CN1611430A - 搬运装置、涂敷系统及检验系统 - Google Patents

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CN1611430A CNA2004100835055A CN200410083505A CN1611430A CN 1611430 A CN1611430 A CN 1611430A CN A2004100835055 A CNA2004100835055 A CN A2004100835055A CN 200410083505 A CN200410083505 A CN 200410083505A CN 1611430 A CN1611430 A CN 1611430A
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Abstract

本发明提供一种可以减少搬运所需推力、并且能够抑制被搬运物的弯曲的搬运装置、具备这种搬运装置的涂敷系统及检验系统。搬运装置(12、62)具备：具有沿被搬运物(28)的搬运方向X延伸的主面(16a)的底座(16)；向搬运方向X延伸的引导部件(18)；被引导部件(18)引导，从而能够向搬运方向X移动的移动部件(20)；被固定在移动部件(20)上，并且与主面(16a)保持间隙，而固定被搬运物(28)的固定部件(24)；以及，用于在底座(16)上的搬运方向X的部分区域内，对被搬向搬运方向X的被搬运物(28)进行气体的吐出和吸引的气体吐出吸引机构(26)。

Description

搬运装置、涂敷系统及检验系统
技术领域
本发明涉及一种搬运玻璃基板等被搬运物的搬运装置、具有这种搬运装置的涂敷系统及检验系统。
背景技术
作为将感光胶等涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷系统，例如，有专利文献1所公布的涂敷系统。这种涂敷系统具备：用于涂敷涂敷液的涂敷装置和用于使玻璃基板向涂敷装置移动的搬运装置。搬运装置，具有吸附、固定玻璃基板整个表面的底座，通过使玻璃基板在吸附状态下和底座一起移动，使玻璃基板向涂敷装置移动。
另外，还开发了将玻璃基板一直固定在底座上，而使涂敷装置向玻璃基板移动的涂敷系统。(例如，参照专利文献2。)
[专利文献1]日本特开平8-243476号公报
[专利文献2]日本特开2002-200450号公报
然而，近年来，由于液晶用玻璃基板尺寸的大型化，上述专利文献1所公开的搬运装置，存在着底座重量过重，搬运所需推力增大，而玻璃基板搬运困难的问题。另外，使涂敷装置向玻璃基板移动的类型的专利文献2所公开的涂敷系统，仍然由于玻璃基板的大型化，导致起重机架增大、重量增加，存在着不能获得足够的移动精度的问题。
因此，就考虑将玻璃基板的一部分固定住而搬运玻璃基板自身，这种情况下，为了实现均匀涂敷，必须抑制玻璃基板的弯曲。
发明内容
鉴于上述的问题，本发明的目的在于：提供一种力图减少搬运所需推力，而且能够抑制被搬运物的弯曲的搬运装置、具有这种搬运装置的涂敷系统及检验系统。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为，其具备：(1)具有向被搬运物的搬运方向延伸的主面的底座；(2)向搬运方向延伸的引导部件；(3)被引导部件引导，从而能够向搬运方向移动的移动部件；(4)被固定在移动部件上，并且与主面保持间隙，而固定被搬运物的固定部件；以及，(5)用于在底座上的搬运方向的部分区域内，对向搬运方向搬运的被搬运物进行气体吐出和吸引的气体吐出吸引机构。
依靠这种装置，通过利用固定部件固定被搬运物，并利用引导部件向搬运方向引导移动部件并使其移动，从而将被搬运物向搬运方向搬运。此时，在底座上的搬运方向上的部分区域内，可以通过气体吐出吸引机构对被搬运物进行气体的吐出和吸引。这样，由于这种搬运装置不需要在移动被搬运物时连同底座一起移动，所以，可以达到减小搬运所需推力的目的。而且，由于在搬运路径上的部分区域内，能够对被搬运物进行气体的吐出和吸引，所以，在该部分区域内，可抑制被搬运物弯曲。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为：固定部件能够吸附、固定被搬运物。这样，就能够牢固地固定被搬运物。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为：引导部件由一个轴构成。这样，被搬运物从一方的边缘一侧被固定。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为：固定部件在底座主面的法线方向上具有弹性。这样，在底座主面的法线方向上，可以对被搬运物的高度位置进行微调，可以减少产生被搬运物接触气体吐出吸引机构等不良情况的可能性。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为：固定部件在与底座主面的法线方向和搬运方向这两个方向上的正交方向具有弹性。