JPS62214634A - 半導体クランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ドライパースヘプト等により、ソケット内ま
たは基板上に置かれた半導体のクランプ装ｆｆｉに係シ
、特に他の部材との干渉がない様に、上下方向の寸法を
押え、装置全体のコンパクト化をはかった半導体クラン
プ装置に関するものである。

〔発明の背景〕

ワークをクランプする従来装置として框「ヒロタカ精密
」製造、「東工産閤■」発売の「オートクランプ装置」
があり、本発明に関連するものとして「ＣＬ型」がある
が、この装置は、工作機械び）ワーク固定装置であり、
迅速且つ確実Ｖζ高い締付力が得られるものである。し
かし乍ら、この装置はリンク機Ｗを使ってはいるが、金
橋同志の滑り部分が多く長時間の連続運転には不向きで
ある。また、衝突部も多く騒音も多い。史ｖｃは、本発
明の利用分野である半導体という面からでμ高精度を得
られないという問題点を有する。

〔発明の目的〕

本発明は上記に鑑みて発明されたもので、ソケ・ｙ）内
または基板上に置かれた半導体を、装置全体のタクト影
響分与えることなく、迅速、高精度に且つ低姿勢な動作
を行い、装置の上下方向寸法のコンパクト化をはかる半
導体クランプ装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するため本発明は、クランプアームを中
間にして、上下２本のリンクアームでクランクアームに
連結し、クランクアームは自由軸とし、リンクアームの
他端を回動支点とし、上記クランク機構の三つのアーム
のうち、いずれかのアームを駆動させ、クランプアーム
の先端を放物線状の軌跡上を迅速且つ高精度に移動可能
に形成した特徴を有する。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図に基づき説
明する。第１図は半導体クランプ装置の正面図、第２図
はその左Ｉ日１１面図、第３図は駆動部の背面図を示す
。

ロータリーアクチュエータ２ｒｉブラケットＩＫ取付け
られ、本体ベース１０へ固定されている。

このロータリーアクチェエータ２け駆動源を形成し、こ
の駆動源に連結されるリンク機構はクランプアーム４お
よび第１のリンクアーム３、第２のリンクアーム５によ
って構成され、クランプアーム４を中間に置き、上側に
第１のリンクアーム３を、下側に第２のリンクアーム５
を連続している。第１のリンクアーム３の他端をロータ
リーアクチュエータ２の回動軸へ、第２のリンクアーム
５の下端を支持台６へ連結しブラケット１または本体ペ
ースＩＯＫ固定する。クランプアーム４Ｖｉプロプ・り
７とストッパ８、および調整ねじ９より構成されたスト
ブバ機構によって制御された角度内を回動する。第１の
リンクアーム３Ｖｃ連結され、ロータリーアクチュエー
タ２の回動軸を中心にリンクアーム３を腕として回動す
ると共に、支点Ｔを中心にリンクアーム５を腕とする回
動範囲に運動規制される。クランプアーム４の先端には
パット１１が取付けられ、別ユニットのトランバースヘ
プト２ＮＣよって搬送され、ソケット１３内に置かれた
半導体１２をパット１１でクランプする次に上記装置の
作動について説明する。第４図に装置が原点とする位置
に待機している時の状態を示す。ソケット１３の位置す
る上方には別ユニットであるトラバースヘプト２１が配
設され、このトラバースヘプト２１は上下動作およびト
ラバース動作を行うため、半導体１２をクランプするゾ パット１１０位置は、＃ケラト１３の中心よりはずれた
位置に待機する。トラバースヘッド２１はソケット１３
内に半導体１２を置いたあと上方へ待機し次工程に入る
。その待機位ｔけ、クランプアーム４とパット１１の軌
跡を避けた、なるべく低い高さとする。クランプアーム
４とパット１１の軌跡について図中の点Ｐにより説明す
る。ロータリーアクチュエータ２が回転しリンクアーム
３が作動すると、点ＲＶ′ｉ点Ｑを中心に円弧を描く。

それと同時に点Ｒ，Ｓ間が一定であるため点ＳＶｃ力が
伝わり、点Ｔを中心に円弧を描く。この一連の動作によ
って点Ｒ，Ｓを結んだ線の延長上にある点Ｐは、第５図
に示すような軌跡を描く。この軌跡は、水平方向に大き
な曲線を描きながら、ある一定圧［”進むと、そこから
急な角度で降下する特徴を待つ。このため点Ｐの待機位
置を極力低くすることができ、トラバースヘプト２１の
待機位置も最小に押えられ装置全体の上下寸法のコンパ
クト化につながる。また、半導体１２″′＆：クランプ
する時、はソ真上からの動作となり円運動による半導体
１２の横ずれはほとんどない。

以上、上記実施例について説明したが、本発明は上記実
施例ｖｃ限定するものです＜、駆動方式は、ロータリー
アクチュエータで駆動させる方式に限らない。また構成
する各部材の形状、支持方式についてもこの実施例に限
られるものでなく、変形が可能である。

〔発明の効果〕

以上、説明したように本発明によれば、半導体クランプ
装置けり／り機構の組合せにより、上下方向に低い放物
線の軌跡を描く動きを行い、迅速かつ高精度に半導体を
クランプすることができる。また、装＃機構の簡素化、
上下方向寸法のコンパクト化が可能となり、信頼性の向
上、およびコストダウンにも大きな効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す半導体クランプ装置の
正面図、第２図は第１図の左側面図、第３図は駆動部の
背面図、第４図は原点位置に待機する上記実施例の正面
図、第５図は第４図の図中に示す点Ｐの動作軌跡である
。 １・・・ブラケット　　２・・・ロータリーアクチュエ
ータ　　３・・・第１のリンクアームＡ　　４・・・ク
ランプアーム　　５・・・第２のリンクアームＢ６・・
・支持台　　７・・・プロツタ　　８・・・ストッパ９
・・・調整ねじ　　１０・・・本体ペース　　１１・・
・バプト　　１２・・・半導体　　１３・・・ソケット
２１・・・トラバースヘッド。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ソケット内または基板上に置かれた半導体をクラン
   プするパットを一端に設けたクランプアームと、このク
   ランプアームの他端を限定角度内を回動する第１のリン
   クアームの先端に連結し、クランプアームの中間部を、
   先端を支点として回動する第２のリンクアームの他端に
   連結してなり、上記各アームのうち、いずれか一つのア
   ームを駆動させ、クランプアームの開放端のパット部を
   上下方向に短かく横方向に長い放物線の軌跡上を移動さ
   せることを特徴とする半導体クランプ装置２、駆動源が
   ロータリーアクチュエータである特許請求の範囲第１項
   記載の半導体クランプ装置３、駆動源に第１のリンクア
   ームが、支持台の回動支点に第２のリンクアームが連結
   されている特許請求の範囲第２項記載の半導体クランプ
   装置