JP2003139524A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JP2003139524A JP2003139524A JP2001336585A JP2001336585A JP2003139524A JP 2003139524 A JP2003139524 A JP 2003139524A JP 2001336585 A JP2001336585 A JP 2001336585A JP 2001336585 A JP2001336585 A JP 2001336585A JP 2003139524 A JP2003139524 A JP 2003139524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- transparent film
- camera
- level
- light absorbing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被検査体の背景の外乱光の影響を十分に抑制す
る。 【解決手段】カメラ１４は、透明フィルム１１を撮影す
る。画像処理装置１５は、透明フィルム１１の画像に基
づいて、透明フィルム１１の色むらや傷等の欠陥を検査
する。照明装置１３から光吸収面１７へと入射した光の
殆どを該光吸収面１７で吸収し、かつ照明装置１３から
の光の一部を遮蔽板１８により遮って、余分な光が光吸
収面１７で反射されてカメラ１４に入射することを阻止
している。これにより、カメラ１４に入射する外乱光の
レベルが二重に抑制され、カメラ１４からの画像信号に
含まれるノイズのレベルを十分に抑制することができ、
透明フィルム１１の検査精度を向上させることができ
る。
る。 【解決手段】カメラ１４は、透明フィルム１１を撮影す
る。画像処理装置１５は、透明フィルム１１の画像に基
づいて、透明フィルム１１の色むらや傷等の欠陥を検査
する。照明装置１３から光吸収面１７へと入射した光の
殆どを該光吸収面１７で吸収し、かつ照明装置１３から
の光の一部を遮蔽板１８により遮って、余分な光が光吸
収面１７で反射されてカメラ１４に入射することを阻止
している。これにより、カメラ１４に入射する外乱光の
レベルが二重に抑制され、カメラ１４からの画像信号に
含まれるノイズのレベルを十分に抑制することができ、
透明フィルム１１の検査精度を向上させることができ
る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査体をＣＣＤ
カメラ等により撮影して検査する検査装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】この種の従来の検査装置では、例えば図
４に示す様に蛍光燈１０１の光を検査対象の透明シート
１０２に照射して、ＣＣＤカメラ１０３により透明シー
ト１０２を撮影し、ＣＣＤカメラ１０３から出力された
透明シート１０２の画像に基づいて、透明シート１０２
の色むらや傷等の欠陥を検査している。また、透明シー
ト１０２の下方につや消し黒色の光吸収板１０４を配置
して、蛍光燈１０１の光を光吸収板１０４で吸収し、透
明シート１０２の背景の外乱光がＣＣＤカメラ１０３に
入射することを防止している。これにより、透明シート
１０２の画像に含まれるノイズのレベルが抑えられて、
そのＳ／Ｎが高くなり、検査精度が向上する。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、光吸収板１０４により蛍光燈１０１の光
を吸収しているものの、この光を完全に吸収することは
不可能である。従って、点線Ｃで示す様に光吸収板１０
４で僅かの光が反射され、この僅かの光がＣＣＤカメラ
１０３に入射して外乱光となった。このため、透明シー
ト１０２の検査精度の更なる向上を要求されても、この
要求を満たすことができなかった。 【０００４】そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、被検査体の背景の外乱光の影
響を十分に抑制することが可能な検査装置を提供するこ
とを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記従来の課題を解決す
るために、本発明は、光を被検査体に照射する光源と、
被検査体からの反射光を受光する光検出手段とを備えて
おり、光検出手段の検出出力に基づいて、被検査体を検
査する検査装置において、光検出手段側から見て被検査
体の背景となる光吸収面と、光源からの光の一部が光吸
収面で反射されて光検出手段で受光されない様に、該光
の一部を遮る遮蔽体とを備えている。 【０００６】この様な構成の本発明によれば、光吸収面
は、被検査体の背景への入射光をほとんど吸収し、この
背景の外乱光が光検出手段に入射することをほぼ防止す
る。また、遮蔽体は、光源からの余分な光が光吸収面で
反射されて光検出手段で受光されることを阻止する。従
って、背景の外乱光のレベルが二重に抑制される。この
結果として、光検出手段に入射する外乱光のレベルが十
分に抑制され、光検出手段の検出出力に含まれるノイズ
