TWI479593B - Transfer of workpiece offset correction mechanism and its correction method - Google Patents

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TWI479593B
TWI479593B TW101143593A TW101143593A TWI479593B TW I479593 B TWI479593 B TW I479593B TW 101143593 A TW101143593 A TW 101143593A TW 101143593 A TW101143593 A TW 101143593A TW I479593 B TWI479593 B TW I479593B
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Hideyuki Tanaka
Osami Oogushi
Kentaro Azuma
Mutsuhiro Nakazawa
Kazunori Takahara
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Kawasaki Heavy Ind Ltd
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Description

搬送工件之偏搖補正機構與其補正方法
本發明係關於補正搬送工件之偏搖之機構與其補正方法。
以往，於各種版狀加工品等之製造過程中搬送加工對象物。特別是於將加工對象物搬送同時加工之場合，必須將該加工對象物(以下稱為「搬送工件」)以正確之姿勢搬送。
做為此種搬送工件，有例如薄膜矽或CIGS太陽電池(在本說明書與申請專利之範圍之文件中係總稱為「薄膜太陽電池」)之基板。此基板係於玻璃基板之單面將金屬膜或矽膜等半導體成膜(「deposition」或「film formation」)而形成薄膜層(例如，數百nm~數十μm)者。以下，以此薄膜太陽電池之基板為例說明。
上述薄膜太陽電池之基板之製造過程係例如於圖12(a)~(g)顯示般，於玻璃基板100(圖12(a))之上面將透明電極層101成膜，(圖12(b))，藉由對該透明電極層101從雷射加工裝置照射雷射光束108來進行圖案化加工，形成加工線102(圖12(c))。此於透明電極層101形成加工線102之搬送工件107係於透明電極層101之上面成膜光電變換層103(圖12(d))，於該光電變換層103以雷射加工裝置形成光電變換層加工線104(圖12(e))。其後，此於光電變換層103形成光電變換層加工線104之搬送工件107係於光電變換 層103之上面成膜背面電極層105(圖12(f))。之後，於此背面電極層105以雷射加工裝置形成背面電極層加工線106(圖12(g))。如上述圖案化加工之基板100成為模組化之太陽電池。
如上述，薄膜太陽電池之場合，必須於搬送工件(基板100)之表面進行複數次之成膜並對此等成膜之薄膜層進行正確之圖案化。做為其精度需要以微米單位之誤差控制。因此，需要將搬送工件正確搬送並對其薄膜層正確地照射雷射光束之雷射加工裝置。
做為此種雷射加工裝置，有例如本申請人先前申請之雷射加工裝置。如於圖13顯示般，此雷射加工裝置110係將搬送工件107以定速搬送裝置111把持並於工件搬送方向X搬送，同時對該搬送工件107從光束掃描單元109於掃描方向Y照射雷射光束108來進行圖案化加工。於上述定速搬送裝置111係設有平面方向之轉動為可能之轉動軸(θ軸)，以使可補正於搬送工件107產生之偏搖等。另外，於雷射加工裝置110係設有檢出搬送工件107之加工基準位置(端面等)之攝影機113。
