JP6119398B2 - 板ガラス搬送装置、及び板ガラス搬送方法、並びに板ガラス検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、板ガラスを縦姿勢で搬送する板ガラス搬送装置、及び板ガラス搬送方法、並びに板ガラスを縦姿勢で搬送しつつ、当該板ガラスの検査を実施する板ガラス検査装置に関する。

周知のように、フラットパネルディスプレイや太陽電池等に代表される板ガラス製品の製造工程において、板ガラスに含まれる欠陥の有無を検査するような場合には、板ガラスを縦姿勢で搬送しつつ、搬送経路に設置されたカメラ等の光学機器により、当該板ガラスを、その面に沿って走査する手法が広く用いられている。

ところで、近年、板ガラスに対する薄肉化への要請が高まっており、例えば、その板厚が３００μｍ以下であるような薄板ガラスが、大量に製造されるに至っている。このことに起因して、上述のような手法によって板ガラスの検査を実施する場合には、下記のような問題が発生している。

詳述すると、薄肉化された板ガラスを縦姿勢で搬送した場合、例えば、当該板ガラスの表面側と裏面側との気圧差等に起因して揺れが生じやすく、また、揺れの振幅が大きくなりやすい。そのため、揺れによって板厚方向に変位した部位が、カメラの焦点から外れやすくなり、欠陥の有無を正確に検査することができない場合がある。そこで、このような問題を解決するための技術が特許文献１に開示されている。

同文献には、縦姿勢の板ガラスにおける上辺部と下辺部とを、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持し、板ガラスを辺部の長手方向に沿って搬送する板ガラス搬送装置において、二組の支持手段群が、板ガラスの上辺部と下辺部とを支持した状態で、両辺部の相互間に引張力を作用させるようにした構成が開示されている。

特開２００９−２３６７７１号公報

特許文献１に開示された板ガラス搬送装置によれば、搬送中の板ガラスに対し、その上下方向に引張力を作用させることが可能となる。そのため、この引張力によって、揺れの振幅が大きくなることを抑制できると共に、当該装置を用いて板ガラスの検査を実施すれば、欠陥の検出精度を向上させ得るものと期待された。しかしながら、この装置を用いた検査によっても、未だ下記のような解決すべき問題が残存している。

すなわち、この装置によれば、板ガラスにおける搬送方向の前方側端部、及び後方側端部では、揺れの振幅を小さく抑制できるものの、中央部では、振幅が未だ大きいままであり、抑制の効果が十分に機能していなかった。そのため、この装置を用いて検査を実施した場合であっても、欠陥を精度よく検出できる部位と、低い精度でしか検出できない部位とが発生し、板ガラスの全体で検出の精度を高めることは困難であった。

さらには、上述のような問題に加えて、揺れの振幅を小さく抑制できない場合には、搬送中の板ガラスが揺れにより湾曲した際に、湾曲した部位に引張応力が作用する。その結果、この引張応力によって、当該部位に含まれた微小クラックが進展してしまう恐れがあり、板ガラスの破損を招くことも危惧される。

上記事情に鑑みなされた本発明は、板ガラスを縦姿勢で搬送する際に、当該板ガラスの全体で揺れの振幅を小さく抑制することを技術的課題とする。

上記課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、縦姿勢の板ガラスにおける対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持し、前記板ガラスを前記辺部の長手方向に沿って搬送する板ガラス搬送装置において、前記二組の支持手段群は、前記板ガラスの一対の辺部を支持した状態で、該板ガラスにおける一対の辺部の相互間に引張力を作用させるように構成されると共に、前記各支持手段群は、複数の支持手段のうち、少なくとも、前記板ガラスにおける一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力を作用させるように構成されていることに特徴付けられる。

二組の支持手段群が、板ガラスの一対の辺部を支持した状態で、当該板ガラスにおける一対の辺部の相互間に引張力（以下、第一方向引張力という）を作用させると、上述のように、板ガラスにおける搬送方向の前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅を小さくできる。そして、この状態から、各支持手段群が、複数の支持手段のうち、少なくとも、板ガラスにおける一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力（以下、第二方向引張力という）を作用させた場合、中央部での揺れの振幅についても、小さく抑制できた。これらのことから、板ガラスに第一方向引張力を作用させた状態で、第二方向引張力を作用させれば、揺れに起因した板ガラスの板厚方向への変位の最大値を、可及的に小さくすることができる。すなわち、板ガラスの全体で揺れの振幅を小さく抑制することが可能となる。なお、このように第一方向引張力と第二方向引張力との双方を作用させた場合、前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅は、第一方向引張力のみを作用させた場合と比較して大きくなる。さらに、第二方向引張力が大きくなる程、中央部での揺れの振幅は漸次に小さくなり、逆に前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅は漸次に大きくなる。

