CN102119438B - 末端执行器的磁性垫片 - Google Patents

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Abstract

本发明的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。本发明的一个实施例提供了一种设备，其中该设备包含一个或多个末端执行器，这些末端执行器具有多个末端执行器垫片设置于其上而并非机械地接合到该一个或多个末端执行器。在一个实施例中，多个末端执行器垫片组件通过磁力耦合到该一个或多个末端执行器。

Description

末端执行器的磁性垫片
技术领域
本发明的实施例大致涉及用以在转移操作期间支撑衬底的设备与方法。具体而言，本发明的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。
背景技术
大面积衬底通常用于制造太阳能面板、平面面板显示器(例如主动矩阵或薄膜晶体管(TFT)显示器)、液晶显示器(LCD)、电浆显示器等。
随着市场接受太阳能技术与平面面板技术，更大的太阳能面板或平面显示器面板、增加的产能及更低的制造成本的需求已经驱使设备制造商发展新系统，其中该新系统可容纳太阳能面板与平面面板显示器制造业者的更大尺寸的衬底。
典型地，大面积衬底处理是通过将衬底进行多个相继的制程以在衬底上建立组件、导体及绝缘体。上述各个制程大致上在被用以执行一个或多个生产过程步骤的制程腔室中执行。为了有效率地完成整个处理步骤顺序，通常多个制程腔室耦合到中央转移腔室，其中该中央转移腔室内含机械手臂以促进衬底在这些制程腔室间的转移。大体上，具有此种配置的处理平台是公知的丛集工具(cluster tool)。这样的用于玻璃衬底处理的丛集工具可由AKT公司(其为美国加州圣大克劳拉市的应用材料公司所完全拥有的子公司)获得。
随着大面积衬底的尺寸增加，操纵且处理这些衬底的制造设备也必须变得更大。增加的衬底操纵设备(例如前述的转移机械手臂)的尺寸已经造成许多待克服的技术挑战以为了维持精确的衬底转移。例如，用于操纵平面面板衬底的转移机械手臂具有一连串的悬设末端执行器以用于支撑衬底的下侧，其中该末端执行器由一腕部来支撑。多个垫片大致上贴附到末端执行器以用于与衬底的直接接触。垫片会磨损，并且必须周期性地更换。由于垫片的数量相当多，更换垫片需要相当长的时间，并且在垫片更换期间，整个丛集工具必须停机。因此，因更换末端执行器上的垫片需消耗较长时间，故成本增加。
故，需要可减少维护时间且能容纳大衬底的末端执行器与末端执行器垫片。
发明内容
本发明的实施例大致涉及用以在转移操作期间支撑衬底的设备与方法。具体而言，本发明的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。
本发明的一个实施例提供了一种用以在真空环境中支撑且转移大面积衬底的设备，其至少包含：腕部，其耦合到驱动机构；一个或多个末端执行器，其耦合到该腕部，其中该一个或多个末端执行器用于接受且支撑大面积衬底；多个末端执行器垫片，其设置在该一个或多个末端执行器的衬底接受表面上，其中该多个末端执行器垫片用于接受该大面积衬底且避免该大面积衬底与该一个或多个末端执行器之间的直接接触，该多个末端执行器垫片不使用任何固定件机械地接合到该一个或多个末端执行器以便于替换多个末端执行器垫片。
本发明的另一个实施例提供了一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件，其至少包含：基部构件，其适于将该垫片组件固定到该末端执行器，其中该基部构件具有用于接触该末端执行器的第一侧与位于该第一侧对面的第二侧；垫片构件，其耦合到该基部构件，其中该垫片构件具有接触该基部构件的第二侧的第一侧与位于该垫片构件的第一侧对面的第二侧，并且该垫片构件的第二侧的至少一部分被提升以形成接受且支撑衬底的接触区域；以及固定装置，其接合该基部构件与该垫片构件。
