JP2013011522A - ガラス基板の検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査することで表面上の欠陥を検出する場合において、設備投資を抑えつつも欠陥の検出精度を高めること、並びにガラス基板の波打ち等に起因した種々の問題発生を可及的に回避することを可能とする。
【解決手段】ガラス基板１０と、このガラス基板１０の表面１０ａに対向配置した欠陥検知手段５とを相対移動させ、ガラス基板１０の表面１０ａに沿って欠陥検知手段５を走査させることにより、ガラス基板１０が欠陥を有するか否かを検査するに際し、ガラス基板１０を、上記相対移動方向と直交する断面において、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態で保持する。ガラス基板１０は、例えば縦姿勢とされ、その上辺１１と下辺１２とを一対の端部保持手段３，４でそれぞれ保持することにより上記の湾曲形態で保持される。
【選択図】図２

Description

本発明は、ガラス基板の検査方法および検査装置の改良に関する。

周知のように、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板や、太陽電池用のガラス基板等、各種電気・電子機器用のガラス基板は、フロート法の他、オーバーフローダウンドロー法やスロットダウンドロー法等のダウンドロー法により成形されたガラス板元材を所定寸法に切断することで得られる。そして、所定寸法に切断されたガラス基板は、切断面を研磨する研磨工程や貫通孔を穿設する穿孔工程などの各種加工工程を経た後、検査工程に導入される。検査工程では、ガラス基板のうち、後工程にて電極などの素子が形成される表面上に、微小傷や異物等の欠陥が存するか否かを検査する。

ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査（ガラス基板の欠陥を検出）するための方法として、下記の特許文献１には、水平姿勢（横姿勢）のガラス基板を搬送ローラにより移動させながら、ガラス基板の一方の面（表面）側に対向配設したＣＣＤセンサーと、ガラス基板の他方の面（裏面）側に配設した棒状光源および反射板とを利用して、ガラス基板の欠陥を検出する方法が記載されている。また、下記の特許文献２には、垂直姿勢（縦姿勢）のガラス基板の四辺全てをクランプ手段により把持するとともに、これらクランプ手段によりガラス基板を外向きに引っ張った状態で定位置に固定し、この固定されたガラス基板に対してカメラおよび照明装置を備えたビジョンアセンブリを一体的に移動させてガラス基板の欠陥を検出する方法が記載されている。

特許文献１に記載の方法では、ガラス基板のうち搬送ローラ間に介在する部分の自重による撓みにより、欠陥を正確に検出することができない場合がある。特に、大型でかつ薄肉のガラス基板を検査対象とするときには、ガラス基板の自重による撓みが大きくなることから、欠陥を正確に検出することが一層難しくなる。これに対し、特許文献２に記載の方法であれば、ガラス基板の自重による撓みの発生を可及的に防止することができるので、大型でかつ薄板（薄肉）のガラス基板を検査対象とする場合にも、欠陥の有無を正確に検出し得るものと考えられる。しかしながら、特許文献２に記載の手法では、ガラス基板の四辺全てをクランプ手段により把持するとともに、これらクランプ手段によりガラス基板を外向きに引っ張っていることから、ガラス基板のうちクランプ手段により把持されている箇所に過度な応力集中が生じ易く、この応力集中箇所を起点としてガラス基板が破損し易いという問題がある。また、ガラス基板を移動させながら欠陥検出を行うことが要請されるような場合にガラス基板の四辺全てをクランプ手段で把持していると、ガラス基板の移動を実現するための装置が複雑かつ大型化してしまうために実用的でない、という問題もある。

そこで、本願出願人は、次のような検査方法を創案し、上記問題の解決を試みた。詳しくは、下記の特許文献３に記載されているように、縦姿勢のガラス基板と欠陥検知手段（例えば、複数のカメラを鉛直方向に配列してなるラインセンサ）とをガラス基板の幅方向に相対移動させることにより、ガラス基板に対して欠陥検知手段を走査してガラス基板に含まれる欠陥の有無を検査する方法において、ガラス基板の上辺と下辺のみを把持して上下方向に張力を付与した状態でガラス基板を幅方向に移動させることにより、ガラス基板を、欠陥検知手段の対向領域を通過させる、というものである。

このように、縦姿勢のガラス基板の上辺と下辺のみを把持して上下方向に張力を付与し、ガラス基板の両側辺（上辺および下辺と直交する方向、すなわち鉛直方向に沿って延びる対向二辺）を把持しないようにすれば、ガラス基板の両側辺に過度な応力集中が生じることがなくなるので、検査中にガラス基板が破損等する可能性を減じることができるという利点がある。また、ガラス基板の両側辺を把持するための把持手段が省略される分、ガラス基板の移動を簡易な装置構成で実現することが可能となる。

特開２００６−２６６９３３号公報 特開２００５−１７２７８２号公報 特開２００９−２３６７７１号公報

ところで、この種の検査処理に用いられる欠陥検知手段としてのカメラの焦点は、その撮像範囲の全領域で合うわけではなく、一般には狭角領域で合うように構成されている。そのため、曲がりのないストレート形態に保持されたガラス基板の表面に沿ってカメラを走査させることにより、ガラス基板の表面に欠陥が存するか否かを検査する従来方法では、ガラス基板の表面のうち、カメラのレンズとの離間距離が大きくなる広角領域に存する欠陥を精度良く検出することができない場合がある。このような問題は、例えば、カメラの設置台数を増加させる（カメラの設置間隔を狭める）ことによって可及的に解消し得るが、設備投資が増大するため、ガラス基板の検査処理に要するコストが増大する。

また、近年、ガラス基板の更なる大型化や薄板化の進展に伴って、検査対象であるガラス基板の剛性が益々低下する傾向にある。そのため、特許文献３に記載された方法のように、縦姿勢のガラス基板の上辺および下辺を把持しつつ上下方向に張力を付与したとしても、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させる際に生じる振動や気流の影響により、検査中のガラス基板の表裏面方向に振動（バタツキ）や波打ちが生じ易くなっている。ガラス基板にこのような事象が生じると、欠陥検知手段としてカメラを用いる場合に焦点ズレが生じて欠陥検出の精度が低下する、ガラス基板の被把持部への応力集中が生じてガラス基板が破損する、などといった問題の発生確率が高まる。従って、ガラス基板と欠陥検知手段の相対移動速度、すなわちガラス基板の検査処理の実行速度は、高速化するよりもむしろ低速化せざるを得ず、ガラス基板の生産性を有効に高め得ないという問題がある。

以上の実情に鑑み、本発明の課題は、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板の表面に欠陥が存するか否かを検査する場合において、設備投資を抑えつつガラス基板の欠陥検出精度を高めることができ、しかもガラス基板の波打ち等に起因する欠陥検出精度の低下や破損等の問題発生を回避して、ガラス基板の生産性向上に寄与することにある。

上記課題を解決するために創案された本発明は、ガラス基板と、ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するに際し、ガラス基板を、相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持することを特徴とする。なお、ここでいうガラス基板の表面とは、ガラス基板の二面のうち、後工程において電極等の素子が形成される側の面を意味する。

上記の方法によれば、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることによってガラス基板の欠陥の有無を検査している（ガラス基板の検査処理を実行している）間、相対移動方向と直交する断面におけるガラス基板の形態は、その表面側が凹状となる湾曲形態に保たれる。ガラス基板をこのような湾曲形態に保持しておけば、欠陥検知手段としてカメラを用いる場合、ガラス基板の表面各部間におけるレンズとの離間距離のばらつきを、ガラス基板をストレート形態に保持する場合に比べて小さくすることができる。そのため、一台のカメラの焦点が合う範囲を拡大することが、すなわち一台のカメラで欠陥を精度良く検出し得る範囲を拡大することができる。これにより、欠陥検知手段を構成するカメラの設置台数を減じて検査装置の構成を簡略化することが、あるいはカメラとして撮像範囲の小さい安価なものを用いることが可能となり、ガラス基板の検査処理に要するコストを低減することができる。