上記の構成において、前記各支持手段群は、複数の支持手段の支持する位置が、一の辺部の中央部を基準に対称とされると共に、一方の支持手段群に属する支持手段と、他方の支持手段群に属する支持手段とが、前記一対の辺部の長手方向における同位置を支持するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、一方の支持手段群に属する支持手段と、他方の支持手段群に属する支持手段とが支持する位置は、板ガラスの面における中心を基準に点対称な配置となる。これにより、第一方向引張力、及び第二方向引張力を、板ガラスの全体においてバランスよく作用させることができ、揺れの振幅を小さく抑制する効果を、より向上させることが可能であった。

上記の構成において、前記各支持手段群は、一の辺部の中央部を基準にして全ての隣り合う支持手段の相互間に引張力を作用させるように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、板ガラスにおける搬送方向の前方側端部から後方側端部までの全域に、第二方向引張力を作用させることができ、これに起因して、板ガラスの全体で揺れの振幅を小さく抑制する効果を、さらに向上させることが可能であった。

上記の構成において、支持手段により前記板ガラスに作用させる引張力の大きさを、空気圧、又は油圧によって調整するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、圧力の大きさにより、板ガラスに作用する第一方向引張力、及び第二方向引張力の大きさを簡便に調整することが可能となる。

また、上記の構成において、板ガラス搬送装置により搬送される前記板ガラスに含まれる欠陥の有無を、前記板ガラスの搬送経路に配置された欠陥検査手段により検査するように構成することで、板ガラス検査装置とすることができる。

上記の構成において、前記欠陥検査手段は、前記板ガラスの有効面を走査して検査すると共に、前記各支持手段群は、一の辺部に沿って隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力の大きさを、前記板ガラスの検査部位に応じて変動させるように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、隣り合う支持手段の相互間に作用する第二方向引張力の大きさを変動させることで、板ガラスの搬送方向における前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅と、中央部での揺れの振幅とについて、その大小を制御することができる。そのため、検査部位の変遷に伴って、当該部位における揺れの振幅を、制御して小さく抑制すれば、欠陥の有無を精度よく検査することが可能となる。

上記の構成において、前記欠陥検査手段は、前記板ガラスにおける有効面の全域を、該板ガラスを搬送させながら検査するように構成されていることが好ましい。

このような構成によれば、板ガラス搬送装置によって搬送される板ガラスの全体において、揺れの振幅を小さく抑制できるため、当該板ガラスにおける有効面の全域について、欠陥の有無を精度よく検査することが可能となる。

上記の構成において、前記板ガラスにおける搬送方向の前方側端部から中央部までを検査する際に、前記各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力を、検査部位が前記搬送方向の前方側端部から中央部に移行するに連れて漸次に大きくすると共に、前記板ガラスにおける搬送方向の中央部から後方側端部までを検査する際に、前記各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる引張力を、検査部位が前記搬送方向の中央部から後方側端部に移行するに連れて漸次に小さくするように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、板ガラスにおける搬送方向の前方側端部、及び後方側端部を検査する際には、当該板ガラスに作用する第一方向引張力の影響が大きくなり、前方側端部、及び後方側端部での揺れの振幅を小さく抑制することができる。一方、中央部を検査する際には、板ガラスに第一方向引張力と第二方向引張力との双方が作用するため、中央部での揺れの振幅を小さく抑制することができる。これらのことから、板ガラスにおける有効面の全域で、欠陥の有無を、より正確に検査することが可能である。ここで、前方側端部、及び後方側端部を検査する際においては、第二方向引張力を零とし、第一方向引張力のみを板ガラスに作用させることが好ましい。また、中央部を検査する際には、第二方向引張力を、板ガラスに破損等の不具合を生じない範囲で可及的に大きくすることが好ましい。このようにすれば、それぞれの部位において、揺れの振幅をさらに小さく抑制することができ、より一層正確な検査が可能となる。

