JP7063839B2 - 検査方法、及び検査システム - Google Patents
検査方法、及び検査システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7063839B2 JP7063839B2 JP2019059906A JP2019059906A JP7063839B2 JP 7063839 B2 JP7063839 B2 JP 7063839B2 JP 2019059906 A JP2019059906 A JP 2019059906A JP 2019059906 A JP2019059906 A JP 2019059906A JP 7063839 B2 JP7063839 B2 JP 7063839B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- irradiation light
- inspection
- light
- lighting mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
実な検査を行うことができる。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の各実施例の説明により明らかにされる。
[実施例1]
図1は、実施例1に係る検査システム2の構成の一例を示す図である。検査システム2は、例えば、工場等の所定の検査施設内に設けられる。検査システム2では、第1の照明機構22、及び第2の照明機構24から発せられる光(検査光)を利用して撮像装置21が被検査物1の画像を撮影することで、被検査物1のうち、被検査部位である透明窓部18(光を透過させる部品の中央部分)の検査を自動的に行う。
物体である。被検査物1は、例えば、所定の製品に用いられる板状の部材である。本実施例では、被検査物1は、所定の厚みを有する略平板状の矩形のパネルであるものとする。
エリアセンサである。
なお、照明機構24は、被検査物1の表面に生じている欠損を顕在化するための検査光として用いることもできる。
パターン状の光をそのパターンを変化させつつ発するものとする。具体的には、第2の照明機構24は、異なる2方向の縞パターンの光(縦横方向の縞)と、位相を異ならせた4パターンの縞パターンの光(位相を90度ずつずらす)とを組み合わせることで、合計8つの縞パターンの光照射するものとする。
パネルなどからなる入力装置44と、モニタ(ディスプレイ)等からなる出力装置45と、各装置と通信を行う通信装置46とを備える。
<被検査物>
図3は、被検査物1を上方からみた平面図である。
図4は、被検査物1をその平面方向と垂直な断面a-aで切断した側方断面図である。
樹脂、ガラス等である。
ここで、被検査物1の欠陥の検出の原理を説明する。
の反射率が高いと、第2の照明機構24から照射されて被検査物1の表面で反射した光の強度が、第1の照明機構22からの照射光32の強度よりも相対的に強くなり、被検査物1の表面における欠陥の検出を妨げるためである。
<<検査方法>>
図7は、検査システム2が行う検査の手順の一例を説明するフロー図である。
<欠陥検出処理(第1透明部の場合)>
図8は、撮影画像が第1透明部11の画像である場合の欠陥検出処理の一例を示す図である。ここでは、撮影された画像5は、第1透明部11のうち欠陥33が存在しない部分に対応する非欠陥領域51と、第1透明部11のうち欠陥33が存在している部分に対応する欠陥領域52とを有するものとする。欠陥領域52における照射光32の強度は、非欠陥領域51における照射光32の強度よりも大きくなる。
図9は、撮影画像が透明文字部12の画像である場合の欠陥検出処理の一例を示す図である。この場合、処理装置26は、透明文字部12を含む撮影画像61と、撮影画像61と同様の範囲が撮影されている、欠陥33が存在しない被検査物1の透明文字部12の基準画像63とを取得する。そして、処理装置26は、撮影画像61と基準画像63との差分の画像65を生成する。処理装置26は、この生成した差分の画像65に対して、第1透明部11に対する前記の欠陥検出処理と同様の処理を実行することにより、撮影画像61に含まれていた欠陥部分の画像62を抽出する。このように、撮影画像61及び、参照となる基準画像63を用いることで、透明文字部12における照射光32の光強度の変化の影響を相殺し、欠陥部分の画像62の抽出を容易にすることができる。
<結果表示画面>
図10は、結果表示画面の一例を示す図である。この結果表示画面8は、撮像装置21により取得された被検査物1全体の撮影画像が表示される撮影画像表示部80と、被検査物1の欠陥33に対応する撮影画像表示部80上の位置に、欠陥33を表す図形又は文字が表示される欠陥表示部81、82、83とを備える。欠陥表示部81、82、83は、その欠陥33の種類に応じて、形状、色、又は文字の内容を変えて図形又は文字が表示される。これにより、欠陥33の種類、欠陥33における光の強度(信号強度)、欠陥の大きさ等の情報をユーザにわかりやすく提供することができる。同図では、マーカーの形状を欠陥表示部81、82、83で変えている。
このように、本実施例の検査システム2によれば、所定の照射光を透過させる被検査部位を備える被検査物に対して、確実な検査を行うことができる。
実施例1では、被検査物1として板状のパネルを想定した。このパネルの面が湾曲している場合、被検査物1の部位によっては撮像装置21の焦点深度内にその部位が収まらな
い。したがってこの場合は、撮像装置21を適宜移動させなければならないことになる。しかし、被検査物1の面が湾曲せず略平坦である場合にはそのような移動が不要である。そこで、本実施例では、被検査物1の面が略平坦である場合の検査方法について説明する。
検査システム2において、第1の照明機構22からの照射光32が被検査物1の第2透明部16(透明窓部18)に向かって進行した際、その一部は屈折等して第2透明部16の内部に進入するが、残りは反射して第2透明部16の外部に放射される。ここで、第2透明部16の厚みが薄い場合は、照射光32が第2透明部16に入射する効率(導光効率)が低下し、その結果、被検査物1内の欠陥の検出精度が低下することになる。そこで、本実施例に係る被検査物1は、このような導光効率の低下を防ぎ、内部の欠陥を顕在化させる。
以上の各実施例1-3により、被検査物1の透明窓部18における欠陥を検出することができる。ここで、本実施例では、検出された欠陥がダコン欠陥(打痕)であった場合の、被検査物1の補修方法の一例を説明する。
た、遮光物23は検査システム2の一部として複数の被検査物1の検査に用いるように説明をしたが、遮光物23をあらかじめ被検査物1の保護材として貼り付けておき、検査を行ってもよい。
を第2検査ユニットとして一体的に構成し、前記第2検査ユニットを、前記第1検査ユニットによる前記被検査物の検査が可能な位置に移動させる搬送機構を設ける、としてもよい。
Claims (13)
