JP6862233B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の、第2アーム6が伸びている状態の斜視図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の、第1アーム5および第2アーム6が伸びている状態の斜視図である。
図3は、図1に示す基板搭載機構3およびハンド4の斜視図である。図4は、図3に示す基板搭載機構3およびハンド4から駆動機構43を取り外した状態の斜視図である。図5は、図4に示す基板搭載機構3においてハンドフォーク12〜15の間隔を変更したときの斜視図である。図6は、図4に示すピッチ変更機構30を説明するための図である。図7は、図6に示すピッチ変更機構30においてハンドフォーク12〜15の間隔を変更した状態を示す図である。図8は、図3に示す駆動機構43の構成を説明するための斜視図である。図9は、図6のE部の構成を説明するための拡大図である。
以上説明したように、本形態では、ハンド18〜21とレバー部材41との連結部であるハンド連結部42は、レバー部材41に回転可能に取り付けられるとともに前後方向を回転の軸方向として回転するローラ44と、ローラ44を左右方向に案内するガイド溝45aが形成されるガイド部材45とを備えている。また、本形態では、ガイド部材45は、ハンド18〜21に対して上下方向に調整可能に取り付けられている。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(半導体ウエハ、基板)
3 基板搭載機構
4 ハンド(第2ハンド)
5 第1アーム
6 第2アーム
7 本体部
12〜15 ハンドフォーク(搭載部)
16 ハンドフォーク(第2搭載部)
18、19 ハンド(上ハンド)
20、21 ハンド(下ハンド)
28 ベース部材
30 ピッチ変更機構
32a〜35a ガイド溝
40 支点軸
41 レバー部材
42 ハンド連結部
43 駆動機構
44 ローラ
45 ガイド部材
45a ガイド溝(ガイド部)
45b ネジ穴
47 固定用ネジ
50 モータ
51 ネジ軸
52 ナット
56 挿通穴
58 直動部材
59 調整用ネジ
60 ネジ保持部材
X2 基板の搬出方向
Claims (8)
- 複数の基板が所定のピッチで積層されて収容される収容部から前記基板を搬出する産業用ロボットにおいて、
複数の前記基板が搭載される基板搭載機構を備え、
前記基板搭載機構は、前記基板が搭載されるとともに上下方向で重なるように配置される搭載部を有する複数のハンドと、前記収容部から前記基板を搬出する際に複数の前記ハンドと一緒に移動するベース部材と、複数の前記搭載部の上下方向の間隔を変えるピッチ変更機構とを備え、
前記ハンドは、前記ベース部材に対して上下方向に相対移動可能となっており、
前記ピッチ変更機構は、前記収容部からの前記基板の搬出方向を軸方向として配置される支点軸と、複数の前記ハンドが連結されるとともに前記支点軸を回動中心にして回動するレバー部材と、前記レバー部材の長手方向に沿って前記支点軸から所定の距離だけ離れた位置に配置されるとともに前記ハンドと前記レバー部材との連結部となる複数のハンド連結部と、前記レバー部材を回動させるための駆動機構とを備え、
前記駆動機構は、上下方向に直線的に移動する直動部材を備え、
前記レバー部材は、前記直動部材の上下動に伴って前記支点軸を中心にして回動し、
前記ハンド連結部は、前記レバー部材に回転可能に取り付けられ前記搬出方向を回転の軸方向として回転するローラと、前記ハンドに取り付けられ前記搬出方向と上下方向とに直交する方向へ前記ローラを案内するガイド部を有するガイド部材とを備え、
前記ガイド部材は、前記ハンドに対して上下方向に位置調整可能に取り付けられていることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記ガイド部材は、固定用ネジによって前記ハンドに固定され、
前記ガイド部材には、前記固定用ネジの軸部が挿通される挿通穴が形成され、
前記挿通穴は、前記固定用ネジの軸部の外径よりも内径の大きな丸穴、または、上下方向を長手方向とする長穴であることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記基板搭載機構は、前記ハンドに対する前記ガイド部材の上下方向の位置を調整するための調整用ネジを備えることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。
- 前記基板搭載機構は、前記ハンドに固定されるとともに前記調整用ネジを保持するネジ保持部材を備え、
前記ネジ保持部材は、前記ガイド部材よりも上側に配置され、
前記ガイド部材には、前記調整用ネジが螺合するネジ穴が形成されていることを特徴とする請求項3記載の産業用ロボット。 - 前記ハンドには、前記ガイド部材を上下方向へ案内するガイド溝が形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 第1アームおよび第2アームと、前記第1アームの基端側および前記第2アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記基板が搭載されるとともに前記搭載部と上下方向で重なるように配置可能な第2搭載部を有する第2ハンドとを備え、
前記ベース部材は、前記第1アームの先端側に回動可能に連結され、
前記第2ハンドは、前記第2アームの先端側に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記基板搭載機構は、前記ハンドとして、前記第2搭載部よりも上側に配置される前記搭載部を有する複数の上ハンドと、前記第2搭載部よりも下側に配置される前記搭載部を有する複数の下ハンドとを備えることを特徴とする請求項6記載の産業用ロボット。
- 前記駆動機構は、モータと、前記モータの動力で回転するネジ軸と、前記直動部材に取り付けられ前記ネジ軸に係合するナットとを備えることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の産業用ロボット。
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