のレベルも十分に抑制され、被検査体を高精度で検査す
ることが可能になる。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面を参照して詳細に説明する。 【０００８】図１は、本発明の検査装置の一実施形態を
示す斜視図である。また、図２は、本実施形態の検査装
置を概略的に示す側面図である。本実施形態の検査装置
では、検査対象の透明フィルム１１を各搬送ローラ１２
上に架け渡し、各搬送ローラ１２を一方向に回転させる
ことにより、透明フィルム１１を矢印Ａの方向に搬送し
ている。 【０００９】照明装置１３は、蛍光燈を備えており、蛍
光燈の光を透明フィルム１１に照射する。カメラ１４
は、ＣＣＤラインセンサを内蔵しており、透明フィルム
１１の線状部分１１ａで反射された光をＣＣＤラインセ
ンサで受光して、この反射光を画像信号に光電変換し、
この画像信号を出力する。透明フィルム１１の搬送に伴
い、カメラ１４のＣＣＤラインセンサによる線状部分１
１ａの走査を繰り返し、これにより透明フィルム１１を
示す画像信号を形成する。画像処理装置１５は、画像信
号を入力して処理し、この画像信号によって示される透
明フィルム１１の画像に基づいて、透明フィルム１１の
色むらや傷等の欠陥を検査する。例えば、透明フィルム
１１の画像の注目部分の階調レベルとその周囲の階調レ
ベルとのレベル差を求め、このレベル差が予め設定され
た閾値以上であるか否かにより、色むらや傷等の欠陥の
有無を判定する。 【００１０】一方、透明フィルム１１の下方に暗視野ボ
ックス１６を配置している。この暗視野ボックス１６
は、照明装置１３からの光が入射するスリット１６ａ
と、光吸収面１７と、遮蔽板１８とを備えている。 【００１１】光吸収面１７は、カメラ１４により撮影さ
れている透明フィルム１１の線状部分１１ａの背景とな
る。この光吸収面１７を含む暗視野ボックス１６の内面
には、例えばつや消しの黒色塗装が施されており、光の
反射率が極めて低く設定されている。このため、照明装
置１３から背景の光吸収面１７へと入射した光の殆どが
該光吸収面１７で吸収され、背景の光吸収面１７で反射
されカメラ１４へと入射する外乱光のレベルが極めて低
いものとなる。 【００１２】また、遮蔽板１８は、照明装置１３→光吸
収面１７→カメラ１４という点線Ｂで示す光路を途中で
遮っている。つまり、遮蔽板１８は、照明装置１３から
の光の一部を遮って、余分な光が光吸収面１７で反射さ
れてカメラ１４に入射することを阻止している。これに
よって、背景の外乱光のレベルが更に低減される。 【００１３】この様に照明装置１３から背景の光吸収面
１７へと入射した光の殆どを該光吸収面１７で吸収し、
かつ照明装置１３からの光の一部を遮蔽板１８により遮
って、余分な光が光吸収面１７で反射されてカメラ１４
に入射することを阻止すれば、カメラ１４に入射する外
乱光のレベルが二重に抑制されることになり、カメラ１
４のＣＣＤラインセンサからの画像信号に含まれるノイ
ズのレベルを十分に抑制することができ、透明フィルム
１１の検査精度を向上させることができる。 【００１４】ここで、例えばＣＣＤラインセンサからの
画像信号を処理して、０〜２５５という２５６階調で表
される画像を生成し、その上で透明フィルム１１が無い
状態での画像の階調レベル、つまり光吸収面１７の階調
レベルを外乱光のレベルとして求めると、そのレベルが
８／２５５であった。これに対して、従来の様に遮蔽板
１８を取り除いて、光吸収面１７のみを配置すると、そ
のレベルが３８／２５５であった。この様な比較から
も、遮蔽板１８により外乱光を十分に抑制し得ることは
明らかである。 【００１５】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではなく、多様に変形することができる。例えば、
図３に示す様に光吸収面１７と遮蔽板１８を別体にして
も構わない。また、検査対象は、透明フィルムに限ら
ず、他の種類のものであっても良い。 【００１６】 【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば、光吸
収面により、被検査体の背景への入射光をほとんど吸収
し、かつ遮蔽体により、光源からの余分な光が光吸収面
で反射されて光検出手段で受光されることを阻止し、こ
れにより背景の外乱光のレベルを二重に抑制している。
この結果として、光検出手段に入射する外乱光のレベル
が十分に抑制され、光検出手段の検出出力に含まれるノ
イズのレベルも十分に抑制され、被検査体を高精度で検
査することが可能になる。
カメラ等により撮影して検査する検査装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】この種の従来の検査装置では、例えば図
４に示す様に蛍光燈１０１の光を検査対象の透明シート
１０２に照射して、ＣＣＤカメラ１０３により透明シー
ト１０２を撮影し、ＣＣＤカメラ１０３から出力された
透明シート１０２の画像に基づいて、透明シート１０２
の色むらや傷等の欠陥を検査している。また、透明シー
ト１０２の下方につや消し黒色の光吸収板１０４を配置
して、蛍光燈１０１の光を光吸収板１０４で吸収し、透
