JP3329233B2 - 板状透明体の欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
板状透明体の欠陥検査方法及びその装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は板状透明体の欠陥検
査方法及びその装置に係り、特に板ガラスの欠陥をエッ
ジライト法により検出する板状透明体の欠陥検査方法及
びその装置に関する。
査方法及びその装置に係り、特に板ガラスの欠陥をエッ
ジライト法により検出する板状透明体の欠陥検査方法及
びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、板ガラス等の板状透明体の内部又
は内表面に発生した欠陥部位を検出する方法として、エ
ッジライト法が知られている。エッジライト法は、板ガ
ラスの側面から、側面に対して垂直方向に照明光を照射
し、板状透明体の欠陥部位によって散乱される散乱光を
板状透明体外部で検出する。これにより、板状透明体の
欠陥部位を検出することができる。
は内表面に発生した欠陥部位を検出する方法として、エ
ッジライト法が知られている。エッジライト法は、板ガ
ラスの側面から、側面に対して垂直方向に照明光を照射
し、板状透明体の欠陥部位によって散乱される散乱光を
板状透明体外部で検出する。これにより、板状透明体の
欠陥部位を検出することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
エッジライト法では、板状透明体の側面に対して垂直方
向に照明光を入射させる際に、照明光の一部が板状透明
体の外表面を照射し、この照明光が板状透明体の表面上
に付着したゴミ等の汚れに散乱される場合がある。この
ため、板状透明体の表面に付着した検出対象外の汚れを
欠陥として検出してしまうという問題があった。
エッジライト法では、板状透明体の側面に対して垂直方
向に照明光を入射させる際に、照明光の一部が板状透明
体の外表面を照射し、この照明光が板状透明体の表面上
に付着したゴミ等の汚れに散乱される場合がある。この
ため、板状透明体の表面に付着した検出対象外の汚れを
欠陥として検出してしまうという問題があった。
【０００４】この不具合を解消するためには、板状透明
体の側面周辺を遮光部材によって遮光し、板状透明体の
外表面に照明光が照射されないようにする方法も考えら
れるが、この場合、遮光部材を板状透明体に接触させ
て、隙間なく板状透明体周辺を遮光する必要があるた
め、この方法を搬送中の板状透明体にオンラインで適用
するのは困難であるという問題があった。
体の側面周辺を遮光部材によって遮光し、板状透明体の
外表面に照明光が照射されないようにする方法も考えら
れるが、この場合、遮光部材を板状透明体に接触させ
て、隙間なく板状透明体周辺を遮光する必要があるた
め、この方法を搬送中の板状透明体にオンラインで適用
するのは困難であるという問題があった。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、板状透明体の表面に付着した検出対象外の汚れ
を検出することなく、板状透明体の内部又は内表面に存
在する欠陥のみを板状透明体の搬送中にオンラインで検
出することができる板状透明体の欠陥検査方法及びその
装置を提供することを目的とする。
もので、板状透明体の表面に付着した検出対象外の汚れ
を検出することなく、板状透明体の内部又は内表面に存
在する欠陥のみを板状透明体の搬送中にオンラインで検
出することができる板状透明体の欠陥検査方法及びその
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、板状透明体が搬送される
搬送路の所定位置において、前記搬送路上を走行する板
状透明体の側面に対して前記板状透明体の内表面で全反
射するように一方向に指向性を有する照明光を斜めに入
射させて前記板状透明体の内部を照明し、該照明光が前
記板状透明体の内部又は内表面に存在する欠陥によって
散乱された散乱光を検出することにより、板状透明体の
欠陥を検査する板状透明体の欠陥検査方法において、前
記照明光を前記板状透明体の外表面に対して１５°から
４５°までの範囲で前記板状透明体の側面に入射させる
ことを特徴としている。また、請求項２に記載の発明
は、板状透明体が搬送される搬送路の所定位置におい
て、前記搬送路上を走行する板状透明体の側面に対して
前記板状透明体の内表面で全反射するように一方向に指
向性を有する照明光を斜めに入射させて前記板状透明体
の内部を照明する照明手段と、前記照明光が前記板状透
明体の内部又は内表面に存在する欠陥によって散乱され
た散乱光を検出する散乱光検出手段と、を備えた板状透
明体の欠陥検査装置において、前記照明手段は、前記照
明光を前記板状透明体の外表面に対して１５°から４５
°までの範囲で前記板状透明体の側面に入射させる手段
であることを特徴としている。また、請求項３に記載の
発明は、板状透明体が搬送される搬送路の所定位置にお
いて、前記搬送路上を走行する板状透明体の側面に対し
て前記板状透明体の内表面で全反射するように一方向に
指向性を有する照明光を斜めに入射させて前記板状透明
体の内部を照明する照明手段と、前記照明手段によって
照明される位置を通過する板状透明体の表面の画像を搬
送方向と垂直方向に１ライン分撮影するラインセンサで
あって、前記照明光が前記板状透明体の内部又は内表面
に存在する欠陥によって散乱された散乱光を検出するラ
インセンサと、を備えた板状透明体の欠陥検査装置にお
いて、前記ラインセンサから出力された画像信号の信号