此外，如於圖14顯示般，在上述雷射加工裝置110係將搬送工件107於工件搬送方向X搬送並將一條之雷射光束108於與工件搬送方向X交叉之掃描方向Y以高速(例如，以往之數倍)照射。藉此，可對搬送工件107進行形成相對於工件搬送方向X直角之直線狀加工線112之圖案化加工。
另外，做為此種先前技術，有例如於使玻璃基板等與於該基板上施加預先決定之處理之基板處理手段相對移動並施加處理之基板處理裝置中，可將於基板之掃描中產生之偏搖等誤差在第1方向與相對於此第1方向垂直之第2方向測定，第1方向之誤差係以控制搬送之補正手段補正，第2方向之誤差係基於測定之距離以基板處理手段於基板之既定位置精度良好地施加處理者(例如參照專利文獻1)。
此外，做為其他先前技術，有於往液晶顯示器等顯示用面板基板照射光束而於基板描繪圖案之面板基板之製造方法中，檢出保持基板並移動之載台之行進誤差，基於其結果補正描繪資料之座標，將該描繪資料往光束照射裝置之驅動回路供給者(例如參照專利文獻2)。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】日本國 特開2009-128830公報
【專利文獻2】日本國 特開2010-60990公報
如於上述專利文獻1、2記載般，搬送工件係於搬送中可能產生在水平面內旋轉之偏搖(此說明書與申請專利範圍中之「偏搖」係指產生「在水平面內之旋轉、前後動」等「誤差」之動作)。因此，於產生此偏搖之場合，若不補正則上述圖案化加工等之品質會降低。例如，於進行數十μm節距 之圖案化之場合，即使產生數μm之偏搖與鄰接之圖案之距離亦會變化，影響製品之性能。
然而，在上述專利文獻1係如於圖15(a)顯示般，將沿著於基板120之兩側方設置之軌道121搬送之基板120之X方向之誤差或偏搖等使用攝影機檢出，從其檢出資料將誤差算出並將基板處理手段之處理位置補正。因此，在此場合，要將基板處理手段之處理位置精度良好地補正需要時間。且以如上述般使用攝影機量測偏搖等再補正基板處理手段之處理位置之構成在如上述雷射加工裝置110般以高速照射雷射光束來進行圖案化加工之裝置之場合，無法對應於其處理速度。
此外，在上述專利文獻2係如於圖15(b)顯示般，將保持基板130並移動之載台131之行進誤差在X方向與Y方向量測，藉由基於其量測結果而補正之描繪資料以光束照射裝置描繪圖案。然而，在此場合，由於基於載台之行進誤差將以光束照射裝置進行之圖案之描繪補正，故要精度良好地施加處理需要時間。且在如上述之雷射加工裝置110般以高速照射雷射光束來進行圖案化加工之裝置無法對應於其處理速度。
如上述般，任一先前技術皆將對基板之偏搖等之補正藉由雷射光束之照射位置等來補正。因此，於如於圖14顯示般進行將搬送工件107於工件搬送方向X搬送並將雷射光束以非常高速於掃描方向Y照射之圖案化加工之裝置中無法進行雷射光束之位置補正。亦即，在將雷射光束以高 速照射之雷射加工裝置110之場合，以檢出搬送工件107之偏搖並將其補正以雷射光束之照射位置來補正之構成無法對應。
此外，即使為上述雷射加工裝置110以外，亦有例如於液晶顯示器等使用之平面面板或將玻璃基板加工、檢查之裝置中之工件之搬送般，於搬送工件有偏搖等產生之場合希望將其誤差不以雷射光束而以搬送工件之位置控制來補正之裝置。
針對上述問題，本發明係以提供可將於搬送工件之搬送中產生之偏搖搬送並同時補正之搬送工件之偏搖補正機構與其搬送工件之偏搖補正方法為目的。
