JP2015139967A - ブレイク装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】脆性材料基板を安全かつ確実にスクライブラインに沿ってブレイクすることのできるブレイク装置を提供する。【解決手段】表面にスクライブラインSが形成された脆性材料基板Mを当該スクライブラインSに沿ってブレイクするブレイク装置Aであって、基板Mを載置して搬送する搬送帯1を備えたコンベア2と、搬送帯1の上方で、当該搬送帯1の基板搬送方向に対して直交する方向に延伸して配置された一対の受け部材3、3と、搬送帯1の下方で、一対の受け部材3、3の中間位置に配置された昇降可能な押圧部材7とからなる構成とする。【選択図】図2
Description
本発明は、ガラス基板や半導体基板等の脆性材料基板のブレイク装置に関する。特に本発明は、予め基板表面にスクライブラインが形成されている脆性材料基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置に関する。
従来、基板表面にスクライブラインが形成されている脆性材料基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクする方法の一つとして、例えば図6に示す手段がある。
この方法では、スクライブラインSを下側にした状態でステージ11上のクッションシート12に載置し、スクライブラインSの直上からブレイクバー13で押し付けて脆性材料基板Mを下方に撓ませて、スクライブラインSの亀裂を厚み方向に浸透させてブレイクしている。
また、別の方法として、図7に示すような手段も知られている。この方法では、間隔をあけて左右一対の受け部材14、14を配置し、その上にスクライブラインSを下側にした状態で、かつ、当該スクライブラインSが左右の受け部材14、14の中間位置とした状態で載置し、スクライブラインSの直上からブレイクバー15を押し付け、脆性材料基板Mを下方に撓ませてスクライブラインSの亀裂を厚み方向に浸透させてスクライブラインSに沿ってブレイクしている。
しかし、上記した何れの方法も、前段のスクライブ工程で脆性材料基板Mの上面にスクライブラインSを加工した後、スクライブラインSが下側になるように脆性材料基板Mを表裏反転させなければならないので、脆性材料基板を反転させるための機構を必要とし、装置が大掛かりになるとともに反転動作に時間がかかり、生産性が低下するといった欠点を有している。
この方法では、スクライブラインSを下側にした状態でステージ11上のクッションシート12に載置し、スクライブラインSの直上からブレイクバー13で押し付けて脆性材料基板Mを下方に撓ませて、スクライブラインSの亀裂を厚み方向に浸透させてブレイクしている。
また、別の方法として、図7に示すような手段も知られている。この方法では、間隔をあけて左右一対の受け部材14、14を配置し、その上にスクライブラインSを下側にした状態で、かつ、当該スクライブラインSが左右の受け部材14、14の中間位置とした状態で載置し、スクライブラインSの直上からブレイクバー15を押し付け、脆性材料基板Mを下方に撓ませてスクライブラインSの亀裂を厚み方向に浸透させてスクライブラインSに沿ってブレイクしている。
しかし、上記した何れの方法も、前段のスクライブ工程で脆性材料基板Mの上面にスクライブラインSを加工した後、スクライブラインSが下側になるように脆性材料基板Mを表裏反転させなければならないので、脆性材料基板を反転させるための機構を必要とし、装置が大掛かりになるとともに反転動作に時間がかかり、生産性が低下するといった欠点を有している。
そこで、脆性材料基板を表裏反転させることなく、スクライブライン形成面を上向きにしたままブレイクする方法として、例えば特許文献1に示すような方法が知られている。この方法を実施するための装置の概要について図8を参照しつつ説明する。
図8(a)に示すように、脆性材料基板Mを上流から下流に搬送する上流側コンベア16と下流側コンベア17が間隙Pをあけて直列に配置されている。さらに、これらのコンベアの間隙P内で搬送される脆性材料基板Mを挟んでその上方側に左右一対の受け部材18、18が、下方側にブレイクバー19とがそれぞれ昇降可能に配置されている。
そして、スクライブラインSを上向きにした状態で上流側コンベア16により搬送される脆性材料基板Mがブレイクバー19の昇降位置に来た時にコンベア16、17が停止し、この後、図8(b)に示すように、上方から受け部材18、18が降下して脆性材料基板Mの上面に接触するとともに、下方からブレイクバー19が上昇し、脆性材料基板Mを上方に撓ませてスクライブラインSに沿ってブレイクしている。
