KR102092216B1

KR102092216B1 - 산업용 로봇

Info

Publication number: KR102092216B1
Application number: KR1020180030841A
Authority: KR
Inventors: 다모츠 구리바야시
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2017-03-27
Filing date: 2018-03-16
Publication date: 2020-03-23
Also published as: KR20180109692A; CN108656123B; JP2018161729A; JP6862233B2; CN108656123A

Abstract

본 발명은 기판이 탑재됨과 함께 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치되는 복수의 탑재부의 상하 방향의 간격을 바꾸는 것이 가능해도, 복수의 탑재부의 개개의 상하 방향의 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
이 산업용 로봇에서는, 기판 탑재 기구는, 기판이 탑재됨과 함께 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치되는 탑재부(12 내지 15)를 갖는 복수의 핸드(18 내지 21)와, 복수의 탑재부(12 내지 15)의 상하 방향의 간격을 바꾸는 피치 변경 기구(30)를 구비하고 있다. 피치 변경 기구(30)는, 핸드(18 내지 21)와 레버 부재(41)의 연결부가 되는 핸드 연결부(42)를 구비하고 있으며, 핸드 연결부(42)는, 레버 부재(41)에 회전 가능하게 설치되는 롤러(44)와, 핸드(18 내지 21)에 설치되어 롤러(44)를 수평 방향으로 안내하는 가이드 부재(45)를 구비하고 있다. 가이드 부재(45)는, 핸드(18 내지 21)에 대하여 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 설치되어 있다.

Description

산업용 로봇 {INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.

종래, 복수의 반도체 웨이퍼가 소정의 피치로 적층되어 수용되는 카세트와, 반도체 웨이퍼에 소정의 처리를 행하는 반도체 제조 장치 내의 수용부 사이에서, 복수의 반도체 웨이퍼를 동시에 반송하는 기판 반송 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 기판 반송 장치는, 반도체 웨이퍼를 보유 지지하는 기판 보유 지지 장치와, 기판 보유 지지 장치를 이동시키는 로봇을 구비하고 있다. 기판 보유 지지 장치는, 반도체 웨이퍼가 탑재되는 블레이드를 갖는 5개의 보유 지지체를 구비하고 있다.

특허문헌 1에 기재된 기판 보유 지지 장치에서는, 5개의 블레이드가 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 5개의 보유 지지체가 배치되어 있다. 또한, 기판 보유 지지 장치는, 5개의 블레이드의 상하 방향의 간격을 바꾸기 위한 링크 기구를 구비하고 있다. 링크 기구는, 상하 방향의 중심에 배치되는 보유 지지체를 제외한 4개의 보유 지지체의 각각에 회동 가능하게 연결되는 종동 링크 부재와, 4개의 종동 링크 부재가 회동 가능하게 연결되는 구동 링크 부재를 구비하고 있다. 구동 링크 부재의 중심에는 기어열을 통해 모터가 연결되어 있으며, 구동 링크 부재는, 카세트와 수용부 사이에서 반도체 웨이퍼를 반송할 때의 기판 보유 지지 장치의 이동 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다.

또한, 2개의 종동 링크 부재는, 구동 링크 부재의 중심으로부터 구동 링크 부재의 긴 변 방향의 일방측을 향해 소정의 간격을 벌린 상태로 기판 보유 지지 장치의 이동 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 구동 링크 부재에 연결되고, 나머지 2개의 종동 링크 부재는, 구동 링크 부재의 중심으로부터 구동 링크 부재의 긴 변 방향의 타방측을 향해 소정의 간격을 벌린 상태로 기판 보유 지지 장치의 이동 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 구동 링크 부재에 연결되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 기판 보유 지지 장치에서는, 모터의 동력으로 구동 링크 부재가 회동하면, 구동 링크 부재의 회동량에 따라 종동 링크 부재가 연결된 4개의 보유 지지체가 상하 이동한다.

일본 특허 공개 제2005-116807호 공보

특허문헌 1에 기재된 기판 보유 지지 장치에서는, 보유 지지체를 구성하는 부품의 변동 등의 영향으로 구동 링크 부재의 회동 중심에 대한 블레이드의 상하 방향의 위치가 변동될 우려가 있다. 구동 링크 부재의 회동 중심에 대한 블레이드의 상하 방향의 위치 변동이 커져, 5개의 블레이드 중 적어도 1개의 블레이드가 상하 방향에 있어서 소정의 범위로부터 벗어난 위치에 배치되면, 카세트와 수용부 사이에서 반도체 웨이퍼를 반송할 때에, 카세트나 수용부와 블레이드가 간섭할 우려가 있다. 그 때문에, 상하 방향에 있어서 소정의 범위로부터 벗어난 위치에 배치되는 블레이드가 있는 경우에는, 이 블레이드의 상하 방향의 위치를 조정할 필요가 있다.

그러나, 특허문헌 1에 기재된 기판 보유 지지 장치에 있어서, 종동 링크 부재가 연결되는 4개의 보유 지지체의 블레이드의 개개의 상하 방향의 위치를 조정하기 위해서는, 종동 링크 부재와 구동 링크 부재의 연결 위치 또는 종동 링크 부재와 보유 지지체의 연결 위치를 바꾸거나, 혹은 종동 링크 부재의 길이를 바꾸거나 할 필요가 있다. 따라서, 특허문헌 1에 기재된 기판 보유 지지 장치에서는, 종동 링크 부재가 연결되는 4개의 보유 지지체의 블레이드의 개개의 상하 방향의 위치 조정은 곤란하다.

그래서, 본 발명의 과제는, 기판이 탑재됨과 함께 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치되는 복수의 탑재부의 상하 방향의 간격을 바꾸는 것이 가능해도, 복수의 탑재부의 개개의 상하 방향의 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.