また、ガラス基板を上記の湾曲形態に保持しておけば、ガラス基板の表裏面方向の負荷荷重に対する曲げ剛性が高まるので、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させるのに伴って生じる振動や気流がガラス基板の表面又は裏面に作用しても、ガラス基板にその表裏面方向における振動や波打ちが生じ難くなる。そのため、欠陥検知手段としてカメラを用いる場合にも、その焦点ズレに起因した欠陥検出の精度低下を回避することが可能となる。また、ガラス基板に局所的な応力集中が生じ難くなるので、ガラス基板が破損等し難くなる。そして、係る効果が奏されることにより、ガラス基板と欠陥検知手段の相対移動速度、すなわちガラス基板の検査処理速度を速めることができるので、ガラス基板の生産性向上に寄与することができる。

上記の構成において、ガラス基板を上記の湾曲形態で保持するための具体的手段として、ガラス基板のうち、上記相対移動方向に沿って延びる二辺（相対移動方向と直交する断面の両端部に位置する二辺）を、一対の端部保持手段でそれぞれ保持する構成を採用し得る。

このようにすれば、ガラス基板の四辺全てを保持する場合に比べ、ガラス基板を上記の湾曲形態で保持するための装置構成を簡略化することができるという利点がある。また、検査装置（検査工程）へのガラス基板の導入、および検査装置からのガラス基板の取り出しを円滑に実行することができるという利点もある。

上記の構成には、ガラス基板を縦姿勢（この「縦姿勢」には、鉛直方向に沿った垂直姿勢のみならず、鉛直方向に対して所定角度傾斜した傾斜姿勢も含む）とし、その上辺と下辺とを一対の端部保持手段でそれぞれ保持する場合と、ガラス基板を横姿勢とし、その両側辺を一対の端部保持手段でそれぞれ保持する場合とが含まれる。

ガラス基板を縦姿勢として検査処理を実行すれば、ガラス基板を横姿勢として検査処理を実行する場合に比べ、検査装置の占有スペースを減じて、ガラス基板の製造装置の省スペース化に寄与することができるという利点がある。また、ガラス基板を縦姿勢として検査処理を実行すれば、ガラス基板の下端を基準として欠陥検知手段（カメラ）の設置位置（設置態様）や設置台数を決定付けることができるので、サイズの異なるガラス基板を検査する場合等、検査装置の仕様を変更する必要が生じた場合にも、その仕様変更を迅速かつ簡便に実行することができるという利点もある。もちろん、検査装置の占有スペース等に特段の制限がないような場合には、ガラス基板を縦姿勢または横姿勢の何れで保持するようにしても構わない。

以上の構成において、ガラス基板の裏面を裏面支持手段により受止支持しつつ、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させるようにしても良い。

このようにすれば、検査処理実行中のガラス基板を所望の湾曲形態に維持することが、すなわち検査処理実行中のガラス基板の形態が変化するような事態を防止することができるので、欠陥検出の精度向上を図る上で有利となる。なお、ガラス基板の裏面は、電極等の素子が形成される面ではないため、要求品質は表面に比して低い。そのため、ガラス基板の裏面を裏面支持手段により受止支持しても、製品品質上、特段の問題はない。

また、以上の構成において、ガラス基板は、例えば曲率の異なる複数の円弧が接続されてなる湾曲形態で保持することができる他、単一円弧の湾曲形態で保持することができる。

ガラス基板を単一円弧の湾曲形態で保持した場合、特に、欠陥検知手段を複数のカメラで構成するような場合においては、個々のカメラの焦点合わせを容易化し得るという利点がある。

