KR102127096B1 - 기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛 - Google Patents

기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛 Download PDF

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Abstract

대면적 기판에 대한 안정적인 핸들링 목적으로 종래의 클램핑 유닛을 개선하였다. 즉, 본 발명은 절곡 공정을 적용하기 때문에 정밀하게 제작할 수 없는 구조의 클램퍼 플레이트를 절곡없이 제작하도록 개선하여 정밀도를 확보함으로써 기판의 파손에 대한 위험성을 낮추었고, 클램퍼 자석 및 본체 자석의 배치를 최적화 하여 클램핑 포스를 최대로 이끌어내 대면적 기판이 점착제에서 탈락하는 경우에도 안정적으로 지지 및 고정할 수 있도록 하였다. 클램퍼와 본체의 자석의 외벽은 스톱퍼 역할을 겸하며, 정확한 위치에서 클램핑 될 수 있도록 하는 역할을 한다.
클램핑 유닛의 클램퍼 플레이트는 구동 푸셔와 맞닿는 부분으로 경도가 높은 열처리된 금속 재질을 사용하고 추가적인 코팅을 활용하여 파티클 발생을 억제 하였다. 구동 푸셔는 두 가지 타입으로 필요에 따라 적용하며 첫 번째 타입은 경사면을 적용하여 일정 높이 이하로 클램프 유닛을 가압할 수 없는 구조를 적용하였도,갈림 및 긁힘 등에 대한 내구성 확보를 위해 열처리 한 금속을 사용하고 코팅을 활용하여 파티클 발생을 억제하였다. 두 번째 타입은 갈림 및 긁힘 등에 대한 내구성 확보를 위해 베어링을 사용하며, 역시 코팅을 활용하여 파티클 발생을 억제하였다.
또한, 클램프 유닛에 적용되는 볼트는 모두 척에 클램프 유닛을 취부한 상태로 정비/점검 할 수 있도록 하여 클램퍼 플레이트는 취부한 상태로 교체 가능하도록 하여 정비 및 점검의 용이성을 향상시키도록 하였다.

Description

기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛{Clamping Unit With Magnet For Clamping Substrate}
본 발명은 디스플레이, 반도체 등의 제조 공정에서 기판을 지지 및 고정하는 척에 부착되는 기판 지지 및 고정용 클램핑 유닛의 개선에 대한 것이다.
디스플레이 산업에서 척의 일반적인 기능은 진공 장비 내부에서 패널 기판을 일정하게 지지 및 고정하는 목적으로 사용되며, 실제 양산 제조 공정 시 사용 중이다. 최근 디스플레이 산업의 급격한 발전으로 디스플레이 장치의 대면적화가 진행되고 있으며, 디스플레이 패널을 제조하는 장비 역시 대면적화 기술 발전이 가속화 되는 중이다. 동시에 디스플레이 산업의 패널 기판 사이즈가 증가할수록 패널 기판을 지지 및 고정하는 척의 사이즈 증가는 필수 요소이다.
또한, 패널 기판의 패턴의 폭은 수 마이크로에 불과하기 때문에 패널 기판의 대면적화 시 패널의 하중 증가로 인한 처짐 등의 영향이 동시에 증가하게 되어 패널 제조 공정을 수행하는 동안 기판의 위치가 변동되지 않도록 지지 및 고정하는 장치인 척의 기능은 더욱 더 중요하게 된다.
제조 공정에 사용되는 척의 종류는 진공 척, 정전 척, 점착 척 등이 있으며, 점착 부재를 사용하여 기판을 지지 및 고정하는 점착 척의 경우, 본 발명의 발명자들에 의해 발명되어 본 출원인에 의해 출원되어 있고, (대한민국 등록 특허 제 10-0541856호 참조) 클램핑 유닛을 포함하는 점착척 또한 본 출원인에 의해 출원 중이다(출원번호 10-2018-0050149).
