明の基板搬送装置の一実施形態を示す正面図であり、図2は図1に示される基板搬送装置の右側面図である。図1および図2において、本発明の基板搬送装置1は、基部2と、この基部2から垂設された複数(図示例では2個)の固定アーム3と、水平方向(図1の矢印a方向)の一直線上に位置するように各固定アーム3に設けられた吸引保持部4とを備えている。
【0012】
基部2は、軸方向が垂直方向に配設されている垂直部材2Aと、この垂直部材2Aの下端部に軸方向を水平方向に配設されている水平部材2Bとからなっている。固定アーム3は、上記の水平部材2Bの両端の下面から垂設されており、この固定アーム3の前面3aの所定位置に吸引保持部4が設けられている。
【0013】
吸引保持部4は、固定アーム3の内部に形成されている吸引路(図示せず)に接続された吸引管4aの先端部に柔軟性を有する保持部材4bが装着されたものである。この吸引保持部4の形状は、基板の上端部の保持に適した横長の楕円形状となっている。
【0014】
吸引保持部4による基板の保持、解放は、吸引路を介して接続されている吸引装置(図示せず)のON,OFF、あるいは、吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うことができる。
【0015】
このような基板搬送装置1では、図2に示されるように、基板S(仮想線で示す)が吸引保持部4の保持部材4bによって、その上端部近傍(例えば、基板Sの品質に影響を与えないような基板外周から10mm程度の範囲)を吸引保持され搬送される。したがって、基板Sは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓みを生じることがない。
【0016】
尚、図示例では、固定アーム3は2個であるが、3個以上であってもよく、また、水平方向に長い固定アームを1個垂設し、これに複数の吸引保持部4を設けてもよい。さらに、保持部材4bの形状は、図示例では横長の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣接して配設してもよい。
【0017】
第2の実施形態
図3は、本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正面図であり、図4は図3に示される基板搬送装置の右側面図である。図3および図4において、本発明の基板搬送装置11は、基部12と、この基部12から垂設された複数(図示例では2個)の固定アーム13と、水平方向(図3の矢印a方向)の一直線上に位置するように各固定アーム13に設けられた吸引保持部14と、押圧部としての押圧ピン17を装着した可動アーム16を備えている。
【0018】
基部12は、軸方向が垂直方向に配設されている垂直部材12Aと、この垂直部材12Aの下端部に軸方向を水平方向に配設されている水平部材12Bとからなっている。固定アーム13は、上記の水平部材12Bの両端の下面から垂設されており、この固定アーム13の前面13aの所定位置に吸引保持部14が設けられている。
【0019】
吸引保持部14は、上述の基板搬送装置1の吸引保持部4と同様の構造であるので、ここでの説明は省略する。この吸引保持部14による基板の保持、解放は、吸引路を介して接続されている吸引装置(図示せず)のON,OFF、あるいは、吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うことができる。
【0020】
可動アーム16は、基部12の水平部材12Bの前面側に配設された2個のロータリーアクチュエーター15の回転軸15aに装着されている。この可動アーム16は、ロータリーアクチュエーター15の駆動により、固定アーム13の吸引保持部配設面13aに対向する位置と、図4に仮想線で示した水平位置との間で回動可能とされている。また、固定アーム13の吸引保持部配設面13aに対向する可動アーム16の押圧面16aには、保持部材14bと対向するように押圧ピン17が配設されている。押圧ピン17は、保持対象の基板表面を傷つけることのない材質で先端部が構成されていることが好ましい。
【0021】
このような基板搬送装置11では、まず、図4に示されるように、可動アーム16が水平位置にある状態で、基板S(仮想線で示す)が吸引保持部14の保持部材14bによって上端部近傍(例えば、基板Sの品質に影響を与えないような基板外周より10mm程度の範囲)を吸引保持される。その後、可動アーム16が固定アーム13の保持部配設面13aに対向する位置に回動されて、基板Sは保持部材14bと押圧ピン17とで挟持するように垂直状態で保持される。したがって、基板Sは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓みを生じることがない。
【0022】
尚、図示例では、固定アーム13は2個であるが、3個以上であってもよく、また、水平方向に長い固定アームを1個垂設し、これに複数の吸引保持部14と可動アーム16(ロータリーアクチュエーター15)を設けてもよい。さらに、保持部材14bの形状は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣接して配設してもよい。
【0023】
第3の実施形態
図5は、本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正面図であり、図6は図5に示される基板搬送装置の右側面図である。図5および図6において、本発明の基板搬送装置21は、基部22と、この基部22から垂設された複数(図示例では2個)の固定アーム23と、水平方向(図5の矢印a方向)の一直線上に位置するように各固定アーム23に設けられた吸引保持部24と、吸引保持部28を装着した可動アーム26を備えている。
【0024】
基部22は、軸方向が垂直方向に配設されている垂直部材22Aと、この垂直部材22Aの下端部に軸方向を水平方向に配設されている水平部材22Bとからなっている。固定アーム23は、上記の水平部材22Bの両端の下面から垂設されており、この固定アーム23の前面23aの所定位置に吸引保持部24が設けられている。
尚、吸引保持部24は、上述の基板搬送装置1の吸引保持部4と同様の構造であるので、ここでの説明は省略する。
【0025】
可動アーム26は、基部22の水平部材22Bの前面側に配設された2個のロータリーアクチュエーター25の回転軸25aに装着されている。この可動アーム26は、ロータリーアクチュエーター25の駆動により、固定アーム23の吸引保持部配設面23aに対向する位置と、図6に仮想線で示した水平位置との間で回動可能とされている。また、固定アーム23の吸引保持部配設面23aに対向する可動アーム26の保持面26aには、保持部材24bと対向するように吸引保持部28が配設されている。吸引保持部28は、吸引管29に接続された吸引管28aの先端部に柔軟性を有する保持部材28bが装着されたものである。