以上に示した本発明の構成上、ガラス基板の検査処理を実行する際には、（１）欠陥検知手段を静止した状態でガラス基板を移動させる、（２）ガラス基板を静止した状態で欠陥検知手段を移動させる、あるいは（３）ガラス基板と欠陥検知手段の双方を移動させる、という三方法の何れかを採用し得る。これら（１）〜（３）の方法は何れを採用しても構わないが、検査処理を効率的に実行する観点から言えば、（１）欠陥検知手段を静止させた状態でガラス基板を移動させるのが望ましい。

以上に示した本発明に係るガラス基板の検査方法は、特にフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板の検査処理を実行する際に好ましく用いることができる。すなわち、ＦＰＤは、大型化および薄板化の他、高画質化が進展していることに加え、パネルメーカー間でのコスト競争も激化していることから、欠陥の検出精度を向上しつつ、ガラス基板の生産性向上に寄与し得る本発明に係る検査方法は特に有益である。もちろん、本発明に係る検査方法は、ＦＰＤ用のガラス基板以外にも、太陽電池用のガラス基板や電磁調理器用のガラス基板等、その表面上に各種素子が形成される電気・電子機器用のガラス基板の検査処理を実行する際に好ましく適用することができる。

また、上記課題を解決するため、本発明では、ガラス基板と、ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するように構成された検査装置であって、ガラス基板を、相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持するように構成されていることを特徴とするガラス基板の検査装置を提供する。

このような検査装置によれば、上述した本発明に係るガラス基板の検査方法を採用した場合と同様の作用効果が得られる。

以上に示すように、本発明によれば、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査する場合において、設備投資を抑えつつ欠陥検出の精度を高めることができる。しかも、検査処理の実行時にガラス基板が波打ち等し難くなるので、ガラス基板の波打ち等に起因する欠陥検出の精度低下や当該ガラス基板の破損等の問題発生を回避することが可能となる。これにより、ガラス基板と欠陥検知手段の相対移動速度、すなわち検査処理速度を速め、ガラス基板の生産性向上に寄与することができる。

本発明の第１実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の全体構成を示す概略側面図である。 図１中のＡ−Ａ線矢視断面図である。 本発明の第２実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図である。 本発明の第３実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図である。 本発明の第４実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図である。 本発明の第５実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図である。 本発明の第６実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下に示す実施形態では、略矩形をなして四辺の寸法がそれぞれ１０００ｍｍ以上で、かつ厚みが０．０５〜１．８ｍｍとされるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板を検査対象とする。

図１に、本発明の第１実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置１の概略側面図を示し、図２に図１中のＡ−Ａ線矢視断面図を示す。各図に示す検査装置１は、検査対象のガラス基板１０を縦姿勢（厳密には、図２に示すように、ガラス基板１０の上辺１１と下辺１２を結ぶ直線Ｌが鉛直方向に対して所定角度傾いた傾斜姿勢）で水平方向（図１中の矢印Ｘ方向）に搬送（直進搬送）する搬送手段２と、搬送手段２の搬送経路上に固定的に配設され、ガラス基板１０が欠陥を有するか否かを検査する欠陥検知手段５とを主要部として構成される。

欠陥検知手段５は、ガラス基板１０の搬送方向と直交する方向（鉛直方向）に相互に離間して配置した複数台（図示例では４台）のカメラ６を主要部として構成されている。搬送手段２によって搬送されるガラス基板１０の裏面１０ｂ側には図示外の光源が一又は複数配設されており、各カメラ６は、光源からガラス基板１０に向けて照射された光をガラス基板１０の表面１０ａ側で受光し得るように、そのレンズをガラス基板１０の表面１０ａに対向させている。すなわち、本実施形態の欠陥検知手段５は、図示外の光源からガラス基板１０に向けて照射された光を、ガラス基板１０の反対側で各カメラ６により受光し、その受光した光量の変化に基づいて欠陥の有無を検知するように構成されている。なお、光源は、ガラス基板１０の表面１０ａ側に配設しても良いし、ガラス基板１０の裏面１０ｂ側に配設しても良いし、あるいは、ガラス基板１０の表面１０ａ側および裏面１０ｂ側の双方に配設しても良い。また、使用可能な欠陥検知手段５は、受光した光量の変化に基づいて欠陥の有無を検知するものに限定されるわけではない。例えば、撮影画像に基づいて欠陥を検知するようなものであっても構わない。

搬送手段２は、鉛直方向に離間して設けられた一対の端部保持手段３，４を備えており、縦姿勢で検査装置１に導入されたガラス基板１は、これら端部保持手段３，４によりその上辺１１および下辺１２を保持されつつ、水平方向に直進搬送される。上側の端部保持手段３は、外周部にガラス基板１０の上辺１１を嵌合保持する断面Ｖ字状の周溝３ｂが設けられた複数の第１ローラ３ａを水平方向に沿って一列に並べて構成され、図中下側の端部保持手段４は、外周部にガラス基板１０の下辺１２を嵌合保持する断面Ｖ字状の周溝４ｂが設けられた複数の第２ローラ４ａを水平方向に沿って一列に並べて構成される。第１ローラ３ａと第２ローラ４ａの少なくとも一方は、図示しない駆動源からの出力を受けて回転駆動する駆動ローラとされる。また、第１ローラ３ａおよび第２ローラ４ａとしては、少なくとも外周部を樹脂やゴム等の弾性材料で形成したものが好適に使用される。搬送中のガラス基板１０に、ローラ３ａ，４ａとの接触に伴ってキズ等が形成されるのを可及的に回避するためである。

本実施形態において、第１ローラ３ａは、その外周部の周溝３ｂを通って延びる直線Ｌ１が鉛直方向に沿うように垂直姿勢で配設されている。一方、第２ローラ４ａは、その外周部の周溝４ｂを通って延びる直線Ｌ２が鉛直方向に対して所定角度傾くような傾斜姿勢で配設され、かつ、第１ローラ３ａの直下位置からガラス基板１０の表面１０ａ側に所定量シフトした位置に配設されている。また、第１ローラ３ａの周溝３ｂと第２ローラ４ａの周溝４ｂとの間の離間距離（直線距離）は、検査対象のガラス基板１０の撓みがない状態における上辺１１と下辺１２間の離間距離よりも所定量小さくなっている。

上記した第１ローラ３ａおよび第２ローラ４ａの配設態様から、検査対象のガラス基板１０が検査装置１に導入されると、当該ガラス基板１０は、その上辺１１と下辺１２を結ぶ直線Ｌが鉛直方向に対して所定角度傾いた傾斜姿勢に保持されると共に、その搬送方向と直交する断面（鉛直方向断面）において、欠陥検知手段５が配設されている表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態、より詳しくは単一円弧の湾曲形態に保持される。そして、この湾曲形態に保持されたままの状態で水平方向に直進搬送されるガラス基板１０が、欠陥検知手段５の対向領域を順次通過することにより、ガラス基板１０（の表面１０ａ）に微小傷や異物等の欠陥が存するか否かが検査される。

以上で示したように、本発明に係る検査方法によれば、ガラス基板１０と欠陥検知手段５とを相対移動させ（本実施形態ではガラス基板１０のみが移動する）、ガラス基板１０の表面１０ａに沿って欠陥検知手段５を走査させることによりガラス基板１０の欠陥の有無を検査している間、ガラス基板１０の搬送方向と直交する断面におけるガラス基板１０の形態は、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態に保たれる。ガラス基板１０をこのような湾曲形態に保持しておけば、ガラス基板１０の表面１０ａ各部間におけるカメラ６のレンズとの離間距離のばらつきを、ガラス基板１０をストレート形態に保持する場合に比べて小さくすることができる。そのため、一台のカメラ６の焦点が合う範囲を拡大することが、すなわち一台のカメラ６で欠陥を精度良く検出し得る範囲を拡大することができる。これにより、カメラ６の設置台数を減じて検査装置１の構成を簡略化することが、あるいはカメラ６として撮像範囲（画角）の小さい安価なものを用いることが可能となり、ガラス基板１０の検査処理に要するコストを低減することができる。