為了達成此目的，本發明之搬送工件之偏搖補正機構係一種搬送工件之偏搖補正機構，將於工件搬送方向搬送之搬送工件之偏搖補正，其特徵在於：具備保持前述搬送工件之側部之保持裝置、支持前述保持裝置並沿著軌道將前述保持裝置於工件搬送方向搬送之行進裝置、將前述保持裝置在前述行進裝置之工件搬送方向前部與後部支持之支持機構，前述支持機構具有設於前述保持裝置或行進裝置之任一者之轉動軸、在前部或後部之一方相對於前述轉動軸之軸線以既定 之偏心量往工件搬送方向偏心之位置且另一方往與工件搬送方向交叉之方向偏心之位置具備與前述轉動軸平行之軸線之設於前述保持裝置或行進裝置之另一方之偏心軸，將前述搬送工件之偏搖藉由使前述偏心軸之軸線以前述轉動軸之軸線為中心轉動而使前述保持裝置對前述行進裝置相對移動來補正。
此說明書與申請專利範圍之文件中之「軸線」係「軸心」。
藉由此構成，將行進裝置之偏搖或於因行進軸之直線精度之影響而以保持裝置保持之搬送工件產生之轉動、前後動等之偏搖以使前述保持裝置在前述行進裝置之工件搬送方向前部與後部支持之支持機構中之相對於轉動軸之軸線以既定之偏心量往工件搬送方向偏心之偏心軸、以既定之偏心量往與工件搬送方向交叉之方向偏心之偏心軸轉動而使相對於行進裝置之保持裝置之位置相對移動來補正，可進行抑制搬送工件之偏搖之搬送。
此外，前述偏心軸係一方相對於前述轉動軸往工件搬送方向偏心，另一方往與工件搬送方向正交之方向偏心而配置亦可。
若如上述般構成，可將於搬送工件產生之偏搖分為工件搬送方向之誤差修正與對工件搬送方向正交之方向之誤差修正而進行安定之偏搖補正。
此外，前述行進裝置具有使前述轉動軸轉動之驅動機，前述保持裝置具有與前述偏心軸卡合之卡合部， 前述驅動機係藉由基於預先測定之前述行進裝置與軌道之間之與工件搬送方向正交之方向之偏心量使前述轉動軸轉動，以前述偏心軸使前述保持裝置對前述行進裝置相對移動而將搬送工件之偏搖補正亦可。
若如上述般構成，即使因行進裝置與軌道之間之誤差等而於行進裝置產生偏搖，搬送工件係藉由與行進裝置之相對位置調整而不會受偏搖之影響，可正確地搬送。
另一方面，本發明之搬送工件之偏搖補正方法係一種搬送工件之偏搖補正方法，將於工件搬送方向搬送之搬送工件之偏搖補正，其特徵在於：求取從前述搬送工件之搬送開始地點至搬送終了地點之偏搖量，基於前述搬送終了地點之偏搖量，藉由使相對於設於保持前述搬送工件之保持裝置或將前述保持裝置於工件搬送方向搬送之行進裝置之轉動軸以既定之偏心量往工件搬送方向偏心而設於另一方之偏心軸以前述轉動軸為中心轉動來進行之與搬送工件之工件搬送方向交叉之方向之補正、使相對於設於前述保持裝置與行進裝置之任一者之轉動軸以既定之偏心量往與工件搬送方向交叉之方向偏心而設於另一方之偏心軸以前述轉動軸之軸線為中心轉動來進行之搬送工件之工件搬送方向之補正使前述保持裝置對前述行進裝置相對移動來補正。
藉由此構成，可將於將搬送工件從搬送開始地點搬送至搬送終了地點之間產生之偏搖量之變化事先求取，基於該偏搖量之變化對從搬送開始地點搬送至搬送終了地點之搬送工件進行與工件搬送方向交叉之方向之補正、工件搬送方向之補正而使相對於行進裝置之保持裝置之位置相對移動並將偏搖補正，故微小之偏搖補正亦可正確地進行。
此外，使往前述工件搬送方向偏心之偏心軸之軸線對前述轉動軸之軸線轉動而進行與工件搬送方向交叉之方向之補正後，使往與前述工件搬送方向交叉之方向偏心之偏心軸之軸線對前述轉動軸之軸線旋轉而進行工件搬送方向之補正亦可。
若如上述般構成，先將於搬送工件產生之偏搖導致之角度之誤差補正，再將該角度之補正後之工件搬送方向之誤差補正，故可將搬送工件之偏搖補正以簡單之計算式補正。
於將薄膜太陽電池之基板做為前述搬送工件往工件搬送方向搬送並同時於既定位置以雷射光束將刻畫線圖案化加工之加工處理之作業中，進行前述偏搖補正而將前述搬送工件之圖案化加工位置補正亦可。
若如上述般構成，於將薄膜太陽電池之基板做為前述搬送工件往工件搬送方向搬送並同時於既定位置以雷射光束將刻畫線圖案化加工之雷射加工裝置中，可將於搬送工件之搬送中產生之偏搖正確地補正並將刻畫線正確地加 工。