위의 기 출원 중인 특허에서 클램핑 유닛을 포함하는 점착척에서, 기판의 대면적화에 대해 점착 부재만으로 기판을 지지 및 고정하는 부분에서 안정성이 저하되는 부분을 보완하고자 클램핑 유닛을 사용한다. 이 때, 클램핑 유닛은 충분히 정밀하게 제작될 필요가 있고, 기판을 지지할 만큼의 클램핑 능력을 가져야 하며, 구동 과정에서의 내구성 확보 및 파티클 발생에 대한 대책이 필요하다.
종래 클램핑 유닛을 포함하는 점착척의 클램핑 유닛의 경우 몇가지 해결해야 할 과제가 있다.
첫째, 기판이 처지지 않도록 지지하는 클램퍼 플레이트의 제작 방식이다. 기존의 클램핑 유닛의 클램퍼 플레이트는 얇은 금속 재질의 판재를 절곡시켜 제작하는 방식을 취하고 있다. 이 방식의 문제점은 절곡 시 제작 가능한 공차가 크기 때문에 정밀한 치수로 제작하기 어렵다는 것이다. 클램퍼 플레이트는 유리기판의 가까이에 위치하기 때문에 클램퍼 플레이트의 절곡 시 절곡 각도의 허용공차가 큰 경우 클램핑 유닛이 기판을 고정하지 못하거나, 기판과 맞닿아 기판을 파손시킬 수도 있다.
둘째, 기판이 점착 부재에서 이탈하는 경우 기판의 처짐을 클램핑 유닛이 지지해야 하는 상황이 발생한다. 해당 상황에서 클램핑 유닛은 충분한 클램핑 포스를 가져야 기판을 성공적으로 지지할 수 있다.
세째, 클램퍼 플레이트는 클램핑 상태에서 정확한 위치에 멈추어야 한다. 그렇지 못한 경우 클램핑 유닛과 맞닿아 기판이 손상되거나, 기판을 효과적으로 고정할 수 없는 상황이 발생한다. 언클램핑 상태에서 클램핑 상태로 돌아갈 때 영구 자석의 힘으로 원위치로 복원되며 이 때 적절한 스톱퍼가 있어, 클램퍼 플레이트가 클램핑 시 과도하게 회전하여 기판을 손상시키는 일이 없도록 해야한다.
네째, 클램핑 유닛을 구동하는 방식에 있어 구동 푸셔가 직접 클램핑 유닛과 맞닿아 언클램핑을 하게 되어 있다. 이 과정에서 클램핑 유닛과 구동 푸셔의 마찰이 일어나게 되어 파티클이 발생할 수 있다. 파티클 발생은 청정도를 유지해야 하는 디스플레이 공정에 악영향을 끼칠 수 있다. 이를 방지하기 위해 클램프 유닛의 구동 푸셔와 맞닿는 부분의 재질 및 구동 푸셔의 재질 및 형상의 개선이 필요하다.
다섯째, 클램핑 유닛은 주기적인 점검이 필요하다. 척의 반송 구동 시 전해지는 진동이 클램핑 유닛의 각 볼트의 조임을 느슨하게 만들 수 있다. 특히, 구동 푸셔와 직접 맞닿는 클램퍼 플레이트의 경우 상대적으로 마찰에 의한 손상이 발생할 가능성이 높은 부품이다. 이 부품에 대해 주기적으로 교체 관리가 필요하며, 이 때 척에서 클램핑 유닛을 분리하지 않고 클램퍼 플레이트를 교체할 수 있는 방안이 필요하다. 점검 시 마다, 점착척에서 클램핑 유닛을 분리하여 점검을 실시하는 것은 많은 시간과 노력이 필요하게 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 분리 없이 점검할 수 없는 위치의 볼트 배치를 피할 필요가 있다.
상기 클램핑 유닛의 개선 필요성에 따라 본 발명은 아래와 같이 해결책을 제공한다.