- 所定の照射光を、当該照射光が透過可能な平板部である被検査部位及び当該被検査部位と境界を接し前記照射光が透過しない部位である非透過部を備える被検査物に対して発する照明機構と、前記発せられた照射光を受光する撮像装置とを配置し、
前記被検査物を、前記照明機構と前記撮像装置との間に、前記照明機構からの照射光が当該被検査物の平板部の面に照射する方向に固定し、
前記照明機構からの照射光を遮光する素材からなり、前記照明機構から照射された照射光が直接前記被検査部位に到達することを妨げる遮光物を、前記被検査部位に接触させた位置又は近接させた位置とし、
前記遮蔽物の端部の位置を、前記照射された照射光が前記非透過部及び前記被検査部位の境界部に到達して反射し前記被検査部位の内部に進行可能な位置に固定する、
検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法であって、
前記撮像装置は、前記照明機構から発せられた照射光を受光し、受光した照射光に基づき前記被検査物の画像を生成し、
情報処理装置が、前記生成した被検査物の画像に基づき、前記被検査部位における欠陥の有無を判定する、
検査方法。 - 請求項2に記載の検査方法であって、
前記情報処理装置は、前記被検査部位における欠陥の有無の判定の結果を出力する、検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法であって、
前記被検査物の被検査部位は、前記照明機構の方向に露出する露出面と、当該露出面と異なる方向に露出する他の露出面とを備えており、
前記被検査物の他の露出面に対して前記照射光を発する他の照明機構を設け、
前記撮像装置は、前記他の露出面で反射した、前記他の照明機構から発せられた照射光を受光し、受光した照射光に基づき前記被検査物の画像を生成する、
検査方法。 - 請求項4に記載の検査方法であって、
前記他の照明機構は、強度又は空間分布を周期的に変化させた照射光を発する、検査方法。 - 請求項4に記載の検査方法であって、
前記照明機構が前記照射光を発し前記他の照明機構が前記照射光を発しない時間帯を設けることにより、前記撮像装置は当該時間帯において、前記照明機構から発せられた照射光に基づき前記被検査物の画像を生成する、検査方法。 - 請求項4に記載の検査方法であって。
前記被検査物、前記照明機構、及び前記遮光物を第1検査ユニットとして一体的に構成し、
前記撮像装置、及び前記他の照明機構を第2検査ユニットとして一体的に構成し、
前記第2検査ユニットを、前記第1検査ユニットによる前記被検査物の検査が可能な位置に移動させる搬送機構を設ける、
検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法であって、
前記照射光の、前記被検査物における前記被検査部位以外の部位に対する入射面に粗面加工を施す、検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法であって、
前記照射光の、前記被検査物における前記被検査部位以外の部位に対する入射面に所定の傾斜面を有する突出部を設ける、検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法であって、
前記照射光の、前記被検査物における前記被検査部位以外の部位に対する入射面に、入射した前記照射光を回折させるスリットを設ける、検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法であって、
前記被検査物は略平板状の部材であり、
前記被検査物は、前記略平板状の部材の内側の平板部を構成し、その一方の面から他方の面に前記照射光が透過可能な前記被検査部位としての透過部と、前記透過部の外側の平板部を構成し、前記照射光が透過しない部位である非透過部とを備え、
前記遮光物は、前記照明機構から照射され前記非透過部に到達した照射光が、当該非透過部で反射して前記透過部内の端部を通過する形状を備える、
検査方法。 - 請求項11に記載の検査方法であって、
前記被検査物は、第1層及び第2層からなる略平板状の部材であり、
前記第1層は、前記略平板状の部材の内側の部位を構成し、前記照射光が透過可能な第1透過部と、前記略平板状の部材の外側の部位を構成し、前記照射光が透過しない部位である非透過部とを備え、
前記第2層は、前記照射光が透過可能な第2透過部からなる、
検査方法。 - 光を透過可能な被検査部位を備えた被検査物を、検査する検査システムであって、
所定の照射光を、当該照射光が透過可能な平板部である被検査部位及び当該被検査部位と境界を接し前記照射光が透過しない部位である非透過部を備える被検査物に対して発する照明機構と、
前記発せられた照射光を受光する撮像装置と、
前記照明機構からの照射光を遮光する素材からなり、前記照明機構から照射された照射光が直接前記被検査部位に到達することを妨げる遮光物を、前記被検査部位に接触させた位置又は近接させた位置とした遮光物と、
を有し、
前記被検査物が、前記照明機構と前記撮像装置との間で、前記照明機構からの照射光が当該被検査物の平板部の面に照射する方向に固定され、
前記遮蔽物の端部の位置が、前記照射された照射光が前記非透過部及び前記被検査部位の境界部に到達して反射し前記被検査部位の内部に進行可能な位置に固定されている、
検査システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019059906A JP7063839B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 検査方法、及び検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019059906A JP7063839B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 検査方法、及び検査システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020159879A JP2020159879A (ja) | 2020-10-01 |
JP7063839B2 true JP7063839B2 (ja) | 2022-05-09 |
Family
ID=72642900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019059906A Active JP7063839B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 検査方法、及び検査システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7063839B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112327524B (zh) * | 2020-11-13 | 2023-02-28 | Tcl华星光电技术有限公司 | 基板薄膜缺陷检验方法及装置 |
