TWI752024B

TWI752024B - 玻璃薄膜的製造方法

Info

Publication number: TWI752024B
Application number: TW106114669A
Authority: TW
Inventors: 森弘樹; 塩路拓也
Original assignee: 日商日本電氣硝子股份有限公司
Priority date: 2016-06-02
Filing date: 2017-05-03
Publication date: 2022-01-11
Also published as: JP2017214263A; KR20190015176A; KR102246035B1; TW201806888A; JP6669988B2; WO2017208655A1; CN108883963A

Abstract

本發明的玻璃薄膜的製造方法，是一邊將帶狀玻璃薄膜(3)以平放朝長邊方向搬運，一邊於寬幅方向進行切斷時，執行以下製程：於搬運路徑的第一區間(S1)中，沿著寬幅方向於上表面(3a)側形成切斷起點(4)的切斷起點形成製程(P4)、以及於搬運路徑的第二區間(S2)中，以使上表面(3a)側成凸狀之方式使切斷起點(4)的形成部(3f)彎曲，將帶狀玻璃薄膜(3)折裂而切斷的折裂切斷製程(P5)，且於該製造方法中，於第二區間(S2)內，設有在中途使搬運路徑方向轉變的方向轉變部(25)，隨著切斷起點(4)的形成部(3f)通過方向轉變部(25)，而使切斷起點(4)的形成部(3f)彎曲。

Description

玻璃薄膜的製造方法

本發明，是關於玻璃薄膜的製造方法，其包含將帶狀玻璃薄膜以平放姿勢一邊朝向長邊方向搬運，一邊於寬幅方向切斷該帶狀玻璃薄膜的製程。

近年，正急速普及的智慧型手機或者平板型PC等之行動終端，由於被要求薄型、輕量化，故組裝在此等終端的玻璃基板，於現況下亦增高對薄板化的需求。如此的現況下，甚至薄板化到薄膜狀(例如，厚度為300μm以下)之作為玻璃基板的玻璃薄膜正被開發、製造中。

於玻璃薄膜的製造製程中，亦會包含有將作為該母材的帶狀玻璃薄膜捲繞成滾筒狀來製作玻璃滾筒作的製程、或者從帶狀的玻璃薄膜連續地切出玻璃薄膜的製程。於此等的製程中，任一製程皆必須於寬幅方向切斷帶狀玻璃薄膜，其中被利用在如此之作為切斷之手法的一例，可舉於專利文獻1所揭示的手法。

該手法，是在製作玻璃滾筒時，為了要形成所捲繞之帶狀玻璃薄膜的後方側端部(最後所捲繞的部位)而於寬幅方向切斷帶狀玻璃薄膜的手法。於該手法中，是對以平放姿勢朝向長邊方向搬運的帶狀玻璃薄膜，於上表面側沿著寬幅方向形成作為切斷之起點的劃割線之後，以使其上表面側成為凸起的方式來使劃割線的形成部彎曲，而將帶狀玻璃薄膜折裂切斷。

又，於該手法中，為了使劃割線的形成部彎曲，而採用如下之機構。該機構，是在帶狀玻璃薄膜之搬運路徑的上游側及下游側，分別具有一對用以將帶狀玻璃薄膜從表背兩側夾持的切斷前輥子對及切斷後輥子對。又，搬運路徑中，在位於兩輥子對相互之間的位置處，具備有：能夠從下方將通過該處之帶狀玻璃薄膜的部位頂起的切斷輥子。

藉由該機構在執行帶狀玻璃薄膜的切斷時，藉由使下游側之切斷後輥子對的旋轉周速度，比上游側之切斷前輥子對的旋轉周速度更加減速，而使正在通過兩輥子對相互之間的帶狀玻璃薄膜的部位產生撓彎。而且，藉由切斷輥子頂起撓彎後的部位，使通過切斷輥子上的部位其上表面側成為凸狀的方式彎曲。藉此，隨著帶狀玻璃薄膜的搬運，當劃割線的形成部通過兩輥子對相互之間時，該形成部在切斷輥子上其上表面側彎曲成凸狀，而使帶狀玻璃薄膜被折裂。

又，於專利文獻1所揭示的手法，係藉由反覆執行：對帶狀玻璃薄膜形成劃割線、以及折裂帶狀玻璃薄膜，不僅可以利用在如上述般之製作玻璃滾筒之場合，亦可以利用在從帶狀玻璃薄膜連續地切出玻璃薄膜之場合。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2010-132347號公報