さらに、上記課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、縦姿勢の板ガラスにおける対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持させ、前記板ガラスを前記辺部の長手方向に沿って搬送する板ガラス搬送方法において、前記板ガラスの搬送時に、前記二組の支持手段群が、前記板ガラスの一対の辺部を支持した状態で、該板ガラスにおける一対の辺部の相互間に引張力を作用させると共に、前記各支持手段群が、複数の支持手段のうち、少なくとも、前記板ガラスにおける一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に引張力を作用させることに特徴付けられる。

このような方法によれば、上記の板ガラス搬送装置について、既に述べた事項と同様の作用効果を享受することが可能となる。

以上のように、本発明によれば、板ガラスを縦姿勢で搬送する際に、当該板ガラスの全体で揺れの振幅を小さく抑制することが可能となる。

本発明の実施形態に係る板ガラス搬送装置、及び板ガラス検査装置を示す側面図である。 板ガラスに作用する第二方向引張力と、当該板ガラスに発生する揺れの振幅との関係を示す図である。 板ガラスにおける検査部位と、当該板ガラスに作用する第二方向引張力との関係を示す図である。 本発明の実施形態に係る板ガラス検査装置を用いて、板ガラスの欠陥を検査する態様を示す側面図である。 板ガラスに発生する揺れの振幅を示す図である。

以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して説明する。

図１は、本発明の実施形態に係る板ガラス搬送装置、及び板ガラス検査装置を示す側面図である。同図に示すように、板ガラス検査装置は、板ガラス搬送装置１によって縦姿勢で搬送方向Ｔ（水平方向）に搬送される板ガラスＧに含まれた欠陥の有無を、当該板ガラスＧの搬送経路に配置された欠陥検査手段としてのラインセンサー６により検査するように構成されている。ここで、搬送中の板ガラスＧは、その板厚が薄くなる程、また、その面の面積が大きくなる程、揺れが発生しやすくなるため、この板ガラス搬送装置１は、板厚[ｍ]と面積[ｍ²]との比率（板厚／面積）の値が、好ましくは０．７×１０^-3以下、より好ましくは０．１×１０^-3以下であるような板ガラスＧの搬送に用いることが好適である。

板ガラス搬送装置１は、縦姿勢の板ガラスＧの上下方向で対向した一対の辺部である上辺部Ｇｕと下辺部Ｇｄとを、それぞれ支持（把持）する支持手段群として、二組のチャック群２，３を備える。チャック群２，３の各々は、上辺部Ｇｕ、下辺部Ｇｄに沿って相互に離間して配列された複数の支持手段として、５体のチャック２１〜２５，３１〜３５を有している。そして、５体のチャックを一組としたチャック群２，３の各々が、上辺部Ｇｕの中央部、下辺部Ｇｄの中央部を基準に、対称な位置を支持する構成となっている。さらに、チャック群２に属する各チャックと、チャック群３に属する各チャックとが、上下方向で対向する位置（上辺部Ｇｕと下辺部Ｇｄとの長手方向における同位置）を支持している。以上の構成により、両チャック群２，３に属する各チャックの支持する位置は、板ガラスＧの面における中心Ｃを基準に、点対称な位置とされている。加えて、各チャックのうち、チャック２１，３１は、それぞれ上辺部Ｇｕ、下辺部Ｇｄにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｕｆ，Ｇｄｆを支持し、チャック２５，３５は、それぞれ後方側端部Ｇｕｒ，Ｇｄｒを支持するように構成されている。

また、各チャックにおいて、上辺部Ｇｕ、或いは、下辺部Ｇｄを支持する支持部は、板ガラスＧの面に沿って上下方向に延びた一対の平板状部材で構成されている。これら支持部が板厚方向に移動して開閉することで、上辺部Ｇｕ、或いは、下辺部Ｇｄの支持（把持）と、その解除とが実行される。加えて、平板状部材において、上辺部Ｇｕ、或いは、下辺部Ｇｄと直接に当接する当接部は、例えば、ゴム等の弾性に富んだ材料で構成される。

