JP2010127910A - フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 光透過性のフィルム４の欠陥測定位置を常にカメラに対し一定に保つことができ、光透過性のフィルム４の正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置１の提供。
【解決手段】 光透過性のフィルム４を接触部で支持しながら搬送する支持ローラ２と、前記接触部においてフィルム４に光を照射する光源３と、光源３からフィルム４に照射されフィルム４を透過した透過光６を検知するカメラ５とを備え、好ましくは、フィルム４の接触部よりもフィルム搬送方向の前及び／又は後に、フィルム４を挟持するフィルム制御ローラ対７，８を備えることを特徴とするフィルムの検査装置１。
【選択図】 図２

Description

本発明は、フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法に関する。

近年、偏向板、位相差板等の光学フィルム、或いは、フレキシブルディスプレイの研究が盛んになっており、光学フィルム等の欠陥検査が重要になっている。これらの光学フィルム等に対し、光を照射し透過光を受光して欠陥を検査する欠陥検査方法は良く知られている。

例えば、図６に示すような、光透過性のフィルムやシートの欠陥検査装置が知られている。図６は、連続式の光透過性フィルムの検査装置の概略図であり、このフィルム検査装置１０は、それぞれ上下一対のフィルム送りローラ１７ａ，１７ｂ及びフィルム受け取りローラ１８ａ，１８ｂを備え、光透過性フィルム１４をそれぞれのローラ対で挟持しながらローラを回転させて、光透過性フィルム１４を左から右へと搬送する。ふたつのローラ対の間にある光源１３から照射された光は、光透過性フィルム１４を透過して受光用のカメラ１５に到達する。カメラ１５は、光透過性フィルム１４に焦点が合わされており、光透過性フィルム１４に欠陥があると、透過光１６の変化によりその欠陥を認識できる。なお、通常は、光源１４及びカメラ１５は、図６の紙面奥に向かって、ほぼ連続的に細長い形状をしており、光透過性フィルム１４の横幅いっぱいに、同時に欠陥測定ができるようになっている。

上記のフィルム検査装置を改良した装置が種々提案されており、例えば、特許文献１には、連続的に移送される透明シート状成形体の片側から、透明シート状成形体に対し斜め方向から高輝度、高指向性の光を照射し、透明シート状成形体を透過してきた光を、反対側の画像入力装置で受光して、あらかじめ設定した高明度閾値と低明度閾値を連続して超える場合を、欠陥と判断する透明シート状成形体の欠陥検査法が提案されている。

特許文献２には、偏光フィルムの欠陥検査方法が開示されており、この偏光フィルムの欠陥検査方法では、偏光フィルムに光源から光を照射し、透過光を、この偏光フィルムとほぼ直角の方向に偏光方向を有する偏光板を通して観察し、その明るさの変化によって、偏光フィルムの表又は裏に欠陥があることを判断している。

特許文献３には、反り等の変形のある枚葉フィルムの欠陥を、フィルム全面にわたって光学的に精度よく容易に検査する検査装置が提案されている。この検査装置は、それぞれ上下一対の送りローラ及び受け取りローラの間を搬送されていく枚葉フィルムを、その中間で上下に光照射光源と受光カメラを配置して、枚葉フィルムの欠陥を検査するものであり（図６参照）、さらに、送りローラのフィルム搬送方向手前側に、上側に浮き矯正ローラ、下側に高さ保持ローラを備えているフィルムの欠陥検査装置である。
特開２００５−２０１７８３号公報 特開２００１−３４９８３９号公報 特開平８−１２８９６８号公報

