JP2019010690A - 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット - Google Patents

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隆之 矢澤
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Hiroshi Arakawa
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Abstract

【課題】搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物を搬送する場合であっても、搬送時に搬送対象物がダメージを受けるおそれを低減することが可能な産業用ロボットのハンドを提供する。【解決手段】ハンド3は、炭素繊維を含有する樹脂で形成されたフォーク18、19と、搬送対象物2が載置される樹脂製の複数の載置部材21とを備えている。複数の載置部材21は、フォーク18、19の長手方向(X方向)において、フォーク18、19の、搬送対象物2を載置可能な範囲の全域に配列され、ボルトによってフォーク18、19に固定されている。載置部材21に形成されるボルトの配置穴のX方向の幅は、ボルトの外径よりも広くなっている。載置部材21のX方向の長さは、ハンド3の周囲温度が変動してフォーク18、19および載置部材21が伸縮しても、配置穴のX方向の側面とボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されている。【選択図】図3

Description

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、このハンドを備える産業用ロボットに関する。
従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板等のワークを搬送する産業用ロボットが知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の産業用ロボットのハンドは、直線状に形成される2本のフォーク(載置部)を備えている。フォークは、炭素繊維を含有する樹脂で形成されている。フォークには、ワークが載置される3個の基板支持部と、基板支持部に載置されたワークを真空吸着して保持する3個のバキュームパッドとが設けられている。3個の基板支持部は、フォークの長手方向において所定の間隔をあけた状態でフォークの上面に固定されている。
特開2006−272526号公報
本願発明者は、たとえば、2枚のガラス基板が貼り合わされるとともに2枚のガラス基板の間に液晶が注入された製造途中の液晶ディスプレイのように、搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドの構造を検討している。特許文献1に記載の産業用ロボットのハンドでは、3個の基板支持部がフォークの長手方向において所定の間隔をあけた状態で配置されているため、ハンドの、搬送対象物を支持する部分の面積が狭くなって、ハンドに搭載される搬送対象物の状態が安定しなくなるおそれがある。したがって、搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物を特許文献1に記載の産業用ロボットのハンドで搬送すると、搬送時に搬送対象物がダメージを受けるおそれが高くなる。
そこで、本発明の課題は、搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物を搬送する場合であっても、搬送時に搬送対象物がダメージを受けるおそれを低減することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、このハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、直線状に形成される複数のフォークと、フォークの上面側に固定されるとともに搬送対象物が載置される樹脂製の複数の載置部材とを備え、フォークは、炭素繊維を含有する樹脂で形成され、複数の載置部材は、フォークの長手方向において、フォークの、搬送対象物を載置可能な範囲の全域に配列され、載置部材は、フォークの長手方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによってフォークに固定され、載置部材には、ボルトの一部が配置される複数の配置穴がフォークの長手方向において間隔をあけた状態で形成され、フォークには、ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴がフォークの長手方向において間隔をあけた状態で形成され、複数の配置穴のうちの少なくとも1個の配置穴の、フォークの長手方向の幅は、ボルトの外径よりも広くなっており、フォークの長手方向における幅がボルトの外径よりも広くなっている配置穴を第1配置穴とすると、フォークの長手方向における載置部材の長さは、ハンドの周囲温度が変動してフォークおよび載置部材が伸縮しても、フォークの長手方向における第1配置穴の側面とボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする。