根據本發明，可提供可將於搬送工件之搬送中產生之轉動或前後動等之偏搖於搬送中補正之搬送工件之偏搖補正機構。
以下，將本發明之實施形態基於圖面說明。在以下之實施形態係做為搬送工件5以薄膜太陽電池等之基板為例說明。此外，對工件搬送方向X將與此工件搬送方向X正交之方向稱為Y方向來說明。
如於圖1、2顯示般，具備此實施形態之偏搖補正機構50之搬送裝置1係構成為沿著2條之軌道6於工件搬送方向X移動。於搬送裝置1係設有沿著上述軌道6行進之行進裝置2、支持於此行進裝置2之上部並保持搬送工件5且與行進裝置2以一體移動之保持裝置3。
於行進裝置2具有於下部之4處沿著上述軌道6滑動之行進導引11設於下部之下部板10。行進導引11係在前後各兩處卡合於上述軌道6。此實施形態之搬送裝置1係構成為藉由設於軌道6與行進裝置2之間之線性步進馬達12而於工件搬送方向X正確地移動。
保持裝置3具有設於上述行進裝置2之下部板10之上方之上部板20。於此上部板20係設有保持構件21。在此例係設有三根之保持構件21。此等保持構件21係於前端把 持部22保持有搬送工件5。
此外，保持裝置3係於上述行進裝置2之下部板10之上面設有限制構件13。藉由此限制構件13，保持裝置3係在水平方向之移動量限制於既定之移動範圍之狀態下設於行進裝置2之上部。限制構件13係固定於行進裝置2之上面之圓柱狀之構件，在此例係設於四處。於保持裝置3之上部板20係以包圍上述限制構件13之方式設有止推軸承23。藉此，保持裝置3係在此止推軸承23與限制構件13之間隙s之範圍內水平方向之移動為可能。另外，藉由將保持裝置3透過止推軸承23支持於行進裝置2之上部，將保持裝置3以非常小之摩擦抵抗支持為水平方向之移動為可能。
此外，在此行進裝置2之上部支持保持裝置3之支持機構30設於行進裝置2之下部板10與保持裝置3之上部板20之間。支持機構30係於工件搬送方向X設有後部支持機構31與前部支持機構32。此等後部支持機構31、前部支持機構32具有設於行進裝置2之下部板10之驅動馬達(伺服馬達)33、設於保持裝置3之上部板20之支持軸承34、設於此等之間之偏心軸構件35。設於後部支持機構31與前部支持機構32之偏心軸構件35係如於以下說明般，可以各自之驅動馬達33之驅動軸(轉動軸)36、37之軸線(軸心)O1 、O2 轉動。
基於圖3以上述後部支持機構31為例說明。如圖示般，上述驅動馬達33係設為從設於下部板10之驅動機安 裝板15向下有後部驅動軸36突出。後部驅動軸36係轉動軸，於此後部驅動軸36設有上述偏心軸構件35。偏心軸構件35係藉由設於上述驅動機安裝板15之軸承16支持，以後部驅動軸36之軸線O1 自由轉動。
此外，偏心軸構件35係相對於上述驅動馬達33之後部驅動軸36之軸線(軸心)O1 於下方突設有具有既定之偏心量e之軸線(軸心)O3 之偏心軸38。此外，此偏心軸38插入設於上述保持裝置3之上部板20之支持軸承34。
因此，藉由將驅動馬達33驅動並以後部驅動軸36使偏心軸構件35轉動，偏心軸38係在以上述軸線(軸心)O1 為中心以既定之偏心量e偏心之位置使上部板20於與工件搬送方向X交叉之方向Y移動。此移動係以上述前部支持機構32之驅動軸(轉動軸)37之軸線(軸心)O2 為中心之搖動。藉此，可相對於行進裝置2使保持裝置3之後部以既定之偏心量e之量於與工件搬送方向X交叉之方向Y相對移動。
此外，若使上述上部板20之後部以相對於行進裝置2不變位之前部支持機構32之驅動軸(轉動軸)37之軸線(軸心)O2 為中心之搖動，必須使後部支持機構31之後部驅動軸36於工件搬送方向X少量移動。針對上述問題，如於圖4顯示般，將支持上述偏心軸構件35之偏心軸38、支持此偏心軸38之支持軸承34之滑動構件40在上部板20之上面設為於工件搬送方向X可滑動，並使具備使此滑動構件40沿著上部板20之滑動導引41於工件搬送方向X自由移 動之滑動機構42。藉由此滑動機構42，於上部板20藉由偏心軸構件35而於與工件搬送方向X交叉之方向Y被使搖動時，上部板20之後部可於工件搬送方向X移動並吸收工件搬送方向X之變位。