상기한 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇은, 복수의 기판이 소정의 피치로 적층되어 수용되는 수용부로부터 기판을 반출하는 산업용 로봇에 있어서, 복수의 기판이 탑재되는 기판 탑재 기구를 구비하고, 기판 탑재 기구는, 기판이 탑재됨과 함께 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치되는 탑재부를 갖는 복수의 핸드와, 수용부로부터 기판을 반출할 때에 복수의 핸드와 함께 이동하는 베이스 부재와, 복수의 탑재부의 상하 방향의 간격을 바꾸는 피치 변경 기구를 구비하고, 핸드는, 베이스 부재에 대하여 상하 방향으로 상대 이동 가능하게 되어 있고, 피치 변경 기구는, 수용부로부터의 기판의 반출 방향을 축 방향으로 하여 배치되는 지지점 축과, 복수의 핸드가 연결됨과 함께 지지점 축을 회동 중심으로 하여 회동하는 레버 부재와, 레버 부재의 긴 변 방향을 따라 지지점 축으로부터 소정의 거리만큼 이격된 위치에 배치됨과 함께 핸드와 레버 부재의 연결부가 되는 복수의 핸드 연결부와, 레버 부재를 회동시키기 위한 구동 기구를 구비하고, 구동 기구는, 상하 방향으로 직선적으로 이동하는 직동 부재를 구비하고, 레버 부재는, 직동 부재의 상하 이동에 따라 지지점 축을 중심으로 하여 회동하고, 핸드 연결부는, 레버 부재에 회전 가능하게 설치되어 반출 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전하는 롤러와, 핸드에 설치되어 반출 방향과 상하 방향에 직교하는 방향으로 롤러를 안내하는 가이드부를 갖는 가이드 부재를 구비하고, 가이드 부재는, 핸드에 대하여 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 복수의 탑재부의 상하 방향의 간격을 바꾸는 피치 변경 기구는, 핸드와 레버 부재의 연결부가 되는 핸드 연결부를 구비하고 있고, 핸드 연결부는, 레버 부재에 회전 가능하게 설치되어 반출 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전하는 롤러와, 핸드에 설치되어 반출 방향과 상하 방향에 직교하는 방향으로 롤러를 안내하는 가이드부를 갖는 가이드 부재를 구비하고 있다. 또한, 본 발명에서는, 가이드 부재는 핸드에 대하여 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 설치되어 있다.

그 때문에, 본 발명에서는, 핸드에 대한 가이드 부재의 상하 방향의 위치를 조정하는 간편한 조정에 의해, 복수의 핸드의 개개의 상하 방향의 위치(구체적으로는, 레버 부재에 대한 개개의 핸드의 상하 방향의 위치)를 조정하는 것이 가능해진다. 즉, 본 발명에서는, 핸드에 대한 가이드 부재의 상하 방향의 위치를 조정하는 간편한 조정에 의해, 복수의 탑재부의 개개의 상하 방향의 위치를 조정하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 기판이 탑재되는 복수의 탑재부의 상하 방향의 간격을 바꾸는 것이 가능해도, 복수의 탑재부의 개개의 상하 방향의 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 가이드 부재는, 고정용 나사에 의해 핸드에 고정되고, 가이드 부재에는, 고정용 나사의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되고, 삽입 관통 구멍은, 고정용 나사의 축부의 외경보다도 내경이 큰 원형 구멍, 또는 상하 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍으로 되어 있다.

본 발명에 있어서, 기판 탑재 기구는, 핸드에 대한 가이드 부재의 상하 방향의 위치를 조정하기 위한 조정용 나사를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 핸드에 대한 가이드 부재의 상하 방향의 위치의 미세 조정을 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 즉, 탑재부의 상하 방향의 위치의 미세 조정을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 기판 탑재 기구는, 핸드에 고정됨과 함께 조정용 나사를 보유 지지하는 나사 보유 지지 부재를 구비하고, 나사 보유 지지 부재는, 가이드 부재보다도 상측에 배치되고, 가이드 부재에는, 조정용 나사가 나사 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있다.

본 발명에 있어서, 핸드에는, 가이드 부재를 상하 방향으로 안내하는 가이드 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 가이드 부재의 상하 방향의 위치를 조정할 때에 가이드 부재가 수평 방향으로 어긋나기 어려워진다. 따라서, 탑재부의 상하 방향의 위치 조정이 보다 용이해진다.

본 발명에 있어서, 산업용 로봇은 제1 아암 및 제2 아암과, 제1 아암의 기단측 및 제2 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 기판이 탑재됨과 함께 탑재부와 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치 가능한 제2 탑재부를 갖는 제2 핸드를 구비하고, 베이스 부재는, 제1 아암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 제2 핸드는, 제2 아암의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 핸드를 사용하여 1매만의 기판을 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 이와 같이 구성하면, 예를 들어 제2 핸드에 설치되는 센서를 사용하여, 카세트에 수용되는 복수매의 기판 위치를 검지하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 기판 탑재 기구는, 핸드로서 제2 탑재부보다도 상측에 배치되는 탑재부를 갖는 복수의 상핸드와, 제2 탑재부보다도 하측에 배치되는 탑재부를 갖는 복수의 하핸드를 구비하고 있다.

본 발명에 있어서, 예를 들어 구동 기구는, 모터와, 모터의 동력으로 회전하는 나사축과, 직동 부재에 설치되어 나사축에 걸림 결합하는 너트를 구비하고 있다.

