CN105339289A - 片构件搬运装置、片构件支承装置、片构件检查装置以及片构件搬运方法 - Google Patents

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Abstract

本发明所涉及的片构件搬运装置具备：对片构件进行支承的支承单元、和通过使支承单元移动而搬运片构件的移动单元，支承单元具备变形支承单元，变形支承单元分别对片构件的对置的一侧端部与另一侧端部进行支承，并且通过使片构件局部地弯曲变形而形成横切片构件的主面的凸条部或凹条部。

Description

片构件搬运装置、片构件支承装置、片构件检查装置以及片构件搬运方法
技术领域
本发明涉及一种支承片构件的端部而进行搬运以及检查的片构件搬运装置、片构件支承装置、片构件检查装置以及片构件搬运方法。
背景技术
众所周知，正在开发一种在以平板显示器、太阳能电池等为代表的平板玻璃产品的制造工序中以纵姿态搬运平板玻璃的同时进行加工、检查的技术。
然而，近年来，以产品的轻量化等为目的而对平板玻璃的薄壁化的要求不断提高，以至于例如大量地制造板厚为300μm以下那样的薄板玻璃。基于该状况，在如上述那样搬运平板玻璃的情况下会产生如下的问题。
详细而言，平板玻璃因薄壁化而变得容易变形，因此在以纵姿态进行搬运的情况下，例如，因该平板玻璃的表面侧与背面侧之间的气压差等而容易产生摆动，并且摆动的振幅容易变大。当这样的摆动变大时，平板玻璃中含有的微小裂缝发展而变得容易破损。另外，当进行利用相机等摄像装置的检查时，若平板玻璃的摆动的振幅变大，则因摆动而在板厚方向上位移了的部位变得容易脱离摄像装置的焦点，从而有时无法准确地检查缺陷的有无。对此，在专利文献1中公开了用于解决这些问题的技术。
在该文献中公开了如下的片构件搬运装置，所述片构件搬运装置将沿着一个边部相互分离排列的多个把持单元设为一组把持单元组，由两组把持单元组对纵姿态的平板玻璃的上边部与下边部进行把持，沿着边部的长度方向搬运平板玻璃，两组把持单元组在对平板玻璃的上边部与下边部进行把持的状态下，使拉力作用于两边部的彼此之间。
根据这样的结构，能够沿平板玻璃的上下方向使拉力作用于搬运中的平板玻璃。因此，期待通过该拉力能够抑制摆动的振幅变大，并且若利用该装置实施平板玻璃的检查，则能够使缺陷的检测精度提高。
在先技术文献
专利文献1：日本特开2009-236771号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而，专利文献1所公开的装置存在改善的余地。即，根据该装置，由于使拉力作用在平板玻璃的整个面上，因此当搬运中的平板玻璃因摆动而弯曲时，拉伸应力作用于弯曲的部位。因此，在该部位含有微小裂缝的情况下，存在该裂缝因拉伸应力而发展，从而平板玻璃变得容易破损的可能性。另外，由于对把持单元施力而使拉力作用在平板玻璃上，因此存在把持单元与平板玻璃容易滑动，从而平板玻璃容易滑落而破损的问题。
鉴于上述情况而完成的本发明的目的在于，抑制对片构件进行支承以及搬运时的摆动，从而抑制片构件的破损等。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的片构件搬运装置具备：对片构件进行支承的支承单元、和通过使支承单元移动而搬运片构件的移动单元，所述片构件搬运装置的特征在于，支承单元具备变形支承单元，所述变形支承单元分别对片构件的对置的一侧端部与另一侧端部进行支承，并且通过使片构件局部地弯曲变形而形成横切片构件的主面的凸条部或凹条部。
根据上述结构，能够抑制搬运片构件时的摆动以及破损。具体而言，通过在片构件上形成有凸条部(或者凹条部)，从而片构件的面刚性提高而变得不易变形。因此，能够在不使拉力等作用的情况下抑制片构件的摆动。另外，在片构件上传播的面振动在凸条部处衰减或者消失，因此能够抑制该面振动。通过像这样抑制片构件的摆动、振动，能够抑制片构件的破损。
在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选变形支承单元具备分别对片构件的一侧端部以及另一侧端部进行夹持的一对夹持构件，夹持构件具有构成为能够相互嵌合的弯曲凹部以及弯曲凸部，通过在嵌合的弯曲凹部以及弯曲凸部之间的间隙夹持片构件而形成所述凸条部或凹条部。
根据这样的结构，能够以结构简单的构件容易地形成凸条部(或凹条部)。需要说明的是，优选片构件的对置的一侧端部以及另一侧端部的一对夹持构件分别设置在对置的位置。
在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选弯曲凹部以及弯曲凸部中的至少任一方由弹性构件构成。
根据这样的结构，在由夹持构件夹持片构件时，由于能够通过夹持构件弹性变形来防止片构件的局部的变形，因此能够防止片构件破损。
在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选所述片构件搬运装置具备多个变形支承单元，在片构件上平行地形成多个凸条部或凹条部。
根据这样的结构，能够进一步提高片构件的弯曲刚性，从而能够有效地抑制片构件的摆动。
本发明所涉及的片构件搬运装置优选还具备不使片构件变形地对片构件的端部进行夹持并支承的多个平坦支承单元。