さらに、各チャックは、第一エアシリンダー４に内包されるピストンと連結されている。第一エアシリンダー４内には、図示省略のエア供給装置（例えば、エアコンプレッサー）から圧縮空気を送り込むことが可能であると共に、図示省略のエア吸引装置（例えば、真空ポンプ）により第一エアシリンダー４内に存する空気を吸引して排出することが可能となっている。そして、エア供給装置とエア吸引装置とにより、シリンダー内の空気圧を調整し、その圧力でシリンダーに内包されたピストンを移動させることで、各チャックが上下方向に移動する。この各チャックの移動に伴って、板ガラスＧに上下方向の引張力Ｆ（以下、第一方向引張力Ｆという）が作用する。ここで、各チャックから板ガラスＧに負荷される第一方向引張力Ｆの大きさは、いずれも同じであり、板ガラスＧを支持（把持）可能な範囲で任意に設定して良い。例えば、第一方向引張力Ｆの大きさは、チャック一体につき、単位支持面積（単位把持面積）当たりの引張力が、５〜５００ｋＮ／ｍ²となるよう設定することが好ましい。なお、各チャックの単位支持面積当たりの引張力が、５ｋＮ／ｍ²以下である場合には、揺れの振幅を抑制する効果を得難くなる。また、各チャックの単位支持面積当たりの引張力が、５００ｋＮ／ｍ²以上である場合には、板ガラスＧがチャックから滑脱し易くなり、当該板ガラスＧを安定して支持し難くなる。

加えて、チャック２３，３３と連結されたピストンを内包する第一エアシリンダー４を除き、他の全ての第一エアシリンダー４は、第二エアシリンダー５に内包されたピストンと連結されている。第二エアシリンダー５内の空気圧は、第一エアシリンダー４と同様にして、図示省略のエア供給装置とエア吸引装置とによって調整されている。そして、空気圧の変化により、シリンダーに内包されたピストンが移動することで、各チャックが水平方向に移動する。この各チャックの移動に伴って、板ガラスＧにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｆから後方側端部Ｇｒまでの全域に引張力Ｐ（以下、第二方向引張力Ｐという）が作用する。ここで、各チャックから板ガラスに負荷される第二方向引張力Ｐの大きさは、いずれも同じであり、ガラスを支持（把持）可能な範囲で任意に設定して良い。例えば、第二方向引張力Ｐの大きさは、チャック一体につき、単位支持面積（単位把持面積）当たりの引張力が、３〜３００ｋＮ／ｍ²となるよう設定することが好ましい。

また、第二エアシリンダー５の各々は、板ガラスＧの上辺部Ｇｕ、下辺部Ｇｄに沿って水平方向に延びた一対のフレームＦｕ，Ｆｄに固定されている。このフレームＦｕ，Ｆｄが図示省略のガイドレールに沿って移動することにより、板ガラスＧが上辺部Ｇｕ、及び下辺部Ｇｄに沿った搬送方向Ｔ（水平方向）に搬送される構成となっている。なお、チャック２３，３３と連結されたピストンを内包する第一エアシリンダー４は、それぞれフレームＦｕ，Ｆｄに直接固定されている。

ラインセンサー６は、板ガラスＧの搬送経路に配置されると共に、上下方向に沿って並べられた複数のカメラ６ａを備えている。そして、ラインセンサー６の前を通過する搬送中の板ガラスＧの面に対し、当該板ガラスＧを挟んで反対側に設置された図示省略の光源から照射され、板ガラスＧを透過した光をカメラ６ａで受光する。このカメラ６ａが受光する光量の変化に基づいて、板ガラスＧの有効面に含まれた欠陥の有無を検査（走査）するように構成されている。ここで、光源としては、例えば、ラインセンサー６に沿って設けられたＬＥＤライン光源を使用することができる。また、検出される欠陥は、例えば、板ガラスＧ内部や表裏面の泡、ブツ等である。なお、この検査（走査）は、板ガラスＧにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｆから中央部Ｇｃを通過して後方側端部Ｇｒまでの全域に対して、漸次に実行される。

なお、板ガラスＧの欠陥の有無を検査するための構成は、上記のような構成に限定されるものではない。例えば、板ガラスＧの表面側、或いは、裏面側に光源、及びラインセンサー６の双方を配置し、板ガラスＧの面から反射された光をラインセンサー６で受光することによって、板ガラスＧの欠陥を検出する構成としても良い。また、光源は、ラインセンサー６の受光部に沿って走査する点光源であっても良い。なお、光源としては、例えば、ＬＥＤ、メタルハライドランプ、レーザ光源等を用いることができる。