이상과 같이, 본 발명의 산업용 로봇에서는, 기판이 탑재됨과 함께 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치되는 복수의 탑재부의 상하 방향의 간격을 바꾸는 것이 가능해도, 복수의 탑재부의 개개의 상하 방향의 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 제2 아암이 늘어나 있는 상태의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇의 제1 아암 및 제2 아암이 늘어나 있는 상태의 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시한 기판 탑재 기구 및 제2 핸드의 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시한 기판 탑재 기구 및 제2 핸드로부터 구동 기구를 제거한 상태의 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시한 기판 탑재 기구에 있어서 탑재부의 간격을 변경했을 때의 사시도이다.
도 6은 도 4에 도시한 피치 변경 기구를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 6에 도시한 피치 변경 기구에 있어서 탑재부의 간격을 변경한 상태를 도시하는 도면이다.
도 8은 도 3에 도시한 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 9는 도 6의 E부의 구성을 설명하기 위한 확대도이다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

(산업용 로봇의 개략 구성)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)의 제2 아암(6)이 늘어나 있는 상태의 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시한 산업용 로봇(1)의 제1 아암(5) 및 제2 아암(6)이 늘어나 있는 상태의 사시도이다.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, "로봇(1)"로 함)은, 수평 다관절형의 로봇이다. 또한, 로봇(1)은, 기판인 반도체 웨이퍼(2)(이하, "웨이퍼(2)"로 함)를 반송하기 위한 로봇이다. 구체적으로는, 로봇(1)은 복수의 웨이퍼(2)가 소정의 피치로 적층되어 수용되는 수용부로부터 웨이퍼(2)를 반출하기 위한 로봇이다.

이 로봇(1)은, 예를 들어 복수의 웨이퍼(2)가 소정의 피치로 적층되어 수용되는 카세트(도시 생략)로부터 복수의 웨이퍼(2)를 동시에 반출하여, 반도체 제조 시스템(도시 생략)을 구성하는 소정의 처리 장치 중으로 카세트로부터 반출한 복수의 웨이퍼(2)를 반입한다. 또한, 로봇(1)은, 복수의 웨이퍼(2)가 소정의 피치로 적층되어 수용되는 처치 장치로부터 복수의 웨이퍼(2)를 동시에 반출하여, 이 반출한 복수의 웨이퍼(2)를 카세트 내로 반입한다. 본 형태에서는, 카세트에 수용되는 웨이퍼(2)의 피치와, 처리 장치에 수용되는 웨이퍼(2)의 피치가 상이하다.

로봇(1)은, 복수의 웨이퍼(2)가 탑재되는 기판 탑재 기구(3)와, 1매의 웨이퍼(2)가 탑재되는 제2 핸드로서의 핸드(4)와, 기판 탑재 기구(3)가 회동 가능하게 연결되는 제1 아암(5)과, 핸드(4)가 회동 가능하게 연결되는 제2 아암(6)과, 제1 아암(5) 및 제2 아암(6)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(7)와, 본체부(7)를 승강 가능하게 보유 지지하는 승강 기구부(도시 생략)를 구비하고 있다. 제1 아암(5) 및 제2 아암(6)은, 서로 회동 가능하게 연결되는 2개의 아암부에 의해 구성되어 있다.

기판 탑재 기구(3)는, 제1 아암(5)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 기판 탑재 기구(3)는, 제1 아암(5)의 선단측에 대하여 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 핸드(4)는, 제2 아암(6)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(4)는, 제2 아암(6)의 선단측에 대하여 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 본체부(7)는, 제1 아암(5)의 기단측 및 제2 아암(6)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 선회부(8)와, 선회부(8)를 회동 가능하게 지지하는 지지부(9)를 구비하고 있다.

제1 아암(5)의 기단측과 제2 아암(6)의 기단측은, 수평 방향으로 인접하도록 선회부(8)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제1 아암(5)의 기단측 및 제2 아암(6)의 기단측은, 선회부(8)에 대하여 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 또한, 제1 아암(5)과 제2 아암(6)은, 선회부(8)에 대하여 수평 방향으로 개별적으로 신축된다. 선회부(8)는, 지지부(9)에 대하여 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 승강 기구부는 지지체(9)가 고정되는 고정 부재와, 이 고정 부재를 승강시키는 승강 기구를 구비하고 있으며, 지지부(9)를 상하 이동시킨다.

기판 탑재 기구(3)는, 후술하는 바와 같이 소정의 간격을 벌린 상태로 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치되는 핸드 포크(12, 13, 14, 15)를 갖는 복수의 핸드(18, 19, 20, 21)를 구비하고 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 본 형태에서는 카세트에 수용되는 웨이퍼(2)의 피치와, 처리 장치에 수용되는 웨이퍼(2)의 피치가 상이하기 때문에, 기판 탑재 기구(3)는 후술하는 바와 같이 복수의 핸드 포크(12 내지 15)의 상하 방향의 간격을 바꾸는 피치 변경 기구(30)를 구비하고 있다. 기판 탑재 기구(3)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.

핸드(4)는, 웨이퍼(2)가 탑재되는 제2 탑재부로서의 핸드 포크(16)와, 핸드 포크(16)를 지지하는 포크 지지 부재(25)를 구비하고 있다. 포크 지지 부재(25)는, 제2 아암(6)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드 포크(16)는, 평판 형상으로 형성되어 있다. 또한, 핸드 포크(16)의 형상은 대략 Y 형상으로 되어 있으며, 핸드 포크(16) 선단측은 두갈래 형상으로 형성되어 있다.

핸드 포크(16)의 선단부에는, 카세트 등의 내부에 수용되는 웨이퍼(2)의 위치 등을 검지하기 위한 센서(24)(도 3 등 참조)가 설치되어 있다. 센서(24)는, 발광 소자와 수광 소자를 갖는 투과형의 광학식의 센서이다. 로봇(1)이 카세트 등으로부터 웨이퍼(2)를 반출하기 전에는, 카세트 등에 수용되는 웨이퍼(2)의 위치 등을 검지하기 위해, 로봇(1)은 제2 아암(6)만을 늘려서 카세트 등에 수용되는 웨이퍼(2)의 전방에 핸드 포크(16)의 선단부를 배치한 상태에서 핸드(4)를 상하 이동시킨다. 즉, 센서(24)는 소위 맵핑용의 센서이다.

