KR101461558B1 - 캐리어 프레임 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 캐리어 프레임 구조에 관한 것으로, 특히 캐리어 프레임 구조를 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 티타늄 재질로 형성함으로써, 양측 프레임을 티타늄 재질로 형성하고, 상/하측 프레임을 알루미늄 재질로 형성한 경우에 발생하는 캐리어 프레임의 열변형 또는 뒤틀림 현상을 방지할 수 있고, 캐리어 프레임 전체에 대하여 화학 세정을 수행할 수 있으며, 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임의 일부 블록이 티타늄 박판을 절곡시켜 형성됨으로써, 캐리어 프레임의 전체 무게를 대폭 감소시킬 수 있는 캐리어 프레임 구조에 관한 것이다.
본 발명인 캐리어 프레임 구조를 이루는 구성수단은 글라스를 안착시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임이 서로 결합되어 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서, 상기 각 프레임은 상기 글라스를 안착시키고 고정하는 내측 블록과, 상기 내측 블록에 접촉 결합되는 외측 블록으로 구성되되, 상기 내측 블록은 티타늄 재질의 판재를 절삭 가공하여 형성되고, 상기 외측 블록은 티타늄 재질의 박판을 절곡하여 속이 빈 각파이프 형상으로 형성되며, 상기 내측 블록과 외측 블록은 용접에 의하여 고정 결합되는 것을 특징으로 한다.

Description

캐리어 프레임 구조{carrier frame structure}
본 발명은 캐리어 프레임 구조에 관한 것으로, 특히 캐리어 프레임 구조를 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 티타늄 재질로 형성함으로써, 양측 프레임을 티타늄 재질로 형성하고, 상/하측 프레임을 알루미늄 재질로 형성한 경우에 발생하는 캐리어 프레임의 열변형 또는 뒤틀림 현상을 방지할 수 있고, 캐리어 프레임 전체에 대하여 화학 세정을 수행할 수 있으며, 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임의 일부 블록이 티타늄 박판을 절곡시켜 형성됨으로써, 캐리어 프레임의 전체 무게를 대폭 감소시킬 수 있는 캐리어 프레임 구조에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 생산 공정 중 일부인 컬러 필터 공정에 있어서 글라스에 ITO 막을 성막하는 과정에는 ITO 타겟이 있는 진공 챔버 내로 글라스를 투입해야 하며, 이때 사용되는 글라스 무빙 장치를 통상 "캐리어" 라고 칭하고, 캐리어를 구성하는 프레임을 "캐리어 프레임"이라 칭한다.
일반적인 캐리어 프레임은 도 1에 도시된 바와 같이, 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 양측 프레임(30)으로 구성되고, 이들 각 프레임의 양단에 형성된 프레임 결합부(40)가 서로 결합됨으로써, 캐리어 프레임을 형성한다.
상기 캐리어 프레임으로 구성되는 캐리어의 기능으로는 글라스를 안착시켜 이동시키는 기능, 글라스 이동시 글라스의 움직임이 없도록 하는 클램핑 기능, 그리고 글라스의 원하는 부분에 ITO 성막이 이루어질 수 있도록 하는 마스크 기능이 포함된다.
상기 캐리어는 구동 시, 도 1에 도시된 바와 같이, 세워진 상태에서 구동하기 때문에 전체 하중이 아래 방향으로 받게 되며, 이때 캐리어의 양측 프레임(30)은 캐리어의 구동 시 하중을 가장 많이 받는 부분이기 때문에, 티타늄 재질로 구성되어 있어 강한 프레임 구조를 형성한다.
아울러 캐리어의 전체적인 무게를 고려하여 상측 프레임(10) 및 하측 프레임(20)은 알루미늄 재질로 가볍게 하여 구동 시 하중을 최소로 줄이도록 형성된다.
이러한 조립구조는 이종 재질을 사용하여 변형 발생을 고려하면서 동시에 전체 무게를 줄여야 하는 두가지 설계 요건을 충족하여야 함은 물론이며, 캐리어가 ITO 성막 진행 과정에서 마스크의 역할을 담당하고 있기 때문에 스퍼터링 공정의 필수 조건인 일정 회차의 성막 과정에서 캐리어 표면에 ITO 성막이 적층되게 된다.