절곡을 활용한 클램퍼 플레이트의 정밀도 저하 문제를 해결하기 위해 클램퍼 플레이트가 꺾이는 부분 없이 직선을 나타내도록 제작하고, 상부에서 볼트를 통해 고정하여 손상 및 파손 발생 시 교환이 용이하도록 개선 하였다. 플레이트의 재질은 스테인레스 스틸 420 계열(SUS420j2)과 같은 재질에 열처리를 적용하여 반복 사용시의 변형을 최소화 하였다. 이전과 동일하게 필요한 경우 저탈가스 특성을 보이는 수지 계열의 바이톤 패트를 부착할 수 있다.
기존 클램핑 유닛의 경우 자석의 배치가 최적의 클램핑 포스를 발생 시키지 못하는 구조로 제작되었다. 이 부분을 개선하여 클램핑 유닛 구동 시 클램퍼의 자석과 본체의 자석이 사선으로 멀어지는 구조에서, 수직으로 멀어지도록 구조를 개선하였다. 또한 클램핑 상태에서 두 자석간의 위치를 정확하게 맞추어 원하지 않는 방향으로 자력이 흩어지는 현상을 방지하였다. 이러한 자석 배치의 경우 언클램핑 후 자력 및 중력에 의해 클램퍼가 복귀하며 클램핑 상태로 돌아가게 된다.
위의 수직으로 멀어지는 구조의 영구 자석 배치에서 클램핑 유닛의 본체에 자석과 클램퍼의 자석이 서로 수직으로 배치되어 클램핑 되는 구조이다. 이 구조에서 자석 위치는 클램퍼와 본체 내부에 위치하게 되며 이 클램프와 본체의 자석이 서로 마주보는 위치의 외벽이 언클램핑 상태에서 클램핑 상태로 진행되는 과정에서 스톱퍼 역할을 하게 된다.
클램핑 유닛을 구동하는 방식에 있어 직접적인 마찰을 줄일 필요가 있다. 이 과정에서 경도가 좋은 소재 및 코팅을 사용하여 마찰에 의한 긁힘에 대해 내구성을 확보할 수 있도록 높은 경도의 재질 및 필요한 경우 표면 코팅(DLC 코팅, Beta-P 코팅 등)을 처리하여 적용하도록 하였다. 클램핑 유닛에서 구동 푸셔와 맞닿는 부분은 갈림 발생 시 쉽게 교체할 수 있어야 하며, 이와 같은 관계로 클램퍼 플레이트를 이전보다 길게 제작하여 클램핑 유닛 상부를 모두 덮는 형식으로 조립하여 해결하였다. 이 경우 클램퍼 플레이트가 구동 푸셔와 맞닿게 되며, 클램퍼 플레이트는 경도가 뛰어난 재질이 이미 적용되어 있고, 추가적으로 표면 코팅을 적용하여 갈림 혹은 긁힘에 대해 내구성을 확보할 수 있다.
구동 푸셔의 경우 업/다운을 통해 클램핑 유닛을 클램핑/언클램핑 상태로 제어하는 역할을 하며, 두 가지 형식으로 제작할 수 있도록 하였다. 한가지는 구동 푸셔의 끝 부분에 일정 각도의 경사면을 만들어, 클램핑 유닛이 일정각도 이상으로 열리지 않도록 스톱퍼 역할을 수행하도록 하는 형태인데, 후술할 베어링 적용 타입의 구동 푸셔에 비해 갈림이나 긁힘 현상에 취약하게 된다. 다른 한 가지 타입은 푸셔의 끝 부분에 회전 가능한 베어링을 적용하여 마찰에 의한 긁힘을 최소화 하는 형태이다. 두 가지 경우 모두 표면 코팅을 적용하여 추가적으로 긁힘 및 갈림을 최소화 할 수 있도록 하였다. 단 베어링의 코팅은 직접 적용 가능한 코팅은 문제가 없지만, 일부 고온 코팅의 경우 직접 적용이 불가능하므로, 롤러의 형태로 베어링 커버를 제작하여 해당 커버를 코팅하여 적용하도록 하였다.