以下、上記の板ガラス搬送装置、及び板ガラス検査装置を用いて、板ガラスを縦姿勢で搬送しつつ、当該板ガラスに含まれる欠陥の有無を検査する場合の作用効果について、添付の図面を参照して説明する。

搬送中の板ガラスＧに対し、第一方向引張力Ｆを作用させると、当該板ガラスＧにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｆ、及び後方側端部Ｇｒでの揺れの振幅は小さく抑制されるが、中央部Ｇｃでの揺れの振幅は大きいままとなる。すなわち、この状態においては、揺れに起因した板ガラスＧの板厚方向への変位は、中央部Ｇｃにおいて最大となる。

本発明者は、鋭意研究の結果、この状態から、第一方向引張力Ｆを一定の大きさに保持しつつ、板ガラスＧに対し、第二方向引張力Ｐを作用させた場合、図２に示すように、第二方向引張力Ｐの増加に伴い、中央部Ｇｃでの揺れの振幅Ａが漸次に小さくなることを知見するに至った。また、同図に示すように、第二方向引張力Ｐの増加に伴い、前方側端部Ｇｆ、及び後方側端部Ｇｒ（同図において、前方方端部Ｇｆ、及び後方側端部Ｇｒを合わせて端部と表記する）での揺れの振幅Ｂは、中央部Ｇｃとは逆に、漸次に大きくなり、やがて中央部Ｇｃでの揺れの振幅Ａを上回り、揺れに起因した板ガラスＧの板厚方向への変位が、前方側端部Ｇｆ、或いは、後方側端部Ｇｒにおいて最大となることを見出した。

これらのことから、板ガラスＧに作用する第一方向引張力Ｆの大きさを一定に保持しつつ、第二方向引張力Ｐの大きさを調整して、中央部Ｇｃにおける揺れの振幅Ａと、前方側端部Ｇｆ、及び後方側端部Ｇｒにおける揺れの振幅Ｂとが、同図に丸で囲ったＤ点のように、略同一となるようにすれば、揺れに起因した板ガラスＧの板厚方向への変位の最大値を、可及的に小さくすることができる。すなわち、板ガラスＧの全体で揺れの振幅を小さく抑制することが可能となる。

また、上記の板ガラス搬送装置１によれば、各チャックの支持する位置が、板ガラスＧの面における中心Ｃを基準に点対称な配置となっているため、第一方向引張力Ｆ、及び第二方向引張力Ｐを、板ガラスＧの全体においてバランスよく作用させることができる。さらには、板ガラスＧにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｆから後方側端部Ｇｒまでの全域に、第二方向引張力Ｐを作用させることができる。これらのことに起因して、板ガラスＧの全体で揺れの振幅を小さく抑制する効果を、さらに高めることが可能となる。加えて、第一エアシリンダー４内、第二エアシリンダー５内に存する空気の空気圧を制御することにより、板ガラスＧに作用させる第一方向引張力Ｆ、及び第二方向引張力Ｐの大きさを簡便に調整することができる。

これらの結果、板ガラス搬送装置１によって搬送される板ガラスＧの全体において、揺れの振幅が小さく抑制されるため、板ガラス検査装置により、当該板ガラスＧにおける有効面の全域について、欠陥の有無を精度よく検査することが可能となる。

また、板ガラスＧにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｆから後方側端部Ｇｒに向かって検査部位が移行するのに伴って、当該板ガラスＧに作用させる第二方向引張力Ｐの大きさを、以下に説明する態様のように変化させれば、さらに正確な欠陥の検査が可能となる。

すなわち、図３に示すように、板ガラスＧにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｆから中央部Ｇｃまでを検査する際、検査部位が前方側端部Ｇｆから中央部Ｇｃに移行するに連れて、第二方向引張力Ｐを零から漸次に大きくする。さらに、中央部Ｇｃから後方側端部Ｇｒまでを検査する際、検査部位が中央部Ｇｃから後方側端部Ｇｒに移行するに連れて、第二方向引張力Ｐを漸次に小さくして零とする。