レベルに基づいて前記板状透明体の欠陥によって散乱さ
れた前記散乱光を検出する信号処理手段であって、前記
板状透明体の内部の各位置に同等の欠陥が生じた場合
に、前記ラインセンサの各画素で検出される光強度が一
定となるように前記板状透明体の内部の各位置における
照明光の強度分布に応じて前記ラインセンサから出力さ
れる画像信号の各画素の信号レベルを補正する信号処理
手段を備えたことを特徴としている。また、請求項４に
記載の発明は、前記照明手段によって照明される位置を
通過する板状透明体の上面上方及び下面下方に前記ライ
ンセンサを設けたことを特徴としている。
に、請求項１に記載の発明は、板状透明体が搬送される
搬送路の所定位置において、前記搬送路上を走行する板
状透明体の側面に対して前記板状透明体の内表面で全反
射するように一方向に指向性を有する照明光を斜めに入
射させて前記板状透明体の内部を照明し、該照明光が前
記板状透明体の内部又は内表面に存在する欠陥によって
散乱された散乱光を検出することにより、板状透明体の
欠陥を検査する板状透明体の欠陥検査方法において、前
記照明光を前記板状透明体の外表面に対して１５°から
４５°までの範囲で前記板状透明体の側面に入射させる
ことを特徴としている。また、請求項２に記載の発明
は、板状透明体が搬送される搬送路の所定位置におい
て、前記搬送路上を走行する板状透明体の側面に対して
前記板状透明体の内表面で全反射するように一方向に指
向性を有する照明光を斜めに入射させて前記板状透明体
の内部を照明する照明手段と、前記照明光が前記板状透
明体の内部又は内表面に存在する欠陥によって散乱され
た散乱光を検出する散乱光検出手段と、を備えた板状透
明体の欠陥検査装置において、前記照明手段は、前記照
明光を前記板状透明体の外表面に対して１５°から４５
°までの範囲で前記板状透明体の側面に入射させる手段
であることを特徴としている。また、請求項３に記載の
発明は、板状透明体が搬送される搬送路の所定位置にお
いて、前記搬送路上を走行する板状透明体の側面に対し
て前記板状透明体の内表面で全反射するように一方向に
指向性を有する照明光を斜めに入射させて前記板状透明
体の内部を照明する照明手段と、前記照明手段によって
照明される位置を通過する板状透明体の表面の画像を搬
送方向と垂直方向に１ライン分撮影するラインセンサで
あって、前記照明光が前記板状透明体の内部又は内表面
に存在する欠陥によって散乱された散乱光を検出するラ
インセンサと、を備えた板状透明体の欠陥検査装置にお
いて、前記ラインセンサから出力された画像信号の信号
レベルに基づいて前記板状透明体の欠陥によって散乱さ
れた前記散乱光を検出する信号処理手段であって、前記
板状透明体の内部の各位置に同等の欠陥が生じた場合
に、前記ラインセンサの各画素で検出される光強度が一
定となるように前記板状透明体の内部の各位置における
照明光の強度分布に応じて前記ラインセンサから出力さ
れる画像信号の各画素の信号レベルを補正する信号処理
手段を備えたことを特徴としている。また、請求項４に
記載の発明は、前記照明手段によって照明される位置を
通過する板状透明体の上面上方及び下面下方に前記ライ
ンセンサを設けたことを特徴としている。
【０００７】本発明によれば、搬送路上を走行する板状
透明体の側面から板状透明体内表面で全反射するように
一方向に指向性を有する照明光を斜めに入射し、前記板
状透明体の内部を照明する。そして、板状透明体の内部
又は内表面の欠陥によって散乱される散乱光を検出す
る。これにより、遮光部材によって板状透明体の側面周
辺を遮光しなくても板状透明体の外表面を照明すること
なく板状透明体の内部のみを照明することができ、オン
ラインで容易に板状透明体の欠陥を検出することができ
る。
透明体の側面から板状透明体内表面で全反射するように
一方向に指向性を有する照明光を斜めに入射し、前記板
状透明体の内部を照明する。そして、板状透明体の内部
又は内表面の欠陥によって散乱される散乱光を検出す
る。これにより、遮光部材によって板状透明体の側面周
辺を遮光しなくても板状透明体の外表面を照明すること
なく板状透明体の内部のみを照明することができ、オン
ラインで容易に板状透明体の欠陥を検出することができ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る板状透明体の欠陥検査方法及びその装置について詳説
する。図１は、板ガラスの製造工程において本発明に係
る板状透明体の欠陥検査装置が適用される場合の一実施
の形態を示した構成図である。同図に示すように、切断
されたまま、もしくは面取りされた側面を有する板ガラ
ス１０はガイドローラ１２、１２、…により搬送路上を
搬送され、本発明に係る欠陥検査装置が設置された欠陥
検査部を通過する。欠陥検査部の搬送路周辺には、光電
スイッチ１４、照明光源１６、１８、ラインセンサ２
０、２２が配設される。また、同図に示す収納室２４
に、カメラ用電源２６、パソコン２８、画像処理装置３
０、モニタ３２、照度計本体３４、３６、キーボード３
８等の各種機器が収納される。
る板状透明体の欠陥検査方法及びその装置について詳説
する。図１は、板ガラスの製造工程において本発明に係
る板状透明体の欠陥検査装置が適用される場合の一実施
の形態を示した構成図である。同図に示すように、切断
されたまま、もしくは面取りされた側面を有する板ガラ
ス１０はガイドローラ１２、１２、…により搬送路上を
搬送され、本発明に係る欠陥検査装置が設置された欠陥
検査部を通過する。欠陥検査部の搬送路周辺には、光電
スイッチ１４、照明光源１６、１８、ラインセンサ２
０、２２が配設される。また、同図に示す収納室２４
