JP6282319B2 - ブレイク方法並びにブレイク装置 - Google Patents
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Description
図5(a)に示すように、マザー基板Mをテーブル10上に載置して上側の第一基板M1の表面にスクライブ予定ラインに沿ってカッターホイール(スクライビングホイールともいう)11を圧接させながら相対移動させることにより、スクライブラインS1を形成する。次いで図5(b)に示すように、マザー基板Mを表裏反転させてクッションシート12上に載せ、第二基板M2上からブレイクバー13を押しつけてマザー基板を撓ませることにより、スクライブラインS1の亀裂を厚み方向に浸透させて第一基板M1をスクライブラインS1に沿って分断する。続いて図5(c)に示すように、マザー基板Mの第二基板M2の表面にカッターホイール11でスクライブラインS2を加工する。この後、図5(d)に示すように、マザー基板Mを再度反転させてクッションシート12上に載せ、ブレイクバー13を押しつけて第二基板M2をスクライブラインS2に沿って分断するようにしている。
この方法では、図6(a)に示すように、マザー基板Mをテーブル10上に載置して第一基板M1の表面にカッターホイール11でスクライブラインS1を形成する。次いで、図6(b)に示すように、マザー基板Mを表裏反転させて上記同様にカッターホイール11で第二基板M2にスクライブラインS2を形成する。この後、図6(c)に示すように、マザー基板Mをクッションシート12上に載せ、第二基板M2上からブレイクバー13を押しつけることによりマザー基板を撓ませて、第一基板M1のスクライブラインS1の亀裂を厚み方向に浸透させて当該スクライブラインS1に沿って第一基板M1を分断する。続いて図6(d)に示すように、マザー基板Mを反転させて第一基板M1上から上記同様にブレイクバー13を押しつけることにより第二基板M2をスクライブラインS2に沿って分断する。
しかし、このような基板の反転動作は基板を反転させるための機構を必要として装置が大掛かりになるとともに装置コストも高くなる。加えて、反転動作に時間がかかるとともに、反転動作中にマザー基板を傷つけるリスクも発生して生産性が低下するといった問題点もあった。
また、ブレイクバーで分断を行う場合は、大きな荷重で一本のスクライブラインを一挙に分断するため、分断面が破壊されやすく端面強度が弱くなりやすい。特に、薄板化が要求される現在では、例えば0.1〜0.25mmといった薄板の基板同士を貼り合わせたマザー基板が提供されているが、このような薄板のマザー基板をブレイクバーでブレイクすると上記したような不具合の発生が更に深刻になるとともに、分断端部にワレ等が生じて不良品となることがある。
特に本発明は、基板を表裏反転させることなく第一基板及び第二基板に形成されたスクライブラインをブレイクすることができる貼り合わせ基板に適したブレイク方法を提供することを目的とする。
傾斜部4bは、その傾斜下位側の上面両脇部分に接触するローラ5と、傾斜上位側の下面に接触するローラ6とによってその傾斜姿勢が保持されている。
尚、第一平坦部4aと第二平坦部4cとの高低差(段差)Hは3〜10mmとするのがよく、傾斜部4bの勾配は1〜3°が好ましい。この高低差並びに勾配は、ブレイクされるマザー基板Mの厚みや材料によって適切な値が選択される。
マザー基板Mが傾斜部4bに移行すると、マザー基板Mは第一平坦部4aと傾斜部4bとの境界部分で屈曲する。そして、マザー基板Mの第二基板M2のクライブラインS2が、図3(b)に示すように第一平坦部4aと傾斜部4bとの境界部分にくると、屈曲外面側となるスクライブラインS2の亀裂が厚み方向に浸透し、スクライブラインS2に沿って第二基板M2がブレイクされる。
この実施例では、直列に配置された前部コンベア3aと後部コンベア3bとからなり、前部コンベア3aに第一平坦部4aが形成され、後部コンベア3bに傾斜部4bと第二平坦部4cが形成されている。これらコンベア3a、3bを同じ速度で駆動させて、前部コンベア3aの第一平坦部4aから後部コンベア3bの傾斜部4bを経て第二平坦部4cにマザー基板Mを移行させることにより、上記実施例同様にスクライブラインS1、S2に沿ってマザー基板Mをブレイクすることができる。
M マザー基板
M1 第一基板
M2 第二基板
S1 第一基板のスクライブライン
S2 第二基板のスクライブライン
2 ベルト
3 コンベア
4 搬送路
4a 第一平坦部
4b 傾斜部
4c 第二平坦部
7 ガイド部材
Claims (1)
- 互いに貼り合わされた第一基板と第二基板の外側表面にそれぞれスクライブラインが形成されている貼り合わせ基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク方法であって、
前記貼り合わせ基板を搬送するコンベアのベルト上面に形成された搬送路に、上流から順に第一平坦部と、当該第一平坦部に連なる傾斜部と、当該傾斜部に連なる第二平坦部とを設け、
前記傾斜部は、傾斜下位側の上面両脇部分に接触するローラと、傾斜上位側の下面に接触するローラとによって傾斜姿勢が保持され、
当該搬送路に沿って前記貼り合わせ基板を上流から下流に搬送し、
前記第一平坦部から前記傾斜部に前記貼り合わせ基板が移行するときの基板の屈曲によって屈曲外面側にある一方のスクライブラインをブレイクし、前記傾斜部から前記第二平坦部に前記貼り合わせ基板が移行するときの基板の屈曲を前記第二平坦部の上部に設けられたガイド部材で前記貼り合わせ基板の先導端部を水平姿勢にガイドすることによって屈曲外面側にある他方のスクライブラインをブレイクすることを特徴とする貼り合わせ基板のブレイク方法。
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