另外，如於圖5(a)、(b)顯示般，上述偏心軸構件35之偏心軸38係藉由後部支持機構31與前部支持機構32而往相異之方向偏心。圖5(b)與上述圖3相同為後部支持機構31中之偏心軸38，相對於驅動馬達33之軸線(軸心)O1 (後部驅動軸36之軸線)偏心軸38之軸線(軸心)O3 與工件搬送方向X平行地以既定之偏心量e偏心。另一方面，圖5(a)為前部支持機構32中之偏心軸38，相對於驅動馬達33之軸線(軸心)O2 (前部驅動軸37之軸線)偏心軸38之軸線(軸心)O3 於與工件搬送方向X交叉(正交)之方向Y以既定之偏心量e偏心。做為此等偏心軸構件35之偏心量，係藉由設定為例如1mm程度而使可補正微小之偏搖。此偏心量e係只要對應於偏搖量等而設定即可。
以下，參照圖6~10說明搬送工件5之偏搖補正方法。做為於搬送工件5產生之偏搖係起因於軌道6(圖1)之鋪設誤差或各部之製作誤差等而產生。此外，係將於沿著軌道6行進之搬送裝置1偏搖之場合以該搬送裝置1之保持裝置3把持並搬送之搬送工件5之偏搖補正之例。另外，於以下之說明中，對於上述圖1~5顯示之構成係賦予相同之符號來說明。此外，在圖係將因偏搖而造成之數μm~數百μm之誤差誇張顯示。
如於圖6顯示般，做為上述搬送裝置1與搬送工件5之位置關係，假設L1 ：從搬送裝置1之轉動軸軸心位置至搬送工件5之第1誤差量測點之距離，L2 ：從搬送裝置1之轉動軸軸心位置至搬送工件5之第2誤差量測點之距離，L3 ：搬送裝置1之前部轉動軸軸心與後部轉動軸軸心之間之距離。
此外，如於圖7、8顯示般，沿著軌道6於工件搬送方向X行進之搬送裝置1係因軌道6之鋪設誤差等而使搬送工件5產生偏搖。例如，做為此偏搖(在圖7係顯示搬送裝置1之相反側相對於工件搬送方向X產生角度偏移之狀態)係起因於軌道6之鋪設誤差或各部之製作誤差等者，例如可能為數μm~數十μm程度。於圖8顯示之各記號係假設△X1 ：在第1誤差量測點之工件搬送誤差，△X2 ：在第2誤差量測點之工件搬送誤差，α0 ：搬送裝置1之角度，e：偏心軸38之偏心量，θ1 ：偏心軸38之偏心角度。
若假設為如以上般之條件，搬送裝置1之角度α0 係偏心軸38之偏心量e(例如1mm)比起前部驅動軸37與後部驅動軸36之間之距離L3 (例如約數百mm~一千數百mm)非常小。因此，偏心量e可考慮為e<<L3 ，搬送裝置1之傾斜角度α0 中之工件搬送方向X之變位量係成為以下之式1。
此外，搬送工件5之角度α可以以下之式2求取。
此式2中之θ1 係微小，故由上述e<<L3 之關係，搬送工件5之變位量tanα可考慮為以下之式3或式4。
由此搬送工件5之變位量，在從搬送裝置1之轉動軸軸心位置至搬送工件5之第1誤差量測點之距離L1 之在第1誤差量測點之工件搬送誤差△X1 係可以以下之式5求取。
此外，在從搬送裝置1之轉動軸軸心位置至搬送工件5 之第2誤差量測點之距離L2 之在第2誤差量測點之工件搬送誤差△X2 係可以以下之式6求取。
此外，由此等在第1誤差量測點之工件搬送誤差△X1 、在第2誤差量測點之工件搬送誤差△X2 ，可以以下之式7求取偏心軸構件35之位置之補正角度θ1 。