明シート１０２の背景の外乱光がＣＣＤカメラ１０３に
入射することを防止している。これにより、透明シート
１０２の画像に含まれるノイズのレベルが抑えられて、
そのＳ／Ｎが高くなり、検査精度が向上する。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、光吸収板１０４により蛍光燈１０１の光
を吸収しているものの、この光を完全に吸収することは
不可能である。従って、点線Ｃで示す様に光吸収板１０
４で僅かの光が反射され、この僅かの光がＣＣＤカメラ
１０３に入射して外乱光となった。このため、透明シー
ト１０２の検査精度の更なる向上を要求されても、この
要求を満たすことができなかった。 【０００４】そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、被検査体の背景の外乱光の影
響を十分に抑制することが可能な検査装置を提供するこ
とを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記従来の課題を解決す
るために、本発明は、光を被検査体に照射する光源と、
被検査体からの反射光を受光する光検出手段とを備えて
おり、光検出手段の検出出力に基づいて、被検査体を検
査する検査装置において、光検出手段側から見て被検査
体の背景となる光吸収面と、光源からの光の一部が光吸
収面で反射されて光検出手段で受光されない様に、該光
の一部を遮る遮蔽体とを備えている。 【０００６】この様な構成の本発明によれば、光吸収面
は、被検査体の背景への入射光をほとんど吸収し、この
背景の外乱光が光検出手段に入射することをほぼ防止す
る。また、遮蔽体は、光源からの余分な光が光吸収面で
反射されて光検出手段で受光されることを阻止する。従
って、背景の外乱光のレベルが二重に抑制される。この
結果として、光検出手段に入射する外乱光のレベルが十
分に抑制され、光検出手段の検出出力に含まれるノイズ
のレベルも十分に抑制され、被検査体を高精度で検査す
ることが可能になる。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面を参照して詳細に説明する。 【０００８】図１は、本発明の検査装置の一実施形態を
示す斜視図である。また、図２は、本実施形態の検査装
置を概略的に示す側面図である。本実施形態の検査装置
では、検査対象の透明フィルム１１を各搬送ローラ１２
上に架け渡し、各搬送ローラ１２を一方向に回転させる
ことにより、透明フィルム１１を矢印Ａの方向に搬送し
ている。 【０００９】照明装置１３は、蛍光燈を備えており、蛍
光燈の光を透明フィルム１１に照射する。カメラ１４
は、ＣＣＤラインセンサを内蔵しており、透明フィルム
１１の線状部分１１ａで反射された光をＣＣＤラインセ
ンサで受光して、この反射光を画像信号に光電変換し、
この画像信号を出力する。透明フィルム１１の搬送に伴
い、カメラ１４のＣＣＤラインセンサによる線状部分１
１ａの走査を繰り返し、これにより透明フィルム１１を
示す画像信号を形成する。画像処理装置１５は、画像信
号を入力して処理し、この画像信号によって示される透
明フィルム１１の画像に基づいて、透明フィルム１１の
色むらや傷等の欠陥を検査する。例えば、透明フィルム
１１の画像の注目部分の階調レベルとその周囲の階調レ
ベルとのレベル差を求め、このレベル差が予め設定され
た閾値以上であるか否かにより、色むらや傷等の欠陥の
有無を判定する。 【００１０】一方、透明フィルム１１の下方に暗視野ボ
ックス１６を配置している。この暗視野ボックス１６
は、照明装置１３からの光が入射するスリット１６ａ
と、光吸収面１７と、遮蔽板１８とを備えている。 【００１１】光吸収面１７は、カメラ１４により撮影さ
れている透明フィルム１１の線状部分１１ａの背景とな
る。この光吸収面１７を含む暗視野ボックス１６の内面
には、例えばつや消しの黒色塗装が施されており、光の
反射率が極めて低く設定されている。このため、照明装
置１３から背景の光吸収面１７へと入射した光の殆どが
該光吸収面１７で吸収され、背景の光吸収面１７で反射
されカメラ１４へと入射する外乱光のレベルが極めて低
いものとなる。 【００１２】また、遮蔽板１８は、照明装置１３→光吸
収面１７→カメラ１４という点線Ｂで示す光路を途中で
遮っている。つまり、遮蔽板１８は、照明装置１３から
の光の一部を遮って、余分な光が光吸収面１７で反射さ
れてカメラ１４に入射することを阻止している。これに
よって、背景の外乱光のレベルが更に低減される。 【００１３】この様に照明装置１３から背景の光吸収面
１７へと入射した光の殆どを該光吸収面１７で吸収し、
かつ照明装置１３からの光の一部を遮蔽板１８により遮
って、余分な光が光吸収面１７で反射されてカメラ１４
に入射することを阻止すれば、カメラ１４に入射する外
乱光のレベルが二重に抑制されることになり、カメラ１
４のＣＣＤラインセンサからの画像信号に含まれるノイ
ズのレベルを十分に抑制することができ、透明フィルム
１１の検査精度を向上させることができる。 【００１４】ここで、例えばＣＣＤラインセンサからの
画像信号を処理して、０〜２５５という２５６階調で表