本发明的另一实施例提供了一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件，其至少包含：垫片构件，其用于提供供该真空机械手臂用的接触区域，其中该垫片构件具有第一侧与位于该第一侧对面的第二侧，该第一侧大致平坦，该第二侧具有从其延伸的接触结构，并且该接触结构的顶表面形成该接触区域；基部构件，其适于将该垫片组件固定到该末端执行器，其中该基部构件从该第一侧接触该垫片构件；夹钳构件，其从该第二侧接触该垫片构件，其中该夹钳构件具有孔以允许该接触结构暴露；以及固定装置，其接合该基部构件、该垫片构件与该夹钳构件。
附图说明
本发明的前述特征、详细说明可以通过参照实施例来详细地了解，其中一些实施例在附图中示出。然而，值得注意的是附图仅示出了本发明的典型实施例，并且因此不会限制本发明范围，本发明允许其它等效的实施例。
图1为根据本发明的一个实施例的末端执行器组件的立体图。
图2为图1的末端执行器组件的末端执行器的分解图。
图3A为根据本发明的一个实施例的末端执行器中磁性组件的分解图。
图3B为末端执行器的剖视图，其显示用于磁性组件的结构。
图3C为图3A的磁性组件的磁芯的立体图。
图3D为图3A的磁性组件的盖体的立体图。
图4A为根据本发明的一个实施例的末端执行器垫片组件与末端执行器的立体图。
图4B为当图4A的末端执行器垫片组件设置在末端执行器上时末端执行器垫片组件的立体剖视图。
图5A为图4B的末端执行器垫片组件的分解图。
图5B为用于图5A的末端执行器垫片组件的垫片构件的立体图。
图5C为用于图5A的末端执行器垫片组件的基部构件的立体图。
图5D为图5C的基部构件的剖视图。
图5E为用于图5A的末端执行器垫片组件的夹钳构件的立体图。
图5F为图5E的夹钳构件的剖视图。
图6A为根据本发明的另一个实施例的末端执行器垫片组件与末端执行器的立体图。
图6B为当图6A的末端执行器垫片组件设置在末端执行器上时末端执行器垫片组件的剖视图。
图7A为图6A的末端执行器垫片组件的分解图。
图7B为图7A的末端执行器垫片组件的第一长侧边剖视图。
图7C为图7A的末端执行器垫片组件的俯视图。
图7D为图7A的末端执行器垫片组件的第二长侧边剖视图。
图7E为图7A的末端执行器垫片组件的仰视图。
图7F为图7A的末端执行器垫片组件的短侧边剖视图。
图8A为图7A的末端执行器垫片组件的基部构件的俯视图。
图8B为图8A的基部构件的剖视图。
图9A为图7A的末端执行器垫片组件的垫片构件的俯视图。
图9B为图9A的垫片构件的剖视图。
图10A为图7A的末端执行器垫片组件的夹钳构件的俯视图。
图10B为图10A的夹钳构件的剖视图。
为了有助于理解，倘若可行，则在图式中使用相同的组件符号来表示相同的组件。应理解的是，一个实施例中揭示的组件可以有益地被用在其它实施例中，而不需赘述。
具体实施方式
本发明的实施例大致上涉及用以在转移操作期间支撑衬底的设备与方法。具体而言，本发明的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。本发明的一个实施例提供了一种用以转移且支撑大面积衬底的设备，其中该设备包含一个或多个末端执行器，这些末端执行器具有多个末端执行器垫片组件固定于其上而不必通过固定件将这些末端执行器垫片组件机械地接合到这些末端执行器。在一个实施例中，这些末端执行器垫片组件通过磁力固定到这些末端执行器。
在本发明的一个实施例中，磁芯设置在该一个或多个末端执行器中，用以固定邻近的末端执行器垫片组件。在本发明的一个实施例中，各个上述末端执行器垫片组件均包含垫片构件用于接触待转移的衬底以及铁磁基体构件用于将末端执行器垫片组件固定到具有一个或多个磁铁设置在其中的末端执行器。
在本发明的一个实施例中，铁磁基体构件具有凸部，该凸部用以提升垫片构件的一部分以形成接触区域。在另一个实施例中，垫片构件具有突出结构用于接触衬底。在一个实施例中，突出结构呈圆锥形，而圆锥的开放端用以接触待转移的衬底。