根据这样的结构，能够支承片构件的平坦的位置，从而能够实现稳定的支承以及搬运。
在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选片构件由厚度为1mm以下的呈矩形状的平板玻璃构成，变形支承单元分别对该片构件的上端边部以及下端边部进行支承，以使片构件成为直立姿态，移动单元使变形支承单元沿片构件的主面方向移动。
根据这样的结构，能够对厚度较薄且搬运时容易以较大的振幅摆动的片构件以纵姿态进行稳定地支承以及搬运。
本发明的片构件检查装置的特征在于，通过配置在片构件的搬运路径上的缺陷检查单元来检查由上述的片构件搬运装置搬运的片构件中是否含有缺陷。
本发明的片构件支承装置的特征在于，具备变形支承单元，所述变形支承单元分别对片构件的对置的一侧边部与另一侧边部进行夹持，并且通过使片构件局部地弯曲变形而形成从一侧边部向另一侧边部延伸的凸条部或凹条部。
本发明的片构件搬运方法的特征在于，具备：分别对片构件的对置的一侧端部与另一侧端部进行支承，并且通过使片构件局部地弯曲变形而形成从一侧边部向另一侧边部延伸的凸条部或凹条部的步骤；和在形成了凸条部或凹条部的状态下搬运片构件的步骤。
另外，就为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的片构件搬运装置而言，将沿着一个边部相互分离排列的多个支承单元设为一组支承单元组，由两组支承单元组对纵姿态的片构件的对置的一对边部进行支承，沿着边部的长度方向搬运片构件，片构件搬运装置的特征在于，两组支承单元组在对片构件的一对边部进行支承的状态下，使拉力作用于该片构件的一对边部的彼此之间，并且，各支承单元组使拉力作用于多个支承单元中的至少如下两个支承单元的彼此之间，即，处于对片构件的一个边部的一端部进行支承的状态的支承单元、与处于对另一端部进行支承的状态的支承单元的彼此之间。
若两组支承单元组在对片构件的一对边部进行支承的状态下，使拉力(以下，称为第一方向拉力)作用于该片构件的一对边部的彼此之间，则能够减小片构件的搬运方向的前方侧端部以及后方侧端部处的摆动的振幅。而且，在从该状态起各支承单元组在多个支承单元中，使拉力(以下，称为第二方向拉力)至少作用于处于对片构件的一个边部的一端部进行支承的状态的支承单元、与处于对另一端部进行支承的状态的支承单元的彼此之间的情况下，也能够将中央部处的摆动的振幅抑制得较小。根据上述内容，若在使第一方向拉力作用于片构件的状态下使第二方向拉力进行作用，则能够尽可能减小因摆动造成的片构件向板厚方向的位移的最大值。即，能够在片构件的整体范围内将摆动的振幅抑制得较小。其结果是，能够抑制片构件的破损等。需要说明的是，在像这样使第一方向拉力与第二方向拉力这双方进行作用的情况下，与仅使第一方向拉力进行作用的情况相比，前方侧端部以及后方侧端部处的摆动的振幅更大。并且，第二方向拉力越大，则中央部处的摆动的振幅逐渐变小，而前方侧端部以及后方侧端部处的摆动的振幅反而逐渐变大。
在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选各支承单元组的多个支承单元所支承的位置以一个边部的中央部为基准而对称，并且，一侧的支承单元组中的支承单元与另一侧的支承单元组中的支承单元对一对边部的长度方向的相同位置进行支承。
根据这样的结构，一侧的支承单元组中的支承单元与另一侧的支承单元组中的支承单元所支承的位置成为以片构件的面的中心为基准而点对称的配置。由此，能够使第一方向拉力以及第二方向拉力平衡良好地作用在片构件的整体范围内，从而能够进一步提高将摆动的振幅抑制得较小的效果。
在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选各支承单元组以一个边部的中央部为基准而使拉力作用于全部的相邻的支承单元的彼此之间。
根据这样的结构，能够使第二方向拉力在片构件的搬运方向的前方侧端部至后方侧端部的整个区域进行作用，由此，能够进一步提高在片构件的整体范围内将摆动的振幅抑制得较小的效果。
在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选通过气压或液压来调节由支承单元作用于片构件的拉力的大小。
根据这样的结构，通过压力的大小，能够简便地调节作用于片构件的第一方向拉力以及第二方向拉力的大小。
本发明的片构件检查装置的特征在于，通过配置在片构件的搬运路径上的缺陷检查单元来检查由片构件搬运装置搬运的片构件中是否含有缺陷。
在本发明的片构件检查装置中，优选缺陷检查单元对片构件的有效面进行扫描而检查，并且，各支承单元组根据片构件的检查部位来改变作用于沿着一个边部相邻的支承单元的彼此之间的拉力的大小。
根据这样的结构，通过改变对相邻的支承单元的彼此之间进行作用的第二方向拉力的大小，能够控制片构件的搬运方向的前方侧端部以及后方侧端部处的摆动的振幅与中央部处的摆动的振幅的大小。因此，若随着检查部位的变化来控制该部位处的摆动的振幅而将其抑制得较小，则能够高精度地检查缺陷的有无。
在本发明所涉及的片构件检查装置中，优选在所述片构件搬运装置搬运该片构件的同时，缺陷检查单元对片构件的有效面的整个区域进行检查。