本発明の産業用ロボットのハンドでは、搬送対象物が載置される複数の載置部材は、フォークの長手方向において、フォークの、搬送対象物を載置可能な範囲の全域に配列されている。すなわち、本発明では、フォークの長手方向において、フォークの、搬送対象物を載置可能な範囲の全域に複数の載置部材が連なるように並んでいる。そのため、本発明では、ハンドの、搬送対象物を支持する部分の面積を広くすることが可能になり、その結果、ハンドに搭載される搬送対象物の状態を安定させることが可能になる。したがって、本発明では、搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物を搬送する場合であっても、搬送時に搬送対象物がダメージを受けるおそれを低減することが可能になる。
また、本発明では、載置部材に、載置部材をフォークに固定するためのボルトの一部が配置される複数の配置穴がフォークの長手方向において間隔をあけた状態で形成されており、複数の配置穴のうちの少なくとも1個の配置穴の、フォークの長手方向の幅は、ボルトの外径よりも広くなっている。また、フォークの長手方向における幅がボルトの外径よりも広くなっている配置穴を第1配置穴とすると、フォークの長手方向における載置部材の長さは、ハンドの周囲温度が変動してフォークおよび載置部材が伸縮しても、フォークの長手方向における第1配置穴の側面とボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されている。そのため、本発明では、炭素繊維を含有する樹脂で形成されたフォークの線膨張係数と樹脂製の載置部材の線膨張係数とが異なっていても、ハンドの周囲温度が変動してフォークおよび載置部材が伸縮したときの第1配置穴の側面とボルトとの接触を防止することが可能になる。
したがって、本発明では、フォークの線膨張係数と載置部材の線膨張係数とが異なっていても、ハンドの周囲温度が変動したときのフォークの曲がりや、フォークの上面からの載置部材の浮きを抑制することが可能になる。そのため、本発明では、フォークの線膨張係数と載置部材の線膨張係数とが異なっていても、また、ハンドの周囲温度が変動しても、ハンドに搭載される搬送対象物の状態を安定させることが可能になり、その結果、搬送時に搬送対象物がダメージを受けるおそれを低減することが可能になる。
本発明において、たとえば、配置穴は、ボルトの軸部の一部が配置される軸部配置穴と、ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、第1配置穴の軸部配置穴を第1軸部配置穴とし、第1配置穴の頭部配置穴を第1頭部配置穴とすると、フォークの長手方向における第1軸部配置穴の幅は、ボルトの軸部の外径よりも広くなっており、フォークの長手方向における第1頭部配置穴の幅は、ボルトの頭部の外径よりも広くなっており、フォークの長手方向における載置部材の長さは、ハンドの周囲温度が変動してフォークおよび載置部材が伸縮しても、フォークの長手方向における第1軸部配置穴の側面とボルトの軸部との間に隙間が形成され、かつ、フォークの長手方向における第1頭部配置穴の側面とボルトの頭部との間に隙間が形成される長さに設定されている。
また、本発明において、たとえば、第1軸部配置穴および第1頭部配置穴は、丸穴状に形成され、第1軸部配置穴の内径は、ボルトの軸部の外径よりも大きくなっており、第1頭部配置穴の内径は、ボルトの頭部の外径よりも大きくなっている。
本発明において、たとえば、載置部材は、フォークの長手方向において間隔をあけた状態で配置される2本のボルトによってフォークに固定され、載置部材には、2個の第1配置穴がフォークの長手方向において間隔をあけた状態で形成されている。この場合には、フォークの線膨張係数と載置部材の線膨張係数とが異なっていても、ハンドの周囲温度が変動したときのフォークの曲がりや、フォークの上面からの載置部材の浮きを防止することが可能になる。
本発明において、たとえば、上下方向から見たときの載置部材の外形は、フォークの長手方向を長辺方向とする略長方形状となっている。この場合には、載置部材の上面の面積を広くすることが可能になる。すなわち、個々の載置部材が搬送対象物を支持する部分の面積を広くすることが可能になる。
本発明のハンドは、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物を搬送する場合であっても、搬送時に搬送対象物がダメージを受けるおそれを低減することが可能になる。