このようにすれば、図４（ａ）（板ガラスＧ以外は図示省略）に示すように、板ガラスＧにおける搬送方向Ｔの前方側端部Ｇｆを検査する際には、当該板ガラスＧに第一方向引張力Ｆのみが作用し、前方側端部Ｇｆでの揺れの振幅を可及的に小さく抑制することができる。

そして、図４（ｂ）（板ガラスＧ以外は図示省略）に示すように、検査部位が、前方側端部Ｇｆから中央部Ｇｃに移行する際には、板ガラスＧに第一方向引張力Ｆと第二方向引張力Ｐとの双方が作用すると共に、中央部Ｇｃの検査時に第二方向引張力Ｐが最大となる。これにより、中央部Ｇｃでの揺れの振幅を可及的に小さく抑制することができる。

さらに、図４（ｃ）（板ガラスＧ以外は図示省略）に示すように、検査部位が、後方側端部Ｇｒに移行した際には、前方側端部Ｇｆを検査する際と同様に、第一方向引張力Ｆのみが板ガラスＧに作用し、後方側端部Ｇｒでの揺れの振幅を可及的に小さく抑制することができる。

以上のように、検査部位に応じて第二方向引張応力Ｐの大きさを制御すれば、板ガラスＧにおける有効面の全域で、欠陥の有無を、より正確に検査することが可能である。なお、第二方向引張力Ｐが大きくなる程、中央部Ｇｃでの揺れの振幅は小さくなるため、この態様において、中央部Ｇｃを検査する際には、第二方向引張力Ｐを、板ガラスＧに破損等の不具合を生じない範囲で可及的に大きくすることが好ましい。さらに、前方側端部Ｇｆ、後方側端部Ｇｒの検査時において、第二方向引張力Ｐの大きさは、必ずしも零である必要はないが、前方側端部Ｇｆ、後方側端部Ｇｒでの揺れの振幅を可及的に小さく抑制するため、零、或いは、略零とすることが好ましい。

ここで、本発明に係る板ガラス搬送装置、及び板ガラス検査装置の構成は、上記の実施形態で説明した構成に限定されるものではない。上記の実施形態においては、上辺部、及び下辺部を、それぞれ５体のチャックで支持しているが、少なくとも上辺部、及び下辺部における搬送方向の前方側端部を支持するチャックと、後方側端部を支持するチャックとが備えられる構成であればよい。また、上辺部を支持するチャックの数と、下辺部を支持するチャックの数とが異なっていてもよい。さらに、上記の実施形態においては、各チャックが、板ガラスの面における中心Ｃを基準に、点対称な位置を支持する構成となっているが、前方側端部を支持するチャックと、後方側端部を支持するチャックとを除いた他のチャックは、必ずしも点対称な位置を支持していなくともよい。

また、上記の実施形態においては、上辺部側と下辺部側との双方に、第一エアシリンダーが備えられ、第一エアシリンダーに内包されたピストンと連結されたチャックの移動により、第一方向引張力を板ガラスに作用させている。しかしながら、第一エアシリンダーは、上辺部側、或いは、下辺部側のいずれか一方にのみ備えられる構成としてもよい。例えば、上辺部側にのみ第一エアシリンダーが備えられている場合、上辺部側において第一方向引張力が板ガラスに作用すると、その反力として下辺部側にも第一方向引張力が作用するため、上記の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、上記の実施形態では、エアシリンダーを用いて、板ガラスに第一方向引張力と第二方向引張力とを作用させているが、エアシリンダーに代えて、油圧シリンダーを使用してもよいし、サーボ機構を用いた制御により、第一方向引張力と第二方向引張力とを板ガラスに作用させるようにしてもよい。

また、各チャックは、その上下方向、及び水平方向への移動量を個別に制御可能に構成されていて良い。すなわち、各チャックを移動させるための第一エアシリンダー、及び第二エアシリンダーは、シリンダー内の空気圧がチャック毎に個別に制御可能に構成されていて良い。このような構成とした場合、チャック間に作用する引張応力の大きさを個別に制御することができる。