클램핑 유닛에서 클램퍼의 자석을 고정하는 방식에 있어 본래 사용하던 방식은 클램퍼에 자석을 삽입 후 절곡으로 제작된 클램퍼 플레이트를 볼트조립을 이용하여 고정하는 방식이었다. 이 방식은 클램프 유닛의 부착 후 클램퍼 플레이트로 볼트 부분이 가려져 클램프 유닛의 분리작업 없이는 해당 볼트의 점검이 불가능한 구조였다. 이 부분에 대해 본 발명에 따라 개선된 클램퍼 플레이트는 직선으로 제작되기 때문에 삽입된 자석을 고정할 수 없어, 별도의 자석 커버를 사용하였다. 별도의 자석 커버의 경우 자력을 띠지 않고 가공하기 쉬운 스테인리스 스틸 304 계열 (SUS304)로 제작하며, 볼트를 사용하지 않고 레이저 용접으로 처리하여 볼트 점검이 필요 없도록 하였다.
또한, 본 발명에 따라 개선된, 절곡없이 직선 단면을 보이는 평면으로 제작된 클램퍼 플레이트는 조립 시 볼트 고정부가 상면으로 향하게 되며, 그에 따라 클램핑 유닛을 분리하지 않고도 클램퍼 플레이트를 손쉽게 교체할 수 있게 하였다.
즉, 본 발명은 척에 부착하여 기판을 지지 및 고정하는 클램핑 유닛의 성능 개선하여 대면적 기판의 핸들링에 추가적인 안정성을 제공하며, 디스플레이 제조 공정의 청정도와 클램핑 유닛의 정비, 점검의 용이성을 제공하는 것으로, 상기 클램핑 유닛 본체에 대해 경첩식으로 회전 가능한 클램퍼와 클램퍼 상단을 모두 덮는 직선형의 클램퍼 플레이트를 구비하고, 해당 클램퍼 플레이트는 열 변형을 억제하기 위해 열처리 된 금속으로 제작하고, 필요에 따라 바이톤 패드가 추가 부착되는 것을 특징으로 하는 클램핑 유닛을 제공한다.
상기 클램핑 유닛 본체와 상기 클램퍼는 기판을 지지 및 고정하는 상태에서 서로 다른 극성의 자석의 자력에 의해 접합되는 과정에서 각 자석이 서로 수직으로 정확히 정렬되어 마주하여 클램핑 포스를 확보하는 구조를 특징으로 하는 클램핑 유닛을 제공한다.
상기 클램핑 유닛은 본체와 클램퍼에 자석이 심어져 있으며 각각 본체의 자석과 클램퍼의 자석이 마주보는 방향의 외벽이 서로 스톱퍼 역할을 하는 구조를 갖추고, 정확한 위치에서 클램핑 가능한 클램핑 유닛을 제공한다.
상기 클램퍼 플레이트의 경우 높은 경도의 재질을 사용하고, 필요한 경우 표면 코팅(DLC 코팅, Beta-p 코팅 등)을 클램퍼 플레이트 및 구동 푸셔에 적용하여 내구성을 확보 및 파티클 발생을 방지하는 클램핑 유닛을 제공한다.
또한, 클램핑 유닛의 클램퍼 후단을 눌러 언클램핑과 클램핑 상태를 만들어 주는 구동 푸셔는 원하는 각도의 경사면을 가져 클램퍼가 더 이상 열리지 않도록 스톱퍼 역할을 겸하는 형태와, 베어링을 장착하여 갈림 혹은 긁힘에 최적화된 형태를 필요에 따라 선택하여 구비할 수 있는 것을 특징으로 하며, 마찬가지로 필요에 따라 표면 코팅을 할 수 있는 것을 특징으로 한다.
상기 클램핑 유닛은 조립된 상태에서 정비 혹은 점검 할 수 없는 볼트를 제거하고, 클램핑 유닛을 척에서 분리할 필요 없이 클램퍼 플레이트 교체 및 기타 볼트의 정비 혹은 점검이 용이하도록 구조를 개선하고, 정비 및 점검이 어려운 클램퍼 자석 커버의 경우 레이저 용접을 적용하여 정비 및 점검을 용이하도록 개선한 클램핑 유닛을 제공한다.