また、ガラス基板１０を上記の湾曲形態に保持しておけば、ガラス基板１０の表裏面方向の負荷荷重に対する曲げ剛性が高まるので、ガラス基板１０を搬送しながら検査処理を実行するのに伴って生じる振動や気流がガラス基板１０の表面１０ａや裏面１０ｂに作用しても、ガラス基板１０にその表裏面方向における振動や波打ちが生じ難くなる。そのため、欠陥検知手段５を複数のカメラ６で構成し、これらカメラ６で欠陥検出を行う場合にも、カメラ６の焦点ズレに起因した欠陥検出の精度低下を回避することが可能となる。また、ガラス基板１０に局所的な応力集中が生じ難くなるので、ガラス基板１０が破損等し難くなる。そして、係る効果が奏されることにより、ガラス基板１０の搬送速度、すなわちガラス基板１０の検査処理速度を速めることができるので、ガラス基板１０の欠陥検出に要するサイクルタイムを減じ、ガラス基板１０の生産性向上に寄与することができる。

また、ガラス基板１０を単一円弧の湾曲形態で保持するようにしたので、複数のカメラ６は、ガラス基板１０の搬送方向の直交断面に沿って延びる円弧状の軌跡と同心円上に配置することができる。従って、個々のカメラ６の焦点合わせを容易にかつ適切に実行することができる。さらに、ガラス基板１０を縦姿勢（厳密には、鉛直方向に対して所定角度傾斜した傾斜姿勢）として検査処理を実行するので、ガラス基板１０の下端を基準として欠陥検知手段５（カメラ６）の設置位置（設置態様）や設置台数を決定付けることができる。そのため、サイズの異なるガラス基板１０を検査する場合等、検査装置１の仕様を変更する必要が生じた場合にも、その仕様変更を迅速かつ簡便に実行することができる。

また、縦姿勢で搬送されるガラス基板１０のうち、その搬送方向（水平方向）に沿って延びる上辺１１および下辺１２を、鉛直方向に離間して設けた一対の端部保持手段３，４でそれぞれ保持するようにしたことから、例えばガラス基板１０の四辺全てを保持する場合に比べ、ガラス基板１０を上記の湾曲形態で保持するための構成を簡略化することができる。また、検査装置１へのガラス基板１０の導入、および検査装置１からのガラス基板１０の排出（取り出し）を円滑に実行することができる。

以上、本発明の一実施形態について説明を行ったが、本発明に係る検査方法を実施するための検査装置１には種々の変更を施すことができる。以下、その変更例について図面に基づいて説明を行うが、変更点についてのみ詳細に説明を行い、上述の実施形態と実質的に同一の構成には共通の参照番号を付して重複説明を省略する。

図３は、本発明の第２実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置１の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置１が上述した検査装置１と異なる主な点は、ガラス基板１０の裏面１０ｂを受止支持する裏面支持手段をさらに備える点にある。詳述すると、裏面支持手段は、ガラス基板１０の搬送方向（水平方向）および搬送方向と直交する方向（鉛直方向）に沿って所定間隔で複数設けられた裏部ローラ７にて構成されている。各裏部ローラ７は、その外周部が円弧状に湾曲した円盤状をなし、かつ少なくとも外周部が、第１ローラ３ａおよび第２ローラ４ａと同様に、樹脂やゴム等の弾性材料で形成されている。そして、複数の裏部ローラ７は、ガラス基板１０を、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態を維持した状態で搬送させ得るように配列されている。複数の裏部ローラ７は、その全てを駆動ローラ又は空転ローラで構成しても良いし、その一部を駆動ローラで構成すると共に残部を空転ローラで構成しても良い。なお、裏部ローラ７の一部または全部を駆動ローラで構成した場合に、駆動ローラからなる裏部ローラ７のみでもガラス基板１０に十分な推進力を与えることができるのであれば、第１ローラ３ａおよび第２ローラ４ａはその全てを空転ローラで構成しても構わない。

このようにすれば、検査処理実行中のガラス基板１０を所望の湾曲形態に維持することが、すなわち検査処理実行中のガラス基板１０の形態が変化するような事態を防止することができるので、例えば自重による撓みが生じ易い大型かつ薄肉のガラス基板１０の検査処理を実行するような場合においては、欠陥検出の精度向上を図る上で有利となる。なお、ガラス基板１０の裏面１０ｂは電極等の素子が形成される面ではなく、要求品質は表面１０ａに比して低いことから、ガラス基板１０の裏面１０ｂを複数の裏部ローラ７により受止支持し、ガラス基板１０の裏面１０ｂが繰り返し裏部ローラ７と接触したとしても、製品品質上、特段の問題は生じない。

図４は、本発明の第３実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置１の概略正面図を示している。本実施形態の検査装置１が図１および図２に示す検査装置１と異なる主な点は、各第１ローラ３ａを、その外周部の周溝３ｂを通って延びる直線Ｌ１が鉛直方向に対して所定角度傾くような傾斜姿勢で配設すると共に、第１ローラ３ａの回転中心と第２ローラ４ａの回転中心とを同一の鉛直線上に配設した点にある。但し、第１ローラ３ａの周溝３ｂを通って延びる直線Ｌ１の傾斜方向は、第２ローラ４ａの周溝４ｂを通って延びる直線Ｌ２の傾斜方向とは逆向きとなっている。このような構成の検査装置１にガラス基板１０を導入すると、当該ガラス基板１０は、その上辺１１と下辺１２を結ぶ直線Ｌを鉛直方向に沿わせつつ、鉛直方向断面において、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態（より詳しくは、単一円弧の湾曲形態）に保持された状態で検査処理が実行される。このような構成を採用する場合であっても、上述の第１実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。

なお、ガラス基板１０を上記の湾曲形態に保持した状態で搬送しながら、当該ガラス基板１０の検査処理を実行する場合においても、図３に示した第２実施形態と同様に、ガラス基板１０の裏面１０ｂを裏面支持手段としての裏部ローラ７により受止支持するようにしても良い（図示省略）。

図５は、本発明の第４実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置１が、図１および図２に示す検査装置１と異なる主な点は、複数の第１ローラ３ａを、その外周部の周溝３ｂを通って延びる直線Ｌ１が鉛直方向に対して所定角度傾くような傾斜姿勢で配設する一方、複数の第２ローラ４ａを、その外周部の周溝４ｂを通って延びる直線Ｌ２が鉛直方向に沿うような垂直姿勢で配設した点にある。このような構成を採用する場合であっても、上述の第１実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。

図６は、本発明の第５実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置１は、縦姿勢で水平方向に搬送されるガラス基板１０を、その搬送方向と直交する方向の断面において、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態に保持したまま検査処理を実行するという以上に示した検査装置１とは異なり、横姿勢で水平方向に搬送されるガラス基板１０を、その搬送方向と直交する方向の断面において、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲状態に保持したまま検査処理を実行するように構成されている。具体的に述べると、本実施形態の検査装置１は、本発明の第３実施形態に係る検査方法を実施する際に使用する検査装置１（図４）を、時計回りに９０°回転させた構成に相当する。すなわち、検査装置１を構成する搬送手段２は、横姿勢のガラス基板１０の搬送方向に沿って延びる二辺（両側辺）１３，１４を保持する一対の端部保持手段３，４を備えており、本実施形態の端部保持手段３，４は、図４に示す端部保持手段３，４を時計回りに９０°回転させた構成を具備する。このような構成を採用する場合であっても、上述の第１実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。

図７は、本発明の第６実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置１では、図６に示す検査装置１に、ガラス基板１０の裏面１０ｂを受止支持するための裏面支持手段（複数の裏部ローラ７）を追加している。このようにすれば、上述の第２実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。

以上の実施形態では、ガラス基板１０の搬送方向に沿って延びる二辺を保持するための一対の端部保持手段３，４を、何れも、外周部に断面Ｖ字状の周溝が設けられたローラの列（ローラ群）で構成したが、一対の端部保持手段３，４の何れか一方または双方は、ローラと同等の役割を果たし得るその他の部材の群で構成することも可能である。

また、以上の実施形態では、ガラス基板１０を単一円弧の湾曲形態に保持した状態で検査処理を実行するようにしたが、ガラス基板１０を、曲率の異なる複数の円弧を接続した湾曲形態に保持した状態で検査処理を実行するようにしても構わない。

また、以上では、ガラス基板１０を移動側、欠陥検知手段５を静止側とした場合に本発明に係る検査方法を適用したが、ガラス基板１０を静止側、欠陥検知手段５を移動側とする場合や、ガラス基板１０と欠陥検知手段５の双方を移動させる場合にも、本発明に係る検査方法を好ましく適用することができる。

また、以上では、ＦＰＤ用のガラス基板１０の検査処理を実行するに際して本発明に係る検査方法を適用する場合について説明を行ったが、本発明に係る検査方法は、ＦＰＤ用のガラス基板以外にも、太陽電池用のガラス基板や電磁調理器用のガラス基板等、その表面上に各種素子が形成される電気・電子機器用のガラス基板の検査処理を実行する際に好ましく適用することができる。

１ 検査装置
２ 搬送手段
３ 端部保持手段
３ａ 第１ローラ
４ 端部保持手段
４ａ 第２ローラ
５ 欠陥検知手段
６ カメラ
７ 裏部ローラ（裏面支持手段）
１０ ガラス基板
１０ａ 表面
１０ｂ 裏面
１１ 上辺
１２ 下辺
１３ 側辺
１４ 側辺
Ｌ ガラス基板の搬送方向に沿って延びる二辺を結ぶ直線
Ｌ１ 第１ローラの周溝を通って延びる直線
Ｌ２ 第２ローラの周溝を通って延びる直線

Claims (7)

1. ガラス基板と、該ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、前記ガラス基板の表面に沿って前記欠陥検知手段を走査させることにより、前記ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するに際し、
   前記ガラス基板を、前記相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持することを特徴とするガラス基板の検査方法。
2. 前記ガラス基板のうち前記相対移動方向に沿って延びる二辺を一対の端部保持手段でそれぞれ保持することにより、前記ガラス基板を前記湾曲形態で保持することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の検査方法。
3. 前記ガラス基板を縦姿勢とし、その上辺と下辺とを前記一対の端部保持手段でそれぞれ保持することを特徴とする請求項２に記載のガラス基板の検査方法。
4. 前記ガラス基板の裏面を裏面支持手段により受止支持しつつ、前記ガラス基板と前記欠陥検知手段とを相対移動させることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のガラス基板の検査方法。
5. 前記ガラス基板を単一円弧の湾曲形態で保持することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のガラス基板の検査方法。
6. 前記欠陥検知手段を静止した状態で、前記ガラス基板を移動させることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のガラス基板の検査方法。
7. ガラス基板と、該ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、前記ガラス基板の表面に沿って前記欠陥検知手段を走査させることにより、前記ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するように構成された検査装置であって、
   前記ガラス基板を、前記相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持するように構成されていることを特徴とするガラス基板の検査装置。

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