KR20110025318A - 디스플레이 기판의 이물질 검사장치 - Google Patents

디스플레이 기판의 이물질 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디스플레이 기판의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 수단을 설치하지 못하였던 종래 기술의 한계점을 극복한 것으로, 회전 롤러 샤프트간의 이격 간격 및 가이드 롤러의 직경의 제약을 받지않으면서도 디스플레이 기판의 하면에 형성된 이물질을 검출할 수 있도록 하며, 부가적으로 이동되고 있는 디스플레이 기판의 상하면에 존재하는 이물질을 동시에 검출할수 있게 되어, 이물질 검사에 소요되는 시간을 획기적으로 감축시킬 수 있도록 한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 하며,
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 평행하게 설치된 다수의 회전 롤러 샤프트와, 상기 각각의 회전 롤러 샤프트상에 그 축방향으로 일정 간격 이격되게 장착되어 상기 디스플레이 기판의 하면을 지지하면서 상기 디스플레이 기판을 이송 안내하는 다수의 가이드 롤러로 이루어진 디스플레이 기판 반송수단을 포함하여 이루어진 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 있어서, 상기 디스플레이 기판의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 하면 이물질 검사수단을 더 포함하며, 상기 하면 이물질 검사수단은, 상기 회전 롤러 샤프트와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트 각각에 장착된 가이드 롤러 사이에 설치되되, 반사면에서 반사된 반사광이 상기 디스플레이 기판의 하면에 도달하도록 일정한 각도로 경사지게 설치된 광반사 미러와; 상기 광반사 미러의 반사면으로 광을 주사하는 조명수단과; 상기 광반사 미러에서 반사되어 상기 디스플레이 기판의 하면에 도달된 반사광을 촬영하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.
디스플레이, 기판, 검사, 이물질

Description

디스플레이 기판의 이물질 검사장치{Apparatus for detecting the particle of substrate for displays}
본 발명은 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 기판의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 수단을 설치하지 못하였던 종래 기술의 한계점을 극복한 것으로, 회전 롤러 샤프트간의 이격 간격 및 가이드 롤러의 직경의 제약을 받지않으면서도 디스플레이 기판의 하면에 형성된 이물질을 검출할 수 있도록 하며, 부가적으로 이동되고 있는 디스플레이 기판의 상하면에 존재하는 이물질을 동시에 검출할수 있게 되어, 이물질 검사에 소요되는 시간을 획기적으로 감축시킬 수 있도록 한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이(Display) 기판에는 LCD(Liquid Crystal Display)에 이용되는 유리기판, PDP(Plasma Display Pannel)에 이용되는 유리기판등 여러가지가 있다.
최근에는 디스플레이 기판의 수요가 증가되면서 디스플레이 기판의 기능을 향상시키는 연구가 진행되고 있다. 특히 1990년대 이후 디스플레이 기판에 대한 연 구는 대면적화, 광 시야각화 등에 중점을 두고 진행되고 있으며, 이런 경향은 향후에도 지속될 것이다.
디스플레이 기판의 생산 공정은 크게 디스플레이 기판 패널 자체를 생산하는 Cell 공정과 완성된 패널을 완제품으로 조립하는 Module 공정으로 분류된다.
Cell 공정에서는 원 기판상에 세정, 증작, 식각 과정의 반복을 통해 특정한 패턴을 생성하여 기판을 제조한다. 생성된 기판의 증착 패턴이 디스플레이 기판의 핵심을 이루는 미세 공정의 결과물이기 때문에, 상기 Cell 공정의 각 세부 공정단계마다 기판상의 이물질 입자를 배제하기 위한 세정공정이 필요하다.
한편, Module 공정은 완성된 기판 패널을 하나의 디스플레이 모듈로 생산하는 공정이다. 즉, 디스플레이 기판에 구동 드라이버 IC등을 형성시키는 공정등을 거치면서 디스플레이 모듈을 완성하는 것이다.