본 발명의 클램핑 유닛 및 구동 푸셔의 개선 내용에 따르면, 클램핑 유닛 자체의 성능 및 작동 안정성이 향상되어 결과적으로 척의 기판 지지 및 고정 능력을 향상시키는 효과를 가져오게 된다.
또한, 표면 재질 및 형상의 변화를 주어 클램프 유닛을 부착한 척을 운용 시 파티클에 대해서도 방지하는 효과가 있다.
마지막으로 조립된 상태에서도 모든 볼트가 점검 가능한 위치에 있어, 점검 및 정비에 용이성을 갖추게 된다.
도 1은 본 발명에 따라 제작된 클램핑 유닛의 전체 외형도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 클램핑 유닛의 클램핑/언클램핑 상태에서의 전체 외형의 3차원 도면이다.
도 3은 경사면 적용 타입의 구동 푸셔의 3차원 도면이다.
도 4는 베어링 타입의 구동 푸셔의 3차원 도면이다.
도 5는 두 가지 타입의 구동 푸셔 중 일체형 타입을 사용하는 경우의 클램핑/언클램핑 상태에 대한 단면도이다.
도 6는 두 가지 타입의 구동 푸셔 중 베어링 적용 타입을 사용하는 경우의 클램핑/언클램핑 상태에 대한 단면도 이다.
이하, 첨부하는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 1에는 본 발명이 적용된 클램핑 유닛(10)의 평면도, 정면도, 우측면도 그리고 단면도가 있다. 클램핑 유닛(10)의 베이스가 되는 본체(110)가 있고 이 부분이 척 플레이트에 고정되게 된다. 본체에는 축(120)이 적용되어 있고, 클램퍼(130)가 축(120)을 중심으로 회전운동 할 수 있도록 조립이 되어 있다. 본체(110)와 클램퍼(130)에는 각각 서로 마주보는 방향으로 자석이 하나씩 삽입된다. 상기 자석은 클램핑 상태에서 서로 인접한 위치에 위치하게 되며, 서로 마주보는 면의 크기와 중심선이 정렬되어 있어 자력이 흩어지지 않게 하였다. 즉, 자석들이 서로 마주보는 면의 크기가 거의 동일하고 중심선이 정렬되어 있기 때문에 정면에서 바라보면 뒤에 배치된 자석이 앞의 자석에 의해 거의 완전히 가려지는 상태를 이룬다. 본체(110)에서 위로 삽입되는 본체 자석(170)과 클램퍼(130)의 전면에서 후면 방향으로 삽입되는 클램퍼 자석(160)이 그것이다. 이 때 클램퍼(130)에 삽입되는 클램퍼 자석(160)은 삽입 후 자석 커버(150)에 의해 밖으로 나가지 않도록 고정되는데, 이 부분을 용접으로 고정하여, 클램핑 유닛(10)이 척에 고정된 상태에서 점검 혹은 정비를 할 수 없는 상황을 없애고, 점검 혹은 정비의 용이성을 향상시켰다.
클램핑 유닛(10)의 상부의 클램퍼(130) 상면에는 클램퍼 플레이트(140)를 꺾어서 제작하는 절곡 과정이 없도록 하여 제작한 클램퍼 플레이트(140)가 조립된다. 상부에 조립되는 클램퍼 플레이트(140)는 교체가 용이하여, 정비 및 점검의 용이성을 향상시킨다. 도 2a는 전체 조립된 클램핑 유닛(10)의 3차원 형태에 대한 이해를 돕기 위해 클램핑 유닛의 사시도들이고 도 2b는 클램핑 유닛 반을 절단하여 클램핑 동작시 스톱퍼 역할을 하는 클램퍼(130)의 외벽(131)과 본체(110)의 외벽(111)을 추가적으로 보여준다.
상기 클램퍼 플레이트는 상부에서 볼트를 이용해 조립하게 구성되어 클램퍼 교체 시 척에서 클램핑 유닛을 분리할 필요 없이 클램퍼 플레이트만을 교체할 수 있다.