図６に示した従来の光透過性のフィルムやシートの欠陥検査装置や、特許文献１〜３に提案されている光透過性のフィルムやシートの欠陥検査方法、欠陥検査装置においては、光透過性のフィルムやシートに光照射してその透過光を測定するため、測定対象の光透過性のフィルムやシートと、光透過性のフィルムに光照射するための光源と、光透過性のフィルムからの透過光を撮影するカメラとは、同じ空間にあることを前提としている。この為、検査対象となる光透過性のフィルムやシートが空間に浮いている状態で測定していることになる。検査対象が、樹脂板やガラス板の様な硬い厚手のシート状物であれば、このような状態でも問題はないが、薄く柔らかいフィルムなどの場合、検査空間において、搬送中のフィルムの一部が垂れ下がったり、反ったり、波打ったりといった変形が起こる恐れがある。

検査空間での光透過性のフィルムの変形により、光透過性のフィルムの検査位置がカメラの焦点位置からずれると、カメラの撮影画像がぼけてしまい、正確な欠陥測定が困難になる。特に、精密に欠陥検査を行うためには、カメラを高解像度とし、小さな欠陥も検出できるようにする必要があるが、カメラを高解像度とするためには、カメラの焦点位置と撮影位置を厳密に合わせる必要があり、カメラと光透過性のフィルムの検査位置との距離を一定に保つことがより重要となる。しかし、上記のフィルムやシートの欠陥検査方法や欠陥検査装置においては、検査対象のフィルムやシートが空間にあり、変形しやすいフィルムの位置を常に一定にしておくことが困難であった。測定位置付近でのフィルムの変形を抑えるために、送りローラと受け取りローラの間のフィルムにテンションをかける方法が知られていおり、この方法によれば、搬送方向への変形はある程度解消できるが、搬送方向に垂直な幅方向の反りや波打ちなどにはあまり効果が発揮できない。

本発明の目的は、上記問題点を踏まえ、光透過性のフィルムの欠陥測定位置を常に検知装置に対し一定に保つことができ、光透過性のフィルムの正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法を提供することである。

本発明は、光透過性のフィルムを接触部で支持しながら搬送する支持ローラと、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射装置と、前記光照射装置から前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した透過光を検知する検知装置とを備えることを特徴とするフィルムの検査装置である。

好ましい本発明は、前記フィルムの接触部よりもフィルム搬送方向の前及び／又は後に、前記フィルムを挟持するフィルム制御ローラ対を備えることを特徴とする前記フィルムの検査装置である。

好ましい本発明は、前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの搬送速度を制御することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。

好ましい本発明は、前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。

好ましい本発明は、前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射装置は、前記支持ローラ内部に配置した光源を有することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。

好ましい本発明は、前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持する挟持部を有することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。

好ましい本発明は、前記フィルム制御ローラ対は、複数有り、前記フィルムの幅方向の両端部を含む一部を挟持する挟持部を有することを特徴とする前記フィルムの検査装置である。

好ましい本発明は、前記接触部の異物を除去するクリーニング装置を、さらに備えることを特徴とする前記フィルムの検査装置である。

本発明は、前記いずれかのフィルムの検査装置を備えることを特徴とする光透過性フィルムの製造装置である。

本発明は、光透過性のフィルムを支持ローラによって接触部で支持しながら搬送するフィルム支持工程と、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射工程と、前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した光を検知する光検知工程とを備えることを特徴とするフィルムの検査方法である。

好ましい本発明は、前記フィルムの前記接触部よりもフィルム搬送方向前及び／又は後に配置したフィルム制御ローラ対により、前記フィルムを挟持するフィルム制御工程を備えることを特徴とする前記フィルムの検査方法である。

好ましい本発明は、前記フィルム制御工程においては、前記フィルムの搬送速度を制御することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。

好ましい本発明は、前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。

好ましい本発明は、前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射工程においては、前記支持ローラ内部に配置された光源から前記接触部に光を照射することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。

好ましい本発明は、前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。

好ましい本発明は、前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの幅方向の両端部を含む一部をを挟持することを特徴とする前記フィルムの検査方法である。

好ましい本発明は、前記接触部の異物を除去するクリーニング工程を、さらに備えることを特徴とする前記フィルムの検査方法である。

本発明は、欠陥検査前の光透過性の粗フィルムを、前記のいずれかのフィルムの検査方法により検査して、フィルムを選別することを特徴とする光透過性フィルムの製造方法である。