전술한 바와 같이, 디스플레이 기판의 제조공정 중 각 세부 공정들 사이에는 필수적으로 기판에 대한 세정공정이 필요한데, 이 세정공정은 디스플레이 기판 생산 수율의 향상을 좌우하는 중요한 공정이다. 현재 사용되는 세정공정은 상기와 같이 디스플레이 기판 제작 각 단계마다 사용되고 있으며, 전체적으로 여러 번 반복해서 수행된다.
즉, 세정공정에 의해 세정되는 대상은 디스플레이 기판에서 단선이나 단락(Short Circuit), Leak의 원인이 되는 커렛이나 입자, 박막의 부착력 저하를 가져오는 유지등과 같은 유기물, Contact성을 손상시키는 자연 산화막 등이다.
따라서, 전술한 세정공정 진행후, 디스플레이 기판에 대한 이물질 검사를 수 행하여, Array 기판상의 Pattern 결함이나 Transistor 소자의 동작 불량이 자주 발생하여 Array 기판의 수율이 저하되는 것을 방지하도록 하고 있다.
종래 기술에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치로는 도 1 및 도 2을 참고하여 설명하면, 크게 디스플레이 기판(1)을 반송시키는 반송수단(10)과, 이 반송수단(10)에 의해 반송되는 디스플레이 기판(1)의 상면으로부터 상방향으로 일정 높이 이격된 위치에 설치되어 반송되는 디플레이 기판(1)상에 존재하는 이물질 검사수단(20)으로 이루어져 있다.
반송수단(10)은 도 1에 도시된 바와 같이, 디스플레이 기판의 반송 방향으로 평행하게 설치된 다수의 회전 롤러 샤프트(11)와, 상기 각각의 회전 롤러 샤프트(11)상에 그 축방향으로 일정 간격 이격되게 장착되는 다수의 가이드 롤러(12)로 이루어져 있다.
여기서, 다수의 회전 롤러 샤프트(11)들은 디스플레이 기판(1)의 두께를 감안하여, 이 디스플레이 기판(1)이 반송과정에서 하부로 처지지 않는 범위내에서 일정 간격 이격되게 서로 평행하게 설치되어 있다.
상기와 같이 회전 롤러 샤프트(11)들간의 배치 간격을 일정치가 되도록 하는 이유는, 최근 들어 LCD, PDP 기술 개발의 발전에 따라 디스플레이 기판(1)의 두께가 최소 0.2mm, 최대 1mm로 박형화되고 있음과 아울러 대형화되고 있기 때문에, 이 디스플레이 기판(1)의 두께를 감안하지 않고 회전 롤러 샤프트(11)들간의 배치 간격을 규정하지 않으면, 반송되는 디스플레이 기판(11)이 자중에 의해 하방향으로 휘게되는 처짐 현상으로 인해 이물질 검사수단(30)에서 디스플레이 기판(1)의 이물 질을 정확하게 검출해내지 못하기 때문이다.
한편, 이물질 검사수단(20)은 도 2에 도시된 바와 같이, 디스플레이 기판(1) 상면의 특정 지점에 교차되게 집중 조명을 가하는 한쌍의 조명수단(21)과; 이 한쌍의 조명수단(21)에 의해 조명되는 디스플레이 기판(1) 상면의 특정 지점을 촬영하는 카메라(22)와; 상기 카메라(22)로부터 얻어진 디스플레이 기판(1)상의 영상을 판독하여 이물질의 존재 유무를 판단하는 제어부(미도시)로 이루어진다.
여기서, 한쌍의 조명수단(21)에 의해 디스플레이 기판(1)에 형성된 간섭 조명을 카메라(22)로 촬영하여 디스플레이 기판(1)상에 존재하는 이물질을 판별해는 것은 이 분야에서 현재까지 통상적으로 잘 알려진 기술이어서, 상세한 설명은 생략하기로 한다. 그리고, 상기 조명수단(21)은 반드시 한쌍으로 구성하지 않고 1개만을 사용하여 조명하여도 카메라(22)에서 이물질 영상을 촬영하여 제어부에서 기판(1)의 영상을 판독할 수 있는 것으로, 이에 대한 기술은 통상적으로 알려진 기술이어서 상세한 설명은 생략하기로 한다.
