JP2015209343A - ブレイク方法並びにブレイク装置 - Google Patents

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Takashi Kawabata
孝志 川畑
一也 橋本
Kazuya Hashimoto
一也 橋本
橋本 健
Takeshi Hashimoto
健 橋本
智子 中川
Tomoko Nakagawa
智子 中川
敬一 古木
Keiichi Furuki
敬一 古木
清二郎 舩木
Kiyojiro Funaki
清二郎 舩木
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    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

【課題】ブレイクバーを用いることなく、簡単な機構で容易にスクライブラインに沿ってブレイクすることができるブレイク方法並びにブレイク装置を提供する。
【解決手段】表面にスクライブラインS1、S2が形成された基板Mを、当該スクライブラインS1、S2に沿ってブレイクするブレイク方法であって、基板Mを搬送する搬送機構Aの搬送路4に、上流から順に第一平坦部4aと、この第一平坦部4aに連なる傾斜部4bと、さらに傾斜部4bに連なる第二平坦部4cとを設けて、搬送路4に沿って基板Mを上流から下流に搬送し、第一平坦部4aから傾斜部4bに、もしくは傾斜部4bから第二平坦部4cに基板Mが移行するときの基板Mの屈曲によって、屈曲外面側に形成されているスクライブラインS1、S2の亀裂を厚み方向に浸透させて、当該スクライブラインS1、S2に沿って基板Mをブレイクする。
【選択図】図3

Description

本発明は、脆性材料基板をスクライブラインに沿ってブレイクするためのブレイク方法並びにブレイク装置に関する。特に本発明は、二枚のガラス基板を貼り合わせた貼り合わせ基板を、表裏両面に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクするのに適したブレイク方法並びにブレイク装置に関する。
液晶表示パネル用貼り合わせ基板は、二枚の大面積ガラス基板を使用し、一方の基板上にカラーフィルタを形成して、他方の基板上に液晶を駆動するTFT及び端子領域を形成する。そして、これら二枚の基板を貼り合わせて大判のマザー基板を作成し、スクライブ工程並びにブレイク工程を経て、一つ一つの単位表示パネルにブレイク(分断)することにより製品となる液晶表示パネルが切り出される。
マザー基板をブレイクする手順として、例えば特許文献1で示すものがある。この方法の概要について図5を参照して説明する。
図5(a)に示すように、マザー基板Mをテーブル10上に載置し、上側の第一基板M1の表面にスクライブ予定ラインに沿ってカッターホイール(スクライビングホイールともいう)11を圧接させながら相対移動させることにより、スクライブラインS1を形成する。次いで図5(b)に示すように、マザー基板Mを表裏反転させてクッションシート12上に載せ、第二基板M2上からブレイクバー13を押し付けてマザー基板Mを撓ませることにより、スクライブラインS1の亀裂を厚み方向に浸透させて第一基板M1をスクライブラインS1に沿ってブレイクする。続いて図5(c)に示すように、マザー基板Mの第二基板M2の表面にカッターホイール11でスクライブラインS2を加工する。この後、図5(d)に示すように、マザー基板Mを再度反転させてクッションシート12上に載せ、ブレイクバー13を押し付けて第二基板M2をスクライブラインS2に沿ってブレイクするようにしている。
また別の方法として、先にマザー基板の第一基板並びに第二基板の両方にスクライブラインを形成した後、当該スクライブラインに沿ってブレイクする方法がある。
この方法では、図6(a)に示すように、マザー基板Mをテーブル10上に載置し、第一基板M1の表面にカッターホイール11でスクライブラインS1を形成する。次いで、図6(b)に示すように、マザー基板Mを表裏反転させて上記同様にカッターホイール11で第二基板M2にスクライブラインS2を形成する。この後、図6(c)に示すように、マザー基板Mをクッションシート12上に載せ、第二基板M2上からブレイクバー13を押し付けることによりマザー基板Mを撓ませて、第一基板M1のスクライブラインS1の亀裂を厚み方向に浸透させて当該スクライブラインS1に沿って第一基板M1をブレイクする。続いて図6(d)に示すように、マザー基板Mを反転させて第一基板M1上から上記同様にブレイクバー13を押し付けることにより、第二基板M2をスクライブラインS2に沿ってブレイクする。
特開2002−103295号公報
上記したマザー基板のブレイク工程では、何れの場合も一方の基板をブレイクバーでブレイクした後に、マザー基板を反転させて反対側の基板をブレイクする工程、すなわち、マザー基板を表裏反転させる動作を必要としている。
しかし、このような基板の反転動作は基板を反転させるための機構を必要とし、装置が大掛かりになるとともに装置コストも高くなる。加えて、反転動作に時間がかかるとともに、反転動作中にマザー基板を傷つけるリスクも発生して生産性が低下するといった問題点もあった。
また、ブレイクバーでブレイクする場合には、大きな荷重で一本のスクライブラインを一挙にブレイクすることになるため、分断面が破壊されやすく端面強度が弱くなりやすい。特に、薄板化が要求される現在では、例えば0.1〜0.25mmといった薄板の基板同士を貼り合わせたマザー基板が提供されており、このような薄板のマザー基板をブレイクバーでブレイクすると、上記したような不具合の発生がさらに深刻になるとともに、分断面の端部に割れ等が生じて不良品となることがある。
そこで本発明は、ブレイクバーを用いることなく、簡単な機構で容易にスクライブラインに沿ってブレイクすることができるブレイク方法並びにブレイク装置を提供することを目的とする。
特に本発明は、基板を表裏反転させることなく第一基板及び第二基板に形成されたスクライブラインをブレイクすることが可能な、貼り合わせ基板に適したブレイク方法並びにブレイク装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明では次のような技術的手段を講じた。すなわち、本発明のブレイク方法は、表面にスクライブラインが形成された基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク方法であって、前記基板を搬送する搬送機構の搬送路に、上流から順に第一平坦部と、当該第一平坦部に連なる傾斜部と、当該傾斜部に連なる第二平坦部とを設けて、前記搬送路に沿って前記基板を上流から下流に搬送し、前記第一平坦部から前記傾斜部に、もしくは、前記傾斜部から前記第二平坦部に、前記基板が移行するときの基板の屈曲によって屈曲外面側に形成されているスクライブラインの亀裂を厚み方向に浸透させて、当該スクライブラインに沿って前記基板をブレイクするようにしている。
また、別の観点からなされた本発明のブレイク方法は、互いに貼り合わされた第一基板と第二基板の外側表面にそれぞれスクライブラインが形成されている貼り合わせ基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク方法であって、前記貼り合わせ基板を搬送する搬送機構の搬送路に、上流から順に第一平坦部と、当該第一平坦部に連なる傾斜部と、当該傾斜部に連なる第二平坦部とを設けて、前記搬送路に沿って前記貼り合わせ基板を上流から下流に搬送し、前記第一平坦部から前記傾斜部に前記貼り合わせ基板が移行するときの基板の屈曲によって屈曲外面側にある一方のスクライブラインをブレイクし、前記傾斜部から前記第二平坦部に前記貼り合わせ基板が移行するときの基板の屈曲によって屈曲外面側にある他方のスクライブラインをブレイクするようにしている。
また、本発明は、表面にスクライブラインが形成された基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置であって、前記基板を載置して搬送する搬送路を備えた搬送機構が設けられ、前記搬送路は、上流側に設けられた第一平坦部と、当該第一平坦部に連なって形成された傾斜部と、当該傾斜部に連なって前記第一平坦部に対し段差状に形成された第二平坦部とから構成されているブレイク装置をも特徴とする。
本発明によれば、基板を搬送路に沿って搬送する過程において、第一平坦部から傾斜部に、もしくは、当該傾斜部から第二平坦部に基板が移行するときの基板の屈曲によって、屈曲外面側に形成されているスクライブラインの亀裂を厚み方向に浸透させて基板を分断するものであるから、薄板の基板であっても確実にブレイクすることができる。また、ブレイクバー等の押圧体を用いないので、上述したような押圧体の使用による悪影響を抑制できると共に、装置を簡略化することができる。また、搬送路上の搬送途中でブレイクされるものであるから、作業時間を短縮して生産性を向上させることができる。
特に、表裏両面にスクライブラインが形成された貼り合わせ基板のブレイクに際しては、搬送路上に載置した姿勢のままで、第一基板のスクライブライン及び第二基板のスクライブラインを表裏反転させることなくブレイクすることが可能となる。これにより、従来のように貼り合わせ基板を反転させるための工程を省略することができ、作業時間の短縮化と装置のコンパクト化を一層向上させることができ、製品コストの低減を図ることができるといった効果がある。
本発明に係るブレイク装置の一例を示す概略的な斜視図。 図1のブレイク装置全体を側面視した説明図。 図1のブレイク装置の動作を示す説明図。 本発明に係るブレイク装置の別実施例を側面視した説明図。 従来のブレイク手段の一例を示す説明図。 従来のブレイク手段の別の一例を示す説明図。
以下において、本発明のブレイク方法並びにブレイク装置の詳細を、図1〜3に示した実施例に基づいて説明する。ここでは、図2に示すように、第一基板M1と第二基板M2とが貼り合わされ、第一基板M1の表面に第一スクライブラインS1が、第二基板M2の表面に第二スクライブラインS2が前工程のスクライブ工程で予め形成されている液晶表示パネル用貼り合わせ基板M(以下単に「マザー基板M」という)をブレイクする場合について説明する。なお、このマザー基板Mは、トータルの厚みが0.2〜0.5mmと薄く、載置されるベルトなどの接地面の形状に沿って自重により屈曲変形する物性を備えたものとする。
本発明のブレイク装置は、複数の輪体1…によって無端状に張設されたベルト2を有するコンベア3からなる搬送機構Aを備えている。ベルト2の上面は、マザー基板Mを載置して図1、2のY方向に搬送する搬送路4を形成する。コンベア3は、原動機(図示略)によって駆動される。
搬送路4は、上流から水平な第一平坦部4aと、この第一平坦部4aに連なって上方に傾斜する傾斜部4bと、この傾斜部4bに連なって形成された水平な第二平坦部4cとから構成されている。
傾斜部4bは、その傾斜下位側の上面両脇部分に接触するローラ5と、傾斜上位側の下面に接触するローラ6とによってその傾斜姿勢が保持されている。
なお、第一平坦部4aと第二平坦部4cとの高低差(段差)Hは3〜10mmとするのがよく、傾斜部4bの勾配は1〜3°が好ましい。この高低差並びに勾配は、ブレイクされるマザー基板Mの厚みや材料によって適切な値が選択される。
上記のブレイク装置において、図2並びに図3(a)に示すように、マザー基板Mを搬送路4の上流、すなわち、第一平坦部4a上に載置してベルト2を駆動し、下流(Y方向)に向かって搬送する。
マザー基板Mが傾斜部4bに移行すると、マザー基板Mは第一平坦部4aと傾斜部4bとの境界部分で屈曲する。そして、マザー基板Mの第二基板M2のクライブラインS2が、図3(b)に示すように第一平坦部4aと傾斜部4bとの境界部分にくると、屈曲外面側となるスクライブラインS2の亀裂が基板の厚み方向に浸透し、スクライブラインS2に沿って第二基板M2がブレイクされる。
さらに、マザー基板Mが進行して第二平坦部4cに移行すると、マザー基板Mは傾斜部4bと第二平坦部4cとの境界部分で屈曲する。第一基板M1のスクライブラインS1が、図3(c)に示すように傾斜部4bと第二平坦部4cとの境界部分にくると、屈曲外面側となるスクライブラインS1の亀裂が基板の厚み方向に浸透し、スクライブラインS1に沿って第一基板M1がブレイクされる。これにより、図3(d)に示すように、マザー基板MはスクライブラインS1、S2に沿って完全分断される。
上記のように、マザー基板Mが傾斜部4bから第二平坦部4cに移行する際に、傾斜部4bと第二平坦部4cとの境界部分でマザー基板Mが自重により自然に屈曲することができるが、図3に示すように、第二平坦部4cの上方にガイド部材7を設けてマザー基板Mの先導端部を強制的に水平姿勢にガイドするようにしてもよい。
上記実施例では、コンベア3の一本のベルト2に第一平坦部4a、傾斜部4b、第二平坦部4cを形成したが、図4に示すように、コンベア3を前後一対のベルトコンベア3a、3bに分けて形成することもできる。
この実施例では、直列に配置された前部コンベア3aと後部コンベア3bとからなり、前部コンベア3aに第一平坦部4aが形成され、後部コンベア3bに傾斜部4bと第二平坦部4cが形成されている。これらコンベア3a、3bを同じ速度で駆動させて、前部コンベア3aの第一平坦部4aから後部コンベア3bの傾斜部4bを経て第二平坦部4cにマザー基板Mを移行させることにより、上記実施例同様にスクライブラインS1、S2に沿ってマザー基板Mをブレイクすることができる。
以上のように本実施例によれば、マザー基板Mを搬送路4に沿って搬送する過程において、第一平坦部4aから傾斜部4bに移行するときに第二基板M2のスクライブラインS2がブレイクされ、傾斜部4bから第二平坦部4cに移行するときに第一基板M1のスクライブラインS1がブレイクされるものであるから、薄板のマザー基板であっても確実にブレイクすることができる。また、ブレイクバー等の押圧体を用いないことから装置の簡略化ができると共に、押圧体の使用による悪影響を抑制することができる。また、搬送路上の搬送途中においてブレイクされるものであるから、作業時間を短縮して生産性を向上させることができる。特に、マザー基板Mを搬送路4上に載置した姿勢のままで、表裏反転させることなく第一基板M1のスクライブラインS1及び第二基板M2のスクライブラインS2をブレイクすることができるので、従来のように貼り合わせ基板を反転させる工程を省略することができて、作業時間の短縮化と装置のコンパクト化を一層進化させて、製品コストの低減化を図ることができる。
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施例構造のみに特定されるものではない。例えば、上記実施例では、第二平坦部4cが第一平坦部4aより段差の上位側に位置させるようにしたが、これに代えて、第一平坦部4aより低い位置、すなわち、段差の下位側に位置するように形成することもできる。また、本発明では、貼り合わせ基板のブレイク以外に、表面にスクライブラインを備えた単板のブレイクにも適応することが可能である。その他本発明ではその目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
本発明は、表面にスクライブラインを備えた脆性材料基板をブレイクするブレイク方法並びにブレイク装置に適用することができる。
A 搬送機構
M マザー基板
M1 第一基板
M2 第二基板
S1 第一基板のスクライブライン
S2 第二基板のスクライブライン
2 ベルト
3 コンベア
4 搬送路
4a 第一平坦部
4b 傾斜部
4c 第二平坦部

Claims (4)

  1. 表面にスクライブラインが形成された基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク方法であって、
    前記基板を搬送する搬送機構の搬送路に、上流から順に第一平坦部と、当該第一平坦部に連なる傾斜部と、当該傾斜部に連なる第二平坦部とを設けて、前記搬送路に沿って前記基板を上流から下流に搬送し、
    前記第一平坦部から前記傾斜部に、もしくは、前記傾斜部から前記第二平坦部に、前記基板が移行するときの基板の屈曲によって屈曲外面側に形成されているスクライブラインの亀裂を厚み方向に浸透させて、当該スクライブラインに沿って前記基板をブレイクすることを特徴とする基板のブレイク方法。
  2. 互いに貼り合わされた第一基板と第二基板の外側表面にそれぞれスクライブラインが形成されている貼り合わせ基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク方法であって、
    前記貼り合わせ基板を搬送する搬送機構の搬送路に、上流から順に第一平坦部と、当該第一平坦部に連なる傾斜部と、当該傾斜部に連なる第二平坦部とを設けて、前記搬送路に沿って前記貼り合わせ基板を上流から下流に搬送し、
    前記第一平坦部から前記傾斜部に前記貼り合わせ基板が移行するときの基板の屈曲によって屈曲外面側にある一方のスクライブラインをブレイクし、前記傾斜部から前記第二平坦部に前記貼り合わせ基板が移行するときの基板の屈曲によって屈曲外面側にある他方のスクライブラインをブレイクすることを特徴とする貼り合わせ基板のブレイク方法。
  3. 表面にスクライブラインが形成された基板を、当該スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置であって、
    前記基板を載置して搬送する搬送路を備えた搬送機構が設けられ、
    前記搬送路は、上流側に設けられた第一平坦部と、当該第一平坦部に連なって形成された傾斜部と、当該傾斜部に連なって前記第一平坦部に対し段差状に形成された第二平坦部とから構成されている基板のブレイク装置。
  4. 前記第二平坦部が前記第一平坦部より段差の上位側に位置するようにした請求項3に記載のブレイク装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017214263A (ja) * 2016-06-02 2017-12-07 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
JP7343876B2 (ja) 2020-01-16 2023-09-13 デンカ株式会社 シートの配置方法及び配置装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017214263A (ja) * 2016-06-02 2017-12-07 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
WO2017208655A1 (ja) * 2016-06-02 2017-12-07 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
CN108883963A (zh) * 2016-06-02 2018-11-23 日本电气硝子株式会社 玻璃膜的制造方法
KR20190015176A (ko) * 2016-06-02 2019-02-13 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 유리 필름의 제조 방법
KR102246035B1 (ko) 2016-06-02 2021-04-29 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 유리 필름의 제조 방법
TWI752024B (zh) * 2016-06-02 2022-01-11 日商日本電氣硝子股份有限公司 玻璃薄膜的製造方法
JP7343876B2 (ja) 2020-01-16 2023-09-13 デンカ株式会社 シートの配置方法及び配置装置

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