도 3에는 경사면 적용 타입의 구동 푸셔(20)를 보였다. 경사면 적용 타입의 구동 푸셔(20)는 클램핑 유닛(10)의 언클램핑 시 클램핑 유닛(10)의 후단을 누르게 되는데, 이 때 일정 각도까지 클램핑 유닛(10)의 클램퍼(130)가 기울어지게 되면 경사면 적용 타입의 구동 푸셔(20)의 경사면과 부딪히게 되어, 경사면 적용 타입의 구동 푸셔(20)가 더 이상 하강되지 않아 언클램핑 동작에서 일종의 스톱퍼 역할을 하게 된다.
경사면 적용 타입의 구동 푸셔(20)는 단부에 서로 다른 경사각을 갖는 두 경사면을 구비하여 상기 클램핑 유닛의 회전할 수 있는 클램퍼를 눌러 언클램핑 시, 상기 경사면 중 경사각이 더 가파른 경사면(21)이 클램퍼 플레이트에 접하는 동시에 나머지 경사면(22)이 본체 상면에 접하여 스톱퍼 동작이 일어나게 된다.
도 4는 구동 푸셔의 또 다른 타입인 베어링 타입의 구동 푸셔(30)이다. 베어링 타입의 구동 푸셔(30)는 클램핑 유닛(10)과 맞닿는 부분에 베어링(320)을 적용하여 갈림이나 긁힘에 조금 더 유연하게 대처할 수 있도록 하였다.
도 5에 표현된 경사면 적용 타입의 구동 푸셔(20)의 클램핑/언클램핑 상태의 측면도와 도 6에 표현된 베어링 적용 타입의 구동 푸셔(30)는 클램핑/언클램핑 상태의 측면도이다. 도 5와 6에서와 같이, 클램퍼(130)와 본체(110)의 자석은 서로 인력이 작용하는 방향으로 배치되어 있으며, 서로 당기는 방향으로의 클램퍼(130)의 외벽(131)과 본체(110)의 외벽(111)은 스톱퍼 역할을 하여 클램핑 상태에서 정확한 클램핑 위치를 유지할 수 있다(도 2b 참조). 도 5와 도 6에서 클램핑 유닛(10)과 이를 수용하는 취부용 홈이 상세히 나와있으며, 경사면 적용 타입 구동 푸셔(20)와 베어링 적용 타입 구동 푸셔(30)가 클램핑 유닛(10)을 눌러 구동하는 부분도 상세히 나와있다.
도 5와 6에서 클램핑 유닛(10) 구동을 위해 구동 푸셔(20 혹은 30)가 다운 구동을 통해 클램핑 유닛(10)의 뒷 부분을 눌러 구동하는 것을 확인 가능하다. 이 때 클램퍼 자석(160)과 본체 자석(170)은 서로 잡아 당기는 인력으로 인해 클램핑 포스를 발생시키고 있다가, 구동 푸셔(20 혹은 30)에 의해 강제로 떨어져 언클램핑 상태가 된다. 이 때 기판(50)을 로딩하게 되며, 기판(50) 로딩 후 구동 푸셔(20 혹은 30)의 업 구동을 통해 다시 위로 올라가게 되면, 클램핑 유닛(10)의 무게 중심에 따른 중력의 영향과, 각 클램퍼 자석(160) 및 본체 자석(170)의 인력으로 인해 다시 클램핑 상태로 돌아가게 된다. 기판의 언로딩 시에는 동일하게 언클램핑이 된 상태에서 기판을 언로딩 하고 다시 클램핑 상태로 돌아가게 된다.
상기 구동 푸셔의 단부와 베어링에 열처리 또는 경질 표면 코팅을 적용한다.