(기판 탑재 기구의 구성)

도 3은, 도 1에 도시한 기판 탑재 기구(3) 및 핸드(4)의 사시도이다. 도 4는, 도 3에 도시한 기판 탑재 기구(3) 및 핸드(4)로부터 구동 기구(43)를 제거한 상태의 사시도이다. 도 5는, 도 4에 도시한 기판 탑재 기구(3)에 있어서 핸드 포크(12 내지 15)의 간격을 변경했을 때의 사시도이다. 도 6은, 도 4에 도시한 피치 변경 기구(30)를 설명하기 위한 도면이다. 도 7은, 도 6에 도시한 피치 변경 기구(30)에 있어서 핸드 포크(12 내지 15)의 간격을 변경한 상태를 도시하는 도면이다. 도 8은, 도 3에 도시한 구동 기구(43)의 구성을 설명하기 위한 사시도이다. 도 9는, 도 6의 E부의 구성을 설명하기 위한 확대도이다.

이하의 설명에서는, 상하 방향에 직교하는 방향을 "전후 방향"이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 "좌우 방향"이라 한다. 전후 방향의 일방측인 도 3 등의 X1 방향측은 기판 탑재 기구(3)의 선단측이며, 그의 반대측인 도 3 등의 X2 방향측은 기판 탑재 기구(3)의 기단측이기 때문에, 이하의 설명에서는 X1 방향측을 "선단"측 또는 "전방"측이라 하고, X2 방향측을 "기단"측 또는 "후방(뒤)"측이라 한다. 또한, 이하의 설명에서는, 좌우 방향의 일방측인 도 3 등의 Y1 방향측을 "우"측이라 하고, 그의 반대측인 도 3 등의 Y2 방향측을 "좌"측이라 한다.

본 형태에서는, X1 방향은 카세트나 처리 장치에 웨이퍼(2)를 반입할 때의 웨이퍼(2)의 반입 방향이며, X2 방향은 카세트나 처리 장치로부터 웨이퍼(2)를 반출할 때의 웨이퍼(2)의 반출 방향이다. 즉, 전후 방향은, 카세트나 처리 장치에 대한 웨이퍼(2)의 반송 방향이다. 또한, 도 3 등의 Z1 방향측은 "상"측이고, 그의 반대측인 도 3 등의 Z2 방향측은 "하"측이다.

기판 탑재 기구(3)는, 웨이퍼(2)가 탑재되는 탑재부로서의 핸드 포크(12 내지 15)를 갖는 4개의 핸드(18 내지 21)를 구비하고 있다. 즉, 기판 탑재 기구(3)는, 핸드 포크(12)를 갖는 핸드(18)와, 핸드 포크(13)를 갖는 핸드(19)와, 핸드 포크(14)를 갖는 핸드(20)와, 핸드 포크(15)를 갖는 핸드(21)를 구비하고 있다. 또한, 기판 탑재 기구(3)는, 제1 아암(5)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 베이스 부재(28)를 구비하고 있다. 베이스 부재(28)는, 카세트나 처리 장치로부터 웨이퍼(2)를 반출할 때에 핸드(18 내지 21)와 함께 이동한다.

핸드 포크(12 내지 15)는 핸드 포크(16)와 동일 형상으로 형성되어 있으며, 핸드 포크(12 내지 15)의 형상은 대략 Y 형상으로 되어 있다. 4개의 핸드 포크(12 내지 15)는, 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 핸드 포크(12 내지 15)는, 위로부터 핸드 포크(12), 핸드 포크(13), 핸드 포크(14), 핸드 포크(15)의 순서로 겹치도록 배치되어 있다. 핸드 포크(12)와 핸드 포크(13)의 상하 방향의 간격과, 핸드 포크(14)와 핸드 포크(15)의 상하 방향의 간격은 동등하게 되어 있다. 한편, 핸드 포크(13)와 핸드 포크(14)의 상하 방향의 간격은, 핸드 포크(12)와 핸드 포크(13)의 상하 방향의 간격의 2배로 되어 있다.

핸드(4)의 핸드 포크(16)는, 상하 방향에 있어서 핸드 포크(13)와 핸드 포크(14)의 중심 위치에 배치되어 있으며, 4개의 핸드 포크(12 내지 15)와 상하 방향으로 봤을 때 겹치도록 배치 가능하게 되어 있다. 5개의 핸드 포크(12 내지 16)가 상하 방향으로 겹친 상태에서는, 5개의 핸드 포크(12 내지 16)는 등피치로 배치되어 있다. 본 형태의 핸드(18, 19)는, 핸드 포크(16)보다도 상측에 배치되는 핸드 포크(12, 13)를 갖는 상핸드이며, 핸드(20, 21)는 핸드 포크(16)보다도 하측에 배치되는 핸드 포크(14, 15)를 갖는 하핸드이다.

로봇(1)에서는, 도 2에 도시한 바와 같이 5개의 핸드 포크(12 내지 16)를 상하 방향으로 겹친 상태에서 제1 아암(5)과 제2 아암(6)을 함께 신축시킴으로써, 5개의 핸드 포크(12 내지 16)에 의해 5매의 웨이퍼(2)를 동시에 반송하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이 제2 아암(6)만을 신축시킴으로써, 핸드 포크(16)에 의해 1매의 웨이퍼(2)를 반송하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 제1 아암(5)만을 신축시킴으로써, 4개의 핸드 포크(12 내지 15)에 의해 4매의 웨이퍼(2)를 동시에 반송하는 것도 가능하다.

상술한 바와 같이, 로봇(1)은, 수용되는 웨이퍼(2)의 피치가 상이한 카세트와 처리 장치 사이에서 웨이퍼(2)의 반송을 행하기 때문에, 핸드 포크(12 내지 15)를 갖는 핸드(18 내지 21)는 베이스 부재(28)에 대하여 상하 방향으로 상대 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 기판 탑재 기구(3)는, 핸드 포크(12 내지 15)의 상하 방향의 간격을 바꾸는 피치 변경 기구(30)와, 핸드(12 내지 15) 각각을 상하 방향으로 안내하기 위한 4개의 가이드 기구(31)를 구비하고 있다.