以上のように、本発明では、搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物を搬送する場合であっても、搬送時に搬送対象物がダメージを受けるおそれを低減することが可能になる。
本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。 図1に示す産業用ロボットの側面図である。 図1に示すハンドの平面図である。 図3のE−E断面の断面図である。 図4のF部の拡大図である。 図3に示すハンドの基部の内部の構造を説明するための平面図である。 図3に示すフォークの動作を説明するための平面図である。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
(産業用ロボットの全体構成)
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の側面図である。
本形態の産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、所定の搬送対象物2を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物2は、たとえば、2枚のガラス基板が貼り合わされるとともに2枚のガラス基板の間に液晶が注入された製造途中の液晶ディスプレイであり、搬送対象物2は、搬送時にダメージを受けやすくなっている。この搬送対象物2は、長方形の平板状に形成されている。ロボット1は、たとえば、液晶ディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される。また、本形態のロボット1は、大きさの異なる複数種類の搬送対象物2を搬送することが可能になっている(図3参照)。
ロボット1は、搬送対象物2が搭載される2個のハンド3と、2個のハンド3のそれぞれが先端側に連結される2本のアーム4と、2本のアーム4を支持する本体部5と、本体部5を水平方向に移動可能に支持するベース6とを備えている。本体部5は、アーム4の基端側を支持するとともに上下動可能なアームサポート7と、アームサポート7を上下動可能に支持する支持フレーム8と、本体部5の下端部分を構成するとともにベース6に対して水平移動可能な基台9と、支持フレーム8の下端が固定されるとともに基台9に対して回動可能な旋回フレーム10とを備えている。
アーム4は、第1アーム部12と第2アーム部13との2個のアーム部によって構成されている。第1アーム部12の基端側は、アームサポート7に回動可能に連結されている。すなわち、アーム4の基端側は、本体部5に回動可能に連結されている。第1アーム部12の先端側には、第2アーム部13の基端側が回動可能に連結されている。第2アーム部13の先端側には、ハンド3が回動可能に連結されている。すなわち、アーム4の先端側には、ハンド3が回動可能に連結されている。ロボット1は、2本のアーム4のそれぞれを伸縮させる2個のアーム駆動機構を備えている。
支持フレーム8は、アームサポート7を介してハンド3およびアーム4を昇降可能に保持している。この支持フレーム8は、アームサポート7を昇降可能に保持する柱状の第1支持フレーム14と、第1支持フレーム14を昇降可能に保持する柱状の第2支持フレーム15とを備えている。ロボット1は、第1支持フレーム14に対してアームサポート7を昇降させる昇降機構と、第2支持フレーム15に対して第1支持フレーム14を昇降させる昇降機構と、第1支持フレーム14を上下方向に案内するガイド機構と、アームサポート7を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。
第2支持フレーム15の下端は、旋回フレーム10に固定されている。旋回フレーム10は、上述のように、基台9に対して回動可能となっている。ロボット1は、基台9に対して旋回フレーム10を回動させる回動機構を備えている。基台9は、上述のように、ベース6に対して水平移動可能となっている。ロボット1は、ベース6に対して基台9を水平移動させる水平移動機構を備えている。
(ハンドの構成)
図3は、図1に示すハンド3の平面図である。図4は、図3のE−E断面の断面図である。図5は、図4のF部の拡大図である。図6は、図3に示すハンド3の基部17の内部の構造を説明するための平面図である。図7は、図3に示すフォーク18、19の動作を説明するための平面図である。
ハンド3は、第2アーム部13の先端側に回動可能に連結される基部17と、直線状に形成される複数のフォーク18、19とを備えている。本形態のハンド3は、2本のフォーク18と2本のフォーク19との合計4本のフォーク18、19を備えている。また、ハンド3は、フォーク18、19の上面側に固定されるとともに搬送対象物2が載置される複数の載置部材21と、載置部材21に載置される搬送対象物2の下面を真空吸着する複数の吸着機構22とを備えている。
基部17は、中空状に形成されるとともに上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。4本のフォーク18、19は、基部17から水平方向の同方向へ突出している。また、4本のフォーク18、19は、互いに平行に配置されている。フォーク18、19の長手方向(図3等のX方向)を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図3等のY方向を「左右方向」とすると、2本のフォーク18は、左右方向の内側に配置され、2本のフォーク19は、左右方向の外側に配置されている。
フォーク18、19は、中空状に形成されるとともに細長い略直方体状に形成されている。フォーク18、19の上下の両面は、平面となっている。また、フォーク18、19の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。フォーク18、19の上下方向の厚さは、フォーク18、19の基端から先端に向かうにしたがって次第に薄くなっている(図2参照)。
フォーク18、19は、炭素繊維を含有する樹脂で形成されている。すなわち、フォーク18、19は、炭素繊維強化プラスチックで形成されている。フォーク18、19には、炭素繊維として、ピッチ系の炭素繊維とPAN系の炭素繊維とが含有されている。本形態のフォーク18、19に含有される炭素繊維の中のピッチ系の炭素繊維の割合は、約70%となっており、フォーク18、19に含有される炭素繊維の中のPAN系の炭素繊維の割合は、約30%となっている。そのため、本形態のフォーク18、19の線膨張係数は、マイナスの値となっている。すなわち、フォーク18、19は、フォーク18、19の温度が上昇すると縮む。
載置部材21は、樹脂で形成されている。たとえば、載置部材21は、ポリアセタール(POM)で形成されている。載置部材21は、略長方形の平板状に形成されており、載置部材21の厚さ方向と上下方向とが略一致するようにフォーク18、19の上面に固定されている。また、載置部材21は、略長方形の平板状に形成される載置部材21の長辺方向が前後方向と一致するようにフォーク18、19の上面に固定されている。すなわち、上下方向から見たときの載置部材21の外形は、前後方向を長辺方向とする略長方形状となっている。なお、載置部材21の線膨張係数はプラスの値であり、載置部材21の温度が上昇すると、載置部材21は伸びる。
2本のフォーク18のそれぞれ、および、2本のフォーク19のそれぞれに、複数の載置部材21が固定されている。複数の載置部材21は、前後方向において、フォーク18、19の、搬送対象物2を載置可能な範囲の全域に配列されている。すなわち、図3に示すように、複数の載置部材21は、前後方向において、フォーク18、19の、搬送対象物2を載置可能な範囲の全域に連なるように並んでいる。
具体的には、上述のように、本形態のロボット1は、大きさの異なる複数種類の搬送対象物2を搬送することが可能になっており、複数の載置部材21は、図3の破線で示す最も大きな搬送対象物2が載置される前後方向の範囲の全域において、フォーク18、19の上面に配列されている。前後方向で隣り合う載置部材21の前後方向の間隔は、たとえば、10(mm)となっている。
載置部材21は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルト24によってフォーク18、19の上面に固定されている。載置部材21には、複数のボルト24のそれぞれの一部が配置される複数の配置穴21aが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。フォーク18、19の上面部には、ボルト24の軸部24aに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴18a、19aが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている(図5参照)。
本形態では、図4に示すように、前後方向において間隔をあけた状態で配置される2本のボルト24によって、載置部材21がフォーク18、19の上面に固定されており、載置部材21には、2個の配置穴21aが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。配置穴21aは、載置部材21を上下方向で貫通する貫通穴である。この配置穴21aは、図5に示すように、ボルト24の軸部24aの一部(具体的には、軸部24aの上端側部分)が配置される軸部配置穴21bと、ボルト24の頭部24bが配置される頭部配置穴21cとから構成されている。軸部配置穴21bは、配置穴21aの下側部分を構成し、頭部配置穴21cは、配置穴21aの上側部分を構成している。
軸部配置穴21bおよび頭部配置穴21cは、丸穴状に形成されている。また、上下方向から見たときに軸部配置穴21bの中心と頭部配置穴21cの中心とは一致している。すなわち、配置穴21aは、段付きの丸穴状に形成されている。2個の配置穴21aの軸部配置穴21bの内径は、ボルト24の軸部24aの外径よりも大きくなっている。また、2個の配置穴21aの頭部配置穴21cの内径は、ボルト24の頭部24bの外径よりも大きくなっている。すなわち、2個の配置穴21aは、いわゆるバカ穴であり、前後方向における配置穴21aの幅は、ボルト24の外径よりも広くなっている。
具体的には、前後方向における軸部配置穴21bの幅は、ボルト24の軸部24aの外径よりも広くなっており、前後方向における頭部配置穴21cの幅は、ボルト24の頭部24bの外径よりも広くなっている。本形態では、1個の載置部材21に形成される2個の配置穴21aは、前後方向の幅がボルト24の外径よりも広くなった第1配置穴となっている。また、2個の軸部配置穴21bは、第1軸部配置穴であり、2個の頭部配置穴21cは、第1頭部配置穴である。
前後方向における載置部材21の長さは、ハンド3の周囲温度が変動してフォーク18、19および載置部材21が伸縮しても、前後方向における配置穴21aの側面とボルト24との間に隙間が形成される長さに設定されている。すなわち、前後方向における載置部材21の長さは、ハンド3の周囲温度が変動してフォーク18、19および載置部材21が伸縮しても、前後方向における配置穴21aの側面とボルト24とが接触しない長さに設定されている。
具体的には、前後方向における載置部材21の長さは、ハンド3の周囲温度が変動してフォーク18、19および載置部材21が伸縮しても、前後方向における軸部配置穴21bの側面とボルト24の軸部24aとの間に隙間が形成され、かつ、前後方向における頭部配置穴21cの側面とボルト24の頭部24bとの間に隙間が形成される長さに設定されている。
たとえば、前後方向における載置部材21の長さは、100(mm)となっている。また、たとえば、フォーク18、19の長さは、約2(m)となっている。また、軸部配置穴21bの内径と軸部24aの外径との差は、たとえば、ハンド3の周囲温度が5℃変動したときの、フォーク18、19の伸縮量と載置部材21の伸縮量との差異の3倍程度となっている。また、頭部配置穴21cの内径と頭部24bの外径との差は、軸部配置穴21bの内径と軸部24aの外径との差よりも大きくなっている。なお、フォーク18、19の最も先端部に配置される載置部材21の前後方向の長さは、他の箇所に配置される載置部材21の前後方向の長さよりも短くなっている。
フォーク18において、吸着機構22は、フォーク18の先端側の2箇所に取り付けられている。フォーク19において、吸着機構22は、フォーク19の先端側の2箇所と、前後方向におけるフォーク19の中間位置の1箇所との合計3箇所に取り付けられている。吸着機構22が取り付けられる箇所では、前後方向における載置部材21の間隔が広くなっており、吸着機構22は、前後方向における載置部材21の間に配置されている。
フォーク18、19の基端部は、中空状に形成される基部17の内部に配置されている。図6に示すように、基部17の内部には、左右方向における2本のフォーク18のピッチを変更するフォークピッチ変更機構26と、左右方向における2本のフォーク19のピッチを変更するフォークピッチ変更機構27とが配置されている。すなわち、ハンド3は、フォークピッチ変更機構26、27を備えている。
フォークピッチ変更機構26は、駆動源であるモータ29と、モータ29の出力軸に連結されるネジ部材30と、2本のフォーク18のうちの一方に固定されるナット部材(図示省略)と、2本のフォーク18のうちの他方に固定されるナット部材(図示省略)とを備えている。フォークピッチ変更機構27は、フォークピッチ変更機構26と同様に構成されている。すなわち、フォークピッチ変更機構27は、モータ29と同様に構成されるモータ34と、ネジ部材30と同様に構成されるネジ部材35と、2本のフォーク19のうちの一方に固定されるナット部材(図示省略)と、2本のフォーク19のうちの他方に固定されるナット部材(図示省略)とを備えている。
ネジ部材30、35は、細長い棒状に形成されている。ネジ部材30、35は、ネジ部材30、35の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、基部17に回転可能に支持されている。ネジ部材30、35は、ネジ部材30、35の一端側を構成する順ネジ部30a、35aと、ネジ部材30、35の他端側を構成する逆ネジ部30b、35bとを備えている。順ネジ部30a、35aには、順ネジが形成され、逆ネジ部30b、35bには、逆ネジが形成されている。
一方のフォーク18に固定されるナット部材は、順ネジ部30aに係合し、他方のフォーク18に固定されるナット部材は、逆ネジ部30bに係合している。同様に、一方のフォーク19に固定されるナット部材は、順ネジ部35aに係合し、他方のフォーク19に固定されるナット部材は、逆ネジ部35bに係合している。2本のフォーク18および2本のフォーク19は、2本の共通のガイドレール36によって左右方向に案内される。ガイドレール36は、ガイドレール36の長手方向と左右方向とが一致するように基部17に固定されている。フォーク18、19には、ガイドレール36に係合するガイドブロック(図示省略)が取り付けられている。
フォークピッチ変更機構26では、モータ29が回転してネジ部材30が回転すると、一方のフォーク18と他方のフォーク18とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して2本のフォーク18の左右方向のピッチが変更される。同様に、フォークピッチ変更機構27では、モータ34が回転してネジ部材35が回転すると、一方のフォーク19と他方のフォーク19とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して2本のフォーク19の左右方向のピッチが変更される。
本形態では、ロボット1で搬送される搬送対象物2の大きさが決まると、ロボット1が搬送対象物2を搬送する搬送動作の前に、フォークピッチ変更機構26は、必要に応じて2本のフォーク18の左右方向のピッチを変更し、フォークピッチ変更機構27は、必要に応じて2本のフォーク19の左右方向のピッチを変更する。すなわち、フォークピッチ変更機構26、27は、ロボット1による搬送対象物2の搬送動作中に、フォーク18、19の左右方向のピッチを変更することはない。フォークピッチ変更機構26、27は、たとえば、図7に示すように、ロボット1で搬送される搬送対象物2の大きさに応じて、フォーク18、19の左右方向のピッチを変更する。
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態では、搬送対象物2が載置される複数の載置部材21は、前後方向において、フォーク18、19の、搬送対象物2を載置可能な範囲の全域に配列されている。そのため、本形態では、ハンド3の、搬送対象物2を支持する部分の面積を広くすることが可能になり、その結果、ハンド3に搭載される搬送対象物2の状態を安定させることが可能になる。したがって、本形態では、搬送時にダメージを受けやすい搬送対象物2を搬送する場合であっても、搬送時に搬送対象物2がダメージを受けるおそれを低減することが可能になる。
また、本形態では、載置部材21に形成される2個の配置穴21aの内径は、ボルト24の外径よりも大きくなっており、前後方向における載置部材21の長さは、ハンド3の周囲温度が変動してフォーク18、19および載置部材21が伸縮しても、前後方向における配置穴21aの側面とボルト24との間に隙間が形成される長さに設定されている。そのため、本形態では、炭素繊維を含有する樹脂で形成されたフォーク18、19の線膨張係数と樹脂製の載置部材21の線膨張係数とが異なっていても、ハンド3の周囲温度が変動したときの配置穴21aの側面とボルト24との接触を防止することが可能になる。
したがって、本形態では、フォーク18、19の線膨張係数と載置部材21の線膨張係数とが異なっていても、ハンド3の周囲温度が変動したときのフォーク18、19の曲がりや、フォーク18、19の上面からの載置部材21の浮きを防止することが可能になる。そのため、本形態では、フォーク18、19の線膨張係数と載置部材21の線膨張係数とが異なっていても、また、ハンド3の周囲温度が変動しても、ハンド3に搭載される搬送対象物2の状態を安定させることが可能になり、その結果、搬送時に搬送対象物2がダメージを受けるおそれを低減することが可能になる。
(他の実施の形態)
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
上述した形態において、載置部材21に形成される2個の配置穴21aのうちの一方の配置穴21aの内径は、ボルト24の外径と略等しくなっていても良い。すなわち、一方の配置穴21aの軸部配置穴21bの内径がボルト24の軸部24aの外径と略等しくなり、かつ、一方の配置穴21aの頭部配置穴21cの内径がボルト24の頭部24bの外径と略等しくなっていても良い。すなわち、1個の配置穴21aのみがバカ穴となっていても良い。この場合には、1個の配置穴21aが第1配置穴となる。この場合であっても、ハンド3の周囲温度が変動したときのフォーク18、19の曲がりや、フォーク18、19の上面からの載置部材21の浮きを防止することが可能になる。
また、上述した形態において、載置部材21は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される3本以上のボルト24によってフォーク18、19に固定されていても良い。この場合には、ボルト24の本数に応じた3個以上の配置穴21aが前後方向において間隔をあけた状態で載置部材21に形成されている。また、この場合には、3個以上の配置穴21aのうちの少なくとも1個の配置穴21aの内径は、ボルト24の外径よりも大きくなっている。この場合には、ボルト24の外径よりも内径が大きくなっている配置穴21aが第1配置穴となる。
この場合、全ての配置穴21aの内径がボルト24の外径よりも大きくなっていれば、または、1個の配置穴21aを除いた残りの配置穴21aの内径がボルト24の外径よりも大きくなっていれば、ハンド3の周囲温度が変動したときのフォーク18、19の曲がりや、フォーク18、19の上面からの載置部材21の浮きを防止することが可能になる。また、少なくとも2個の配置穴21aを除いた残りの配置穴21aの内径がボルト24の外径よりも大きくなっている場合であっても、ハンド3の周囲温度が変動したときのフォーク18、19の曲がりや、フォーク18、19の上面からの載置部材21の浮きを抑制することが可能になる。
上述した形態において、載置部材21に形成される配置穴21aは、前後方向を長手方向とする長穴であっても良い。すなわち、軸部配置穴21bおよび頭部配置穴21cは、前後方向を長手方向とする長穴であっても良い。この場合であっても、ハンド3の周囲温度が変動してフォーク18、19および載置部材21が伸縮したときに、前後方向における配置穴21aの側面とボルト24との間に隙間が形成されるように、配置穴21aが形成されている。
上述した形態において、左右方向における2本のフォーク18のピッチは固定されていても良いし、左右方向における2本のフォーク19のピッチは固定されていても良い。また、上述した形態において、ハンド3が備えるフォークの数は、2本または3本であっても良いし、5本以上であっても良い。この場合には、左右方向における複数のフォークのピッチが変更可能となっていても良いし、固定されていても良い。
上述した形態において、上下方向から見たときの載置部材21の外形は、左右方向を長手方向とする略長方形状となっていても良いし、略正方形状となっていても良い。また、上下方向から見たときの載置部材21の外形は、略正方形および略長方形以外の四角形状となっていても良いし、四角形状以外の多角形状や円形状や長円形状となっていても良い。また、上述した形態では、ロボット1は、水平多関節型のロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、水平多関節型のロボット以外の産業用ロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用されるロボットは、特開2017−19061号公報に開示された産業用ロボットであっても良い。
1 ロボット(産業用ロボット)
2 搬送対象物
3 ハンド
4 アーム
5 本体部
18、19 フォーク
18a、19a ネジ穴
21 載置部材
21a 配置穴(第1配置穴)
21b 軸部配置穴(第1軸部配置穴)
21c 頭部配置穴(第1頭部配置穴)
24 ボルト
24a 軸部
24b 頭部
X フォークの長手方向

Claims (6)

  1. 搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
    直線状に形成される複数のフォークと、前記フォークの上面側に固定されるとともに前記搬送対象物が載置される樹脂製の複数の載置部材とを備え、
    前記フォークは、炭素繊維を含有する樹脂で形成され、
    複数の前記載置部材は、前記フォークの長手方向において、前記フォークの、前記搬送対象物を載置可能な範囲の全域に配列され、
    前記載置部材は、前記フォークの長手方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによって前記フォークに固定され、
    前記載置部材には、前記ボルトの一部が配置される複数の配置穴が前記フォークの長手方向において間隔をあけた状態で形成され、
    前記フォークには、前記ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前記フォークの長手方向において間隔をあけた状態で形成され、
    複数の前記配置穴のうちの少なくとも1個の前記配置穴の、前記フォークの長手方向の幅は、前記ボルトの外径よりも広くなっており、
    前記フォークの長手方向における幅が前記ボルトの外径よりも広くなっている前記配置穴を第1配置穴とすると、
    前記フォークの長手方向における前記載置部材の長さは、前記ハンドの周囲温度が変動して前記フォークおよび前記載置部材が伸縮しても、前記フォークの長手方向における前記第1配置穴の側面と前記ボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とするハンド。
  2. 前記配置穴は、前記ボルトの前記軸部の一部が配置される軸部配置穴と、前記ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、
    前記第1配置穴の前記軸部配置穴を第1軸部配置穴とし、前記第1配置穴の前記頭部配置穴を第1頭部配置穴とすると、
    前記フォークの長手方向における前記第1軸部配置穴の幅は、前記ボルトの前記軸部の外径よりも広くなっており、
    前記フォークの長手方向における前記第1頭部配置穴の幅は、前記ボルトの前記頭部の外径よりも広くなっており、
