JP5961918B2 - 基板クランプ装置 - Google Patents
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Description
や劣化が起こりにくいため、装置の維持管理に要する労力を省くことが出来る。
2・・・ガラス基板
3・・・ブラックマトリックス
4−1・・・レッドRの着色画素
4−2・・・グリーンGの着色画素
4−3・・・ブルーBの着色画素
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー
7・・・バーテイカルアライメント
10・・・基板
11・・・土台
12・・・ブラケット
13・・・クランプアーム
13a・・・クランプアームの基板接触部
13b・・・クランプアーム回転軸
14・・・プッシュピン
14a・・・プッシュピンの本来の位置
14b・・・プッシュピンがずれた位置
15・・・プッシュピンが押し込む方向を示す矢印
16a・・・クランプアームが正常に開いた場合の開口角度
16b・・・クランプアームの異常な開口角度
17a・・・クランプアームが正常に開いた場合の先端部を示す破線
17b・・・クランプアームの開口が異常な場合の先端部を示す破線
20・・・クランプアーム
21・・・基板クランプ装置の土台
22・・・ブラケット
23・・・クランプアーム押込み部
24・・・クランプアーム部
24a・・・基板保持部
24a−1〜24a−5・・・基板保持部24aが移動する位置
25・・・クランプアーム枝部
26・・・プッシュピン
27a・・・アーム押込み部に設けられたマグネット
27b・・・ブラッケトに設けられたマグネット
28a、28b、28c、28d・・・回転軸
28a−1〜28a−5・・・回転軸28aが通る軌跡円33上の位置
28b−1〜28b−5・・・回転軸28bが通る軌跡円34上の位置
29・・・プッシュピンを押し込む方向を示す矢印
30・・・クランプアーム部の回転方向を示す矢印
31・・・回転軸28cの回転方向を示す矢印
32・・・回転軸28dの回転方向を示す矢印
33・・・回転軸28aが通る軌跡円
34・・・回転軸28bが通る軌跡円
35・・・クランプアームの押し込み部の角度変化
36・・・クランプアーム部の開口角度
100・・・基板
Claims (1)
- 土台に設けたブラケットに取り付けたクランプアームの先端を跳ね上げる様に開閉することによって、基板を保持、解除する基板クランプ装置であって、
クランプアーム押し込み部とクランプアーム部とクランプアーム枝部を有するクランプアアームを備え、
前記ブラケット部と前記クランプアーム押し込み部と前記クランプアーム部と前記クランプアーム枝部はそれぞれが2つの回転軸を有し、
前記ブラケット部と前記クランプアーム部の回転軸には、それぞれ前記アーム押し込み部の回転軸と前記クランプアーム枝部の回転軸を取り付けられ、
前記クランプアーム押し込み部と前記クランプアーム部をつなぐ回転軸を前記土台から離れる方向に動かすことで前記クランプアームが閉じて前記基板を保持し、
前記クランプアーム押し込み部と前記クランプアーム部をつなぐ回転軸を前記土台に近づく方向に動かすことで前記クランプアームが開いて前記基板の保持を解除する際に、前記クランプアームの押し込み部の角度変化はクランプアーム部の開口角度よりも小さくできることを特徴とする基板クランプ装置。
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JP2011088053A JP5961918B2 (ja) | 2011-04-12 | 2011-04-12 | 基板クランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011088053A JP5961918B2 (ja) | 2011-04-12 | 2011-04-12 | 基板クランプ装置 |
Publications (2)
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JP2012222222A JP2012222222A (ja) | 2012-11-12 |
JP5961918B2 true JP5961918B2 (ja) | 2016-08-03 |
Family
ID=47273395
Family Applications (1)
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JP2011088053A Active JP5961918B2 (ja) | 2011-04-12 | 2011-04-12 | 基板クランプ装置 |
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2011
- 2011-04-12 JP JP2011088053A patent/JP5961918B2/ja active Active
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