本発明によれば、光透過性のフィルムの欠陥測定位置を常に検知装置に対し一定に保つことができ、光透過性のフィルムの正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置及びこれを備えた光透過性のフィルムの製造装置、並びにフィルムの検査方法及びこれを用いた光透過性のフィルムの製造方法を提供することができる。

本発明のフィルムの検査装置を実施形態１〜５として説明する。なお、本発明のフィルムの検査装置は、これらの実施形態に限るものではなく、本発明の目的の範囲内で変形、制御することができる。また、この実施形態１〜５のフィルムの検査装置の説明は、本発明のフィルムの検査方法、本発明の光透過性フィルムの製造装置、及び光透過性フィルムの製造装置の説明にも共通するものである。

（実施形態１）
実施形態１のフィルム検査装置（１）を図１に示す。本発明の実施形態１であるフィルム検査装置（１）は、透光性のフィルム４を接触部に接触させながら支持して搬送する支持ローラ２と、接触部においてフィルム４に光を照射する光照射装置である光源３と、フィルム４を介して支持ローラ２と対向する位置に配置された検知装置であるカメラ５とを備えている。フィルム検査装置（１）を参照にして、本発明のフィルム検査装置、及び本発明のフィルム検査方法について説明する。

支持ローラ２とフィルム４の接触部は、フィルム４の搬送方向に所定の幅ｍを有し、フィルム４と支持ローラ２は、線接触ではなく、面接触をしている。なお、所定の幅ｍは、カメラ５で撮影し、欠陥検査ができる範囲の幅があればよい。そして、フィルム４の搬送方向に対して接触部より手前におけるフィルム４の搬送方向と、接触部より後方におけるフィルム４の搬送方向とは、支持ローラ２を挟んで１８０度よりも小さい角度をなしている。通常は、フィルム検査装置（１）で検査するフィルム４は、長尺フィルムであり、フィルム４の搬送方向に緊張した状態で搬送されている。言い換えれば、支持ローラ２が、その軸方向を搬送方向に直角にして、フィルム４を押圧するように接触して支持している。このように、フィルム４は、弛みなく搬送されているので、支持ローラ２とフィルム４の接触部においては、支持ローラ２とフィルム４は密着した状態で接触している。カメラ５は支持ローラ２に対し一定の距離で固定されているので、フィルム４の支持ローラ２との接触部は、常にカメラ５と一定の距離を保つことができる。この為、カメラ５は、フィルム４の接触部を常にピントの合った状態で撮影できる。

通常、支持ローラ２は、フィルム４の搬送速度と同じ周速度で回転している。支持ローラ２をローラに駆動装置を配置して回転させ、フィルム４を搬送する駆動力に利用してもよいし、支持ローラ２は自由回転可能なローラとしておき、フィルム４の巻き取り装置などによる搬送力に伴って、支持ローラ２が連れまわりするようにしておいてもよい。さらに、支持ローラ２は必ずしも回転する必要はなく、フィルム４が支持ローラ２の上をスムースに滑って搬送されていてもよい。この場合、光照射装置は、支持ローラ２のフィルムとの接触部のみから光が照射できる構造であればよいので、支持ローラ２の接触部を透明にしておけば、支持ローラ全体が透明である必要もなくなる。この支持ローラ２の動作がフィルム支持工程にあたる。

支持ローラ２は、どのような材料で構成されていてもよいが、透明な材料で形成されていることが好ましい。特に、フィルム検査装置（１）のように支持ローラ２内部に光源３を備えたタイプのフィルム検査装置では、支持ローラ２は光源３から出射される光の透過性が高い透明材料で形成することが好ましい。具体的には、支持ローラ２の材料としては、高光透過率のガラスやアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、その他の透明樹脂材料を挙げることができる。