根据这样的结构，就通过片构件搬运装置搬运的片构件而言，在其整体范围内将摆动的振幅抑制得较小，因此能够高精度地检查在该片构件的有效面的整个区域内有无缺陷。
在本发明所涉及的片构件检查装置中，优选当对片构件的搬运方向的前方侧端部至中央部的范围进行检查时，随着检查部位从搬运方向的前方侧端部向中央部转移，各支承单元组使作用于一个边部的相邻的支承单元的彼此之间的拉力逐渐增大，并且，当对片构件的搬运方向的中央部至后方侧端部的范围进行检查时，随着检查部位从搬运方向的中央部向后方侧端部转移，各支承单元组使作用于一个边部的相邻的支承单元的彼此之间的拉力逐渐减小。
根据这样的结构，当对片构件的搬运方向的前方侧端部以及后方侧端部进行检查时，作用于该片构件的第一方向拉力的影响变大，从而能够将前方侧端部以及后方侧端部处的摆动的振幅抑制得较小。另一方面，当对中央部进行检查时，由于第一方向拉力与第二方向拉力这双方作用在片构件上，因此能够将中央部处的摆动的振幅抑制得较小。基于上述的内容，能够更准确地检查在片构件的有效面的整个区域内有无缺陷。这里，当对前方侧端部以及后方侧端部进行检查时，优选将第二方向拉力设为零，而仅使第一方向拉力作用在片构件上。另外，当对中央部进行检查时，优选在不至于使片构件产生破损等不良现象的范围内尽可能增大第二方向拉力。若这样设置，能够进一步将各个部位处的摆动的振幅抑制得较小，从而能够实现更准确的检查。
就本发明所涉及的片构件搬运方法而言，将沿着一个边部相互分离排列的多个支承单元设为一组支承单元组，由两组支承单元组对纵姿态的片构件的对置的一对边部进行支承，沿着边部的长度方向搬运片构件，所述片构件搬运方法的特征在于，在片构件的搬运时，两组支承单元组在对片构件的一对边部进行支承的状态下，使拉力作用于该片构件的一对边部的彼此之间，并且，各支承单元组使拉力作用于多个支承单元中的至少如下两个支承单元的彼此之间，即，处于对片构件的一个边部的一端部进行支承的状态的支承单元、与处于对另一端部进行支承的状态的支承单元的彼此之间。
发明效果
如以上那样，根据本发明，当以纵姿态搬运片构件时，能够将该片构件的摆动的振幅抑制得较小。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的片构件搬运装置、片构件支承装置以及片构件检查装置的主视图。
图2是表示本发明的第一实施方式所涉及的片构件搬运装置、片构件支承装置以及片构件检查装置的图1的AA′局部剖视立体图。
图3是表示变形支承夹头的结构的图。
图4a是表示变形支承夹头使玻璃片变形的情况的图。
图4b是表示变形支承夹头使玻璃片变形的情况的图。
图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的片构件搬运装置以及片构件检查装置的主视图。
图6是表示作用在玻璃片上的第二方向拉力与该玻璃片上产生的摆动的振幅之间的关系的图。
图7是表示玻璃片的检查部位与作用在该玻璃片上的第二方向拉力之间的关系的图。
图8a是表示利用本发明的第二实施方式所涉及的片构件检查装置对玻璃片的缺陷进行检查的方式的主视图。
图8b是表示利用本发明的第二实施方式所涉及的片构件检查装置对玻璃片的缺陷进行检查的方式的主视图。
图8c是表示利用本发明的第二实施方式所涉及的片构件检查装置对玻璃片的缺陷进行检查的方式的主视图。
图9是对利用本发明所涉及的片构件搬运装置搬运的玻璃片上产生的摆动的振幅与利用现有的装置搬运的玻璃片上产生的摆动的振幅进行比较的图。
图10是表示玻璃片上产生的摆动的振幅的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
<第一实施方式>
图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的片构件搬运装置1、片构件支承装置2以及片构件检查装置的图。另外，图2是图1中的AA′剖面的立体图。
片构件搬运装置1具备片构件支承装置2而作为对片构件进行支承的支承单元，具备移动机构3而作为使片构件支承装置2移动的移动单元。另外，片构件检查装置具备片构件搬运装置1以及线传感器(linesensor)4，通过配置在该片构件的搬运路径上的作为缺陷检查单元的线传感器4来检查由片构件搬运装置1以纵姿态沿搬运方向X(水平方向)搬运的片构件中是否含有缺陷。需要说明的是，在本发明的第一实施方式以及后述的第二实施方式中，以作为片构件而将玻璃片5设为支承、搬运以及检查的对象的情况为例进行说明。
片构件支承装置2具备分别对纵姿态的玻璃片5的上边部51以及下边部52进行支承的夹头(chuck)对10～14。更详细而言，片构件支承装置2具备夹头对10而作为使玻璃片5局部地弯曲变形并且对其进行支承(夹持)的变形支承单元，具备夹头对11～14而作为不使玻璃片5变形而将其支承(夹持)为平坦状的平坦支承单元。由片构件支承装置2支承的玻璃片5被划分为作为局部弯曲的区域的凸条部53(在从背面侧观察时为凹条部)、和其他的作为平坦区域的平坦部54。