핸드(18)는, 핸드 포크(12)에 더하여, 핸드 포크(12)가 고정되는 고정 부재(32)를 구비하고 있다. 핸드(19)는, 핸드 포크(13)에 더하여, 핸드 포크(13)가 고정되는 고정 부재(33)를 구비하고 있다. 핸드(20)는, 핸드 포크(14)에 더하여, 핸드 포크(14)가 고정되는 고정 부재(34)를 구비하고 있다. 핸드(21)는, 핸드 포크(15)에 더하여, 핸드 포크(15)가 고정되는 고정 부재(35)를 구비하고 있다. 고정 부재(32 내지 35) 각각의 전단측에는, 핸드 포크(12 내지 15) 각각의 후단부(기단부)가 고정되어 있다.

가이드 기구(31)는, 베이스 부재(28)에 고정되는 가이드 레일(36)과, 가이드 레일(36)에 걸림 결합하는 가이드 블록(37)으로 구성되어 있다. 가이드 블록(37)은, 고정 부재(32 내지 35) 각각에 고정되어 있다. 가이드 레일(36)은, 베이스 부재(28)의 우단측의 2개소와 베이스 부재(28)의 좌단측의 2개소에 고정되어 있다. 또한, 베이스 부재(28)의 좌우의 양단측 각각에서는, 2개의 가이드 레일(36)이 전후 방향에서 인접하도록 배치되어 있다.

본 형태에서는, 핸드(18, 20)를 안내하는 가이드 레일(36)이 베이스 부재(28)의 좌단측에 고정되고, 핸드(19, 21)를 안내하는 가이드 레일(36)이 베이스 부재(28)의 우단측에 고정되어 있다. 또한, 핸드(18, 21)를 안내하는 가이드 레일(36)이 후방측에 배치되고, 핸드(19, 20)를 안내하는 가이드 레일(36)이 전방측에 배치되어 있다.

피치 변경 기구(30)는, 전후 방향을 축 방향으로 하여 배치되는 지지점 축(40)과, 4개의 핸드(18 내지 21)가 연결됨과 함께 지지점 축(40)을 회동 중심으로 하여 회동하는 레버 부재(41)와, 핸드(18 내지 21) 각각과 레버 부재(41)의 연결부가 되는 4개의 핸드 연결부(42)와, 레버 부재(41)를 회동시키기 위한 구동 기구(43)를 구비하고 있다. 피치 변경 기구(30)는, 가이드 기구(31)보다도 후방측에 배치되어 있다.

지지점 축(40)은, 지지점 축(40)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 베이스 부재(28)에 고정되어 있다. 레버 부재(41)는 직선형으로 형성되어 있으며, 레버 부재(41)의 중심부가 지지점 축(40)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 이 레버 부재(41)는, 전후 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 레버 부재(41)는, 레버 부재(41)의 일단측이 지지점 축(40)보다도 좌측에 배치되고, 레버 부재(41)의 타단측이 지지점 축(40)보다도 우측에 배치되도록 지지점 축(40)에 지지되어 있다. 핸드 연결부(42)는, 레버 부재(41)에 회전 가능하게 설치되는 4개의 롤러(44)와, 롤러(44)를 좌우 방향으로 안내하는 4개의 가이드 부재(45)를 구비하고 있다.

롤러(44)는, 레버 부재(41)에 고정되는 고정축(46)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 고정축(46)은, 고정축(46)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 레버 부재(41)에 고정되어 있으며, 롤러(44)는, 전후 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한, 고정축(46)은, 전방측에 돌출되도록 레버 부재(41)에 고정되어 있으며, 롤러(44)는, 레버 부재(41)의 전방측에 배치되어 있다.

4개의 가이드 부재(45) 각각은, 핸드(18 내지 21) 각각에 설치되어 있다. 구체적으로는, 4개의 가이드 부재(45) 각각은, 고정용 나사(47)에 의해 고정 부재(32 내지 35) 각각의 후단부에 후방측으로부터 고정되어 있다(도 6, 도 7 참조). 본 형태에서는, 2개의 고정용 나사(47)에 의해 가이드 부재(45)가 고정 부재(32 내지 35)에 고정되어 있다. 가이드 부재(45)에는, 롤러(44)가 걸림 결합함과 함께 롤러(44)를 좌우 방향으로 안내하는 가이드부로서의 가이드 홈(45a)이 형성되어 있다. 가이드 홈(45a)은, 가이드 부재(45)의 하단부에 형성되어 있다. 또한, 가이드 홈(45a)은, 후방면 및 좌우의 양단이 개구되는 각홈 형상으로 형성되어 있다. 롤러(44)는, 후방측으로부터 가이드 홈(45a)에 걸림 결합하고 있으며, 적어도 롤러(44)의 일부분은 가이드 홈(45a) 내에 배치되어 있다.

핸드 연결부(42)는, 레버 부재(41)의 긴 변 방향을 따라 지지점 축(40)으로부터 소정의 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 있다. 즉, 4개의 롤러(44)는, 레버 부재(41)의 긴 변 방향을 따라 지지점 축(40)으로부터 소정의 거리만큼 이격된 위치에 배치되어 있다. 4개의 롤러(44) 중 2개의 롤러(44)는 지지점 축(40)보다도 좌측에 배치되고, 나머지 2개의 롤러(44)는 지지점 축(40)보다도 우측에 배치되어 있다.

레버 부재(41)의 좌단측에 설치되는 롤러(44)를 제1 롤러(44)라 하고, 지지점 축(40)과 제1 롤러(44) 사이에서 레버 부재(41)에 설치되는 롤러(44)를 제2 롤러(44)라 하고, 레버 부재(41)의 우단측에 설치되는 롤러(44)를 제3 롤러(44)라 하고, 지지점 축(40)과 제3 롤러(44) 사이에서 레버 부재(41)에 설치되는 롤러(44)를 제4 롤러(44)라 하면, 제1 롤러(44)와 제2 롤러(44)의 거리와, 제2 롤러(44)와 지지점 축(40)의 거리와, 제4 롤러(44)와 지지점 축(40)의 거리와, 제3 롤러(44)와 제4 롤러(44)의 거리는 동등하게 되어 있다.