然而，於寬幅方向切斷帶狀玻璃薄膜時，在利用專利文獻1所揭示的手法之情形時，會產生如以下之所要解決的問題。

亦即，在該手法中，是每次要切斷帶狀玻璃薄膜時，就必須要使切斷後輥子對的旋轉周速度減速、以及要藉由切斷輥子頂起正在通過兩輥子對相互之間的帶狀玻璃薄膜的部位。因此，當然也必須要有用以控制此等動作的控制機構，因而造成不合理地增大設備成本或者設備的營運成本，其結果，會有造成玻璃薄膜的製造成本高漲的問題。又，在該手法中，由於必須藉由兩輥子對將帶狀玻璃薄膜從表背兩側夾持，所以也會有起因於此而在表背面產生傷痕，而造成從該帶狀玻璃薄膜所製造之玻璃薄膜的品質降低的問題。

有鑑於上述情事之本發明，在以包含有一邊將帶狀玻璃薄膜以平放姿勢朝向長邊方向搬運，一邊於寬幅方向將該帶狀玻璃薄膜切斷之製程的製造方法來製造玻璃薄膜之情形下，是以使其製造成本降低，並且亦使品質提升來作為其技術性的課題。

為了解決上述問題所研創的本發明，是一邊沿著搬運路徑將帶狀玻璃薄膜以平放朝長邊方向搬運，一邊於寬幅方向將該帶狀玻璃薄膜切斷時，執行以下製程之玻璃薄膜的製造方法：於搬運路徑的第一區間中，沿著帶狀玻璃薄膜的寬幅方向於一方的面側形成切斷起點的切斷起點形成製程、以及於搬運路徑的第二區間中，以使一方的面側成凸狀之方式使切斷起點的形成部彎曲，將帶狀玻璃薄膜折裂而切斷的折裂切斷製程，對於此玻璃薄膜的製造方法，是於第二區間內，設有在中途使上述搬運路徑方向轉變的方向轉變部，隨著切斷起點的形成部通過方向轉變部，而使該切斷起點的形成部彎曲，來作為其特徵。

在該方法中，是於第二區間內設有方向轉變部，而在中途使帶狀玻璃薄膜的搬運路徑方向轉變。藉此，在第一區間形成之後，移動來至第二區間之切斷起點的形成部隨著通過方向轉變部，該形成部為順著搬運路徑的方向轉變而使其一方的面側成凸狀之方式彎曲。並且，藉由切斷起點的形成部彎曲使彎曲應力作用於該形成部，而以切斷起點為起點使帶狀玻璃薄膜被折裂地切斷於寬幅方向。如此地，在本方法中，由於搬運路徑本身保有使切斷起點的形成部彎曲的功能，所以就沒有必要另外設置用以使該形成部彎曲的機構、以及用以控制該機構之動作的控制機構。其結果，在製造玻璃薄膜上，由於可以避免設備成本或者設備營運成本不當的增加，故可以使玻璃薄膜的製造成本降低。又，在本方法中，包含方向轉變部，是將帶狀玻璃薄膜以平放方式沿著搬運路徑進行搬運。藉此，不會對帶狀玻璃薄膜的上表面有些微接觸，就可以一邊搬運該帶狀玻璃薄膜一邊切斷於寬幅方向。其結果，可以儘可能地抑制在上表面之損傷的發生，並能夠提昇從該帶狀玻璃薄膜所製造之玻璃薄膜的品質。

在上述的方法中，是以將切斷起點形成於帶狀玻璃薄膜的上表面側，並且隨著切斷起點的形成部通過方向轉變部，以使上表面側成凸狀之方式使切斷起點的形成部彎曲為佳。

帶狀玻璃薄膜由於是以平放方式被搬運，所以對於該帶狀玻璃薄膜是作用有藉由自重從上表面側朝向下表面側方向的力。由於如此，將切斷起點形成於上表面側，並且在隨著切斷起點的形成部通過方向轉變部，使之上面側成凸狀之方式彎曲之情形時，而取得如後述之效果。亦即，於此情形時，切斷起點的形成部在上表面側以成凸狀之方式彎曲時，帶狀玻璃薄膜之接連於該形成部的上游側的部位，與帶狀玻璃薄膜之接連於下游側的部位，一同藉由自重而易於向下方撓彎。其結果，可以使切斷起點的形成部圓滑地彎曲，由於能夠使彎曲應力適宜地作用，所以對於帶狀玻璃薄膜在避免產生切斷不良上是有利的。

在上述的方法中，以使方向轉變部，為上升坡度路徑與下降坡度路徑之兩路徑的接連部，該上升坡度路徑是將搬運路徑設為上升坡度；該下降坡度路徑是連接於上升坡度路徑的下游側，且將搬運路徑設為下降坡度為佳。

如此實施的話，移動來到方向轉變部之切斷起點的形成部，係在通過上升坡度路徑之後，成為馬上隨即進入下降坡度路徑。因此，隨著通過方向轉變部而使切斷起點的形成部其上表面側成凸狀之方式彎曲時，就能容易增大其彎曲的曲率。因此，在折裂時易於使足夠大的彎曲應力作用在切斷起點的形成部，而可以更加確實地避免在帶狀玻璃薄膜中之切斷不良的產生。