这样，在引导部件由两个轴构成的情况下，即使由于引导部件歪斜导致两引导部件的间隙产生变动，仍然可以减少发生被固定部件固定的被搬运物破损、脱离固定部件的固定、或者错位等情况的可能性。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为，其还具有：对在与底座主面平行的面内的被搬运物的旋转进行矫正的旋转矫正手段。这样，在进行规定作业时，在顾忌被搬运物旋转的系统内，能够恰当地进行作业。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为，其还具有：在底座上的部分区域以外的区域内，从底座一侧向被搬运物吐出气体的第1气体吐出机构。这样，可以减少施加在固定部件上的重量负荷，被搬运物的搬运变得容易。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为：被搬运物是玻璃基板。
本发明所涉及的涂敷系统，其特征为，其具有：上述搬运装置和对被搬运物涂敷涂敷液，吐出吸引机构用于在部分区域内向具有相面对的一对主面的被搬运物的一方的主面吐出吸引气体，涂敷装置用于在部分区域，在被搬运物的另一方的主面上涂敷涂敷液。
这种涂敷系统，由于通过在底座上的部分领域内，对被搬运物进行气体的吐出及吸引，可以在该部分区域抑制被搬运物的弯曲，并且能够在提高平面度的状态下涂敷涂敷液，所以，能够均匀地涂敷涂敷液。
本发明所涉及的涂敷系统，其特征为，其还具有：在部分区域内，在涂敷装置的前段，在另一方的主面上对被搬运物吐出气体的第2气体吐出机构。这样，可以进一步提高部分区域内的被搬运物的平面度，从而可以更加均匀地涂敷涂敷液。
本发明所涉及的涂敷方法是一边搬运具有相面对的一对主面的被搬运物，一边涂敷涂敷液的方法。这种方法，其特征为：一边向被搬运物的一方的主面吐出及吸引气体，一边在另一方的主面上涂敷涂敷液。
这种涂敷方法由于能够防止被搬运物弯曲，从而在提高平面度的状态下涂敷涂敷液，所以，能够均匀地涂敷涂敷液。
本发明所涉及的检验系统，其特征为，具备上述搬运装置和用于对被搬运物进行检验的检验装置，气体吐出吸引机构用于在部分区域内，向具有相面对的一对主面的被搬运物的一方的主面吐出及吸引气体，检验装置用于在部分区域内，从被搬运物的另一方的主面对被搬运物进行检验。
这种检验系统，由于能够在底座上的部分区域内向被搬运物吐出及吸引气体，从而可以在该部分区域内抑制被搬运物的弯曲，并在提高平面度的状态下进行检验，所以，能够提高检验精度。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为，固定部件具备固定机构，该固定机构包括沿搬运方向延伸的基体部、从基体部向与底座主面的法线方向和搬运方向这两个方向正交的方向上延伸设置的多个支撑梁部、以及分别设置在多个支撑梁部前端、用于吸附、固定被搬运物的吸附部，多个支撑梁部分别至少在底座主面的法线方向上具有弹性，并且在自身轴系中具有扭转性。这样，在底座上的部分区域内，通过进行气体的吐出和吸引，即使在被搬运物的高度在搬运方向产生不同的情况下，也不会损坏被搬运物，并能够牢固地固定。
本发明所涉及的搬运装置，其特征为，分别具有两个移动部件和固定部件，移动部件分别被设置成能够独立控制速度，通过各固定部件固定的被搬运物的固定位置，在与底座主面的法线方向和搬运方向这两个方向正交的方向上错位。这样，通过控制两个移动部件的移动速度，在与底座主面相平行的面内的被搬运物的旋转得到矫正，在进行规定作业时，在顾忌被搬运物旋转的体系内，能够恰当地作业。
本发明所涉及的固定机构是用于固定板状体的固定机构，其特征为，其具备：沿规定方向延伸的基体部；从基体部向与规定方向交叉的方向延伸设置的多个支撑梁部；以及，分别设置在多个支撑梁部的前端，并用于吸附、固定板状体的吸附部，多个支撑梁部分别至少在与规定方向和支撑梁部的延伸设置方向这两个方向正交的方向上具有弹性，并且，在自身轴系内具有扭转性。通过这种固定机构，即使在上述固定方向板状体的高度出现不同的情况下，也不会损坏板状体，并能够牢固地固定。
发明效果
本发明能够提供一种力图减少搬运所需推力，且可以抑制被搬运物的弯曲的搬运装置、具备这种搬运装置的涂敷系统及检验系统。
附图说明
图1是表示第1实施方式所涉及的涂敷系统的结构的立体图；
图2是表示第1实施方式所涉及的涂敷系统的结构的平面图(涂敷装置和起重机架以点划线表示)；
图3是表示搬运装置结构的部分扩大部。
图4是对空气吐出吸引机构具备的多个孔中，吸引用的孔(用白色圆点表示)和吐出用的孔(用黑色圆点表示)的相邻状态进行说明的图；
图5是表示通过设置在涂敷装置前段的空气吐出机构，向玻璃基板的上表面吐出空气状态的图；
图6是表示第2实施方式所涉及的涂敷系统的结构的平面图(涂敷装置和起重机架以一条点划线表示)；
图7是用于对由于导轨歪斜而使玻璃基板在与底座的上表面相平行的面内产生旋转的状态进行说明的图；