に、カメラ用電源２６、パソコン２８、画像処理装置３
０、モニタ３２、照度計本体３４、３６、キーボード３
８等の各種機器が収納される。
【０００９】上記光電スイッチ１４は、欠陥検査部に板
ガラス１０が搬送される直前の位置に配設され、搬送路
上を走行する板ガラス１０の先端及び後端を検出する。
光電スイッチ１４によって板ガラス１０の先端又は後端
が検出されると、これらの検出信号はパソコン２８に入
力され、欠陥検査の開始及び終了が制御される。上記照
明光源１６及び照明光源１８は、搬送路の両端に配設さ
れ、それぞれメタルハライドランプ１６Ａ、１６Ａ、１
８Ａ、１８Ａ、光ファイバ１６Ｂ、１６Ｂ、１８Ｂ、１
８Ｂ及びロッドレンズ１６Ｃ、１８Ｃから構成される。
この照明光源１６（又は照明光源１８）は、２台のメタ
ルハライドランプ１６Ａ、１６Ａ（又はメタルハライド
ランプ１８Ａ、１８Ａ）から照明光を発生させる。そし
て、この照明光をガラスファイバ１６Ｂ、１６Ｂ（又は
ガラスファイバ１８Ｂ、１８Ｂ）を介してロッドレンズ
１６Ｃ（又はロッドレンズ１８Ｃ）に導き、ロッドレン
ズ１６Ｃ（又はロッドレンズ１８Ｃ）によって一方向に
高い指向性を有する照明光（平行光）を形成して欠陥検
査部の搬送路を走行する板ガラス１０の側面に照射す
る。尚、ロッドレンズ１６Ｃ、１８Ｃの先端の一部にそ
れぞれ照度計受光部１６Ｄ、１８Ｄが設けられており、
この照度計受光部１６Ｄ、１８Ｄによってロッドレンズ
１６Ｃ、１８Ｃから出射される照明光の光量が検出され
る。そして、検出された照明光の光量はそれぞれ収納室
２４の照度計本体３４、３６に表示される。これによ
り、照明光源１６、１８の光量を確認することができ
る。
ガラス１０が搬送される直前の位置に配設され、搬送路
上を走行する板ガラス１０の先端及び後端を検出する。
光電スイッチ１４によって板ガラス１０の先端又は後端
が検出されると、これらの検出信号はパソコン２８に入
力され、欠陥検査の開始及び終了が制御される。上記照
明光源１６及び照明光源１８は、搬送路の両端に配設さ
れ、それぞれメタルハライドランプ１６Ａ、１６Ａ、１
８Ａ、１８Ａ、光ファイバ１６Ｂ、１６Ｂ、１８Ｂ、１
８Ｂ及びロッドレンズ１６Ｃ、１８Ｃから構成される。
この照明光源１６（又は照明光源１８）は、２台のメタ
ルハライドランプ１６Ａ、１６Ａ（又はメタルハライド
ランプ１８Ａ、１８Ａ）から照明光を発生させる。そし
て、この照明光をガラスファイバ１６Ｂ、１６Ｂ（又は
ガラスファイバ１８Ｂ、１８Ｂ）を介してロッドレンズ
１６Ｃ（又はロッドレンズ１８Ｃ）に導き、ロッドレン
ズ１６Ｃ（又はロッドレンズ１８Ｃ）によって一方向に
高い指向性を有する照明光（平行光）を形成して欠陥検
査部の搬送路を走行する板ガラス１０の側面に照射す
る。尚、ロッドレンズ１６Ｃ、１８Ｃの先端の一部にそ
れぞれ照度計受光部１６Ｄ、１８Ｄが設けられており、
この照度計受光部１６Ｄ、１８Ｄによってロッドレンズ
１６Ｃ、１８Ｃから出射される照明光の光量が検出され
る。そして、検出された照明光の光量はそれぞれ収納室
２４の照度計本体３４、３６に表示される。これによ
り、照明光源１６、１８の光量を確認することができ
る。
【００１０】また、照明光源１６、１８のロッドレンズ
１６Ｃ、１８Ｃは、照明光が板ガラス１０側面に対して
所定角度をもって入射するように斜めに設置されてお
り、板ガラス１０の内部に入射した照明光が板ガラス１
０内表面で全反射するような角度に設定される。これに
より、板ガラス１０内部に入射した照明光は、板ガラス
１０の内表面で全反射を繰り返して板ガラス１０内部を
進行する。尚、詳細は後述する。
１６Ｃ、１８Ｃは、照明光が板ガラス１０側面に対して
所定角度をもって入射するように斜めに設置されてお
り、板ガラス１０の内部に入射した照明光が板ガラス１
０内表面で全反射するような角度に設定される。これに
より、板ガラス１０内部に入射した照明光は、板ガラス
１０の内表面で全反射を繰り返して板ガラス１０内部を
進行する。尚、詳細は後述する。
【００１１】上記ラインセンサ２０、２２はそれぞれ、
照明光源１６、１８が照明光を出射する位置の搬送路を
走行する板ガラス１０の上面上方及び下面下方に設置さ
れ、搬送方向と直交する所定ライン上の板ガラス１０の
上面及び下面を撮影する。ラインセンサ２０（又はライ
ンセンサ２２）は図１に示すように、平行に配設された
３台のラインセンサカメラ２０Ａ、２０Ａ、２０Ａ（又
はラインセンサカメラ２２Ａ、２２Ａ、２２Ａ）を収納
ボックス２０Ｂ（又は収納ボックス２２Ｂ）内に収納
し、これらのラインセンサカメラ２０Ａ、２０Ａ、２０
Ａ（又はラインセンサカメラ２２Ａ、２２Ａ、２２Ａ）
に収納ボックス２０Ｂ（又は収納ボックス２２Ｂ）の開
口部２０Ｃ（又は開口部２２Ｃ）からミラー２０Ｄ（又
はミラー２２Ｄ）を介して画像光を入射して板ガラス１
０の幅方向の全域を撮影する。
照明光源１６、１８が照明光を出射する位置の搬送路を
走行する板ガラス１０の上面上方及び下面下方に設置さ
れ、搬送方向と直交する所定ライン上の板ガラス１０の
上面及び下面を撮影する。ラインセンサ２０（又はライ
ンセンサ２２）は図１に示すように、平行に配設された
３台のラインセンサカメラ２０Ａ、２０Ａ、２０Ａ（又
はラインセンサカメラ２２Ａ、２２Ａ、２２Ａ）を収納
ボックス２０Ｂ（又は収納ボックス２２Ｂ）内に収納
し、これらのラインセンサカメラ２０Ａ、２０Ａ、２０
Ａ（又はラインセンサカメラ２２Ａ、２２Ａ、２２Ａ）
に収納ボックス２０Ｂ（又は収納ボックス２２Ｂ）の開
口部２０Ｃ（又は開口部２２Ｃ）からミラー２０Ｄ（又
はミラー２２Ｄ）を介して画像光を入射して板ガラス１
０の幅方向の全域を撮影する。
