TW201920017A - 玻璃膜的製造方法 - Google Patents
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Abstract
玻璃膜的製造方法包括：割斷步驟S5，藉由對朝既定的搬運方向X搬運的帶狀的玻璃膜G1照射雷射光L而將玻璃膜G1割斷。割斷步驟S5包括：藉由具有開口部25a的壓盤22支撐玻璃膜G1的下表面並且藉由開口部25a來抽吸玻璃膜G1的步驟；以及對抽吸至開口部25a的玻璃膜G1照射雷射光L的步驟。
Description
本發明是有關於一種製造例如帶狀的玻璃膜的方法。
如眾所周知般，實際情況是，液晶顯示器（display）、有機電致發光（Electroluminescence，EL）顯示器等平板顯示器（Flat Panel display，FPD）中使用的板玻璃、有機EL照明中使用的板玻璃、觸控面板（touch panel）的構成要素即強化玻璃等的製造中使用的玻璃板、進而是太陽電池的面板等中使用的玻璃板的薄壁化得到推進。
例如，專利文獻1中揭示了一種厚度為數百微米（μm）以下的玻璃膜（薄板玻璃）。此種玻璃膜如專利文獻1所亦記載般，通常藉由採用所謂的溢流下拉（overflow downdraw）法的成形裝置進行連續成形。
於專利文獻1揭示的玻璃膜的製造方法中，藉由溢流下拉法而連續成形的長條的玻璃膜於其搬運方向自鉛垂方向被轉換為水平方向之後，藉由搬運裝置的橫搬運部（水平搬運部）而被繼續朝下游側搬運。於所述搬運途中，將玻璃膜的寬度方向兩端部（耳部）切斷去除。之後，玻璃膜藉由捲繞輥（roller）而捲繞成輥（roll）狀，藉此構成為玻璃輥（glass roll）。
作為將玻璃膜的寬度方向兩端部切斷的技術，專利文獻1中揭示了雷射割斷。於所述雷射割斷方法中，一面搬運玻璃膜，一面藉由金剛石割刀（diamond cutter）等裂縫（crack）形成部件對玻璃膜形成初始裂縫後，對該部分照射雷射光來加熱，之後，藉由冷卻部件對經加熱的部分進行冷卻。藉此，玻璃膜中產生熱應力，且藉由該熱應力而初始裂縫發展，藉此割斷該玻璃膜的寬度方向端部。 [現有技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2012-240883號公報
[發明所欲解決之課題] 於對厚度為200 μm以下的超薄型的玻璃膜一面進行搬運一面藉由所述雷射割斷方法進行切斷的情況下，於玻璃膜的搬運過程中該玻璃膜可能產生無數褶皺。於現有的雷射割斷方法中，若於所述褶皺與雷射光的照射位置重疊的狀態下進行玻璃膜的割斷，則存在割斷後的玻璃膜的端面（剖面）中殘存由褶皺導致的不良部分這一問題。
本發明是鑒於所述狀況而成者，技術性課題在於防止藉由雷射割斷來切斷玻璃膜時的端面不良的發生。 [解決課題之手段]
本發明是用以解決所述課題者，玻璃膜的製造方法包括：割斷步驟，藉由對朝既定的搬運方向搬運的帶狀的玻璃膜照射雷射光而將所述玻璃膜割斷，且所述玻璃膜的製造方法的特徵在於，於所述玻璃膜的製造方法中，所述割斷步驟包括：藉由具有開口部的壓盤支撐所述玻璃膜的下表面並且藉由所述開口部來抽吸所述玻璃膜的步驟；以及對抽吸至所述開口部的所述玻璃膜照射所述雷射光的步驟。
根據所述構成，於割斷步驟中，藉由壓盤的開口部對沿搬運方向搬運的帶狀的玻璃膜的一部分進行抽吸，藉此，可防止經抽吸的玻璃膜的部分中的褶皺的發生，或者能夠消除玻璃膜中已產生的褶皺。藉由對玻璃膜的抽吸部分照射雷射光並進行割斷，可確實地防止割斷面（端面）中的不良的發生。