본 형태에서는, 핸드(18)에 고정되는 가이드 부재(45)와, 핸드(19)에 고정되는 가이드 부재(45)가 지지점 축(40)보다도 좌측에 배치되고, 핸드(20)에 고정되는 가이드 부재(45)와, 핸드(21)에 고정되는 가이드 부재(45)가 지지점 축(40)보다도 우측에 배치되어 있다. 핸드(18)에 고정되는 가이드 부재(45)와, 핸드(19)에 고정되는 가이드 부재(45)와, 지지점 축(40)과 핸드(20)에 고정되는 가이드 부재(45)와, 핸드(21)에 고정되는 가이드 부재(45)는, 좌측으로부터 우측을 향해 이 순서로 배치되어 있다.

구동 기구(43)는, 도 8에 도시한 바와 같이 구동원이 되는 모터(50)와, 모터(50)의 동력으로 회전하는 나사축(51)과, 나사축(51)에 걸림 결합하는 너트(52)를 구비하고 있다. 또한, 구동 기구(43)는, 너트(52)가 설치됨과 함께 상하 방향으로 직선적으로 이동하는 직동 부재(58)를 구비하고 있다. 모터(50), 나사축(51) 및 너트(52)는, 피치 변경 기구(30)보다도 후방측에 배치되어 있다.

나사축(51)은, 나사축(51)의 축 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 모터(50)의 동력은, 풀리(53) 및 벨트(54)를 통해 나사축(51)에 전달되고 있다. 직동 부재(58)는, 전후 방향의 가늘고 긴 대략 직육면체의 블록 형상으로 형성되어 있다. 직동 부재(58)의 후단부에는, 너트(52)를 보유 지지하는 너트 보유 지지 부재(55)가 고정되어 있다. 직동 부재(58)의 전단부는, 고정 부재(32)의 후단부에 고정되어 있다. 즉, 직동 부재(58)는 핸드(18)에 고정되어 있다. 또한, 직동 부재(58)의 전단부는, 고정 부재(32)에 고정되는 가이드 부재(45)에 고정되어 있어도 된다. 즉, 직동 부재(58)는, 가이드 부재(45)를 통해 핸드(18)에 고정되어 있어도 된다.

본 형태에서는, 모터(50)의 동력으로 나사축(51)이 회전하여, 너트(52) 및 직동 부재(58)가 승강하면, 직동 부재(58)가 고정되는 핸드(18)가 승강한다. 핸드(18)가 승강하면, 핸드(18)에 고정되는 가이드 부재(45)가 승강하기 때문에, 레버 부재(41)가 지지점 축(40)을 지지점으로 하여 회동한다. 즉, 레버 부재(41)는,직동 부재(58)의 상하 이동에 따라 회동한다. 레버 부재(41)가 회동하면, 핸드(19 내지 21)에 고정되는 가이드 부재(45)가 승강하기 때문에, 도 4, 도 5에 도시한 바와 같이 핸드 포크(12 내지 15)의 간격이 바뀐다.

상술한 바와 같이, 가이드 부재(45)는, 고정용 나사(47)에 의해 고정 부재(32 내지 35)에 고정되어 있다. 고정 부재(32 내지 35)에는, 고정용 나사(47)의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(56)이 형성되어 있다(도 9 참조). 즉, 핸드(18 내지 21)에는 삽입 관통 구멍(56)이 형성되어 있다. 고정용 나사(47)의 축부는, 후방측으로부터 삽입 관통 구멍(56)에 삽입 관통되어 있다. 고정용 나사(47)는, 고정 부재(32 내지 35)에 형성되는 나사 구멍에 나사 결합하고 있다.

삽입 관통 구멍(56)은, 고정용 나사(47)의 축부의 외경보다도 내경이 큰 원형 구멍이 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 가이드 부재(45)는 핸드(18 내지 21)에 대하여 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 되어 있다. 즉, 가이드 부재(45)는, 핸드(18 내지 21)에 대하여 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 설치되어 있다. 또한, 고정 부재(32 내지 35)에는, 고정용 나사(47)의 헤드부가 배치되는 배치 구멍(57)이 형성되어 있다(도 9 참조). 배치 구멍(57)의 내경은, 고정용 나사(47)의 헤드부의 외경보다도 크게 되어 있다.

기판 탑재 기구(3)는, 핸드(18 내지 21)에 대한 가이드 부재(45)의 상하 방향의 위치를 조정하기 위한 조정용 나사(59)를 구비하고 있다. 또한, 기판 탑재 기구(3)는, 조정용 나사(59)를 보유 지지하는 나사 보유 지지 부재(60)를 구비하고 있다. 나사 보유 지지 부재(60)는, 고정 부재(32 내지 35)에 고정되어 있다. 즉, 나사 보유 지지 부재(60)는 핸드(18 내지 21)에 고정되어 있다. 나사 보유 지지 부재(60)는, 가이드 부재(45)보다도 상측에 배치되어 있다.

나사 보유 지지 부재(60)에는, 조정용 나사(59)의 축부가 삽입 관통되는 관통 구멍(60a)이 형성되어 있다(도 9 참조). 관통 구멍(60a)은, 상하 방향으로 나사 보유 지지 부재(60)를 관통하고 있다. 조정용 나사(59)의 축부는 상측으로부터 관통 구멍(60a)에 삽입 관통되어 있으며, 조정용 나사(59)의 헤드부는 나사 보유 지지 부재(60)의 상면에 접촉하고 있다. 가이드 부재(45)의 상면에는, 조정용 나사(59)가 나사 결합하는 나사 구멍(45b)이 형성되어 있다. 본 형태에서는, 고정용 나사(47)를 느슨하게 한 상태에서 조정용 나사(59)를 돌림으로써, 핸드(18 내지 21)에 대한 가이드 부재(45)의 상하 방향의 위치가 미세 조정된다.