移动机构3具备上方框架31、下方框架32、上方导轨33以及下方导轨34。上方框架31以及下方框架32分别是供夹头对10～14固定的棒板状的构件。上方框架31以及下方框架32构成为分别能够沿着上方导轨33以及下方导轨34移动。上方框架31以及下方框架32的驱动源例如由伺服电动机等公知的驱动源构成。优选上方框架31以及下方框架32的宽度尺寸根据玻璃片5的宽度尺寸确定，而上方框架31与下方框架32的分离距离根据玻璃片5的长度尺寸确定。
若更详细地进行说明，则夹头对10中包括变形支承夹头101、102，夹头对11中包括平坦支承夹头111、112，夹头对12中包括平坦支承夹头121、122，夹头对13中包括平坦支承夹头131、132，夹头对14中包括平坦支承夹头141、142。变形支承夹头101以及平坦支承夹头111、121、131、141分别隔着规定间隔而固定配置在上方框架31上。另外，变形支承夹头102以及平坦支承夹头112、122、132、142隔着规定间隔而固定配置在下方框架32上。像这样设置，使得成对的支承夹头沿上下方向对置配置。
变形支承夹头101以及平坦支承夹头111、121、131、141对玻璃片5的上边部51进行夹持，变形支承夹头102以及平坦支承夹头112、122、132、142对玻璃片5的下边部52进行夹持。在该情况下，各支承夹头对在沿着上边部51与下边部52的各边部的方向上分别对置的位置进行支承。在像这样支承玻璃片5的状态下，上方框架31沿着上方导轨33移动，下方框架32沿着下方导轨34移动，从而玻璃片5以纵姿态沿主面方向(图1所示的X方向)移动。
需要说明的是，各支承夹头支承玻璃片5的位置可以任意确定，然而优选是以玻璃片5的主面的中心为基准而点对称的位置。即，平坦支承夹头111与平坦支承夹头142、平坦支承夹头122与平坦支承夹头131分别以玻璃片5的主面的中心为基准而位于点对称的位置，分别存在与平坦支承夹头111对置的平坦支承夹头112、与平坦支承夹头142对置的平坦支承夹头141。另外，优选某个支承夹头对上边部51、下边部52的搬运方向X的前方侧端部以及后方侧端部进行支承。根据这样的结构，能够更稳定地支承以及搬运玻璃片5。
在由变形支承夹头101、102夹持的玻璃片5上形成有凸条部53，所述凸条部53从由变形支承夹头101夹持的位置至由变形支承夹头102夹持的位置而横切玻璃片5的主面。以下，参照图3以及图4对变形支承夹头的结构进行说明。需要说明的是，变形支承夹头101与102具有相同的结构，因此以下作为代表例对变形支承夹头101的结构进行说明。
图3是表示变形支承夹头101的结构的示意图。如图3所示，变形支承夹头101具备能够相互嵌合的弯曲凸部41以及弯曲凹部42。弯曲凸部41具有圆柱面状的嵌合面，该嵌合面的弯曲形状可以是椭圆，也可以是正圆。
图4是表示通过变形支承夹头101使得玻璃片5变形的情况的图。弯曲凸部41以及弯曲凹部42沿玻璃片5的板厚方向移动而进行开闭，从而执行对玻璃片5的上边部51或者下边部52的支承及其解除。在将变形支承夹头101设为开状态而在弯曲凸部41与弯曲凹部42之间配置玻璃片5之后(图4(a))，使弯曲凸部41与弯曲凹部42嵌合为闭状态(图4(b))，从而在玻璃片5上形成凸条部53。变形支承夹头101的开闭机构例如由气缸等公知的机构构成。
需要说明的是，弯曲凸部41以及弯曲凹部42中的至少任一方的与玻璃片5抵接的部位优选例如由橡胶等富于弹性的材料构成。同样地，优选各平坦支承夹头的与玻璃片5抵接的部位也由弹性构件构成。根据这样的结构，在夹持玻璃片5时，能够防止对玻璃片5的夹持位置施加过度的应力，从而能够防止玻璃片5的破损。
线传感器4如图1所示那样配置在玻璃片5的搬运路径上，对玻璃片5中含有的缺陷进行检测。线传感器4例如沿上下方向具备多个CCD等摄像元件。而且，从隔着该玻璃片5而设置在相反侧的未图示的光源对通过线传感器4的前方的搬运中的玻璃片5的面进行照射，且由摄像元件对透过了玻璃片5的光进行接收。光源例如是沿线传感器4设置的LED线光源。线传感器4根据该摄像元件所接收的光量的变化来检查(扫描)玻璃片5中是否含有缺陷。检测的缺陷例如是玻璃片5内部、表面的泡、凹凸小点等。需要说明的是，对玻璃片5的从搬运方向X的前方侧端部至后方侧端部的整个区域逐渐执行该检查(扫描)。
需要说明的是，检查玻璃片5有无缺陷的方法不限于上述方法。例如，也可以在玻璃片5的一个主面侧配置光源以及线传感器4这双方，而由线传感器4接收从玻璃片5反射的光，从而对玻璃片5的缺陷进行检测。另外，光源也可以是沿线传感器4的受光部进行扫描的点光源。需要说明的是，例如能够使用LED、金属卤化物灯、激光光源等作为光源。
如上所述，根据本发明的第一实施方式所涉及的片构件搬运装置1，由于在玻璃片5上形成有凸条部53，因此玻璃片5的弯曲刚性比未形成有凸条部53的情况高，玻璃片5不易变形。其结果是，能够将该玻璃片5的板厚方向的摆动的振幅抑制得较小。因此，容易防止玻璃片5的摆动造成的破损。另外，在片构件上传播的面振动在凸条部53处衰减或者消失，因此能够抑制该面振动。例如，由于在前方端侧的平坦部54A处产生的振动在凸条部53处衰减或者消失，因此不易传播至后方端侧的平坦部54B。通过像这样抑制片构件的摆动、面振动，从而例如在片构件为玻璃的情况下，能够防止裂缝的发展而抑制破损。另外，在通过线传感器4检查缺陷时，容易防止玻璃片5摆动而脱离线传感器4的焦点位置。即，能够高精度地检查玻璃片5有无缺陷。