される画像を生成し、その上で透明フィルム１１が無い
状態での画像の階調レベル、つまり光吸収面１７の階調
レベルを外乱光のレベルとして求めると、そのレベルが
８／２５５であった。これに対して、従来の様に遮蔽板
１８を取り除いて、光吸収面１７のみを配置すると、そ
のレベルが３８／２５５であった。この様な比較から
も、遮蔽板１８により外乱光を十分に抑制し得ることは
明らかである。 【００１５】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではなく、多様に変形することができる。例えば、
図３に示す様に光吸収面１７と遮蔽板１８を別体にして
も構わない。また、検査対象は、透明フィルムに限ら
ず、他の種類のものであっても良い。 【００１６】 【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば、光吸
収面により、被検査体の背景への入射光をほとんど吸収
し、かつ遮蔽体により、光源からの余分な光が光吸収面
で反射されて光検出手段で受光されることを阻止し、こ
れにより背景の外乱光のレベルを二重に抑制している。
この結果として、光検出手段に入射する外乱光のレベル
が十分に抑制され、光検出手段の検出出力に含まれるノ
イズのレベルも十分に抑制され、被検査体を高精度で検
査することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査装置の一実施形態を示す斜視図で
ある。 【図２】本実施形態の検査装置を概略的に示す側面図で
ある。 【図３】図２の検査装置の変形例を概略的に示す側面図
である。 【図４】従来の検査装置を概略的に示す側面図である。 【符号の説明】 １１ 透明フィルム １２ 搬送ローラ １３ 照明装置 １４ カメラ １５ 画像処理装置 １６ 暗視野ボックス １７ 光吸収面 １８ 遮蔽板
ある。 【図２】本実施形態の検査装置を概略的に示す側面図で
ある。 【図３】図２の検査装置の変形例を概略的に示す側面図
である。 【図４】従来の検査装置を概略的に示す側面図である。 【符号の説明】 １１ 透明フィルム １２ 搬送ローラ １３ 照明装置 １４ カメラ １５ 画像処理装置 １６ 暗視野ボックス １７ 光吸収面 １８ 遮蔽板
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 光を被検査体に照射する光源と、被検査
体からの反射光を受光する光検出手段とを備えており、
光検出手段の検出出力に基づいて、被検査体を検査する
検査装置において、 光検出手段側から見て被検査体の背景となる光吸収面
と、 光源からの光の一部が光吸収面で反射されて光検出手段
で受光されない様に、該光の一部を遮る遮蔽体とを備え
ることを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001336585A JP2003139524A (ja) | 2001-11-01 | 2001-11-01 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001336585A JP2003139524A (ja) | 2001-11-01 | 2001-11-01 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003139524A true JP2003139524A (ja) | 2003-05-14 |
Family
ID=19151385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001336585A Pending JP2003139524A (ja) | 2001-11-01 | 2001-11-01 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003139524A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006053030A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Murata Mfg Co Ltd | 透光性フィルムのエッジ検出方法及びエッジ検出装置並びに積層セラミック電子部品の製造方法及び製造装置 |
| JP2009244024A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | フィルム欠陥検査方法及び装置 |
| ITUD20120143A1 (it) * | 2012-08-17 | 2014-02-18 | Eidon Lab S C A R L | Organo di sfondo per un'apparecchiatura ottica di acquisizione di immagini |
| JP2015064283A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 東都フォルダー工業株式会社 | シート材の外観検査装置 |