이에 따라 일정 회차의 성막 과정 후에는 PARTICLE ISSUE로 불량 방지를 위한 적정 관리량 이상의 ITO 성막이 캐리어 표면에 적층되는 것을 방지하고자 대략 3일 정도 주기로 정기적 화학 세정작업이 실시되게 된다.
이러한 세정 과정은 재질별로 다른 공정으로 진행하며 양측 프레임(30)은 티타늄이기 때문에 일반 화학세정을 통해 캐리어 표면에 부착된 ITO 성막을 제거하나, 상측 프레임(10) 및 하측 프레임(20)은 화학세정에는 알루미늄 재질이 화학 반응을 하여 부식을 일으키기 때문에 글라스 안착면은 샌딩페이퍼와 수세미 등을 이용하여 표면 이물 제거 및 표면 조도를 높이기 위한 사상 작업을 하고 글라스 안착면의 마스킹 후 반대편의 ITO 성막 부분을 샌딩처리로 성막 제거 후 세정 작업을 실시한다.
이에 따라 샌딩페이퍼와 수세미가 알루미늄 재질인 상부 프레임 및 하부 프레임의 글라스 안착면을 계속해서 식각시키는 현상을 유발하게 되어 화학세정만 실시하는 캐리어 양측 프레임에 비해 수명이 짧고 주기적으로 교체해야 하는 문제점이 발생된다.
이러한 부품 교체는 소모품의 증가에 따른 원가 상승은 물론 교체 작업에 투입되는 인적 공수 비용까지 상승시킴으로써 생산효율이 저하되는 문제를 초래하였다.
이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인은 "캐리어 프레임 구조"라는 발명의 명칭으로 특허출원(특허출원 번호 10-2010-0092843, 특허등록 번호 10-1029937)을 하였다.
구체적으로, 상기 출원 발명은 글라스를 수용하여 이동시키기 위해 메인 바디와 상, 하부프레임 및 좌, 우측프레임으로 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서, 상기 상, 하부 프레임은 메인 바디와 볼트와 같은 고정수단에 의해 착탈가능하도록 결합되되 상기 상, 하부프레임의 일측 결합면에는 수평면상으로 돌출되는 돌출로가 형성되어 상기 상, 하부프레임과 결합하는 메인 바디의 결합면에 형성되는 홈로와 형성적으로 대응되어 결합될 수 있도록 하며, 상기 고정수단은 상기 상, 하부프레임의 돌출로에 형성되는 제 1관통홀과, 상기 메인 바디의 홈로 상에 형성되는 제 2관통홀에 관통 설치되어 상기 상, 하부프레임 및 메인 바디가 안정적으로 결합될 수 있도록 함으로써, 상기 종래 기술의 문제점을 해결하고자 하였다.
그러나, 이러한 출원 발명에 의한 경우, 모든 프레임이 티타늄 판재를 절삭 가공하여 형성하기 때문에, 여전히 캐리어 프레임 전체 무게의 과중 문제를 가지고 있고, 이로 인하여 캐리어 구동부에 큰 부담을 부여하고, 캐리어 프레임 운송 및 세정시 관리적 측면에서 단점이 발생하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 캐리어 프레임 구조를 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 티타늄 재질로 형성함으로써, 양측 프레임을 티타늄 재질로 형성하고, 상/하측 프레임을 알루미늄 재질로 형성한 경우에 발생하는 캐리어 프레임의 열변형 또는 뒤틀림 현상을 방지할 수 있고, 캐리어 프레임 전체에 대하여 화학 세정을 수행할 수 있으며, 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임의 일부 블록이 티타늄 박판을 절곡시켜 형성됨으로써, 캐리어 프레임의 전체 무게를 대폭 감소시킬 수 있는 캐리어 프레임 구조를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 캐리어 프레임 구조를 이루는 구성수단은 글라스를 안착 고정시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임이 서로 결합되어 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서, 상기 각 프레임은 상기 글라스를 안착시키고 고정하는 내측 블록과, 상기 내측 블록에 접촉 결합되는 외측 블록으로 구성되되, 상기 내측 블록은 티타늄 재질의 판재를 절삭 가공하여 형성되고, 상기 외측 블록은 티타늄 재질의 박판을 절곡하여 속이 빈 각파이프 형상으로 형성되며, 상기 내측 블록과 외측 블록은 용접에 의하여 고정 결합되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 내측 블록은 상기 캐리어 프레임의 내측으로부터 상기 외측 블록 방향으로, 제1 저단부, 고단부 및 제2 저단부가 연속해서 형성되도록 가공 형성되되, 상기 제1 저단부는 상기 글라스의 에지 부분이 안착되기 위하여 안착면이 수평하게 가공되는 글라스 안착부이고, 상기 고단부에는 상기 글라스 안착부에 안착되는 상기 글라스를 고정하는 클램프가 장착되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 클램프는 상기 고단부에 양단이 고정 결합되는 고정바와, 상기 고정바의 중앙 부분에 일측이 삽입되어 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 제1 저단부 상으로 돌출 형성되는 고정판과, 상기 고정바에 삽입되어 배치되되, 하방향으로 복원력을 가지는 가압단이 상기 제1 저단부 상으로 돌출 구비되어, 상기 고정판의 상부를 가압하는 토션 스프링을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 고정판과 일측이 고정 결합되고, 타측은 상기 제2 저단부 상에 위치하는 레버를 더 포함하되, 상기 레버의 타측을 상기 제2 저단부 방향으로 가압하여 상기 고정판의 타측을 상승시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 외측 블록을 형성하는 상기 티타늄 재질의 박판은 1mm ~ 3mm 범위의 두께를 가지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 과제 및 해결 수단을 가지는 본 발명인 캐리어 프레임에 의하면, 캐리어 프레임 구조를 구성하는 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임 모두를 티타늄 재질로 형성하기 때문에, 양측 프레임을 티타늄 재질로 형성하고, 상/하측 프레임을 알루미늄 재질로 형성한 경우에 발생하는 캐리어 프레임의 열변형 또는 뒤틀림 현상을 방지할 수 있고, 캐리어 프레임 전체에 대하여 화학 세정을 수행할 수 있는 장점이 있다.
또한, 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임의 일부 블록이 티타늄 박판을 절곡시켜 형성되기 때문에, 강도를 유지함과 동시에 캐리어 프레임의 전체 무게를 대폭 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 적용되는 캐리어 프레임의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 적용되는 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임의 측단면을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명에 적용되는 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임의 구체적인 단면 구조를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명에 적용되는 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임에 클램프가 결합된 상태의 개략도이다.
도 5는 본 발명에 적용되는 클램프의 구성을 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 캐리어 프레임 구조에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 프레임의 구조를 보여준다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 프레임의 구조는 글라스를 안착 고정시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 두개의 양측 프레임(30)으로 구성되고, 상기 각 프레임은 양 단에 형성된 프레임 결합부(40)가 서로 결합되어 캐리어 프레임을 형성한다.
상기와 같은 캐리어 프레임 구조를 형성하는 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 양측 프레임(30)은 모두 티타늄 재질로 형성된다. 즉, 종래와 같이, 상기 상측 프레임(10) 및 하측 프레임(20)은 알루미늄 재질로 형성되고, 양측 프레임(30)은 티타늄 재질로 형성되는 것이 아니라, 모든 프레임이 티타늄 재질로 형성된다. 따라서, 기존 캐리어 프레임에 비하여 강성이 보장될 수 있다.
그런데, 상기와 같이 모든 프레임을 티타늄 재질로 형성하고, 기존 양측 프레임(30)과 같이 티타늄 판재를 절삭가공하여 모든 프레임을 형성하는 경우에는 캐리어 프레임 전체 무게가 과중되는 문제점을 가질 수 있다.
따라서, 본 발명에서의 캐리어 프레임을 구성하는 각 프레임은 모든 부분이 티타늄 재질의 판재를 절삭 가공하여 형성하는 것이 아니라, 각 프레임의 일부는 기존과 동일하게 티타늄 재질의 판재를 절삭 가공하여 형성하고, 나머지 부분은 티타늄 재질의 얇은 박판을 절곡시켜 형성하는 방법을 채택한다.
구체적으로, 상기 각 프레임은 상기 글라스를 안착시키고 고정하는 내측 블록(11)과 상기 내측 블록(11)에 접촉 결합되는 외측 블록(13)으로 구성된다. 이에 대한 구체적인 구조 및 결합 상태는 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 각 프레임의 측단면을 보여주는 개략도이고, 도 3은 각 프레임의 측단면 구조의 상세한 구성을 보여준다. 상기 캐리어 프레임 구조를 구성하는 상기 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 양측 프레임(30)은 모두 기본적으로 동일 유사한 측단면 구조를 가진다. 따라서, 도 2에서는 대표적으로 상측 프레임(10)에 대한 측단면 구조를 예시하고, 이러한 구조는 다른 프레임에도 적용된다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상측 프레임(10)은 글라스를 안착시키고 고정하는 내측 블록(11)과 이 내측 블록(11)에 접촉 결합되는 외측 블록(13)으로 구성된다.
여기서, 상기 내측 블록(11)은 상기 상측 프레임(10), 하측 프레임(20) 및 양측 프레임(30)이 결합되어 구획되는 상기 캐리어 프레임의 내부 쪽에 위치하는 각 프레임의 부분 블록을 의미하고, 상기 외측 블록(13)은 상기 내측 블록(11)의 바깥쪽(프레임들의 결합에 의하여 구획되는 내부 공간에 대한 바깥 공간)에 결합되는 부분 블록을 의미한다.
상기 내측 블록(11)과 외측 블록(13)은 서로 면 접촉 결합하여 접촉 결합부(15)를 형성한다. 즉, 상기 접촉 결합부(15)를 기준으로, 상기 프레임들의 결합에 의하여 구획되는 상기 캐리어 프레임의 내부 공간 방향으로 형성되는 블록이 내측 블록(11)에 해당되고, 외부 공간 방향으로 형성되는 블록이 외측 블록(13)에 해당된다.
상기 각 프레임을 구성하는 상기 내측 블록(11)은 상기 글라스를 안착시키는 부분을 포함하고 있기 때문에, 평탄도 등을 고려하여 정밀 가공이 필요하다. 따라서, 상기 내측 블록(11)은 티타늄 재질의 판재를 정밀하게 절삭 가공하여 형성된다. 결과적으로, 상기 내측 블록(11)은 티타늄 재질 판재의 표면이 소정 형상으로 정밀 가공되어, 속이 비어있지 않고 꽉 찬 형태의 솔리드(solid)형에 해당된다.
반면, 상기 내측 블록(11)에 결합되는 상기 외측 블록(13)은 솔리드(solid)형이 아니고, 속이 빈 각 파이프 형상을 가진다. 구체적으로, 상기 외측 블록(13)은 티타늄 재질의 얇은 박판을 절곡하여 속이 빈 각파이프 형상으로 형성된다. 즉, 티타늄 재질의 얇은 박판을 준비하고, 이 박판을 4개의 동일한 크기로 구획하는 세개의 구획부분을 90도로 절곡시킨 후, 상기 박판의 일단과 타단을 용접 결합함으로써, 상기 속이 빈 각 파이프 형상의 외측 블록(13)을 형성할 수 있다.
이와 같이 형성된 상기 내측 블록(11)과 외측 블록(13)은 서로 면 접촉하여 접촉 결합부(15)를 형성한다. 구체적으로, 상기 내측 블록(11)과 상기 외측 블록(13)은 용접에 의하여 서로 고정 결합한다.
한편, 상기 외측 블록(13)은 상술한 바와 같이, 티타늄 재질의 얇은 박판을 연속적으로 절곡시켜 형성하는 것이 바람직하지만, 경우에 따라서는 티타늄 재질의 얇은 박판 네개를 준비하고, 각 박판의 에지 부분을 서로 용접 결합하여 형성할 수도 있다. 이 경우에도 상기 외측 블록(13)은 속이 빈 각 파이프 형상을 가진다.
이와 같이, 형성되는 상기 외측 블록(13)은 속이 비어 있는 빈 공간부(13a)를 가진다. 따라서, 티타늄 재질의 판재를 절삭 가공하여 형성되는 솔리드(solid)형에 비하여 무게가 대폭 감소된다.
물론, 상기 티타늄은 기본적으로 강도가 우수하고 열변형이 작기 때문에, 상기 티타늄 재질의 박판을 절곡시켜 형성되는 상기 외측 블록(13)은 알루미늄 재질을 절삭 가공하여 형성되는 프레임에 비하여 충분한 강도를 유지할 수 있다.
상기 외측 블록(13)을 형성하는 상기 티타늄 재질의 얇은 박판은 너무 얇으면 강도가 떨어지고, 너무 두꺼우면 무게를 감소시키는 목적을 달성할 수 없기 때문에, 적정 두께로 선택하는 필요하다. 본 발명에서의 상기 외측 블록(13)을 형성하는 상기 티타늄 재질의 박판은 1mm ~ 3mm 범위의 두께를 가지는 것이 바람직하다.
상술한 각 프레임들의 구조를 상측 프레임(10)을 대표로 하여 상세하게 살펴보면, 도 3에 도시된 바와 같이, 내측 블록(11)과 외측 블록(13)으로 구성되고, 상기 내측 블록(11)과 외측 블록(13)이 용접 결합하여 접촉 결합부(15)를 형성함으로써, 상측 프레임(10)을 구성한다.
상기 내측 블록(11)은 도 3에 도시된 바와 같이, 서로 다른 높이를 가지는 부분들이 연속적으로 형성된다. 구체적으로, 상기 내측 블록(11)은 상기 캐리어 프레임의 내측(프레임들의 결합에 의하여 구획되는 내부 공간)으로부터 상기 외측 블록(13) 방향으로, 제1 저단부(11a), 고단부(11b) 및 제2 저단부(11c)가 연속해서 형성되도록 가공 형성된다.
여기서, 상기 고단부(11b)는 상기 제1 저단부(11a) 및 제2 저단부(11c)에 비하여 높이가 더 높은 부분에 해당되고, 상기 제1 저단부(11a)와 제2 저단부(11c)의 높이는 동일할 수도 있고, 다를 수도 있다.
상기 제1 저단부(11a)는 상기 캐리어 프레임의 내측 부분에 형성되는 부분으로서, 상기 글라스의 에지 부분이 안착되기 위하여 형성되는 글라스 안착부에 해당된다. 따라서, 상기 글라스 안착부(제1 저단부, 11a)는 안착면이 수평하게 가공된다. 이와 같이, 상기 글라스 안착부(11a)에 안착되는 글라스는 상기 글라스 안착부에 접촉되는 에지면의 반대 에지면이 고정될 필요성이 있다.
따라서, 상기 고단부(11b)에는 상기 글라스 안착부(11a)에 안착되는 글라스 에지 부분을 눌러서 고정하기 위한 클램프(도 4에서 도면부호 50으로 표기됨)가 장착된다. 구체적으로, 상기 고단부(11b)에는 상기 글라스 안착부(11a)에 안착되는 상기 글라스를 고정하는 클램프(50)가 장착된다.
상기 클램프(50)는 상기 글라스의 에지 부분이 상기 글라스 안착부(11a)에 안착되는 경우에, 상기 글라스를 눌러서 고정할 수 있어야 하고, 반대로 상기 글라스를 상기 글라스 안착부(11a)로부터 이탈(언로딩)시킬 경우에는 클램핑을 해제할 수 있는 구조를 가질 필요가 있다.
도 4는 상기 클램프(50)가 상기 고단부에 장착되어, 상기 글라스 안착부에 에지 부분이 안착된 상기 글라스를 눌러서 클램핑하는 상태를 보여준다. 도 4에서는 하측 프레임(20)에 상기 글라스(1)가 안착되어 클램핑된 상태를 보여준다.
구체적으로, 상기 하측 프레임(20)은 제1 저단부에 해당하는 글라스 안착부(21a), 상기 클램프(50)가 장착되는 고단부(21b) 및 상기 고단부(21b)보다 높이가 낮은 제2 저단부(21c)로 구성된 내측 블록을 포함하여 구성된다. 상기 고단부(21b)에 장착되는 상기 클램프(50)는 상기 글라스 안착부(21a)에 에지 부분이 안착되는 글라스의 에지 부분(글라스 안착부에 접촉 안착되는 에지면의 반대 에지면)을 눌러서 클램핑한다.
이와 같이 상기 고단부(21b)에 장착되어 상기 글라스 안착부(21a)에 안착되는 상기 글라스(1)의 에지 부분을 클램핑 또는 언클램핑하는 상기 클램프(50)의 구성은 도 5에 도시되어 있다. 도 5를 참조하여 상기 클램프(50)의 구성을 살펴보면, 상기 클램프(50)는 고정바(51), 고정판(55) 및 토션 스프링(30)을 포함하여 구성된다.
상기 고정바(51)는 상기 고단부(21b)에 장착되되, 상기 고단부(21b)에 양단이 고정 결합되는 구조를 가진다. 이를 위하여, 상기 고정바(51)의 양단에는 고정바 결합홀(51a)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 고정바(51)는 나사 또는 볼트를 상기 고정바 결합홀(51a)에 관통하여 상기 고단부(21b)에 결합함으로써, 상기 고단부(21b)에 고정 결합될 수 있다.
상기 고정판(55)은 상기 고정바에 일측이 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 글라스 안착부(21a) 상으로 돌출 형성됨으로써, 상기 타측이 하방향의 가압력을 받아서 상기 글라스 안착부에 안착되는 글라스의 에지 부분을 눌러서 클램핑할 수 있다.
구체적으로, 상기 고정판(55)은 상기 고정바(51)의 중앙 부분에 일측(55a)이 삽입되어 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 제1 저단부(글라스 안착부, 21a) 상으로 돌출 형성된다.
한편, 상기 고정판(55)은 전체적으로 수평한 형상을 가지는 것이 아니라, 일측(55a)과 타측 사이의 중간 부분이 절곡되어 있다. 즉, 상기 고정판(55)은 일측(55a)에서 수평하게 돌출되다가, 고정판의 절곡부(55b)을 지나면서 하방향으로 소정 각도로 절곡된 상태로 돌출 형성된다. 이와 같은 고정판(55)의 절곡 형상은 상기 고단부(21b)에 장착되는 클램프(50)가 상대적으로 더 낮게 형성된 상기 글라스 안착부(21a)에 안착되는 글라스의 에지 부분을 최소 접촉면으로 눌러서 클램핑하기 위해 채택된다.
상기 고정판(55)의 타측이 하방향으로 가압되어 상기 글라스 안착부에 안착된 글라스의 에지 부분을 눌러서 클램핑하기 위해서는 상기 고정판(55)을 가압할 수 있는 구성수단이 필요한데, 이는 상기 토션 스프링(53)에 의하여 가능하다.
상기 토션 스프링(53)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 고정바(51)에 삽입되어 배치되되, 하방향으로 복원력을 가지는 가압단(53a)이 상기 제1 저단부(글라스 안착부, 21a) 상으로 돌출 구비되어, 상기 고정판(55)의 상부를 가압한다. 구체적으로, 상기 토션 스프링(53)은 상기 고정바(51)에 삽입된 상기 고정판(55)의 일측(55a)을 사이에 두고, 상기 고정바(51)의 양측에 삽입 고정되되, 양측에서 각각 연장되어 돌출된 부분이 서로 결합되어 상기 가압단(53a)을 구성한다. 상기 가압단(53a)은 하방향으로 복원력을 가지도록 돌출 형성된다.
따라서, 상기 토션 스프링(53)의 가압단(53a)은 외력인 인가되지 않는 한, 상기 고정판(55)의 상부면을 가압하는 상태를 유지한다. 결과적으로, 상기 가압단에 의하여 하방향으로 가압되는 상기 고정판(55)의 타측은 상기 글라스 안착부에 안착되는 글라스의 에지 부분을 눌러서 클램핑하게 된다.
이와 같은 상기 클램프(50)에 의하여 상기 글라스 안착부에 안착된 글라스를 가압하여 클램핑함으로써, 상기 안정적으로 고정된 글라스에 대하여 스퍼터링 공정을 수행할 수 있다. 이후, 공정이 완료된 상기 글라스를 언로딩하기 위해서는 상기 클램프(50)에 의한 클램핑을 해제할 필요성이 있다.
상기 클램프(50)를 언클램핑하기 위하여, 상기 가압단(53a)을 인위적으로 들어올려서 상기 고정판(55)을 상기 글라스로부터 이격되도록 함으로써, 언클램핑 과정을 수행할 수도 있지만, 언클램핑 과정이 쉽지 않고, 실수로 인하여 글라스에 손상을 입힐 수가 있다.
따라서, 상기 고정판(55)에 레버(미도시)의 일측을 연결하고, 레버의 타단을 하방향으로 가압하여 지렛대 원리를 통하여 상기 고정판(55)을 상승시킴으로써, 언클램핑 과정을 수행할 수 있다.
구체적으로, 상기 레버는 상기 고정판(55)과 일측이 고정 결합되고, 타측은 상기 제2 저단부(도 4에서 21c로 표기됨) 상에 위치하도록 배치된다. 이 상태에서 상기 레버의 타측을 상기 제2 저단부(21c) 방향으로 가압하여 상기 고정판(55)의 타측을 상승시킬 수 있다.