고정 부재(32 내지 35) 각각에는, 가이드 부재(45)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 홈(32a, 33a, 34a, 35a)이 형성되어 있다(도 6, 도 7 참조). 즉, 핸드(18 내지 21)에는, 가이드 부재(45)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 홈(32a 내지 35a)이 형성되어 있다. 가이드 홈(32a 내지 35a)은, 적어도 나사 보유 지지 부재(60)의 하측에 형성되어 있다. 또한, 가이드 홈(32a 내지 35a)은, 후방면 및 상하의 양단이 개구되는 얕은 각홈 형상으로 형성되어 있다. 가이드 부재(45)는, 후방측으로부터 가이드 홈(32a 내지 35a)에 걸림 결합하고 있다.

(본 형태의 주된 효과)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 핸드(18 내지 21)와 레버 부재(41)의 연결부인 핸드 연결부(42)는, 레버 부재(41)에 회전 가능하게 설치됨과 함께 전후 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전하는 롤러(44)와, 롤러(44)를 좌우 방향으로 안내하는 가이드 홈(45a)이 형성되는 가이드 부재(45)를 구비하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 가이드 부재(45)는 핸드(18 내지 21)에 대하여 상하 방향으로 조정 가능하게 설치되어 있다.

그 때문에, 본 형태에서는, 핸드(18 내지 21)에 대한 가이드 부재(45)의 상하 방향의 위치를 조정하는 간편한 조정에 의해, 4개의 핸드(18 내지 21)의 개개의 상하 방향의 위치(레버 부재(41)에 대한 상하 방향의 위치)를 조정하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 핸드(18 내지 21)에 대한 가이드 부재(45)의 상하 방향의 위치를 조정하는 간편한 조정에 의해, 4개의 핸드 포크(12 내지 15)의 개개의 상하 방향의 위치를 조정하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 4개의 핸드 포크(12 내지 15)의 상하 방향의 간격을 바꾸는 것이 가능해도, 4개의 핸드 포크(12 내지 15)의 개개의 상하 방향의 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 기판 탑재 기구(3)는, 핸드(18 내지 21)에 대한 가이드 재(45)의 상하 방향의 위치를 조정하기 위한 조정용 나사(59)를 구비하고 있으며, 고정용 나사(47)를 느슨하게 한 상태에서 조정용 나사(59)를 돌림으로써, 핸드(18 내지 21)에 대한 가이드 부재(45)의 상하 방향의 위치가 미세 조정된다. 그 때문에, 본 형태에서는, 핸드(18 내지 21)에 대한 가이드 부재(45)의 상하 방향의 위치의 미세 조정을 용이하게 행하는 것이 가능해지고, 그 결과 핸드 포크(12 내지 15)의 상하 방향의 위치의 미세 조정을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 핸드(18 내지 21)에 가이드 부재(45)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 홈(32a 내지 35a)이 형성되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 고정용 나사(47)를 느슨하게 하여 가이드 부재(45)의 상하 방향의 위치를 조정할 때에 가이드 부재(45)가 수평 방향으로 어긋나기 어려워진다. 따라서, 본 형태에서는, 핸드 포크(12 내지 15)의 상하 방향의 위치 조정이 보다 용이해진다.

본 형태에서는, 기판 탑재 기구(3)가 제1 아암(5)에 연결됨과 함께, 핸드(4)가 제2 아암(6)에 연결되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이 제2 아암(6)만을 신축시킴으로써, 핸드 포크(16)에 의해 1매의 웨이퍼(2)를 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이 로봇(1)이 카세트 등으로부터 웨이퍼(2)를 반출하기 전에, 제2 아암(6)만을 늘려서 카세트 등에 수용되는 웨이퍼(2)의 전방에 핸드 포크(16)의 선단부를 배치한 상태에서 핸드(4)를 상하 이동시킴으로써, 센서(24)에 의해 카세트 등에 수용되는 웨이퍼(2)의 위치 등을 검지하는 것이 가능해진다.

(다른 실시 형태)

상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것으로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.

상술한 형태에 있어서, 지지점 축(40)은 베이스 부재(28)에 회동 가능하게 지지되어 있어도 된다. 이 경우에는, 레버 부재(41)는 지지점 축(40)에 고정되어 있으며, 지지점 축(40)을 회동 중심으로 하여 지지점 축(40)과 함께 회동 가능하게 되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 삽입 관통 구멍(56)은 상하 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍이어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 배치 구멍(57)도 상하 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍으로 되어 있다.

상술한 형태에 있어서, 나사 보유 지지 부재(60)는 가이드 부재(45)보다 하측에 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 조정용 나사(59)가 나사 결합하는 나사 구멍이 나사 보유 지지 부재(60)를 상하 방향으로 관통하도록 형성되고, 조정용 나사(59)의 헤드부는, 나사 보유 지지 부재(60)의 하측에 배치되어 있다. 또한, 이 경우에는, 조정용 나사(59)의 축부의 선단이 가이드 부재(45)의 하면에 접촉하고 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 기판 탑재 기구(3)는 조정용 나사(59)를 구비하고 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 고정 부재(32 내지 35)에 가이드 홈(32a 내지 35a)이 형성되어 있지 않아도 된다.

상술한 형태에 있어서, 핸드 포크(16)의 상측에 핸드 포크(14)가 배치되어도 되고, 핸드 포크(16)의 하측에 핸드 포크(13)가 배치되어도 된다. 이 경우에는, 4개의 롤러(44) 중 3개의 롤러(44)가 지지점 축(40)보다도 좌측 또는 우측에 배치된다. 또한, 핸드 포크(16)의 상측에 핸드 포크(14, 15)가 배치되어도 되고, 핸드 포크(16)의 하측에 핸드 포크(12, 13)가 배치되어도 된다. 이 경우에는, 4개의 롤러(44)가 지지점 축(40)보다도 좌측 또는 우측에 배치된다.

상술한 형태에 있어서, 핸드(18 내지 21)가 자중으로 원활하게 하강하는 것이라면, 가이드 부재(45)에 형성되는 가이드부(롤러(44)를 좌우 방향으로 안내하는 가이드부)는 롤러(44)의 상단이 맞닿는 맞닿음부에만 의해 구성되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 직동 부재(58)가 고정되는 랙과 모터(50)의 동력으로 회전하는 피니언을 사용하여 직동 부재(58)를 상하 방향으로 직선적으로 이동시켜도 되고, 직동 부재(58)가 고정되는 벨트와 모터(50)의 동력으로 회전하는 풀리를 사용하여 직동 부재(58)를 상하 방향으로 직선적으로 이동시켜도 된다. 또한 에어 실린더 등을 사용하여, 직동 부재(58)를 상하 방향으로 직선적으로 이동시켜도 된다.

상술한 형태에 있어서, 핸드(4)는 베이스 부재(28)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 로봇(1)은 제2 아암(6)을 구비하고 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 핸드(4)를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 핸드 포크(12 내지 15)는 상하 방향에 있어서 등피치로 배치되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 기판 탑재 기구(3)가 구비하는 핸드의 수는, 2개 또는 3개여도 되고, 5개 이상이어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)이 반송하는 기판은 웨이퍼(2) 이외의 기판이어도 된다. 예를 들어, 로봇(1)이 반송하는 기판은, 액정 디스플레이용 유리 기판 등이어도 된다.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 웨이퍼(반도체 웨이퍼, 기판)
3: 기판 탑재 기구
4: 핸드(제2 핸드)
5: 제1 아암
6: 제2 아암
7: 본체부
12 내지 15: 핸드 포크(탑재부)
16: 핸드 포크(제2 탑재부)
18, 19: 핸드(상핸드)
20, 21: 핸드(하핸드)
28: 베이스 부재
30: 피치 변경 기구
32a 내지 35a: 가이드 홈
40: 지지점 축
41: 레버 부재
42: 핸드 연결부
43: 구동 기구
44: 롤러
45: 가이드 부재
45a: 가이드 홈(가이드부)
45b: 나사 구멍
47: 고정용 나사
50: 모터
51: 나사축
52: 너트
56: 삽입 관통 구멍
58: 직동 부재
59: 조정용 나사
60: 나사 보유 지지 부재
X2: 기판의 반출 방향

Claims

복수의 기판이 소정의 피치로 적층되어 수용되는 수용부로부터 상기 기판을 반출하는 산업용 로봇에 있어서,
복수의 상기 기판이 탑재되는 기판 탑재 기구를 구비하고,
상기 기판 탑재 기구는, 상기 기판이 탑재됨과 함께 상하 방향에서 봤을 때 겹치도록 배치되는 탑재부를 갖는 복수의 핸드와, 상기 수용부로부터 상기 기판을 반출할 때에 복수의 상기 핸드와 함께 이동하는 베이스 부재와, 복수의 상기 탑재부의 상하 방향의 간격을 바꾸는 피치 변경 기구를 구비하고,
상기 핸드는, 상기 베이스 부재에 대하여 상하 방향으로 상대 이동 가능하게 되어 있고,
상기 피치 변경 기구는, 상기 수용부로부터의 상기 기판의 반출 방향을 축 방향으로 하여 배치되는 지지점 축과, 복수의 상기 핸드가 연결됨과 함께 상기 지지점 축을 회동 중심으로 하여 회동하는 레버 부재와, 상기 레버 부재의 긴 변 방향을 따라 상기 지지점 축으로부터 소정의 거리만큼 이격된 위치에 배치됨과 함께 상기 핸드와 상기 레버 부재의 연결부가 되는 복수의 핸드 연결부와, 상기 레버 부재를 회동시키기 위한 구동 기구를 구비하고,
상기 구동 기구는, 상하 방향으로 직선적으로 이동하는 직동 부재를 구비하고,
상기 레버 부재는, 상기 직동 부재의 상하 이동에 따라 상기 지지점 축을 중심으로 하여 회동하고,
상기 핸드 연결부는, 상기 레버 부재에 회전 가능하게 설치되어 상기 반출 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전하는 롤러와, 상기 핸드에 설치되어 상기 반출 방향과 상하 방향에 직교하는 방향으로 상기 롤러를 안내하는 가이드부를 갖는 가이드 부재를 구비하고,
상기 가이드 부재는, 상기 핸드에 대하여 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항에 있어서, 상기 가이드 부재는, 고정용 나사에 의해 상기 핸드에 고정되고,
상기 가이드 부재에는, 상기 고정용 나사의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되고,
상기 삽입 관통 구멍은, 상기 고정용 나사의 축부의 외경보다도 내경이 큰 원형 구멍, 또는 상하 방향을 긴 변 방향으로 하는 긴 구멍인 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판 탑재 기구는, 상기 핸드에 대한 상기 가이드 부재의 상하 방향의 위치를 조정하기 위한 조정용 나사를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제3항에 있어서, 상기 기판 탑재 기구는, 상기 핸드에 고정됨과 함께 상기 조정용 나사를 보유 지지하는 나사 보유 지지 부재를 구비하고,
상기 나사 보유 지지 부재는, 상기 가이드 부재보다도 상측에 배치되고,
상기 가이드 부재에는, 상기 조정용 나사가 나사 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 핸드에는, 상기 가이드 부재를 상하 방향으로 안내하는 가이드 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항 또는 제2항에 있어서, 제1 아암 및 제2 아암과, 상기 제1 아암의 기단측 및 상기 제2 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 상기 기판이 탑재됨과 함께 상기 탑재부와 상하 방향에서 봤을 때 겹치도록 배치 가능한 제2 탑재부를 갖는 제2 핸드를 구비하고,
상기 베이스 부재는, 상기 제1 아암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고,
상기 제2 핸드는, 상기 제2 아암의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제6항에 있어서, 상기 기판 탑재 기구는, 상기 핸드로서, 상기 제2 탑재부보다도 상측에 배치되는 상기 탑재부를 갖는 복수의 상핸드와, 상기 제2 탑재부보다도 하측에 배치되는 상기 탑재부를 갖는 복수의 하핸드를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 구동 기구는, 모터와, 상기 모터의 동력으로 회전하는 나사축과, 상기 직동 부재에 설치되어 상기 나사축에 걸림 결합하는 너트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.