図8(a)に示すように、脆性材料基板Mを上流から下流に搬送する上流側コンベア16と下流側コンベア17が間隙Pをあけて直列に配置されている。さらに、これらのコンベアの間隙P内で搬送される脆性材料基板Mを挟んでその上方側に左右一対の受け部材18、18が、下方側にブレイクバー19とがそれぞれ昇降可能に配置されている。
そして、スクライブラインSを上向きにした状態で上流側コンベア16により搬送される脆性材料基板Mがブレイクバー19の昇降位置に来た時にコンベア16、17が停止し、この後、図8(b)に示すように、上方から受け部材18、18が降下して脆性材料基板Mの上面に接触するとともに、下方からブレイクバー19が上昇し、脆性材料基板Mを上方に撓ませてスクライブラインSに沿ってブレイクしている。
しかし、上記のブレイク方法では、上流側コンベア16と下流側コンベア17との間にブレイクバー19を配置するための間隙Pを設ける必要がある。このような間隙Pの存在によって、図9(a)に示すように、上流側コンベア16から下流側コンベア17に脆性材料基板Mを受け渡す際に、基板Mの先端が下流側コンベア17の先端部分に接触して損傷したり、基板Mの向きがずれたりするといった不具合が発生することがある。
特に近年において基板の薄板化、小型化が進み、基板の厚さが薄い場合は間隙P内で先端部分が下方に垂れ気味になることから、上記した不具合の発生が特に問題となる。また、基板のサイズが小さい場合は、図9(b)に示すように、脆性材料基板Mが間隙P内で傾いたり、落下したりするといった不具合も発生する。
そこで、本発明の目的は、上記した間隙の存在による不具合を解消し、脆性材料基板を安全かつ確実にスクライブラインに沿ってブレイクすることのできるブレイク装置を提供することにある。
特に近年において基板の薄板化、小型化が進み、基板の厚さが薄い場合は間隙P内で先端部分が下方に垂れ気味になることから、上記した不具合の発生が特に問題となる。また、基板のサイズが小さい場合は、図9(b)に示すように、脆性材料基板Mが間隙P内で傾いたり、落下したりするといった不具合も発生する。
そこで、本発明の目的は、上記した間隙の存在による不具合を解消し、脆性材料基板を安全かつ確実にスクライブラインに沿ってブレイクすることのできるブレイク装置を提供することにある。
上記課題を解決するためになされた本発明のブレイク装置は、表面にスクライブラインが形成された脆性材料基板を当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置であって、前記脆性材料基板を載置して搬送する搬送帯を備えたコンベアと、前記搬送帯の上方で、当該搬送帯の基板搬送方向に対して直交する方向に延伸して配置された一対の受け部材と、前記搬送帯の下方で、前記一対の受け部材の中間位置に配置された昇降可能な押圧部材とからなり、前記搬送帯は前記押圧部材の押し付け力によって上方に撓むことができる素材で形成されている構成とした。
ここで、前記押圧部材は長尺のブレイクバーで形成され、前記搬送帯の基板搬送方向に対して直交する方向に沿って延伸して形成されている構成とするのが好ましい。
ここで、前記押圧部材は長尺のブレイクバーで形成され、前記搬送帯の基板搬送方向に対して直交する方向に沿って延伸して形成されている構成とするのが好ましい。
本発明によれば、前工程で基板表面にスクライブラインが形成された状態で、搬送帯により搬送されてきた脆性材料基板を、搬送帯の下方に配置した押圧部材を押し上げて、当該搬送帯もろとも脆性材料基板を一対の受け部材の間で上方に撓ませることにより、脆性材料基板をスクライブラインに沿ってブレイクすることが可能となる。
したがって、本発明では、コンベアを上流側と下流側に分断する必要がなく装置構成を簡略化できるとともに、コンベア間の間隙もなくすことができる。これにより、冒頭に述べたようなコンベア間に搬送帯の存在しない間隙が存在することによって発生する種々の不具合を解消することができ、薄板や小サイズの脆性材料基板であっても歩留まりよく確実にブレイクすることができるといった効果がある。
したがって、本発明では、コンベアを上流側と下流側に分断する必要がなく装置構成を簡略化できるとともに、コンベア間の間隙もなくすことができる。これにより、冒頭に述べたようなコンベア間に搬送帯の存在しない間隙が存在することによって発生する種々の不具合を解消することができ、薄板や小サイズの脆性材料基板であっても歩留まりよく確実にブレイクすることができるといった効果がある。
本発明において、前記押圧部材が配置される部分を除いて、前記搬送帯の裏面を受ける支持部材が設けられている構成とするのがよい。
これにより、搬送帯の下方への垂れ下がりや、うねりの発生を防ぐことができ、脆性材料基板を水平姿勢で安定して搬送することができる。
これにより、搬送帯の下方への垂れ下がりや、うねりの発生を防ぐことができ、脆性材料基板を水平姿勢で安定して搬送することができる。