【0026】
上記の吸引保持部24、28による基板の保持、解放は、吸引路、吸引管29を介して接続されている吸引装置(図示せず)のON,OFF、あるいは、吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うことができる。
【0027】
このような基板搬送装置21では、まず、図6に示されるように、可動アーム26が水平位置にある状態で、基板S(仮想線で示す)が吸引保持部24の保持部材24bによって、その上端部近傍(例えば、基板Sの品質に影響を与えないような基板外周より10mm程度の範囲)を吸引保持される。その後、可動アーム26が固定アーム23の保持部配設面23aに対向する位置に回動されて、基板Sの上端部近傍が保持部材28bによって吸引保持される。すなわち、基板Sは保持部材24bと保持部材28bとで挟持するように垂直状態で保持される。したがって、基板Sは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓みを生じることがない。
【0028】
尚、図示例では、固定アーム23は2個であるが、3個以上であってもよく、また、水平方向に長い固定アームを1個垂設し、これに複数の吸引保持部24と可動アーム26(ロータリーアクチュエーター25)を設けてもよい。さらに、保持部材24b、28bの形状は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣接して配設してもよい。
【0029】
第4の実施形態
図7は、本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正面図であり、図8は図7に示される基板搬送装置の右側面図である。図7および図8において、本発明の基板搬送装置31は、基部32と、この基部32から垂設された複数(図示例では2個)の固定アーム33と、水平方向(図7の矢印a方向)の一直線上に位置するように各固定アーム33に設けられた吸引保持部34と、吸引保持部38を装着した可動アーム36を備えている。
【0030】
基部32は、軸方向が垂直方向に配設されている垂直部材32Aと、この垂直部材32Aの両側から水平方向に回動可能に配設された水平部材32Bとからなっている。固定アーム33は、上記の水平部材32Bの両端の下面から垂設されており、この固定アーム33の前面33aの所定位置に吸引保持部34が設けられている。
【0031】
吸引保持部34は、上述の基板搬送装置1の吸引保持部4と同様の構造であるので、ここでの説明は省略する。また、ロータリーアクチュエーター35、可動アーム36、吸引保持部38、吸引管39は、上述の基板搬送装置21と同様の構造であるので、ここでの説明は省略する。
【0032】
上記の吸引保持部34、38による基板の保持、解放は、吸引路、吸引管39を介して接続されている吸引装置(図示せず)のON,OFF、あるいは、吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うことができる。
【0033】
このような基板搬送装置31では、まず、図8に示されるように、可動アーム36が水平位置にある状態で、基板S(仮想線で示す)が吸引保持部34の保持部材34bによって、その上端部近傍(例えば、基板Sの品質に影響を与えないような基板外周より10mm程度の範囲)を吸引保持される。その後、可動アーム36が固定アーム33の保持部配設面33aに対向する位置に回動されて、基板Sの上端部近傍が保持部材38bによって吸引保持される。すなわち、基板Sは保持部材34bと保持部材38bとで挟持するように垂直状態で保持される。したがって、基板Sは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓みを生じることがない。そして、図9に示されるように、基板Sを載置する部材50の載置面50aが垂直状態から所定の角度傾斜している場合、基部32の水平部材32Bが所定の角度回動して、基板Sを載置面50aにほぼ平行となる状態にする。その後、上記の吸引保持と逆の操作により、基板Sの吸引保持を停止することにより、部材50に基板Sを載置することができる。
【0034】
尚、図示例では、固定アーム33は2個であるが、3個以上であってもよく、また、水平方向に長い固定アームを1個垂設し、これに複数の吸引保持部34と可動アーム36(ロータリーアクチュエーター35)を設けてもよい。さらに、保持部材34b、38bの形状は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣接して配設してもよい。
【0035】
図10は、本発明の基板搬送装置を備えた基板搬送部の一例を示す斜視図である。図10において基板搬送部101は、平行軌道110,110上を往復移動可能な駆動部102と、駆動部102に対して矢印a方向に上下動可能で、かつ、矢印b方向に旋回可能な駆動部103と、この駆動部103に接続され、矢印c方向に出入可能な支持軸104と、この支持軸104の先端部に、上述の本発明の基板搬送装置1の基部2を装着した構成である。そして、基板搬送装置1の固定アーム3に設けられた吸引保持部4は図示しない吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。
【0036】
このような基板搬送部101は、駆動部102が所定位置に停止し、駆動部103が昇降、旋回して所定位置に停止し、支持軸104を基板S方向に押し出すことにより、基板S(仮想線で示す)の上端部近傍を吸引保持部4の保持部材4bによって吸引保持する。次いで、駆動部102の移動、駆動部103の昇降、旋回、支持軸104の出入により、基板搬送装置1を所望の位置に移動することにより基板Sを搬送する。そして、保持部材4bによる吸引保持を停止することにより、所定位置に基板Sを載置することができる。この基板搬送の間、基板Sは垂直状態で基板搬送装置1に保持されているので、自重による撓みを生じることがない。基板Sが垂直状態で搬送されるので、基板搬送の省スペース化が可能である。
【0037】
尚、基板搬送部101では、基板搬送装置として上述の基板搬送装置1を使用しているが、他の基板搬送装置11,21,31等、本発明の基板搬送装置であればいずれであってもよい。
