KR101544282B1 - 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 검사 장치에 있어서, 상기 장치는 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈을 포함한다. 상기 기판 이송 모듈은 베이스 패널과, 상기 베이스 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척과, 상기 베이스 패널 상에 배치되며 상기 진공척의 위치를 조절하는 적어도 하나의 위치 조절부와, 상기 베이스 패널을 수평 이동시키는 구동부를 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치{Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same}
본 발명의 실시예들은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 제조 공정에서 기판을 이송하는 장치와 상기 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판의 결함을 검출하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검사하기 위한 검사 공정이 수행될 수 있다.
상기 검사 공정에서는 상기 기판의 상부면 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득 유닛이 사용될 수 있으며 상기 기판은 상기 이미지 획득 유닛의 아래에서 수평 방향으로 이송될 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-0765124호에는 제1 및 제2 부상 플레이트들과, 상기 제1 및 제2 부상 플레이트들 사이에 배치되어 글라스의 양측 단부들을 각각 파지하는 그리퍼들 및 상기 그리퍼들을 이동시키는 구동부를 포함하는 글라스 반송 장치가 개시되어 있다.
상기와 같은 글라스 반송 장치에서 상기 그리퍼들은 스테이지 상에 일체로 형성된 지지플레이트의 일측면 및 타측면에 장착되며 상기 글라스의 중심 부분 일단 및 타단을 진공 흡착하도록 구성되고 있다.
그러나, 상기와 같은 종래 기술에 따르면, 기판의 크기가 변경되는 경우 상기 스테이지와 지지플레이트 및 그리퍼들 전체를 교체해야 하므로 상기 글라스 반송 장치를 포함하는 검사 장치의 가동율이 저하될 수 있으며, 또한 기판 크기에 따라 복수의 스테이지와 지지플레이트 및 그리퍼들을 미리 마련해야 하므로 상기 검사 장치의 운용에 소요되는 비용이 크게 증가될 수 있다.
한편, 상기 글라스 반송 장치 상에 로드된 글라스의 정렬 상태가 불량할 경우 상기 검사 공정이 정상적으로 수행되지 않을 수 있으며, 이에 따라 별도의 글라스 정렬 장치가 요구될 수 있다. 또한 상기 글라스의 오정렬에 의해 상기 글라스에 대한 재검사가 수행될 수 있으므로 상기 검사 공정에 소요되는 시간이 크게 증가될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로 기판의 크기 변화에 능동적으로 대응할 수 있으며 상기 기판의 정렬이 가능한 기판 이송 장치를 제공하는데 제1 목적이 있다.
본 발명의 실시예들은 상술한 바와 같은 기판 이송 장치를 포함하는 기판 검사 장치를 제공하는데 제2 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송 장치는, 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈을 포함할 수 있다. 이때, 상기 기판 이송 모듈은 베이스 패널과, 상기 베이스 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척과, 상기 베이스 패널 상에 배치되며 상기 진공척의 위치를 조절하는 적어도 하나의 위치 조절부와, 상기 베이스 패널을 수평 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함할 수 있으며, 상기 기판 이송 모듈은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 베이스 패널은 상기 기판의 이송 방향을 따라 연장할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 모듈은 상기 베이스 패널의 상부에 배치되어 상기 베이스 패널과 평행하게 연장하는 상부 패널을 더 포함할 수 있으며, 상기 위치 조절부는 상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 진공척의 위치를 조절하기 위하여 상기 진공척을 상기 상부 패널의 연장 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 패널은 회전 가능하도록 상기 베이스 패널 상에 장착될 수 있으며, 상기 기판 이송 모듈은 상기 베이스 패널 상에 배치되어 상기 상부 패널의 배치 각도를 조절하는 각도 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 베이스 패널의 중앙 부위와 상기 상부 패널 중앙 부위 사이에는 상기 상부 패널의 회전을 위한 선회 베어링이 배치될 수 있으며, 상기 선회 베어링의 양측에는 상기 상부 패널의 회전을 안내하기 위한 곡선 리니어 모션 가이드가 각각 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 각도 조절부는 연결 부재를 통해 상기 상부 패널의 일측 단부와 연결될 수 있으며, 상기 연결 부재를 상기 상부 패널의 연장 방향에 대하여 수직하는 방향으로 상기 연결 부재를 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 소정의 곡률 반경을 갖고 상기 베이스 패널 상에 장착되는 곡선 가이드 레일과, 상기 상부 패널의 연장 방향을 따라 연장하며 상기 상부 패널의 일측 단부의 하부면에 장착되는 직선 가이드 레일과, 상기 곡선 가이드 레일과 상기 직선 가이드 레일 사이에서 이동 가능하도록 결합되는 가동 블록을 포함하는 크로스 리니어 모션 가이드가 상기 연결 부재와 인접하게 배치될 수 있으며, 상기 연결 부재는 상기 크로스 리니어 모션 가이드의 직선 가이드 레일과 힌지 형태로 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 모듈은 상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 기판의 전방측 하면 부위를 파지하는 제1 진공척과, 상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 기판의 후방측 하면 부위를 파지하는 제2 진공척과, 상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 제1 진공척의 위치를 조절하기 위하여 상기 제1 진공척을 상기 상부 패널의 연장 방향으로 이동시키는 제1 위치 조절부와, 상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 제2 진공척의 위치를 조절하기 위하여 상기 제2 진공척을 상기 상부 패널의 연장 방향으로 이동시키는 제2 위치 조절부를 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 기판 검사 장치는, 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈을 포함할 수 있다. 이때, 상기 기판 이송 모듈은 베이스 패널과, 상기 베이스 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척과, 상기 베이스 패널 상에 배치되며 상기 진공척의 위치를 조절하는 적어도 하나의 위치 조절부와, 상기 베이스 패널을 수평 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 이송 모듈은 기판의 전방측 하면 부위와 후방측 하면 부위를 각각 파지하기 위한 제1 진공척과 제2 진공척을 구비할 수 있으며, 상기 제1 진공척과 제2 진공척에 의한 기판 파지 위치는 상기 기판의 크기에 따라 조절될 수 있다. 결과적으로, 상기 기판 이송 모듈에 의해 다양한 크기를 갖는 기판들에 대한 검사 공정이 가능하며, 이에 따라 다양한 크기의 기판들에 대한 검사 공정을 수행하는데 소요되는 비용 및 시간이 크게 감소될 수 있다.
특히, 상기 제1 진공척과 제2 진공척에 의해 파지된 상기 기판은 상기 제1 및 제2 진공척들의 위치 조절 및 상기 제1 및 제2 진공척이 배치되는 상부 패널의 각도 조절에 의해 기 설정된 위치 및 각도로 정렬될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판의 오정렬에 의한 공정 불량이 크게 감소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈과 이를 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 기판 이송 모듈을 이용하여 서로 다른 크기의 기판들을 이송하는 예들을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 5는 도 2에 도시된 상부 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 6은 도 2에 도시된 베이스 패널의 상부 구조를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 각도 조절부를 설명하기 위한 개략적인 확대도이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈과 이를 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(100)는 디스플레이 제조 공정에서 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키는 에어 부상 모듈(110)과, 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈(120) 및 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이동되는 상기 기판(10)의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈(190)을 포함할 수 있다.
상기 에어 부상 모듈(110)은 정반(102) 상에 배치될 수 있으며 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 각각은 상기 기판(10)의 이송 방향(도 1에서 표시된 화살표 방향)으로 연장하는 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)의 상부면에는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들이 구비될 수 있다.
상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 정반(102) 상에서 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에 배치될 수 있다. 상기 기판 이송 모듈(120)은 베이스 패널(122)과, 상기 베이스 패널(122) 상에 배치되어 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척(130, 132)과, 상기 진공척(130, 132)의 위치를 조절하는 적어도 하나의 위치 조절부(140, 142) 및 상기 베이스 패널(122)을 상기 기판(10)의 이송 방향, 예를 들면, 상기 에어 부상 모듈(110)의 연장 방향으로 이동시키기 위한 구동부(150)를 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)은 진공 펌프 등을 포함하는 진공 모듈(미도시)과 연결될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)의 상부에는 상기 기판(10)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공홀들이 구비될 수 있다.
예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 베이스 패널(122)은 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 길게 연장하는 직사각 형태를 가질 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동부(150)는 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 연장하는 선형 가이드 레일과, 상기 선형 가이드 레일에 이동 가능하게 결합되는 가동 블록과, 상기 가동 블록에 결합된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루를 회전시키기 위한 모터 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 베이스 패널(122)은 상기 가동 블록 상에 장착될 수 있다. 그러나, 상기 구동부(150)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 상기 구동부(150)의 세부 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 부상된 기판(10)의 전방측 하면 부위를 파지하는 제1 진공척(130)과 상기 부상된 기판(10)의 후방측 하면 부위를 파지하는 제2 진공척(132)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)의 위치를 각각 조절하는 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)을 포함할 수 있다.
특히, 상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)은 상기 부상된 기판(10)의 전방측 하면 영역과 후방측 하면 영역에서 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)의 위치를 각각 조절할 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)은 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)의 위치를 조절함으로써 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)에 의해 파지되는 기판 하면 부위를 조절할 수 있으며, 이에 의해 상기 기판(10)의 가장자리 부위의 처짐량을 감소시킬 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 기판 이송 모듈을 이용하여 서로 다른 크기의 기판들을 이송하는 예들을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이며, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)의 위치 조절에 의해 상기 기판(10)의 크기가 변화되는 경우에도 이에 적극적으로 대응이 가능하다. 즉, 상기 기판(10)의 크기에 따라 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132) 사이의 간격이 조절될 수 있으며, 이에 의해 다양한 크기의 기판들(10, 10A)을 용이하게 이송할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 베이스 패널(122)의 상부에는 상기 베이스 패널(122)과 평행하게 연장하는 직사각 형태의 상부 패널(160)이 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)과 상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)은 상기 상부 패널(160) 상에 배치될 수 있다.
도 5는 도 2에 도시된 상부 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5를 참조하면, 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)은 상기 상부 패널(160) 상에서 상기 상부 패널(160)의 연장 방향을 따라 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)은 각각 상기 상부 패널(160) 상에서 상기 상부 패널(160)의 연장 방향을 따라 연장하는 선형 가이드 레일과, 상기 선형 가이드 레일을 따라 이동 가능하도록 결합된 가동 블록과, 상기 가동 블록에 결합된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루를 회전시키기 위한 모터 등을 이용하여 각각 구성될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)은 상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)의 상기 가동 블록 상에 장착될 수 있다. 그러나, 상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 패널(160)은 상기 베이스 패널(122) 상에 회전 가능하도록 장착될 수 있으며, 상기 베이스 패널(122) 상에는 상기 상부 패널(160)의 배치 각도를 조절하는 각도 조절부(170)가 배치될 수 있다.
도 6은 도 2에 도시된 베이스 패널의 상부 구조를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 베이스 패널(122)의 중앙 부위에는 상기 상부 패널(160)과 연결되는 선회 베어링(172)이 배치될 수 있다. 즉, 상기 선회 베어링(172)은 상기 베이스 패널(122)의 중앙 부위와 상기 상부 패널(160)의 중앙 부위 사이에 배치되어 상기 상부 패널(160)의 회전이 가능하도록 할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 선회 베어링(172)으로는 크로스 롤러 베어링이 사용될 수 있으며, 상기 선회 베어링(172)의 외륜과 내륜이 상기 베이스 패널(122)과 상부 패널(160)에 각각 장착될 수 있다.
상기 선회 베어링(172)의 양측에는 상기 상부 패널(160)의 회전을 안내하기 위한 곡선 리니어 모션 가이드(174)가 각각 배치될 수 있다. 상기 곡선 리니어 모션 가이드(174)는 소정의 곡률 반경을 갖는 가이드 레일과 상기 가이드 레일에 장착되는 가동 블록을 포함할 수 있으며, 상기 곡선 리니어 모션 가이드들(174)의 가동 블록들에 상기 상부 패널(160)이 장착될 수 있다.
상기 각도 조절부(170)는 연결 부재(176)를 통해 상기 상부 패널(160)의 일측 단부와 연결될 수 있으며, 상기 연결 부재(176)를 상기 상부 패널(160)의 연장 방향에 수직하는 방향 즉 접선 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 패널(160)의 배치 각도를 조절할 수 있다.
도 7은 도 6에 도시된 각도 조절부를 설명하기 위한 개략적인 확대도이다.
도 7을 참조하면, 상기 각도 조절부(170)는 상기 연결 부재(176)를 상기 접선 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 각도 조절부(170)는 상기 접선 방향으로 연장하는 선형 가이드 레일과, 상기 선형 가이드 레일에 이동 가능하도록 결합된 가동 블록과, 상기 가동 블록에 결합된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루를 회전시키기 위한 모터 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 연결 부재(176)는 상기 가동 블록에 장착될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 베이스 패널(122) 상에는 상기 각도 조절부(170)에 인접하게 배치되어 상기 연결 부재(176)와 상기 상부 패널(160)의 일측 단부를 연결하는 크로스 리니어 모션 가이드(178)가 배치될 수 있다.
상기 크로스 리니어 모션 가이드(178)는 소정의 곡률 반경을 갖고 상기 베이스 패널(122) 상에 장착되는 곡선 가이드 레일과, 상기 상부 패널(160)의 연장 방향을 따라 연장하며 상기 상부 패널(160)의 일측 단부의 하부면에 장착되는 직선 가이드 레일과, 상기 곡선 가이드 레일과 상기 직선 가이드 레일 사이에서 이동 가능하도록 결합되는 가동 블록을 포함할 수 있다. 상기 연결 부재(176)는 상기 직선 가이드 레일의 일측 단부에 힌지 형태를 갖도록 결합될 수 있다. 결과적으로, 상기 연결 부재(176)의 상기 접선 방향 이동에 의해 상기 연결 부재(176)와 크로스 리니어 모션 가이드(178)를 통해 상기 각도 조절부(170)와 연결된 상기 상부 패널(160)의 회전이 가능하게 될 수 있다.
상술한 바에 의하면, 상기 각도 조절부(170)와 상기 상부 패널(160)이 상기 연결 부재(176)와 상기 크로스 리니어 모션 가이드(178)를 통해 연결되고 있으나, 이와 다르게 상기 상부 패널(160)의 일측 단부의 하부면에는 상기 상부 패널(160)의 연장 방향으로 형성된 홈 또는 홀이 구비될 수 있으며, 이 경우 상기 연결 부재(176)는 상기 홈 또는 홀에 삽입되는 핀의 형태를 가질 수도 있다.
상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)과 상기 각도 조절부(170)는 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132) 상에 로드된 기판(10)의 정렬 상태가 불량한 경우 상기 기판(10)의 배치 각도 및 위치를 조절하여 상기 기판(10)이 기 설정된 위치 및 각도로 정렬되도록 할 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 및 제2 위치 조절부들(140, 142)과 각도 조절부(170)에 의한 상기 기판(10)의 정렬 동작을 통하여 상기 기판(10)의 검사 공정에서 기판 오정렬에 의한 공정 불량을 충분히 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132) 상에 로드된 기판(10)의 정렬 상태를 확인하기 위한 정렬 카메라(180, 182)가 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 검사 장치(100)는 상기 기판(10)에 형성된 정렬 마크 이미지들을 획득하기 위한 제1 정렬 카메라(180)와 제2 정렬 카메라(182)를 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 정렬 카메라들(180, 182)은 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132) 상에 로드된 기판(10)의 가장자리 부위들 상에 배치될 수 있다. 특히, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 정렬 카메라들(180, 180)은 상기 기판(10)의 크기에 따라 이동 가능하게 구성될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 검사 모듈(190)은 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이송되는 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위한 적어도 하나의 스캔 카메라(192)를 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 3개의 스캔 카메라(192)가 구비되고 있으나 상기 스캔 카메라(192)의 개수는 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 스캔 카메라(192)는 상기 에어 부상 모듈(110)의 상부에서 상기 기판(10)의 이송 방향에 대하여 수직 방향으로 연장하는 브리지 구조물(194)에 장착될 수 있으며, 상기 브리지 구조물(194)의 길이 방향 즉 상기 기판(10)의 이송 방향에 수직하는 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 기판(10)은 상기 검사 공정을 수행하는 동안 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 왕복 이동될 수 있으며, 상기 스캔 카메라(192)는 상기 브리지 구조물(194) 상에서 그 위치가 조절될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 이송 모듈(120)은 기판(10)의 전방측 하면 부위와 후방측 하면 부위를 각각 파지하기 위한 제1 진공척(130)과 제2 진공척(132)을 구비할 수 있으며, 상기 제1 진공척(130)과 제2 진공척(132)에 의한 기판 파지 위치는 상기 기판(10)의 크기에 따라 조절될 수 있다. 결과적으로, 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 다양한 크기를 갖는 기판들(10, 10A)에 대한 검사 공정이 가능하며, 이에 따라 다양한 크기의 기판들(10, 10A)에 대한 검사 공정을 수행하는데 소요되는 비용 및 시간이 크게 감소될 수 있다.
특히, 상기 제1 진공척(130)과 제2 진공척(132)에 의해 파지된 상기 기판(10)은 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)의 위치 조절 및 상기 제1 및 제2 진공척들(130, 132)이 배치되는 상부 패널(160)의 각도 조절에 의해 기 설정된 위치 및 각도로 정렬될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 오정렬에 의한 공정 불량이 크게 감소될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 100 : 검사 장치
110 : 에어 부상 모듈 112, 114 : 에어 부상 패널
120 : 기판 이송 모듈 122 : 베이스 패널
130, 132 : 진공척 140, 142 : 위치 조절부
150 : 구동부 160 : 상부 패널
170 : 각도 조절부 180, 182 : 정렬 카메라
190 : 검사 모듈

Claims (10)

  1. 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈; 및
    상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈을 포함하되,
    상기 기판 이송 모듈은,
    상기 기판의 이송 방향을 따라 연장하는 베이스 패널;
    상기 베이스 패널의 상부에 회전 가능하도록 장착되며 상기 베이스 패널과 평행하게 연장하는 상부 패널;
    상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 전방측 하면 부위 및 후방측 하면 부위를 각각 파지하는 제1 및 제2 진공척들;
    상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 제1 및 제2 진공척들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제1 및 제2 진공척들을 상기 베이스 패널의 연장 방향으로 각각 이동시키는 제1 및 제2 위치 조절부들;
    상기 베이스 패널 상에 배치되어 상기 상부 패널의 배치 각도를 조절하는 각도 조절부; 및
    상기 베이스 패널을 상기 기판의 이송 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하되,
    상기 베이스 패널의 중앙 부위와 상기 상부 패널 중앙 부위 사이에는 상기 상부 패널의 회전을 위한 선회 베어링이 배치되며, 상기 선회 베어링의 양측에는 상기 상부 패널의 회전을 안내하기 위한 곡선 리니어 모션 가이드가 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함하며, 상기 기판 이송 모듈은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 각도 조절부는 연결 부재를 통해 상기 상부 패널의 일측 단부와 연결되며, 상기 연결 부재를 상기 상부 패널의 연장 방향에 대하여 수직하는 방향으로 상기 연결 부재를 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서, 소정의 곡률 반경을 갖고 상기 베이스 패널 상에 장착되는 곡선 가이드 레일과, 상기 상부 패널의 연장 방향을 따라 연장하며 상기 상부 패널의 일측 단부의 하부면에 장착되는 직선 가이드 레일과, 상기 곡선 가이드 레일과 상기 직선 가이드 레일 사이에서 이동 가능하도록 결합되는 가동 블록을 포함하는 크로스 리니어 모션 가이드가 상기 연결 부재와 인접하게 배치되며,
    상기 연결 부재는 상기 크로스 리니어 모션 가이드의 직선 가이드 레일과 힌지 형태로 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 삭제
  10. 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈;
    상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈; 및
    상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈을 포함하되,
    상기 기판 이송 모듈은,
    상기 기판의 이송 방향을 따라 연장하는 베이스 패널;
    상기 베이스 패널의 상부에 회전 가능하도록 장착되며 상기 베이스 패널과 평행하게 연장하는 상부 패널;
    상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 전방측 하면 부위 및 후방측 하면 부위를 각각 파지하는 제1 및 제2 진공척들;
    상기 상부 패널 상에 배치되며 상기 제1 및 제2 진공척들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제1 및 제2 진공척들을 상기 베이스 패널의 연장 방향으로 각각 이동시키는 제1 및 제2 위치 조절부들;
    상기 베이스 패널 상에 배치되어 상기 상부 패널의 배치 각도를 조절하는 각도 조절부; 및
    상기 베이스 패널을 상기 기판의 이송 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하되,
    상기 베이스 패널의 중앙 부위와 상기 상부 패널 중앙 부위 사이에는 상기 상부 패널의 회전을 위한 선회 베어링이 배치되며, 상기 선회 베어링의 양측에는 상기 상부 패널의 회전을 안내하기 위한 곡선 리니어 모션 가이드가 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
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