フィルム検査装置（１）においては、光照射工程として、支持ローラ２の内部に光源３を有し、光源３から出射される光は、フィルム４の支持ローラ２との接触部に照射されている。光源３は、例えば、検査用照明としてよく用いられているメタルハライドランプ、ハロゲンランプ、ＬＥＤランプ等を用いることができる。フィルム４の照射光は、照射光がフィルム４の接触部を介してカメラ５の受光部に向かっていれば、光ファイバーからの出射光やその他の光でも良い。また、ＬＥＤランプには各色が用いられるが、白色、赤色、青色等特にどのような色でも良く、検査対象物の色や欠陥の色などを勘案して、検出精度が上がる色を用いればよい。

フィルムとの接触部に照射された光は、透明な支持ローラ２と光透過性のフィルム４を通過して透過光６となり、透過光６はカメラ５に到達する。検知装置であるカメラ５の受光部は、フィルム４のローラとの接触部を撮影するように、支持ローラ２とフィルム４の接触部に臨んでおり、透過光６を受光してフィルム４のローラとの接触部を撮影し、フィルム４中の欠陥を検知する。なお、撮影画像からの欠陥の検知は、目視でもよいが、通常は画像処理装置により実行される。この工程が光検知工程である。

このフィルム検査装置（１）においては、カメラ５がフィルム４の支持ローラ２に密着している接触部を撮影するので、カメラ５とフィルム４の距離が変動することがない。カメラ５は、一旦、正確にフィルムに焦点を合わされていれば、フィルム４搬送中に撮影画像に焦点距離の変動によるぼけが生じる恐れがない。この為、カメラ５は、常にフィルム４の明瞭な撮影画像を得ることができ、精密にフィルム４上の欠陥を検知することができる。

図１は、フィルム検査装置（１）の正面図であるが、フィルム４は、ローラの軸方向に幅を持って搬送されているので、光源３及びカメラ５の受光部は、それぞれローラの軸方向にフィルム４の幅に相当する長さで照射し、撮影できることが好ましい。光源３及びカメラ５の受光部がフィルム４の幅に相当する長さで照射し撮影できれば、フィルムの幅方向（フィルム４の搬送方向に垂直な方向をフィルム４の幅方向とする。）全体の欠陥を検査することができる。フィルムの幅方向全体の検査においては、光源３として、発光ダイオード（ＬＥＤ）をフィルム幅だけ細長く並べて配置し、カメラ５として、ＣＣＤカメラの受光部をフィルム幅だけ、ＬＥＤと対向するように細長く並べて配置すれば、同時にフィルムの幅方向全体を撮影し欠陥検査ができる。また、光源３及び／又はカメラ５は、フィルム４の幅方向に走査できるようにして、幅方向全体を光源３及び／又はカメラ５で走査しながら欠陥検査してもよい。フィルム４を搬送しながら、幅方向全体の欠陥検査を繰り返していけば、フィルム４全体の欠陥検査が連続的にできる。

フィルム検査装置（１）の変形例として、光源３とカメラ５の位置を図１とは逆にしてもよい。この場合、光源３が図１におけるカメラ５の位置にあり、支持ローラ２の外側からフィルム４に光を照射し、フィルム４の透過光を支持ローラ２の内部に配置したカメラで撮影して、フィルムの欠陥検査をすることができる。

フィルム４の搬送速度は、カメラの分解能及び低速の際の画像データの膨大化とタクトダウン、高速の際に発生するフィルム４の微妙な振動による影響を抑えられれば、特に制限はない。通常、フィルム４の搬送速度は、１００ｍｍ／分〜１００００ｍｍ／分とすればよい。

検査対象のフィルム４の材質に制限はないが、光透過性のフィルムである必要がある。光透過性であれば、透明である必要はないし、有色であってもよい。具体的なフィルムとしては、光学フィルムとして使用されているＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＭＭＡ（アクリル系樹脂）等のフィルムが挙げられる。上記以外の材質のフィルでも全く問題はなく、また積層タイプのフィルムでも良い。