以下において、本発明のブレイク装置の一実施形態の詳細を、図1〜3に基づいて説明する。
本発明のブレイク装置でブレイクされる脆性材料基板Mは、前段のスクライブ工程で表面にスクライブラインSが予め形成されている。
本発明のブレイク装置でブレイクされる脆性材料基板Mは、前段のスクライブ工程で表面にスクライブラインSが予め形成されている。
ブレイク装置Aは、脆性材料基板Mを載置して図1、2のY方向に搬送する搬送帯(ベルト)1を備えたコンベア2を備えている。搬送帯1は複数の輪体2a…によって無端状に張設されており、コンピュータで制御されたモータ(図示略)によって駆動される。
搬送帯1の上側の部分、すなわち、脆性材料基板Mを載置してY方向に移動する送り側搬送帯部1aの中間部分で、その上方側には、所定の間隔をあけて左右一対の受け部材3、3が設けられている。この受け部材3は、搬送帯1の基板搬送方向に対して直交する方向に延伸された長尺の板材で形成され、下端面が平らに形成されており、門型のブリッジ4の水平なビーム(横梁)5に流体シリンダ6、6によって昇降できるように取り付けられている。受け部材3、3の間隔は、後述するように、押圧部材7の押し付けによって脆性材料基板Mが受け部材3、3の間で撓んでスクライブラインSがブレイクされるのに充分な寸法で設定されている。
さらに、送り側搬送帯部1aの下方で、上記した左右の受け部材3、3の中間位置には押圧部材7が昇降可能に配置されている。押圧部材7は、長尺板状のブレイクバーで形成され、図示したように先端が厚み方向の断面において山状に形成されている。また、押圧部材7は、搬送帯1の基板搬送方向に対して直交する方向に沿って延設され、上記受け部材3、3と共通のブリッジ4に保持された水平なビーム8に流体シリンダ9によって昇降できるように取り付けられている。
また、送り側搬送帯部1aの裏側には、押圧部材7を設けた箇所を除いて当該送り側搬送帯部1aの下面を受ける支持部材10、10が設けられている。これにより、送り側搬送帯部1aの下方への弛みを防止している。なお、この支持部材10はローラであってもよい。
上記の構成において、脆性材料基板MのスクライブラインSを上側にした状態で、かつ、搬送帯1の基板搬送方向に対して直交する方向に延在させた状態で送り側搬送帯部1a上に載置し、上流側から下流側(Y方向)に搬送する。そして、ブレイクすべきスクライブラインSが押圧部材7の昇降位置に来た時に搬送帯1を停止させる。これらの位置検出は位置検出センサ(図示略)によって行われる。
そして、受け部材3、3を降下させて脆性材料基板Mの上面でスクライブラインSの両脇部分に接触させる。この状態で、下方の押圧部材7を上昇させて送り側搬送帯部1aの裏面側を押し上げ、当該送り側搬送帯部1aとともに脆性材料基板Mを受け部材3、3の間で上方側に撓ませる。これにより、スクライブラインSの亀裂を基板厚み方向に浸透させて脆性材料基板MをスクライブラインSに沿ってブレイクする。
そして、受け部材3、3を降下させて脆性材料基板Mの上面でスクライブラインSの両脇部分に接触させる。この状態で、下方の押圧部材7を上昇させて送り側搬送帯部1aの裏面側を押し上げ、当該送り側搬送帯部1aとともに脆性材料基板Mを受け部材3、3の間で上方側に撓ませる。これにより、スクライブラインSの亀裂を基板厚み方向に浸透させて脆性材料基板MをスクライブラインSに沿ってブレイクする。
搬送帯1は、押圧部材7の押し付け力によって撓むことができるように、その材質や厚さが予め設定されている。その材質として具体的には、柔軟性のある天然または合成ゴム材、布材、合成樹脂シート材等を用いることができる。
搬送帯1が脆性材料基板Mを搬送し、ブレイクすべきスクライブラインSの位置が押圧部材7の昇降するスクライブ位置へ到達した時にコンベア2が停止する動作、及び、このスクライブ位置で受け部材3、3が下動する動作並びに押圧部材7が上動する動作は、装置に付帯するコンピュータで構成される制御部(図示略)によって行われる。
以上のように本発明では、送り側搬送帯部1aにより搬送されてきた脆性材料基板Mを、送り側搬送帯部1aの下方側に配置した押圧部材7を押し上げて、送り側搬送帯部1aとともに脆性材料基板Mを左右の受け部材3、3の間で上方に撓ませることにより、脆性材料基板MをスクライブラインSに沿ってブレイクすることが可能となる。したがって、従来のようにコンベアを上流側と下流側とに分割する必要がなく装置を簡略化できるとともに、コンベア間の間隙もなくすことができる。これにより、図8で説明したようなコンベア間の隙間Pの存在により発生する種々の不具合を解消することができ、薄板や小サイズの脆性材料基板であっても歩留まりよく確実にブレイクすることができる。