如上述般之補正係將搬送工件5之搬送距離(搬送裝置1之移動距離)分割為複數份，於各分割節距之位置預先量測上述誤差△X1 、△X2 ，以上述式7於各分割節距之位置先送出補正之角度θ1 。做為各分割節距之位置之誤差△X1 、△X2 之量測，係藉由以搬送裝置1將搬送工件5搬送，於其搬送距離之各分割節距之位置以雷射測長機(例如圖13：變位感測器等)測定搬送工件5之變位來量測誤差△X1 、△X2 而為可能。此外，藉由預先以雷射測長機測定誤差，可將由軌道6之間隔、行進導引11之位置、後部驅動軸(轉動軸)36之軸線(軸心)O1 之位置、前部驅動軸(轉動軸)37之軸線(軸心)O2 之位置、2等決定之補正之角度θ1 對應於該搬送裝置1之條件先算出。
因此，藉由於各分割節距之位置將角度θ1 補正，可將於搬送工件5產生之偏搖之角度之量與保持裝置3做為一體而補正。具體之補正係藉由以後部支持機構31之驅動馬達33使偏心軸構件35轉動而使偏心軸38以後部驅動軸(後部轉動軸)36為中心轉動角度θ1 。藉此，保持裝置3之上部板20在後部支持機構31之位置於與工件搬送方向X交叉之方向Y被使移動既定量，可如於圖8顯示般將工件搬送方向X之搬送工件5之傾斜誤差補正。此時，後部支持機構31之後部驅動軸36之軸線(軸心)O1 雖會因相對於前部支持機構32之前部驅動軸37之軸線(軸心)O2 角度變化之量而L3 變化，但滑動構件40沿著滑動導引41於工件搬送方向X滑動而吸收變位。
藉由如以上般之補正，可將搬送工件5之傾斜補正。然而，於搬送工件5係如於圖9顯示般，於工件搬送方向(前後方向)X有誤差殘留。在此例係假設△X：在第1誤差量測點與第2誤差量測點之工件搬送誤差。其他記號係與上述記號相同。
如上述般，偏心軸構件35之偏心量e比起後部支持機構31之前部驅動軸(轉動軸)37與前部支持機構32之後部驅動軸(轉動軸)36之間之距離L3 非常小。因此，偏心量e可考慮為e<<L3 ，搬送裝置1之傾斜角度α0 中之工件搬送方向X之變位量係成為上述之式1。
此外，搬送裝置1之前部支持機構32之前部驅動軸37之位置之補正角度θ2 係由上述式1而可以下述式8求取。
此外，此補正係可基於將上述搬送工件5之搬送距離(搬送裝置1之移動距離)分割為複數份之各分割節距之位置之誤差△X1 、△X2 之量測結果來算出。因此，可於各分割節距之位置預先求取誤差△X再以上述式8於各分割節距之位置先算出補正之角度θ2 。
因此，藉由於各分割節距之位置將角度θ2 補正，可將於搬送工件5產生之偏搖之前後動之量與保持裝置3做為一體而補正。具體之補正係藉由以前部支持機構32之驅動馬達33使偏心軸構件35轉動而使偏心軸38以前部驅動軸(前部轉動軸)37為中心轉動角度θ2 。藉此，保持裝置3之上部板20在前部支持機構32之位置於工件搬送方向X被使移動既定量，可如於圖10顯示般將工件搬送方向X之搬送工件5之前後方向誤差補正。此時，後部支持機構31係滑動構件40沿著滑動導引41於工件搬送方向X滑動而吸收變位。
此外，藉由將上述保持裝置3連續進行以後部驅動軸(轉動軸)36之軸線(軸心)O1 為中心使偏心軸38轉動之補正、以前部驅動軸(轉動軸)37之軸線(軸心)O2 為中心使偏心軸38轉動之補正，可於搬送距離內將於搬送工件5產生之偏搖迅速補正。
此外，做為上述角度θ1 與角度θ2 之補正，根據上述 搬送裝置1之搬送裝置之前部轉動軸軸心與後部轉動軸軸心之間之距離L3 、偏心軸38之偏心量e、搬送工件5之大小等，即使為例如0.01°程度之微小角度之補正亦可獲得大效果。
另外，在上述實施形態雖係將角度θ1 補正後將角度θ2 補正，但先將角度θ2 補正後再將角度θ1 補正亦可。
如於圖11顯示般，在進行上述補正之場合，於從搬送裝置之轉動軸軸心位置至搬送工件之第1誤差量測點之距離L1 係相對於沒有進行補正之場合之較粗之兩點鏈線，於進行補正之場合係成為較細之兩點鏈線，看出可將搬送工件5之偏搖安定減低。
此外，於從搬送裝置之轉動軸軸心位置至搬送工件之第2誤差量測點之距離L2 係相對於沒有進行補正之場合之較粗之實線，於進行補正之場合係成為較細之實線，可將例如數百μm之誤差抑制為數μm程度，看出可將搬送工件5之偏搖大幅減低。