在上述的方法中，以於搬運路徑之中，在位於第一區間與第二區間之間的區間中，平坦地維持切斷起點的形成部為佳。

如此實施的話，可以防止諸如在第一區間形成切斷起點之後，切斷起點的形成部在進入第二區間內的方向轉變部之前，造成因彎曲所形成的彎曲應力不當地作用在該形成部之事態的發生。藉此，可以避免造成帶狀玻璃薄膜在搬運路徑上之不期望的位置處被切斷。

在上述的方法中，亦可以藉由反覆地執行切斷起點形成製程與折裂切斷製程，從帶狀玻璃薄膜連續性地切出玻璃薄膜。

在本發明之玻璃薄膜的製造方法中，如上述般地，搬運路徑本身保有使切斷起點的形成部彎曲的功能，因而沒有必要另外設置用以使該形成部彎曲的機構、以及用以控制該機構之動作的控制機構。因此，即使在要從帶狀玻璃薄膜連續性地切出玻璃薄膜之情形時，仍能夠以低成本製造多數片的玻璃薄膜。

在上述的方法中，是以設置：搬運玻璃薄膜的第一搬運裝置、以及用來移載從該第一搬運裝置所運出之玻璃薄膜的第二搬運裝置，相較於藉由第一搬運裝置所進行之玻璃薄膜的運送速度，將藉由第二搬運裝置所進行之玻璃薄膜的運送速度設為較高速為佳。

如此實施的話，從帶狀玻璃薄膜所連續性切出的玻璃薄膜之中，對於在玻璃薄膜的搬運路徑上相鄰的二片玻璃薄膜，可以易於避免位在搬運路徑之下游側位置之玻璃薄膜的搬運方向後方側的端部，與位在上游側位置之玻璃薄膜的搬運方向前方側的端部，造成不當的接觸。此乃是因為，相較於第一搬運裝置，由第二搬運裝置所動作之玻璃薄膜的輸送速度為較高速，所以位於下游側位置的玻璃薄膜，在從第一搬運裝置移載至第二搬運裝置時，由於可以擴大與位於上游側位置之玻璃薄膜的間隔。而且，如上述般地，由於可輕易避免端部彼此之不當的接觸，所以難以產生起因於接觸而於玻璃薄膜產生損傷等之缺失，而易於防止玻璃薄膜之品質的降低。

在上述的方法中，是相對於第一搬運裝置的搬運面，使第二搬運裝置的搬運面位於下方，並且向第二搬運裝置的搬運面供給保護薄片，該保護薄片是與從帶狀玻璃薄膜所切出的各玻璃薄膜相對應，藉由使從第一搬運裝置所運出的玻璃薄膜落下於第二搬運裝置所搬運中的保護薄片上，而使該玻璃薄膜移載於該第二搬運裝置為佳。

玻璃薄膜，為了防止在其表背面產生損傷等，一般是與保護薄片在相疊合的狀態下來處理。因此，如本方法所述，以將從第一搬運裝置所運出的玻璃薄膜落下於第二搬運裝置所搬運中的保護薄片上的方式實施的話，伴隨此動作使玻璃薄膜與保護薄片相疊合，而能夠保護玻璃薄膜不致受到損傷等。再者，依據本方法，可以一邊將玻璃薄膜朝向下游製程搬運，一邊與保護薄片相疊合。因此，不必另外獨立地設置使玻璃薄膜與保護薄片相疊合的製程，而能夠使玻璃薄膜的製造效率提昇。

在上述的方法中，亦可以在將帶狀玻璃薄膜捲繞成滾筒狀來製作玻璃滾筒時，藉由切斷起點形成製程與折裂切斷製程的執行而形成所要捲繞之帶狀玻璃薄膜的後方側端部。

在本發明之玻璃薄膜的製造方法中，是先在搬運路徑的第一區間將切斷起點形成於帶狀玻璃薄膜，然後，由搬運路徑本身將帶狀玻璃薄膜予以折裂切斷。因此，只要在已捲繞了所期望之長度的帶狀玻璃薄膜來作為玻璃滾筒之時點下，於帶狀玻璃薄膜形成切斷起點的話，便可以形成所要捲繞之帶狀玻璃薄膜的後方側端部，而完成玻璃滾筒。

在上述的方法中，以在帶狀玻璃薄膜之寬幅方向兩端部之中，僅於一方端部形成切斷起點為佳。

例如，在帶狀玻璃薄膜之寬幅方向兩端部的任一方皆形成有切斷起點之情形時，會有從形成於一方端部的切斷起點朝向另一方端部側進展的切斷部，與從形成於另一方端部的切斷起點朝向一方端部側進展的切斷部，在寬幅方向中央部無法良好地匯集，致使兩切斷部在帶狀玻璃薄膜的長邊方向上以偏離的狀態所形成的情形。其結果，恐有帶狀玻璃薄膜之切斷端部(由兩切斷部的進展所形成的端部)的形狀惡化下去之虞。然而，若在寬幅方向兩端部之中，僅於一方端部形成切斷起點的話，就可以確實地排除如上述般的憂慮。又，在形成有切斷起點的部位，必然比非形成的部位較容易產生龜裂。因此，不是在寬幅方向中央部而是在寬幅方向端部事先形成有切斷起點的話，就不易在中央部殘留龜裂，在提升玻璃薄膜的品質上是有利的。

根據本發明，在以包含有一邊將帶狀玻璃薄膜以平放姿勢朝向長邊方向搬運，一邊於寬幅方向將該帶狀玻璃薄膜切斷之製程的製造方法來製造玻璃薄膜的情形下，是能夠使其製造成本降低。

1‧‧‧熔融玻璃

2‧‧‧帶狀玻璃薄膜

2a‧‧‧非有效部

3‧‧‧(已去除非有效部2a的)帶狀玻璃薄膜

3a‧‧‧上表面

3b‧‧‧寬幅方向端部

3c‧‧‧後方側端部

3f‧‧‧形成部

4‧‧‧切斷起點

5‧‧‧玻璃薄膜

5b‧‧‧下表面

6‧‧‧薄片滾筒

6a‧‧‧帶狀保護薄片

6aa‧‧‧保護薄片

7‧‧‧成形體

7a‧‧‧溢流溝

7b‧‧‧側面部

8‧‧‧玻璃帶

9‧‧‧輥子群

9a‧‧‧輥子

10‧‧‧帶式輸送機

11‧‧‧帶式輸送機

11a‧‧‧搬運面

12‧‧‧薄片滾筒

12a‧‧‧帶狀保護薄片

13‧‧‧雷射切斷機

14‧‧‧雷射

14a‧‧‧局部加熱部

15‧‧‧冷媒

15a‧‧‧局部冷卻部

17‧‧‧帶式輸送機

18‧‧‧板狀體

18a‧‧‧搬運面

19‧‧‧帶式輸送機

19a‧‧‧搬運面

20‧‧‧薄片滾筒

20a‧‧‧帶狀保護薄片

20aa‧‧‧跨架部

21‧‧‧板狀體

21a‧‧‧搬運面

22‧‧‧張力輥子

23‧‧‧砥石

23a‧‧‧軌跡

24‧‧‧輥子

25‧‧‧方向轉變部

26‧‧‧帶式輸送機

26a‧‧‧搬運面

27‧‧‧輥子

28‧‧‧切斷機

29‧‧‧帶式輸送機

29a‧‧‧搬運面

30‧‧‧玻璃滾筒

P1‧‧‧成形製程

P2‧‧‧搬運方向轉變製程

P3‧‧‧切斷去除製程

P4‧‧‧切斷起點形成製程

P5‧‧‧折裂切斷製程

P6‧‧‧積層製程

S1‧‧‧第一區間

S2‧‧‧第二區間

V1、V2‧‧‧輸送速度

I‧‧‧與上游側之製程的剖切線

Ⅱ‧‧‧與下游側之製程的剖切線

第1圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的部分斷面側面圖。

第2圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

第3圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的平面圖。

第4圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的縱向斷面正面圖。

第5圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

第6圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

第7圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

第8圖是顯示本發明之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

第9圖是顯示本發明之第二實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

第10圖是顯示本發明之第三實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

第11圖是顯示本發明之第四實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的側面圖。

以下，對於本發明之實施形態的玻璃薄膜的製造方法，參照添附圖面進行說明。

<第一實施形態>

以下，對於第一實施形態之玻璃薄膜的製造方法進行說明。

將第一實施形態之玻璃薄膜的製造方法分割顯示於第1圖及第2圖的兩個圖面。於第1圖及第2圖中，僅分別圖示相同方法中之一部分的製程。第1圖所示的箭頭Ⅱ，是表示將比箭頭Ⅱ還下游側的製程顯示於第2圖，並省略在第1圖的圖示；第2圖所示的箭頭I，是表示將比箭頭I還上游側的製程顯示於第1圖，並省略在第2圖的圖示。

如第1圖所示，第一實施形態之玻璃薄膜的製造方法，是包含有：藉由溢流下引(overflow downdraw)法從熔融玻璃1形成帶狀玻璃薄膜2的成形製程P1、及使成形後朝向鉛直下方被搬運之帶狀玻璃薄膜2的搬運方向轉變朝向水平方向的搬運方向轉變製程P2、以及從轉變搬運方向後的帶狀玻璃薄膜2，藉由雷射裂斷法將作為不要部分的非有效部2a予以切斷去除的切斷去除製程P3。

再者，如第2圖所示，第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法，是包含有：將已去除非有效部2a後之帶狀玻璃薄膜3以平放朝向長邊方向一邊繼續搬運，一邊於搬運路徑的第一區間S1，沿著寬幅方向於上表面3a側形成切斷起點4(請參照第5圖)的切斷起點形成製程P4、及於搬運路徑的第二區間S2，以使其上表面3a側成凸狀之方式來使切斷起點4的形成部3f(請參照第5圖)彎曲，將帶狀玻璃薄膜3折裂而切斷的折裂切斷製程P5、以及隨著折裂將從帶狀玻璃薄膜3切出的玻璃薄膜5，與從薄片滾筒6捲開的保護薄片6aa相疊合進行積層的積層製程P6。

如第1圖所示，在成形製程P1之執行中，是使用形成楔狀的成形體7。成形體7，係具有：於使熔融玻璃1流入之頂部所形成的溢流溝7a、及用以使從溢流溝7a兩側方溢出的熔融玻璃1分別流下的一對側面部7b、7b、及用以使沿著兩側面部7b、7b的各個而流下的熔融玻璃1融合成一體的下端部7c。成形體7，是能夠在該成形體7的下端部7c由融合成一體的熔融玻璃1將玻璃帶8予以成形。成形後的玻璃帶8，是藉由配置在上下複數段之圖示省略的輥子對，從表背兩側受夾持的狀態下被一邊拉伸一邊徐冷之後，藉由使溫度降低至室溫附近而製成帶狀玻璃薄膜2。

帶狀玻璃薄膜2，是成形為可賦有可撓性程度的厚度，例如，成形為300μm以下的厚度。於該帶狀玻璃薄膜2，是包含有：位於寬幅方向中央部位置，之後將成為產品的有效部2b、以及相對於有效部2b位在寬幅方向外側位置，之後將成為去除對象的一對非有效部2a、2a。又，於兩非有效部2a、2a的各個，是包含有厚度相較於其他部位還大的耳部(邊緣部)。

在搬運方向轉變製程P2之執行中，是使用沿著圓弧狀的軌道排列之由複數個輥子9a所成的輥子群9。輥子群9，是從一方面側支承帶狀玻璃薄膜2的狀態之下，使該帶狀玻璃薄膜2沿著圓弧狀的軌道一邊彎曲一邊通過。藉此，使一邊朝向鉛直下方搬運並一邊搬入於輥子群9的帶狀玻璃薄膜2的搬運方向轉變，將該帶狀玻璃薄膜2朝向水平方向一邊搬運並一邊運出。

使搬運方向轉變後的帶狀玻璃薄膜2，從輥子群9被移載至帶式輸送機10。在該帶式輸送機10上，從下方朝向帶狀玻璃薄膜2的有效部2b噴出圖示省略的氣體(例如，空氣等)，在使有效部2b浮起的狀態之下，將帶狀玻璃薄膜2朝向搬運路徑的下游側進行搬運。從帶式輸送機10運出後的帶狀玻璃薄膜2移載至帶式輸送機11。於帶式輸送機11的下方，配置有由帶狀保護薄片12a捲繞成滾筒狀的薄片滾筒12。從該薄片滾筒12依序捲開帶狀保護薄片12a，並對帶式輸送機11的搬運面11a連續性地進行供給。該搬運面11a，是能夠吸附帶狀保護薄片12a。於搬運面11a，形成有圖示省略的吸引孔，經由該吸引孔對帶狀保護薄片12a產生負壓而將之吸附。然後，搬運面11a，隨著帶式輸送機11的旋繞動作，將吸附著的帶狀保護薄片12a輸送至帶狀玻璃薄膜2之搬運路徑的下游側。藉此，將移載至帶式輸送機11的帶狀玻璃薄膜2，在夾介帶狀保護薄片12a而由搬運面11a所支撐的狀態下，朝向搬運路徑的下游側進行搬運。

切斷去除製程P3，是對被搬運在帶式輸送機11上的帶狀玻璃薄膜2進行執行。在切斷去除製程P3之執行中，是使用能夠執行雷射裂斷法的雷射切斷機13。雷射切斷機13，是在搬運路徑的上方以固定於定點的狀態所設置，能夠對通過本身下方的帶狀玻璃薄膜2，進行雷射14的照射及冷媒15(例如，霧狀的水等)的噴射。藉此，雷射切斷機13，如第3圖所示，是沿著作為帶狀玻璃薄膜2的有效部2b與非有效部2a之交界的切斷預定線16，使由雷射14加熱後的局部加熱部14a與由冷媒15冷卻後的局部冷卻部15a在鄰接的狀態下形成下去。藉由起因於此等兩部14a、15a的溫度差所產生的熱應力，沿著長邊方向將帶狀玻璃薄膜2連續地切斷，從帶狀玻璃薄膜2將非有效部2a漸次地去除。在執行切斷去除製程P3之後，可取得僅由有效部2b所成的帶狀玻璃薄膜3。該帶狀玻璃薄膜3之寬幅方向的兩端部3b、3b，是成為藉由雷射裂斷法所形成的割斷端部。在此，在本實施形態中，雖是利用雷射裂斷法來執行切斷去除製程P3，不過除此之外，也可以利用雷射熔斷法來執行切斷去除製程P3。

如第1圖所示，已從帶狀玻璃薄膜2去除的非有效部2a，是從帶式輸送機11移載於帶式輸送機17，並且使之從帶狀玻璃薄膜3(有效部2b)的搬運路徑朝向下方脫離而丟棄。另一方面，帶狀玻璃薄膜3，在從帶式輸送機11移載於板狀體18之後，再從板狀體18移載於帶式輸送機19，然後朝向搬運路徑的下游側搬運而去。在此，與對帶式輸送機11的搬運面11a供給帶狀保護薄片12a同樣地，從該薄片滾筒20將捲開的帶狀保護薄片20a，對板狀體18的搬運面18a連續性地進行供給。通過板狀體18之搬運面18a後的帶狀保護薄片20a，是從板狀體18被移載於帶式輸送機19，來對該帶式輸送機19的搬運面19a連續性地進行供給。藉此，在板狀體18及帶式輸送機19上，分別在夾介帶狀保護薄片20a而由搬運面18a及搬運面19a支撐帶狀玻璃薄膜3的狀態下，朝向搬運路徑的下游側搬運。又，藉由與帶式輸送機11的搬運面11a為相同的機構，帶式輸送機19的搬運面19a，是能夠吸附帶狀保護薄片20a。

如第2圖所示，從帶式輸送機19運出的帶狀玻璃薄膜3，是被移載至：搬運面21a相對於水平面是處於傾斜狀態的板狀體21上。搬運面21a，是朝向搬運路徑的下游側成為逐漸往上的傾斜平面，藉由該搬運面21a，使位在板狀體21上之帶狀玻璃薄膜3的搬運路徑成為上升坡度路徑。將已通過帶式輸送機19之搬運面19a的帶狀保護薄片20a連續性地對板狀體21的搬運面21a進行供給。又，帶狀保護薄片20a，是經由配置在帶式輸送機19與板狀體21相互之間的張力輥子22，使之從帶式輸送機19移載於板狀體21。藉此，在板狀體21上，在夾介帶狀保護薄片20a而由搬運面21a支撐帶狀玻璃薄膜3的狀態下，朝向搬運路徑(上升坡度路徑)的下游側搬運。

如第4圖及第5圖所示，切斷起點形成製程P4，是對被搬運在板狀體21上的帶狀玻璃薄膜3執行。在切斷起點形成製程P4之執行中，作為損傷帶狀玻璃薄膜3來形成切斷起點4的損傷施加手段，是使用砥石23(例如，鑽石砥石等)。砥石23，在作動時可以使之沿著軌跡23a移動，並且在非作動時可以使之在搬運路徑的上方處於待機狀態。砥石23，是藉由沿著軌跡23a在帶狀玻璃薄膜3的上表面3a上於寬幅方向移動，而在帶狀玻璃薄膜3的寬幅方向兩端部3b、3b之中，僅於一方端部3b形成切斷起點4。又，砥石23，是令其在帶狀玻璃薄膜3的上表面3a上以非旋轉的狀態移動。在此，在本實施形態中，雖是使用砥石23以形成在帶狀玻璃薄膜3的損傷作為切斷起點4，不過除此之外，也可以使用劃割輪以形成在帶狀玻璃薄膜3之寬幅方向上的劃割線來作為切斷起點4。又，也可以使用CO₂雷射等之雷射以形成在帶狀玻璃薄膜3之寬幅方向上的劃割線來作為切斷起點4。

如第2圖所示，通過了板狀體21之搬運面21a的帶狀保護薄片20a，是捲套在：配置在比板狀體21更位於搬運路徑之下游側的輥子24。帶狀保護薄片20a之中，跨架在板狀體21與輥子24之間的部位20aa(以下，稱為跨架部20aa)，是以朝向搬運路徑的下游側逐漸往下方移動之方式傾斜。該跨架部20aa，是作為第一搬運裝置具有搬運由帶狀玻璃薄膜3所切出之玻璃薄膜5的功能，並且藉由跨架部20aa的傾斜，使由該跨架部20aa所形成的搬運路徑成為下降坡度路徑。該下降坡度路徑，是接連於上述之上升坡度路徑的下游側，上升坡度路徑與下降坡度路徑之兩路徑的接連部，成為在中途使搬運路徑方向轉變的方向轉變部25。又，方向轉變部25，是位在搬運路徑的第二區間S2內。

如第6圖及第7圖所示，折裂切斷製程P5，是用以執行藉由隨著位在帶狀玻璃薄膜3中之切斷起點4的形成部3f通過方向轉變部25，而使該形成部3f彎曲。於折裂切斷製程P5中，利用通過方向轉變部25之帶狀玻璃薄膜3的自重，使切斷起點4的形成部3f彎曲。藉此，使隨著彎曲所產生的彎曲應力作用於形成部3f，並以切斷起點4作為起點使切斷部朝向寬幅方向進展，藉此將帶狀玻璃薄膜3切斷於寬幅方向。隨著此過程，將玻璃薄膜5從帶狀玻璃薄膜3切出。又，折裂切斷製程P5，與上述之切斷起點形成製程P4，是經複數次反覆地執行。藉此，從帶狀玻璃薄膜3連續性地切出複數片的玻璃薄膜5。

如第7圖及第8圖所示，積層製程P6，是用以執行當將從跨架部20aa運出的玻璃薄膜5移載至作為第二搬運裝置的帶式輸送機26時，使玻璃薄膜5落下於帶式輸送機26搬運中的保護薄片6aa上。又，積層製程P6，是對於從帶狀玻璃薄膜3切出的玻璃薄膜5一片一片地執行。保護薄片6aa，是相對於玻璃薄膜5，具有大一圈的尺寸，而能夠將玻璃薄膜5的下表面5b整體予以覆蓋。帶式輸送機26的搬運面26a，是位在比跨架部20aa(位於跨架部20aa的搬運面)還下方的位置，並且朝向搬運路徑的下游側成為逐漸往上的坡度面。由帶式輸送機26所產生之對玻璃薄膜5(與保護薄片6aa完成積層的玻璃薄膜5)的輸送速度V1，是比由跨架部20aa所產生之對玻璃薄膜5的輸送速度V2還要高速。在此，輸送速度V1，是設定在以輸送速度V2為基準，再增加2%~20%的速度為佳。保護薄片6aa對帶式輸送機26之搬運面26a所進行的供給，是由配置在板狀體21之下方的薄片滾筒6所進行。詳細而言，是使從薄片滾筒6捲開的帶狀保護薄片6a在受一對輥子27、27從表背兩側夾持的狀態下，隨著兩輥子27、27的旋轉而將帶狀保護薄片6a朝向帶式輸送機26的搬運面26a輸送出去。然後，在所輸送出之部位的長度成為所期望之長度的時點處，藉由切斷機28(例如，切刀等)將帶狀保護薄片6a切斷於寬幅方向，而切出保護薄片6aa。

在此，上述之切斷起點形成製程P4、折裂切斷製程P5、以及積層製程P6，是相互連動地執行。對於此等製程的連動，參照第5圖~第8圖進行以下說明。

如第5圖所示，首先，藉由切斷起點形成製程P4之執行，以砥石23於帶狀玻璃薄膜3形成切斷起點4。此時，為了對其後要執行的積層製程P6作準備，藉由一對輥子27、27，已開始朝向帶式輸送機26之搬運面26a進行帶狀保護薄片6a的送出。如第6圖所示，於切斷起點4形成後，在板狀體21上平坦地維持切斷起點4之形成部3f的狀態下，移動在位於第一區間S1與第二區間S2之間的區間，朝向方向轉變部25接近。當切斷起點4的形成部3f到達方向轉變部25時，如第7圖所示地，執行將帶狀玻璃薄膜3折裂的折裂切斷製程P5，從帶狀玻璃薄膜3切出玻璃薄膜5。其後，切斷預先已被一對輥子27、27送出的帶狀保護薄片6a，如第8圖所示，執行使切出後的保護薄片6aa與玻璃薄膜5相疊合的積層製程P6。

如第2圖所示，與保護薄片6aa積層後的玻璃薄膜5，在從帶式輸送機26移載於帶式輸送機29之後，進一步地朝向搬運路徑的下游側搬運，於最後，是將保護薄片6aa與玻璃薄膜5交互堆疊地保管。又，帶式輸送機29之搬運面29a的高度位置，是成為與上述之帶式輸送機19的搬運面19a相同的高度位置。亦即，切斷起點形成製程P4執行前之搬運帶狀玻璃薄膜3的高度位置，與積層製程P6執行後之進行玻璃薄膜5之搬運的高度位置為是以沒有位移的方式實施。藉由以上所述，完成第一實施形態之玻璃薄膜的製造方法。

以下，對於由第一實施形態之玻璃薄膜的製造方法所產生的主要作用及效果進行說明。

在第一實施形態之玻璃薄膜的製造方法中，隨著切斷起點4的形成部3f通過方向轉變部25，該形成部3f順著搬運路徑的方向轉變，以使上表面3a側成凸狀之方式彎曲。藉此，將帶狀玻璃薄膜3折裂而切斷於寬幅方向。如此地，由於搬運路徑本身保有使切斷起點4的形成部3f彎曲的功能，所以就沒有必要另外設置用以使該形成部3f彎曲的機構、以及用以控制該機構之動作的控制機構。其結果，對於製造玻璃薄膜5而言，由於可以避免設備成本或者設備營運成本不當的增加，故可以使玻璃薄膜5的製造成本降低。又，在該方法中，除了切斷起點4形成時之外，可以避免與以平放搬運之帶狀玻璃薄膜3的上表面3a相接觸的情事。其結果，可以儘可能地抑制在上表面3a之損傷的發生，並能夠提昇從帶狀玻璃薄膜3所製造之玻璃薄膜5的品質。

以下，對於本發明之其他實施形態中之玻璃薄膜的製造方法進行說明。又，於其他實施形態的說明中，對於在上述之第一實施形態已經說明過的構成要素，藉由在其他實施形態的說明所參照的圖面中標示相同的符號並省略重複的說明，僅對於與第一實施形態之不同點進行說明。

<第二實施形態>

如第9圖所示，本發明之第二實施形態中之玻璃薄膜的製造方法，與上述之第一實施形態不相同的點，是方向轉變部25的構成有所不同。在本實施形態中，跨架部20aa是與水平面平行地延伸，由跨架部20aa所形成的搬運路徑，是成為與上升坡度路徑的下游側相連的水平路徑。藉此，在本實施形態中，方向轉變部25是成為上升坡度路徑與水平路徑的接連部。

<第三實施形態>

如第10圖所示，本發明之第三實施形態中之玻璃薄膜的製造方法，與上述之第一實施形態不相同的點，是方向轉變部25的構成有所不同。在本實施形態中，板狀體21的搬運面21a是成為水平面，位於板狀體21上之帶狀玻璃薄膜3的搬運路徑，是成為與下降坡度路徑的上游側相連的水平路徑。藉此，在本實施形態中，方向轉變部25是成為水平路徑與下降坡度路徑的接連部。

<第四實施形態>

如第11圖所示，本發明之第四實施形態中之玻璃薄膜的製造方法，與上述之第一實施形態不相同的點，是在於以帶狀玻璃薄膜3與帶狀保護薄片6a相疊合的狀態，在將該等捲繞成滾筒狀來製作玻璃滾筒30時，執行切斷起點形成製程P4與折裂切斷製程P5的點上。於本實施形態中，切斷起點形成製程P4與折裂切斷製程P5分別僅執行一次，來形成捲繞成滾筒狀之帶狀玻璃薄膜3的後方側端部3c。又，於積層製程P6中，是使捲繞成滾筒狀的帶狀玻璃薄膜3，與從薄片滾筒6依序所捲開的帶狀保護薄片6a連續性地相疊合下去，並且在要形成帶狀保護薄片6a的後方側端部6ab，僅一次於寬幅方向切斷帶狀保護薄片6a。

於上述之第二~第四實施形態中之玻璃薄膜的製造方法中，也能夠取得在上述之第一實施形態中之玻璃薄膜的製造方法的說明中已敘述的作用及效果。

在此，本發明之玻璃薄膜的製造方法，並不受在上述之各實施形態所說明的態樣所限定。例如，在上述之各實施形態中，雖是藉由溢流下引法來成形帶狀玻璃薄膜，不過也可以藉由孔流下引(slot downdraw)法、或者再曳引(redraw)法、浮式(float)法來成形帶狀玻璃薄膜。又，除此之外，也可以對於從玻璃滾筒依序捲開的帶狀玻璃薄膜，以藉由反覆地執行切斷起點形成製程及折裂切斷製程，從帶狀玻璃薄膜連續性地切出玻璃薄膜之方式來實施。

又，在上述的各實施形態中，雖然都是在帶狀玻璃薄膜的上表面側形成切斷起點的態樣，不過也可以是在下表面側形成切斷起點的態樣。此情形時，例如，只要將水平路徑與接連水平路徑之下游側的上升坡度路徑的接連部作為方向轉變部，隨著在切斷起點的形成部通過方向轉變部，以使下表面側成凸狀之方式來使切斷起點的形成部彎曲即可。

3‧‧‧帶狀玻璃薄膜