图1为根据本发明的一个实施例的末端执行器组件100的立体图。末端执行器组件100包含多个末端执行器101，这些末端执行器101用以接受且支撑一个或多个大面积衬底。在一个实施例中，这些末端执行器101是通过腕部108被保持成大致平行对齐，从而使衬底得以被这些末端执行器101支撑。
腕部108大致上连接到驱动机构(例如转移机械手臂)，以移动该末端执行器组件100连同其上支撑的衬底。在一个实施例中，末端执行器组件100用以用在真空环境中。
腕部108可由经选择能在衬底转移期间将热效应减到最小的材料制成。适于制造腕部108的材料的实例包括但不限于铝/碳化硅复合物、玻璃陶瓷(例如Neoceram N-0及Neoceram N-11)、铝/铁复合物、碳、碳母体复合物、浇铸铝合金、商用纯铬、石墨、钼、钛合金、钼钨合金、商用纯钼、ZERODUR
Figure BPA00001309694800051
、玻璃陶瓷、INVAR
Figure BPA00001309694800052
合金、钛Ti-6Al-4V合金、8090铝MMC、以及金属母体复合物。金属母体复合物大致上包括铝或其它轻金属(即镁、钛、铝、镁合金、钛合金、及铝合金)而具有高达30％的填料(例如碳化硅等)。
如图1所示，八个末端执行器101耦合到腕部108，并且用以同时支撑两个大面积衬底。四个末端执行器101a形成上衬底支撑表面以支撑一第一衬底，并且四个末端执行器101b形成下衬底支撑表面以支撑第二衬底。尽管图上显示对于各个衬底支撑表面的四个末端执行器101，可以设想的是也可以有效地应用其它数量的末端执行器101(例如至少两个)。尽管图上显示末端执行器101用来支撑两个衬底，也可以设想出其它配置(例如单一个衬底支撑件、三个或多个衬底支撑件)。
在一个实施例中，各个末端执行器101包含通过夹钳组件耦合到尖端104的基部102。具体而言，各个末端执行器101a包含通过夹钳组件106a耦合到尖端104a的基部102a，并且各个末端执行器101b包含通过夹钳组件106b耦合到尖端104b的基部102b。在一个实施例中，各个末端执行器101具有主体，主体从腕部108渐渐地变薄到尖端104的远端以实现轻重量刚性组合。
在一个实施例中，末端执行器101的基部102与尖端104大致上由抗高温的材料制成。材料的密度也是重要的因素，这是因为末端执行器可能因其自身重量而下垂或下陷。此效应在高温应用中会恶化。适当的材料可以包括但不限于碳纤维强化聚合物(carbon fiber reinforced polymer；CFRP)、铝、金属母体复合物(metal matrix composite；MMC)、铝铍母体。
在一个实施例中，各个末端执行器101的基部102与尖端104可以由陶瓷制成，这是因为其具有少量下垂(高杨氏模数)与抗高温性。适当的陶瓷的实例包括但不限于铝、碳化硅(SiC)、氮化硅(SiN)等。
大体上，末端执行器101的基部102与尖端104被设计而使得可以在现存熔炉内制造末端执行器的各部件。可以设想出的是，若用适当尺寸的熔炉，末端执行器101可以替代地被制成单件式(one piece)。
替代地，对于两件式末端执行器101的基部102与尖端104，可以使用不同的材料。例如，在一个实施例中，末端执行器101的基部102可以由金属或CFRP制成。对金属或CFRP的使用允许基部102忍受更大的应力，而不会因其较小的尺寸而向末端执行器101增加明显的移动动量。
在一个实施例中，末端执行器101的尖端104可以由陶瓷制成。这可以将下垂或下陷减到最小，同时有利地相对于其它材料应用更高的抗高温性。末端执行器101的基部102与尖端104的任一者或两者可以由任何前述适于腕部108的材料制成。可以设想出的是，根据本说明书的描述，此应用可以同样使用其它材料与/或材料组合。
还可以设想出的是，耦合到腕部108的各个末端执行器101可以由不同于其它末端执行器101的材料与/或材料组合制成。例如，可以选择两个或多个末端执行器101的组成，以区分个别末端执行器101与连接到其上的机械手臂的共振频率，并且因此将机械手臂与/或末端执行器101的震动减到最小。
各个末端执行器101还包括多个末端执行器垫片组件110，这些末端执行器垫片组件110用以直接接触被支撑于其上的衬底，各个末端执行器垫片组件110具有凸部，凸部用以直接接触衬底，由此提供具有适当摩擦和少量微粒产生的垫料接触。这些末端执行器垫片组件110设置在各个末端执行器101上方，并且这些凸部共同形成接触表面以用于接受且支撑待转移衬底的背表面。在一个实施例中，这些末端执行器垫片组件110沿着各个末端执行器101的长度被均匀地散布设置。
各个末端执行器垫片组件110具有柔软的、垫料的、或其它的表面设置其上，而不会损坏衬底。末端执行器垫片组件110可以是刚硬的，或稍微可挠以对衬底提供缓冲。末端执行器垫片组件110可以支撑衬底以将衬底的破裂或碎裂减到最小。可以设置任何数量的末端执行器垫片组件110在末端执行器上，只要提供了足够的支撑性即可。在一个实施例中，96个末端执行器垫片组件110被固定到末端执行器101，并且用以支撑一个衬底。然而，取决于衬底尺寸，可以使用更多或更少的末端执行器垫片组件110。
在一个实施例中，这些末端执行器垫片组件110被可移除地设置在末端执行器101上方，并且在磨损时可以被移除且被更换。在一个实施例中，为了减少在更换末端执行器垫片组件110时的停机时间，末端执行器垫片组件110被设置在末端执行器101上，而不使用任何固定件来将末端执行器垫片组件机械地接合到末端执行器110。
在一个实施例中，这些末端执行器垫片组件110是通过磁力被设置在这些末端执行器101上。在一个实施例中，各个末端执行器101包含多个磁性组件128，并且各个末端执行器垫片组件110包含铁磁构件以在靠近相应的磁性组件128处将末端执行器垫片组件110固定到末端执行器101。
图2为根据本发明的一个实施例的末端执行器101a的分解图。末端执行器101a包含基部102a，基部102a通过夹钳组件106a耦合到尖端104a。榫头116形成在基部102a中用于接受尖端104a。多个螺栓117与螺帽118接合基部102a与尖端104a。在一个实施例中，垫片113、114、115可以被用来接合基部102a与尖端104a。
多个磁性组件128被设置在凹部中，凹部形成在基部102a与尖端104a的上表面136、138中。各个末端执行器垫片组件110在靠近磁性组件128处被固定到末端执行器101a。各个末端执行器垫片组件110具有突出于上表面136、138上方的凸部，并且提供了末端执行器101a的接触区域。
图3A是根据本发明的一个实施例的末端执行器中磁性组件128的分解图。磁性组件128包含磁芯134、盖体130与固定件132，固定件132用以将磁芯134与盖体130固定到末端执行器101的尖端104或基部102。
图3C为根据本发明的一个实施例的磁芯134的立体图。磁芯134具有实质环形的形状。在一个实施例中，磁芯134由强的永久磁铁制成，以提供足以固定末端执行器垫片组件的强磁力(特别是在真空环境中)，及适于维持末端执行器的刚性的轻重量。
在一个实施例中，磁芯134是由级数38的钐钴磁铁制成。在一个实施例中，磁芯134在永久磁铁上包含涂层。在一个实施例中，磁芯134被涂覆氧化钇(Y2O3)。在一个实施例中，磁芯134具有小于10克的重量。
图3D为根据本发明的一个实施例的盖体130的立体图。盖体130用以避免磁芯134与邻近的待固定末端执行器垫片组件间的直接金属接触。盖体130具有大致环形的形状，盖体130在一侧中形成空腔140。空腔140用以容纳磁芯(诸如磁芯134)于其内。在一个实施例中，盖体130由高效能聚酰亚胺系聚合物制成。在一个实施例中，磁芯134由来自DuPont的VESPEL
Figure BPA00001309694800081
聚合物制成。在一个实施例中，盖体130由热塑性材料(例如聚醚醚酮(PEEK))制成。
在一个实施例中，末端执行器101具有多个凹部形成于其中以容纳磁性组件128。图3B为根据本发明的一个实施例的末端执行器中用于容纳磁性组件128的结构的剖视图。基部102/尖端104具有多个用以容纳磁芯134与盖体130的凹部122。螺纹孔122a可以从凹部122延伸，以允许固定件132被固定于其内。
如图3B所示，凹部122可以形成在垫片凹部120中，垫片凹部120用以对末端执行器垫片组件110提供导引和容纳。在一个实施例中，基部102/尖端104可以具有导引孔124，以对末端执行器垫片组件110提供精确的对准。
图4A为根据本发明的一个实施例的末端执行器垫片组件210的立体图。末端执行器垫片组件210可以用来取代图1的末端执行器垫片组件110。末端执行器垫片组件210用以“座落(sit)”在末端执行器的基部或尖端102/104的垫片凹部120内。
图4B为设置在末端执行器的基部102/尖端104中的末端执行器垫片组件210的立体剖视图。末端执行器垫片组件210具有接触区域202，当末端执行器垫片组件210设置在末端执行器中时，接触区域202突出于末端执行器垫片组件210的其余部分及末端执行器的上表面136/138上方。
图5A为末端执行器垫片组件210的分解图。末端执行器垫片组件210包含基部构件220、垫片构件230、及多个夹钳构件240，其通过螺栓250堆叠在一起。基部构件220用以对末端执行器组件提供实体支撑，并且对末端执行器中的磁铁提供磁性吸引力。垫片构件230由可挠材料制成，并且用以对正在处理的衬底提供垫料接触。末端执行器垫片组件210被预组装，并且用以被设置在末端执行器上且整体地由末端执行器移除。
图5B为根据本发明的一个实施例的垫片构件230的立体图。垫片构件230具有板形的形状。在一个实施例中，垫片构件230具有一对用于螺栓250穿过的孔231。
垫片构件230由对正在处理的衬底提供缓冲的可挠材料制成。大体上，垫片构件230由不会刮伤衬底且兼容于处理化学的材料制成。在一个实施例中，垫片构件230的厚度约0.4吋。在一个实施例中，垫片构件230是由全氟弹性体(perfluoroelastomer)制成。在一个实施例中，垫片构件230是由来自DuPont的KALRETZ
Figure BPA00001309694800101
聚合物制成。
图5C为根据本发明的一个实施例的用于末端执行器垫片组件210的基部构件220的立体图。图5D为基部构件220的剖视图。
基部构件220具有大致板形的形状，且具有用于接触垫片构件230的第一侧225及位于第一侧225对面的第二侧226。第二侧226用以接触末端执行器。在一个实施例中，基部构件220具有凸部221，凸部221位于第一侧225上。凸部221用以提升垫片构件230以形成一接触区域。在一个实施例中，基部构件220具有两个柱223，柱223从第二侧226突出。柱223用以内嵌到末端执行器中的导引孔124，以对准末端执行器垫片组件210。在一个实施例中，螺纹孔224形成在各个柱223中以与螺栓250耦合进行组装。
在一个实施例中，基部构件220具有一个或多个形成于其中的维护孔222。在一个实施例中，这些维护孔222沿着基部构件220的宽度的方向形成在凸部221中。维护孔222用以当末端执行器垫片组件210设置在末端执行器中时暴露在上表面136/138上方。在维修期间，工具可以插入这些维护孔222以将末端执行器垫片组件210举起。
在一个实施例中，基部构件220包含铁磁材料且用以通过磁力被贴附到末端执行器。在一个实施例中，基部构件220由铁磁的高抗腐蚀合金制成。在一个实施例中，基部构件220由包含镍与钼的铁磁材料制成。在一个实施例中，基部构件220是由HASTOLLOY
Figure BPA00001309694800102
合金C276所制成。
图5E为用于末端执行器垫片组件210的夹钳构件240的立体图。图5F为夹钳构件240的剖视图。夹钳构件240为板件，其具有孔241用于容纳螺栓250。在一个实施例中，夹钳构件240具有突出部242用于通过孔231来固定垫片构件230。夹钳构件240由金属所形成，例如铝、不锈钢、或任何适当的材料。
图6A为根据本发明的一个实施例的末端执行器垫片组件310的立体图。末端执行器垫片组件310可以用来取代图1的末端执行器组件110。末端执行器垫片组件310用以“座落(sit)”在末端执行器的基部或尖端102/104的垫片凹部120内。末端执行器垫片组件310包含垫片构件330，垫片构件330具有当末端执行器垫片组件310设置在末端执行器上时从末端执行器垫片组件310的其余部分与末端执行器的上表面136/138突出的接触结构332。
图6B为设置在末端执行器的基部/尖端102/104中的末端执行器垫片组件310的剖视图。
图7A为末端执行器垫片组件310的分解图。末端执行器垫片组件310包含基部构件320、垫片构件330、及多个夹钳构件340，其通过螺栓350堆叠在一起。基部构件320用以对末端执行器垫片组件310提供实体支撑，并且对末端执行器中的磁铁提供磁性吸引力。
垫片构件330由可挠材料制成，并且用以对正在转移的衬底提供可挠接触结构。末端执行器垫片组件310被预组装，并且用以被设置在末端执行器上且整体地由末端执行器移除。
图7B为末端执行器垫片组件310组装后的第一长侧边剖视图。图7C为末端执行器垫片组件310组装后的俯视图。图7D为末端执行器垫片组件310组装后的第二长侧边剖视图。图7E为末端执行器垫片组件310组装后的仰视图。图7F为末端执行器垫片组件310组装后的短侧边剖视图。
图9A为根据本发明的一个实施例的垫片构件330的俯视图。图9B为垫片构件330的剖视图。
垫片构件330具有主体335，主体335具有大致板形的形状。主体335具有前侧334与背侧333。背侧333用以耦合到基部构件320。前侧334具有接触结构332，接触结构332从主体335延伸。接触结构332具有顶表面302，顶表面302用以接触正在转移的衬底。
在一个实施例中，接触结构332具有可提供弹力以支撑衬底的形状。在一个实施例中，接触结构332具有圆锥形状，而宽端从主体335延伸出。尽管图9B显示圆锥形状，接触结构332可以具有任何适当的形状，例如接触结构332可以具有“U”形形状。在一个实施例中，接触结构332提供了用来将末端执行器垫片组件310从末端执行器101抵抗磁力移除的把手。
在一个实施例中，接触结构332为圆锥形状，其具有大致平坦的底部337。在一个实施例中，圆锥形状具有一开口，开口的半径约为0.6英寸。在一个实施例中，圆锥形状的内角336约为120°。
在一个实施例中，垫片构件330具有一对孔331，该对孔331用以允许夹钳构件340与螺栓350穿过。
垫片构件330可以由对正在转移的衬底提供缓冲的可挠材料制成。大体上，垫片构件330是由不会刮伤衬底且兼容于处理化学的材料制成。在一个实施例中，垫片构件330是由全氟弹性体(perfluoroelastomer)制成。在一个实施例中，垫片构件330是由来自DuPont的KALRETZ
Figure BPA00001309694800121
弹性体制成。
图8A为根据本发明的一个实施例的基部构件320的俯视图。图8B为基部构件320的剖视图。
基部构件320具有实质板形的形状，具有用于接触垫片构件330的第一侧325及位于第一侧325对面的第二侧326。第一侧325用以支撑垫片构件330的背侧333且为实质平坦的。第二侧326用以接触末端执行器。在一个实施例中，基部构件320具有两个柱323，柱323从第二侧326突出。柱323用以内嵌到末端执行器中的导引孔124，以对准末端执行器垫片组件310。在一个实施例中，螺纹孔324形成在各个柱323中以与螺栓350耦合进行组装。
在一个实施例中，基部构件320包含铁磁材料且用以通过磁力被贴附到末端执行器。在一个实施例中，基部构件320由铁磁的高抗腐蚀合金制成。在一个实施例中，基部构件320由包含镍与钼的铁磁材料制成。在一个实施例中，基部构件320是由HASTOLLOY
Figure BPA00001309694800122
合金C276制成。
图10A为根据本发明的一个实施例的夹钳构件340的俯视图。图10B为图10A的夹钳构件的剖视图。夹钳构件3具有中央孔342用于允许接触结构穿越其中。在一个实施例中，中央孔342具有实质匹配于接触结构332的外轮廓的轮廓。在一个实施例中，夹钳构件340具有两个突出部343用于被插入到垫片构件330的孔331。夹钳构件340具有两个孔341形成穿过主体344及突出部343，以允许螺栓350穿过其中。
在一个实施例中，夹钳构件340由金属所形成，例如铝、不锈钢、或任何适当的材料。
本发明的实施例提供了一种末端执行器，其具有多个磁性垫片用于支撑大面积衬底，特别是在真空环境中。各个磁性垫片具有柔软的、可缓冲的、或其它表面，其不会损坏衬底。磁性垫片容易安装且移除便于进行简易维护，因而降低了成本。
尽管前述说明着重在本发明的实施例，在不脱离本发明的基本范围的前提下，可以构思出本发明的其它实施例，并且本发明的范围由所附权利要求来界定。

Claims (13)

1.一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件，包括：
基部构件，其适于将该垫片组件固定到该末端执行器，包括铁磁材料的该基部构件用以通过磁力被贴附到该末端执行器，其中该基部构件具有用于接触该末端执行器的第一侧以及位于该第一侧对面的第二侧；
垫片构件，其耦合到该基部构件，其中该垫片构件具有接触该基部构件的第二侧的第一侧以及位于该垫片构件的第一侧对面的第二侧，并且该垫片构件的第二侧的至少一部分被提升以形成接受且支撑衬底的接触区域；以及
固定装置，其接合该基部构件与该垫片构件，其中该基部构件具有两个从该第一侧延伸的柱，并且该两个柱用以内嵌到形成在该末端执行器中的凹部内。
2.如权利要求1所述的垫片组件，其中该垫片构件包括形成该接触区域的接触结构。
3.如权利要求2所述的垫片组件，其中该接触结构包括圆锥结构。
4.如权利要求1所述的垫片组件，其中该垫片构件包括从该垫片构件的第二侧延伸的凸结构，并且该凸结构的远端形成该接触区域。
5.如权利要求4所述的设备，其中该凸结构为圆锥，并且该接触区域包含该圆锥的开放端。
6.一种用于末端执行器的垫片组件，该垫片组件包括：
基部构件，其具有用于接触该末端执行器的第一侧以及位于该第一侧对面的第二侧；
垫片构件，其具有接触该基部构件的第二侧的第一侧以及位于该垫片构件的第一侧对面的第二侧；
夹钳构件，其将该基部构件固定到该垫片构件；以及
凸结构，其提供用于支撑衬底的接触区域，其中该基部构件具有两个从该第一侧延伸的柱。
7.如权利要求6所述的垫片组件，其中该凸结构包括圆锥结构。
8.如权利要求7所述的垫片组件，其中该圆锥结构突出穿过该夹钳构件中的开口。
9.如权利要求6所述的设备，其中该凸结构设置在该垫片构件上。
10.如权利要求9所述的设备，其中该凸结构包括圆锥结构。
11.如权利要求10所述的设备，其中该圆锥结构突出穿过该夹钳构件中的开口。
12.一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件，该垫片组件包括：
垫片构件，其用以提供用于使用该真空机械手臂来支撑衬底的接触区域，其中该垫片构件具有第一侧以及位于该第一侧对面的第二侧，其中该第一侧大致平坦，该第二侧具有从其延伸的接触结构，并且该接触结构的顶表面形成该接触区域；
基部构件，其适于将该垫片组件固定到该末端执行器，其中该基部构件接触该垫片构件的第一侧；
夹钳构件，其接触该垫片构件的第二侧，其中该夹钳构件具有孔以允许该接触结构露出；以及
固定装置，其接合该基部构件、该垫片构件与该夹钳构件，其中该接触结构是圆锥结构，该圆锥结构的开放端形成该接触区域。
13.如权利要求12所述的垫片组件，其中该基部构件包含铁磁材料，并且用以通过磁力将该垫片组件固定到该末端执行器。
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