フィルム検査装置（１）は、支持ローラ２の接触部となる表面に付着した異物を除去するためのクリーニング装置９を備えている。フィルム検査装置（１）においては、クリーニング装置９は、表面に粘着層を形成したローラであり、支持ローラ２の表面に接触しながら回転することにより、支持ローラ２の表面に付着したホコリや塵などを除去し、フィルム４の欠陥検査の誤差要因を取り除いている。

検査対象のフィルム４は、帯電し易い材料が多いので帯電防止材を含んでいる場合が多いが、含んでいない場合もある。帯電防止材を含んでいないフィルム４は、ホコリなどの異物を吸着しやすく、フィルム４に吸着した異物が支持ローラ２上に付着すると、欠陥の誤認を発生させたり、検査対象のフィルム０３に再付着したり、新たな欠陥を発生させたりすることがある。これらの異物を除去するクリーニング装置９は、粘着層を形成したローラ以外にも、例えば、静電吸着タイプの清掃冶具、イオナイザー、液体タイプの清掃装置（支持ローラ２の一部を洗浄液中に浸漬しながら回転させ、洗浄液から出てきた支持ローラ２から液切ローラやエアナイフ等で液体を除去する構造の装置）、又は粘着テープによる支持ローラ２上のホコリ除去等がある。

（実施形態２）
本発明の実施形態２のフィルム検査装置（２）を図２に示す。図２において、（ａ）は、図１と同じようにフィルム検査装置（２）の正面図であり、（ｂ）はフィルム検査装置（２）の平面図である。本発明の実施形態２であるフィルム検査装置（２）は、上述のフィルム検査装置（１）におけるフィルム４の搬送方向の支持ローラ２を挟んだ前後両側に、それぞれフィルム制御ローラ対７、８を備えている。支持ローラ２とフィルム制御ローラ対７及び８とは、それぞれ離間している。そして、フィルム制御ローラ対７は、フィルム制御ローラ７ａと補助ローラ７ｂとにより、フィルム制御ローラ対８は、フィルム制御ローラ８ａと補助ローラ８ｂとにより、それぞれ挟持部においてフィルム４を挟持している。

フィルム制御ローラ対７、８は、フィルム４を挟んで支持ローラ２と反対側に配置されている。この為、フィルム４のフィルム制御ローラ対７から支持ローラ２を通ってフィルム制御ローラ対８への搬送路は、搬送路を構成するのローラにより固定される。フィルム４がフィルム検査装置（２）に搬入されてくる際に、フィルム４の搬入位置が変動しても、フィルム４がフィルム制御ローラ対７の挟持部で挟持されていれば、フィルム４の支持ローラ２への搬送経路は変化しない。また、フィルム４がフィルム検査装置（２）から搬出されていく際に、フィルム４の搬出位置が変動しても、フィルム４がフィルム制御ローラ対８の挟持部で挟持されていれば、フィルム４の支持ローラ２からフィルム制御ローラ対８への搬送経路は変化しない。このため、フィルム４が確実に支持ローラ２に密着されることになる。

この場合、フィルム制御ローラ７ａ又は補助ローラ７ｂと、フィルム制御ローラ８ａ又は補助ローラ８ｂの駆動力、又は回転抵抗を調整することで、フィルム４の搬送速度を制御し、フィルム４の支持ローラ２上への密着の程度を制御することができる。例えば、フィルム４が搬送方向下流で巻き取られているとき、巻き取りに対する律速抵抗をフィルム制御ローラ対７に担わせることにより、フィルム４は確実に支持ローラ２に密着できる。また、フィルム制御ローラ８ａ又は補助ローラ８ｂの駆動力によりフィルム４を搬送してやれば、フィルム４を支持ローラ２上へ密着させながら欠陥検査をすることもできる。