상기 레버의 일측을 상기 고정판(55)에 고정 결합하기 위하여, 상기 고정판(55)에는 고정판의 레버 결합홀(55c)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 레버를 판상으로 구성하고, 그 일측 양단을 상기 고정판(55)에 형성된 고정판의 레버 결합홀(서로 이격되어 고정바의 길이 방향으로 두개 형성, 55c)에 나사 또는 볼트로 결합함으로써, 상기 레버를 상기 고정판에 고정 결합할 수 있다.
이 때, 상기 레버의 타측은 상기 제2 저단부(21c) 쪽으로 연장형성되어, 그 끝단이 상기 제2 저단부(21c) 상에 위치하도록 배치된다. 이 상태에서, 상기 레버의 타측을 하방향으로 가압하면, 상기 제2 저단부(21c)는 상기 고단부보다 낮게 형성되기 때문에, 상기 레버의 타측 끝단은 제2 저단부 쪽으로 이동할 수 있고, 상기 고정바(51)를 받침대로 한 지렛대 원리를 이용하여 상기 레버의 일측에 고정 결합된 상기 고정판(55)을 상승시킬 수 있다. 결과적으로 상기 클램프(50)의 언클램핑 과정을 용이하게 수행할 수 있다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
1 : 글라스 10 : 상측 프레임
11 : 상측 프레임의 내측 블록 11a : 상측 프레임의 제1 저단부
11b : 상측 프레임의 고단부 11c : 상측 프레임의 제2 저단부
13 : 상측 프레임의 외측 블록 13a : 상측 프레임의 외측 블록 빈 공간부
15 : 접촉 결합부 20 : 하측 프레임
21a : 하측 프레임의 제1 저단부 21b : 하측 프레임의 고단부
21c : 하측 프레임의 제2 저단부 30 : 양측 프레임
40 : 프레임 결합부 50 : 클램프
51 : 고정바 51a : 고정바 결합홀
53 : 토션 스프링 53a : 토션 스프링의 가압단
55 : 고정판 55a : 고정판의 일측
55b : 고정판의 절곡부 55c : 고정판의 레버 결합홀

Claims (5)

  1. 글라스를 안착 고정시켜 이동시키기 위하여 상측 프레임, 하측 프레임 및 양측 프레임이 서로 결합되어 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서,
    상기 각 프레임은 상기 글라스를 안착시키고 고정하는 내측 블록과, 상기 내측 블록에 접촉 결합되는 외측 블록으로 구성되되,
    상기 내측 블록은 티타늄 재질의 판재를 절삭 가공하여 형성되고, 상기 외측 블록은 캐리어 프레임의 전체 무게를 감소시키기 위하여 티타늄 재질의 박판을 연속적으로 절곡하여 속이 빈 각파이프 형상으로 형성되거나 티타늄 재질인 박판들의 에지 부분을 서로 용접 결합하여 속인 빈 각파이프 형상으로 형성되며, 상기 내측 블록과 외측 블록은 용접에 의하여 고정 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 내측 블록은 상기 캐리어 프레임의 내측으로부터 상기 외측 블록 방향으로, 제1 저단부, 고단부 및 제2 저단부가 연속해서 형성되도록 가공 형성되되, 상기 제1 저단부는 상기 글라스의 에지 부분이 안착되기 위하여 안착면이 수평하게 가공되는 글라스 안착부이고, 상기 고단부에는 상기 글라스 안착부에 안착되는 상기 글라스를 고정하는 클램프가 장착되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 클램프는 상기 고단부에 양단이 고정 결합되는 고정바와, 상기 고정바의 중앙 부분에 일측이 삽입되어 회전 가능하게 결합되고, 타측은 상기 제1 저단부 상으로 돌출 형성되는 고정판과, 상기 고정바에 삽입되어 배치되되, 하방향으로 복원력을 가지는 가압단이 상기 제1 저단부 상으로 돌출 구비되어, 상기 고정판의 상부를 가압하는 토션 스프링을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 고정판과 일측이 고정 결합되고, 타측은 상기 제2 저단부 상에 위치하는 레버를 더 포함하되, 상기 레버의 타측을 상기 제2 저단부 방향으로 가압하여 상기 고정판의 타측을 상승시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 외측 블록을 형성하는 상기 티타늄 재질의 박판은 1mm ~ 3mm 범위의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
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