本発明で搬送の対象となる基板は、特に制限はなく、ガラス基板、金属基板、樹脂基板等の平板状の全ての基板が対象となる。
【0038】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば基板は、基部から垂設された複数の固定アームの吸引保持部によって垂直状態で保持され、あるいは、固定アームの吸引保持部と可動アームの押圧ピンまたは吸引保持部とによって挟持するように垂直状態で保持され搬送されるので、自重による基板の撓みを防止することができ、大面積の基板でも安定して搬送することができ、また、基板の大面積化による搬送装置の大型化を避けることができ、さらに、従来の水平搬送方式に比べて、基板の大面積化による基板搬送スペースの増大が発生しないので、省スペース化が可能であるという効果が奏される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板搬送装置の一実施形態を示す正面図である。
【図2】図1に示される基板搬送装置の右側面図である。
【図3】本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正面図である。
【図4】図3に示される基板搬送装置の右側面図である。
【図5】本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正面図である。
【図6】図5に示される基板搬送装置の右側面図である。
【図7】本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正面図である。
【図8】図7に示される基板搬送装置の右側面図である。
【図9】図7に示される基板搬送装置の基部回動状態を示す右側面図である。
【図10】本発明の基板搬送装置を備えた基板搬送部の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1,11,21,31…基板搬送装置
2,12,22,32…基部
3,13,23,33…固定アーム
4,14,24,34…吸引保持部
15,25,35…ロータリアクチュエーター
16,26,36…可動アーム
17…押圧ピン(押圧部)
28,38…吸引保持部
Claims (2)
- ガラス基板の上端部より10mmの範囲の所定位置を吸引保持して垂直搬送する基板搬送装置において、
基部と、該基部から垂設された複数の固定アームと、水平方向の一直線上に位置するように各固定アームに設けられ複数の吸引保持部と、前記基部から前記固定アームの吸引保持部配設面に対向するように垂設された複数の可動アームと、を備え、
前記吸引保持部は前記固定アームから突出した吸引管と、該吸引管の先端部に配設された柔軟性を有する保持部材を有し、前記吸引管の中心から前記基部までの距離は、基板を吸引保持する位置から基板上端部までの距離よりも大きく、
前記可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面の対向位置から、前記固定アームから離れるように水平位置まで回動可能であり、かつ、可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面と対向する面に押圧ピンを備え、対向位置における該押圧ピンの中心は前記固定アームから突出した前記吸引管の中心と一致しており、
前記基部は水平軸を中心に回動可能であることを特徴とする基板搬送装置。 - ガラス基板の上端部より10mmの範囲の所定位置を吸引保持して垂直搬送する基板搬送装置において、
基部と、該基部から垂設された複数の固定アームと、水平方向の一直線上に位置するように各固定アームに設けられ複数の吸引保持部と、前記基部から前記固定アームの吸引保持部配設面に対向するように垂設された可動アームと、を備え、
前記吸引保持部は前記固定アームから突出した吸引管と、該吸引管の先端部に配設された柔軟性を有する保持部材を有し、前記吸引管の中心から前記基部までの距離は、基板を吸引保持する位置から基板上端部までの距離よりも大きく、
前記可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面の対向位置から、前記固定アームから離れるように水平位置まで回動可能であり、かつ、可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面と対向する面に吸引保持部を備え、該吸引保持部は前記可動アームから突出した吸引管と、該吸引管の先端部に配設された柔軟性を有する保持部材を有し、対向位置における前記吸引管の中心は前記固定アームから突出した前記吸引管の中心と一致しており、
前記基部は水平軸を中心に回動可能であることを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000045539A JP4394797B2 (ja) | 2000-02-23 | 2000-02-23 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000045539A JP4394797B2 (ja) | 2000-02-23 | 2000-02-23 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001233451A JP2001233451A (ja) | 2001-08-28 |
JP4394797B2 true JP4394797B2 (ja) | 2010-01-06 |
Family
ID=18568107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000045539A Expired - Fee Related JP4394797B2 (ja) | 2000-02-23 | 2000-02-23 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4394797B2 (ja) |
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- 2000-02-23 JP JP2000045539A patent/JP4394797B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001233451A (ja) | 2001-08-28 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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