KR102022471B1

KR102022471B1 - 기판 검사장치

Info

Publication number: KR102022471B1
Application number: KR1020140125173A
Authority: KR
Inventors: 이성헌; 홍진광
Original assignee: 한화정밀기계 주식회사
Priority date: 2014-09-19
Filing date: 2014-09-19
Publication date: 2019-09-18
Also published as: WO2016043379A1; KR20160034090A

Abstract

본 발명은 기판 검사장치에 관한 것으로서, 로딩된 기판을 정렬 상태로 수평 이동시킴과 동시에 자체적으로도 수평 이동이 가능한 제1스테이지; 상기 제1스테이지로부터 전달받은 기판을 연속해서 수평 이동시킴과 아울러 자체적으로도 수평 이동이 가능한 제1스테이지 및; 상기 제1스테이지와 제2스테이지 사이에 배치되고, 상기 수평 이동되는 기판을 촬영하는 카메라를 포함한다.

Description

기판 검사장치{Apparatus for inspection of substrate}

본 발명은 기판 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 라인스캔 카메라를 이용하여 기판의 결함 유무 등을 검사하는 기판 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체나 평판표시소자(FPD : Flat Panel Display)의 제조공정은 기판을 처리하는 공정, 기판을 검사하는 공정 등을 포함한다.

반도체 또는 평판표시소자의 검사 공정은 동일 또는 유사한 방식으로 적용되므로, 이하에서는 평판표시소자의 제조를 위한 검사공정을 중심으로 하여 배경기술을 살펴보기로 한다.

평판표시소자로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diode) 등이 있는데, 이러한 평판표시소자는 제조 공정 중, 기판에 기포(Blister), 스톤(Stone) 등의 이물질이 혼입될 수 있고, 오염(Stain), 긁힘(Scratch), 베벨칩(Bevel chip), 커팅칩(Cutting chip), 균열(Crack) 등의 각종 결함이 발생될 수 있다.

따라서, 이러한 결함을 안정적이고 신속하게 검사하는 기술의 개발이 요구되고 있다.

한국공개특허 제2006-0080561호 일본공개특허 제2011-149701호

본 발명은 상기와 같은 요구에 착안하여 안출된 것으로서, 본 발명의 이루고자 하는 기술적 과제는 기판의 검사 속도가 빠르고, 위치 정밀도가 우수함으로써, 검사의 효율성이 극대화 되는 기판 검사장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치는, 로딩된 기판을 정렬 상태로 수평 이동시킴과 동시에 자체적으로도 수평 이동이 가능한 제1스테이지; 상기 제1스테이지로부터 전달받은 기판을 연속해서 수평 이동시킴과 아울러 자체적으로도 수평 이동이 가능한 제2스테이지 및; 상기 제1스테이지와 제2스테이지 사이에 배치되고, 상기 수평 이동되는 기판을 촬영하는 카메라를 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.

상기 제1스테이지 및 제2스테이지는, 각각 베이스와; 상기 베이스 상에 일정 간격 이격된 상태로 배치되는 고정 부재 및 가변 부재를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 베이스에는 슬라이드 부재가 형성되고, 상기 슬라이드 부재는 레일을 따라 슬라이드 되어 상기 제1스테이지 및 제2스테이지가 수평 방향으로 이동되는 것일 수 있다.

또한, 상기 가변 부재는, 상기 베이스 상에서 상기 고정 부재를 향하여 전진 또는 후진이 이루어지면서 간격 조절이 이루어질 수 있다.

이때, 상기 가변 부재에서 상기 고정 부재를 바라 보는 일측 면에는 삽입홈이 형성되고, 상기 삽입홈을 이루는 상면은 경사면으로 이루어지고, 하면은 수평면으로 이루어져서 개구단의 입구 측 너비가 넓게 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 카메라는 라인스캔 카메라가 적용되는 것이 바람직하다.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 기판 검사장치에 의하면, 기판의 검사 속도가 빠르고, 위치 정밀도가 우수하게 됨으로써, 기판의 결함 유무 검사의 효율성이 극대화 되는 효과가 제공될 수 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치의 개략적인 사시도.
도 2 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치의 작동관계를 순차적으로 도시한 평면 구성도.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치의 스테이지 구성을 도시한 측면 구성도.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 또한 본 발명에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면들에 의거하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치의 개략적인 사시도이고, 도 2 내지 도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치의 작동관계를 순차적으로 도시한 평면 구성도이며, 도 10a 및 도 10b는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치의 스테이지 구성을 도시한 측면 구성도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사장치(100)는, 수평 이동이 가능한 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)와, 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300) 사이에 배치되는 카메라(400)를 포함하여 구성될 수 있다.

제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)는 카메라(400)를 중심으로 양쪽에 나란하게 배치되고, 카메라(400) 쪽을 향해 전진 및 후진되면서 수평방향으로 이동이 이루어질 수 있다.

즉, 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)는 각 베이스(210,310)의 저면에 슬라이드 부재(212,312)가 형성되고, 이 슬라이드 부재(212,312)가 레일(250)을 따라 수평방향으로 이동이 이루어질 수 있다.

여기서, 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)가 레일(250)을 따라 수평방향으로 이동이 이루어지도록 하는 것은 액츄에이터나 볼 스크류 등의 기계적 구성에 의해 구현될 수 있고, 모터 등을 이용한 전기적 구성에 의해 구현될 수 있는 등, 종래에 공지된 어떠한 왕복 이동 수단에 의해 구현될 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

제1스테이지(200)는, 저면에 슬라이드 부재(212)가 형성된 제1베이스(210)와, 이 제1베이스(210)의 상면 양쪽에 일정 간격을 두고 배치되는 제1고정 부재(230) 및 제1가변 부재(220)로 이루어질 수 있다.

제1고정 부재(230)는, 제1베이스(210) 상면에 고정되는 안착부(234)와, 이 안착부(234)의 일측 단부로부터 수직방향으로 형성되는 지지부(232)로 구성되어 대략 'ㄴ'자 형상으로 이루어질 수 있다.

또한, 제1가변 부재(220)는 제1고정 부재(230)를 바라 보는 일 면에 안쪽으로 패인 삽입홈(224)이 형성된 구조로 이루어질 수 있으며, 이 경우 삽입홈(224)의 상면은 입구측으로부터 하향 경사면(222)으로 이루어지고 하면 즉 안착부(226)의 상면은 수평면으로 이루어짐으로써, 개구단의 입구 측 너비가 넓게 형성되는 것이 바람직하다.

이러한 제1가변 부재(220)는 제1베이스(210) 상에서 제1고정 부재(230)를 향하여 일정 간격만큼 전진 또는 후진이 이루어질 수 있다.

예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1가변 부재(220)의 저면에는 가이드 돌부(도면부호 미부여)가 형성되고, 이 가이드 돌부가 제1베이스(210) 상면에 형성된 가이드 홈(214)을 따라 이동하면서 제1가변 부재(220)가 제1베이스(210) 상에서 일정 간격만큼 전,후진이 이루어질 수 있다.

제1가변 부재(220)가 제1베이스(210) 상에서 일정 간격만큼 이동하도록 하는 것은 액츄에이터나 볼 스크류 등의 기계적 구성에 의해 구현될 수 있고, 모터 등을 이용한 전기적 구성에 의해 구현될 수 있는 등, 종래에 공지된 어떠한 왕복 이동 수단에 의해 구현될 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명 또한 생략하기로 한다.

또한, 제1고정 부재(230)의 일측 면에는 로딩되는 기판(S)의 진입을 감지하는 제1감지센서(500)가 설치될 수 있는데, 이 제1감지센서(500)는 기판(S)이 로딩되는 방향이라면 제1베이스(210) 상 어디에 설치되어도 무방하다. 즉, 제1가변 부재(220)의 일측 면에 형성되어도 무방하다.

한편, 제2스테이지(300)는, 저면에 슬라이드 부재(312)가 형성된 제2베이스(310)와, 이 제2베이스(310)의 상면 양쪽에 일정 간격을 두고 배치되는 제2고정 부재(330) 및 제2가변 부재(320)로 이루어질 수 있다.

제2고정 부재(330)는, 제2베이스(310) 상면에 고정되는 안착부(334)와, 이 안착부(334)의 일측 단부로부터 수직방향으로 형성되는 지지부(332)로 구성되어 대략 'ㄴ'자 형상으로 이루어질 수 있다.

또한, 제2가변 부재(320)는 제2고정 부재(330)를 바라 보는 일 면에 안쪽으로 패인 삽입홈(324)이 형성된 구조로 이루어질 수 있으며, 이 경우 삽입홈(324)의 상면은 입구측으로부터 하향 경사면(322)으로 이루어지고 하면 즉 안착부(326)의 상면은 수평면으로 이루어짐으로써, 개구단의 입구측 너비가 넓게 형성되는 것이 바람직하다.

이러한 제2가변 부재(320)는 제2베이스(310) 상에서 제2고정 부재(330)를 향하여 일정 간격만큼 전진 또는 후진이 이루어질 수 있다.

예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2가변 부재(320)의 저면에는 가이드 돌부(도면부호 미 부여)가 형성되고, 이 가이드 돌부(도면부호 미 부여)가 제2베이스(310) 상면에 형성된 가이드 홈(314)을 따라 이동하면서 제2가변 부재(320)가 제2베이스(310) 상에서 일정 간격만큼 전,후진이 이루어질 수 있다.

이와 같이 제2가변 부재(320)가 제2베이스(310) 상에서 일정 간격만큼 이동하도록 하는 것은 액츄에이터나 볼 스크류 등의 기계적 구성에 의해 구현될 수 있고, 모터 등을 이용한 전기적 구성에 의해 구현될 수 있는 등, 종래에 공지된 어떠한 왕복 이동 수단에 의해 구현될 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명 또한 생략하기로 한다.

또한, 제2고정 부재(330)의 일측 면에는 제1스테이지(200)로부터 이송되는 기판(S)의 진입을 감지하는 제2감지센서(510)가 설치될 수 있는데, 이 제2감지센서(510)는 기판(S)이 이송되는 방향이라면 제2베이스(310) 상 어디에 설치되어도 무방하다. 즉, 제2가변 부재(320)의 일측 면에 형성되어도 무방하다.

그리고, 제2고정 부재(330)의 타측 면에는 기판(S)이 언 로딩되었음을 감지하는 제3감지센서(520)가 설치될 수 있는데, 이 제3감지센서(520) 또한 기판(S)이 언 로딩되는 방향이라면 제2베이스(310) 상 어디에 설치되어 무방하다. 즉 제2가변 부재(320)의 타측 면에 형성되어도 무방하다.

참고로, 본 발명의 실시 예에 적용되는 카메라(400)는 라인스캔 카메라인 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니고 이송되는 기판(S)을 촬영하는 것이라면 어떠한 카메라(400)라도 적용될 수 있을 것이다.

이상에서와 같이, 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)는 거의 동일한 구성으로 이루어지고, 레일(250) 상에서 카메라(400)를 사이에 두고 서로 마주보는 방향으로 수평 이동이 이루어지게 되는 것이며, 이하에서는 이들 구성으로 이루어진 기판 검사장치(100)의 작동관계에 대해서 도 2 및 도 9를 참조하여 설명하기로 한다.

먼저, 기판(S)을 검사하기 위하여 기판 로딩부(미도시됨)로부터 기판(S)이 로딩되는 경우, 제1스테이지(200)는 기판 로딩부 쪽으로 수평 이동하고, 제2스테이지(300)는 제1스테이지(200) 쪽으로 수평 이동한 초기 상태를 이룬다.

이때, 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)의 각 제1가변 부재(220)와 제2가변 부재(320)는 제1고정 부재(230)와 제2고정 부재(330)로부터 후진하여 일정 간격을 유지한 상태를 이룬다.

이 상태에서 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 로딩부로부터 기판(S)이 로딩 되어 기판(S)의 선단이 제1스테이지(200)로 진입하면, 제1감지센서(500)가 이 신호를 제어부로 송신하고, 제어부는 이 신호에 의해 제1가변 부재(220)에 구동신호를 인가한다.

이와 같이, 제1감지센서(500)에 의해 기판(S)이 제1스테이지(200)로 진입된 상태가 감지되면 제1가변 부재(220)는 도 10a인 상태에서 제1고정 부재(230) 쪽으로 전진하여 도 10b에 도시된 바와 같이 기판(S)의 양 단을 파지한다.

따라서, 기판(S)의 일 단은 제1가변 부재(220)의 삽입홈(224)으로 끼워져 밀착되고, 타 단은 제1고정 부재(230)의 지지부(232) 일면에 밀착된 상태를 이루게 됨으로써, 안정적으로 파지된 상태가 될 수 있다.

여기서, 제1가변 부재(220)의 삽입홈(224)은 그 상면이 입구측으로부터 하향 경사면(222)으로 이루어져서 개구단 입구 너비가 넓게 형성되어 있는바, 기판(S)의 두께에 구애 받지 않고 용이하게 파지가 이루어질 수 있게 된다.

이와 같이, 제1스테이지(200)에 기판(S)이 로딩되어 파지된 상태에서 제1스테이지(200)는 기판(S)을 도 3에 도시된 바와 같이 수평 방향으로 이동시키게 되는데, 기판(S)을 수평 이동시키는 것은 공기 부양에 의한 것일 수 있고, 제1가변 부재(220) 및 제1고정 부재(230)의 각 안착부(226,234) 상에 롤러 등의 미끄럼 수단을 구비하여 수평 이동이 이루어지도록 할 수 있는 등, 종래의 공지된 어떠한 이동 수단에 의해 수평 이동이 이루어지도록 할 수 있을 것이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 제1스테이지(200)는 기판(S)을 수평 이동시킴과 아울러 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 자체적으로도 수평 이동이 이루어질 수 있다.

즉, 제1스테이지(200)의 제1베이스(210) 저면에 형성된 슬라이드 부재(212)가 레일(250)을 따라 자체적으로 카메라(400) 및 제2스테이지(300) 쪽을 향해 수평 이동이 이루어질 수 있다.

그리고, 제1스테이지(200)의 수평 이동에 의해 기판(S)의 선단이 제2스테이지(300)로 진입하면, 제2감지센서(510)가 이 신호를 제어부로 송신하고, 제어부는 이 신호에 의해 제2가변 부재(320)와 더불어 제1가변 부재(220)에 각각 구동신호를 인가한다.

이와 같이, 제2감지센서(510)에 의해 기판(S)이 제2스테이지(300)로 진입된 상태가 감지되면 제2가변 부재(320)는 도 10a인 상태에서 제2고정 부재(330) 쪽으로 전진하여 도 10b에 도시된 바와 같이 기판(S)의 양 단을 파지하게 된다.

따라서, 기판(S)의 일 단은 제2가변 부재(320)의 삽입홈(324)으로 끼워져 밀착되고, 타 단은 제2고정 부재(330)의 지지부(332) 일면에 밀착된 상태를 이루게 됨으로써, 안정적으로 파지된 상태를 이룰 수 있다.

여기서, 제2가변 부재(320)의 삽입홈(324) 또한 그 상면이 입구측으로부터 하향 경사면(322)으로 이루어져서 개구단 입구 너비가 넓게 형성되어 있는바, 기판(S)의 두께에 구애 받지 않고 용이하게 파지가 이루어질 수 있다.

한편, 제2감지센서(510)에 의해 기판(S)이 제2스테이지(300)로 진입된 상태가 감지되면, 제2스테이지(300)의 제1가변 부재(220)는 도 10b인 상태에서 제1고정 부재(230)와 이격되도록 후진하여 도 10a에 도시된 바와 같이 기판(S)의 양 단 파지를 해제한다.(도 6참조)

이와 같이, 기판(S)은 제1스테이지(200)에서 제2스테이지(300)로 전달이 이루어지게 됨으로써, 제1스테이지(200)는 다시 레일(250)을 따라 기판 로딩부 쪽으로 수평 이동하고, 제2스테이지(300)는 레일(250)을 따라 기판 적재부(미도시됨) 쪽으로 수평 이동을 한다.

또한, 제2스테이지(300)는 기판 적재부로 수평 이동함과 동시에, 도 7에 도시된 바와 같이 기판(S)을 수평 이동시킨다.

이의 경우에도, 앞서 설명한 바와 같이 기판(S)을 수평 이동시키는 것은 공기 부양에 의한 것일 수 있고, 제2가변 부재(320) 및 제2고정 부재(330)의 각 안착부(326,334) 상에 롤러 등의 미끄럼 수단을 구비하여 수평 이동이 이루어지도록 할 수 있는 등, 종래의 공지된 어떠한 이동 수단에 의해 수평 이동이 이루어지도록 할 수 있다.

제2스테이지(300)가 레일(250)을 따라 수평 이동함과 아울러 기판(S)을 제2스테이지(300) 상에서 수평 이동시킴에 따라 기판(S)의 타 단이 제2스테이지(300) 상을 벗어나게 되면 제3감지센서(520)는 이 신호를 제어부로 송신하고, 제어부는 이 신호에 의해 제2가변 부재(320)에 구동신호를 인가한다.

따라서, 제2스테이지(300)의 제2가변 부재(320)는 도 10b인 상태에서 제2고정 부재(330)와 이격되도록 후진하여 도 10a에 도시된 바와 같이 기판(S)의 양 단 파지를 해제하게 되며, 이와 같이 파지가 해제된 기판(S)은 기판 적재부로 언 로딩되어 적재될 수 있다.

이와 같이, 기판(S)을 기판 적재부로 언 로딩시킨 제2스테이지(300)는 다시 레일(250)을 따라 수평 이동하여 도 9에 도시된 바와 같이 다시 제1스테이지(200)로부터 기판(S)을 전달 받기 위한 위치로 복귀한다.

그리고, 제1스테이지(200)는 다시 기판 로딩부로부터 로딩되는 기판(S)을 전달 받아 상기한 과정을 반복하여 순차적으로 복수의 기판(S)을 검사하게 된다.

한편, 제1스테이지(200)와 제2스테이지(300) 사이에 배치되는 카메라(400)는 제1스테이지(200)에 의해 수평 이동되어 제2스테이지(300)로 전달되는 기판(S)의 표면을 촬영하여 제어부로 송신함으로써, 기판(S)의 결함 유무를 검사할 수 있게 된다.

이의 경우, 기판(S)은 제1스테이지(200)로부터 제2스테이지(300)로 전달되는 과정에서 허공에 뜬 상태로 전달이 이루어지게 됨으로써, 카메라(400)는 기판(S)의 상면과 더불어 하면도 촬영할 수 있게 되는바, 기판(S)의 상면과 하면의 결함 유무가 동시에 이루어질 수 있다.

특히, 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)가 기판(S)을 수평 이동시킴과 아울러 자체적으로도 각각 수평 이동하면서 기판(S)을 수평 이동시키게 됨으로써, 기판(S)의 이동 속도가 빨라지게 되어 기판(S)의 검사 속도가 크게 향상될 수 있다.

또한, 기판(S)이 제1스테이지(200)에서 제2스테이지(300)로 전달되는 과정에서, 제1스테이지(200) 및 제2스테이지(300)가 기판(S)의 양 단을 안정적으로 파지한 상태를 이루게 됨으로써, 기판(S)의 상하좌우 진동에 따른 사행이 발생하지 않게 되는바, 기판(S)의 위치 정밀도가 향상되어 검사의 효율성이 크게 향상될 수 있다.

참고로, 본 발명의 실시 예에 따른 검사장치에서, 평판표시소자의 기판을 검사하는 것을 일 예로 들어 설명하였으나, 디스플레이 장치용 커버 글라스를 비롯하여 반도체 등, 표면 결함을 검사하는 것이라면 어떠한 것도 적용될 수 있을 것이다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

100 : 기판 검사장치 200 : 제1스테이지
210 : 제1베이스 212 : 슬라이드 부재
214 : 가이드 홈 220 : 제1가변 부재
222 : 경사면 224 : 삽입홈
226 : 안착부 230 : 제1고정 부재
232 : 지지부 234 : 안착부
250 : 레일 300 : 제2스테이지
310 : 제2베이스 312 : 슬라이드 부재
314 : 가이드 홈 320 : 제2가변 부재
322 : 경사면 324 : 삽입홈
326 : 안착부 330 : 제2고정 부재
332 : 지지부 334 : 안착부
400 : 카메라 500 : 제1감지센서
510 : 제2감지센서 520 : 제3감지센서

Claims

로딩된 기판을 정렬 상태로 수평 이동시킴과 동시에 자체적으로도 수평 이동이 가능한 제1스테이지;
상기 제1스테이지로부터 전달받은 기판을 연속해서 수평 이동시킴과 아울러 자체적으로도 수평 이동이 가능한 제2스테이지 및;
상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지 사이에 배치되고, 상기 수평 이동되는 기판을 촬영하는 카메라를 포함하되,
상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지 각각은,
상기 기판의 이동방향과 평행한 방향으로 이동하는 베이스와;
상기 베이스 상에 일정 간격 이격된 상태로 서로 대향하여 배치되어, 상기 베이스가 이동함에 따라 상기 베이스와 일체로 상기 기판의 이동방향과 평행한 방향으로 이동하는 고정 부재 및 가변 부재를 포함하고,
상기 기판이 상기 제1스테이지로부터 이탈하여 상기 제2스테이지로 진입하는 것으로 감지되면, 상기 제1스테이지에 포함된 가변 부재는 상기 제1스테이지에 포함된 고정 부재와 멀어지는 방향으로 변위하고, 상기 제2스테이지에 포함된 가변 부재는 상기 제2스테이지에 포함된 고정 부재와 가까워지는 방향으로 변위하는 기판 검사장치.
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제 1항에 있어서,
상기 베이스에는 슬라이드 부재가 형성되고,
상기 슬라이드 부재는 레일을 따라 슬라이드 되어 상기 제1스테이지 및 제2스테이지가 수평 방향으로 이동되는 기판 검사장치.
제 1항에 있어서,
상기 가변 부재는,
상기 베이스 상에서 상기 고정 부재를 향하여 전진 또는 후진이 이루어지면서 간격 조절이 이루어지는 기판 검사장치.
제 4항에 있어서,
상기 가변 부재에서 상기 고정 부재를 바라 보는 일측 면에는 삽입홈이 형성되고,
상기 삽입홈을 이루는 상면은 경사면으로 이루어지고, 하면은 수평면으로 이루어져서 개구단의 입구 측 너비가 넓게 형성되는 기판 검사장치.
제 1항 및 제 3항 내지 제 5항 중, 어느 하나의 항에 있어서,
상기 카메라는, 라인스캔 카메라인 기판 검사장치.