フィルム検査装置（２）におけるフィルム４の欠陥検査方法は、上述のフィルム検査装置（１）におけるフィルム４の欠陥検査方法とほぼ同じである。フィルム検査装置（１）との相違点として、フィルム検査装置（２）は、図２（ｂ）に示すように、フィルム４の幅に相当する長さのフィルム制御ローラ対７、８を備えている。この為、上述のように、フィルム４は、搬入方向及び搬出方向が多少変化しても、支持ローラ２との接触部は変化せず、幅方向全体にわたって支持ローラ２に確実に密着できる。また、フィルム制御ローラ対７、８を支持ローラ２に対して相対的に移動することにより、支持ローラ２の接触部の幅（搬送方向の長さ）やフィルム４の支持ローラ２への密着力を調整することができる。フィルム制御ローラ対７、８は、図２（ａ）において、上下でも左右でも移動することにより、上記の効果を発揮できる。このようにしてフィルム制御工程が実行される。

フィルム制御ローラ対７の支持部における、フィルム４のフィルム制御ローラ対７への搬入方向と、フィルム制御ローラ対７から支持ローラ２への搬送方向との方向変換の角度は、及びフィルム制御ローラ対８の支持部における、フィルム４の支持ローラ２からフィルム制御ローラ対８への搬送方向と、フィルム制御ローラ対８からの搬出方向との方向変換の角度θは、４５度以内とすることが好ましい。この方向変換の角度θが４５度を超えると、フィルム４の搬送抵抗が大きくなることがあり好ましくない。

（実施形態３）
本発明の実施形態３のフィルム検査装置（３）を図３に示す。図３において、図２と同じように、（ａ）はフィルム検査装置（３）の正面図であり、（ｂ）は平面図である。本発明の実施形態３であるフィルム検査装置（３）は、上述のフィルム検査装置（２）における支持ローラ２及びフィルム制御ローラ対７、８のうち少なくともひとつのローラが駆動ローラになっている。例えば、フィルム検査装置（３）は、支持ローラ２とフィルム制御ローラ対７、８がすべて駆動ローラ（及び駆動ローラ対）になっており、フィルム４の搬送力を担っている。この為、フィルム４は、フィルム検査装置（１）や（２）のように、フィルム検査装置外からのフィルム搬送力によって搬送しなくてもフィルム検査装置（３）を搬送できる。

フィルム検査装置（３）においては、例えば、枚葉フィルムをフィルム制御ローラ対７の挟持部に差し込んでやれば、フィルム制御ローラ対７の搬送駆動力により支持ローラ２の接触部付近に搬送されていき、支持ローラ２の搬送駆動力によりさらに、フィルム制御ローラ対８に付近に搬送されていき、フィルム制御ローラ対８に挟持されながら搬出されていく。枚葉フィルムの先端が上記のように動作しにくいときは、フィルム制御ローラ対７，８を支持ローラ２に近づけたり、支持ローラ２との上下位置関係を変更したりして、フィルム制御ローラ対７，８の支持ローラ２との相対位置を調整してやればよい。また、この際、フィルム制御ローラ対８に、フィルム制御ローラ対７よりも周速が若干速くなるような駆動力を持たせることで、支持ローラ２上のフィルム４の密着性を向上させることができる。なお、この場合、フィルム制御ローラ対７の搬送方向手前下部、及びフィルム制御ローラ対８の搬送方向後方下部に、枚葉フィルム供給及び搬出用のトレーが設置されていることが好ましい。

（実施形態４）
本発明の実施形態４のフィルム検査装置（４）を図４に示す。図４において、図２と同じように、（ａ）はフィルム検査装置（４）の正面図であり、（ｂ）は平面図である。本発明の実施形態４であるフィルム検査装置（４）は、上述のフィルム検査装置（２）の変形例であり、フィルム検査装置（２）におけるフィルム制御ローラ対７、及び８が、それぞれ軸長の短い３個ずつのフィルム制御ローラ対７ａｂ，７ｃｄ，７ｅｆ、及び８ａｂ，８ｃｄ，８ｅｆに変更されている。すなわち、図４（ｂ）に示すように、フィルム制御ローラ７ａ，７ｅ、及び８ａ，８ｅは、フィルム４の幅方向の両端部を挟持するように配置され、フィルム制御ローラ７ｃ及び８ｃは、フィルム４の幅方向のほぼ中央部を挟持するように配置されている。なお、図４（ｂ）においては、フィルム制御ローラ対の一方のローラである補助ローラ７ｂ，７ｄ，７ｆ、及び８ｂ，８ｄ，８ｆは、フィルム４を介して、フィルム制御ローラ７ａ，７ｃ，７ｅ、及び８ａ，８ｃ，８ｅの紙面裏側で対向しており、図示されていない。