그런데, 종래 기술에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
디스플레이 기판(1)상에 존재하는 이물질을 검사하기 위해서는 먼저, 디스플레이 기판(1)의 상면(1a)에 존재하는 이물질에 대해 검사를 수행한 후, 이 디스플레이 기판(1)을 뒤집어 하면(1b)이 상측으로 위치되도록 하여 디스플레이 기판(1)의 하면에 존재하는 이물질에 대해 검사를 수행하는 방식으로 진해되기 때문에 디스플레이 기판(1)의 검사 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.
이와 같이, 현재의 문제점을 해결하기 위해 디스플레이 기판(1)의 상부에 설치된 한쌍의 조명수단(21)과 카메라(22)로 이루어진 이물질 검사수단(20)을 디스플레이 기판(1)의 하부에도 설치하여 디스플레이 기판(1)의 검사 시간을 단축시키도록 하는 방안도 강구하여 보았으나, 현실적으로는 조명수단(21)과 카메라(22)로 이루어진 이물질 검사수단(20)을 디스플레이 기판(1)의 하부에 설치하는 것이 불가능하다는 것이다.
그 이유는 전술한 설명에서도 언급하였듯이, 최근 들어 LCD, PDP 기술 개발의 발전에 따라 디스플레이 기판(1)의 두께가 최소 0.2mm, 최대 1mm로 박형화되고 있음과 아울러 대형화됨에 따라, 반송되는 디스플레이 기판(1)이 자중에 의해 하방향으로 처지는 것을 방지하기 위해 이 디스플레이 기판(1)의 두께를 감안하여 회전 롤러 샤프트(11)들간의 배치 간격을 일정치 이상 넘지 못하도록 설계하고 있기 때문이다.
부언하면, 회전 롤러 샤프트(11)들간의 배치 간격을 일정치 이상 넘지 못하도록 설계하고 있기 때문에, 한쌍의 조명수단(21)과 카메라(22)로 이루어진 이물질 검사수단(20)을 디스플레이 기판(1)의 하부에도 설치하게 되면, 한쌍의 조명수단(21)으로 조명을 가하더라도 회전 롤러 샤프트(11)간의 이격 간격 및 가이드 롤러(22)의 직경에 의해 디스플레이 기판(1)의 하면에 간섭 조명을 형성할 수 없는 문제점이 있었으며, 이러한 간섭 조명을 형성하지 못함에 따라 카메라(22)로 촬영을 하더라도 디스플레이 기판(1)의 하면에 형성된 이물질을 검출하지 못하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 디스플레이 기판의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 수단을 설치하지 못하였던 종래 기술의 한계점을 극복한 것으로, 회전 롤러 샤프트간의 이격 간격 및 가이드 롤러의 직경의 제약을 받지않으면서도 디스플레이 기판의 하면에 형성된 이물질을 검출할 수 있도록 하며, 부가적으로 이동되고 있는 디스플레이 기판의 상하면에 존재하는 이물질을 동시에 검출할수 있게 되어, 이물질 검사에 소요되는 시간을 획기적으로 감축시킬 수 있도록 한 스플레이 기판의 이물질 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 평행하게 설치된 다수의 회전 롤러 샤프트와, 상기 각각의 회전 롤러 샤프트상에 그 축방향으로 일정 간격 이격되게 장착되어 상기 디스플레이 기판의 하면을 지지하면서 상기 디스플레이 기판을 이송 안내하는 다수의 가이드 롤러로 이루어진 디스플레이 기판 반송수단을 포함하여 이루어진 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 있어서, 상기 디스플레이 기판의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 하면 이물질 검사수단을 더 포함하며, 상기 하면 이물질 검사수단은, 상기 회전 롤러 샤프트와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트 각각에 장착된 가이드 롤러 사이에 설치되되, 반사면에서 반사된 반사광이 상기 디스플레이 기판의 하면에 도달하도록 일정한 각도로 경사지게 설치된 광반사 미러 와; 상기 광반사 미러의 반사면으로 광을 주사하는 조명수단과; 상기 광반사 미러에서 반사되어 상기 디스플레이 기판의 하면에 도달된 반사광을 촬영하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 따르면, 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.