如上述般，根據具備上述偏搖補正機構50之搬送裝置1，可將於搬送工件5產生之偏搖藉由進行搬送工件5之角度補正、搬送工件5之前後方向之補正來補正，可抑制於搬送工件5產生之微小之偏搖而搬送。
此外，即使於以高速搬送之對搬送工件5需要正確之加工之場合，由於可將偏搖連續補正而進行安定之搬送，故可更正確地進行對搬送工件5之各種加工。
因此，即使在如對搬送工件5為如上述之對薄膜太陽 電池之基板般之加工對象物以雷射光束將正確之圖案化加工以高速進行般之裝置之場合，亦可使其圖案化加工之精度提升。此外，如於上述之圖16顯示般，即使為進行多層之圖案化加工之場合，亦可精度良好地進行圖案化加工，故可圖加工對象物之品質提升。
另外，在上述實施形態雖係將薄膜太陽電池之基板做為搬送工件5之一例來說明，但只要是金屬製薄板、面板等板狀之搬送工件5都同樣可進行偏搖之補正，搬送工件5並非限定於上述之實施形態者。
此外，在上述實施形態雖係在搬送裝置1之後部進行與工件搬送方向X交叉之方向Y之補正，在前部進行工件搬送方向X之補正，但在搬送裝置1之前部與後部進行與上述實施形態為相反之補正亦可，並非限定於上述之實施形態者。
另外，上述實施形態中之搬送裝置1之行進裝置2與保持裝置3之位置關係亦並非限定於上述之實施形態者，構成為保持裝置3位於下方亦可。
此外，上述之實施形態係顯示一例，在不損及本發明之要旨之範圍之各種之變更皆為可能，本發明並非限定於上述之實施形態者。
【產業上之可利用性】
本發明之搬送工件之偏搖補正機構係可利用於欲將於將薄板材等搬送工件搬送時產生之偏搖正確地補正之搬送 裝置等。
1‧‧‧搬送裝置
2‧‧‧行進裝置
3‧‧‧保持裝置
5‧‧‧搬送工件
6‧‧‧軌道
10‧‧‧下部板
11‧‧‧行進導引
12‧‧‧線性步進，馬達
13‧‧‧限制構件
20‧‧‧上部板
21‧‧‧保持構件
22‧‧‧前端把持部
23‧‧‧止推軸承
30‧‧‧支持機構
31‧‧‧前部支持機構
32‧‧‧後部支持機構
33‧‧‧驅動馬達(伺服馬達)
34‧‧‧支持軸承
35‧‧‧偏心軸構件
36‧‧‧後部驅動軸(後部轉動軸)
37‧‧‧前部驅動軸(前部轉動軸)
38‧‧‧偏心軸
40‧‧‧滑動構件
41‧‧‧滑動構件
42‧‧‧滑動機構
50‧‧‧偏搖補正機構
X‧‧‧工件搬送方向
Y‧‧‧交叉方向
s‧‧‧間隙
O1 ‧‧‧驅動軸之軸線(軸心)
O2 ‧‧‧驅動軸之軸線(軸心)
O3 ‧‧‧偏心軸之軸線(軸心)
L1 ‧‧‧從搬送裝置之轉動軸軸心位置至搬送工件之第1誤差量測點之距離
L2 ‧‧‧從搬送裝置之轉動軸軸心位置至搬送工件之第2誤差量測點之距離
L3 ‧‧‧搬送裝置之前部轉動軸軸心與後部轉動軸軸心之間之距離
△X1 ‧‧‧在第1誤差量測點之工件搬送誤差
△X2 ‧‧‧在第2誤差量測點之工件搬送誤差
e‧‧‧偏心軸之偏心量
θ1 ‧‧‧偏心軸之偏心角度
θ2 ‧‧‧偏心軸之偏心角度
圖1係顯示具備本發明之一實施形態之偏搖補正機構之搬送裝置之俯視圖。
圖2係將於圖1顯示之搬送裝置之一部分剖面之後視圖。
圖3係將於圖2顯示之支持機構之部分擴大之剖面圖。
圖4係於圖3顯示之IV-IV箭視之俯視圖。
圖5係顯示於圖3顯示之支持機構之部分中之俯視之軸線之圖面，(a)係顯示前部之偏心量之俯視圖，(b)係顯示後部之偏心量之俯視圖。
圖6係顯示於圖1顯示之搬送裝置與搬送工件之關係之俯視圖。
圖7係將於於圖6顯示之搬送工件產生之偏搖誇張顯示之俯視圖。
圖8係將於於圖7顯示之搬送工件產生之偏搖補正之方法之概念之俯視圖。
圖9係將已進行於圖8顯示之搬送工件之偏搖補正之狀態之搬送工件誇張顯示之俯視圖。
圖10係將於圖9顯示之搬送工件之偏搖補正之方法之概念之俯視圖。