    前記フォークの長手方向における前記載置部材の長さは、前記ハンドの周囲温度が変動して前記フォークおよび前記載置部材が伸縮しても、前記フォークの長手方向における前記第1軸部配置穴の側面と前記ボルトの前記軸部との間に隙間が形成され、かつ、前記フォークの長手方向における前記第1頭部配置穴の側面と前記ボルトの前記頭部との間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする請求項1記載のハンド。
  3. 前記第1軸部配置穴および前記第1頭部配置穴は、丸穴状に形成され、
    前記第1軸部配置穴の内径は、前記ボルトの前記軸部の外径よりも大きくなっており、
    前記第1頭部配置穴の内径は、前記ボルトの前記頭部の外径よりも大きくなっていることを特徴とする請求項2記載のハンド。
  4. 前記載置部材は、前記フォークの長手方向において間隔をあけた状態で配置される2本の前記ボルトによって前記フォークに固定され、
    前記載置部材には、2個の前記第1配置穴が前記フォークの長手方向において間隔をあけた状態で形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のハンド。
  5. 上下方向から見たときの前記載置部材の外形は、前記フォークの長手方向を長辺方向とする略長方形状となっていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のハンド。
  6. 請求項1から5のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7641247B2 (en) * 2002-12-17 2010-01-05 Applied Materials, Inc. End effector assembly for supporting a substrate
AU2003242481A1 (en) * 2003-06-19 2005-01-04 Rorze Corporation Thin plate-supporting body
US7073834B2 (en) * 2004-06-25 2006-07-11 Applied Materials, Inc. Multiple section end effector assembly
JP2006272526A (ja) 2005-03-30 2006-10-12 Nidec Sankyo Corp 搬送用ロボットのハンド及びそのハンドを有する搬送用ロボット
JP4873895B2 (ja) * 2005-07-04 2012-02-08 東芝機械株式会社 平板状搬送物の搬送方法及びその装置
JP4571089B2 (ja) * 2006-03-28 2010-10-27 株式会社フューチャービジョン 基板支持部材、基板焼成炉、基板搬送装置および基板処理方法
JP4982875B2 (ja) * 2008-07-03 2012-07-25 Smc株式会社 シート状物品のための非接触パッド
US8276959B2 (en) * 2008-08-08 2012-10-02 Applied Materials, Inc. Magnetic pad for end-effectors
JP5959221B2 (ja) * 2011-11-16 2016-08-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN203092546U (zh) * 2012-11-23 2013-07-31 京东方科技集团股份有限公司 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人
US20140265394A1 (en) * 2013-03-13 2014-09-18 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Composite end effectors
US8864202B1 (en) * 2013-04-12 2014-10-21 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Spring retained end effector contact pad
CN203655813U (zh) * 2013-12-06 2014-06-18 江西昌河航空工业有限公司 热膨胀系数不一致材料之间的连接装置
KR20150115136A (ko) * 2014-04-02 2015-10-14 현대중공업 주식회사 기판 이송로봇 구동장치 및 이를 이용한 기판 이송방법
KR101681192B1 (ko) * 2015-11-05 2016-12-01 세메스 주식회사 반송 로봇

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