첫째, 디스플레이 기판의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 수단을 설치하지 못하였던 종래 기술의 한계점을 극복한 것으로, 회전 롤러 샤프트간의 이격 간격 및 가이드 롤러의 직경의 제약을 받지않으면서도 디스플레이 기판의 하면에 형성된 이물질을 검출할 수 있게 된다.
둘째, 디스플레이 기판의 상면으로 상향으로 이격되게 설치되어, 디스플레이 기판 상면에 존재하는 이물질을 검사하는 상면 이물질 검사수단을 더 구비함으로써, 이동되고 있는 디스플레이 기판의 상하면에 존재하는 이물질을 동시에 검출할수 있게 되어, 이물질 검사에 소요되는 시간을 획기적으로 감축시킬 수 있다.
이하, 본 발명에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. 설명의 편의상 종래 기술과 중복되는 구성요소에 대해서는 동일한 부재 번호를 부여한다.
도 3은 본 발명에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치의 외관을 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 이물질 검사장치의 디스플레이 기판 반송수단을 측면에서 바라보았을 때, 상면 이물질 검사수단과 하면 이물질 검사수단이 설치된 상태를 상태를 나타낸 도면이다.
본 발명은, 평행하게 설치된 다수의 회전 롤러 샤프트(11)와, 상기 각각의 회전 롤러 샤프트(11)상에 그 축방향으로 일정 간격 이격되게 장착되어 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)을 지지하면서 상기 디스플레이 기판(1)을 이송 안내하는 다수의 가이드 롤러(12)로 이루어진 디스플레이 기판 반송수단(10)과; 상기 디스플레이 기판(1)의 상면(1a)으로 상향으로 이격되게 설치되어, 상기 디스플레이 기판(1) 상면에 존재하는 이물질을 검사하는 상면 이물질 검사수단(20)으로 이루어진 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 관한 것이다. 여기서, 상기 상면 이물질 검사수단(20)은 종래 기술과 동일한 구성으로 이루어져 설명을 생략하기로 한다.
상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 존재하는 이물질을 검사하는 하면 이물질 검사수단(50)을 구비한 것이다. 즉, 본 발명은 종래 기술에 나타나는 문제점을 해결하기 위해 디스플레이 기판(1)의 상하면에 존재하는 이물질을 1회의 디스플레이 기판 이송 과정으로써 모두 수행할 수 있도록 함으로써, 디스플레이 기판(1)의 검사 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있도록 한 것이다.
그리고, 본 발명은 디스플레이 기판(1)의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 수단을 설치하지 못하였던 종래 기술의 한계점을 극복한 것으로, 회전 롤러 샤프트(11)간의 이격 간격 및 가이드 롤러(12)의 직경의 제약을 받지않으면서도 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 형성된 이물질을 검출할 수 있도록 한 것이다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 하면 이물질 검사수단(50)은, 크게 한쌍의 광반사 미러(51)와, 한쌍의 조명수단(52)과, 카메라(53)로 이루어진다.
광반사 미러(51)는 한쌍으로 이루어지는 것으로, 회전 롤러 샤프트(11)와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트(11) 각각에 장착된 가이드 롤러(12) 사이에 반사면(51a)이 서로 마주보도록 대칭되게 일정 각도로 경사지게 이격 설치되되, 반사면(51a) 각각에서 반사된 반사광(51b)이 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에서 중첩되도록 설치된다. 본 발명은 회전 롤러 샤프트(11)와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트(11) 각각에 장착된 가이드 롤러(12) 사이에 한쌍의 광반사 미러(51)라는 독창적인 구성을 설치함으로써, 회전 롤러 샤프트(11)간의 이격 간격 및 가이드 롤러(12)의 직경의 제약을 받지않으면서도 종래 한쌍의 조명수단(21)을 설치하지 못하였던 기술적 취약점을 극복하여 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 형성된 이물질을 검출할 수 있도록 한 것이다.