<第二实施方式>
图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的片构件搬运装置6以及片构件检查装置7的主视图。需要说明的是，在该第二实施方式的说明中，对在上述的第一实施方式中已说明的要素，在第二实施方式的说明所参照的附图中标注相同的附图标记且省略重复说明。
如图5所示，片构件检查装置7通过配置在该玻璃片5的搬运路径上的作为缺陷检查单元的线传感器4来检查由片构件搬运装置6以纵姿态沿搬运方向X(水平方向)搬运的玻璃片5中是否含有缺陷。
片构件搬运装置6具备两组夹头组8、9来作为分别对上边部51与下边部52进行支承(把持)的支承单元组，所述上边部51与下边部52为沿纵姿态的玻璃片5的上下方向对置的一对边部。夹头组8、9分别具有五个夹头81～85、91～95而作为沿上边部51、下边部52相互分离排列的多个支承单元。而且，以5个夹头为一组的夹头组8、9分别对以上边部51的中央部、下边部52的中央部为基准而对称的位置进行支承。并且，夹头组8中的各夹头、夹头组9中的各夹头对沿上下方向对置的位置(上边部51与下边部52的长度方向上的相同的位置)进行支承。基于以上的结构，两夹头组8、9中的各夹头所支承的位置被设为以玻璃片5的面的中心C为基准而点对称的位置。而且，各夹头中，夹头81、91分别对上边部51、下边部52的搬运方向X的前方侧端部51a、52a进行支承，夹头85、95分别对后方侧端部51b、52b进行支承。
另外，在各夹头中，支承上边部51或者下边部52的支承部由沿着玻璃片5的面在上下方向上延伸的一对平板状构件构成。上述的支承部沿板厚方向移动而开闭，从而执行对上边部51或者下边部52的支承(把持)及其解除。而且，在平板状构件中，与上边部51或者下边部52直接抵接的抵接部例如由橡胶等富于弹性的材料构成。
并且，各夹头与第一气缸15中内置的活塞连结。能够从未图示的空气供给装置(例如，气压缩机)将压缩空气送入第一气缸15内，并且能够由未图示的空气吸引装置(例如，真空泵)吸引并排出第一气缸15内存在的空气。而且，由空气供给装置与空气吸引装置来调节工作缸内的气压，利用其压力使工作缸中内置的活塞移动，从而各夹头沿上下方向移动。与该各夹头的移动相伴，上下方向的拉力F(以下，称为第一方向拉力F)作用在玻璃片5上。这里，从各夹头施加在玻璃片5上的第一方向拉力F的大小均相同，可以在能够支承(把持)玻璃片5的范围内任意设定。例如，第一方向拉力F的大小优选设定为，关于一个夹头的每单位支承面积(单位把持面积)的拉力为5～500kN/m2。需要说明的是，在各夹头的每单位支承面积的拉力为5kN/m2以下的情况下，难以得到抑制摆动的振幅的效果。另外，在各夹头的每单位支承面积的拉力为500kN/m2以上的情况下，玻璃片5变得容易从夹头滑脱，从而难以稳定地支承该玻璃片5。
而且，除内置有与夹头83、93连结的活塞的第一气缸15以外，其他的全部第一气缸15与第二气缸16中内置的活塞连结。第二气缸16内的气压与第一气缸15同样地，由未图示的空气供给装置与空气吸引装置来调节。而且，工作缸中内置的活塞由于气压的变化而移动，从而各夹头沿水平方向移动。与该各夹头的移动相伴，拉力P(以下，称为第二方向拉力P)作用在玻璃片5的从搬运方向T的前方侧端部55至后方侧端部56的整个区域内。这里，从各夹头施加在玻璃片5上的第二方向拉力P的大小均相同，可以在能够支承(把持)玻璃片5的范围内任意设定。例如，第二方向拉力P的大小优选设定为，关于一个夹头的每单位支承面积(单位把持面积)的拉力为3～300kN/m2。
另外，第二气缸15分别固定在框架31、32上。需要说明的是，内置有与夹头83、93连结的活塞的第一气缸15分别直接固定在框架31、32上。
以下，参照附图对利用上述的片构件搬运装置6以及片构件检查装置7在以纵姿态搬运玻璃片5的同时对该玻璃片5中是否含有缺陷进行检查的情况下的作用/效果进行说明。
在使第一方向拉力F对搬运中的玻璃片5进行作用时，该玻璃片5的搬运方向X的前方侧端部55以及后方侧端部56处的摆动的振幅被抑制得较小，然而中央部57处的摆动的振幅仍然很大。即，在该状态下，因摆动造成的玻璃片5的板厚方向上的位移在中央部57处达到最大。
本发明的发明人经过潜心研究，结果发现，在从该状态起将第一方向拉力F保持为恒定的大小，同时使第二方向拉力P对玻璃片5进行作用的情况下，如图6所示，中央部57处的摆动的振幅M随着第二方向拉力P的增加而逐渐变小。另外发现，如该图所示，随着第二方向拉力P的增加，前方侧端部55以及后方侧端部56(在该图中，将前方侧端部55以及后方侧端部56一并标注为端部)处的摆动的振幅H与中央部57相反而逐渐变大，不久就超过中央部57处的摆动的振幅M，因摆动造成的玻璃片5向板厚方向上的位移在前方侧端部55或者后方侧端部56处达到最大。
根据上述内容，若将作用于玻璃片5的第一方向拉力F的大小保持恒定，同时调节第二方向拉力P的大小而使中央部57处的摆动的振幅M与前方侧端部55以及后方侧端部56处的摆动的振幅H如该图中由圆圈包围的T点那样成为大致相同，则能够尽可能减小因摆动造成的玻璃片5向板厚方向上的位移的最大值。即，能够在玻璃片5的整体范围内将摆动的振幅抑制得较小。其结果是，能够抑制玻璃片5的破损等。