フィルム検査装置（４）は、上記以外ではフィルム検査装置（２）と同じように作動し、同じような作用効果を有するが、搬送方向前後のフィルム制御ローラ対をそれぞれ複数有しているので、それぞれのフィルム制御ローラ対の位置や駆動力、搬送抵抗を調整することにより、フィルム４の部分的な反りや波打ち、変形などによる支持ローラ２との密着不良を改善することができる。

（実施形態５）
本発明の実施形態５のフィルム検査装置（５）を図５に示す。図５において、図４と同じように、（ａ）はフィルム検査装置（５）の正面図であり、（ｂ）は平面図である。本発明の実施形態５であるフィルム検査装置（５）は、上述のフィルム検査装置（４）における支持ローラ２並びにフィルム制御ローラ対７ａ〜７ｆ、及び８ａ〜８ｆの少なくともひとつが駆動ローラになっている。例えば、フィルム検査装置（５）は、支持ローラ２及びフィルム制御ローラ７ｃ，８ｃが駆動ローラになっており、フィルム４の搬送力を担っている。この為、フィルム４は、フィルム検査装置（２）や（３）のように、フィルム検査装置外からの搬送力によってフィルムを搬送しなくてもよい。

フィルム検査装置（５）においては、例えば、枚葉フィルムを支持ローラ２とフィルム制御ローラ対７の挟持部に差し込み、挟持させてやれば、支持ローラ２の搬送駆動力により搬送されていき、さらに、フィルム４を支持ローラ２に密着させながら支持ローラ２とフィルム制御ローラ対８の挟持部に差し込み、挟持させてやれば、フィルム４は支持ローラ２に密着しながら搬送されていく。なお、この際、フィルム制御ローラ８ｂに、フィルム制御ローラ７ｂよりも周速が若干速くなるような駆動力を持たせることで、支持ローラ２上のフィルム４の密着性を向上させることができる。

フィルム検査装置（５）は、例えば、枚葉フィルムをフィルム制御ローラ対７の挟持部に差し込んでやれば、フィルム制御ローラ７ｂと支持ローラ２の搬送駆動力により搬送されていき、さらに、フィルム制御ローラ対８に挟持されながら搬送されていく。枚葉フィルムの先端が上記のように動作しにくいときは、フィルム制御ローラ対７，８を支持ローラ２に近づけたり、支持ローラ２との上下位置関係を変更したりして、フィルム制御ローラ対７，８の支持ローラ２との相対位置を調整してやればよい。また、この際、フィルム制御ローラ対８に、フィルム制御ローラ対７よりも周速が若干速くなるような駆動力を持たせることで、支持ローラ２上のフィルム４の密着性を向上させることができる。なお、この場合、フィルム制御ローラ対７の搬送方向手前下部、及びフィルム制御ローラ対８の搬送方向後方下部に、枚葉フィルム供給及び搬出用のトレーが設置されていることが好ましい。

以上で説明した実施形態１〜５のフィルム検査装置を、光透過性のフィルムの製造装置に組み込んで、作製されたフィルムの欠陥を検査し、欠陥のないフィルムのみを製品とすれば、欠陥のない光透過性のフィルムが製造できる。また、実施形態１〜５のフィルム検査方法を用いて、欠陥検査のなされていない光透過性の粗フィルムの欠陥を検査し、欠陥のな光透過性のフィルムを選別することにより、光透過性のフィルム製造方法となる。