图8是用于对因导轨歪斜而使玻璃基板产生的旋转进行矫正的状态进行说明的图；
图9是表示第3实施方式所涉及的检验系统的结构的立体图；
图10是表示第3实施方式所涉及的检验系统的结构的平面图；
图11是表示通过设置在检验装置前段的空气吐出机构，向玻璃基板的上表面吐出空气的状态的图；
图12是表示在检验装置上被一体化的空气吐出机构的图；
图13是用于说明搬运装置的变形例的图；
图14是用于说明搬运装置的其它变形例的图；
图15是表示图14的搬运装置所具备的固定机构的立体图；
图16是对由于空气吐出吸引机构而使玻璃基板产生变形的状态进行说明的图；
图17是用于说明搬运装置的其它变形例的图；
图18是表示图17的搬运装置所具备的固定部件的结构的立体图；
图19是说明玻璃基板的固定位置和滑块速度的关系的图；
图20是用于对在图17的搬运装置中，因导轨歪斜而使玻璃基板产生的旋转进行矫正的状态进行说明的图。
符号说明
10…涂敷系统；12、62…搬运装置；14…涂敷装置；16…底座；18…导轨；20…滑块；24…固定部件；26…空气吐出吸引机构；28…玻璃基板；34…吸附部；36…板簧部；42…空气吐出机构；66…空气吐出机构；80…检验系统；82…检验装置；90…固定机构；92…基体部；94…支撑梁部；96…吸附部；X…搬运方向。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，在进行附图说明时，相同要件附以相同符号，并省略重复说明。
(第1实施方式)
图1是表示本实施方式所涉及的涂敷系统结构的立体图。图2是表示本实施方式所涉及的涂敷系统结构的平面图。另外，在图2中，涂敷装置14和起重机架40以点划线进行表示。
如图1和图2所示，涂敷系统10具备：搬运装置12和涂敷装置14。搬运装置12具备：底座16、一对导轨18(引导部件)、4个滑块(移动部件)20、驱动机构22、4个固定部件24、以及空气吐出吸引机构(气体吐出吸引机构)26。
底座16的外形呈长方体形状，被放置在地面等水平面上。这个底座16的上表面(主面)16a向规定方向延伸。这个底座16的上表面16a的延伸方向成为玻璃基板(被搬运物)28的搬运方向。底座16的宽度设置得比玻璃基板28的宽度大。另外，在以下说明中，如图1所示，将底座16的上表面16a的延伸方向称作搬运方向X，将底座16的上表面16a的法线方向称作垂直方向Z，将与搬运方向X和垂直方向Z这两个方向正交的方向称作宽度方向Y。
一对导轨18，沿搬运方向X延伸地被设置在底座16的上表面16a。这一对导轨18被设置成相隔的间隙比玻璃基板28的宽度稍大，且互相平行。
滑块20在一对导轨18上各设置2个。每个滑块20被设置成由导轨18引导，从而能够沿搬运方向X移动。
驱动机构22，如图3所示，由包括定子30和可动件32的直线电动机构成。定子30，在一对导轨18的各自的外侧，沿导轨18被设置在底座16上。可动件32，如图1至图3所示，包括：与定子30作用并被驱动的驱动体33；从驱动体33的两端向搬运方向X延伸设置，并将驱动体33和滑块20连结在一起的连结部件37。连结部件37分别被固定在滑块20的外侧面上。由此，设置在各个导轨18上的两个滑块20保持着一定距离进行同步移动。
固定部件24分别被固定在4个滑块20的内侧面上。固定部件24，如图3所示，包括：吸附部34和板簧部36。这个固定部件24通过利用吸附部34吸引空气，而将玻璃基板28的侧缘部吸附并牢固地固定。通过这些固定部件24，玻璃基板28在与底座16的上表面16a保持间隔的状态下被固定住。板簧部36包括：沿垂直方向Z延伸的基部36a和沿宽度方向Y延伸的弯曲部36b。吸附部34被固定在弯曲部36b上。
这里，板簧部36的弯曲部36b，如图3所示，优选在垂直方向Z上具有弹性。这样，固定部件24就会在垂直方向Z上具有弹性，因而可以在垂直方向Z对玻璃基板28的高度位置进行微调。由此，可以减少玻璃基板28接触气体吐出吸引机构26等不妥当情况的产生。
而且，关于被固定在设置于一方的导轨18上的2个滑块20上的固定部件24，如图3所示，优选的是板簧部36的基部36a在宽度方向Y上具有弹性。这样，固定部件24就会在宽度方向Y上具有弹性。其结果，在导轨18歪斜时，可以以另一方的导轨18为基准，对玻璃基板28的宽度方向Y上的错位和与底座16的上表面16a相平行的平面内的玻璃基板28的旋转进行矫正(旋转矫正手段)。
空气吐出吸引机构26，在底座16上，被设置在后述的涂敷装置14的下方的涂敷区域(部分区域)内。这个空气吐出吸引机构26，如图3所示，向玻璃基板28的下面(一方的主面)28a吐出和吸引空气(气体)。空气吐出吸引机构26，具备使空气通过的多个孔26a，这些多个孔26a沿搬运方向X和宽度方向Y被规则地排列。空气吐出吸引机构26的宽度方向Y的长度被设置为和玻璃基板28的宽度大致相同。空气吐出吸引机构26的搬运方向X的长度，优选在涂敷装置14的前后采用足够的长度。例如，以250mm/sec来搬运搬运方向X的长度是2300mm、宽度方向Y的长度是2000mm、厚度是0.6mm的玻璃基板28时，空气吐出吸引机构26的搬运方向X的长度，优选采用至少400mm-500mm左右。