上記実施例においては、押圧部材7並びに左右の受け部材3、3を共通の門型ブリッジ4により保持させる構成としたが、これに換えて、図4、5に示すように、押圧部材7と、右側の受け部材3並びに左側の受け部材3とをそれぞれ個別のブリッジ4a、4b、4cで保持するように形成することも可能である。この場合、右側の受け部材3を保持するブリッジ4b及び左側の受け部材3を保持するブリッジ4cをY方向に移動できるようにすることにより、対をなす左右の受け部材3、3の間隔を調整することができる。
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施例構造のみに特定されるものではない。例えば押圧部材7は、長尺板状のブレイクバーに替えて、脆性材料基板の表面を押圧しながら転動するローラであってもよい。また、左右の受け部材3、3の間隔の調整は、上記実施例に限らず別の手段で行うようにしてもよい。その他本発明ではその目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
本発明は、表面にスクライブラインが形成されたガラス基板等の脆性材料基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置に適用することができる。
A ブレイク装置
M 脆性材料基板
S スクライブライン
1 搬送帯
1a 送り側搬送帯部
2 コンベア
3 受け部材
4 ブリッジ
7 押圧部材
10 支持部材
M 脆性材料基板
S スクライブライン
1 搬送帯
1a 送り側搬送帯部
2 コンベア
3 受け部材
4 ブリッジ
7 押圧部材
10 支持部材
Claims (3)
- 表面にスクライブラインが形成された脆性材料基板を当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置であって、
前記脆性材料基板を載置して搬送する搬送帯を備えたコンベアと、
前記搬送帯の上方で、当該搬送帯の基板搬送方向に対して直交する方向に延伸して配置された一対の受け部材と、
前記搬送帯の下方で、前記一対の受け部材の中間位置に配置された昇降可能な押圧部材とからなり、
前記搬送帯は前記押圧部材の押し付け力によって上方に撓むことができる素材で形成されているブレイク装置。 - 前記押圧部材が長尺のブレイクバーで形成され、前記搬送帯の基板搬送方向に対して直交する方向に沿って延伸して形成されている請求項1に記載のブレイク装置。
- 前記押圧部材が配置される部分を除いて、前記搬送帯の裏面を受ける支持部材が設けられている請求項1または請求項2に記載のブレイク装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014014771A JP2015139967A (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | ブレイク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014014771A JP2015139967A (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | ブレイク装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015139967A true JP2015139967A (ja) | 2015-08-03 |
Family
ID=53770657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014014771A Pending JP2015139967A (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | ブレイク装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015139967A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018016527A (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ガラス基板分割装置 |
-
2014
- 2014-01-29 JP JP2014014771A patent/JP2015139967A/ja active Pending
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JP2018016527A (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ガラス基板分割装置 |
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