【００１２】そして、ラインセンサ２０、２２から出力
された画像信号は収納室２４の画像処理装置３０に入力
され、後述するように画像処理装置３０によってシェー
ディング補正等の信号処理が行われた後、パソコン２８
に入力される。以上のように構成された板状透明体の欠
陥検査装置において、上記照明光源１６、１８と上記ラ
インセンサ２０、２２によって板ガラス１０の欠陥を検
出する原理を図２の説明図を用いて説明する。図２
（Ａ）に示すように、照明光源１６又は照明光源１８に
よって板ガラス１０側面から照明光を斜めに入射させる
と（図２（Ａ）では一方向からの照明光のみ示す。）、
図２（Ｂ）に示すようにこの照明光は板ガラス１０内表
面で全反射しながら板ガラス１０内部を進行する。板ガ
ラス１０に欠陥が存在しない（板ガラス１０が正常な）
場合は、この板ガラス１０内部に入射した照明光はほと
んど散乱されることなく板ガラス１０内部を進行する。
従ってこの場合、図２（Ａ）のように板ガラス１０の上
面上方に設置されたラインセンサ２０によって板ガラス
１０内部から強い散乱光を検出することはない。また、
図には示さないが板ガラス１０の下面下方に設置された
ラインセンサ２２でも同様である。
された画像信号は収納室２４の画像処理装置３０に入力
され、後述するように画像処理装置３０によってシェー
ディング補正等の信号処理が行われた後、パソコン２８
に入力される。以上のように構成された板状透明体の欠
陥検査装置において、上記照明光源１６、１８と上記ラ
インセンサ２０、２２によって板ガラス１０の欠陥を検
出する原理を図２の説明図を用いて説明する。図２
（Ａ）に示すように、照明光源１６又は照明光源１８に
よって板ガラス１０側面から照明光を斜めに入射させる
と（図２（Ａ）では一方向からの照明光のみ示す。）、
図２（Ｂ）に示すようにこの照明光は板ガラス１０内表
面で全反射しながら板ガラス１０内部を進行する。板ガ
ラス１０に欠陥が存在しない（板ガラス１０が正常な）
場合は、この板ガラス１０内部に入射した照明光はほと
んど散乱されることなく板ガラス１０内部を進行する。
従ってこの場合、図２（Ａ）のように板ガラス１０の上
面上方に設置されたラインセンサ２０によって板ガラス
１０内部から強い散乱光を検出することはない。また、
図には示さないが板ガラス１０の下面下方に設置された
ラインセンサ２２でも同様である。
【００１３】また、このように照明光を板ガラス１０側
面に対して斜めに入射させることにより（板ガラス１０
内部を全反射で進行させることにより）、図２（Ｂ）に
示すように、板ガラス１０上面又は下面上に検出対象外
のゴミ等の汚れが付着している場合でも、この汚れに照
明光が照射されることはなく、ラインセンサ２０又はラ
インセンサ２２によって汚れによる散乱光が検出される
ことはない。尚、照明光源１６、１８から出射された照
明光の一部が直接板ガラス１０の外表面（上面）を照射
してしまう場合でも、この照明光は板ガラス１０の外表
面（特に、板ガラス１０の側面付近の外表面）で一度反
射して板ガラス１０の外部空間に放出されるため、この
照明光が板ガラス１０の外表面に付着した汚れを照明す
ることはなく、外表面に付着した汚れによる散乱光が検
出されることはない（尚、実験的には、板ガラス１０の
側面の垂直方向に対して（板ガラス１０の外表面に対し
て）１５°から４５°までの範囲の角度方向から照明光
を照射すれば、外表面に付着した汚れを検出することが
なく好適であることが確認されている）。また、板ガラ
ス１０の両端部が走行する位置に遮光部材を板ガラス１
０に接触しない程度に近接させて設置しておけば、板ガ
ラス１０の外表面を直接照射する照明光を制限すること
ができる。
面に対して斜めに入射させることにより（板ガラス１０
内部を全反射で進行させることにより）、図２（Ｂ）に
示すように、板ガラス１０上面又は下面上に検出対象外
のゴミ等の汚れが付着している場合でも、この汚れに照
明光が照射されることはなく、ラインセンサ２０又はラ
インセンサ２２によって汚れによる散乱光が検出される
ことはない。尚、照明光源１６、１８から出射された照
明光の一部が直接板ガラス１０の外表面（上面）を照射
してしまう場合でも、この照明光は板ガラス１０の外表
面（特に、板ガラス１０の側面付近の外表面）で一度反
射して板ガラス１０の外部空間に放出されるため、この
照明光が板ガラス１０の外表面に付着した汚れを照明す
ることはなく、外表面に付着した汚れによる散乱光が検
出されることはない（尚、実験的には、板ガラス１０の
側面の垂直方向に対して（板ガラス１０の外表面に対し
て）１５°から４５°までの範囲の角度方向から照明光
を照射すれば、外表面に付着した汚れを検出することが
なく好適であることが確認されている）。また、板ガラ
ス１０の両端部が走行する位置に遮光部材を板ガラス１
０に接触しない程度に近接させて設置しておけば、板ガ
ラス１０の外表面を直接照射する照明光を制限すること
ができる。
【００１４】一方、板ガラス１０に欠陥が存在する場合
には、この欠陥によって照明光の一部が散乱される。例
えば、図２（Ｂ）に示すように板ガラス１０内部に泡等
の欠陥部位が存在する場合には、この位置を通過する照
明光が散乱され、この散乱光の一部が板ガラス１０上面
上方又は下面下方に放出される。ラインセンサ２０又は
ラインセンサ２２は、この散乱光を強い光（欠陥のない
板ガラス１０によって観測されるより光よりも強い光）
として検出する。
には、この欠陥によって照明光の一部が散乱される。例
えば、図２（Ｂ）に示すように板ガラス１０内部に泡等
の欠陥部位が存在する場合には、この位置を通過する照
明光が散乱され、この散乱光の一部が板ガラス１０上面
