JP2005132626A - 搬送装置、塗布システム、及び検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送装置12は、被搬送物の搬送方向Xに延びる主面16aを有するベース16と、搬送方向Xに延びるガイド部材18と、ガイド部材18にガイドされて搬送方向Xに移動可能な移動部材20と、移動部材20に固定され主面16aから間隙を於いて被搬送物28を保持する保持部材24と、ベース16上の搬送方向Xにおける一部領域において、搬送方向Xに搬送される被搬送物に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構26と、を備える。
【選択図】図1
Description
(第1実施形態)
図1は、本実施形態に係る塗布システムの構成を示す斜視図である。また図2は、本実施形態に係る塗布システムの構成を示す平面図である。なお、図2においては、塗布装置14及びガントリ40は一点鎖線で示している。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、上記した第1実施形態と同一の要素には同一の符号を附し、重複する説明を省略する。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について説明する。なお、上記した第1及び第2実施形態と同一の要素には同一の符号を附し、重複する説明を省略する。
Claims (15)
- 被搬送物の搬送方向に延びる主面を有するベースと、
前記搬送方向に延びるガイド部材と、
前記ガイド部材にガイドされて前記搬送方向に移動可能な移動部材と、
前記移動部材に固定され前記主面から間隙を於いて前記被搬送物を保持する保持部材と、
前記ベース上の前記搬送方向における一部領域において、該搬送方向に搬送される前記被搬送物に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構と、
を備えることを特徴とする搬送装置。 - 前記保持部材は、前記被搬送物を吸着して保持可能であることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記ガイド部材は一軸で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記保持部材は、前記ベースの前記主面の法線方向についてバネ性を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記保持部材は、前記ベースの前記主面の法線方向及び前記搬送方向の双方に直交する方向についてバネ性を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記ベースの前記主面と平行な面内における、前記被搬送物の回転を是正する回転是正手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記ベース上の前記一部領域以外の領域において、前記ベース側から前記被搬送物に向けて気体を吐出する第1の気体吐出機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記被搬送物はガラス基板であることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 請求項1に記載の搬送装置と、
前記被搬送物に対して塗布液を塗布するための塗布装置と、を備え、
前記気体吐出吸引機構は、前記一部領域において、対向する一対の主面を有する前記被搬送物の一方の主面側に前記気体を吐出及び吸引し、
前記塗布装置は、前記一部領域において、前記被搬送物の他方の主面側に前記塗布液を塗布する、
ことを特徴とする塗布システム。 - 前記一部領域において、前記塗布装置よりも前段で、前記他方の主面側に前記被搬送物に対して気体を吐出する第2の気体吐出機構を備えることを特徴とする請求項9に記載の塗布システム。
- 対向する一対の主面を有する被搬送物を搬送しながら塗布液を塗布する塗布方法であって、
前記被搬送物に対して一方の主面側に気体を吐出及び吸引しながら、他方の主面側に前記塗布液を塗布することを特徴とする塗布方法。 - 請求項1に記載の搬送装置と、
前記被搬送物の検査を行うための検査装置と、を備え、
前記気体吐出吸引機構は、前記一部領域において、対向する一対の主面を有する前記被搬送物の一方の主面側に前記気体を吐出及び吸引し、
前記検査装置は、前記一部領域において、前記被搬送物の他方の主面側から該被搬送物を検査する、
ことを特徴とする検査システム。 - 前記保持部材は、
前記搬送方向に沿って延びる基体部と、
前記基体部から前記ベースの前記主面の法線方向及び前記搬送方向の双方に直交する方向に延設された複数の支持梁部と、
前記複数の支持梁部の先端にそれぞれ設けられており、前記被搬送物を吸着して保持するための吸着部と、を含む保持機構を有し、
前記複数の支持梁部の各々は、少なくとも前記ベースの前記主面の法線方向についてバネ性を有すると共に、自身の軸周りのねじれ性を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 前記移動部材及び前記保持部材をそれぞれ二個備え、
前記移動部材の各々は、独立に速度制御可能に設けられており、
前記保持部材の各々による前記被搬送物の保持位置が、前記ベースの前記主面の法線方向及び前記搬送方向の双方に直交する方向についてずれていることを特徴とする請求項3に記載の搬送装置。 - 板状体を保持する保持機構であって、
所定方向に沿って延びる基体部と、
前記基体部から前記所定方向と交差する方向に延設された複数の支持梁部と、
前記複数の支持梁部の先端にそれぞれ設けられており、前記板状体を吸着して保持するための吸着部と、を備え、
前記複数の支持梁部の各々は、少なくとも前記所定方向及び該支持梁部の延設方向の双方に直交する方向についてバネ性を有すると共に、自身の軸周りのねじれ性を有することを特徴とする保持機構。
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