另外，理想的是所述割斷步驟包括：藉由具有既定的路線（path line）的搬運裝置搬運所述玻璃膜的步驟，且所述壓盤包括對所述玻璃膜進行支撐的支撐部，所述支撐部的上表面位於所述路線的上方。如此般，將壓盤中的支撐部的上表面配置於路線的上方，藉此，由搬運裝置搬運的玻璃膜於通過壓盤時由支撐部推起。藉此，可有效地防止通過壓盤時的玻璃膜的褶皺的發生。
所述方法中理想的是，所述支撐部是以於所述開口部的所述搬運方向的下游側對所述玻璃膜進行支撐的方式構成，且所述割斷步驟包括：冷卻步驟，於所述開口部的下游側朝支撐於所述支撐部的所述玻璃膜放出冷媒。
抽吸至開口部的玻璃膜藉由雷射光的照射而被局部地加熱之後，於所述開口部的下游的位置藉由冷媒而被冷卻。藉由雷射光的加熱所引起的膨脹與冷媒的冷卻所引起的收縮，而於玻璃膜中產生熱應力。藉由該熱應力所引起的裂縫的發展而將玻璃膜精度良好地割斷。於該情況下，冷媒於開口部的下游側接觸玻璃膜。於該位置，支撐部以不會因冷媒的壓力而變形的方式對玻璃膜進行支撐。藉此，可防止由玻璃膜的變形所致的端面不良的發生。
所述割斷步驟理想的是包括對所述開口部中的所述玻璃膜的抽吸力進行調整的步驟。於藉由開口部抽吸玻璃膜的情況下，若所述抽吸力過強，則有阻礙玻璃膜的搬運之虞。於割斷步驟中，藉由調整開口部的抽吸力，可一面適當地搬運玻璃膜一面進行所述玻璃膜的割斷。
所述割斷步驟中理想的是，所述玻璃膜通過所述開口部時的所述玻璃膜的上下移動的振幅為50 μm以下。如此般，藉由儘可能地減小玻璃膜的上下移動的振幅，可抑制玻璃膜的割斷面的端面不良的發生。
若開口部的抽吸變得過剩，則玻璃膜的變形量過大，並成為割斷後的玻璃膜的端面不良的原因。為了防止此種端面不良的發生，理想的是由所述開口部的抽吸所引起的所述玻璃膜的變形量為0.3 mm以下。
所述製造方法中理想的是，所述壓盤的所述開口部具有一定的寬度，且所述開口部的所述寬度為3 mm以上且30 mm以下。藉此，開口部能夠以適當的力抽吸玻璃膜。 [發明的效果]
根據本發明，可防止藉由雷射割斷來切斷玻璃膜時的端面不良的發生。
以下，一面參照圖式一面對用以實施本發明的形態進行說明。圖1至圖9表示本發明的玻璃膜的製造方法及製造裝置的一實施形態。
如圖1所示，製造裝置1包括：成形部2，將帶狀的母材玻璃膜G成形；方向轉換部3，將母材玻璃膜G的前進方向自縱向下方轉換為橫向；第一搬運部4，於方向轉換後將母材玻璃膜G沿橫向搬運；第一切斷部5，切斷母材玻璃膜G中的寬度方向端部（耳部）；以及第一捲繞部6，將去除了耳部的玻璃膜（以下稱作「第一玻璃膜」）G1捲繞成輥狀而構成第一玻璃輥GRL1。
進而，製造裝置1包括：取出部7，自第一玻璃輥GRL1取出第一玻璃膜G1；第二搬運部8，將自取出部7取出的第一玻璃膜G1沿橫向搬運；第二切斷部9，將第一玻璃膜G1的一部分切斷；以及第二捲繞部10，將藉由第二切斷部9切斷而成的玻璃膜（以下稱作「第二玻璃膜」）G2捲繞成輥狀而構成第二玻璃輥GRL2。
成形部2包括：成形體11，於上端部形成有溢流槽11a且剖面呈大致楔形；邊緣輥（edge roller）12，配置於成形體11的正下方且自表背兩側夾住自成形體11溢出的熔融玻璃GM；以及退火爐13，配備於邊緣輥12的正下方。
成形部2使自成形體11的溢流槽11a溢流的熔融玻璃GM分別沿著兩側面流下，並於其下端部匯流而成形為膜狀。邊緣輥12對所述熔融玻璃GM的寬度方向收縮進行限制並製成既定寬度的母材玻璃膜G。退火爐13用以對母材玻璃膜G實施除畸處理。退火爐13具有配設成上下方向多段的退火爐輥14。
於退火爐13的下方配設有自表背兩側夾持母材玻璃膜G的支撐輥15。於支撐輥15與邊緣輥12之間、或支撐輥15與任一處的退火爐輥14之間賦予張力，以助於母材玻璃膜G成為薄壁。
方向轉換部3設置於支撐輥15的下方位置。於方向轉換部3中呈彎曲狀地排列著對母材玻璃膜G進行引導的多個導輥16。該些導輥16將沿鉛垂方向搬運的母材玻璃膜G引導為橫向。
第一搬運部4配置於方向轉換部3的前進方向前方（下游側）。第一搬運部4包括帶式輸送機（belt conveyor），但不限定於該構成，可使用輥式輸送機以外的各種搬運裝置。第一搬運部4藉由驅動環形帶狀的帶（belt）4a而將通過了方向轉換部3的母材玻璃膜G朝下游側連續搬運。
第一切斷部5配置於第一搬運部4的上方。本實施形態中，第一切斷部5藉由雷射割斷來切斷母材玻璃膜G。第一切斷部5包括：一對雷射照射裝置17a、及配置於該雷射照射裝置17a的下游側的一對冷卻裝置17b。第一切斷部5自各雷射照射裝置17a對所搬運的母材玻璃膜G的既定部位照射雷射光L而加熱後，自冷卻裝置17b放出冷媒R而將該加熱部位冷卻。
第一捲繞部6設置於第一搬運部4及第一切斷部5的下游側。第一捲繞部6藉由使捲芯18旋轉而將第一玻璃膜G1捲繞成輥狀。以此種方式構成的第一玻璃輥GRL1被搬運至取出部7的位置。取出部7自藉由第一捲繞部6而構成的第一玻璃輥GRL1抽出第一玻璃膜G1並供給於第二切斷部9。
第二搬運部8將於取出部7中自第一玻璃輥GRL1取出的第一玻璃膜G1沿橫向（以下稱作「搬運方向」）X搬運。第二搬運部8包括帶式輸送機，但不限定於該構成，可使用輥式輸送機（roller conveyor）以外的各種搬運裝置。第二搬運部8藉由驅動環形帶狀的多個帶8a而將第一玻璃膜G1搬運至下游側的第二捲繞部10。
多個帶8a是以將第一玻璃膜G1維持為大致水平姿勢的方式來設定上下方向的位置。即，多個帶8a是以與第一玻璃膜G1的接觸部8b的上下方向位置（高度）一致的方式設置。藉此構成沿水平方向的路線PL。
第二切斷部9位於第二搬運部8的中途部。第二切斷部9包括：對第一玻璃膜G1進行抽吸的抽吸裝置19；配置於第二搬運部8上方的一對雷射照射裝置20；以及一對冷卻裝置21。
抽吸裝置19包括：與第一玻璃膜G1的下表面接觸的一對壓盤（platen）22；壓盤22的支撐構件23；以及連接於壓盤22的抽吸泵24。
如圖2及圖3所示，壓盤22配置於第二搬運部8中的多個帶8a之間。壓盤22包括金屬製的板構件。壓盤22構成為具有既定的長度LP及寬度W的長方形狀，但並不限定於該形狀。壓盤22的長度LP設為80 mm以上且260 mm以下，但不限定於該範圍。壓盤22的寬度W設為30 mm以上且60 mm以下，但不限定於該範圍。
壓盤22具有於厚度方向上貫通的孔25、以及與第一玻璃膜G1接觸的支撐部26a～支撐部26c。
如圖4所示，孔25構成為沿著第一玻璃膜G1的搬運方向X的直線狀的長孔。壓盤22通過所述孔25的上部中的開口部25a來抽吸第一玻璃膜G1的下表面。開口部25a具有沿著第一玻璃膜G1的搬運方向X的既定的長度LA、及與搬運方向X正交的方向上的一定的寬度WA。開口部25a的長度LA理想的是設定為40 mm以上且80 mm以下。開口部25a的寬度WA較佳為設定成3 mm以上且30 mm以下，更佳為3 mm以上且20 mm以下。
支撐部26a～支撐部26c包括樹脂製的片材構件，但並不限定於該材質。如圖5所示，支撐部26a～支撐部26c的上表面位於第二搬運部8的路線PL的上方。支撐部26a～支撐部26c的上表面與路線PL（帶8a的上部）的高度之差H理想的是設為0 mm以上且3.0 mm以下，進而理想的是設為0.5 mm以上且3.0 mm以下。
支撐部26a～支撐部26c包括：第一支撐部26a；位於第一支撐部26a的下游側的第二支撐部26b；以及位於第二支撐部26b的下游側的第三支撐部26c。第一支撐部26a設置於自壓盤22的上游側端部至開口部25a為止的範圍內。第一支撐部26a的長度L1理想的是設定成10 mm以上且50 mm以下。第一支撐部26a的寬度W1等於壓盤22的寬度W。
第二支撐部26b位於壓盤22的孔25的寬度方向外側（兩側）。第二支撐部26b的長度L2等於孔25（開口部25a）的長度LA。第二支撐部26b的寬度W2設為1 mm以上且15 mm以下，但不限定於該範圍。
第三支撐部26c位於開口部25a的下游側。第三支撐部26c對藉由自冷卻裝置21放出的冷媒R而被冷卻的第一玻璃膜G1的一部分進行支撐。第三支撐部26c的長度L3設為10 mm以上且160 mm以下，但不限定於該範圍。第三支撐部26c的寬度W3等於壓盤22的寬度W。
支撐構件23支撐壓盤22的下部。支撐構件23例如藉由金屬而構成為塊（block）狀。於該支撐構件23與壓盤22之間形成有抽吸支撐構件23的外部空氣的開口部（間隙）23a。支撐構件23具有與壓盤22的孔25連通的內部空間S。於支撐構件23的下部連接有抽吸裝置19的一部分。
抽吸泵24設置於第二搬運部8的附近位置。抽吸泵24經由連接配管27而連接於支撐構件23。藉此，抽吸泵24通過連接配管27、及支撐構件23的內部空間S而自支撐構件23的開口部23a及壓盤22的開口部25a抽吸空氣。
雷射照射裝置20藉由對沿搬運方向X移動的第一玻璃膜G1的既定部位照射雷射光L而對該部位進行局部加熱。如圖3所示，雷射照射裝置20具有多個雷射照射部20a。各雷射照射部20a配置於壓盤22的開口部25a的上方。藉此，雷射照射部20a對通過開口部25a的第一玻璃膜G1的多處照射雷射光L。源自各雷射照射部20a的雷射光L的照射位置O是以位於與第一玻璃膜G1的搬運方向X大致平行的直線上的方式設定。
冷卻裝置21於第一玻璃膜G1的搬運方向X上配置於雷射照射裝置20的下游側。冷卻裝置21朝第一玻璃膜G1中經局部加熱的部位放出冷媒R而將該部位冷卻。
第二捲繞部10配置於第二搬運部8及第二切斷部9的下游側。第二捲繞部10藉由利用捲芯28捲繞自第二搬運部8搬運的第二玻璃膜G2而構成第二玻璃輥GRL2。
作為藉由所述製造裝置1而製造的第二玻璃膜G2（第一玻璃膜G1）的材質，使用矽酸鹽玻璃、二氧化矽玻璃，較佳為使用硼矽酸玻璃、鈉鈣玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、化學強化玻璃，最佳為使用無鹼玻璃。此處，所謂無鹼玻璃，是指實質不含鹼成分（鹼金屬氧化物）的玻璃，具體而言，是指鹼成分的重量比為3000 ppm以下的玻璃。本發明中的鹼成分的重量比較佳為1000 ppm以下，更佳為500 ppm以下，最佳為300 ppm以下。
另外，第二玻璃膜G2（第一玻璃膜G1）的厚度設為10 μm以上且300 μm以下，較佳為30 μm以上且200 μm以下，最佳為30 μm以上且100 μm以下。
以下，對使用所述構成的製造裝置1製造第二玻璃膜G2（第二玻璃輥GRL2）的方法進行說明。如圖6所示，本方法包括：成形步驟S1、耳部去除步驟S2、第一捲繞步驟S3、取出步驟S4、割斷步驟S5、及第二捲繞步驟S6。
成形步驟S1中，使自成形部2中的成形體11的溢流槽11a溢流的熔融玻璃GM分別沿著該成形體11的兩側面流下，並於其下端部匯流而成形為膜狀。此時，藉由邊緣輥12對熔融玻璃GM的寬度方向收縮進行限制並製成既定寬度的母材玻璃膜G。之後，藉由退火爐13對母材玻璃膜G實施除畸處理（徐冷步驟）。藉由支撐輥15的張力將母材玻璃膜G形成為既定的厚度。
耳部去除步驟S2中，藉由方向轉換部3及第一搬運部4將母材玻璃膜G送往下游側，並且於第一切斷部5中，自雷射照射裝置17a對母材玻璃膜G的一部分照射雷射光L來加熱。之後，藉由冷卻裝置17b對已加熱的部位噴附冷媒R。藉此，母材玻璃膜G中產生熱應力。母材玻璃膜G中預先形成有初始裂縫，藉由熱應力使該裂縫發展。藉此，自母材玻璃膜G將耳部去除，從而形成第一玻璃膜G1。
於接下來的第一捲繞步驟S3中，藉由將第一玻璃膜G1捲繞於捲芯18上而構成第一玻璃輥GRL1。之後，將第一玻璃輥GRL1移送至取出部7。取出步驟S4中，自移送至取出部7的第一玻璃輥GRL1抽出第一玻璃膜G1，並藉由第二搬運部8搬運至第二切斷部9。
割斷步驟S5中，第一玻璃膜G1的一部分由第二搬運部8搬運，藉此於壓盤22的支撐部26a～支撐部26c上通過（搬運步驟）。抽吸裝置19使抽吸泵24始終運轉，並藉由壓盤22的開口部25a來抽吸該壓盤22上的第一玻璃膜G1（抽吸步驟）。如圖7及圖8所示，第一玻璃膜G1由壓盤22的第二支撐部26b加以支撐，並且被抽吸至開口部25a，藉此，於該開口部25a的範圍內變形為凹狀。
割斷步驟S5中，使第一玻璃膜G1一面移動一面由開口部25a抽吸，於開口部25a的範圍內使該第一玻璃膜G1變形。該情況下的第一玻璃膜G1的變形量D理想的是設為0.1 mm以上且0.3 mm以下。關於所述變形量D，於搬運了10 m第一玻璃膜G1的情況下，為連續地每0.1秒測定所得的值的平均值。關於變形量D的測定，為了排除由雷射光L引起的熱膨脹的影響，於未照射雷射光L的狀態下進行測定。割斷步驟S5中，為了儘可能地減小第一玻璃膜G1的變形量D而對抽吸裝置19的抽吸力進行調整。即，除了調整抽吸泵24中的吸氣量以外，亦通過形成於支撐構件23的開口部23a進行吸氣，藉此來調整開口部25a的抽吸力（抽吸力調整步驟）。開口部23a藉由使用封閉構件來調整其開口面積。
第一玻璃膜G1一面由第二搬運部8搬運一面被抽吸至開口部25a，藉由調整其抽吸力（使抽吸力減弱），可產生微小的上下移動（振動）（參照圖9）。藉由調整開口部25a的抽吸力，可儘可能地降低第一玻璃膜G1的上下移動幅度（振幅）A。具體而言，第一玻璃膜G1的上下移動幅度A能夠設為10 μm以上且50 μm以下。即，於搬運了10 m第一玻璃膜G1的情況下，理想的是將連續地每0.1秒所測定的上下移動幅度A的值的最小值設為10 μm以上，且將最大值設為50 μm以下。再者，上下移動幅度A是使用公知的雷射位移感測器進行測定。關於上下移動幅度A的測定，為了排除由雷射光L引起的熱膨脹的影響，於未照射雷射光L的狀態下進行測定。
於抽吸力的調整中，若增大抽吸量，則有所述變形量D變大而所述上下移動幅度A變小的傾向。反之，若減小抽吸量，則有所述變形量D變小而所述上下移動幅度A變大的傾向。因此，較佳為於可容許的上下移動幅度A的範圍內儘可能地減小變形量D，抽吸力較佳為開口部25a中的風速為1 m/s～6 m/s的範圍。所述風速可使用公知的風速計進行測定。
割斷步驟S5中，如上所述，藉由第二搬運部8來搬運第一玻璃膜G1，並且自雷射照射裝置20的雷射照射部20a將多道雷射光L照射於第一玻璃膜G1（雷射照射步驟）。雷射光L被照射至於壓盤22的開口部25a的範圍內通過的第一玻璃膜G1的一部分。
藉由如上所述的雷射光L的照射，於所述照射位置O，將第一玻璃膜G1加熱。之後，第一玻璃膜G1中經加熱的部分通過開口部25a並藉由冷卻裝置21而被冷卻（冷卻步驟）。即，自位於壓盤22中的第三支撐部26c的上方的冷卻裝置21朝下方噴射冷媒R。藉由雷射照射裝置20的局部加熱所引起的膨脹與冷卻裝置21的冷卻所引起的收縮，而於第一玻璃膜G1中產生熱應力。第一玻璃膜G1中預先形成有初始裂縫，藉由該熱應力而使該裂縫發展，藉此將第一玻璃膜G1的寬度方向端部連續地割斷。藉此，形成第二玻璃膜G2。第二玻璃膜G2繼續由第二搬運部8搬運至下游側的第二捲繞部10。
第二捲繞步驟S6中，藉由捲芯28來捲繞第二玻璃膜G2。藉由捲繞既定長度的第二玻璃膜G2而構成第二玻璃輥GRL2（玻璃物品）。
根據以上所說明的本實施形態的玻璃膜（第二玻璃膜G2）的製造方法，藉由自抽吸裝置19中的壓盤22的開口部25a抽吸第一玻璃膜G1，可防止通過開口部25a的第一玻璃膜G1中的褶皺的發生。此外，即便於通過壓盤22之前第一玻璃膜G1產生了褶皺，亦能夠藉由開口部25a的抽吸而使該褶皺消失。因此，藉由對通過開口部25a的第一玻璃膜G1照射雷射光L，並於所述開口部25a的下游側使冷卻裝置21的冷媒R接觸所述第一玻璃膜G1，可精度良好地割斷第一玻璃膜G1而不會使第二玻璃膜G2的割斷面發生不良。
另外，藉由自存在於與壓盤22的開口部25a不同的位置的開口部23a抽吸空氣，可調整壓盤22的開口部25a中的第一玻璃膜G1的抽吸力。藉此，可防止因壓盤22的開口部25a強烈抽吸第一玻璃膜G1而引起的該第一玻璃膜G1的搬運不良的發生。
圖10及圖11表示抽吸裝置的另一例。如圖10、圖11所示，壓盤22具有多個孔25，各孔25包括：第一開口部25a1，雷射光L照射於其範圍內；以及一對第二開口部25a2，於壓盤22的寬度方向上遠離第一開口部25a1而配置。
第一開口部25a1具有與圖3及圖4所示的壓盤22的開口部25a相同的功能。第一開口部25a1配置於一對第二開口部25a2之間。於壓盤22中形成有第二開口部25a2的情況下，第一開口部25a1的長度LA1理想的是設為40 mm以上且80 mm以下。另外，第一開口部25a1的寬度WA1理想的是設為3 mm以上且5 mm以下。
第一開口部25a1的下游側端部DE相較於第二開口部25a2的下游側端部DE而更朝下游側突出。第一開口部25a1的下游側端部DE中的突出量P1理想的是設為5 mm以上且20 mm以下。
一對第二開口部25a2相較於第一開口部25a1而形成得更長且寬，但不限定於該構成。第二開口部25a2的長度LA2理想的是設為40 mm以上且80 mm以下。第二開口部25a2的寬度WA2理想的是設為8 mm以上且10 mm以下。第二開口部25a2的上游側端部UE相較於第一開口部25a1的上游側端部UE而突出於上游側。第二開口部25a2的上游側端部UE中的突出量P2理想的是設為10 mm以上且20 mm以下。
壓盤22的第二支撐部26b將第一開口部25a1與第二開口部25a2於壓盤22的寬度方向上間隔開。壓盤22的寬度方向上的第一開口部25a1與第二開口部25a2的間隔距離、即第二支撐部26b的寬度W2理想的是設為1 mm以上且3 mm以下。
壓盤22不僅具有第一支撐部26a至第三支撐部26c，亦具有第四支撐部26d。第四支撐部26d位於第二開口部25a2的寬度方向外側。第四支撐部26d的長度L4理想的是設為40 mm以上且80 mm以下。第四支撐部26d的寬度W4理想的是設為3 mm以上且5 mm以下。
如圖11所示，第一開口部25a1及第二開口部25a2連通於支撐構件23的內部空間S。藉此，第一開口部25a1及第二開口部25a2經由同一抽吸泵24來抽吸第一玻璃膜G1的下表面。若抽吸泵24的抽吸量減少，則有如下傾向：於未將雷射光L照射於第一玻璃膜G1的狀態下，第一開口部25a1中的第1玻璃膜G1的變形量D1變得大於第二開口部25a2中的玻璃膜G1的變形量D2。反之，若抽吸泵24的抽吸量多，則有如下傾向：於未將雷射光L照射於第一玻璃膜G1的狀態下，如圖11所示般，相較於第一開口部25a1中的玻璃膜G1的變形量D1而第二開口部25a2中的玻璃膜G1的變形量D2更大。如圖11所示般，相較於第一開口部25a1中的玻璃膜G1的變形量D1而第二開口部25a2中的玻璃膜G1的變形量D2變得更大會使得利用雷射光L1進行的第一玻璃膜G1的切斷的穩定性增加，因此較佳。再者，若將雷射光L1照射於玻璃膜G1，則有如下傾向：藉由雷射光L1所引起的熱的影響，即便於抽吸泵24的抽吸量多的情況下，第一開口部25a1中的玻璃膜G1的變形量D1亦大於第二開口部25a2中的玻璃膜G1的變形量D2。
本例中，藉由自壓盤22的第一開口部25a1及第二開口部25a2抽吸第一玻璃膜G1，可防止通過第一開口部25a1的第一玻璃膜G1中的褶皺的發生。此外，即便於通過壓盤22之前第一玻璃膜G1產生了褶皺，亦能夠藉由第一開口部25a1及第二開口部25a2的抽吸而使該褶皺消失。另外，藉由將第二開口部25a2設置於壓盤22，可儘可能地減小第一開口部25a1的開口面積（特別是寬度WA1）。藉此，可減少通過第一開口部25a1的第一玻璃膜G1的變形量D及上下移動幅度A，從而可精度良好地割斷第一玻璃膜G1。
再者，本發明並不限定於所述實施形態的構成，亦不限定於所述作用效果。本發明可於不脫離本發明的主旨的範圍內進行各種變更。
所述實施形態中，示出了藉由溢流下拉法而將母材玻璃膜G成形的例子，但不限於此，亦可藉由其他成形法將母材玻璃膜G成形。
所述實施形態中的第二切斷部9中，示出了一面藉由抽吸裝置19來抽吸第一玻璃膜G1一面進行割斷的例子，但不限於此，亦可於第一切斷部5中藉由抽吸裝置來抽吸母材玻璃膜G。抽吸裝置19設置於第一切斷部5及第二切斷部9的一者或兩者中。
1‧‧‧製造裝置
2‧‧‧成形部
3‧‧‧方向轉換部
4‧‧‧第一搬運部
4a、8a‧‧‧帶
5‧‧‧第一切斷部
6‧‧‧第一捲繞部
7‧‧‧取出部
8‧‧‧第二搬運部
8b‧‧‧接觸部
9‧‧‧第二切斷部
10‧‧‧第二捲繞部
11‧‧‧成形體
11a‧‧‧溢流槽
12‧‧‧邊緣輥
13‧‧‧退火爐
14‧‧‧退火爐輥
15‧‧‧支撐輥
16‧‧‧導輥
17a‧‧‧雷射照射裝置
17b‧‧‧冷卻裝置
18‧‧‧捲芯
19‧‧‧抽吸裝置
20‧‧‧雷射照射裝置
20a‧‧‧雷射照射部
21‧‧‧冷卻裝置
22‧‧‧壓盤
23‧‧‧支撐構件
23a‧‧‧開口部（間隙）
24‧‧‧抽吸泵
25‧‧‧孔
25a‧‧‧開口部
25a1‧‧‧第一開口部
25a2‧‧‧第二開口部
26a‧‧‧支撐部（第一支撐部）
26b‧‧‧支撐部（第二支撐部）
26c‧‧‧支撐部（第三支撐部）
26d‧‧‧第四支撐部
27‧‧‧連接配管
28‧‧‧捲芯
A‧‧‧上下移動幅度（振幅）
D、D1、D2‧‧‧變形量
DE‧‧‧下游側端部
G‧‧‧母材玻璃膜
G1‧‧‧玻璃膜（第一玻璃膜）
G2‧‧‧玻璃膜（第二玻璃膜）
GM‧‧‧熔融玻璃
GRL1‧‧‧第一玻璃輥
GRL2‧‧‧第二玻璃輥
H‧‧‧支撐部的上表面與路線（帶8a的上部）的高度之差
L‧‧‧雷射光
L1、L2、L3、L4、LA、LA1、LA2、LP‧‧‧長度
O‧‧‧照射位置
P1、P2‧‧‧突出量
PL‧‧‧路線
R‧‧‧冷媒
S‧‧‧內部空間
S1‧‧‧成形步驟
S2‧‧‧耳部去除步驟
S3‧‧‧第一捲繞步驟
S4‧‧‧取出步驟
S5‧‧‧割斷步驟
S6‧‧‧第二捲繞步驟
UE‧‧‧上游側端部
W、W1、W2、W3、W4、WA、WA1、WA2‧‧‧寬度
X‧‧‧搬運方向（橫向）
圖1是表示玻璃膜的製造裝置的側面圖。 圖2是表示玻璃膜的製造裝置的一部分的平面圖。 圖3是圖2的III-III線剖面圖。 圖4是壓盤的平面圖。 圖5是圖2的V-V線剖面圖。 圖6是表示玻璃膜的製造方法的流程圖。 圖7是表示割斷步驟中的玻璃膜的形態的剖面圖。 圖8是表示割斷步驟中的玻璃膜的形態的剖面圖。 圖9是表示割斷步驟中的玻璃膜的行為的剖面圖。 圖10是表示抽吸裝置的另一例的平面圖。 圖11是圖10的XI-XI線剖面圖。
Claims (7)
- 一種玻璃膜的製造方法，包括：割斷步驟，藉由對朝既定的搬運方向搬運的帶狀的玻璃膜照射雷射光而將所述玻璃膜割斷，且所述玻璃膜的製造方法的特徵在於，於所述玻璃膜的製造方法中， 所述割斷步驟包括：藉由具有開口部的壓盤支撐所述玻璃膜的下表面並且藉由所述開口部來抽吸所述玻璃膜的步驟；以及對抽吸至所述開口部的所述玻璃膜照射所述雷射光的步驟。
- 如申請專利範圍第1項所述的玻璃膜的製造方法，其中，所述割斷步驟包括：藉由具有既定的路線的搬運裝置搬運所述玻璃膜的步驟，且 所述壓盤包括對所述玻璃膜進行支撐的支撐部， 所述支撐部的上表面位於所述路線的上方。
- 如申請專利範圍第2項所述的玻璃膜的製造方法，其中，所述支撐部是以於所述開口部的所述搬運方向的下游側對所述玻璃膜進行支撐的方式構成，且 所述割斷步驟包括：冷卻步驟，於所述開口部的下游側朝支撐於所述支撐部的所述玻璃膜放出冷媒。
- 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中，所述割斷步驟包括對所述開口部中的所述玻璃膜的抽吸力進行調整的步驟。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的玻璃膜的製造方法，所述割斷步驟中，所述玻璃膜通過所述開口部時的所述玻璃膜的上下移動的振幅為50 μm以下。
- 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中，由所述開口部的抽吸所引起的所述玻璃膜的變形量為0.3 mm以下。
- 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中，所述壓盤的所述開口部具有一定的寬度，且 所述開口部的所述寬度為3 mm以上且30 mm以下。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI844754B (zh) * | 2019-12-23 | 2024-06-11 | 日商日本電氣硝子股份有限公司 | 玻璃膜的製造方法及其製造裝置 |
Also Published As
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