另外，根据上述的片构件搬运装置6，由于各夹头所支承的位置成为以玻璃片5的面的中心C为基准而点对称的配置，因此能够使第一方向拉力F以及第二方向拉力P平衡良好地作用在玻璃片5的整体范围内。并且，能够使第二方向拉力P在玻璃片5的搬运方向X的前方侧端部55至后方侧端部56的整个区域内进行作用。基于这些内容，能够进一步提高在玻璃片5的整体范围内将摆动的振幅抑制得较小的效果。而且，通过控制第一气缸15内、第二气缸16内存在的空气的气压，能够简便地调节作用于玻璃片5的第一方向拉力F以及第二方向拉力P的大小。
上述设置的结果是，在通过片构件搬运装置6搬运的玻璃片5的整体范围内将摆动的振幅抑制得较小，因此能够通过片构件检查装置7而高精度地检查该玻璃片5的有效面的整个区域内有无缺陷。
另外，若随着检查部位从玻璃片5的搬运方向X的前方侧端部55朝向后方侧端部56转移，使作用在该玻璃片5上的第二方向拉力P的大小如以下说明的方式那样变化，则能够实现更准确的缺陷的检查。
即，如图7所示，当对玻璃片5的搬运方向X的前方侧端部55至中央部57的范围进行检查时，随着检查部位从前方侧端部55向中央部57转移，使第二方向拉力P从零逐渐变大。并且，当对从中央部57至后方侧端部56的范围进行检查时，随着检查部位从中央部57向后方侧端部56转移，使第二方向拉力P逐渐变小而归零。
若这样设置，则如图8a(玻璃片5以外省略图示)所示，当对玻璃片5的搬运方向X的前方侧端部55进行检查时，仅第一方向拉力F作用在该玻璃片5上，从而能够将前方侧端部55处的摆动的振幅抑制得较小。
而且，如图8b(玻璃片5以外省略图示)所示，当检查部位从前方侧端部55向中央部57转移时，第一方向拉力F与第二方向拉力P这双方作用在玻璃片5上，并且在进行中央部57的检查时第二方向拉力P达到最大。由此，能够尽可能将中央部57处的摆动的振幅抑制得较小。
并且，如图8c(玻璃片5以外省略图示)所示，当检查部位转移至后方侧端部56时，与检查前方侧端部55时同样地，仅第一方向拉力F作用在玻璃片5上，从而能够尽可能将后方侧端部56处的摆动的振幅抑制得较小。
如以上那样，若根据检查部位来控制第二方向拉伸应力P的大小，则能够更准确地检查在玻璃片5的有效面的整个区域内有无缺陷。需要说明的是，由于第二方向拉力P变得越大，则中央部57处的摆动的振幅变得越小，因此在该方式中优选对中央部57进行检查时，在不至于使玻璃片5产生破损等不良现象的范围内尽可能增大第二方向拉力P。并且，在进行前方侧端部55、后方侧端部56的检查时，第二方向拉力P的大小不需要一定为零，然而为了将前方侧端部55、后方侧端部56处的摆动的振幅尽可能抑制得较小，从而优选设为零或者大致为零。
这里，本发明所涉及的片构件搬运装置以及片构件检查装置的结构不限定于上述的各实施方式中说明的结构。在上述的第一实施方式中，由5对夹头支承上边部以及下边部，然而只要由包含至少一对变形支承夹头的多个夹头进行支承，则可以任意变更夹头的数量、支承位置。例如，可以具备多对变形支承夹头，在玻璃片上平行地形成多个凸条部。若这样设置，则能够进一步提高玻璃片的弯曲刚性，从而有效地抑制玻璃片的摆动。
另外，在上述的第二实施方式中，分别由5个夹头支承上边部以及下边部，然而只要是至少具备对上边部以及下边部的搬运方向的前方侧端部进行支承的夹头、和对后方侧端部进行支承的夹头的结构即可。另外，支承上边部的夹头的数量与支承下边部的夹头的数量也可以不同。
另外，在上述的各实施方式中，各夹头对以玻璃片的面的中心点为基准而点对称的位置进行支承，然而各夹头的配置也可以不限于此。
另外，在上述的第二实施方式中，在上边部侧与下边部侧这双方设置有第一气缸，通过与第一气缸中内置的活塞连结的夹头的移动，使第一方向拉力作用在玻璃片上。然而，也可以采用仅在上边部侧或者下边部侧的任一方设置有第一气缸的结构。例如，在仅在上边部侧设置有第一气缸的情况下，当第一方向拉力在上边部侧作用于玻璃片时，作为其反作用力第一方向拉力也作用于下边部侧，从而能够得到与上述的实施方式相同的效果。并且，在上述的第二实施方式中，利用气缸而使第一方向拉力与第二方向拉力作用在玻璃片上，然而也可以取代气缸而使用液压缸，还可以通过利用伺服机构的控制而使第一方向拉力与第二方向拉力作用在玻璃片上。
并且，在上述的第二实施方式中，各夹头可以构成为能够独立地控制其向上下方向以及水平方向的移动量。即，用于使各夹头移动的第一气缸以及第二气缸可以构成为能够针对每个夹头独立地控制工作缸内的气压。在设为这样的结构的情况下，能够独立地控制作用于夹头间的拉伸应力的大小。
而且，在上述的各实施方式中，在对玻璃片的沿上下方向对置的上边部与下边部进行支承的状态下沿水平方向搬运该玻璃片，然而也可以在分别对玻璃片的沿水平方向对置的一对边部进行支承的状态下，沿上下方向搬运该玻璃片。另外，在上述的各实施方式中，作为支承单元而使用了夹头，然而不限定于此。例如，也可以使用具有用于使负压作用在与上边部、下边部的抵接部(抵接面)上的多个吸引孔那样的吸附垫等。
需要说明的是，玻璃片的板厚越薄或者其面的面积越大，则在搬运中越容易产生摆动，因此本发明所涉及的片构件搬运装置适用于如下那样的玻璃片的搬运，所述玻璃片的板厚(m)与面积(m2)的比率(板厚/面积)的值优选为0.7×10-3以下，更优选为0.1×10-3以下。
【实施例1】
作为本发明的实施例，利用具有与上述的第一实施方式相同的结构的片构件搬运装置以纵姿态搬运玻璃片，并且对该玻璃片上产生的摆动的振幅进行了验证。以下示出了验证的实施条件。
将搬运的玻璃片的尺寸设为纵：1500mm、横：2000mm、板厚：0.2mm。另外，在分别对玻璃片的上边部、下边部进行支承的夹头组中，将相邻的夹头间的分离距离设为475mm。在以这样的条件在玻璃片上形成凸条部的状态下进行搬运。然后，对搬运中的玻璃片的中央部与搬运方向的后方侧端部处的摆动的振幅的大小进行测定。振幅的大小通过激光位移计测定。
另外，作为比较例，将实施例的片构件搬运装置的变形支承夹头替换成平坦支承夹头，利用具有相同的尺寸的玻璃片在未形成凸条部的状态下进行搬运。然后，对搬运中的玻璃片的中央部与搬运方向的后方侧端部处的摆动的振幅的大小进行测定。
图9示出了对上述实施例以及比较例测定了摆动的振幅的大小的结果。如该图所示，可知在实施例中，在中央部与端部这双方的摆动的振幅比比较例小。基于以上结果，根据本发明所涉及的片构件搬运装置，当以纵姿态搬运玻璃片时，能够在该玻璃片的整体范围内将摆动的振幅抑制得较小。
【实施例2】
作为本发明的实施例，利用具有与上述的第二实施方式相同的结构的片构件搬运装置以纵姿态搬运玻璃片，并且对作用在搬运中的玻璃片上的第一方向拉力以及第二方向拉力与该玻璃片上产生的摆动的振幅之间的关系进行了验证。以下示出了验证的实施条件。
将搬运的玻璃片的尺寸设为纵：1500mm、横：2000mm、板厚：0.2mm。另外，在分别对玻璃片的上边部、下边部进行支承的夹头组中，将相邻的夹头间的分离距离设为475mm。然后，将第一方向拉力的大小设为150N，并且将第二方向拉力的大小设为50N，在使这双方作用在玻璃片上的状态下进行搬运。然后，对搬运中的玻璃片的中央部与搬运方向的后方侧端部的摆动的振幅的大小进行了测定。
另外，作为比较例1，利用与实施例相同的片构件搬运装置、具有与实施例相同的尺寸的玻璃片，在使第一方向拉力与第二方向拉力这双方完全不作用在该玻璃片上的状态(仅由各夹头支承玻璃片的状态)下进行搬运。然后，对搬运中的玻璃片的中央部、搬运方向的后方侧端部处的摆动的振幅的大小进行了测定。
并且，作为比较例2，利用具有与实施例相同的片构件搬运装置、具有与实施例相同的尺寸的玻璃片，在将第一方向拉力的大小设为150N(恒定的大小)且仅使第一方向拉力作用在该玻璃片上的状态下进行了搬运。然后，对搬运中的玻璃片的中央部、搬运方向的后方侧端部处的摆动的振幅的大小进行了测定。
图10示出了对实施例以及比较例测定了摆动的振幅的大小的结果。如该图所示，可知在比较例1中，在中央部、搬运方向的后方侧端部这双方的摆动的振幅比实施例以及比较例2大。
并且，可知在比较例2中，与实施例相比，摆动的振幅在搬运方向的后方侧端部被抑制得较小，另一方面，与实施例相比，摆动的振幅在中央部较大。换言之，在比较例2中，因摆动造成的玻璃片向板厚方向的位移的值在中心部达到最大，并且该最大值比实施例大。
与此相对，在实施例中，摆动的振幅的大小在中央部与搬运方向的后方侧端部处大致相同。另外，因摆动造成的玻璃片向板厚方向的位移在中心部与搬运方向的后方侧端部这双方达到最大，然而该最大值相对于比较例1以及比较例2为较小的值。
该效果基于以下的理由而得到。即，在从仅使大小恒定的第一方向拉力作用在玻璃片上的状态(比较例2的状态)起，使第二方向拉力进行作用的情况下，中央部处的摆动的振幅随着第二方向拉力的增加而逐渐变小。另外，随着第二方向拉力的增加，搬运方向的后方侧端部处的摆动的振幅与中央部相反而逐渐变大。其结果是，通过调节第二方向拉力的大小，能够使中央部与搬运方向的后方侧端部的摆动的振幅大致相同。基于上述内容，根据本发明，当以纵姿态搬运玻璃片时，能够在该玻璃片的整体范围内将摆动的振幅抑制得较小。
附图标记说明
1片构件搬运装置
2片构件支承装置
3移动机构
4线传感器
5玻璃片
6片构件搬运装置
7片构件检查装置
8、9夹头组
11～14夹头对
101、102变形支承夹头
111、112平坦支承夹头
121、122平坦支承夹头
131、132平坦支承夹头
141、142平坦支承夹头
31上方框架
32下方框架
33上方导轨
34下方导轨
41弯曲凸部
42弯曲凹部
51上边部
51a上边部的搬运方向的前方侧端部
51b上边部的搬运方向的后方侧端部
52下边部
52a下边部的搬运方向的前方侧端部
52b下边部的搬运方向的后方侧端部
53凸条部(凹条部)
54平坦部
81～85夹头
91～95夹头
F第一方向拉力
P第二方向拉力

Claims (18)

1.一种片构件搬运装置，其具备：对片构件进行支承的支承单元、和通过使所述支承单元移动而搬运所述片构件的移动单元，所述片构件搬运装置的特征在于，
所述支承单元具备变形支承单元，所述变形支承单元分别对片构件的对置的一侧端部与另一侧端部进行支承，并且通过使所述片构件局部地弯曲变形而形成横切所述片构件的主面的凸条部或凹条部。
2.根据权利要求1所述的片构件搬运装置，其特征在于，