本発明のフィルム検査装置（１）の概略図 本発明のフィルム検査装置（２）の正面図（ａ）、と平面図（ｂ） 本発明のフィルム検査装置（３）の正面図（ａ）、と平面図（ｂ） 本発明のフィルム検査装置（４）の正面図（ａ）、と平面図（ｂ） 本発明のフィルム検査装置（５）の正面図（ａ）、と平面図（ｂ） 従来のフィルム検査装置の概略図

符号の説明

１ ：本発明のフィルム検査装置
２ ：支持ローラ
３ ：光源（光照射装置）
４ ：フィルム
５ ：カメラ（検知装置）
６ ：透過光
７ ：フィルム制御ローラ対
７ａ，７ｃ，７ｅ ：フィルム制御ローラ
７ｂ ：補助ローラ
８ ：フィルム制御ローラ対
８ａ，８ｃ，８ｅ ：フィルム制御ローラ
８ｂ ：補助ローラ
９ ：クリーニング装置
１０ ：従来のフィルム検査装置
１３ ：光源
１４ ：フィルム
１５ ：カメラ
１６ ：透過光
１７ａ，１７ｂ ：送りローラ
１８ａ，１８ｂ ：受け取りローラ
ｍ ：ローラのフィルムとの接触部の長さ
θ ：フィルム制御ローラ対の支持部における搬送方向の変更角

Claims (18)

1. 光透過性のフィルムを接触部で支持しながら搬送する支持ローラと、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射装置と、前記光照射装置から前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した透過光を検知する検知装置とを備えることを特徴とするフィルムの検査装置。
2. 前記フィルムの接触部よりもフィルム搬送方向の前及び／又は後に、前記フィルムを挟持するフィルム制御ローラ対を備えることを特徴とする請求項１に記載のフィルムの検査装置。
3. 前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの搬送速度を制御することを特徴とする請求項２に記載のフィルムの検査装置。
4. 前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
5. 前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射装置は、前記支持ローラ内部に配置した光源を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
6. 前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持する挟持部を有することを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
7. 前記フィルム制御ローラ対は、複数有り、前記フィルムの幅方向の両端部を含む一部を挟持する挟持部を有することを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
8. 前記接触部の異物を除去するクリーニング装置を、さらに備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のフィルムの検査装置を備えることを特徴とする光透過性フィルムの製造装置。
10. 光透過性のフィルムを支持ローラによって接触部で支持しながら搬送するフィルム支持工程と、前記接触部において前記フィルムに光を照射する光照射工程と、前記フィルムに照射され前記フィルムを透過した光を検知する光検知工程とを備えることを特徴とするフィルムの検査方法。
11. 前記フィルムの前記接触部よりもフィルム搬送方向前及び／又は後に配置したフィルム制御ローラ対により、前記フィルムを挟持するフィルム制御工程を備えることを特徴とする請求項１０に記載のフィルムの検査方法。
12. 前記フィルム制御工程においては、前記フィルムの搬送速度を制御することを特徴とする請求項１１に記載のフィルムの検査方法。
13. 前記接触部は、前記フィルムの搬送方向に所定の幅を有することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
14. 前記支持ローラは、前記フィルムとの接触部が光透過性であり、前記光照射工程においては、前記支持ローラ内部に配置された光源から前記接触部に光を照射することを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
15. 前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの幅全体にわたって前記フィルムを挟持することを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
16. 前記フィルム制御ローラ対は、前記フィルムの幅方向の両端部を含む一部をを挟持することを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
17. 前記接触部の異物を除去するクリーニング工程を、さらに備えることを特徴とする請求項１０〜１６のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法。
18. 欠陥検査前の光透過性の粗フィルムを、請求項１０〜１７のいずれか一項に記載のフィルムの検査方法により検査して、フィルムを選別することを特徴とする光透過性フィルムの製造方法。

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