涂敷装置14，在玻璃基板28的上表面(另一方的主面)28b一侧涂敷感光胶等涂敷液。涂敷装置14的喷嘴的前端部38，沿宽度方向Y延伸。这个涂敷装置14，通过设置在底座16上的起重机架，在底座16上被支撑在规定高度。
下面，就利用上述涂敷系统10的涂敷液的涂敷方法进行说明。
首先，在底座16上的涂敷装置14的前段，通过4个固定部件24，在宽度方向Y的侧缘部吸附、固定玻璃基板28。这时，玻璃基板28在与底座16的上表面16a保持间隔的状态下被固定。更详细地说，玻璃基板28，在涂敷区域被固定在与空气吐出吸引机构26的上表面间隔10μm左右、与涂敷装置14的喷嘴的前端部38间隔100μm-200μm左右的位置。
其次，通过利用驱动机构22将滑块20移动，从而以规定速度将玻璃基板28向搬运方向X搬运。此外，玻璃基板28在到达涂敷区域时，通过空气吐出吸引机构26，向玻璃基板28的下表面28a进行空气的吐出及吸引。由此，玻璃基板28处于浮动在空气吐出吸引机构26上的状态，在涂敷区域其弯曲被矫正，可以提高玻璃基板28的平面度。另外，本实施方式中玻璃基板28的弯曲矫正，是考虑在最大位置、10μm-100μm左右的矫正。这时，关于设置在空气吐出吸引机构26的多个孔16a，如图4所示，优选将吸引用的孔(以白圆点表示)和吐出用的孔(以黑圆点表示)相邻排列，从而能够对玻璃基板28均匀地进行空气的吸引和吐出。这样，可以更进一步提高玻璃基板28的平面度。
此外，如上所述，在涂敷区域，在对玻璃基板28的下表面28a吐出和吸引空气的同时，通过涂敷装置14在玻璃基板28的上表面28b涂敷涂敷液。这里，由于玻璃基板28的平面度提高，所以，能够在玻璃基板28的上表面28b均匀地涂敷涂敷液。这时，如图5所示，优选在空气吐出吸引机构26的上方，将空气吐出机构42(第2气体吐出机构)邻接设置在涂敷装置14的前段，并且在涂敷区域的涂敷前段，向玻璃基板28的上表面28b吐出空气。这样，能够进一步提高玻璃基板28的平面度，并且更加均匀地进行涂敷。
接着，对于通过了涂敷区域、并被搬运至底座16后段的已涂敷完毕的玻璃基板28，解除由固定部件24对其进行的吸附。然后，在将玻璃基板28搬至系统外的同时，为了对下一块玻璃基板28进行涂敷，将固定部件24恢复到底座16的前段位置。
如上详述，依据本实施方式，由于在移动玻璃基板28时，不需要连同底座一起移动，所以，可以实现搬运所需推力的减少。而且，与连同底座一起移动时相比，可以减少震动和传导在玻璃基板28上的热能。另外，由于可以通过空气吐出吸引机构26向玻璃基板28进行空气的吐出和吸引，所以，可以在涂敷区域，抑制玻璃基板28的弯曲。其结果是，在涂敷区域中，能够在提高了玻璃基板28的平面度的状态下涂敷涂敷液，从而能够均匀地涂敷涂敷液。
而且，依据本实施方式，由于固定部件24能够将玻璃基板28吸附、固定，所以，能够牢固地将玻璃基板28固定住。另外，由于将玻璃基板28从下表面28a固定，所以，就减少了在夹持玻璃基板28的情况下产生玻璃破裂、损伤的可能性，还能够对玻璃基板28的整个上表面28b涂敷涂敷液。
另外，依据本实施方式，固定部件24在垂直方向Z上具有弹性，因此，可以在垂直方向Z上微调玻璃基板28的高度位置。由此，可以减少玻璃基板28接触空气吐出吸引机构26等不妥当情况的产生。
另外，依据本实施方式，由于被固定在设置于一方的导轨18上的两个滑块20上的固定部件24在宽度方向Y上具有弹性，所以，当导轨歪斜时，能够以另一方的导轨28为基准，对玻璃基板28的宽度方向Y上的错位和与底座16的上表面16a平行的面内的玻璃基板28的旋转进行矫正。
还有，依据本实施方式，在涂敷装置14的前段，由于在玻璃基板28的上表面28b一侧具备吐出空气的空气吐出机构42，所以，可以进一步提高涂敷区域的玻璃基板28的平面度，从而可以更加均匀地涂敷涂敷液。
(第2实施方式)
下面，就本发明的第2实施方式进行说明。另外，与上述第1实施方式相同的要件附以相同的符号，并省略重复说明。
图6是表示第2实施方式所涉及的涂敷系统60的结构的平面图。另外，在图6中，涂敷装置14和起重机架40以点划线来表示。本实施方式所涉及的涂敷系统60的结构，除搬运装置62的结构不同以外，其余部分均与第1实施方式所涉及的涂敷系统10相同。
本实施方式中的搬运装置62，沿搬运方向X只设一条导轨18，并由一个轴构成。由此，与并设两条导轨18，以两个轴构成的情况相比，只需要在一侧设置作为驱动机构22的直线电动机机构即可，可以实现成本的降低。
这种情况下，通过固定部件24，在一方的侧缘部来固定玻璃基板28，由于是单方固定，所以施加在固定部件24上的重量负荷增大，会产生由于弯曲而接触底座16，造成玻璃基板28损伤或使玻璃基板28破裂的情况。因此，在底座16上的涂敷区域以外的区域，设置有从底座16一侧向玻璃基板28的下表面28a吐出空气(气体)的气体吐出机构(第1气体吐出机构)66。气体吐出机构66，包括多个静压轴66a，这些多个静压轴66a沿搬运方向X和宽度方向Y被规则地排列。这些静压轴66a由石、陶瓷或金属的多孔体制成。