이와 같이 하여 기존의 클램핑 유닛의 단점을 개선할 수 있다. 이렇게 개선된 클램핑 유닛은 대면적 기판의 점착척 척킹에서의 안정성을 추가로 확보할 수 있으며, 내구성과 파티클에 대한 적은 발생으로 공정 내 청정한 환경을 유지하는 것에 도움을 줄 수 있다. 또한 점착척 뿐 아니라 정전 척 등의 다른 종류의 척에도 상기 클램핑 유닛이 적용할 수 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에 통상의 지식을 가진 자가 청구 범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
10 : 클램핑 유닛
20 : 경사면 적용 타입 구동 푸셔
30 : 베어링 적용 타입 구동 푸셔
40 : 홈
50 : 기판
110 : 본체
120 : 클램퍼 축
130 : 클램퍼
140 : 클램퍼 플레이트
150 : 클램퍼 자석 커버
160 : 클램퍼 자석
170 : 본체 자석

Claims (8)

  1. 기판과 기판 척을 클램핑하는 클램핑 유닛으로서,
    척 플레이트에 고정되고, 클램퍼 양단에 회전축이 적용되어 클램퍼가 회전할 수 있게 조립되는 본체;
    상기 본체에 회전 축으로 연결되어 회전할 수 있는 클램퍼;
    상기 클램퍼 상면에 조립되며 절곡부 없이 평탄면으로 제작된 클램퍼 플레이트; 및
    상기 본체와 클램퍼에 각각 내장되는 본체 자석과 클램퍼 자석;을 포함하고,
    상기 본체 자석과 상기 클램퍼 자석은 기판 클램핑 상태에서 서로 마주보며 인접하는 위치에 배치되고 본체 자석의 중심선과 클램퍼 자석의 중심선이 서로 정렬 된 상태로 배치되어, 클램퍼 정면에서 바라보면 뒤에 배치된 본체 자석이 앞에 배치된 클램퍼 자석에 의해 완전히 가려지도록 배치되며,
    상기 본체 자석과 상기 클램퍼 자석이 서로 마주하는 본체 외벽과 클램퍼 외벽이 클램핑 동작에서 스톱퍼 역할을 하고,
    경사면을 구비한 구동 푸셔가 상기 클램퍼 플레이트에 닿아 푸쉬하여 상기 클램퍼와 클램퍼 플레이트가 함께 회전하여 언클램핑 동작이 이루어지는 것을 특징으로 하는 클램핑 유닛.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 클램핑 유닛은 클램핑/언클램핑을 반복하는 구동 시 내구성을 발휘해 갈림 및 긁힘을 방지하도록 열처리 재질의 금속을 사용하며, 경도가 높은 코팅층을 형성한 클램퍼 플레이트를 적용한 것을 특징으로 하는 클램핑 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 클램퍼 자석의 고정을 위해 클램퍼 정면에 자석을 차단하는 자석 커버를 클램퍼 정면에 용접 고정한 것을 특징으로 하는 클램핑 유닛.
  5. 제1항에 있어서, 상기 클램퍼 플레이트는 상부에서 볼트를 이용해 조립하게 구성되어 클램퍼 교체 시 척에서 클램핑 유닛을 분리할 필요 없이 클램퍼 플레이트만을 교체할 수 있는 것을 특징으로 하는 클램핑 유닛.
  6. 제1항 및 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항의 클램핑 유닛의 클램핑 및 언클램핑 동작을 실시하는 구동 푸셔로서, 단부에 서로 다른 경사각을 갖는 두 경사면을 구비하여 상기 클램핑 유닛의 회전할 수 있는 클램퍼를 눌러 언클램핑 시, 상기 경사면 중 경사각이 더 가파른 경사면이 클램퍼 플레이트에 접하는 동시에 나머지 경사면이 본체 상면에 접하여 스톱퍼 동작이 일어나는 것을 특징으로 하는 구동 푸셔.
  7. 제6항에 있어서, 상기 구동 푸셔의 단부에 오목부를 형성하고 상기 오목부에 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 구동 푸셔.
  8. 제7항에 있어서, 상기 구동 푸셔의 단부와 베어링에 열처리 또는 경질 표면 코팅을 적용한 것을 특징으로 하는 구동 푸셔.





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