上方又は下面下方に放出される。ラインセンサ２０又は
ラインセンサ２２は、この散乱光を強い光（欠陥のない
板ガラス１０によって観測されるより光よりも強い光）
として検出する。
【００１５】このように、板ガラス１０に欠陥が存在す
ると、ラインセンサ２０又はライセンサ２２によって強
い散乱光が検出されるため、この散乱光の検出により板
ガラス１０の欠陥の有無を判別することが可能となる。
尚、ラインセンサ２０又はラインセンサ２２は板ガラス
１０上面上方又は下面下方の何れかに設置すればよい
が、ラインセンサ２０とラインセンサ２２を板ガラス１
０上面上方及び下面下方の両方に設置すると、図３に示
すように板ガラス１０内表面（上面）に欠陥部位が存在
する場合に特に効果がある。同図に示すように、板ガラ
ス１０の上面に欠陥部位が存在する場合、板ガラス１０
上面上方に散乱される散乱光は弱く上面上方のラインセ
ンサ２０では検出が難しいが、板ガラス１０の下面下方
に散乱される散乱光は強く下面下方のラインセンサ２２
ではこの欠陥を容易に検出することができる。また、こ
れらのラインセンサ２０、２２によって検出された光の
強度を比較することにより、板ガラス１０のいずれの面
に欠陥が生じているかを検出することができる。
ると、ラインセンサ２０又はライセンサ２２によって強
い散乱光が検出されるため、この散乱光の検出により板
ガラス１０の欠陥の有無を判別することが可能となる。
尚、ラインセンサ２０又はラインセンサ２２は板ガラス
１０上面上方又は下面下方の何れかに設置すればよい
が、ラインセンサ２０とラインセンサ２２を板ガラス１
０上面上方及び下面下方の両方に設置すると、図３に示
すように板ガラス１０内表面（上面）に欠陥部位が存在
する場合に特に効果がある。同図に示すように、板ガラ
ス１０の上面に欠陥部位が存在する場合、板ガラス１０
上面上方に散乱される散乱光は弱く上面上方のラインセ
ンサ２０では検出が難しいが、板ガラス１０の下面下方
に散乱される散乱光は強く下面下方のラインセンサ２２
ではこの欠陥を容易に検出することができる。また、こ
れらのラインセンサ２０、２２によって検出された光の
強度を比較することにより、板ガラス１０のいずれの面
に欠陥が生じているかを検出することができる。
【００１６】以上の原理に基づいて、収納室２４に収納
された画像処理装置３０及びパソコン２８はラインセン
サ２０、２２から出力される信号を入力して以下の処理
を実行する。先ず、画像処理装置３０は、ラインセンサ
２０、２２から板ガラス１０の上面及び下面を撮影した
画像信号を入力し、シェーディング補正を行う。図４は
板ガラス１０の内部を伝播する光の透過光量を相対値で
示したものであり、欠陥を照明する光の強度分布に等し
い。従って、同等の欠陥でも散乱光の強さは図４に示す
分布で変化し、ラインセンサ２０、２２の各画素位置に
おいて、同等の欠陥の散乱光にて検出される光量の相対
値は図４と等しい分布になる。
された画像処理装置３０及びパソコン２８はラインセン
サ２０、２２から出力される信号を入力して以下の処理
を実行する。先ず、画像処理装置３０は、ラインセンサ
２０、２２から板ガラス１０の上面及び下面を撮影した
画像信号を入力し、シェーディング補正を行う。図４は
板ガラス１０の内部を伝播する光の透過光量を相対値で
示したものであり、欠陥を照明する光の強度分布に等し
い。従って、同等の欠陥でも散乱光の強さは図４に示す
分布で変化し、ラインセンサ２０、２２の各画素位置に
おいて、同等の欠陥の散乱光にて検出される光量の相対
値は図４と等しい分布になる。
【００１７】通常、最も弱い散乱光となる欠陥は、検出
対象となる欠陥のうち最小サイズの欠陥である。すなわ
ち、ラインセンサ２０、２２の各画素において検出され
た光量が、最小サイズの欠陥による散乱光の強度分布に
到達している場合には、板ガラス１０に欠陥が存在する
と判定することができる。ラインセンサ２０、２２の各
画素毎に、板ガラス１０の欠陥による散乱光を判別する
判定レベルを設定するのは、処理が煩雑になるため、ラ
インセンサ２０、２２から画像信号を入力した画像処理
装置３０は、各画素毎に信号の増幅度を調整し、検出し
たい欠陥による散乱光の信号レベルが一定となるよう
に、シェーディング補正し、各画素の感度を均一にす
る。
対象となる欠陥のうち最小サイズの欠陥である。すなわ
ち、ラインセンサ２０、２２の各画素において検出され
た光量が、最小サイズの欠陥による散乱光の強度分布に
到達している場合には、板ガラス１０に欠陥が存在する
と判定することができる。ラインセンサ２０、２２の各
画素毎に、板ガラス１０の欠陥による散乱光を判別する
判定レベルを設定するのは、処理が煩雑になるため、ラ
インセンサ２０、２２から画像信号を入力した画像処理
装置３０は、各画素毎に信号の増幅度を調整し、検出し
たい欠陥による散乱光の信号レベルが一定となるよう
に、シェーディング補正し、各画素の感度を均一にす
る。
【００１８】これにより、ラインセンサ２０、２２の画
素位置によらず、所定の判定レベルにより板ガラス１０
の欠陥による散乱光を検出することができる。このよう
に画像処理装置３０によってシェーディング補正された
画像信号は、上述したように所定の判定レベルによっ
て、板ガラス１０の欠陥による散乱光の有無を判定す
る。最も弱い散乱光となる欠陥の信号レベルに基づい
て、予め異常とみなせる判定レベルを設定しておき、画
像信号がこの判定レベルより小さい場合には、板ガラス
１０は正常と判定し、逆に判定レベルより大きい場合に
は、板ガラス１０に欠陥が存在すると判定する。この判
定結果は、画像処理装置３０からパソコン２８に送り、