加えて、上記の実施形態においては、板ガラスの上下方向で対向した上辺部と下辺部とを支持した状態で、当該板ガラスを水平方向に搬送する構成となっているが、板ガラスの水平方向で対向した一対の辺部をそれぞれ支持した状態で、当該板ガラスを上下方向に搬送する構成としてもよい。また、上記の実施形態においては、支持手段としてチャックを用いているが、これに限定されるものではない。例えば、上辺部、下辺部との当接部（当接面）に負圧を作用させるための多数の吸引孔を有するような吸着パッド等を用いてもよい。

本発明の実施例として、上記の実施形態と同一の構成を有する板ガラス搬送装置を用いて、板ガラスを縦姿勢で搬送すると共に、搬送中の板ガラスに作用する第一方向引張力、及び第二方向引張力と、当該板ガラスに発生する揺れの振幅との関係を検証した。以下に検証の実施条件を示す。

搬送される板ガラスの寸法は、縦：１５００ｍｍ、横：２０００ｍｍ、板厚：０．２ｍｍとした。また、板ガラスの上辺部、下辺部をそれぞれ支持するチャック群において、隣り合うチャック間の離間距離は、４７５ｍｍとした。そして、第一方向引張力の大きさを１５０Ｎとすると共に、第二方向引張力の大きさを５０Ｎとして、これらの双方を板ガラスに作用させた状態で搬送した。そして、搬送中の板ガラスにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。

また、比較例１として、実施例と同一の板ガラス搬送装置、同一のサイズを有する板ガラスを用いて、当該板ガラスに第一方向引張力と第二方向引張力との双方を一切作用させない状態（板ガラスを各チャックで支持しただけの状態）で搬送した。そして、搬送中の板ガラスにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。

さらには、比較例２として、実施例と同一の板ガラス搬送装置、同一のサイズを有する板ガラスを用いて、当該板ガラスに第一方向引張力の大きさを１５０Ｎ（一定の大きさ）として、第一方向引張力のみを作用させた状態で搬送した。そして、搬送中の板ガラスにおける中央部と、搬送方向の後方側端部とにおける揺れの振幅の大きさを測定した。

実施例、及び比較例について、揺れの振幅の大きさを測定した結果を図５に示す。同図に示すように、比較例１では、中央部と、搬送方向の後方側端部との双方において、実施例、及び比較例２よりも揺れの振幅が大きくなっていることが分かる。

さらに、比較例２では、搬送方向の後方側端部においては、実施例よりも揺れの振幅が小さく抑制されているが、一方、中央部においては、実施例よりも揺れの振幅が大きくなっていることが分かる。つまり、比較例２において、揺れに起因した板ガラスの板厚方向への変位は、中心部において、その値が最大となると共に、この最大値が実施例と比較して、大きくなっている。

これらに対し、実施例では、中央部と、搬送方向の後方側端部とで、揺れの振幅の大きさが略同一となっている。また、揺れに起因した板ガラスの板厚方向への変位は、中心部と、搬送方向の後方側端部との双方で最大となるが、この最大値は、比較例１及び比較例２に対して、小さい値となっている。

この効果は、以下の理由により得られる。すなわち、一定の大きさの第一方向引張力のみを板ガラスに作用させた状態（比較例２の状態）から、第二方向引張力を作用させた場合、第二方向引張力の増加に伴い、中央部での揺れの振幅が漸次に小さくなる。また、第二方向引張力の増加に伴い、搬送方向の後方側端部での揺れの振幅は、中央部とは逆に、漸次に大きくなる。その結果、第二方向引張力の大きさを調整することで、中央部と、搬送方向の後方側端部との揺れの振幅を、略同一とすることができる。以上のことから、本発明によれば、板ガラスを縦姿勢で搬送する際に、当該板ガラスの全体において、揺れの振幅を小さく抑制することができる。

１ 板ガラス搬送装置
２ チャック群
２１ チャック
２２ チャック
２３ チャック
２４ チャック
２５ チャック
３ チャック群
３１ チャック
３２ チャック
３３ チャック
３４ チャック
３５ チャック
４ 第一エアシリンダー
５ 第二エアシリンダー
６ ラインセンサー
６ａ カメラ
Ｔ 搬送方向
Ｇ 板ガラス
Ｇｕ 板ガラスの上辺部
Ｇｕｆ 上辺部における搬送方向の前方側端部
Ｇｕｒ 上辺部における搬送方向の後方側端部
Ｇｄ 板ガラスの下辺部
Ｇｄｆ 下辺部における搬送方向の前方側端部
Ｇｄｒ 下辺部における搬送方向の後方側端部
Ｇｃ 板ガラスの中央部
Ｇｆ 板ガラスにおける搬送方向の前方側端部
Ｇｒ 板ガラスにおける搬送方向の後方側端部
Ｆ 第一方向引張力
Ｐ 第二方向引張力
Ｃ 板ガラスの面における中心
Ｆｕ フレーム
Ｆｄ フレーム

Claims (9)

1. 縦姿勢の板ガラスにおける対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持し、前記板ガラスを前記辺部の長手方向に沿って搬送する板ガラス搬送装置において、
   前記二組の支持手段群は、前記板ガラスの一対の辺部を支持した状態で、該板ガラスにおける一対の辺部の相互間に、両辺部を結ぶ方向に沿って働く第一方向引張力を作用させるように構成されると共に、
   前記各支持手段群は、複数の支持手段のうち、少なくとも、前記板ガラスにおける一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に、前記辺部の長手方向に沿って働く第二方向引張力を作用させるように構成され、
   前記第一方向引張力の大きさと前記第二方向引張力の大きさとが、個別に調節可能であることを特徴とする板ガラス搬送装置。
2. 前記各支持手段群は、複数の支持手段の支持する位置が、一の辺部の中央部を基準に対称とされると共に、
   一方の支持手段群に属する支持手段と、他方の支持手段群に属する支持手段とが、前記一対の辺部の長手方向における同位置を支持するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の板ガラス搬送装置。
3. 前記各支持手段群は、一の辺部の中央部を基準にして全ての隣り合う支持手段の相互間に前記第二方向引張力を作用させるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の板ガラス搬送装置。
4. 前記第一方向引張力と、該第一方向引張力と直交する方向に沿って働く前記第二方向引張力とを、それぞれシリンダー機構により作用させるように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の板ガラス搬送装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の板ガラス搬送装置により搬送される前記板ガラスに含まれる欠陥の有無を、前記板ガラスの搬送経路に配置された欠陥検査手段により検査するように構成したことを特徴とする板ガラス検査装置。
6. 前記欠陥検査手段は、前記板ガラスの有効面を走査して検査すると共に、
   前記各支持手段群は、一の辺部に沿って隣り合う支持手段の相互間に作用させる前記第二方向引張力の大きさを、前記板ガラスの検査部位に応じて変動させるように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の板ガラス検査装置。
7. 前記欠陥検査手段は、前記板ガラスにおける有効面の全域を、該板ガラスを搬送させながら検査するように構成されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の板ガラス検査装置。
8. 前記板ガラスにおける搬送方向の前方側端部から中央部までを検査する際に、前記各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる前記第二方向引張力を、検査部位が前記搬送方向の前方側端部から中央部に移行するに連れて漸次に大きくすると共に、
   前記板ガラスにおける搬送方向の中央部から後方側端部までを検査する際に、前記各支持手段群は、一の辺部の隣り合う支持手段の相互間に作用させる前記第二方向引張力を、検査部位が前記搬送方向の中央部から後方側端部に移行するに連れて漸次に小さくするように構成されていることを特徴とする請求項７に記載の板ガラス検査装置。
9. 縦姿勢の板ガラスにおける対向した一対の辺部を、一の辺部に沿って相互に離間して配列された複数の支持手段を一組の支持手段群として、二組の支持手段群で支持させ、前記板ガラスを前記辺部の長手方向に沿って搬送する板ガラス搬送方法において、
   前記板ガラスの搬送時に、前記二組の支持手段群が、前記板ガラスの一対の辺部を支持した状態で、該板ガラスにおける一対の辺部の相互間に、両辺部を結ぶ方向に沿って働く第一方向引張力を作用させると共に、
   前記各支持手段群が、複数の支持手段のうち、少なくとも、前記板ガラスにおける一の辺部の一端部を支持した状態にある支持手段と、他端部を支持した状態にある支持手段との相互間に、前記長手方向に沿って働く第二方向引張力を作用させ、
   前記第一方向引張力の大きさと前記第二方向引張力の大きさとを、個別に調節することを特徴とする板ガラス搬送方法。

Images