圖11係顯示已進行於圖7~11顯示之搬送工件之偏搖補正之場合與沒有進行偏搖補正之場合之偏搖量之圖。
圖12(a)~(g)係顯示利用以往之雷射加工裝置進行之圖案化加工之一例之剖面圖。
圖13係本申請人先前申請之雷射加工裝置之立體圖。
圖14係顯示於圖13顯示之雷射加工裝置中之圖案化加工之一例之俯視圖。
圖15(a)、(b)係示意顯示以往之搬送工件之偏搖補正例之俯視圖。
1‧‧‧搬送裝置
2‧‧‧行進裝置
3‧‧‧保持裝置
5‧‧‧搬送工件
6‧‧‧軌道
11‧‧‧行進導引
13‧‧‧限制構件
21‧‧‧保持構件
22‧‧‧前端把持部
31‧‧‧前部支持機構
32‧‧‧後部支持機構
33‧‧‧驅動馬達(伺服馬達)
e‧‧‧偏心軸之偏心量
O1 ‧‧‧驅動軸之軸線(軸心)
O2 ‧‧‧驅動軸之軸線(軸心)
O3 ‧‧‧偏心軸之軸線(軸心)

Claims (6)

  1. 一種搬送工件之偏搖補正機構，將於工件搬送方向搬送之搬送工件之偏搖補正，其特徵在於：具備保持前述搬送工件之側部之保持裝置、支持前述保持裝置並沿著軌道將前述保持裝置於工件搬送方向搬送之行進裝置、將前述保持裝置在前述行進裝置之工件搬送方向前部與後部支持之支持機構，前述支持機構具有設於前述保持裝置或行進裝置之任一者之轉動軸、在前部或後部之一方相對於前述轉動軸之軸線以既定之偏心量往工件搬送方向偏心之位置且另一方往與工件搬送方向交叉之方向偏心之位置具備與前述轉動軸平行之軸線之設於前述保持裝置或行進裝置之另一方之偏心軸，將前述搬送工件之偏搖藉由使前述偏心軸之軸線以前述轉動軸之軸線為中心轉動而使前述保持裝置對前述行進裝置相對移動來補正。
  2. 如申請專利範圍第1項之搬送工件之偏搖補正機構，其中，前述偏心軸係一方相對於前述轉動軸往工件搬送方向偏心，另一方往與工件搬送方向正交之方向偏心而配置。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之搬送工件之偏搖補正機構，其中， 前述行進裝置具有使前述轉動軸轉動之驅動機，前述保持裝置具有支持前述偏心軸之支持軸承部，前述驅動機係藉由基於預先測定之前述行進裝置與軌道之間之與工件搬送方向正交之方向之偏心量使前述轉動軸轉動，以前述偏心軸使前述保持裝置對前述行進裝置相對移動而將搬送工件之偏搖補正。
  4. 一種搬送工件之偏搖補正方法，將於工件搬送方向搬送之搬送工件之偏搖補正，其特徵在於：求取從前述搬送工件之搬送開始地點至搬送終了地點之偏搖量，基於前述搬送終了地點之偏搖量，藉由使相對於設於保持前述搬送工件之保持裝置或將前述保持裝置於工件搬送方向搬送之行進裝置之轉動軸以既定之偏心量往工件搬送方向偏心而設於另一方之偏心軸以前述轉動軸為中心轉動來進行之與搬送工件之工件搬送方向交叉之方向之補正、使相對於設於前述保持裝置與行進裝置之任一者之轉動軸以既定之偏心量往與工件搬送方向交叉之方向偏心而設於另一方之偏心軸以前述轉動軸之軸線為中心轉動來進行之搬送工件之工件搬送方向之補正使前述保持裝置對前述行進裝置相對移動來補正。
  5. 如申請專利範圍第4項之搬送工件之偏搖補正方法，其中，使往前述工件搬送方向偏心之偏心軸之軸線對前述轉 動軸之軸線轉動而進行與工件搬送方向交叉之方向之補正後，使往與前述工件搬送方向交叉之方向偏心之偏心軸之軸線對前述轉動軸之軸線旋轉而進行工件搬送方向之補正。
  6. 如申請專利範圍第4或5項之搬送工件之偏搖補正方法，其中，於將薄膜太陽電池之基板做為前述搬送工件往工件搬送方向搬送並同時於既定位置以雷射光束將刻畫線圖案化加工之加工處理之作業中，進行前述偏搖補正而將前述搬送工件之圖案化加工位置補正。
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