判定結果はモニタ３２に表示する。
素位置によらず、所定の判定レベルにより板ガラス１０
の欠陥による散乱光を検出することができる。このよう
に画像処理装置３０によってシェーディング補正された
画像信号は、上述したように所定の判定レベルによっ
て、板ガラス１０の欠陥による散乱光の有無を判定す
る。最も弱い散乱光となる欠陥の信号レベルに基づい
て、予め異常とみなせる判定レベルを設定しておき、画
像信号がこの判定レベルより小さい場合には、板ガラス
１０は正常と判定し、逆に判定レベルより大きい場合に
は、板ガラス１０に欠陥が存在すると判定する。この判
定結果は、画像処理装置３０からパソコン２８に送り、
判定結果はモニタ３２に表示する。
【００１９】以上説明した欠陥検査装置の検査手順につ
いて説明すると、板ガラス１０の製造行程において、切
り面された板ガラス１０が欠陥検査部に搬送されてくる
と、まず、光電スイッチ１４がこの板ガラス１０の先端
を検出する。これにより、上記欠陥検査装置は欠陥検査
を開始する。即ち、光電スイッチ１４が板ガラス１０の
先端を検出すると、上述のように搬送路を走行する板ガ
ラス１０の側面に照明光源１６、１８から照明光を斜め
に照射し、板ガラス１０を斜めに照明するとともに、ラ
インセンサ２０、２２によって板ガラス１０の上面およ
び下面を１ラインずつ撮影する。そして、このラインセ
ンサ２０、２２によって撮影した板ガラス１０の上面及
び下面の画像信号を順次画像処理装置３０に入力して、
画像処理装置３０によってシェーディング補正した後、
所定の判定レベルによって欠陥の有無を判定し、検査結
果をパソコン２８に送り、モニタ３２に表示する。
いて説明すると、板ガラス１０の製造行程において、切
り面された板ガラス１０が欠陥検査部に搬送されてくる
と、まず、光電スイッチ１４がこの板ガラス１０の先端
を検出する。これにより、上記欠陥検査装置は欠陥検査
を開始する。即ち、光電スイッチ１４が板ガラス１０の
先端を検出すると、上述のように搬送路を走行する板ガ
ラス１０の側面に照明光源１６、１８から照明光を斜め
に照射し、板ガラス１０を斜めに照明するとともに、ラ
インセンサ２０、２２によって板ガラス１０の上面およ
び下面を１ラインずつ撮影する。そして、このラインセ
ンサ２０、２２によって撮影した板ガラス１０の上面及
び下面の画像信号を順次画像処理装置３０に入力して、
画像処理装置３０によってシェーディング補正した後、
所定の判定レベルによって欠陥の有無を判定し、検査結
果をパソコン２８に送り、モニタ３２に表示する。
【００２０】一枚の板ガラス１０について欠陥の有無の
判定が終了し、光電スイッチ１４が板ガラス１０の後端
を検出すると、欠陥検査を終了する。もし、搬送されて
きた一枚の板ガラス１０について欠陥が検出されなかっ
た場合には、この板ガラス１０は正常と判定し、欠陥が
検出された場合には、この板ガラス１０は不良と判定す
る。
判定が終了し、光電スイッチ１４が板ガラス１０の後端
を検出すると、欠陥検査を終了する。もし、搬送されて
きた一枚の板ガラス１０について欠陥が検出されなかっ
た場合には、この板ガラス１０は正常と判定し、欠陥が
検出された場合には、この板ガラス１０は不良と判定す
る。
【００２１】尚、上記実施の形態では、板ガラスの欠陥
検査装置について説明したが、板ガラスに限らず他の板
状透明体に上述の欠陥検査装置を適用することができ
る。また、上記実施の形態では照明光源に、メタルハラ
イドランプを用いたが、これに限らず例えばレーザを用
いてもよい。また、上記実施の形態では、板ガラス１０
の側面は板ガラス１０の表面に対して垂直に成形されて
いる場合を考えて、照明光を板ガラス１０の側面に対し
て斜めに照射し、板ガラス１０の内表面で全反射させる
と説明したが、板ガラス１０の側面が板ガラス１０の表
面に対して垂直に成形されていない場合には、板ガラス
１０の内表面で照明光が全反射するような角度から照明
光を側面に照射すればよい。その際にも、外表面に付着
した汚れを検出しないために、この角度を板ガラスの外
表面に対して１５°から４５°までの範囲内で設定する
ことが好ましい。
検査装置について説明したが、板ガラスに限らず他の板
状透明体に上述の欠陥検査装置を適用することができ
る。また、上記実施の形態では照明光源に、メタルハラ
イドランプを用いたが、これに限らず例えばレーザを用
いてもよい。また、上記実施の形態では、板ガラス１０
の側面は板ガラス１０の表面に対して垂直に成形されて
いる場合を考えて、照明光を板ガラス１０の側面に対し
て斜めに照射し、板ガラス１０の内表面で全反射させる
と説明したが、板ガラス１０の側面が板ガラス１０の表
面に対して垂直に成形されていない場合には、板ガラス
１０の内表面で照明光が全反射するような角度から照明
光を側面に照射すればよい。その際にも、外表面に付着
した汚れを検出しないために、この角度を板ガラスの外
表面に対して１５°から４５°までの範囲内で設定する
ことが好ましい。
【００２２】また、板ガラス側面が面取加工がされてい
ても、照明光がガラス内部に入射できれば検査が可能で
ある（Ｒ面取りされている場合でも問題は生じない）。
ても、照明光がガラス内部に入射できれば検査が可能で
ある（Ｒ面取りされている場合でも問題は生じない）。
【００２３】
【発明の効果】以上本発明に係る板状透明体の欠陥検査
方法及びその装置によれば、搬送路上を走行する板状透
明体の側面から板状透明体内表面で全反射するように一
方向に指向性を有する照明光を斜めに入射して前記板状
透明体の内部を照明し、板状透明体の内部又は内表面の
欠陥によって散乱される散乱光を検出する。これによ
り、遮光部材によって板状透明体の側面周辺を遮光しな
くても板状透明体の外表面を照明することなく板状透明
体の内部のみを照明することができるようになり、オン
ラインで板状透明体の欠陥を正確に検出することができ
る。
方法及びその装置によれば、搬送路上を走行する板状透
明体の側面から板状透明体内表面で全反射するように一
方向に指向性を有する照明光を斜めに入射して前記板状
透明体の内部を照明し、板状透明体の内部又は内表面の
欠陥によって散乱される散乱光を検出する。これによ
り、遮光部材によって板状透明体の側面周辺を遮光しな
くても板状透明体の外表面を照明することなく板状透明
体の内部のみを照明することができるようになり、オン
ラインで板状透明体の欠陥を正確に検出することができ
る。
【図１】図１は、板ガラスの製造工程において本発明に
係る板状透明体の欠陥検査装置が適用される場合の一実
施の形態を示した構成図である。
係る板状透明体の欠陥検査装置が適用される場合の一実
施の形態を示した構成図である。
【図２】図２は、本発明に係る欠陥検査装置において板
ガラス１０の欠陥を検出する原理の説明に用いた説明図
である。
ガラス１０の欠陥を検出する原理の説明に用いた説明図
である。
【図３】図３は、板ガラスの内表面に欠陥部位が存在す
る場合の散乱光の様子を示した図である。
る場合の散乱光の様子を示した図である。
【図４】図４は、板ガラス内部を伝播する照明光の減衰
を透過光量分布を相対値で示した図である。
を透過光量分布を相対値で示した図である。
１０…板ガラス １２…ガイドローラ １４…光電スイッチ １６、１８…照明光源 ２０、２２…ラインセンサ ２８…パソコン ３０…画像処理装置 ３２…モニタ ３４、３６…照度計本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G01M 11/00 - 11/08
Claims (4)
- 【請求項１】板状透明体が搬送される搬送路の所定位置
において、前記搬送路上を走行する板状透明体の側面に
対して前記板状透明体の内表面で全反射するように一方
向に指向性を有する照明光を斜めに入射させて前記板状
透明体の内部を照明し、該照明光が前記板状透明体の内
部又は内表面に存在する欠陥によって散乱された散乱光
を検出することにより、板状透明体の欠陥を検査する板
状透明体の欠陥検査方法において、 前記照明光を前記板状透明体の外表面に対して１５°か
ら４５°までの範囲で前記板状透明体の側面に入射させ
ることを特徴とする板状透明体の欠陥検査方法。 - 【請求項２】板状透明体が搬送される搬送路の所定位置
において、前記搬送路上を走行する板状透明体の側面に
対して前記板状透明体の内表面で全反射するように一方
向に指向性を有する照明光を斜めに入射させて前記板状
透明体の内部を照明する照明手段と、前記照明光が前記
板状透明体の内部又は内表面に存在する欠陥によって散
乱された散乱光を検出する散乱光検出手段と、を備えた
板状透明体の欠陥検査装置において、 前記照明手段は、前記照明光を前記板状透明体の外表面
に対して１５°から４５°までの範囲で前記板状透明体
の側面に入射させる手段であることを特徴とする板状透
明体の欠陥検査装置。 - 【請求項３】板状透明体が搬送される搬送路の所定位置
において、前記搬送路上を走行する板状透明体の側面に
対して前記板状透明体の内表面で全反射するように一方
向に指向性を有する照明光を斜めに入射させて前記板状
透明体の内部を照明する照明手段と、前記照明手段によ
って照明される位置を通過する板状透明体の表面の画像
を搬送方向と垂直方向に１ライン分撮影するラインセン
サであって、前記照明光が前記板状透明体の内部又は内
表面に存在する欠陥によって散乱された散乱光を検出す
るラインセンサと、を備えた板状透明体の欠陥検査装置
において、 前記ラインセンサから出力された画像信号の信号レベル
に基づいて前記板状透明体の欠陥によって散乱された前
記散乱光を検出する信号処理手段であって、前記板状透
明体の内部の各位置に同等の欠陥が生じた場合に、前記
ラインセンサの各画素で検出される光強度が一定となる
ように前記板状透明体の内部の各位置における照明光の
強度分布に応じて前記ラインセンサから出力される画像
信号の各画素の信号レベルを補正する信号処理手段を備
えたことを特徴とする板状透明体の欠陥検査装置。 - 【請求項４】前記照明手段によって照明される位置を通
過する板状透明体の上面上方及び下面下方に前記ライン
センサを設けたことを特徴とする請求項３の板状透明体
の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15077797A JP3329233B2 (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 板状透明体の欠陥検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15077797A JP3329233B2 (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 板状透明体の欠陥検査方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10339705A JPH10339705A (ja) | 1998-12-22 |
| JP3329233B2 true JP3329233B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=15504207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15077797A Expired - Lifetime JP3329233B2 (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 板状透明体の欠陥検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3329233B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216628A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Asahi Glass Co Ltd | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 |
| KR100950964B1 (ko) * | 2002-12-26 | 2010-04-02 | 주식회사 포스코 | 레이저 광원과 ａｐｄ 센서를 이용한 핀홀 검출기 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11337496A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-12-10 | Ngk Insulators Ltd | 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法 |
| KR100781346B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2007-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 글라스 습식 세정장치 |
| DE10221945C1 (de) | 2002-05-13 | 2003-07-31 | Schott Glas | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Fehlstellen in einem kontinuierlich fortbewegten Band aus transparentem Material |
| KR100897223B1 (ko) | 2004-11-24 | 2009-05-14 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 투명 판상체의 결함 검사 방법 및 장치 |
| JP4575460B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2010-11-04 | セイコーインスツル株式会社 | 貼り合わせ方法、及び、表示装置の製造方法 |
| US7869021B2 (en) * | 2007-04-05 | 2011-01-11 | Asti Holdings Limited | Multiple surface inspection system and method |
| KR101101980B1 (ko) * | 2009-09-04 | 2012-01-02 | (주)에이앤아이 | 디스플레이 기판의 이물질 검사장치 |
| TWI412736B (zh) * | 2009-12-04 | 2013-10-21 | Delta Electronics Inc | 基板內部缺陷檢查裝置及方法 |
| JP5738628B2 (ja) * | 2011-03-02 | 2015-06-24 | 株式会社コベルコ科研 | 内部欠陥検査装置および内部欠陥検査方法 |
| JP6091116B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2017-03-08 | キヤノン株式会社 | 画像読取装置 |
| CN107764841B (zh) * | 2017-11-17 | 2024-03-01 | 仝人智能科技(江苏)有限公司 | 一种检测并区分透明玻璃盖板上下表面缺陷的装置及方法 |
| CN109100371A (zh) * | 2018-10-25 | 2018-12-28 | 广东华中科技大学工业技术研究院 | 一种激光全反射式的3c透明构件缺陷检测装置及方法 |
| JP7063839B2 (ja) * | 2019-03-27 | 2022-05-09 | 日立グローバルライフソリューションズ株式会社 | 検査方法、及び検査システム |
| CN114367462B (zh) * | 2021-12-13 | 2024-05-03 | 江苏源泉智能装备科技有限公司 | 一种电镀产品表面缺陷自动检测装置 |
-
1997
- 1997-06-09 JP JP15077797A patent/JP3329233B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100950964B1 (ko) * | 2002-12-26 | 2010-04-02 | 주식회사 포스코 | 레이저 광원과 ａｐｄ 센서를 이용한 핀홀 검출기 |
| JP2009216628A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Asahi Glass Co Ltd | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10339705A (ja) | 1998-12-22 |
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