| TWI588470B (zh) * | 2016-06-28 | 2017-06-21 | 住華科技股份有限公司 | 缺陷檢測裝置 |
| JP2019134925A (ja) * | 2013-10-24 | 2019-08-15 | スマン ケイ ムルムディ | 解剖学的領域の測定器具及び方法 |
-
2001
- 2001-11-01 JP JP2001336585A patent/JP2003139524A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006053030A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Murata Mfg Co Ltd | 透光性フィルムのエッジ検出方法及びエッジ検出装置並びに積層セラミック電子部品の製造方法及び製造装置 |
| JP2009244024A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | フィルム欠陥検査方法及び装置 |
| CN101551343B (zh) * | 2008-03-31 | 2012-11-28 | 富士胶片株式会社 | 膜缺陷检查方法及装置 |
| ITUD20120143A1 (it) * | 2012-08-17 | 2014-02-18 | Eidon Lab S C A R L | Organo di sfondo per un'apparecchiatura ottica di acquisizione di immagini |
| JP2015064283A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 東都フォルダー工業株式会社 | シート材の外観検査装置 |
| JP2019134925A (ja) * | 2013-10-24 | 2019-08-15 | スマン ケイ ムルムディ | 解剖学的領域の測定器具及び方法 |
| US11311206B2 (en) | 2013-10-24 | 2022-04-26 | Suman K. Mulumudi | Devices and methods for measuring anatomic regions |
| TWI588470B (zh) * | 2016-06-28 | 2017-06-21 | 住華科技股份有限公司 | 缺陷檢測裝置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI569004B (zh) | Sheet inspection device | |
| TW376637B (en) | Dust and scratch correction for a film scanner | |
| EP2397840A2 (en) | Image inspecting apparatus, image inspecting method, image forming apparatus | |
| JPH07110302A (ja) | 透明板の欠陥検出装置 | |
| JP2004037248A (ja) | 検査装置および貫通孔の検査方法 | |
| KR102162693B1 (ko) | 결함 검출 시스템 및 방법 | |
| JP2806415B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| JP2003139524A (ja) | 検査装置 | |
| JP2004309287A (ja) | 欠陥検出装置、および欠陥検出方法 | |
| JP2019138900A (ja) | 鋼板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JP2014169878A (ja) | 基板検査装置 | |
| KR102063551B1 (ko) | 광학필름의 결함 검출 시스템 및 광학필름의 결함 검출 방법 | |
| JP2006017704A (ja) | ガラスボトルを点検するための機械 | |
| JP2009162492A (ja) | 検査装置 | |
| JP2008039444A (ja) | 異物検査方法及び異物検査装置 | |
| JP2002090258A (ja) | レンズの検査方法及び装置並びにシステム | |
| KR102045818B1 (ko) | 투과 광학계 검사 장치 및 이를 이용한 결함 검사 방법 | |
| JP3770294B2 (ja) | フィルム評価方法およびフィルム評価装置 | |
| JPH0448251A (ja) | 瓶検査装置 | |
| JPH04118546A (ja) | 瓶検査装置 | |
| JP5201014B2 (ja) | 酸洗鋼板のスケール残り検査装置 | |
| JPH04216445A (ja) | 瓶検査装置 | |
| JP4620228B2 (ja) | 光散乱透過シートの欠点検査装置 | |
| JP3339416B2 (ja) | 落射照明を用いた品質検査装置 | |
| JPH04178545A (ja) | 透明帯状体の検査方法及び装置 |