所述变形支承单元具备分别对所述片构件的一侧端部以及另一侧端部进行夹持的一对夹持构件，
所述夹持构件具有构成为能够相互嵌合的弯曲凹部以及弯曲凸部，通过在嵌合的所述弯曲凹部以及所述弯曲凸部之间的间隙夹持所述片构件而形成所述凸条部或所述凹条部。
3.根据权利要求2所述的片构件搬运装置，其特征在于，
所述弯曲凹部以及所述弯曲凸部中的至少任一方由弹性构件构成。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的片构件搬运装置，其特征在于，
所述片构件搬运装置具备多个所述变形支承单元，在所述片构件上平行地形成多个所述凸条部或所述凹条部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的片构件搬运装置，其特征在于，
所述片构件搬运装置还具备将所述片构件的端部支承为平坦状的多个平坦支承单元。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的片构件搬运装置，其特征在于，
所述片构件由厚度为1mm以下的呈矩形状的平板玻璃构成，
所述变形支承单元分别对该片构件的上端边部以及下端边部进行支承，以使所述片构件成为直立姿态，
所述移动单元使所述变形支承单元沿所述片构件的主面方向移动。
7.一种片构件检查装置，其特征在于，
通过配置在片构件的搬运路径上的缺陷检查单元来检查由权利要求1至6中任一项所述的片构件搬运装置搬运的所述片构件中是否含有缺陷。
8.一种片构件支承装置，其特征在于，
具备变形支承单元，所述变形支承单元分别对片构件的对置的一侧边部与另一侧边部进行夹持，并且通过使所述片构件局部地弯曲变形而形成从所述一侧边部向所述另一侧边部延伸的凸条部或凹条部。
9.一种片构件搬运方法，其特征在于，具备：
分别对片构件的对置的一侧端部与另一侧端部进行支承，并且通过使所述片构件局部地弯曲变形而形成从所述一侧边部向所述另一侧边部延伸的凸条部或凹条部的步骤；和
在形成了所述凸条部或所述凹条部的状态下搬运所述片构件的步骤。
10.一种片构件搬运装置，其中，将沿着一个边部相互分离排列的多个支承单元设为一组支承单元组，由两组支承单元组对纵姿态的片构件的对置的一对边部进行支承，沿着所述边部的长度方向搬运所述片构件，所述片构件搬运装置的特征在于，
所述两组支承单元组在对所述片构件的一对边部进行支承的状态下，使拉力作用于该片构件的一对边部的彼此之间，并且，
各所述支承单元组使拉力作用于多个支承单元中的至少如下两个支承单元的彼此之间，即，处于对所述片构件的一个边部的一端部进行支承的状态的支承单元、与处于对另一端部进行支承的状态的支承单元的彼此之间。
11.根据权利要求10所述的片构件搬运装置，其特征在于，
各所述支承单元组的多个支承单元所支承的位置以一个边部的中央部为基准而对称，并且，
一侧的支承单元组中的支承单元与另一侧的支承单元组中的支承单元对所述一对边部的长度方向的相同位置进行支承。
12.根据权利要求10或11所述的片构件搬运装置，其特征在于，
各所述支承单元组以一个边部的中央部为基准而使拉力作用于全部的相邻的支承单元的彼此之间。
13.根据权利要求10至12中任一项所述的片构件搬运装置，其特征在于，
所述片构件搬运装置通过气压或液压来调节由支承单元作用于所述片构件的拉力的大小。
14.一种片构件检查装置，其特征在于，
通过配置在片构件的搬运路径上的缺陷检查单元来检查由权利要求10至13中任一项所述的片构件搬运装置搬运的所述片构件中是否含有缺陷。
15.根据权利要求14所述的片构件检查装置，其特征在于，
所述缺陷检查单元对所述片构件的有效面进行扫描而检查，并且，
各所述支承单元组根据所述片构件的检查部位来改变作用于沿着一个边部相邻的支承单元的彼此之间的拉力的大小。
16.根据权利要求14或15所述的片构件检查装置，其特征在于，
在所述片构件搬运装置搬运该片构件的同时，所述缺陷检查单元对所述片构件的有效面的整个区域进行检查。
17.根据权利要求16所述的片构件检查装置，其特征在于，
当对所述片构件的搬运方向的前方侧端部至中央部的范围进行检查时，随着检查部位从所述搬运方向的前方侧端部向中央部转移，各所述支承单元组使作用于一个边部的相邻的支承单元的彼此之间的拉力逐渐增大，并且，
当对所述片构件的搬运方向的中央部至后方侧端部的范围进行检查时，随着检查部位从所述搬运方向的中央部向后方侧端部转移，各所述支承单元组使作用于一个边部的相邻的支承单元的彼此之间的拉力逐渐减小。
18.一种片构件搬运方法，其中，将沿着一个边部相互分离排列的多个支承单元设为一组支承单元组，由两组支承单元组对纵姿态的片构件的对置的一对边部进行支承，沿着所述边部的长度方向搬运所述片构件，所述片构件搬运方法的特征在于，
在所述片构件的搬运时，所述两组支承单元组在对所述片构件的一对边部进行支承的状态下，使拉力作用于该片构件的一对边部的彼此之间，并且，
各所述支承单元组使拉力作用于多个支承单元中的至少如下两个支承单元的彼此之间，即，处于对所述片构件的一个边部的一端部进行支承的状态的支承单元、与处于对另一端部进行支承的状态的支承单元的彼此之间。
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