그리고, 한쌍의 조명수단(52)은, 한쌍의 광반사 미러(51)의 하부측에 위치되는 것으로, 한쌍의 광반사 미러(51) 각각의 반사면(51b)으로 광을 주사하는 역할을 한다.
그리고, 카메라(53)는 광반사 미러(51)에서 반사되어 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에서 중첩된 반사광을 촬영하는 역할을 한다.
그리고, 본 발명은 한쌍의 광반사 미러(51) 및 한쌍의 조명수단(52)은 회전 롤러 샤프트(11)의 축방향과 동일한 방향으로 일정한 길이를 갖도록 형성함으로써, 디스플레이 기판(1)의 폭(너비)(W) 방향으로 존재하는 이물질을 모두 감지할 수 있게 된다. 여기서, 본 발명에 의한 한쌍의 광반사 미러(51)에서 반사되는 반사광이 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에서 중첩되는 중첩광은 디스플레이 기판(1)의 폭(너비) 방향을 따라 형성된다.
그리고, 본 발명에 의한 카메라(53)는 다수개로 이루어져, 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에서 중첩된 반사광을 모두 촬영할 수 있게 된다. 여기서, 카메라(53)의 개수는, 1개당 촬영 영역을 감안하여 디스플레이 기판(1)의 폭(너비) 방향으로 광반사 미러(51)에서 반사된 반사광이 중첩되는 영역을 모두 촬영할 수 있도록 적당한 개수를 선정하여 설치하면 된다.
한편, 본 발명은 전술한 설명에서와 같이, 상기 디스플레이 기판(1)의 상면(1a)으로 상향으로 이격되게 설치되어, 디스플레이 기판(1) 상면(1a)에 존재하는 이물질을 검사하는 상면 이물질 검사수단(20)을 더 구비하게 되는데, 여기서, 상기 상면 이물질 검사수단(20)은 종래 기술과 동일한 구성으로 이루어져 설명을 생략하기로 한다.
그리고, 본 발명은, 하면 이물질 검사수단(50)에 의해 검사되는 디스플레이 기판(1)의 검사 영역은 상면 이물질 검사수단(20)에 의해 검사되는 디스플레이 기판(1)의 영역을 기준으로 전측 또는 후측에 위치한 한쌍의 회전 롤러 샤프트(11) 사이 구간이 되도록 함으로써, 이동되고 있는 디스플레이 기판(1)의 상하면(1a)(1b)에 존재하는 이물질을 동시에 검사할수 있게 되어, 이물질 검사에 소요되는 시간을 획기적으로 감축시킬 수 있다. 부언하면, 하면 이물질 검사수단(50)과 상면 이물질 검사수단(20)는 한쌍의 회전 롤러 샤프트(11) 사이 구간내의 디스플레이 기판(1) 영역에 존재하는 이물질을 검사하지 않고, 상하로 일치하지 않는 다른 영역의 디스플레이 기판(1)상에 존재하는 이물질을 검사하게 된다.
여기서, 한쌍의 반사광 미러(51) 각각에서 반사되어 디스플레이 기판(1)에 형성된 중첩 반사광을 카메라(53)로 촬영하여 디스플레이 기판(1)상에 존재하는 이물질을 감지하는 것에 대해서는 종래 기술과 마찬가지로 이 분야에서 통상적으로 잘 알려진 기술이어서 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 본 발명은 바람직한 실시예로, 광반사 미러(51)와, 조명수단(52)을 한쌍으로 구성하는 것으로 예로 들어 설명하였으나, 반드시 이에 한정하지 않고, 하면 이물질 검사수단(50)을, 상기 회전 롤러 샤프트(11)와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트(11) 각각에 장착된 가이드 롤러(12) 사이에 설치되되, 반사면(51a)에서 반사된 반사광(51b)이 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 도달하도록 일정한 각도로 경사지게 설치된 광반사 미러(51)와; 상기 광반사 미러(51)의 반사면(51a)으로 광을 주사하는 조명수단(52)과; 상기 광반사 미러(51)에서 반사되어 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에도달된 반사광을 촬영하는 카메라(53)를 포함하는 것으로 구성할 수 있다. 즉, 상기 회전 롤러 샤프트(11)와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트(11) 각각에 장착된 가이드 롤러(12) 사이에 광반사 미러(51)를 1개만 설치하 고, 이에 대응하여 조명수단(52) 역시 1개만을 설치 구성하여도 디스플레이 기판(1) 하면의 이물질 존재 유무를 카메라(53)로 촬영하여 검지할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치를 구성하는 반송수단을 도시한 외관 사시도.
도 2는 종래 기술에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치를 구성하는 반송수단을 측면에서 바라보았을때 이물질 검사수단의 구성을 나타낸 도면.
도 3은 본 발명에 의한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치의 외관을 도시한 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 이물질 검사장치의 디스플레이 기판 반송수단을 측면에서 바라보았을 때, 상면 이물질 검사수단과 하면 이물질 검사수단이 설치된 상태를 상태를 나타낸 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 디스플레이 기판 반송수단
11 : 회전 롤러 샤프트
12 : 가이드 롤러
50 : 하면 이물질 검사수단
51 : 광반사 미러
52 : 조명수단
53 : 카메라

Claims (6)

  1. 평행하게 설치된 다수의 회전 롤러 샤프트(11)와, 상기 각각의 회전 롤러 샤프트(11)상에 그 축방향으로 일정 간격 이격되게 장착되어 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)을 지지하면서 상기 디스플레이 기판(1)을 이송 안내하는 다수의 가이드 롤러(12)로 이루어진 디스플레이 기판 반송수단(10)을 포함하여 이루어진 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 있어서,
    상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 존재하는 이물질을 검사하는 하면 이물질 검사수단(50)을 더 포함하며,
    상기 하면 이물질 검사수단(50)은,
    상기 회전 롤러 샤프트(11)와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트(11) 각각에 장착된 가이드 롤러(12) 사이에 설치되되, 반사면(51a)에서 반사된 반사광(51b)이 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 도달하도록 일정한 각도로 경사지게 설치된 광반사 미러(51)와;
    상기 광반사 미러(51)의 반사면(51a)으로 광을 주사하는 조명수단(52)과;
    상기 광반사 미러(51)에서 반사되어 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에도달된 반사광을 촬영하는 카메라(53)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판의 이물질 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광반사 미러(51)로부터 이격되어 반사면(51a)이 서로 마주보도록 대칭되게 일정 각도로 경사지게 설치되며, 반사면(51a)에서 반사된 반사광이 디스플레이 기판(1)의 하면에 도달되도록 하는 또 다른 광반사 미러(51)와;
    상기 또 다른 광반사 미러(51)의 반사면(51a)에 광을 주사하는 또 다른 조명수단(52)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판의 이물질 검사장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 광반사 미러(51) 및 조명수단(52)은 상기 회전 롤러 샤프트(11)의 축방향과 동일한 방향으로 일정한 길이를 갖도록 형성되는 것을 디스플레이 기판의 이물질 검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 카메라(53)는 다수개로 이루어져, 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 도달된 반사광을 촬영하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판의 이물질 검사장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 디스플레이 기판(1)의 상면(1a)으로 상향으로 이격되게 설치되어, 상기 디스플레이 기판(1) 상면(1b)에 존재하는 이물질을 검사하는 상면 이물질 검사수단(20)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판의 이물질 검사장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 하면 이물질 검사수단(50)에 의해 검사되는 디스플레이 기판(1)의 검사 영역은 상기 상면 이물질 검사수단(20)에 의해 검사되는 디스플레이 기판(1)의 영역을 기준으로 전측 또는 후측에 위치한 한쌍의 회전 롤러 샤프트(11) 사이 구간인 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판의 이물질 검사장치.
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