另外，在本实施方式中，固定部件24优选在垂直方向Z上具有弹性。这样，能够在垂直方向Z上对玻璃基板28的高度位置进行微调。因此，可以减少玻璃基板28接触气体吐出吸引机构26等不良情况的产生。
而且，本实施方式中的搬运装置62，优选具备对与底座16的上表面16a相平行的面内的玻璃基板28的旋转进行强制性矫正的旋转矫正手段。即：导轨18不一定是笔直的，也有在宽度方向Y上歪斜的情况。若导轨18歪斜，如图7中的实线所示，在与底座16的上表面16a相平行的面内，玻璃基板28会产生旋转。玻璃基板28产生的旋转，在均匀涂敷涂敷液方面会产生不好的影响。
因此，固定部件24，如图8所示，具备能够以沿垂直方向Z的轴为中心进行旋转的铰链机构68，而且，在一方的固定机构24上安装有能够在宽度方向Y上进行数十μm的微小位移的压电元件70。由此，如图8中的点划线所示，能够通过压电元件70将玻璃基板28所发生的旋转矫正到实线所示的位置。另外，也可以使用音圈、超声波马达、直线电动机、气动执行机构(エアアクチユエ一タ)等设备来代替压电元件70。
下面，对利用涂敷系统60的涂敷液的涂敷方法进行说明。
首先，不是通过涂敷装置14进行涂敷，而是将玻璃基板28向搬运方向X搬运，从而检验出玻璃基板28是否由于导轨18歪斜，而在与底座16的上表面16a相平行的面内发生了旋转。然后，在玻璃基板28被确认发生旋转时，预先设定好控制程序，以向旋转的矫正方向驱动压电元件70。由此，可以防止在以后的涂敷作业中玻璃基板28发生旋转。
接着，从空气吐出机构66的多个静压轴66a开始向玻璃基板28的下表面28a吐出空气。静压轴66a也可以具备空气吐出部和对吐出的空气进行吸引的吸引部。由于会有吐出的空气中会含有细小尘埃等的情况，所以这时的空气吸引，是为了防止这种尘埃等附着在玻璃基板上而给涂敷带来不利影响。下面，在底座16上的涂敷装置14的前段，通过两个固定部件24，在宽度方向Y的侧缘部吸附并单侧固定玻璃基板28。这时，玻璃基板28在与底座16的上表面16a保持间隙的状态下被固定住。更详细地说，在涂敷区域，玻璃基板28被固定在与空气吐出吸引机构26的上表面间隔10μm左右、与涂敷装置14的喷嘴的前端部38间隔100μm-200μm左右的位置。
其次，通过利用驱动机构22移动滑块20，将玻璃基板28以规定速度向搬运方向X搬运。然后，在玻璃基板28到达涂敷区域时，通过空气吐出吸引机构26向玻璃基板28的下表面28a吐出及吸引空气。由此，玻璃基板28处于浮动在空气吐出吸引机构26上面的状态，在涂敷区域其弯曲被矫正，可以提高玻璃基板28的平面度。
此外，如上所述，在涂敷区域，在向玻璃基板28的下表面28a吐出和吸引空气的同时，通过涂敷装置14在玻璃基板28的上表面28b涂敷涂敷液。这里，由于提高了玻璃基板28的平面度，所以，能够在玻璃基板28的上表面28b均匀地涂敷涂敷液。这时，如图5所示，优选在空气吐出吸引机构26的上方，与涂敷装置14的前段邻接地设置空气吐出机构(第2气体吐出机构)42，并在涂敷区域的涂敷前段，向玻璃基板28的上表面28b吐出空气。这样，能够进一步提高玻璃基板28的平面度，从而更加均匀地进行涂敷。
接着，对于通过了涂敷区域、并被搬运至底座16的后段的已涂敷完毕的玻璃基板28，解除由固定部件24对其进行的吸附。此外，在将玻璃基板28搬至系统外的同时，为了对下一块玻璃基板28进行涂敷，将固定部件24恢复到底座16的前段位置。
以上，依据本实施方式，能够获得与第1实施方式相同的作用效果。特别是，依据本实施方式，由于导轨18由一个轴构成，与由两个轴构成的情况相比，只需要在一侧设置作为驱动机构22的直线电动机机构即可，因而可以达到降低成本的目的。这时，在底座16上的涂敷区域以外的区域，由于具备从底座16向玻璃基板28的下表面28a吐出空气的空气吐出机构66，所以，可以通过依靠吐出的空气将玻璃基板28抬高来减轻施加在固定部件24上的重量负荷，能够较容易地搬运玻璃基板28。
而且，由于能够对与底座16的上表面16a相平行的面内的玻璃基板28的旋转进行强制性矫正，所以，可以防止玻璃基板28的旋转，从而更加均匀地涂敷涂敷液。
(第3种实施方式)
下面，就本发明的第3实施方式进行说明。另外，与上述第1和第2实施方式相同的要件，附以相同符号，并省略重复说明。
图9是表示第3实施方式所涉及的检验系统80的结构的立体图。图10是表示这个检验系统80的结构的平面图。另外，在图10中，起重机架40以点划线来表示。
本实施方式所涉及的检验系统80，如图9和图10所示，具备搬运装置12和检验装置82。由于搬运装置12与第1实施方式所涉及的涂敷系统10的搬运装置相同，所以省略其说明。
检验装置82从上表面28b对玻璃基板28进行检验。作为检验装置82，可列举出CCD照相机等照相装置和照射激光光束并接收其反射光的激光测量装置等。通过照相装置，可获得例如在玻璃基板28上形成的电路图形等的光学影象，从而可以对不良品等进行检验。而且，通过激光测量装置，可通过检查激光的反射率，对不良品等进行检验。另外，作为检验装置82，不只限于这些CCD照相机和激光测量装置，还包括所有能够以非接触性方式来检验玻璃基板28状态的众所周知的装置。
这个检验装置82，通过滑动部件84被安装在设置于底座16上的起重机架40上。滑动部件84，能够沿起重机架40向宽度方向Y移动。因此，安装在滑动部件84上的检验装置82，能够向宽度方向Y移动，并且可以对玻璃基板28进行宽度方向Y的扫描。而且，检验装置82自身也能够相对滑动部件84向垂直方向Z移动，因此，可以将检验装置82支撑在底座16上的规定高度位置。所以，在照相装置中，可获得聚焦的光学影象，而在激光测量仪器中，可提高数据精度，达到提高检验精度的目的。
下面，就使用上述检验系统80的玻璃基板28的检验方法进行说明。
首先，在底座16上的检验装置82的前段，通过4个固定部件24在宽度方向Y的侧缘部吸附、固定玻璃基板28。这时，玻璃基板28在与底座16的上表面16a保持间隙的状态下被固定住。更详细地说，玻璃基板28在检验区域(部分区域)，与空气吐出吸引机构26的上面保持10μm左右的间隔。
其次，通过利用驱动机构22移动滑块20，从而以规定速度在搬运方向X上搬运玻璃基板28。此外，在玻璃基板28到达检验区域时，通过空气吐出吸引机构26，向玻璃基板28的下表面28a吸引和吐出空气。由此，在玻璃基板28浮动在空气吐出机引26上面的状态下，在检验区域内，其弯曲被矫正，从而可以提高玻璃基板28的平面度。另外，依据本实施方式，玻璃基板28的弯曲矫正，是考虑在最大位置的10μm-100μm左右的矫正。这时，关于设置在空气吐出吸引机构26上的多个孔26a，如图4所示，优选将吸引用的孔(以白圆点表示)和吐出用的孔(以黑圆点表示)相邻排列，从而向玻璃基板28能够均匀地吸引和吐出空气。这样，可以进一步提高玻璃基板28的平面度。
然后，如上所述，在检验区域内，在向玻璃基板28的下表面28a吐出和吸引空气的同时，停止在搬运方向X上搬运玻璃基板28。此外，使滑动部件84向宽度方向Y滑动，从而对玻璃基板28上进行扫描。这时，优选根据需要，对检验装置82的垂直方向位置进行微调。扫描一结束，仅将玻璃基板28在搬运方向X上移动规定距离，再次停止搬运后，进行第二次扫描。这样，通过进行多次扫描，利用检验装置82从上表面28b对玻璃基板28进行检验。这里，由于提高了玻璃基板28的平面度，可以实现提高玻璃基板28的检验精度的目的。这时，如图11所示，优选在空气吐出吸引机构26的上方，在检验装置82的前段设置空气吐出机构42，并在检验区域的检验的前段，向玻璃基板28的上表面28b吐出空气。这样，可进一步提高玻璃基板28的平面度，可进行更高精度的检验。另外，空气吐出机构42，既可以设置在空气吐出吸引机构26的上方、检验装置82的后段，也可以设置在前后段双方上。进而，如图12所示，也可以在照相装置透镜的周围，或者在激光测量装置激光的射入射出部的周围，设置环状的空气吐出机构42，从而达到与检验装置82一体化的目的。
接着，对于通过了检验区域、被搬运至底座16后段的已检验完毕的玻璃基板28，解除固定部件24对其的吸附。此外，在将玻璃基板28搬运出系统的同时，为了对下一块玻璃基板28进行检验，将固定部件24恢复到底座16的前段位置。
如上所述，依据本实施方式，由于在移动玻璃基板28时，不需要连同底座一起移动，所以，可以达到减少搬运所需推力的目的。而且，与连同底座一起移动时相比，可以减少玻璃基板28的震动和传导在玻璃基板28上的热能。另外，由于可以通过空气吐出吸引机构26向玻璃基板28吐出和吸引空气，所以，可以在检验区域内抑制玻璃基板28的弯曲。其结果，能够在检验区域内，在提高了玻璃基板28平面度的状态下进行检验，并且能够达到提高检验精度的目的。
另外，依据本实施方式，因与第1实施方式所涉及的涂敷系统10具有相同的结构，所以可以获得相同的作用效果。
此外，本发明不只限于上述实施方式，也可以进行种种变形。例如，第1实施方式的搬运装置12也可以象第2实施方式的搬运装置62那样，在涂敷区域以外的区域具备空气吐出机构66。
另外，第1实施方式的搬运装置12也可以象第2实施方式的搬运装置62那样，对在与底座16的上表面16a平行的面内的玻璃基板28的旋转进行强制性矫正。
而且，优选将驱动机构22的定子30设置在地面F上等，从而与底座16分开设置。这样，由于驱动驱动机构22而产生的反作用力，可以逃逸到系统以外。
并且，也可以是，由沿搬运方向X的方向的底座16的角部构成引导部件，并且滑块20构成通过这个角部被引导的结构。这样，通过省去导轨18，可以达到减少零件数量的目的。
再者，如图13所示，在第2实施方式所涉及的涂敷系统60的搬运装置62中，优选底座16由基座部70和空气机构部72构成，并且将空气机构部72进行切削加工等，从而使空气吐出吸引机构26和空气吐出机构66构成一体。这样，可以省去使空气吐出吸引机构26的高度与空气吐出机构66的高度一致所进行的操作，达到提高制造效率的目的。
还有，依据上述实施方式，虽然在一个导轨18上设置了2个滑块20，但是，滑块20也可以由具有与玻璃基板28的搬运方向X的长度同等长度的一个部件构成。这样，可以将吸附部34的长度延长，并且提高吸附力。而且，可以达到减少滑块20的数量，从而减少部件数量的目的。
另外，第1实施方式所涉及的涂敷系统10和第3实施方式所涉及的检验系统80所具备的2个轴的搬运装置12中，也可以如下进行对玻璃基板28的固定。固定部件24具备如图14和图15所示的固定机构90。这个固定机构90包括：沿搬运方向X延伸的基体部92、从基体部92向宽度方向Y延伸设置的多个支撑梁部94、以及分别设置在多数的支撑梁部94的前端并用于吸附、固定玻璃基板28的吸附部96。基体部92的长度与玻璃基板28在搬运方向X上的长度相同。多个支撑梁部94各自至少在垂直方向Z具有弹性，并且，在自身的轴α系上具有扭转性。另外，多个支撑梁部94最优选的是，各自在搬运方向X、宽度方向Y和垂直方向Z上具有弹性，而且在这些轴系上具有扭转性从而具有6个自由度。在支撑梁部94的前端，为了牢固地搭载吸附部96，设置有宽幅的搭载部98。
这个固定机构90，连结在设置于导轨18上、能够进行滑动的2个滑块20的内侧面。更详细地说，在成为基准的一方的导轨18一侧，固定机构90的基板部92直接连结在2个滑块20上，而在另一方的导轨18一侧，通过弹性部件99，固定机构90的基板部92被连结在滑块20上。因此，在另一方的导轨一侧，在Y方向上具有弹性。其结果，当另一方的导轨18歪斜时，以一方的导轨18一侧为基准，可以对玻璃基板28的宽度方向Y的错位和与底座16的上表面16a相平行的面内的玻璃基板28的旋转进行矫正。作为这个弹性部件99，可以列举例如在宽度方向Y上具有弹性的板簧片等弹性体。
这样的支撑梁部94，例如，可由SUS等材料制成。典型的尺寸是长度T1为100mm左右，宽度T2为10mm左右，厚度T3为1.5mm左右。由此，支撑梁部94可以在轴α系具有±2度左右的扭转性。
这里，如图16所示，在底座16上的涂敷区域或检验区域内，通过利用空气吐出吸引机构26向玻璃基板28吐出和吸引空气，从而使玻璃基板28的高度在搬运方向X上不同。这个高度差d，有时可以达到50μm-200μm左右。这时，若不能随着玻璃基板28的变形很好地进行固定，就有可能产生裂缝、裂纹等而损坏玻璃基板28的可能性。对此，若通过上述固定机构90对玻璃基板28进行固定，因为多个支撑梁部94至少在垂直方向Z上具有弹性，并且，在自身的轴α系上具有扭转性，因此，可以随着玻璃基板28发生的变形进行牢固地固定，就可以减少玻璃基板28损坏的可能性。
而且，也可以在第2实施方式所涉及的涂敷系统60所具备的1个轴的搬运装置62中，如下进行对玻璃基板28的固定。固定部件24，如图17和图18所示，具备板簧部102和吸附部104。这些固定部件24通过板簧部102分别连结到2个滑块20上。板簧部102至少在垂直方向Z上具有弹性。搭载于板簧部102前端的吸附部104，是用于通过吸附空气将玻璃基板28吸附、固定的部件，如图18所示，其被可旋转地设置在沿垂直方向Z的轴β系中。
利用上述固定部件24进行的玻璃基板28的固定，通过各固定部件24使吸附部104在宽度方向Y上的位置错开。因此，通过各固定部件24吸附、固定玻璃基板28的固定位置，在宽度方向Y上各不相同。优选将这个错开量Δy如下面所述的那样，设定成可以对玻璃基板28的1度的旋转进行矫正的量。例如，在对搬运方向X的长度是2000mm的玻璃基板28进行搬运时，错开量Δy优选在1mm以下。
并且，利用上述固定部件24进行的玻璃基板28的固定，滑块20被设置成能够各自独立地控制速度。即：依据上述第2实施方式，各滑块20被设置成能够通过一个驱动体33，在保持着一定距离的情况下进行同步移动，而在这里，滑块20被设置成能够分别通过驱动体33独立地控制速度。
因此，如图19所示，当2个滑块20以相同速度移动时，玻璃基板28的固定位置是A点和B点，通过将前方滑块20的速度v2提高到仅仅比后方滑块20的速度v1大Δv，玻璃基板28的固定位置变为A点和C点。另外，通过将前方滑块20的速度v2减少到仅仅比后方滑块20的速度v1少Δv，玻璃基板28的固定位置变为A点和D点。这样，通过控制前方滑块20的速度v2和后方滑块20的速度v1，由前方的固定部件24进行固定的玻璃基板28的固定位置B的轨迹，是以A点为中心的半径1的圆弧(在图9中以虚线表示)。其结果，如图20所示，当导轨18歪斜时，通过控制前方滑块20的速度v2和后方滑块20的速度v1，可以对与底座16的上表面16a相平行的面内的玻璃基板28的旋转进行矫正。
而且，上述第3实施方式中，是通过滑动部件84使检验装置82在宽度方向Y上滑动，从而对玻璃基板28进行扫描的结构，但是，也可以利用将检验装置82在宽度方向Y上排列成阵列的检验装置阵列来构成检验系统。这样，不必在宽度方向Y上对玻璃基板28进行扫描，可以达到提高检验效率的目的。
另外，在上述第1和第2实施方式中，虽然就向玻璃基板28上的感光胶的涂敷进行了说明，但是，也可以适用于层叠形成彩色滤光片时的油墨的涂敷等。
另外，在上述实施方式中，虽然就将玻璃基板28作为被搬运物进行搬运的情况进行了说明，但是，被搬运物也可以是薄膜或半导体基板等其他容易产生弯曲的部件。
产业上的可利用性
本发明所涉及的搬运装置，还可以适用于例如：制造等离子体显示屏(PDP)的PDP制造装置和对半导体基板的缺陷等进行检验的半导体检验装置等，在进行规定作业时，顾忌被搬运物弯曲的其它系统。

Claims (15)

1、一种搬运装置，其特征为，其具备：具有向被搬运物的搬运方向延伸的主面的底座；向上述搬运方向延伸的引导部件；被上述引导部件引导，从而能够向上述搬运方向移动的移动部件；被固定在上述移动部件上，并且与上述主面保持间隙，而固定上述被搬运物的固定部件；以及，用于在上述底座上的上述搬运方向的部分区域内，对被搬向该搬运方向的上述被搬运物进行气体的吐出和吸引的气体吐出吸引机构。
2、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为：上述固定部件能够吸附、固定上述被搬运物。
3、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为：上述引导部件由一个轴构成。
4、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为：上述固定部件在上述底座的上述主面的法线方向上具有弹性。
5、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为：上述固定部件在与上述底座的上述主面的法线方向和上述搬运方向这两个方向正交的方向上具有弹性。
6、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为，其具备：对在与上述底座的上述主面相平行的面内的上述被搬运物的旋转进行矫正的矫正手段。
7、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为，其具备：在上述底座上的上述部分区域以外的区域内，从上述底座一侧向上述被搬运物吐出气体的第1气体吐出机构。
8、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为：上述被搬运物是玻璃基板。
9、涂敷系统，其特征为：其具备权利要求1所述的搬运装置和用于对上述被搬运物涂敷涂敷液的涂敷装置，上述气体吐出吸引机构，在上述部分区域内，对具有相面对的一对主面的上述被搬运物的一方的主面吐出和吸引上述气体，上述涂敷装置，在上述部分区域内，对上述被搬运物的另一方的主面涂敷上述涂敷液。
10、根据权利要求9所述的涂敷系统，其特征为，其具备：在上述部分区域内，在上述涂敷装置的前段，在上述另一方的主面上向上述被搬运物吐出气体的第2气体吐出机构。
11、在搬运具有相面对的一对主面的被搬运物的同时涂敷涂敷液的涂敷方法，其特征为：一边向上述被搬运物的一方的主面吐出和吸引气体，一边在另一方的主面上涂敷上述涂敷液。
12、检验系统，其特征为：其具备权利要求1所述的搬运装置和用于对上述被搬运物进行检验的检验装置，上述气体吐出吸引机构，在上述部分区域内，对具有相面对的一对主面的上述被搬运物的一方的主面吐出和吸引上述气体，上述检验装置，在上述部分区域内，从上述被搬运物的另一方的主面对该被搬运物进行检验。
13、根据权利要求1所述的搬运装置，其特征为，上述固定部件具有固定机构，该固定机构包括：沿上述搬运方向延伸的基体部、从上述基体部向与上述底座的上述主面的法线方向和上述搬运方向这两个方向正交的方向延伸设置的多个支撑梁部、分别设置在上述多个支撑梁部的前端、并用于吸附、固定上述被搬运物的吸附部，上述多个支撑梁部分别至少在上述底座的上述主面的法线方向上具有弹性，并且具有自身轴系的扭转性。
14、根据权利要求3所述的搬运装置，其特征为：分别具备两个上述移动部件和上述固定部件，上述移动部件分别被设置成能够独立控制速度，通过上述各固定部件进行固定的上述被搬运物的固定位置，在与上述底座的上述主面的法线方向和上述搬运方向这两个方向正交的方向上错位。
15、一种固定板状体的固定机构，其特征为：其具备：沿规定方向延伸的基体部、从上述基体部向与上述规定方向交叉的方向延伸设置的多个支撑梁部、以及分别设置在上述多个支撑梁部的前端、并用于吸附、固定上述板状体的吸附部，上述多个支撑梁部分别至少在与上述规定方向和该支撑梁部的延伸设置方向这两个方向正交的方向具有弹性，并且，具有自身轴系的扭转性。
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