CN112842262A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 深圳市万德昌创新智能有限公司 | 用于远程医疗的家庭服务机器人结构 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215197A (ja) | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Sekisui Chem Co Ltd | 透明シートの検査方法および装置 |
JP2004309287A (ja) | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 欠陥検出装置、および欠陥検出方法 |
JP2005164272A (ja) | 2003-11-28 | 2005-06-23 | Toshiba Solutions Corp | シート包装検査装置 |
JP2006267022A (ja) | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Kurabo Ind Ltd | 欠陥検査装置及び方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS537288A (en) * | 1976-07-08 | 1978-01-23 | Hamamatsu Tv Co Ltd | Device for detecting flaws of transparent board |
JP3329233B2 (ja) * | 1997-06-09 | 2002-09-30 | 旭硝子株式会社 | 板状透明体の欠陥検査方法及びその装置 |
US6532064B1 (en) * | 2001-10-16 | 2003-03-11 | Baader-Canpolar Inc. | Automatic inspection apparatus and method for simultaneous detection of anomalies in a 3-dimensional translucent object |
-
2019
- 2019-03-27 JP JP2019059906A patent/JP7063839B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215197A (ja) | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Sekisui Chem Co Ltd | 透明シートの検査方法および装置 |
JP2004309287A (ja) | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 欠陥検出装置、および欠陥検出方法 |
JP2005164272A (ja) | 2003-11-28 | 2005-06-23 | Toshiba Solutions Corp | シート包装検査装置 |
JP2006267022A (ja) | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Kurabo Ind Ltd | 欠陥検査装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020159879A (ja) | 2020-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5521377B2 (ja) | ガラス板の欠陥識別方法および装置 | |
US5598262A (en) | Process and device for inspecting transparent material | |
KR100996335B1 (ko) | 복합 구조의 불일치를 검사하기 위한 장치 및 방법 | |
JP5408915B2 (ja) | エッジセンサおよび欠陥検査装置 | |
TWI468674B (zh) | Method for inspection of multi - crystalline wafers | |
CN100565195C (zh) | 图形不匀缺陷检查方法和装置 | |
JP5471477B2 (ja) | ネジ山の検査装置 | |
KR101733197B1 (ko) | 멀티 광학 비전 장치 | |
JP6367862B2 (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
US20120044346A1 (en) | Apparatus and method for inspecting internal defect of substrate | |
KR100894684B1 (ko) | 영상 측정장치 및 레이저 깊이 측정장치를 이용한 금속판재표면결함 검사 장치 및 금속판재 표면결함 검사 방법 | |
JP7063839B2 (ja) | 検査方法、及び検査システム | |
JP2011117928A (ja) | 基板の内部欠陥検査装置および方法 | |
JP4677603B2 (ja) | ねじ軸径測定装置 | |
JP2015135266A (ja) | ガラス板内部の微小異物を検出する方法及びその装置 | |
JP7119034B2 (ja) | 表面検査方法、表面検査装置、および表面検査システム | |
JP2015068670A (ja) | シート状物の欠点検査装置およびシート状物の欠点検査方法 | |
JP4630945B1 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP7448808B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP2012068211A (ja) | シート部材の歪み検査装置及びシート部材の歪み検査方法 | |
CN112782175A (zh) | 一种检测设备及检测方法 | |
JP4315899B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
KR200250993Y1 (ko) | 투과형물체내부의불균일검사장치 | |
JP2013130489A (ja) | ガラス壜の照明装置及び検査装置 | |
JP2009222629A (ja) | 被検物端面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210419 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220329 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7063839 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |