JP6788837B2 - ガラス板の検査方法及びその製造方法並びにガラス板の検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス板の検査方法及びその製造方法並びにガラス板の検査装置に関する。

従来、ガラス板の製造工程には、ガラス板に含まれる欠陥の有無を検査する検査工程が含まれるのが通例である。

この種の検査工程としては、例えば、特許文献１に開示のものが挙げられる。同文献に開示の検査工程では、ガラス板の一方の主面側に光源を配置すると共に、光源とは反対のガラス板の他方の主面側に配置されたカメラによってガラス板を透過した光源からの光を受光し、カメラで撮像された光量の変化に基づいてガラス板に含まれる欠陥の有無を検査する。また、同文献には、ガラス板の一方の主面側に光源を配置すると共に、光源と同じガラス板の一方の主面側に配置されたカメラによってガラス板で反射した光源からの光を受光し、カメラで撮像された光量の変化に基づいてガラス板に含まれる欠陥の有無を検査することも開示されている。

特開２０１４−２１１４１５号公報

しかしながら、特許文献１には、ガラス板の欠陥として、ガラス板中の泡や異物が例示されているが、これら欠陥の種類を識別することは開示されていない。泡欠陥と異物欠陥（例えば、耐火物等からの剥離物など）ではガラス板の品質に与える影響が異なる。そのため、泡欠陥の許容サイズと異物欠陥の許容サイズとが異なり、同一サイズの欠陥であっても欠陥の種類によって合否基準が異なる。したがって、泡欠陥と異物欠陥を識別する必要がある。

また、カメラで撮像された光量の変化に基づいて欠陥の有無を単純に検査しようとすると、ガラス板の表面に付着した埃を誤検出してしまう場合がある。埃はガラス板の洗浄等で除去できる場合が多い。欠陥が検出されたガラス板は廃棄されるのが通例であるので、埃を欠陥として誤検出すると、品質上問題のないガラス板まで廃棄されるおそれがある。したがって、ガラス板の欠陥の誤検出を防止する必要もある。

本発明は、ガラス板の欠陥の誤検出を防止しつつ、ガラス板の欠陥の種類の識別を正確に行うことを技術的課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の検査方法において、第一光源と、第一光源から照射されてガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、第一透過光の一部を遮蔽して第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、第二光源及び第三光源と、第二光源から照射されてガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、第三光源から照射されてガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、第一撮像系で得られる像と、第二撮像系で得られる像とに基づいて、ガラス板の欠陥の種類を識別することを特徴とする。このような構成によれば、泡欠陥や異物欠陥など欠陥の種類によって、第一撮像系で得られる像及び／又は第二撮像系で得られる像から抽出される特徴量（例えば、形状や色など）が特有の変化を示す。また同様に、欠陥と誤検出されやすいガラス板の表面に付着した埃の場合も、これら二つの像から抽出される特徴量が特有の変化を示す。したがって、第一撮像系で得られる像と第二撮像系で得られる像に基づいて、ガラス板の欠陥の種類の識別を正確に行うことができる。そして、欠陥の種類の識別を正確に行うことができれば、欠陥の誤検出も必然的に防止することができる。

上記の構成において、第一光源、第二光源及び第三光源を一つの光源ユニットとし、光源ユニットから照射されてガラス板を透過した透過光を、ビームスプリッタによって、第一透過光を含む第一成分と、第二透過光及び第三透過光を含む第二成分との二つに分離し、第一成分を遮蔽部材を介して第一撮像部で撮像し、第二成分を第二撮像部で撮像することが好ましい。このようにすれば、第一撮像部と第二撮像部によって、ガラス板の同じ位置を同時に撮像することができるので、より緻密なガラス板の検査を実現できる。

上記の構成において、第一撮像系で得られる像の有無と、第二撮像系で得られる像の有無とに基づいて、ガラス板中の異物欠陥を識別してもよい。すなわち、異物欠陥の場合、第一撮像系で像が得られ、第二撮像系で像が得られない場合がある。したがって、第一撮像系で得られた像の有無と、第二撮像系で得られた像の有無とに基づいて、ガラス板中の異物欠陥と、それ以外を識別することができる。

上記の構成において、第一撮像系で得られる像の面積と、第二撮像系で得られる像の面積とに基づいて、ガラス板中の異物欠陥と泡欠陥とを識別してもよい。すなわち、異物欠陥の場合、第一撮像系で得られる像の面積が、第二撮像系で得られる像の面積に比べて大きくなる傾向がある。換言すれば、（第一撮像系で得られる像の面積）／（第二撮像系で得られる像の面積）の値が大きくなる傾向がある。これに対し、泡欠陥の場合、第一撮像系で得られる像の面積が、第二撮像系で得られる像の面積に比べてそれほど大きくならない傾向がある。換言すれば、（第一撮像系で得られる像の面積）／（第二撮像系で得られる像の面積）の値が小さくなる傾向がある。したがって、第一撮像系で得られる像の面積と第二撮像系で得られる像の面積とに基づいて、泡欠陥と異物欠陥とを識別することができる。

上記の構成において、第二撮像系で得られる像の色に基づいて、ガラス板中の泡欠陥とガラス板の表面に付着した埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、泡欠陥の場合、第二撮像系で得られる像の色が黒く（暗く）なる傾向がある。これに対し、埃の場合、第二撮像系で得られる像の色が白く（明るく）なる傾向がある。したがって、第二撮像系で得られる像の色によって、泡欠陥と埃とを識別することができる。

上記の構成において、第二撮像系で得られる像のガラス板の延伸方向に沿った第一方向の寸法と、第二撮像系で得られる像の第一方向と直交する第二方向の寸法とに基づいて、ガラス板中の泡欠陥とガラス板の表面に付着した埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、泡欠陥の場合、ガラス板の延伸方向に引き伸ばされて細長くなっていることが多い。そのため、第二撮像系で得られる像の第一方向の寸法が、第一方向と直交する第二方向の寸法よりも大きくなる傾向にある。換言すれば、（第一方向の寸法）／（第二方向の寸法）の値が大きくなる傾向にある。これに対し、埃の場合、ガラス板の延伸方向とは無関係であるので、第二撮像系で得られる像の第一方向の寸法が、その像の第二方向の寸法と同程度になる傾向にある。換言すれば、（第一方向の寸法）／（第二方向の寸法）の値が小さくなる傾向にある。したがって、第二撮像系で得られる像の第一方向の寸法とその像の第二方向の寸法とに基づいて、泡欠陥と埃とを識別することができる。

上記の構成において、第二撮像系で得られる像の面積と、ガラス板の延伸方向に沿った第一方向と平行な辺および第一方向と直交する第二方向と平行な辺からなり、かつ、第二撮像系で得られる像が内接する矩形の面積とに基づいて、ガラス板中の泡欠陥とガラス板の表面に付着した埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、泡欠陥の場合、ガラス板の延伸方向に真っ直ぐ延びていることが多い。そのため、第二撮像系で得られる像の面積が、その像が内接する矩形の面積と同程度になる傾向にある。換言すれば、（第二撮像系で得られる像の面積）／（第二撮像系で得られる像が内接する矩形の面積）の値が大きくなる傾向にある（１に近づく）。これに対し、埃の場合、ガラス板の延伸方向とは無関係であるため、第二撮像系で得られる像の面積が、その像が内接する矩形の面積よりもかなり小さくなる傾向にある。換言すれば、（第二撮像系で得られる像の面積）／（第二撮像系で得られる像が内接する矩形の面積）の値が小さくなる傾向にある（０に近づく）。したがって、第二撮像系で得られる像の面積とその像が内接する矩形の面積とに基づいて、泡欠陥と埃とを識別することができる。

上記の構成において、ガラス板の延伸方向に沿った第一方向と平行な対称軸に対する、第二撮像系で得られる像の対称性に基づいて、ガラス板中の泡欠陥とガラス板の表面に付着した埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、泡欠陥の場合、ガラス板の延伸方向に真っ直ぐ延びていることが多いため、第二撮像系で得られる像は、第一方向と平行な対称軸に対する対称性（線対称性）が高くなる傾向にある。これに対し、埃の場合、ガラス板の延伸方向とは無関係であるため、第二撮像系で得られる像は、第一方向と平行な対称軸に対する対称性（線対称性）が低くなる傾向にある。したがって、第一方向と平行な対称軸に対する、第二撮像系で得られる像の対称性に基づいて、泡欠陥と埃とを識別することができる。

上記の構成において、第二撮像系で得られる像のガラス板の延伸方向に沿った第一方向に対する傾きに基づいて、ガラス板中の泡欠陥とガラス板の表面に付着した埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、泡欠陥の場合、ガラス板の延伸方向に真っ直ぐ延びていることが多いため、第二撮像系で得られる像は、第一方向に対する傾きが小さくなる傾向にある。これに対し、埃の場合、ガラス板の延伸方向とは無関係であるため、第二撮像系で得られる像は、第一方向に対する傾きが大きくなる傾向にある。したがって、第二撮像系で得られる像の第一方向に対する傾きに基づいて、泡欠陥と埃とを識別することができる。

上記の構成において、第二撮像系でガラス板の端辺を撮像し、端辺の形状不良の有無を検査するようにしてもよい。このようにすれば、ガラス板の欠陥の検査と同時に、切断不良などを原因とする端辺の形状不良も検査することができる。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の製造方法において、溶融ガラスを所定方向に延伸して板状のガラスリボンを成形する成形工程と、成形工程で成形されたガラスリボンを徐冷する徐冷工程と、徐冷工程で徐冷されたガラスリボンを所定の大きさに切断してガラス板を得る切断工程と、切断工程で得たガラス板を、既に述べたガラス板の検査方法の構成を適宜備えた方法で検査する検査工程とを備えていることを特徴とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の検査装置において、第一光源と、第一光源から照射されてガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、第一透過光の一部を遮蔽して第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、第二光源及び第三光源と、第二光源から照射されてガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像すると共に、第三光源から照射されてガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系と、第一撮像系で得られる像と、第二撮像系で得られる像とに基づいて、ガラス板の欠陥の種類を識別する識別手段とを備えることを特徴とする。

上記の構成において、第一光源、第二光源及び第三光源が一つの光源ユニットとされ、光源ユニットから照射されてガラス板を透過した透過光を、第一透過光を含む第一成分と、第二透過光及び第三透過光を含む第二成分との二つに分離するビームスプリッタを備え、第一撮像部とビームスプリッタの間に遮蔽部材が配置され、第一撮像部が第一成分を遮蔽部材を介して撮像すると共に、第二撮像部が第二成分を撮像するように構成されていることが好ましい。

以上のような本発明によれば、ガラス板の欠陥の誤検出を防止しつつ、ガラス板の欠陥の種類の識別を正確に行うことができる。

本発明の実施形態に係るガラス板の検査装置を示す平面図である。 図１の光源ユニットの正面図である。 異物欠陥、泡欠陥及び埃を有するガラス板を模式的に示した断面図である。 異物欠陥、泡欠陥及び埃のそれぞれについての図１の検査装置で得られる像の代表例を示す図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の検査方法に含まれる欠陥検査工程で実行される処理の一例を示すフローチャートである。 （ａ）及び（ｂ）は、欠陥検査工程で実行される処理の変形例を説明するための図であって、（ａ）は第一撮像系で得られる異物欠陥の像の一例であり、（ｂ）は第二撮像系で得られる異物欠陥の像の一例である。 （ａ）及び（ｂ）は、欠陥検査工程で実行される処理の変形例を説明するための図であって、（ａ）は第一撮像系で得られる泡欠陥の像の一例であり、（ｂ）は第二撮像系で得られる泡欠陥の像の一例である。 （ａ）及び（ｂ）は、欠陥検査工程で実行される処理の変形例を説明するための図であって、（ａ）は第二撮像系で得られる泡欠陥の像の一例であり、（ｂ）は第二撮像系で得られる埃の像の一例である。 （ａ）及び（ｂ）は、欠陥検査工程で実行される処理の変形例を説明するための図であって、（ａ）は第二撮像系で得られる泡欠陥の像の一例であり、（ｂ）は第二撮像系で得られる埃の像の一例である。 （ａ）及び（ｂ）は、欠陥検査工程で実行される処理の変形例を説明するための図であって、（ａ）は第二撮像系で得られる泡欠陥の像の一例であり、（ｂ）は第二撮像系で得られる埃の像の一例である。 （ａ）及び（ｂ）は、欠陥検査工程で実行される処理の変形例を説明するための図であって、（ａ）は第二撮像系で得られる泡欠陥の像の一例であり、（ｂ）は第二撮像系で得られる埃の像の一例である。 本発明の実施形態に係るガラス板の検査方法に含まれる端縁検査工程を説明するための図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の検査装置の変形例を示す平面図である。

本発明に係るガラス板の検査方法、製造方法及び検査装置の一実施形態について説明する。なお、以下では、ガラス板の製造方法を説明する過程で、ガラス板の検査装置及び検査方法を併せて説明するが、ガラス板の検査装置及び検査方法はガラス板の製造方法から独立して単独実施することもできる。

本実施形態に係るガラス板の製造方法は、溶融ガラスを所定方向に延伸して板状のガラスリボンを成形する成形工程と、成形工程で成形されたガラスリボンを徐冷する徐冷工程と、徐冷工程で徐冷されたガラスリボンを所定の大きさに切断してガラス板を得る切断工程と、切断工程で得たガラス板を検査する検査工程とを備える。

成形工程では、オーバーフローダウンドロー法を用いて溶融ガラスからガラスリボンを成形する。詳細には、断面楔形の成形体の頂部から両側に溢れ出たそれぞれの溶融ガラスを成形体の外側面部に沿って流下させながら成形体の下端部で融合一体化させることで、ガラスリボンを成形する。この場合、溶融ガラス（又はガラスリボン）は下方に延伸される。なお、成形工程は、オーバーフローダウンドロー法を用いたものに限定されない。例えば、スロットダウンドロー法やリドロー法などの他のダウンドロー法や、フロート法を用いてもよい。

徐冷工程では、徐冷炉の内部空間に下方に向かって所定の温度勾配を設ける。成形体に連続するガラスリボンは、徐冷炉の内部空間を下方に向かって移動するに連れて、温度が低くなるように徐冷される。これに伴い、ガラスリボンの内部歪が除去される。

切断工程は、ガラスリボンを所定長さに切断する第一切断工程と、ガラスリボンの幅方向両端部を切断する第二切断工程とを備える。ガラスリボンの幅方向両端部は、幅方向中央部よりも相対的に厚みが大きくなる場合がある。この実施形態では、第二切断工程は、第一切断工程の後に第一切断工程とは別の場所で行われる。第一切断工程及び第二切断工程では、ガラスリボンの一方の主面の切断予定線に沿ってスクライブ線を形成した後、スクライブ線に沿って曲げ応力を作用させることで、ガラスリボンをスクライブ線に沿って切断（割断）する。これにより、ガラスリボンから所定サイズのガラス板が得られる。この実施形態では、第一切断工程及び第二切断工程において、ガラスリボンを縦姿勢（例えば、鉛直姿勢）のまま切断し、得られたガラス板を縦姿勢のまま検査工程に送る。なお、ガラスリボンの切断方法や切断姿勢はこれに限定されない。また、ガラス板は横姿勢（例えば、水平姿勢）で検査工程に送ってもよい。さらに、検査工程の前にガラス板を洗浄する洗浄工程を設けてもよい。

検査工程は、ガラス板の欠陥を検査する欠陥検査工程と、ガラス板の端縁を検査する端縁検査工程とを備える。ここで、検査工程は、ガラス板の検査方法に相当する。

図１に示すように、欠陥検査工程ではガラス板の検査装置１が用いられる。検査装置１は、第一撮像系２と、第二撮像系３と、識別手段４とを備える。ここで、図中のＸＹＺは直交座標系であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向が鉛直方向である。

ガラス板Ｇは、上辺、又は上辺及び下辺が支持された縦姿勢（好ましくは鉛直姿勢）の状態でＸ方向に沿って送られる。第一主面Ｇ１と第二主面Ｇ２が対向するガラス板Ｇの厚み方向はＹ方向に沿っている。成形時のガラス板Ｇの延伸方向はＺ方向に沿っている。ここで、「特定方向（例えばＸ方向）に沿う」という用語は、その特定方向（例えばＸ方向）と平行又は略平行な状態を意味する（以下、同様）。なお、ガラス板Ｇの送り方向は特に限定されるものではない。

第一撮像系２は、第一光源５と、第一光源５から照射されてガラス板Ｇを透過した第一透過光Ｌ１を撮像する第一撮像部６と、第一透過光Ｌ１の一部（例えば、半分）を遮蔽して第一撮像部６の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材としての遮蔽板７とを有する。ここで、撮像部で撮像する測定光として透過光を用いる場合には、「透過光」という用語には散乱光も含まれるものとする（以下、同様）。

第一光源５はガラス板Ｇの第一主面Ｇ１側に配置され、第一撮像部６はガラス板Ｇの第二主面Ｇ２側に配置されている。第一光源５の光軸は、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に略垂直に光が入射する向きとされている。第一撮像部６の光軸は、第一撮像部６で基本的に第一透過光Ｌ１を補足できるように、第一光源５の光軸の直線上に配置されている。これにより、第一撮像部６は、遮蔽板７がなければ第一透過光Ｌ１を明視野で撮像する状態となるが、実際は遮蔽板７によって第一透過光Ｌ１の一部が遮断されるので、第一透過光Ｌ１を半明視野で撮像する状態となる。

一方、第二撮像系３は、第二光源８及び第三光源９と、第二光源８から照射されてガラス板Ｇを透過した第二透過光Ｌ２を明視野で撮像すると共に、第三光源９から照射されてガラス板Ｇを透過した第三透過光Ｌ３を暗視野で撮像する第二撮像部１０とを有する。

第二光源８はガラス板Ｇの第一主面Ｇ１側に配置され、第二撮像部１０はガラス板Ｇの第二主面Ｇ２側に配置されている。第二光源８の光軸は、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に略垂直に光が入射する向きとされている。第二撮像部１０の光軸は、第二撮像部１０で基本的に第二透過光Ｌ２を補足できるように、後述するビームスプリッタ１１によって分離された第二光源８の光軸の直線上に配置されている。これにより、第二撮像部１０は、第二透過光Ｌ２を明視野で撮像する状態となる。

第三光源９はガラス板Ｇの第一主面Ｇ１側に配置されている。第三光源９の光軸は、ガラス板Ｇの第一主面Ｇ１に斜めに光が入射する向きとされている。この実施形態では、第三光源９は一対設けられている。第二撮像部１０の光軸は、第二撮像部１０に基本的に第三透過光Ｌ３が入らないように、第三光源９の光軸の直線上から外れた位置に配置されている。これにより、第二撮像部１０は、第三透過光Ｌ３を暗視野で撮像する状態となる。第三透過光Ｌ３は、ガラス板Ｇで散乱が生じたときなどの特定の場合にのみ、第二撮像部１０で受光される。なお、図１では第三透過光Ｌ３の傾斜角が誇張されているが、第三透過光Ｌ３も後述するビームスプリッタ１１には基本的に入射する。

第二撮像部１０では、第二透過光Ｌ２と第三透過光Ｌ３が合成された光が撮像される。

この実施形態では、図１及び図２に示すように、第一光源５、第二光源８及び第三光源９が、一つの光源ユニット１２に組み込まれている。これにより、第一光源５、第二光源８及び第三光源９が近接配置され、第一透過光Ｌ１、第二透過光Ｌ２及び第三透過光Ｌ３がガラス板Ｇの実質的に同じ場所を通過するようになっている。この実施形態では、光源ユニット１２は、第一光源５、第二光源８及び第三光源９を同時に点灯する。なお、光源ユニット１２は、第一光源５、第二光源８及び第三光源９を異なるタイミングで点滅させてもよい。

また、図１に戻ると、第一撮像部６の光軸上及び第二撮像部１０の光軸上に、ビームスプリッタ１１が配置されている。遮蔽板７は、ビームスプリッタ１１と第一撮像部６との間に配置される。ビームスプリッタ１１は、光源ユニット１２から照射されてガラス板Ｇを透過した透過光を、第一透過光Ｌ１を含む第一成分と、第二透過光Ｌ２及び第三透過光Ｌ３を含む第二成分との二つに分離する。詳細には、ビームスプリッタ１１として、特定の波長を透過し、それ以外の波長を反射するものを用いる。そして、第一光源５として、例えば青色のＬＥＤを用い、第二光源８及び第三光源９として、第一光源５とは色の異なる、例えば赤色のＬＥＤを用いる。これにより、ビームスプリッタ１１で、第一光源５に由来する第一透過光Ｌ１と、第二光源８及び第三光源９に由来する第二透過光Ｌ２及び第三透過光Ｌ３とに二色分離する。図示例では、第一透過光Ｌ１を含む第一成分がビームスプリッタ１１を透過して第一撮像部６で撮像され、第二透過光Ｌ２及び第三透過光Ｌ３を含む第二成分がビームスプリッタ１１で反射して第二撮像部１０で撮像される。なお、第一光源５、第二光源８及び第三光源９は、ＬＥＤに限定されるものではなく、例えば、メタルハライドランプやレーザ光源などであってもよい。

さらに、図示は省略するが、光源ユニット１２はＺ方向に沿って複数配置されており、ライン光源を構成している。また同様に、第一撮像部６及び第二撮像部１０もＺ方向に沿って複数配置されており、ラインカメラを構成している。これにより、ガラス板ＧをＸ方向に沿って送ると、ガラス板Ｇの略全面に対して検査が行われるようになっている。

識別手段４は、第一撮像部６及び第二撮像部１０に有線又は無線で接続されており、これら撮像部６，１０による撮像結果が入力される。撮像部６，１０は、明るい部分を白、暗い部分を黒としたモノクロ情報からなる像を出力する。ここでいう像はガラス板Ｇの欠陥候補を意味する。識別手段４は、例えば、ＰＣのＣＰＵで構成される。識別手段４は、第一撮像系２で得られた像と、第二撮像系３で得られた像とに基づいて、ガラス板Ｇの欠陥の種類を識別する。図示は省略するが、識別手段４は、識別されたガラス板Ｇの欠陥の種類と位置を記憶手段（例えば、ＰＣのメモリ）に記憶させると共に、ディスプレイにこれらの情報を表示させる。

図３に示すように、ガラス板Ｇの内部に含まれる欠陥としては、異物欠陥Ｘｍと泡欠陥Ｘｂがある。異物欠陥Ｘｍは、ガラス原料に由来する未溶解物などであり、ガラス板Ｇの表面の歪みを伴う場合が多い。泡欠陥Ｘｂは、製造過程で混入した空気などである。また、ガラス板Ｇの表面には、欠陥と誤検出されやすい埃Ｘｄが付着する場合もある。埃Ｘｄは洗浄等で除去できる。

異物欠陥、泡欠陥、埃などを有するガラス板Ｇを検査装置１で検査した場合に得られる像の代表的な一例を図４に示す。これらの像は、透過光Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３が異物欠陥、泡欠陥、埃で屈折や散乱等することによって得られる。

同図に示すように、異物欠陥の場合、第一撮像系２では像Ｉ１が得られ、第二撮像系３では像が得られないときが多い。第一撮像系２の像Ｉ１は、例えば、真円に近い白丸と黒丸が連なった形状になる。

泡欠陥の場合、第一撮像系２では、像Ｉ２が得られたり、像自体が得られなかったりする。像Ｉ２が得られる場合、例えば、長円に近い白丸と黒丸が連なった形状になる。一方、第二撮像系３では、黒色の像Ｉ３が得られるときが多い。像Ｉ３は、例えば、長円に近い形状となる。

埃の場合、第一撮像系２では、像Ｉ４が得られたり、像自体が得られなかったりする。像Ｉ４が得られる場合、例えば、波打った形状になる。一方、第二撮像系３では、白色の像Ｉ５が得られるときが多い。像Ｉ５は、例えば、波打った形状となる。

欠陥検査工程では、これらの傾向を用いて、第一撮像系２で得られた像と第二撮像系３で得られた像とからガラス板Ｇの欠陥の種類を識別する。ガラス板Ｇの欠陥の種類を識別する際に、欠陥検査工程で行われる処理の一例を、図５に示すフローチャートを用いて以下に説明する。

同図に示すように、まず、第一撮像系２の像が存在するか否かを判断する（ステップＳ１）。その結果、第一撮像系２の像が存在すると判断された場合、第二撮像系３の像が存在するか否かを判断し（ステップＳ２）、第一撮像系２の像が存在しないと判断された場合には、第二撮像系３の像が存在するか否かを判断する（ステップＳ３）。

ステップＳ２で第二撮像系３の像が存在しないと判断された場合、検査対象位置においてガラス板Ｇに異物欠陥があると判断する（ステップＳ４）。

ステップＳ２又はＳ３で、第二撮像系３の像が存在すると判断された場合、第二撮像系３の像の色が白色か否かを判断する（ステップＳ５）。その結果、第二撮像系３の像が白色でないと判断された場合、検査対象位置においてガラス板Ｇに泡欠陥があると判断する（ステップＳ６）。

一方、ステップＳ５で、第二撮像系３の像が白色であると判断された場合、検査対象位置においてガラス板Ｇに埃があると判断する（ステップＳ７）。

また、ステップＳ３で、第二撮像系３の像が存在しないと判断された場合、検査対象位置においてガラス板Ｇに欠陥及び埃がないと判断する（ステップＳ８）。

ステップＳ１〜Ｓ８の処理は、識別手段４において全自動で行うことができる。

そして、これらの最終的な識別結果情報は、検査対象位置の位置情報と紐付けられた状態で、記憶手段に記憶されると共にディスプレイに表示される。また、識別結果情報は、上流側の工程（例えば、成形工程や切断工程）にフィードバックされ、上流側の工程における製造条件などが必要に応じて調整される。なお、異物欠陥及び／又は泡欠陥が存在すると判断されたガラス板Ｇは、その欠陥の大きさ等に応じて廃棄の有無が決定される。

以上のような欠陥検査工程によれば、埃をガラス板Ｇの欠陥として誤検出するのを防止しつつ、ガラス板Ｇの欠陥（異物欠陥、泡欠陥）の種類を正確に識別することができる。

ここで、欠陥の識別精度を向上させるために、欠陥検査工程で次のような処理を追加してもよい。

異物欠陥の場合であっても、第二撮像系３で像が得られ、異物欠陥と泡欠陥を識別しにくいときがある。そこで、上記の欠陥検査工程において、図６（ａ）及び７（ａ）に示すように第一撮像系２で得られた像Ｉ６，Ｉ８の面積Ａと、図６（ｂ）及び７（ｂ）に示すように第二撮像系３で得られた像Ｉ７，Ｉ９の面積Ｂとを求め、これら２つの面積の比Ａ／Ｂに基づいて、ガラス板Ｇ中の泡欠陥と異物欠陥とを識別するようにしてもよい。すなわち、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、異物欠陥の場合、第一撮像系２で得られた像Ｉ６の面積Ａが、第二撮像系３で得られた像Ｉ７の面積Ｂに比べて大きくなり、面積比Ａ／Ｂの値が大きくなる傾向がある。これに対し、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、泡欠陥の場合、第一撮像系２で得られた像Ｉ８の面積Ａが、第二撮像系３で得られた像Ｉ９の面積Ｂに比べてそれほど大きくならず、面積比Ａ／Ｂの値が小さくなる傾向がある（１に近づく）。したがって、面積比Ａ／Ｂの値が所定のしきい値以上の場合を異物欠陥又は異物欠陥候補と判断し、しきい値未満の場合を泡欠陥又は泡欠陥候補と判断してもよい。ここで、異物欠陥候補や泡欠陥候補は、最終的な識別結果を意味するものではなく、その後に別の識別処理を加えることを予定したものである。後述する埃候補も同様の意味である。なお、面積比Ａ／Ｂのしきい値は、異物欠陥を識別するための第一しきい値と、泡欠陥を識別するための第二しきい値（第二しきい値＜第一しきい値）とに分けてもよい。しきい値の大きさは、検査の要求精度に応じて変更できる。

埃の場合であっても、第二撮像系３で像が白色にならず、泡欠陥と埃の識別がしにくいときがある。そこで、上記の欠陥検査工程において、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、第二撮像系３で得られた像Ｉ１０，Ｉ１１のガラス板Ｇの延伸方向に沿ったＺ方向（第一方向に相当）の寸法Ｃと、その像Ｉ１０，Ｉ１１のＺ方向と直交するＸ方向（第二方向に相当）の寸法Ｄとを求め、これら２つの寸法比Ｃ／Ｄに基づいて、泡欠陥と埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、図８（ａ）に示すように、泡欠陥の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１０がＺ方向に細長くなっていることが多いため、寸法比Ｃ／Ｄの値が大きくなる傾向にある。これに対し、図８（ｂ）に示すように、埃の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１１が延伸成形の影響を受けずにＺ方向とは無関係であるので、寸法比Ｃ／Ｄの値が小さくなる傾向にある。したがって、寸法比Ｃ／Ｄの値が所定のしきい値以上の場合を泡欠陥又は泡欠陥候補と判断し、しきい値未満の場合を埃又は埃候補と判断してもよい。なお、寸法比Ｃ／Ｄのしきい値は、泡欠陥を識別するための第一しきい値と、埃を識別するための第二しきい値（第二しきい値＜第一しきい値）とに分けてもよい。また、しきい値の大きさは検査の要求精度に応じて変更できる。

また、泡欠陥と埃の識別がしにくい場合には、上記の欠陥検査工程において、図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、第二撮像系３で得られた像Ｉ１２，Ｉ１３の面積Ｅと、その像Ｉ１２，Ｉ１３が内接するようにＺ方向と平行な辺およびＸ方向と平行な辺からなる矩形Ｓを形成したときの矩形Ｓの面積Ｆとを求め、これら２つの面積比Ｅ／Ｆに基づいて、泡欠陥と埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、図９（ａ）に示すように、泡欠陥の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１２がＺ方向に真っ直ぐ延びていることが多いため、像Ｉ１２の面積Ｅが矩形Ｓの面積Ｆと同程度になり、面積比Ｅ／Ｆの値が大きくなる傾向にある（１に近づく）。これに対し、図９（ｂ）に示すように、埃の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１３が延伸成形の影響を受けずにＺ方向とは無関係であるため、像Ｉ１３の面積Ｅが矩形Ｓの面積Ｆよりもかなり小さくなり、面積比Ｅ／Ｆの値が小さくなる傾向にある（０に近づく）。したがって、面積比Ｅ／Ｆの値が所定のしきい値以上の場合を泡欠陥又は泡欠陥候補と判断し、しきい値未満の場合を埃又は埃候補と判断してもよい。なお、面積比Ｅ／Ｆのしきい値は、泡欠陥を識別するための第一しきい値と、埃を識別するための第二しきい値（第二しきい値＜第一しきい値）とに分けてもよい。また、しきい値の大きさは、検査の要求精度に応じて変更できる。

さらに、泡欠陥と埃の識別がしにくい場合には、上記の欠陥検査工程において、図１０（ａ）及び（ｂ）に示すように、第二撮像系３で得られた像Ｉ１４，Ｉ１５のＺ方向と平行な対称軸Ｈに対する対称性に基づいて、泡欠陥と埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、図１０（ａ）に示すように、泡欠陥の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１４がＺ方向に真っ直ぐ延びていることが多いため、像Ｉ１４の対称軸Ｈに対する対称性（線対称性）が高くなる傾向にある。これに対し、図１０（ｂ）に示すように、埃の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１５は延伸成形の影響を受けずにＺ方向とは無関係であるため、像Ｉ１５の対称軸Ｈに対する対称性（線対称性）が低くなる傾向にある。したがって、対称軸Ｈに対する対称性を数値化した値（対称性が高いときに値が大きくなる）が所定のしきい値以上である場合を泡欠陥又は泡欠陥候補と判断し、しきい値未満の場合を埃又は埃候補と判断してもよい。なお、対称性のしきい値は、泡欠陥を識別するための第一しきい値と、埃を識別するための第二しきい値（第二しきい値＜第一しきい値）とに分けてもよい。また、しきい値の大きさは、検査の要求精度に応じて変更できる。

また、泡欠陥と埃の識別がしにくい場合には、上記の欠陥検査工程において、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、第二撮像系３で得られた像Ｉ１６，Ｉ１７のＺ方向に対する傾き角θを求め、この傾き角θに基づいて、泡欠陥と埃とを識別するようにしてもよい。すなわち、図１１（ａ）に示すように、泡欠陥の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１６がＺ方向に真っ直ぐ延びていることが多いため、像Ｉ１６の傾き角θが小さくなる傾向にある。これに対し、図１１（ｂ）に示すように、埃の場合、第二撮像系３で得られた像Ｉ１７は延伸成形の影響を受けずにＺ方向とは無関係であるため、像Ｉ１７の傾き角θが大きくなる傾向にある。したがって、傾き角θが所定のしきい値以下である場合を泡欠陥又は泡欠陥候補と判断し、しきい値超の場合を埃又は埃候補と判断してもよい。なお、傾き角θのしきい値は、泡欠陥を識別するための第一しきい値と、埃を識別するための第二しきい値（第二しきい値＞第一しきい値）とに分けてもよい。また、しきい値の大きさは、検査精度に応じて変更できる。

ここで、以上に例示した泡欠陥と埃の識別方法は、ガラス板Ｇの延伸方向を考慮したものである。そのため、第二撮像系３で得られた像からガラス板Ｇの延伸方向に関連する特徴量を抽出し、この特徴量に基づいて泡欠陥と埃とを識別しているともいえる。

図１２に示すように、端縁検査工程は、第二撮像系３でガラス板Ｇの端辺Ｇｆ，Ｇｂを含む検査エリアＡ１，Ａ２を撮像し、端辺Ｇｆ，Ｇｂの形状不良の有無を検査する。その結果、図１２に拡大して示すように、第二撮像系３の撮像結果に基づいて、端辺Ｇｆ，Ｇｂに切残しＤ１や欠けＤ２があると判断された場合に、ガラス板Ｇの形状不良と判断する。端縁検査工程は省略してもよいし、別の検査装置によって行ってもよい。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態では、第一光源５、第二光源８及び第三光源９を一つにまとめた光源ユニット１２と、ビームスプリッタ１１とを用いて、第一撮像系２と第二撮像系３の光路の一部を重複させる場合を説明したが、これに限定されない。例えば、図１３に示すように、第一撮像系２と第二撮像系３とをガラス板Ｇの送り方向に沿って間隔を置いて配置し、第一撮像系２と第二撮像系３の光路を完全に独立させてもよい。

上記の実施形態では、ガラス板Ｇを縦姿勢で送りながら欠陥の種類を識別する場合を説明したが、ガラス板Ｇの姿勢は特に限定されるものではない。例えば、ガラス板Ｇを横姿勢（好ましくは水平姿勢）で送りながら欠陥の種類を識別するようにしてもよい。

上記の実施形態では、所定位置に配置された検査装置１に対して、ガラス板Ｇを移動させながら欠陥の種類を識別する場合を説明したが、検査装置１とガラス板Ｇとの間に相対的な移動があればよい。すなわち、ガラス板Ｇを所定位置に配置した状態で、ガラス板Ｇに対して検査装置１を移動させてもよいし、ガラス板Ｇと検査装置１の両方を移動させてもよい。

上記の実施形態において、検査工程の後に洗浄工程を設けてもよい。この場合、検査工程で特定された埃の位置を記憶手段から呼び出し、その呼び出した位置に対応する部分を選択的ないし重点的に洗浄するようにしてもよい。

１ 検査装置
２ 第一撮像系
３ 第二撮像系
４ 識別手段
５ 第一光源
６ 第一撮像部
７ 遮蔽板
８ 第二光源
９ 第三光源
１０ 第二撮像部
１１ ビームスプリッタ
１２ 光源ユニット
Ｇ ガラス板
Ｇ１ 第一主面
Ｇ２ 第二主面
Ｌ１ 第一透過光
Ｌ２ 第二透過光
Ｌ３ 第三透過光

Claims (18)

1. ガラス板の検査方法において、
   第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
   第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
   前記第一光源、前記第二光源及び前記第三光源を一つの光源ユニットとし、
   前記光源ユニットから照射されて前記ガラス板を透過した透過光を、ビームスプリッタによって、前記第一透過光を含む第一成分と、前記第二透過光及び前記第三透過光を含む第二成分との二つに分離し、
   前記第一成分を前記遮蔽部材を介して前記第一撮像部で撮像し、前記第二成分を前記第二撮像部で撮像し、
   前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別することを特徴とするガラス板の検査方法。
2. 前記第一撮像系で得られる像の有無と、前記第二撮像系で得られる像の有無とに基づいて、前記ガラス板中の異物欠陥を識別することを特徴とする請求項１に記載のガラス板の検査方法。
3. 前記第一撮像系で得られる像の面積と、前記第二撮像系で得られる像の面積とに基づいて、前記ガラス板中の異物欠陥と泡欠陥とを識別することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の検査方法。
4. 前記第二撮像系で得られる像の色に基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラス板の検査方法。
5. 前記第二撮像系で得られる像の前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向の寸法と、前記第二撮像系で得られる像の前記第一方向と直交する第二方向の寸法とに基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラス板の検査方法。
6. 前記第二撮像系で得られる像の面積と、前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向と平行な辺および前記第一方向と直交する第二方向と平行な辺からなり、かつ、前記第二撮像系で得られる像が内接する矩形の面積とに基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラス板の検査方法。
7. 前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向と平行な対称軸に対する、前記第二撮像系で得られる像の対称性に基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラス板の検査方法。
8. 前記第二撮像系で得られる像の前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向に対する傾きに基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のガラス板の検査方法。
9. 前記第二撮像系で前記ガラス板の端辺を撮像し、前記端辺の形状不良の有無を検査することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のガラス板の検査方法。
10. 溶融ガラスを所定方向に延伸して板状のガラスリボンを成形する成形工程と、
    前記成形工程で成形されたガラスリボンを徐冷する徐冷工程と、
    前記徐冷工程で徐冷された前記ガラスリボンを所定の大きさに切断してガラス板を得る切断工程と、
    前記切断工程で得た前記ガラス板を、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法で検査する検査工程とを備えていることを特徴とするガラス板の製造方法。
11. ガラス板の検査方法において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する欠陥検査工程を備え、
    前記欠陥検査工程は、前記第一撮像系で得られる像の有無と、前記第二撮像系で得られる像の有無とに基づいて、前記ガラス板中の異物欠陥を識別する工程を含むことを特徴とするガラス板の検査方法。
12. ガラス板の検査方法において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する欠陥検査工程を備え、
    前記欠陥検査工程は、前記第一撮像系で得られる像の面積と、前記第二撮像系で得られる像の面積とに基づいて、前記ガラス板中の異物欠陥と泡欠陥とを識別する工程を含むことを特徴とするガラス板の検査方法。
13. ガラス板の検査方法において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する欠陥検査工程を備え、
    前記欠陥検査工程は、前記第二撮像系で得られる像の色に基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別する工程を含むことを特徴とするガラス板の検査方法。
14. ガラス板の検査方法において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する欠陥検査工程を備え、
    前記欠陥検査工程は、前記第二撮像系で得られる像の前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向の寸法と、前記第二撮像系で得られる像の前記第一方向と直交する第二方向の寸法とに基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別する工程を含むことを特徴とするガラス板の検査方法。
15. ガラス板の検査方法において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する欠陥検査工程を備え、
    前記欠陥検査工程は、前記第二撮像系で得られる像の面積と、前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向と平行な辺および前記第一方向と直交する第二方向と平行な辺からなり、かつ、前記第二撮像系で得られる像が内接する矩形の面積とに基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別する工程を含むことを特徴とするガラス板の検査方法。
16. ガラス板の検査方法において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する欠陥検査工程を備え、
    前記欠陥検査工程は、前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向と平行な対称軸に対する、前記第二撮像系で得られる像の対称性に基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別することを特徴とするガラス板の検査方法。
17. ガラス板の検査方法において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像しながら、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系とを配置し、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する欠陥検査工程を備え、
    前記欠陥検査工程は、前記第二撮像系で得られる像の前記ガラス板の延伸方向に沿った第一方向に対する傾きに基づいて、前記ガラス板中の泡欠陥と前記ガラス板の表面に付着した埃とを識別する工程を含むことを特徴とするガラス板の検査方法。
18. ガラス板の検査装置において、
    第一光源と、前記第一光源から照射されて前記ガラス板を透過した第一透過光を撮像する第一撮像部と、前記第一透過光の一部を遮蔽して前記第一撮像部の視野内に明部と暗部を形成する遮蔽部材とを有する第一撮像系と、
    第二光源及び第三光源と、前記第二光源から照射されて前記ガラス板を透過した第二透過光を明視野で撮像すると共に、前記第三光源から照射されて前記ガラス板を透過した第三透過光を暗視野で撮像する第二撮像部とを有する第二撮像系と、
    前記第一光源、前記第二光源及び前記第三光源が組み込まれた光源ユニットと、
    前記光源ユニットから照射されて前記ガラス板を透過した透過光を、前記第一透過光を含む第一成分と、前記第二透過光及び前記第三透過光を含む第二成分との二つに分離するビームスプリッタと、
    前記第一撮像系で得られる像と、前記第二撮像系で得られる像とに基づいて、前記ガラス板の欠陥の種類を識別する識別手段とを備え、
    前記第一撮像部と前記ビームスプリッタの間に前記遮蔽部材が配置され、前記第一撮像部が、前記第一成分を前記遮蔽部材を介して撮像すると共に、前記第二撮像部が、前記第二成分を撮像するように構成されていることを特徴とするガラス板の検査装置。

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